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WO2009075075A1 - 有機ｅｌデバイスおよびｅｌディスプレイパネル、ならびにそれらの製造方法 - Google Patents

有機ｅｌデバイスおよびｅｌディスプレイパネル、ならびにそれらの製造方法 Download PDF

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Abstract

　本発明は、平坦かつ汚染されていない表面を有する正孔注入層を備える有機ＥＬデバイスの製造方法に関する。本発明の製造方法は、基板上に陽極を形成するステップと、前記陽極上に正孔注入層を形成するステップと、前記基板および前記正孔注入層の上に無機膜を形成するステップと、前記正孔注入層上に形成された前記無機膜の少なくとも一部が露出するように前記無機膜上にバンクを形成するステップと、前記バンクをマスクとして、前記露出した無機膜をエッチングし、前記正孔注入層を露出させるステップと、前記露出した正孔注入層上に有機発光材料を塗布して、有機発光層を形成するステップと、を有する。また前記正孔注入層は、酸化タングステンまたは酸化モリブデンを含む。
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