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WO2002086464A3 - Halbleitergassensor mit kreisförmiger anordnung von interdigitalelektroden und heizstrukturen und verfahren zu dessen herstellung, bei dem die sensitive halbleiterschicht als tropfen aufgebracht wird - Google Patents

Halbleitergassensor mit kreisförmiger anordnung von interdigitalelektroden und heizstrukturen und verfahren zu dessen herstellung, bei dem die sensitive halbleiterschicht als tropfen aufgebracht wird Download PDF

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WO2002086464A3
WO2002086464A3 PCT/DE2002/000797 DE0200797W WO02086464A3 WO 2002086464 A3 WO2002086464 A3 WO 2002086464A3 DE 0200797 W DE0200797 W DE 0200797W WO 02086464 A3 WO02086464 A3 WO 02086464A3
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WO
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drops
producing
gas sensor
semiconductor layer
circular arrangement
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PCT/DE2002/000797
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Detlef Gruen
Christian Krummel
Ulrich Schilling
Erwin Rein
Michael Seiter
Heribert Weber
Odd-Axel Pruetz
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Robert Bosch GmbH
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Robert Bosch GmbH
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Publication date
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Abstract

Die Erfindung betrifft einen Gassensor mit einer Membran (18), einer auf der Membran (18) angeordneten Heizstruktur (10), einer auf der Membran (18) angeordneten Auswertestruktur (12) und einer auf der Membran (18) angeordneten sensitiven Schicht (14), die von der Heizstruktur (10) beheizbar ist und deren elektrischer Widerstand von der Auswertestruktur (12) auswertbar ist, wobei die sensitive Schicht (14) als Tropfen (16) aufgebracht ist und die übrigen Strukturen (10, 12) der Form der sensitiven Schicht (14) zumindest teilweise angepasst sind. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Herstellen eines Gassensors.
PCT/DE2002/000797 2001-04-20 2002-03-05 Halbleitergassensor mit kreisförmiger anordnung von interdigitalelektroden und heizstrukturen und verfahren zu dessen herstellung, bei dem die sensitive halbleiterschicht als tropfen aufgebracht wird Ceased WO2002086464A2 (de)

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