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WO2002086464A3 - Detecteur de gaz et son procede de realisation - Google Patents

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WO2002086464A3
WO2002086464A3 PCT/DE2002/000797 DE0200797W WO02086464A3 WO 2002086464 A3 WO2002086464 A3 WO 2002086464A3 DE 0200797 W DE0200797 W DE 0200797W WO 02086464 A3 WO02086464 A3 WO 02086464A3
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WO
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drops
producing
gas sensor
semiconductor layer
circular arrangement
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Ceased
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PCT/DE2002/000797
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Detlef Gruen
Christian Krummel
Ulrich Schilling
Erwin Rein
Michael Seiter
Heribert Weber
Odd-Axel Pruetz
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Robert Bosch GmbH
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Robert Bosch GmbH
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Publication date
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    • G01N27/02Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
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Abstract

La présente invention concerne un détecteur de gaz comprenant une membrane (18), une structure chauffante (10) disposée sur la membrane (18), une structure d'évaluation (12) disposée sur la membrane (18), et une couche sensible (14) disposée sur la membrane (18), pouvant être chauffée par la structure chauffante (10) et dont la résistance électrique peut être mesurée par la structure d'évaluation (12). Selon l'invention, la couche sensiblement (14) est appliquée sous la forme de gouttes (16) et les structures restantes (10, 12) sont au moins partiellement adaptées à la forme de la couche sensible (14). Cette invention concerne également un procédé permettant la réalisation d'un détecteur de gaz.
PCT/DE2002/000797 2001-04-20 2002-03-05 Detecteur de gaz et son procede de realisation Ceased WO2002086464A2 (fr)

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