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WO2008106928A3 - Procédé pour produire des membranes à commande électrique et/ou magnétique et actionneur magnétique muni d'une telle membrane - Google Patents

Procédé pour produire des membranes à commande électrique et/ou magnétique et actionneur magnétique muni d'une telle membrane Download PDF

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WO2008106928A3
WO2008106928A3 PCT/DE2008/000313 DE2008000313W WO2008106928A3 WO 2008106928 A3 WO2008106928 A3 WO 2008106928A3 DE 2008000313 W DE2008000313 W DE 2008000313W WO 2008106928 A3 WO2008106928 A3 WO 2008106928A3
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membranes
membrane
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particles
magnetic
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Andreas Morschhauser
Joerg Nestler
Thomas Gessner
Sebastian Voigt
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Technische Universitaet Chemnitz
Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
Original Assignee
Technische Universitaet Chemnitz
Fraunhofer Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung eV
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Abstract

L'invention concerne un procédé permettant de produire des membranes à commande électrique et/ou magnétique, notamment pour des commutateurs ou des pompes. Selon le procédé, des microparticules et/ou des nanoparticules (5) présentant des propriétés magnétiques et/ou électriques sont mélangées à un matériau matriciel à l'état coulant, qui présente des propriétés après solidification. Le matériau matriciel est appliqué sous forme de couche (1) sur le substrat et modifie de manière ciblée la répartition des particules dans la couche (1) avec un ou plusieurs champs électriques et/ou magnétiques, afin d'obtenir une accumulation (2, 3) des particules (5) en un ou en plusieurs points de la couche (1). Ladite couche (1) est ensuite compactée avec les particules accumulées afin de former une ou plusieurs membranes (16). L'invention concerne également un actionneur magnétique muni d'une telle membrane. Ledit procédé permet d'utiliser des membranes élastiques comportant des particules magnétiques ou magnétisables incorporées dedans, sans influer de manière négative sur les propriétés élastiques dans des zones déterminées de la membrane.
PCT/DE2008/000313 2007-03-07 2008-02-22 Procédé pour produire des membranes à commande électrique et/ou magnétique et actionneur magnétique muni d'une telle membrane Ceased WO2008106928A2 (fr)

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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2947813B1 (fr) * 2009-07-07 2011-12-16 Centre Nat Rech Scient Microsysteme de generation d'un jet synthetique, procede de fabrication et dispositif de controle d'ecoulement correspondants.
WO2011107996A1 (fr) * 2010-03-03 2011-09-09 The Secretary, Department Of Atomic Energy, Govt. Of India Système d'actionnement à base de membrane magnétique flexible, et dispositifs comprenant ce système
ITTO20110347A1 (it) * 2011-04-20 2012-10-21 Fond Istituto Italiano Di Tecnologia Attuatore magnetico con membrana nanocomposita
DE102014201898B4 (de) * 2014-02-03 2018-05-17 Universität Kassel Verfahren zum Herstellen vom Mikroobjekten und Mikroobjekt
DE102014003357A1 (de) * 2014-03-06 2015-09-10 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung oberflächenmodifizierter Silikonschichten
DE102014226138A1 (de) * 2014-12-16 2016-06-16 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung mit einer dreidimensionalen magnetischen Struktur
DE102016215617A1 (de) 2016-08-19 2018-02-22 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum Herstellen eines Hohlraums mit poröser Struktur
EP3552248B1 (fr) * 2016-12-09 2020-04-22 Koninklijke Philips N.V. Dispositif actionneur et procédé
US20210270253A1 (en) * 2018-07-02 2021-09-02 Trustees of Tuffs College Systems and methods for a remote control actuator
FI130275B (fi) * 2020-06-23 2023-05-31 Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy Virtauslaite, virtausjärjestelmä, menetelmä aktuaattorimagneetin valmistamiseksi substraatille ja menetelmä virtauslaitteen valmistamiseksi
US12060262B2 (en) 2021-04-23 2024-08-13 Otowahr Technology Inc. Electromagnetic microspeaker, its coil module, speaker/coil module array and preparation method thereof

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0650142A1 (fr) * 1993-10-22 1995-04-26 Tomoegawa Paper Co. Ltd. Milieu d'enregistrement magnétique et méthode pour sa fabrication
US5472539A (en) * 1994-06-06 1995-12-05 General Electric Company Methods for forming and positioning moldable permanent magnets on electromagnetically actuated microfabricated components
EP0756272A2 (fr) * 1995-07-28 1997-01-29 Eastman Kodak Company Support magnétique ayant une caractéristique magnétique permanente
EP1398296A2 (fr) * 2002-09-06 2004-03-17 C.R.F. Società Consortile per Azioni Procédé de production d'une microstructure ou nanostructure tridimensionnelle

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0650142A1 (fr) * 1993-10-22 1995-04-26 Tomoegawa Paper Co. Ltd. Milieu d'enregistrement magnétique et méthode pour sa fabrication
US5472539A (en) * 1994-06-06 1995-12-05 General Electric Company Methods for forming and positioning moldable permanent magnets on electromagnetically actuated microfabricated components
EP0756272A2 (fr) * 1995-07-28 1997-01-29 Eastman Kodak Company Support magnétique ayant une caractéristique magnétique permanente
EP1398296A2 (fr) * 2002-09-06 2004-03-17 C.R.F. Società Consortile per Azioni Procédé de production d'une microstructure ou nanostructure tridimensionnelle

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
NAGEL J J ET AL: "Magnetically actuated micropumps using an Fe-PDMS composite membrane", PROCEEDINGS OF SPIE - THE INTERNATIONAL SOCIETY FOR OPTICAL ENGINEERING - SMART STRUCTURES AND MATERIALS 2006 - SMART ELECTRONICS, MEMS, BIOMEMS, AND NANOTECHNOLOGY 2006 SPIE US, vol. 6172, 2006, XP007906232 *

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