[go: up one dir, main page]

WO2008106928A3 - Verfahren zur herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren membranen sowie magnetischer aktor mit einer derartigen membran - Google Patents

Verfahren zur herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren membranen sowie magnetischer aktor mit einer derartigen membran Download PDF

Info

Publication number
WO2008106928A3
WO2008106928A3 PCT/DE2008/000313 DE2008000313W WO2008106928A3 WO 2008106928 A3 WO2008106928 A3 WO 2008106928A3 DE 2008000313 W DE2008000313 W DE 2008000313W WO 2008106928 A3 WO2008106928 A3 WO 2008106928A3
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
membranes
membrane
layer
particles
magnetic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/DE2008/000313
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
WO2008106928A2 (de
Inventor
Thomas Otto
Andreas Morschhauser
Joerg Nestler
Thomas Gessner
Sebastian Voigt
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Technische Universitaet Chemnitz
Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Original Assignee
Technische Universitaet Chemnitz
Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Technische Universitaet Chemnitz, Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV filed Critical Technische Universitaet Chemnitz
Publication of WO2008106928A2 publication Critical patent/WO2008106928A2/de
Publication of WO2008106928A3 publication Critical patent/WO2008106928A3/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • B81C1/00642Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for improving the physical properties of a device
    • B81C1/00698Electrical characteristics, e.g. by doping materials
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C1/00Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
    • B81C1/00015Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems
    • B81C1/00134Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems comprising flexible or deformable structures
    • B81C1/00158Diaphragms, membranes
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04BPOSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B43/04Pumps having electric drive
    • F04B43/043Micropumps
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/01Switches
    • B81B2201/012Switches characterised by the shape
    • B81B2201/016Switches characterised by the shape having a bridge fixed on two ends and connected to one or more dimples
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/03Microengines and actuators
    • B81B2201/036Micropumps
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2201/00Specific applications of microelectromechanical systems
    • B81B2201/03Microengines and actuators
    • B81B2201/038Microengines and actuators not provided for in B81B2201/031 - B81B2201/037
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81BMICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2203/00Basic microelectromechanical structures
    • B81B2203/01Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
    • B81B2203/0127Diaphragms, i.e. structures separating two media that can control the passage from one medium to another; Membranes, i.e. diaphragms with filtering function

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Micromachines (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • Soft Magnetic Materials (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren Membranen, insbesondere für Schalter oder Pumpen. Bei dem Verfahren werden Mikro- und/oder Nanopartikel (5) mit magnetischen und/oder elektrischen Eigenschaften mit einem in fließfähigem Zustand befindlichen Matrixmaterial vermischt, das nach einer Verfestigung elastische Eigenschaften aufweist. Das Matrixmaterial wird als Schicht (1) auf ein Substrat aufgebracht und eine Verteilung der Partikel in der Schicht (1) mit einem oder mehreren elektrischen und/oder magnetischen Feldern gezielt verändert, um eine Anhäufung (2, 3) der Partikel (5) an einer oder mehreren Stellen der Schicht (1) zu erhalten. Die Schicht (1) wird anschließend mit den angehäuften Partikeln zur Bildung einer oder mehrerer Membranen (16) verfestigt. Die Erfindung betrifft auch einen magnetischen Aktor mit einer derartigen Membran. Das Verfahren ermöglicht die Nutzung von elastischen Membranen mit eingelagerten magnetischen oder magnetisierbaren Partikeln, ohne die elastischen Eigenschaften in bestimmten Bereichen der Membran negativ zu beeinflussen.
PCT/DE2008/000313 2007-03-07 2008-02-22 Verfahren zur herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren membranen sowie magnetischer aktor mit einer derartigen membran Ceased WO2008106928A2 (de)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102007010951.4 2007-03-07
DE102007010951 2007-03-07
DE102007051977.1 2007-10-31
DE102007051977A DE102007051977A1 (de) 2007-03-07 2007-10-31 Verfahren zur Herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren Membranen sowie magnetischer Aktor mit einer derartigen Membran

Publications (2)

Publication Number Publication Date
WO2008106928A2 WO2008106928A2 (de) 2008-09-12
WO2008106928A3 true WO2008106928A3 (de) 2009-01-22

Family

ID=39678107

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE2008/000313 Ceased WO2008106928A2 (de) 2007-03-07 2008-02-22 Verfahren zur herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren membranen sowie magnetischer aktor mit einer derartigen membran

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102007051977A1 (de)
WO (1) WO2008106928A2 (de)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2947813B1 (fr) * 2009-07-07 2011-12-16 Centre Nat Rech Scient Microsysteme de generation d'un jet synthetique, procede de fabrication et dispositif de controle d'ecoulement correspondants.
WO2011107996A1 (en) * 2010-03-03 2011-09-09 The Secretary, Department Of Atomic Energy, Govt. Of India A flexible magnetic membrane based actuation system and devices involving the same.
ITTO20110347A1 (it) * 2011-04-20 2012-10-21 Fond Istituto Italiano Di Tecnologia Attuatore magnetico con membrana nanocomposita
DE102014201898B4 (de) * 2014-02-03 2018-05-17 Universität Kassel Verfahren zum Herstellen vom Mikroobjekten und Mikroobjekt
DE102014003357A1 (de) * 2014-03-06 2015-09-10 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung oberflächenmodifizierter Silikonschichten
DE102014226138A1 (de) * 2014-12-16 2016-06-16 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung mit einer dreidimensionalen magnetischen Struktur
DE102016215617A1 (de) 2016-08-19 2018-02-22 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Herstellen eines Hohlraums mit poröser Struktur
EP3552248B1 (de) * 2016-12-09 2020-04-22 Koninklijke Philips N.V. Aktuatorvorrichtung und -verfahren
US20210270253A1 (en) * 2018-07-02 2021-09-02 Trustees of Tuffs College Systems and methods for a remote control actuator
FI130275B (fi) * 2020-06-23 2023-05-31 Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy Virtauslaite, virtausjärjestelmä, menetelmä aktuaattorimagneetin valmistamiseksi substraatille ja menetelmä virtauslaitteen valmistamiseksi
US12060262B2 (en) 2021-04-23 2024-08-13 Otowahr Technology Inc. Electromagnetic microspeaker, its coil module, speaker/coil module array and preparation method thereof

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0650142A1 (de) * 1993-10-22 1995-04-26 Tomoegawa Paper Co. Ltd. Magnetisches Aufzeichnungsmedium und Verfahren zu seiner Herstellung
US5472539A (en) * 1994-06-06 1995-12-05 General Electric Company Methods for forming and positioning moldable permanent magnets on electromagnetically actuated microfabricated components
EP0756272A2 (de) * 1995-07-28 1997-01-29 Eastman Kodak Company Magnetisches Medium mit dauermagnetischem Merkmal
EP1398296A2 (de) * 2002-09-06 2004-03-17 C.R.F. Società Consortile per Azioni Verfahren zur Herstellung von dreidimensionalen Nanostrukturen und Mikrostrukturen

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0650142A1 (de) * 1993-10-22 1995-04-26 Tomoegawa Paper Co. Ltd. Magnetisches Aufzeichnungsmedium und Verfahren zu seiner Herstellung
US5472539A (en) * 1994-06-06 1995-12-05 General Electric Company Methods for forming and positioning moldable permanent magnets on electromagnetically actuated microfabricated components
EP0756272A2 (de) * 1995-07-28 1997-01-29 Eastman Kodak Company Magnetisches Medium mit dauermagnetischem Merkmal
EP1398296A2 (de) * 2002-09-06 2004-03-17 C.R.F. Società Consortile per Azioni Verfahren zur Herstellung von dreidimensionalen Nanostrukturen und Mikrostrukturen

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
NAGEL J J ET AL: "Magnetically actuated micropumps using an Fe-PDMS composite membrane", PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING - SMART STRUCTURES AND MATERIALS 2006 - SMART ELECTRONICS, MEMS, BIOMEMS, AND NANOTECHNOLOGY 2006 SPIE US, vol. 6172, 2006, XP007906232 *

Also Published As

Publication number Publication date
WO2008106928A2 (de) 2008-09-12
DE102007051977A1 (de) 2008-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2008106928A3 (de) Verfahren zur herstellung von elektrisch und/oder magnetisch ansteuerbaren membranen sowie magnetischer aktor mit einer derartigen membran
WO2008130465A3 (en) Nanodevices for spintronics methods of using same
WO2011127148A9 (en) Production of highly conductive carbon nanotube-polymer composites
ATE521071T1 (de) Magnetorheologische kompositmaterialien mit hartmagnetischen partikeln, verfahren zu deren herstellung sowie deren verwendung
WO2014205002A3 (en) Magnet recycling to create nd-fe-b magnets with improved or restored magnetic performance
WO2010117875A3 (en) Composite thermoelectric material and method for producing the same
WO2013025994A3 (en) Spin hall effect magnetic apparatus, method and applications
TW200626747A (en) Selective placement of carbon nanotubes on oxide surfaces
WO2012159096A3 (en) Nanostructured high-strength permanent magnets
WO2013021257A3 (en) Electro permanent magnetic system with magnetic state indicator
WO2008139690A1 (ja) NdFeB系焼結磁石製造方法
WO2009049608A3 (de) Encoderelement zur anzeige einer stellung oder bewegung eines lagerbestandteils
WO2010065340A3 (en) Magnetically actuated system
WO2010035258A3 (en) Discrete metallic copper nanoparticles
WO2009013711A3 (de) Verfahren zur herstellung von magnetkernen, magnetkern und induktives bauelement mit einem magnetkern
EP2055501A3 (de) Verfahren zur Herstellung eines Sicherheitsmediums und Sicherheitsmedium
WO2015006660A3 (en) Low ohmic loss radial superlattice conductors
WO2011029629A3 (de) Verfahren zur herstellung eines elektrischen bauteils und elektrisches bauteil
TR201900212T4 (tr) Bir ayırma kanalı içinden akan bir süspansiyon içinde taşınan mıknatıslanabilir ve mıknatıslanamaz partiküllerin ayrılması için ayırma aygıtı.
DE502007006883D1 (de) Erfahren zu seiner herstellung
WO2008055855A3 (de) Photonische kristalle aus ungeladenen polymerteilchen
WO2012123348A3 (de) Magnetoelektronisches bauelement und verfahren zu seiner herstellung
WO2010119091A3 (de) Gesinterter gleitlagerwerkstoff und gleitlagerelement
WO2008034732A3 (de) Schichtstruktur und verfahren zur herstellung einer schichtstruktur
WO2013095139A3 (en) Magnetization reversal

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 08706909

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 08706909

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2