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WO2012092991A1 - Method for producing an electronic circuit, printing roller and method for producing same - Google Patents

Method for producing an electronic circuit, printing roller and method for producing same Download PDF

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WO2012092991A1
WO2012092991A1 PCT/EP2011/069548 EP2011069548W WO2012092991A1 WO 2012092991 A1 WO2012092991 A1 WO 2012092991A1 EP 2011069548 W EP2011069548 W EP 2011069548W WO 2012092991 A1 WO2012092991 A1 WO 2012092991A1
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pressure roller
layer
substrate
elastically
surface layer
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PCT/EP2011/069548
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Inventor
Steffen Polster
Erhard Hirth
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1275Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by other printing techniques, e.g. letterpress printing, intaglio printing, lithographic printing, offset printing
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/01Tools for processing; Objects used during processing
    • H05K2203/0104Tools for processing; Objects used during processing for patterning or coating
    • H05K2203/0143Using a roller; Specific shape thereof; Providing locally adhesive portions thereon

Definitions

  • the invention relates to a method of manufacturing an electronic circuit comprising a plurality of circuit elements of predetermined cross-section on a circuit substrate.
  • the flexographic printing also allows the required layer thicknesses in the range of a few nm to a few ⁇ and is also applicable for rigid substrates.
  • a disadvantage of this process is the poor reproducibility of the material transfer in relation to the abovementioned processes and the inhomogeneity within a printed image (called a "squeeze margin")
  • the ink transfer from the tampon to the substrate by the squeezing of the ink by the surface pressure in this step is critical to the imaging accuracy of the printing form on the substrate over the tampon.
  • An alternative to the printing techniques for rigid substrates are spraying methods. Due to the process, it is possible to apply even thin layers homogeneously. Structuring of this coating can be done by masking, whereby lower limits in terms of structure resolution by the
  • Masking be set. Above all, however, depending on the structure, large material losses occur on the mask (for example, up to 95% of the surface is not coated in fineline applications, which is uneconomical, especially in the case of expensive functional materials).
  • the invention provides a gravure printing method employing a pressure roll having an elastically compliant surface layer or near-surface layer such that the pressure roll surface conforms to unevenness of the circuit substrate elastically.
  • Pressure cylinder (copper-chrome) is corrected by a change of material to a flexible pressure roller.
  • the pressure roller has a low surface energy cliche material.
  • Suitable z. Example, an ethylene-propylene-Dicn-Monomo (EPDM) with 16 to 18 mN / m surface tension or a silicone rubber with 13 to 15 mN / m surface tension.
  • EPDM ethylene-propylene-Dicn-Monomo
  • silicone rubber with 13 to 15 mN / m surface tension.
  • a rigid and / or brittle substrate and / or substrate structured on the surface to be printed for example a glass, a ceramic or a metal of high hardness
  • a soft impression cylinder since rigid substrates are usually subject to production-related deviations in form (ripple).
  • a hard cylinder does not make contact with the substrate in all areas, and the printed image is transferred incompletely.
  • even brittle substrates glass, silicon, etc.
  • the enclosure of the surface structures can be adjusted.
  • the specific adaptation of the Shore hardness of the printing cylinder depends on the dimension of the surface structure and the desired impression of the impression cylinder. A Shore hardness of 80 ° to 100 ° Shore is to be regarded as A suitable.
  • a pressure roller having at least one polymeric surface layer or polymeric sheath layer close to the surface is used.
  • a polymer printing cylinder can be adapted to the respective substrate to be printed in terms of material hardness.
  • Preferred polymer materials are EPDM and silicone rubber.
  • a pressure roller manufactured as a cylindrical sleeve, so-called SIeeve, with a removable elastically compliant surface layer or sheath layer close to the surface is used.
  • the method is configured as a method for producing an organic solar cell structure.
  • the invention offers significant processing advantages and thus cost advantages.
  • Fig. 3 is a schematic cross-sectional view of another
  • FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of a pressure roller according to an embodiment of the invention.
  • Fig. 5 is a schematic cross-sectional view of a pressure roller according to another embodiment of the invention.
  • Fig. 1 shows a greatly enlarged section of the surface of a hard pressure roller 1 of conventional construction, such as chromium-plated copper, with engraving areas 3a, 3b in a printing process over a relatively hard substrate 5 with uneven or structured surface. It can be seen that the contact between the pressure roller surface and the substrate surface is imperfect and the engraving area 3a is partially and the engraving area 3b completely "suspended in the air", thus making possible no or at least no satisfactory transfer of printing paste to the substrate.
  • a hard pressure roller 1 of conventional construction such as chromium-plated copper
  • FIG. 2 shows that a pressure roller 1 'with an elastically soft surface layer in the engraving areas 3a' and 3b 'comes into perfect contact with the surface of the uneven substrate 5 and thus a substantially improved transfer of printing paste to the substrate surface
  • the surface energy or stress of the material from which the surface of the pressure roller is made is set to the lowest possible value (in particular based on the surface energy or stress of the substrate material)
  • a substantially complete transmission takes place
  • FIG. 4 shows in a schematic cross-sectional illustration a multilayered one Pressure roller 10, the next to egg a central mandrel 11 a hard core 13th and at the periphery of which a surface layer 15 made of an elastically yielding material has, which here also serves as a cliché material.
  • the material of the surface layer for example a polymer material, must be selected such that fine engraving in accordance with the structures to be produced on a substrate, in particular reproducibly in a large number of printing operations, is possible.
  • Fig. 5 shows as an alternative embodiment, a pressure roller 10 ', in which on the mandrel 11 removably a relatively soft core 13' is stretched.
  • the roll core 13 ' may have a hardness gradient in the radial direction or (which is not shown in the figure) in turn be composed of a plurality of concentric cylinders made of different materials. He wears a bend-deformable, but relatively hard surface layer 15 'as a cliché.
  • This may be a thin metal layer, which is thick enough to produce the desired engravings and which enables the reproducible production of particularly fine structures on a substrate to be printed (for example of fine circuit traces) on a circuit substrate.

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Printing Plates And Materials Therefor (AREA)
  • Printing Methods (AREA)

Abstract

Method for producing an electronic circuit comprising a plurality of circuit elements having a predetermined cross section and a functional layer thickness of preferably less than 200 nm on a circuit substrate, using a printing roller, wherein the printing roller has an elastically compliant surface layer or layer near the surface, in such a way that the printing roller surface nestles elastically against unevennesses of the circuit substrate.

Description

Beschreibung Titel  Description title

Verfahren zur Herstellung einer elektronischen Schaltung, Druckwalze und Verfahren zur Herstellung einer solchen Method for producing an electronic circuit, pressure roller and method for producing such

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer elektronischen Schaltung, die eine Mehrzahl von Schaltungselementen mit vorbestimmtem Querschnitt auf einem Schaltungssubstrat umfasst. The invention relates to a method of manufacturing an electronic circuit comprising a plurality of circuit elements of predetermined cross-section on a circuit substrate.

Stand der Technik State of the art

Im Siebdruck können starre Substrate bedruckt werden, allerdings liegen die minimal erreichbaren Trockenschichtdicken im Bereich von 5 um. Mittels Tiefdruck können weit geringere Schichtdicken hergestellt werden, jedoch ist dieser Prozess mit den gängigen verchromten Kupferzylindern auf starren Substraten nicht oder nur mit unbefriedigender Qualität und hoher Ausschussrate zu realisieren. Dies zeigt sich unter anderem in einem unvollständigen Materialübertrag aus dem Druckzylinder auf das Substrat. In screen printing, rigid substrates can be printed, but the minimum achievable dry film thicknesses are in the range of 5 μm. By means of gravure far smaller layer thicknesses can be produced, however this process can not be realized with the usual chrome-plated copper cylinders on rigid substrates or only with unsatisfactory quality and high rejection rate. This manifests itself inter alia in an incomplete transfer of material from the impression cylinder to the substrate.

Der Flexodruck ermöglicht ebenfalls die geforderten Schichtdicken im Bereich von wenigen nm bis wenigen μιη und ist zusätzlich für starre Substrate anwendbar. Nachteilig an diesem Verfahren ist die im Verhältnis zu den zuvor genannten Verfahren schlechte Reproduzierbarkeit des Materialüber- trags sowie die Inhomogenität innerhalb eines Druckbildes („Quetschrand" genannt). Ein weiteres Verfahren zum Erzeugen dünner Schichten ist der Tampondruck. Durch den indirekten Übertrag des Materials von der Druckform über den Tampon auf das Substrat tritt hier eine erhöhte Schwankung im Materialübertrag auf. Zusätzlich ist der Farbübertrag vom Tampon auf das Substrat durch das Verquetschen der Farbe durch die Flächenpressung in diesem Schritt kritisch für die Abbildungsgenauigkeit. Eine Alternative zu den Drucktechniken bei starren Substraten sind Sprühverfahren. Verfahrensbedingt ist es möglich, auch dünne Schichten homogen aufzutragen. Eine Strukturierung dieser Beschichtung kann über Maskierung erfolgen, womit Untergrenzen hinsichtlich Strukturauflösung durch die The flexographic printing also allows the required layer thicknesses in the range of a few nm to a few μιη and is also applicable for rigid substrates. A disadvantage of this process is the poor reproducibility of the material transfer in relation to the abovementioned processes and the inhomogeneity within a printed image (called a "squeeze margin") In this case, the ink transfer from the tampon to the substrate by the squeezing of the ink by the surface pressure in this step is critical to the imaging accuracy of the printing form on the substrate over the tampon. An alternative to the printing techniques for rigid substrates are spraying methods. Due to the process, it is possible to apply even thin layers homogeneously. Structuring of this coating can be done by masking, whereby lower limits in terms of structure resolution by the

Maskierung festgelegt werden. Vor allem aber treten an der Maske je nach Struktur große Materialverluste auf (z. B. werden bis zu 95 % der Fläche in Fineline-Applikationen nicht beschichtet, was insbesondere bei teuren Funktionsmaterialien unwirtschaftlich ist). Masking be set. Above all, however, depending on the structure, large material losses occur on the mask (for example, up to 95% of the surface is not coated in fineline applications, which is uneconomical, especially in the case of expensive functional materials).

Offenbarung der Erfindung Disclosure of the invention

Mit der Erfindung wird ein Tiefdruckverfahren unter Einsatz einer Druckwalze bereitgestellt, welche eine elastisch nachgiebige Oberflächenschicht oder oberflächennahe Schicht aufweist, derart, dass die Druckwalzen-Oberfläche sich an Unebenheiten des Schaltungssubstrats elastisch anschmiegt. The invention provides a gravure printing method employing a pressure roll having an elastically compliant surface layer or near-surface layer such that the pressure roll surface conforms to unevenness of the circuit substrate elastically.

Mit diesem Verfahren ist in einem wirtschaftlichen Prozess sowohl eine homogene Erzeugung dünner (Funktions-)Schichten möglich, als auch die Erzeugung von feinen (Funktions-)Strukturen. Aus derzeitiger Sicht ist eine Auflösung für feine Strukturen mit Line-Space von 10 pm/10 μιτι möglich. Der Nachteil eines unvollständigen Materialübertrags bei Einsatz eines hartenWith this method, in an economical process both a homogeneous generation of thin (functional) layers is possible, as well as the generation of fine (functional) structures. From the current perspective, a resolution for fine structures with line space of 10 pm / 10 μιτι is possible. The disadvantage of incomplete material transfer when using a hard

Druckzylinders (Kupfer-Chrom) wird durch einen Materialwechsel hin zu einer flexiblen Druckwalze behoben. Pressure cylinder (copper-chrome) is corrected by a change of material to a flexible pressure roller.

In einer Ausführung der Erfindung weist die Druckwalze ein Klischeematerial mit niedriger Oberflächenenergie bzw. -Spannung auf. Geeignet sind z. B. ein Ethylen-Propylen-Dicn-Monomo (EPDM) mit 16 bis 18 mN/m Oberflächenspannung oder ein Silikonkautschuk mit 13 bis 15 mN/m Oberflächenspannung. Dies gewährleistet einen weitgehend vollständigen Materialübertrag aus der Druckform auf das Substrat und damit die Erzeugung einer exakt vorherbe- stimmbaren Dicke und Gestalt der jeweiligen (Funktions-)Schicht. Durch Vermeiden einer Farbspaltung in der Druckform kann somit insbesondere vorteilhaft die Präzision des Materialübertrags im Verhältnis zum Stand der Technik verbessert werden. In one embodiment of the invention, the pressure roller has a low surface energy cliche material. Suitable z. Example, an ethylene-propylene-Dicn-Monomo (EPDM) with 16 to 18 mN / m surface tension or a silicone rubber with 13 to 15 mN / m surface tension. This ensures a largely complete transfer of material from the printing form to the substrate and thus the generation of an exactly predeterminable thickness and shape of the respective (functional) layer. By avoiding color splitting in the printing form can thus in particular Advantageously, the precision of the material transfer can be improved in relation to the prior art.

In einer weiteren Ausführung der Erfindung ist vorgesehen, dass als Substrat ein starres und/oder sprödes und/oder auf der zu bedruckenden Oberfläche strukturiertes Substrat, etwa aus einem Glas, einer Keramik oder einem Metall großer Härte, eingesetzt wird. Besonders vorteilhaft ist hierbei der Einsatz eines weichen Druckzylinders, da starre Substrate meist fertigungsbedingt mit Formabweichungen (Welligkeit) behaftet sind. Dadurch hat ein harter Zylinder nicht in allen Bereichen Kontakt mit dem Substrat, und das Druckbild wird unvollständig übertragen. Insbesondere vorteilhaft ist weiterhin, dass auch spröde Substrate (Glas, Silizium, ...) bedruckt werden können, ohne diese durch das Anpressen einer harten Druckwalze zu zerstören. In a further embodiment of the invention it is provided that a rigid and / or brittle substrate and / or substrate structured on the surface to be printed, for example a glass, a ceramic or a metal of high hardness, is used as the substrate. Particularly advantageous in this case is the use of a soft impression cylinder, since rigid substrates are usually subject to production-related deviations in form (ripple). As a result, a hard cylinder does not make contact with the substrate in all areas, and the printed image is transferred incompletely. It is furthermore particularly advantageous that even brittle substrates (glass, silicon, etc.) can be printed without destroying them by pressing on a hard pressure roller.

Weiterhin können vorteilhaft auch strukturierte, starre und spröde Substrate bedruckt werden. Durch die Wahl der Zylinderhärte kann die Umschließung der Oberflächenstrukturen eingestellt werden. Die konkrete Anpassung der Shore-Härte des Druckzylinders hängt von der Dimension der Oberflächenstruktur und der gewünschten Einformung des Druckzylinders ab. Eine Shore- Härte von 80° bis 100° Shore ist als A geeignet anzusehen. Furthermore, it is also advantageous to print structured, rigid and brittle substrates. By choosing the cylinder hardness, the enclosure of the surface structures can be adjusted. The specific adaptation of the Shore hardness of the printing cylinder depends on the dimension of the surface structure and the desired impression of the impression cylinder. A Shore hardness of 80 ° to 100 ° Shore is to be regarded as A suitable.

In einer weiteren Ausführung der Erfindung wird eine Druckwalze mit mindestens einer polymeren Oberflächenschicht oder polymeren oberflächennahen Mantelschicht eingesetzt. Ein polymerer Druckzylinder kann hinsichtlich der Materialhärte auf das jeweils zu bedruckende Substrat angepasst werden. Bevorzugte Polymer-Materialien (Beispiele) sind EPDM und Silikonkautschuk. In a further embodiment of the invention, a pressure roller having at least one polymeric surface layer or polymeric sheath layer close to the surface is used. A polymer printing cylinder can be adapted to the respective substrate to be printed in terms of material hardness. Preferred polymer materials (examples) are EPDM and silicone rubber.

In einer weiteren Ausführung wird eine als zylindrische Hülse, sogenanntes SIeeve, gefertigte Druckwalze mit einer abnehmbaren elastisch nachgiebigen Oberflächenschicht oder oberflächennahen Mantelschicht eingesetzt. In a further embodiment, a pressure roller manufactured as a cylindrical sleeve, so-called SIeeve, with a removable elastically compliant surface layer or sheath layer close to the surface is used.

Dadurch entstehen insbesondere Kostenvorteile hinsichtlich der direkten Druckformkosten sowie Kostenvorteile hinsichtlich Maschinenrüstzeiten bei Druckformwechsel. This results in particular cost advantages in terms of direct Printing form costs as well as cost advantages with regard to machine set-up times for printing form change.

In einer weiteren Ausführung ist das Verfahren ausgestaltet als Verfahren zur Herstellung einer organischen Solarzellenstruktur. Speziell im Bereich der organischen und Dünnschicht-Photovoltaik und organischen Elektronik bietet die Erfindung erhebliche prozesstechnische Vorteile und somit Kosten- vorteile. In a further embodiment, the method is configured as a method for producing an organic solar cell structure. Especially in the field of organic and thin-film photovoltaics and organic electronics, the invention offers significant processing advantages and thus cost advantages.

Gegenstand der Erfindung ist neben dem oben erläuterten Verfahren eine in diesem Verfahren einsetzbare Druckwalze. Deren Merkmale gemäß Ausführungen der Erfindung ergeben sich ohne Weiteres aus den obigen Erläuterungen, so dass von einer Wiederholung an dieser Stelle Abstand genommen wird. Zeichnungen The invention is in addition to the method described above, an applicable in this process pressure roller. Their features according to embodiments of the invention will become apparent from the above explanations, so that is omitted from a repetition at this point. drawings

Vorteile und Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben sich im Übrigen aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Figuren. Von diesen zeigen: Incidentally, advantages and expediencies of the invention will become apparent from the following description of exemplary embodiments with reference to the figures. From these show:

Fig. 1 eine schematische Querschnittsdarstellung zur Erläuterung des Standes der Technik, 1 is a schematic cross-sectional view for explaining the prior art,

Fig. 2 eine schematische Querschnittsdarstellung einer Ausführungsform der Erfindung, 2 is a schematic cross-sectional view of an embodiment of the invention,

Fig. 3 eine schematische Querschnittsdarstellung einer weiteren Fig. 3 is a schematic cross-sectional view of another

Ausführungsform der Erfindung, Fig. 4 eine schematische Querschnittsdarstellung einer Druckwalze gemäß einer Ausführung der Erfindung und Embodiment of the invention, Fig. 4 is a schematic cross-sectional view of a pressure roller according to an embodiment of the invention and

Fig. 5 eine schematische Querschnittsdarstellung einer Druckwalze gemäß einer weiteren Ausführung der Erfindung. Fig. 5 is a schematic cross-sectional view of a pressure roller according to another embodiment of the invention.

Fig. 1 zeigt einen stark vergrößerten Ausschnitt aus der Oberfläche einer harten Druckwalze 1 mit herkömmlichem Aufbau, etwa aus verchromtem Kupfer, mit Gravurbereichen 3a, 3b in einem Druckvorgang über ein relativ hartes Substrat 5 mit unebener bzw. strukturierter Oberfläche. Es ist zu erkennen, dass der Kontakt zwischen Druckwalzenoberfläche und Substratoberfläche unvollkommen ist und der Gravurbereich 3a teilweise und der Gravurbereich 3b vollständig „in der Luft hängen", also keine oder jedenfalls keine befriedigende Übertragung von Druckpaste auf das Substrat ermöglichen. Fig. 1 shows a greatly enlarged section of the surface of a hard pressure roller 1 of conventional construction, such as chromium-plated copper, with engraving areas 3a, 3b in a printing process over a relatively hard substrate 5 with uneven or structured surface. It can be seen that the contact between the pressure roller surface and the substrate surface is imperfect and the engraving area 3a is partially and the engraving area 3b completely "suspended in the air", thus making possible no or at least no satisfactory transfer of printing paste to the substrate.

Fig. 2 zeigt, dass demgegenüber eine Druckwalze 1' mit elastisch nachgiebiger („weicher") Oberflächenschicht in den Gravurbereichen 3a' und 3b' in perfekten Kontakt mit der Oberfläche des unebenen Substrats 5 kommt und somit eine wesentlich verbesserte Übertragung von Druckpaste auf die Substratoberfläche möglich wird. Wenn insbesondere die Oberflächenenergie bzw. -Spannung des Materials, aus dem die Oberfläche der Druckwalze gefertigt ist, auf einen möglichst niedrigen Wert (insbesondere bezogen auf die Oberflächenenergie bzw. -Spannung des Substratmaterials) vorgegeben ist, erfolgt eine im Wesentlichen vollkommene Übertragung der Druckpaste aus den Gravurbereichen. Die vorgenannten Feststellungen gelten in gleichem Maße für die in Fig. 3 dargestellte Situation, wo die Druckwalze 1' im Vorgang des Bedruckens eines stark strukturierten Substrats 5' dargestellt ist. Fig. 4 zeigt in einer schematischen Querschnittsdarstellung eine mehrschichtige Druckwalze 10, die neben einem mittigen Dorn 11 einen harten Kern 13 und an dessen Umfang eine Oberflächenschicht 15 aus einem elastisch nachgiebigen Material hat, welches hier zugleich als Klischeematerial dient. Es versteht sich, dass das Material der Oberflächenschicht, beispielsweise ein Polymermaterial, derart ausgewählt sein muss, dass darin feine Gravuren entsprechend den auf einem Substrat zu erzeugenden Strukturen, insbeson- dere reproduzierbar bei einer Vielzahl von Druckvorgängen, möglich sind. On the other hand, FIG. 2 shows that a pressure roller 1 'with an elastically soft surface layer in the engraving areas 3a' and 3b 'comes into perfect contact with the surface of the uneven substrate 5 and thus a substantially improved transfer of printing paste to the substrate surface If, in particular, the surface energy or stress of the material from which the surface of the pressure roller is made is set to the lowest possible value (in particular based on the surface energy or stress of the substrate material), a substantially complete transmission takes place The aforementioned statements apply to the same extent to the situation illustrated in Fig. 3, where the pressure roller 1 'is shown in the process of printing on a heavily structured substrate 5' Fig. 4 shows in a schematic cross-sectional illustration a multilayered one Pressure roller 10, the next to egg a central mandrel 11 a hard core 13th and at the periphery of which a surface layer 15 made of an elastically yielding material has, which here also serves as a cliché material. It is understood that the material of the surface layer, for example a polymer material, must be selected such that fine engraving in accordance with the structures to be produced on a substrate, in particular reproducibly in a large number of printing operations, is possible.

Fig. 5 zeigt als alternative Ausführungsform eine Druckwalze 10', bei der auf den Dorn 11 abnehmbar ein relativ weicher Kern 13' gespannt ist. Der Walzenkern 13' kann in radialer Richtung einen Härtegradienten aufweisen oder (was in der Figur nicht dargestellt ist) in sich wiederum aus mehreren konzentrischen Zylindern aus unterschiedlichen Materialien aufgebaut sein. Er trägt eine biege-verformbare, aber relativ harte Oberflächenschicht 15' als Klischee. Es kann sich hierbei um eine dünne Metallschicht handeln, die aber dick genug zur Erzeugung der gewünschten Gravuren ist und die die vielfach reproduzierbare Erzeugung besonders feiner Strukturen auf einem zu bedruckenden Substrat (etwa von feinen Leiterzügen) auf einem Schaltungssubstrat) ermöglicht. Fig. 5 shows as an alternative embodiment, a pressure roller 10 ', in which on the mandrel 11 removably a relatively soft core 13' is stretched. The roll core 13 'may have a hardness gradient in the radial direction or (which is not shown in the figure) in turn be composed of a plurality of concentric cylinders made of different materials. He wears a bend-deformable, but relatively hard surface layer 15 'as a cliché. This may be a thin metal layer, which is thick enough to produce the desired engravings and which enables the reproducible production of particularly fine structures on a substrate to be printed (for example of fine circuit traces) on a circuit substrate.

Im Rahmen fachmännischen Handelns ergeben sich weitere Ausgestaltungen und Ausführungsformen des hier nur beispielhaft beschriebenen Verfahrens und der Vorrichtung. Within the scope of expert action, further refinements and embodiments of the method and apparatus described here by way of example only arise.

Claims

Ansprüche claims Verfahren zur Herstellung einer elektronischen Schaltung, die eine Mehrzahl von Schaltungselementen mit vorbestimmtem Querschnitt und einer Funktionsschichtdicke von bevorzugt weniger als 200 nm auf einem Schaltungssubstrat (5;5') umfasst, unter Einsatz einer Druckwalze (10;10'), wobei die Druckwalze eine elastisch nachgiebige Oberflächenschicht (15) oder oberflächennahe Schicht (13') aufweist, derart, dass die Druckwalzen-Oberfläche sich an Unebenheiten des Schaltungssubstrats elastisch anschmiegt. A method of making an electronic circuit comprising a plurality of circuit elements of predetermined cross-section and having a functional layer thickness of preferably less than 200 nm on a circuit substrate (5; 5 ') using a pressure roll (10; 10'), said pressure roll having a elastically compliant surface layer (15) or near-surface layer (13 '), such that the pressure roller surface conforms to unevenness of the circuit substrate elastically. Verfahren nach Anspruch 1, Method according to claim 1, wobei die Druckwalze (10;10') ein Druckform- bzw. Klischeematerial mit niedriger Oberflächenenergie aufweist.  wherein the pressure roller (10; 10 ') comprises a low surface energy printing plate material. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, Method according to claim 1 or 2, wobei als Substrat (5;5') ein starres und/oder sprödes und/oder auf der zu bedruckenden Oberfläche strukturiertes Substrat, etwa aus einem Glas, einer Keramik oder einem Metall großer Härte, eingesetzt wird.  wherein as the substrate (5, 5 ') a rigid and / or brittle and / or on the surface to be printed textured substrate, such as a glass, a ceramic or a metal of high hardness, is used. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, Method according to one of the preceding claims, wobei eine Druckwalze (10;10') mit mindestens einer polymeren Oberflächenschicht oder oberflächennahen Mantelschicht eingesetzt wird.  wherein a pressure roller (10, 10 ') with at least one polymeric surface layer or near-surface cladding layer is used. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, Method according to one of the preceding claims, wobei eine in als zylindrische Hülse, sog. Sleeve gefertigte Druckwalze wherein in a cylindrical sleeve, so-called. Sleeve made pressure roller (10;10') mit einer abnehmbaren elastisch nachgiebigen (10; 10 ') with a removable elastically yielding Oberflächenschicht oder oberflächennahen Mantelschicht eingesetzt wird.  Surface layer or near-surface cladding layer is used. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, ausgestaltet als Verfahren zur Herstellung einer organischen Solarzellenstruktur. Method according to one of the preceding claims, designed as a method for producing an organic solar cell structure. 7. Druckwalze (10;10') mit einer elastisch nachgiebigen Oberflächenschicht (15) oder oberflächennahen Mantelschicht (13'). 7. pressure roller (10, 10 ') with an elastically compliant surface layer (15) or near-surface cladding layer (13'). 8. Druckwalze (10;10') nach Anspruch 7, die ein Klischeematerial mit niedriger Oberflächenenergie aufweist. A platen (10; 10 ') according to claim 7, comprising a low surface energy cliche material. 9. Druckwalze (10;10') nach Anspruch 7 oder 8, mit einer polymeren Oberflächenschicht (15) oder oberflächennahen Mantelschicht (13') 9. Pressure roller (10, 10 ') according to claim 7 or 8, with a polymeric surface layer (15) or near-surface cladding layer (13'). 10. Druckwalze nach einem der Ansprüche 7 bis 9, wobei eine elastisch nachgiebige Oberflächenschicht (15) oder oberflächennahe Mantelschicht (13') abnehmbar auf einen Dorn (11) aufgespannt ist. 10. A pressure roller according to any one of claims 7 to 9, wherein an elastically compliant surface layer (15) or near-surface cladding layer (13 ') is detachably mounted on a mandrel (11).
PCT/EP2011/069548 2011-01-04 2011-11-07 Method for producing an electronic circuit, printing roller and method for producing same Ceased WO2012092991A1 (en)

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