WO2018122980A1

WO2018122980A1 - 樹脂フィルム処理装置

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Publication number: WO2018122980A1
Application number: PCT/JP2016/088953
Authority: WO
Inventors: 誠高徳; 弥一郎中丸; 裕規雄篠崎; 剛毅橋本
Original assignee: Chuo Kikai Co Ltd; JCU Corp
Current assignee: Chuo Kikai Co Ltd; JCU Corp
Priority date: 2016-12-27
Filing date: 2016-12-27
Publication date: 2018-07-05
Anticipated expiration: 2019-06-27
Also published as: JP6972019B2; JPWO2018122980A1; KR20190097059A; CN110114506A; KR102780118B1; CN110114506B

Abstract

【課題】　薄い樹脂フィルムを搬送する場合であっても、確実に処理槽に樹脂フィルムを搬送し良好な処理を行う樹脂フィルム処理装置を提供する。【解決手段】　送出側ロールと巻取側ロールの間で樹脂フィルムが送られ所要の処理を行う樹脂フィルム処理装置であって、所定の張力が付与された前記樹脂フィルムを送るための送りローラーを有してなり、前記送りローラー表面には、前記樹脂フィルムと接触するエラストマー樹脂表面部が形成されることを特徴とする。

Description

樹脂フィルム処理装置

　本発明はウエブ状の樹脂フィルムに対して湿式処理を行う樹脂フィルム処理装置に関する。

　ウエブ状のポリイミド等の有機樹脂フィルムを送出側ロールと巻取側ロールの間で搬送しながら処理する装置が知られている。このような処理装置で行われる処理としては、例えば、銅などの金属薄膜をめっき処理があり、樹脂フィルムの一部は湿式とされて処理液中を通過するように構成されるものも知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１４－２５０９０号公報

　ところが、搬送しようとする樹脂フィルムの厚みは薄くなる傾向にあり、その厚みが１２．５ミクロン乃至２５ミクロンのような非常に薄いポリイミドフィルムを送出側ロールと巻取側ロールの間で搬送する場合には、繊細なテンションバランスを維持することも搬送されている樹脂フィルムに対して必要とされる。湿式のめっき処理を行う場合に、特に被処理用の樹脂フィルムの両面にめっきを施す場合では、一定のテンションを保って処理槽内に樹脂フィルムを送ることが求められるが、処理槽の直前などに配設される金属などの送りローラーの表面で樹脂フィルムとの間に滑りなどが生じ、めっき処理のシード層や析出する金属膜に不良が発生することがあり、結果として良好なめっき膜の形成ができないなどの問題が生ずる。

　そこで、本発明は、上述の技術的な課題に鑑み、比較的に薄い樹脂フィルムを送出側ロールと巻取側ロールの間で搬送する場合であっても、確実に処理槽に樹脂フィルムを搬送して良好な処理を行うことができる樹脂フィルム処理装置を提供することを目的とする。

　本発明の樹脂フィルム処理装置は、送出側ロールと巻取側ロールの間で樹脂フィルムが送られ所要の処理を行う樹脂フィルム処理装置であって、所定の張力が付与された前記樹脂フィルムを送るための送りローラーを有し、前記送りローラーの表面には前記樹脂フィルムと接触するエラストマー樹脂表面部が形成されていることを特徴とする。

　本発明の樹脂フィルム処理装置によれば、前記送りローラー表面には、前記樹脂フィルムと接触するエラストマー樹脂表面部が形成されるため、エラストマー樹脂表面部の有するグリップ力により前記樹脂フィルムと前記送りローラーの間の滑りを大幅に抑制することができる。

本発明の第１の実施形態にかかる樹脂フィルム処理装置の構成を示す模式図である。本発明の第２の実施形態にかかる樹脂フィルム処理装置の構成を示す模式図である。前記第２の実施形態にかかる樹脂フィルム処理装置の送りローラーを示す概略斜視図である。本発明の第２の実施形態にかかるエラストマー樹脂表面部のパターンの一例を示す模式平面図である。本発明の第２の実施形態にかかるエラストマー樹脂表面部のパターンの他の一例を示す模式平面図である。本発明の第２の実施形態にかかるエラストマー樹脂表面部のパターンのさらに他の一例を示す模式平面図である。本発明の第２の実施形態にかかるエラストマー樹脂表面部のパターンのまた他の一例を示す模式平面図である。本発明の第２の実施形態にかかるエラストマー樹脂表面部のパターンのさらにまた他の一例を示す模式平面図である。本発明の第２の実施形態にかかるエラストマー樹脂表面部を送りローラーに取り付けた状態の一例を示す模式断面図である。本発明の第２の実施形態にかかるエラストマー樹脂表面部を送りローラーに取り付けた状態の他の一例を示す模式断面図である。本発明の第３の実施形態にかかる送りローラーを示す模式断面図である。本発明の第４の実施形態にかかる送りローラーを示す模式断面図である。本発明の第５の実施形態にかかる送りローラーを示す模式断面図である。

　本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明は、本発明の幾つかの具体例であり、本発明はその態様に限定されるものではない。また、本発明は、各図に示す各構成要素の配置や寸法などについても限定されるものではない。

第１の実施形態
　図１は、本発明の第１の実施形態にかかる樹脂フィルム処理装置の構成を示す模式図である。樹脂フィルム処理装置１は、送出側ロール８と巻取側ロール７の間でウエブ状の樹脂フィルム４が送られてめっき処理を行う装置である。めっき処理は処理液を入れためっき処理槽９に樹脂フィルム４を浸漬することで行われ、例えば導電性の金属シード層や金属薄膜層を形成することができる。めっき処理槽９に樹脂フィルム４を送る構成として、本実施形態では、３つのローラーが使用されており、上流側ローラー５と液中の下流側ローラー６に挟まれた位置に送りローラー２が配設されている。これらローラー２、５、６は、それぞれその回転軸が樹脂フィルム４の送り方向と垂直な方向に延長されており、樹脂フィルム４の表面に当接して送出側ロール８から巻取側ロール７へ樹脂フィルム４を搬送させる。

　送りローラー２は、所要の径を有した円筒形のステンレスなどの金属ローラーであり、その送りローラー２の周側面には、樹脂フィルム４と接触するエラストマー樹脂表面部３が形成されている。エラストマー樹脂表面部３は、送りローラー２の周側面に等間隔で配設される複数の帯状のエラストマー樹脂からなる樹脂部材であり、その表面の接触摩擦が金属からなる送りローラー２に比べて大きく、その結果、樹脂フィルム４に対するグリップ力が高くなるために樹脂フィルム４と送りローラー２の間の滑りが抑制される。エラストマー樹脂表面部３は、後述するように、送りローラー２の表面に両面テープで貼付したり、接着剤で固定したり、或いは送りローラー２の表面に溝を形成して、その溝にエラストマー樹脂表面部３を嵌合させるようにすることも可能である。

　エラストマー樹脂表面部３は、一例を挙げれば、多孔質のポリアミド系エラストマー樹脂を用いることができ、比較的に耐薬品性が高く、多孔質化することができる材料であれば、他のエラストマー材料をエラストマー樹脂表面部３にすることもできる。このような多孔質のポリアミド系エラストマー樹脂の一例としては、気孔率６０％、気孔径１０～５０ミクロン、引張破断応力３．１ＭＰａ、引張破断伸度８００％ＧＬ、滴下吸水速度６０秒などのスペックを有するポリアミドエラストマーを使用することができる。

　本実施形態の樹脂フィルム処理装置によれば、送りローラー２の表面に形成された帯状のエラストマー樹脂表面部３が確実に樹脂フィルム４に対するグリップ力を増大させ、樹脂フィルム４と送りローラー２の摩擦によるめっき膜の不良発生は未然に防止されることになる。

第２の実施形態
　図２は、本発明の第２の実施形態にかかる樹脂フィルム処理装置の構成を示す模式図である。樹脂フィルム処理装置１０は、送出側ロール１４と巻取側ロール１６の間でウエブ状の樹脂フィルム１２が図中矢印方向に送られてめっき処理を行う装置である。この樹脂フィルム１２が送られる途中には、樹脂フィルム１２とは非接触に保持される非接触ユニット３０が設けられている。また、この非接触ユニット３０の樹脂フィルムの搬送方向の上流側には、樹脂フィルム１２を送るための送りローラー１８と、さらにその上流側にはダンサーロール２８が設けられている。

　ダンサーローラー２８は、そのローラー軸が一対のアーム２６に保持されており、該アーム２６のダンサーローラー２８の近傍にはカウンターウエイト２４が配されている。このダンサーローラー２８はウエブ状の樹脂フィルム１２に対するテンションレギュレーターとして機能し、樹脂フィルム１２の搬送時の張力を所定の範囲内に保つように機能する。

　前記非接触ユニット３０は、本実施形態においては、めっき用の処理液３６を当該ユニットの先端部３８の下周面に形成された複数の噴出口３２から樹脂フィルム１２の一方の面に向けて噴出する。めっき用の処理液３６は、非接触ユニット３０の上端部若しくは側部に接続される図示しないポンプ等により供給され、複数の噴出口３２から樹脂フィルム１２に向けて噴出されることで、非接触ユニット３０の下周面と樹脂フィルム１２の上面を非接触に維持し、この部分で樹脂フィルム１２の搬送路は下向きに撓むルートを取る。非接触ユニット３０の先端部３８の周囲は、処理槽３４が処理液３６を湛えており、樹脂フィルム１２は非接触ユニット３０に向かう直前に処理槽３４内の処理液３６に浸漬される。非接触ユニット３０の先端部３８を通過した樹脂フィルム１２は、処理槽３４内の処理液３６の液面から空中に取り出されるルートを取り、次段の処理若しくは巻き取り工程に向かう。

　送りローラー１８の表面１８ｓには、樹脂フィルム１２と接触するエラストマー樹脂表面部２０が形成されている。エラストマー樹脂表面部２０は、図３に示すように、送りローラー１８の表面１８ｓである周側面に等間隔で配設される複数の帯状のエラストマー樹脂からなる樹脂部材であり、その表面の接触摩擦がステンレスなどの金属からなる送りローラー１８に比べて大きく、その結果、樹脂フィルム１２に対するグリップ力が高くなるために樹脂フィルム１２と送りローラー１８の間の滑りが抑制される。本実施形態においては、送りローラー１８の表面１８ｓに当該送りローラー１８の軸方向に延長される互いに平行な樹脂部材であり、後述するように、送りローラー１８の表面１８ｓに両面テープで貼付したり、接着剤で固定したり、或いは送りローラー１８の表面１８ｓに溝を形成して、その溝にエラストマー樹脂表面部２０を嵌合させるようにすることも可能である。また、エラストマー樹脂表面部２０は送りローラー１８の表面１８ｓに着脱できる構造とすることもでき、エラストマー樹脂表面部２０が摩耗したり、或いは経時劣化した場合では、新しいエラストマー樹脂表面部２０に交換するようにすることもできる。

　エラストマー樹脂表面部２０は、一例を挙げれば、多孔質のポリアミド系エラストマー樹脂を用いることができ、比較的に耐薬品性が高く、多孔質化することができる材料であれば、他のエラストマー材料をエラストマー樹脂表面部２０にすることもできる。このような多孔質のポリアミド系エラストマー樹脂の一例としては、気孔率６０％、気孔径１０～５０ミクロン、引張破断応力３．１ＭＰａ、引張破断伸度８００％ＧＬ、滴下吸水速度６０秒などのスペックを有するポリアミドエラストマーを使用することができる。また、エラストマー樹脂表面部２０を、表面だけ多孔質のポリアミド系エラストマー樹脂とし、表層部以外を他の湿式処理に耐える樹脂材とした複合構造とすることも可能である。エラストマー樹脂表面部２０を送りローラー１８の表面１８ｓに貼り付けた場合には、エラストマー樹脂表面部２０の貼り付け面の反対面であるエラストマー樹脂表面部２０の表面が、送りローラー１８の表面１８ｓの表面から突出することになるが、その突出量を０．１ｍｍ乃至４．０ｍｍ、より好ましくは０．２ｍｍ乃至２．０ｍｍ程度とすることで樹脂フィルム１２の確実な搬送が実現される。

　ここで、樹脂フィルム１２は、上述のように、例えば２５ミクロン以下、好ましくは１２．５ミクロン以下程度の薄い膜厚を有するポリイミド樹脂フィルムであり、通常、芳香族化合物が直接イミド結合で連結された芳香族ポリイミドで、そのイミド結合を介して芳香族同士の共役構造を有し、この強分子間力を持つイミド結合により、ポリマー中で最も高い熱的、機械的、化学的特性を有する。本実施形態では、例えば、東レ・デュポン社製のカプトン（商品名）や宇部興産株式会社製のユーピレックス（商品名）を使用することができる。

　このようなめっき処理を行う本実施形態の樹脂フィルム処理装置は、好ましくは、連続的な製造ラインの１つの工程のための処理装置として使用されるものであり、例えば、樹脂フィルム１２上に導電層としての銅層を形成するフレキシブル銅張積層基材を製造するライン工程の金属シード層の形成工程に使用することができる。このようなフレキシブル銅張積層板を製造する方法については、本件出願人は、先に予めＮｉ又はその合金などの導電性金属のシード層形成を含めて、そのシード層上に銅導電層を厚付けめっき処理する全工程を、ウエット・プロセスで、その全銅付け工程が１工程であることを特徴とする２層フレキシブル銅張積層基材（２層ＦＣＣＬ）の製造方法について提案しており、例えば、特開２０１０－１５９４７８号公報に当該技術の開示がある。

　簡単にフレキシブル銅張積層基材を製造する方法について説明すると、先ず、フレキシブルで、耐熱性で、耐薬品性に優れるポリイミド樹脂フィルム面を表面改質させて親水性化させる前処理工程を施す。その表面改質法は、アルカリ湿式改質法でその表面にポリアミック酸改質層を形成させる。次いで、パラジウム（Ｐｄ）系触媒で、その表面にＰｄイオンを吸着させた後、還元処理させて、吸着Ｐｄイオンを還元金属化させてなる親水性の表面改質層とする。このアルカリ湿式改質法による一連の変異挙動は、通常、ポリイミド樹脂はアルカリ性水溶液で処理すると、その表面の一部が加水分解を受けてイミド環の一部が開裂し、アミド基とカルボキシル基を生成する。この生成されたカルボキシル基はカチオンイオン交換をしやすいので金属イオンを吸着させることができることによる。

　このように親水化表面改質された樹脂フィルム面に、無電解めっき法で、予めＮｉ又はその合金などの導電性金属のめっきを施して、導電性金属のシード層を形成させる。この際に、本実施形態にかかる樹脂フィルム処理装置１０を使用することで非接触ユニット３０を利用した非接触搬送で樹脂フィルム１２を送ることができ、送りローラー１８のグリップ力がエラストマー樹脂表面部２０により向上しているため、送りローラー１８の表面での滑りがなく、確実で導電性金属のめっきのむらなどの発生しない処理が実現される。この湿式無電解ニッケルめっき処理では、１０～３００ｎｍ程度の導電性のニッケルシード層を両面に形成させればよく、Ｎｉの合金としては、Ｎｉ－Ｐ、Ｎｉ－Ｂ、Ｎｉ－Ｃｕなどの合金が挙げられる。

　次いで、酸性銅めっき浴組成物中で、湿式電気めっきさせて、樹脂フィルムのシード層上に、一段工程で自在に層厚をコントロールさせながら銅導電層を厚付けめっきさせて、銅付け被覆厚０．０５～５０μｍ範囲にあるフレキシブル銅張積層基材を製造する。表面に金属被膜が形成された樹脂フィルムを、酸性銅めっき浴組成物で銅めっきを行う条件は、通常の硫酸銅めっきの条件でよい。すなわち、液温２３～２７℃程度、平均陰極電流密度１～３Ａ／ｄｍ^２程度で０．１～２５０分間程度めっきを行えばよい。また、一般的にはエアレーション等による液攪拌下に銅めっきを行うことが好ましい。

以上の２層フレキシブル銅張積層基材の製造方法では、安価でインライン化が可能な無電解Ｎｉめっきによるシード層形成を含め、全工程が湿式法（オールウエットプロセス）で、しかも、得られる２層フレキシブル銅張積層基材が微細パターン化に適宜対応できる。また、予め導電性金属被膜のシード層を形成させた樹脂フィルム面に、１次銅めっきを介さずに、厚付け銅めっきさせて製造される２層フレキシブル銅張積層基材は、平滑な光沢外観を呈して、しかも、得られた銅めっき層の耐剥離性は格段に向上したものとなる。

　このようなフレキシブル銅張積層基材の製造方法は、本実施形態のめっき装置の適用例の一例を示すものに過ぎず、本発明の樹脂フィルムの湿式処理装置は、めっきに限らず、その他の湿式処理全般に適用することができる。すなわち、本発明の樹脂フィルムの湿式処理装置は、例えばウエットエッチング装置、薬液処理装置、洗浄装置、塗布装置、現像装置、コーティング装置などであっても良く、また、独立した装置でなく、大型製造ラインの一部として組み入れられるものでも良く、他の処理装置の一部に搭載されるものであっても良い。また、本発明の樹脂フィルムの湿式処理装置は、前処理工程と銅層を形成する後処理工程の間に配され、連続的にウエブ状の樹脂フィルムが供給されてくるものを前提としているが、膜剥離などの問題が生じなければ、前処理工程後に一旦巻き取った樹脂フィルムを供給するように構成することもでき、後処理工程前に一旦樹脂フィルムを巻き取ることも可能である。

　処理槽３４に導入される処理液として、本実施形態では、例えば公知の無電解ニッケルめっき浴を利用することができる。その条件も無電解ニッケルめっき浴で推薦される濃度、温度、時間等とすれば良い。なお、無電解ニッケルめっき浴としては、無電解Ｎｉ－Ｐめっき、無電解Ｎｉ－Ｂめっき、無電解純Ｎｉめっきなどが使用でき特に限定されるものではないが、Ｎｉ－Ｐ系無電解ニッケルめっき浴を利用することが好ましい。使用薬剤の一例としては、ＥＳ－５００（株式会社ＪＣＵ製）を用い、処理温度を例えば４０℃とすることが可能である。

　送りローラー１８の表面１８ｓに形成するエラストマー樹脂表面部２０は、図３に示すように、送りローラー１８の表面１８ｓである周側面に等間隔で配設される複数の帯状のエラストマー樹脂からなる樹脂部材とすることも可能であるが、他のパターンで送りローラー１８の表面１８ｓに形成することも可能である。図４乃至図８は、それぞれ他のパターンのエラストマー樹脂表面部２０a～２０eを示す。図４に示すように、エラストマー樹脂表面部２０aは、図面の上下方向を樹脂フィルム１２の搬送方向とすると、その樹脂フィルム１２の搬送方向に延長される複数の帯状の樹脂部材とすることができる。また、図５はエラストマー樹脂表面部２０ｂを送りローラー１８の表面１８ｓに螺旋状に配した例であり、ピッチや軸方向との傾きを調整することでエラストマー樹脂表面部２０ｂは単数でも複数でも良い。図６は格子状のエラストマー樹脂表面部２０cを配設した例であり、エラストマー樹脂表面部２０cの直線部分は、送りローラー１８の軸方向に沿ったものとすることもでき、図示を省略するが、格子状のエラストマー樹脂表面部のパターンを軸方向から傾けることもできる。
図７、図８はそれぞれ複数のドット状のエラストマー樹脂表面部２０ｄ、２０eを形成した例であり、矩形状のエラストマー樹脂表面部２０ｄを所定の間隔で配列させることもでき、円形状のエラストマー樹脂表面部２０ｄを所定の間隔で配列させることもできる。また、図示を省略しているが、エラストマー樹脂表面部として他の六角形の如き多角形を敷くようにすることもでき、円形ではなく楕円や角丸な形状のエラストマー樹脂表面部を所定の間隔で配列させることもできる。また、六角形や四角形のエラストマー樹脂表面部を離間させずにタイル貼りのように敷き詰めることも可能である。さらに、大きな平面状のエラストマー樹脂表面部を送りローラー１８の表面１８ｓの全面に形成することも可能である。

　次に、図９、図１０を参照しながら、エラストマー樹脂表面部の送りローラーの表面への取り付け構造の例について説明する。図９の模式的な断面で示す例では、送りローラー４２の表面にはストライプ状の溝４４が形成されており、その溝４４に例えば帯状のエラストマー樹脂表面部４０が嵌合する構造とされている。例えば、溝４４の幅とエラストマー樹脂表面部４０の幅は同程度であり、エラストマー樹脂表面部４０の底部には、両面テープ若しくは接着剤からなる接着層４１が形成される。めっき処理を行う際、接着層４１はエラストマー樹脂表面部４０が溝４４から脱落しないようにエラストマー樹脂表面部４０を送りローラー４２に対して保持する。また、エラストマー樹脂表面部４０が摩耗したり或いは経時劣化が生じた場合には、接着層４１の接着力に抗してエラストマー樹脂表面部４０をはがすこともでき、容易に新しいものと交換することができる。

　図１０の例では、送りローラー４６の表面に形成される溝４８は、断面が鳩尾状であり、表面側が狭い開口で底部が広い形状とされている。この溝４８に、エラストマー樹脂表面部５０を弾性変形させながら押し込み、狭い開口部が抜け止めとなることから、溝４８にエラストマー樹脂表面部５０に着脱自在に固定される。このような構造とすれば、めっき処理を行う際、溝４８にエラストマー樹脂表面部５０がしっかりと保持されており、エラストマー樹脂表面部５０をはがす際には、再度エラストマー樹脂表面部５０を弾性変形させて狭い開口部を抜けるようにすれば容易にエラストマー樹脂表面部５０を送りローラー４６から取り外すことができる。

第３の実施形態
　本実施形態は、その送りローラーが開口部を有する樹脂フィルム処理装置の例である。図１１に示す送りローラー５４は、送りローラー５４自体が複数の開口部として機能するスリット５８を有しており、スリット５８の間の送りローラー５４の表面にエラストマー樹脂表面部５６が形成されている。エラストマー樹脂表面部５６及び送りローラー５４の周面部分は、当該送りローラー５４の軸方向に平行に延長される構造を有している。このような構造の送りローラー５４を先に説明した送りローラー１８の代わりに用いた場合には、スリット５８によって処理液等が溜まることがなく、さらに樹脂フィルムを搬送している間に、樹脂フィルムの送りローラー当接面に対して洗浄液やその他の処理液を噴きかけて洗浄或いは処理を進めことができるという利点を有する。

第４の実施形態
　本実施形態は、中空状の送りローラーの表面にエラストマー樹脂表面部が形成され、送りローラーの外部に樹脂フィルムの面に液体を供給する液体供給機構部され、エラストマー樹脂表面部の間の開口部から洗浄液が樹脂フィルムに対して供給される例である。

　図１２に示すように、本実施形態の樹脂フィルム処理装置は、中空状の送りローラー６４を有しており、該送りローラー６４は軸６０を中心に図中時計回り方向に回転して、樹脂フィルム６２を搬送するように構成されている。送りローラー６４自体は、例えば金属部材で構成され、その表面部にはエラストマー樹脂表面部６６が形成されている。エラストマー樹脂表面部６６は、表面の接触摩擦がステンレスなどの金属ローラーに比べて大きく、その結果、樹脂フィルム６２に対するグリップ力が高くなるために樹脂フィルム６２と送りローラー６４の間の滑りが抑制される。エラストマー樹脂表面部６６は、例えば、帯状の多孔質のポリアミド系エラストマー樹脂を用いることができ、先に説明したエラストマー樹脂表面部２０と同様の材料を使用することができる。エラストマー樹脂表面部６６は、帯状で軸６０の長手方向に送りローラー６４の周側面上に延在され、その固定方法としては接着剤や両面テープ等による貼合わせなどの方法によって固定されている。なお、樹脂フィルム６２が送りローラー６４と離れる部分には、洗浄液シャワー部７４も形成され、樹脂フィルム６２の下面側の洗浄を行っている。

　送りローラー６４の周面には、エラストマー樹脂表面部６６が形成される部分を除いて開口部となる矩形状に開口したスリット６８が複数形成されており、このスリット６８を介して送りローラー６４の内部と外部が連通する。樹脂フィルム６２は、このような送りローラー６４の上側を通過し、樹脂フィルム６２には、送りローラー６４のエラストマー樹脂表面部６６が当接する。反対側の送りローラー６４の下側には、送りローラー６４の軸６０とはオフセットした方向での垂直方向に洗浄液を例えば霧状に噴出する液体供給機構部７０が配設されている。液体供給機構部７０は、図示しないポンプ及び圧縮空気等に接続されるノズル７２を有しており、該ノズル７２から送りローラー６４の内部に向けてスリット６８を介して洗浄液が噴出するように制御される。スリット６８を介して送りローラー６４の内部に至った洗浄液は、さらに上側で開口するスリット６８を通って樹脂フィルム６２の下面に至る。このため樹脂フィルム６２には、送りローラー６４で送られながら、樹脂フィルム６２の下面が洗浄されるという利点もあり、その結果、樹脂フィルム下面に発生していた曇り模様がなくなるという効果も得られている。

第５の実施形態
　本実施形態は、中空状の送りローラーの表面にエラストマー樹脂表面部が形成され、送りローラーの内部に樹脂フィルムの面に液体を供給する液体供給機構部され、エラストマー樹脂表面部の間の開口部から樹脂フィルムに対して洗浄液が供給される例である。

　図１３に示すように、本実施形態の樹脂フィルム処理装置は、中空状の送りローラー８４を有しており、該送りローラー８４は軸８０を中心に図中時計回り方向に回転して、樹脂フィルム８２を搬送するように構成されている。送りローラー８４自体は、例えば金属部材で構成され、その表面部にはエラストマー樹脂表面部８６が形成されている。エラストマー樹脂表面部８６は、先の実施形態のエラストマー樹脂表面部６６と同様の材料、機能を有しており、樹脂フィルム８２に対するグリップ力を高めることができる。中空状の送りローラー８４には、複数のエラストマー樹脂表面部８６の間の領域に矩形状に開口した開口部であるスリット８８がそれぞれ形成され、送りローラー８４のスリット８８を介して送りローラー８４の内部と外部が連通する。また、樹脂フィルム８２は、その搬送路の途中に配設されためっき液シャワー部９４と洗浄液シャワー部９６により、当該樹脂フィルム８２の表面及び裏面がめっき液と洗浄液の両方を受けるように構成されている。

　このような送りローラー８４の内部で軸８０の近傍には、軸８０を内在させた中空の固定部９２が形成され、軸８０及び送りローラー６４は樹脂フィルム８２を送る際に回転し、送りローラー８４の表面での滑りがないような搬送が実現される。固定部９２の内側と軸８０間の空隙には、本実施形態では、図示しないポンプから洗浄液が供給される。固定部９２の径方向外側には、３つの液体供給機構部９０a、９０ｂ、９０ｃが形成されており、これら液体供給機構部９０a、９０ｂ、９０ｃの先端側に設けられたノズルから、径方向外側に向けて例えば噴霧状の洗浄液が送りローラー８４のスリット８８に向けて噴出される。スリット８８を通過した噴霧状の洗浄液は、送りローラー８４のエラストマー樹脂表面部８６により高い摩擦力を以て搬送されている樹脂フィルム８２の裏面に至り、樹脂フィルム８２の下面が洗浄され、その結果、樹脂フィルム下面に発生していた曇り模様がなくなるという効果も得られることになる。

　本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々変形させることが可能であり、それらを本発明の範囲から排除するものではない。

１　樹脂フィルム処理装置
２　送りローラー
３　エラストマー樹脂表面部
４　樹脂フィルム
５、６　ローラー
７　巻取側ロール
８　送出側ロール
９　めっき処理槽
１０　樹脂フィルム処理装置
１２　樹脂フィルム
１４　送出側ロール
１６　巻取側ロール
１８　送りロール
１８ｓ　表面
２０、２０a～２０e　エラストマー樹脂表面部
２４　カウンターバランス
２６　アーム
２８　ダンサーローラー
３０　非接触ユニット
３２　噴出口
３４　処理槽
３６　処理液
３８　先端部
４０　エラストマー樹脂表面部
４１　接着層
４２　送りローラー
４４　溝
４６　送りローラー
４８　溝
５０　エラストマー樹脂表面部
５２　軸
５４　送りローラー
５６　エラストマー樹脂表面部
５８　スリット
６０　軸
６２　樹脂フィルム
６４　送りローラー
６６　エラストマー樹脂表面部
６８　スリット
７０　液体供給機構部
７２　ノズル
７４　洗浄液シャワー部
８０　軸
８２　樹脂フィルム
８４　送りローラー
８６　エラストマー樹脂表面部
８８　スリット
９０ａ，９０ｂ，９０ｃ　液体供給機構部
９２　固定部
９４　めっき液シャワー部
９６　洗浄液シャワー部

Claims

送出側ロールと巻取側ロールの間で樹脂フィルムが送られ所要の処理を行う樹脂フィルム処理装置であって、
　所定の張力が付与された前記樹脂フィルムを送るための送りローラーを有し、前記送りローラーの表面には前記樹脂フィルムと接触するエラストマー樹脂表面部が形成されていることを特徴とする樹脂フィルム処理装置。
請求項１記載の樹脂フィルム処理装置であって、前記所要の処理に用いられる処理用液剤を前記樹脂フィルムの一方面に噴出する非接触ユニットを有し、前記非接触ユニットの前若しくは後に前記送りローラーが配設されることを特徴とする樹脂フィルム処理装置。
請求項１記載の樹脂フィルム処理装置であって、前記エラストマー樹脂表面部は、所定の間隔で離間して前記送りローラー表面に配されることを特徴とする樹脂フィルム処理装置。
請求項１記載の樹脂フィルム処理装置であって、前記エラストマー樹脂表面部は多孔質構造を有することを特徴とする樹脂フィルム処理装置。
請求項１記載の樹脂フィルム処理装置であって、前記エラストマー樹脂表面部はポリアミド系エラストマーを主な材料とすることを特徴とする樹脂フィルム処理装置。
請求項１記載の樹脂フィルム処理装置であって、前記送りローラー表面に形成される前記エラストマー樹脂表面部は、前記送りローラー表面に着脱可能に取り付けられることを特徴とする樹脂フィルム処理装置。
請求項２記載の樹脂フィルム処理装置であって、前記非接触ユニットは処理槽内に処理用液剤を噴出する噴出口を有することを特徴とする樹脂フィルム処理装置。
請求項２記載の樹脂フィルム処理装置であって、前記非接触ユニットから噴出される処理液は、めっき処理用の液体であることを特徴とする樹脂フィルム処理装置。
請求項1記載の樹脂フィルム処理装置であって、前記送りローラーは中空体であり、且つその送りローラーの表面には前記エラストマー樹脂表面部以外の部分に開口部が形成されていることを特徴とする樹脂フィルム処理装置。
請求項９記載の樹脂フィルム処理装置であって、前記送りローラーの内部若しくは外部には前記開口部を介して前記樹脂フィルムの面に液体を供給する液体供給機構部が形成されることを特徴とする樹脂フィルム処理装置。