WO2002086464A3 - Detecteur de gaz et son procede de realisation - Google Patents
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Abstract
La présente invention concerne un détecteur de gaz comprenant une membrane (18), une structure chauffante (10) disposée sur la membrane (18), une structure d'évaluation (12) disposée sur la membrane (18), et une couche sensible (14) disposée sur la membrane (18), pouvant être chauffée par la structure chauffante (10) et dont la résistance électrique peut être mesurée par la structure d'évaluation (12). Selon l'invention, la couche sensiblement (14) est appliquée sous la forme de gouttes (16) et les structures restantes (10, 12) sont au moins partiellement adaptées à la forme de la couche sensible (14). Cette invention concerne également un procédé permettant la réalisation d'un détecteur de gaz.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE10119405.6 | 2001-04-20 | ||
| DE2001119405 DE10119405A1 (de) | 2001-04-20 | 2001-04-20 | Gassensor und Verfahren zu dessen Herstellung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2002086464A2 WO2002086464A2 (fr) | 2002-10-31 |
| WO2002086464A3 true WO2002086464A3 (fr) | 2003-04-17 |
Family
ID=7682104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/DE2002/000797 Ceased WO2002086464A2 (fr) | 2001-04-20 | 2002-03-05 | Detecteur de gaz et son procede de realisation |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE10119405A1 (fr) |
| WO (1) | WO2002086464A2 (fr) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8802568B2 (en) | 2012-09-27 | 2014-08-12 | Sensirion Ag | Method for manufacturing chemical sensor with multiple sensor cells |
| US11371951B2 (en) | 2012-09-27 | 2022-06-28 | Sensirion Ag | Gas sensor comprising a set of one or more sensor cells |
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-
2001
- 2001-04-20 DE DE2001119405 patent/DE10119405A1/de not_active Withdrawn
-
2002
- 2002-03-05 WO PCT/DE2002/000797 patent/WO2002086464A2/fr not_active Ceased
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2002086464A2 (fr) | 2002-10-31 |
| DE10119405A1 (de) | 2002-10-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| AK | Designated states |
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|
| AL | Designated countries for regional patents |
Kind code of ref document: A2 Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR |
|
| 121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application | ||
| DFPE | Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101) | ||
| 122 | Ep: pct application non-entry in european phase | ||
| NENP | Non-entry into the national phase |
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