TWI360652B - Glass inspection systems and method for using same - Google Patents

Description

1360652 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明一般係關於檢視系統以及使用來辨識玻璃片上 或玻璃片内缺陷之方法。 【先前技術】 玻璃片製造商永遠地嘗試設計新穎的及改良的檢視系 統，其能夠使用來辨識玻璃片上或玻璃片内(例如液晶顯示 器玻璃基板)之缺陷(例如雜質，刮痕，污點，氣泡，細線條或 其他與表面不連續性地或材料非均勻性之缺點）^數項新 穎的及改良檢視系統為本發明主要目標。 【發明内容】 本發明包含數項檢視系統及辨識玻璃片上或玻璃片内 缺陷(雜質，刮痕，污點，氣泡，細線條)方法之不同實施例。 在一項實施例中，檢視系統包含照明器，透鏡及透鏡掃描咸 測器。照明器發射光束以及透鏡接收光束以及再發射平^于 光束通過部份玻璃片。線掃瞄感測器再接收通過玻璃片之 平行光束以及能夠聚焦於玻璃片中缺陷上而不需要使另一 透鏡放置於線掃瞄感測器及玻璃片之間。 【實施方式】 —參考圖1A-1F，其中顯示出依據本發明檢視系統1〇〇第 一實施例相關之六個圖式。圖1A顯示檢視系統1〇〇包含產 生雷射光線104之二極體1〇2,該光線通過圓柱形透鏡1〇6， 其折射所有雷射光線104成為平行光束1〇8,該光束透射通 過玻璃片110及被線性掃瞄感測器112接收。檢視系統1〇〇 重要項目在於線性掃瞄感測器112能夠聚焦於玻璃片u〇中 缺陷上而不需要放置另一透鏡於線性掃瞄感測器112與玻 璃片no之間。在該範例中，圓柱形透鏡106與感測器112間 距離大約為4"。平行光束ι〇8之光束寬度約為3_5„。以及， 玻璃片110在圓柱形透鏡1〇6及感測器112間之位置能夠變 第5 頁 1360652 化±1英ρ寸。 檢視系統100為顯著的改善優於傳統檢視系統，傳統檢 視系統需要透麵確地放置於玻璃片110與感測器112之門 以聚焦於玻璃片110中之缺陷。例如，傳統‘視系統能夠曰 測出大約1至200微求之缺陷，其需要具有場深為小於數毫 米。加以比較，本發明之檢視系統100相對具有場深度在數 英吋範圍内。即因為檢視系統100依靠光線104直接^由雷 射102運行通過準直透鏡106(目的在於使光線彼此平彳# 行)到達感測器112中小的感測器元件。假如任何小的物體 例如缺陷擾動光學路徑，則該擾動被感測器112所捕捉。擾 動會^生於雷射102與感測112間光學路徑中任何點處。 因而當與傳統檢視系統作比較時，檢視家統能夠利用對 物距非常不嚴格之感測器進行感測及量測缺陷。 &圖1B-1E顯示出不同玻璃片11〇相關之不同的缺陷影像 ，其藉由檢視系統100加以掃瞄。為了得到每一影像，感測 器112將輸出數位化影像以及輸入至計算機(並未顯示出）， 其利用影像處理演算法加以分析，使得其能夠以圖像形式 顯示出。觀看所產生之影像，人們了解訊號強度由缺陷所 產生。缺陷為小的雜質以及在該系列試驗中，其為小顆粒 翻，錯，不鏽鋼或一些其他污染物。為了產生這些影像，雷 射102必需產生高度同調光線1〇4以產生夫涅耳效應。夫涅 耳效應發生於光線能量繞著黑的缺陷運行以及形成為尖峰 ，夠高於雷射所產生之光線1〇4。因而夫涅耳效應產生 非常高之訊劈比，其能夠使小的缺陷容易地感測出。 圖1F為曲線圖，其顯示出玻璃片11〇中距離感測器112 為1，1.5，2.0"，2.5"及3"位置處掃瞄缺陷大小之變化。 缺陷尺寸會變化，但是與其他量測比較為較小的，以及變化 為y量測的以及可預測的。曲線圖亦顯示出當缺陷離開感 ’則器112較遠時，缺陷之計算出尺寸比預測數值大。除此， 第6 頁 1360652 曲線圖顯示該尺寸變化倒數為改正係數，當玻璃片110與感 測器m間之距離多已知咚能夠使用該係、獒枣言十算缺陷之 改正尺寸。 檢視系統100亦具有數項其他優點，其說明於底下： •檢視系統100具有光學幾何形狀(入射光線角度/反射光 線之角度)，其產生虛擬或等值場深度約為數英吋而非數毫 米。對於大的LCD玻璃片（例如2m X 2m)，其無法容易地處 理或移動，其表示感測器能夠相對於玻璃表面改變數英吋 以及缺陷仍然能夠加以感測及量測。 •檢視系統100使用透射雷射幾何特性，該特性為非常有效 方式使光線到達感測器。使用小的高速感測器之其他幾何 特性為缺乏光線，而對5至1〇〇微米之缺陷感測並不實用。 •檢視系統100亦能夠加以實施而不使用圓柱形透鏡106， 但是結果為精確的。例如，在該實施例中，需要更多處理以 計算玻璃片110中缺陷之存在及量測。 、 參考圖2A-2C，其顯示出依據本發明檢視系統2〇〇第二 實施例相關之三個圖式。圖2A顯示檢視系統2〇〇包含產生 雷射光線204之工^體202,該光線通過圓柱形透鏡206,其 折射所有雷射光線204成為平行光束208,該光束儘可能接 近垂直地透射通過玻璃片21〇。在該處理過程中，部份(大 約4%)光束208被反射離開玻璃片21〇之前端表面以及部份( 大約4-5%)光束208被反射離開玻璃片21〇之後端表面。兩 個被反射光束211被線性掃瞄感測器212接收。因為雷射光 士為高度同調，兩個所反射光束2Π能夠使感測器212及計 算機(並未顯示出）以產生干涉圖案之影像。 如圖2A所示，當同調光束2〇8導引至玻璃片210,其亦由 ^210前端及後端表面反射以及兩個反射波產生加強 銷相位而產生條紋圖案(參閱圖2Β)。該條紋圖案能夠 藉由改變厚度或改變玻璃片21〇折射率而加以改變。彳鼠如 1360652 玻璃片210中折射率及/或厚度少量變化，條紋圖案以南北 方向傳播。假如每;單位面積在東西方向存在大量條紋之形 成，其表示厚度變化更為顯著及/或折射率變：更為顯著。 因而，由雷射202產生之同調光線2〇4能夠使厚度或折射率 變化被感測器212感測到以及被計算機(並未顯示出）繪製 出。除此，能夠使用計算機藉由平均條紋圖案縱列以及求 出該總和最小值及最大值以增加量測玻璃片21 〇厚度或折 射率變化之精確度(注意最小值及最大值為偏移9〇度相位 以及表示使用來進行量測光線一半波長之厚度變化）。人 們亦能夠藉由細分最小點與最大點間區域為1/1〇可量測低 至1/10波長。 、— 在圖2B及2C中顯示兩個範例性干涉圖案。在圖2β中 在干涉圖案中每一條紋代表玻璃片210厚度變化等於光束 204波長之一半。在圖2C中，線性掃瞄CCD產生影像顯示出 玻璃片210中之雜質。人們了解該影像中央部份為192微米 雜質之反射。該影像亦包含一些條紋圍繞著中央部份。這 些條紋顯示厚度及/或折射率變化，其由玻璃板内專暗 雜質所產生。 …9 有可能產生這些影像，因為兩條反射光束211形成同調 波形，其當光東運行通過雷射光線204 —半波長間距空間^ 加強及減弱相(增加強度及減小強度）。例如彳艮如使用^皮長 為400舰紫色雷射202,則每一 200nm可看到條紋明亮區域以 及在200nm間距處可看到條紋之黑暗區域。黑暗區域及明 亮區域分離光線1/6波長。假如使用光線2U則明亮至黑暗 分離為66nm。由於該現象，能夠使用感測器212於^射^'^ 場掃瞄幾何特性，使得感測器能夠感測明亮及黑暗條紋圖冗 案。藉由橫越該條紋圖案，人們能夠計算明亮條紋(^累暗 條紋)數目以及該計數乘以光線211波長之1/3以測定出曰玻 璃片210厚度改變大小。通常藉由該本身分析，無法測定出 1360652 是否條紋圖案變化是由厚度變化或由折射率變化產生。不 過，假如人們對玻璃製造處理過程具有經驗，其能夠分析干 涉圖案以及測定出產生獨特條紋圖案之原因。 檢視系統200亦能夠量測雷射光線2〇4波長失真之百分 比。此為可能的，因為條紋圖案由兩個波形干涉產生，當光 線通過雷射光線204波長1/3間距空間時將加強及相位 。人們能夠將條紋最高強度(最亮部份)以〇度表示以及最 低強度(黑暗部伤）以90度表不。因而，人們可推論在本範 例中條紋圖案中最明亮及最黑暗部份間一半之點處為45度 ，因為其相對應於光線204波長1/12。對於紫色光線400^!! 雷射，該數值大約為紫色光線(404nm)之30nm。此即為人們 如何將條紋圖案組譯低至條紋之1/12。 檢視系統200亦具有數項其他優點，其將說明於底下： •饭如入射光線204角度能夠保持相當地接近垂直於玻璃 片210,則該光學幾何特性能夠產生虛擬場深度大約為數英 吋而非數毫米。對於大的玻璃片（例如2m X 2m )，其無法 容易地處理或移動，其表示感測器能夠相對玻璃表面改變 數英忖以及缺陷仍然能夠加以感測及量測。該掃猫組件增 加之自由度能夠使玻璃片當由標準工廠輸送系統移動時被 掃瞒。 •檢視系統200能夠使玻璃片作厚度量測以及感測微細缺 陷而不需要精確地定位玻璃片。 •檢視系統200產生局部資訊關於缺陷以扭曲玻璃片表面 以及該扭曲能夠量測低至掃瞄所使用雷射光線波長之一個 百分比。人們能夠分析由檢視系統2〇〇產生之條紋圖案以 及再測定出玻璃片210厚度之全域變化。 •檢視系統200能夠感測及量測雜質區域中厚度或折射率 變化。 •檢視系統200亦能夠感測任何玻璃片21〇抽拉方向厚度或 第9頁 1360652 折射率變化，其將顯示變化本身為經由缺陷視場之條紋。 •檢視系統200亦能夠_實施而不需要圓柱形透鏡2〇6,但是 結果為精確的。例如，在另一實施例中，需要更多處理以計 鼻出玻璃片210中厚度或折射率變化。 參考圖3A-3C，其顯示出依據本發明檢視系統3〇〇第三 實施例相關之五個圖式。圖3Α顯示檢視系統300包含感測 器302以及使用來辨識玻璃片306應力之照明器304。在該 範例中照明器304包含雷射316及透鏡308(選擇性)，其發射 出偏極光束310a通過部份移動玻璃片306。感測器(例如三 -線性感測器302)使用三列感測器312a，312b及312c(例如 CCD感測器312a，312b及312c)以接收通過玻璃片306之偏極 化光束310b(參閱圖3B)。在該範例中，偏極光束3i〇a為3-5 英吋寬度。感測器302位於距離移動玻璃片306大約2"處。 如圖3B所示，第一列CCD感測器312a為模組化/塗覆第 一偏極塗膜314a，其將入射光線31〇b偏極化為〇度指向。第 二列CCD感測器312b為模組化/塗覆第二偏極塗膜314b，其 將入射光線310b偏極化相對於CCD感測器312a具有120度指 向。第三列CCD感測器312c為模組化/塗覆第三偏極塗臈 314c，其將入射光線310b偏極化相對於CCD感測器312a具有 240度指向。可加以變化，人們了解檢視系統300能夠與偏 極塗膜312a，312b及312c運作，只要三個角度間相對之角度 差值為120度。120度相對角度差值變化越大，則檢視系統 300變為越不精確，但是仍然可運作。相位角度為丨5度，i % 度及255度與0度，120度及240度運作情況一樣良好，因為其 相對角度差值為120度。角度為15度，160度及230度將可運 作，但是不會產生最精確之結果。因而，相對角度差值應該 接近120度以及任何偏離該理想值將導致較不精確之檢視 系統300,但是仍然產生可接受之結果。 在操作中，當感測器302以偏極光線310b照射時，由每 第10 頁 1360652 一列CCD感測器312a, 312b及312c輸出為輸入偏極光線3i〇b 與每一列CCD.感測器312a, 312b及312c相關偏極遽波器角度 之向量積。因而，當偏極光線310a通過含有可感測應力之 玻璃片306時，則應力改變光束310b偏極角度，其產生係來 自三個線性掃瞄列CCD感測器312a，312b及312c之訊號亦相 對於應力大小改變。使用這些訊號以辨識玻璃片306中應 力。 因而假如玻璃片306中並不存在應力，則接收偏極光線 310b之偏極角度將與雷射316發射出光線310a具有相同的 角度。假如玻璃片306存在少量應力，則該應力將改變少量 光線31 Ob之偏極角度，其能夠藉由分析三列偏極CCD感測器 312a，312b及312c之輸出加以量測及計算。假如在玻璃片 306存在大的應力，則通過玻璃片306之偏極光線310b角度 將大大地改變以及偏極變化能夠藉由三列偏極(XJ)感測器 312a，312b及312c加以量測。 人們可想像有可能獨特地辨識兩列CCD感測器312a及 312b(例如)偏極角度，其包含相互垂直偏極器，但是存在非 獨特性之情況。為了顯示該情況，參考圖3C至3D，當光線投 射於兩個相互垂直偏極CCD感測器312a及312b時，兩個入射 波形之兩個不同偏極角度轉變為相同的偏極大小。對於該 兩個波形並不可能獨特地辨識其偏極角度。該問題能夠藉 由增加第三列CCD感測器312c(例如)加以解決。 圖3E為相片圖，其顯示出由感測器3〇2產生之一片可動 態地彎曲LCD玻璃306的線性掃瞄景象之範例。通常，在玻 璃片306區域内改變應力值通常決定於一些環境效應以及 玻璃片306如何形成。 檢視系統300亦具有數項其他優點，其將說明於底下： •檢視系統300並不需要移動性組件。 •檢視系統300適合作為連線量測。 第11 頁 1360652 •檢視系統300能夠加以使用以產生LCD玻璃片306上所有 區域應力圖。例如，人們能夠藉由使用多個感測器對準為 一列以形成與破璃片306 一樣大長的感測器而產生玻璃片 完全應力圖以及由這些感測器3〇2產生之訊號能夠利用 計算機來產生整個玻璃片306之應力影像。 •如上述所顯示，亦能夠使用檢視系統300而不具有圓柱开j 透鏡進行，但疋結果並不十分精確。例如，在該替代實施例 中，需要更多處理以計算/辨識玻璃片306申之應力。 參考圖4A-4C，其顯示出依據本發明檢視系統棚第四 實施例相關之三個圖式。圖4A顯示檢視系統4〇〇包含彩色 多線掃猫感測器402以及多個照明器（雷射)4〇4a，4〇4b，404c 及404d(顯示出四個)，其使用來辨識玻璃片4〇6上或玻璃片 内缺陷。在該範例中，多線掃瞄感測器402具有多列CQ)感 測器412a，412b，412c及412d，每一感測器由頻譜濾波器41乜 ，414b，414c及414d所覆蓋(參閱圖3B)。四個不同的照明器 404a，404b，404c 及 404d 均發射彩色光束 416a，416b, 416c °及 416d,其能量在滤波列CCD感測器412a, 412b, 412c及412d — 個能量帶範圍内。圖4B-4C顯示出每一頻譜濾波器414a, 414b，414c及414d只能夠使只有一個特殊有益彩色(波長） 光束415a，416b，416c及416d通過到達相對應列之CQ)感測 器412a，412b，412c及412d以及阻隔所有其他光束415a， 416b，416c&416d。 ’ 在圖4A-4C所顯示範例性檢視系統4〇〇中，紅色照明器 404a發射紅色光束416a經由透鏡418以及再通過玻璃片4〇6 到達過濾CCD感測器412a列上以接收紅色光束416a之能量 帶。在該範例中，CCD感測器412a對玻璃片406中微小的雜 質十分靈敏。綠色照明器406b發射綠色光束416b，其由玻 璃片406反射回來以及導引進入過濾CCD感測器412列以接 收綠色光束416b之能量帶。在該範例中，CCD感測器412b對 第12頁 1360652 雜質及玻璃厚度為靈敏的。藍色照明器406c發射藍色光束 416c通過光栅420以及再通過玻璃片406到達參慮CQ)感測 器412c列上以接收藍色光束416c之能量帶。在該範例中， CCD感測器412c對玻璃片406中條紋及折射率變化為靈敏的 • 。灰色(紅外線)照明器406d發射灰色光束416d通過透鏡 424以及再通過玻璃片406到達過濾CCD感測器412d列上以 接收灰色光束406d之能量帶。在該範例中，CCD感測器412d 能夠量測玻璃片406中雜質之位置。在類似形式中，能夠設 計檢視系統400使用不同能量帶中光束例如紅外線及紫外 線能量帶以感測玻璃片406中其他特性。如圖所示，具有一 •個感測器檢視系統400能夠量測一些關於關於玻璃片406污 染及形狀之特性。 基於實用目的，其並不在意使用那一波長之光線41如， 416b，416c及416d以感測那一形式之特性(例如微小的雜質 ，玻璃厚度）。例如，人們能夠容易地使用紅色光束416a以 及CCD感測器412a以感測玻璃片406中折射率變化而非微小 的雜質。由於使用彩色滤波器414b，414c及414d以保持例 如由紅色雷射404a發射之紅色光線416a避免被非紅色CCD 感測器412b，412c及412d看到。此係指能夠使用不同色彩 鲁 光線416a，416b，416c及416d以分離由每一特性所提供之資 訊(幾何特性-光線入射角度以及在感測器402上反射光線 之角度)避免干擾由其他特性(幾何特性)產生之資訊。 亦無關於四種雷射406a，406b，406c及406d之波長，只 要其能夠被頻譜濾波器414a，414b，414c及414d所分離，該 濾波器放置於四列CCD感測器412a，412b，412c及412d前面 。因而，選擇雷射406a，406b，406c及406d之波長以與便宜 商業化可利用雷射例如404nm，750nm，870nm以及950nm相匹 配。除此，光線波長能夠採用200nm至2000nm任何有用的波 長。 第13 頁 檢視系統400亦具有數項其他優點，其將說明於底下： •空間，標:所有量測由-個多掃晦感感測器4〇2產生只 要其相當容易定出由每一不同線性掃瞄陣列412a，412b， 412c及412d提供不同視場間之空間關係。 •降低價格:在此兩列或多列CCD感測器412a，412b，412c及 412d能夠實祕一個級上，其係指一個按裝裝置一個界 面及儘可能地一個透鏡。 •減小尺寸:在5亥情>兄中，檢視系統棚具有一個感測器舰 而非佔用較大空間之兩個或多個感測器。 參考圖5A-5C，其顯示出依據本發明檢視系統5〇〇第五 實施例相蝴式。目前人們熟知賴使驗視系統 來掃猫一系列材料(例如紙，娜，鋼，紹，以及玻璃片）以感 測^分類像差(缺陷)，當其進行製造以得到品質控制及處 理資訊。不過，這些掃瞄處理過程會被製造處理過程中產 生之外界顆粒所取肴，該顆粒位於材料表面上以及被檢視 系統感測出。對於透明材樹列如玻璃片當顆粒(例如污物 ’灰塵，玻璃碎片）位於材料表面上，其能夠被檢視系統視為 相當於材料内之顆粒(雜質）。此導致檢視系統產生不正確 之結果。實際上，在一些處理過程中表面顆粒數目為内部 1，100倍·傾向將使掃⑽絲縣無意義。 本發明檢視系統500藉由感測埋嵌於透明材料5〇4(例如玻 璃片504)中之雙陷而不感測表面顆粒5〇6而解決該問題。 〜如圖5A及办所示，檢視系統500使用照明器508,其以特 定角度發射光線510朝向玻璃片5〇4。選擇角度使得部份光 ，510 2在雜玻璃片5〇4内進行内部反射到達一區域，該 區域為遠離光線51〇進入及離開移動玻璃片5〇4之位置。線 f掃瞄攝影機512能夠放置於一位置，使得其能夠聚焦於該 區域以及感測反射離開内部缺陷5〇2之光線以及並不感測 反射離開表面顆粒506之光線，該顆粒位於光線51〇進入及 第14 頁 離開移動玻璃片504處。該兩個圖顯示出線性掃瞄攝影機 5以其位於遠離移動性玻璃片5〇4上之點處7照明器5〇8發 出光線510進入及離開玻璃片504。在該位置之線性掃瞄攝 影機512能夠聚焦於及感測内部缺陷502而並不會感測表面 顆粒506。 在另一實施例中，線性掃瞄攝影機512能夠以線性掃瞄 感測器，時間延遲廨分(TDI)感測器及接觸感測器替代。照 明器508能夠為雷射，雷射線，或任何其他照明器例如螢光 508a(參閱圖5C)。假如使用例如螢光508a之照明器，則需 要使用及放置遮蔽514使得光線510a内部地反射至移動玻 璃片504,同時阻隔光線510a避免進入或離開移動性玻璃片 504 —點處，其中線性線性掃瞄攝影機512觀察玻璃片5〇4( 參閱圖5C中所顯示檢視系統500a)。 檢視系統500亦具有數個其他優點，其將說明於底下： •檢視系統500能夠使用來掃瞄除了玻璃片504之不同產品 格式透明材料例如玻璃捲筒，以及其他為板狀或捲筒形式 之透明材料。 參考圖6A-6D，其顯示出依據本發明檢視系統咖第六 實施例相關之四個圖式。製造玻璃業界熟知此技術者了解 當玻璃片602能夠折射準直光線至準直性差值能夠量測時， 玻璃片602折射率及/或厚度產生些微地變化。該效應當注 視玻璃片602(LCD顯示器）時能夠被肉眼感測到以及視為缺 陷。圖6A及6B顯示出該效應，當光線6〇4離開光源6〇6(雷射) 一點以及透射通過平坦不想要玻璃片602時產生，該玻璃片 折射光線604導致明亮及黑暗條紋於白色背景6〇8上。本發 明檢視系統600能夠使這些玻璃片6〇2(或任何透明平坦材 料)厚度及/或折射率些微的變化被感測出。此為重要的， 因為不想要的玻璃片602能夠在使用於製造例如LCD顯示器 之前加以感測出。 ° 第15頁 1360652 圖6C顯示出包含雷射610之檢視系統該雷射產生扇 強度相畲均勻之光線612。檢視系統6〇〇亦包含準直透鏡614 ，其使扇形格式光線612折射為平行線性光線616❶光線的6 入射於光柵618上，在本範例中該光柵週期為5〇〇對線條每 英忖以及50%填絲數。細形成一系列暗線62以及亮線 622b，其投力通過玻郁(例如w玻制_)於線性掃 瞄CCD感測器620上。在該範例中，光柵與玻璃片6〇2間距離 為2"。光栅618與感測器620間之距離為4”。平行光走fi1 β 之光束寬度-5"。 假如了片具有固定厚度及折射率之非常平坦參考玻璃 片由檢視系統600加以分析，則參考波形例如顯示於圖肋頂 部中之波形1能夠產生以及健存於計算機(並未顯示出）。 波=1顯示出由存在光柵618產生之交替明亮及黑暗區域。 a十鼻機使用波形1作為參考或標準以比較由其他玻璃片602 產生之波形。例如，假如相當良好的玻璃片602放置於光柵 618及感測器·62〇之間，則產生十分類似於波形2之波形。假 如頂部被截除，使得明亮區域為相等的以及兩個波形1及2 被刪減，則將產生類似波形3之波形。波形3顯示小的標記 於方形波之邊緣，其大小為正值或負值。標記寬度為相當 小，因為與參考玻璃片602相關之波形1大約與良好玻璃片 602相關之波形3相同。波形4為顯示於波形3中標記積分， 其只由每一波形正值邊緣產生（負值邊緣產生之標記加以 忽略）。在該情況中，波形4中所顯示標記積分為小的，因為 良好玻璃片602幾乎具有與參考玻璃片6〇2相同的品質。當 非均勻玻璃片602之波形與參考玻璃片602波形作比較時， 關於相關標記之說明將在底下提出。 在折射率改變或厚度變化之非均勻玻璃片檢視後，產 生波形6。折射率改變區域或厚度並不固定之區域促使光 線616之方向被折射或改變，其再促使波形由一侧至另一側 第16 頁 移動。假如產生波形移動至右邊，則移動通過非均勻玻璃 片602之光線616彎向右邊。同樣地假如線形移動至左邊， 則光線616彎向左邊。假如波形6由波形5扣減(其與參考波 形丄相同)，則波形7表示達成改變厚度，形狀及/或折射率。 波月1j 7中黑暗陰影區域為波形5正值邊緣產生之標記。I， 明凴"陰影區域由波形5負值邊緣產生。標記寬度為光線橫 越過非均勻玻璃片602時光線616方向變化之大小。與波形 5邊緣比較，波形7中標記方向為正值或負值決定出光線616 f向之變化。例如，與正值標記相關之波形5正值邊緣表示 光束彎向左邊。波形5中負值"黑暗"標記表示光線彎向右 邊。假如一條線由所有黑暗標記頂部劃出，則產生波形8。 假如在波形中積分值為正值，其表示光線彎向左邊，假如其 接近零，則光線無彎曲，以及假如為負值則光線彎向右邊。 基本上，波形8中大於零數值越大，則不想要非均勻玻璃片 之厚度，形狀及/或折射率變化越大。 檢視系統600亦具有數個其他優點，其將說明於底下： •能夠使用檢視系統600來量測玻璃片602中微細條紋，其 由於玻璃片602折射率變化，厚度變化或形狀變化所導致。 其產生方向及相對大小之資訊以及在通過整個玻璃片6〇2 表面產生千個讀數/英吋。 參考圖7A-7D，其顯示出依據本發明檢視系統700第七 實施例相關之四個圖式。甚至於先前所提及被檢視系統 1〇〇’ 200. ·. 600使用以掃瞄微細缺陷之技術對感測空間缺 陷為良好的，因為其具有相當大的場深。不過，該大的場深 (例如^2英吋)係指這些掃瞄技術並不具有良好能力以感測 ，陷遠離感測器。在LCD玻璃情況中，假如檢視系統能夠測 疋出是否存在缺陷以及是否該缺陷在或接近LCD玻璃側邊A 或側邊B為有用的。該能力為有益的，因為在塗覆LCD玻璃 處理過程中，其對玻璃片一側上而不在另一側上缺陷為更 1360652 敏感。因而測定出缺陷在那一側為重要的因為假如缺陷 车側邊B，雙养不令人困擾以及假如色陷接近或车側 邊A上則非常麻煩。底下所說明檢視系統700能夠測定出缺 陷在z方向之位置,其為相對於玻璃片深度方向。 圖7A顯示出使用兩個雷射光源702a及702b之檢視系統 700的側視圖，每一雷射具有不同的波長以及感測器704而 具有兩個線性掃瞄陣列712a及712b以測定出兩個缺陷706 及708之相對位置，在該範例中其位於玻璃片Ή〇相同水平 位置上。附圖顯示出玻璃片71〇以固定速度⑺向上移動以 及距離感測器704為固定距離(D)。兩個線性掃瞄陣列712a 及712b分離已知的距離⑷。每一線性掃瞄陣列7i2a及712b 對不同的波長為靈敏的。例如，底部線性掃瞄陣列712b對 紅色雷射702a發射紅色光線714a為靈敏的。頂部線性掃瞄 陣列712a以相對於感測器7〇4法線為α角度W)照射。底部 線性掃瞄陣列712b由底部雷射以相對於玻璃片71〇及感測 器704垂直角度照射。在該範例中，ccd線性掃瞄感測器7〇4 產生5微米新的圖素以及兩個缺陷706界708之影像在一次 或多次掃瞄中加以記錄。圖7A顯示檢視系統7〇〇在時間為 〇時當兩個缺陷706及708被雷射702a發出光線戴取時之快 照圖。 、 圖7B顯示檢視系統700在時間為T1時當位於玻璃片71〇 側邊A上缺陷708被雷射702發出光線714b截取之快照圖。 CCD線性掃猫感測器704在一次或多次圖素掃聪中記錄該缺 陷708之影像。 、 圖7C顯示檢視系統700在時間為T2時當位於玻璃片γιο 側邊B上缺陷706被雷射702b發出光線714b截取之快照圖。 CCD線性掃瞄感測器704在一次或多次圖素掃瞄中記錄該缺 陷706之影像。 、°Λ、 圖7D顯示先前所有感測器掃猫之複合圖以及其顯示出 第18 頁 1360652 缺陷706及708之三個影像。第一，其顯示出a側邊缺陷7〇8 及B侧邊缺陷706兩個影像彼此重疊，由於其在相同的時間〇 時感測的。第'一’其顯不出在時間T1時通過由雷射7〇2b發 射出光束714b之A側邊缺陷708的影像。第三，其顯示出在 時間T2時通過由雷射702b發射出光束714b之B側邊缺陷7〇6 的影像。 ' A侧邊缺陷708運行之距離能夠計數時間0及時間T1間 產生之掃瞄線數目以及將該數目乘以5而計算出數字5為 該範例中以微米表示之圖素尺寸。同樣地^側邊缺陷7〇6 運行之距離能夠計數時間〇及時間T2間產生之掃瞄線數目 以及將該數目乘以5而計算出，數字5為該範例中以微米表 示之圖素尺寸。因為，Β侧邊缺陷7〇6通過光束714b需要較 長時間，比A側邊缺陷情況長，b側邊缺陷7〇6具有較多掃瞄 線以及計算較大距離。 一在這些步驟後，A侧邊缺陷708與感測器7〇4之距離能夠 ，由將A側邊缺陷708已運行距離乘以角度A之正切值而計 算出。同樣地^ 8側邊缺陷706與感測器704之距離能夠_由 將B側邊缺陷7〇6已運行距離乘以角度a u切值而計算日出 。人們了解該形式之距離計算能夠對位於玻璃片71〇表面 上之一個或多個缺陷進行。 在另一實施例中，人們能夠使用檢視系統7〇〇藉由監測 感測缺陷由帛-雷射卿前端機持續到鮮二雷射7〇2b 相父所需要的時間以測定出缺陷之位置。

情況I: A侧邊缺陷運行時間能夠計算如下： ta=(d+D*tan(A))/V

情況II:B側邊缺陷運行時間能夠計算如下： tb=(d+(D+T(na/ng) )*tan( A) )/V 上述公式中m為空氣折射率及仏為玻璃# 71〇之折射率。 情況III:在位置p處玻璃# 71〇内側位置之傾向運行時間能 第19 頁 夠計算如下： tp=(d+(D+T(na/ng))*tan(A))/V -假如該公式對位置P求解，則公式變為： P=ng*( (tP*V)-d-D*tan( A) )/(na*tan(a)) 在範1中，假設雷射702b角度為20度，則玻璃片710速度等 於3英吋每秒，玻璃片71〇與感測器7〇4之距離為2英吋，空氣 折射率為1，線性掃瞄陣列712a及712b間距離為90微米，圖 素尺寸為5微米，以及玻璃折射率為1· 5。因而人們能夠在 破璃片710中三個不同位置處進行計算:⑴在p等於〇之側 邊A處;（2)在P等於3〇〇微米之玻璃内側;以及(3)在p等於 700之侧邊B處。在這些三個位置處運行時間為如下： •在侧邊B處：運行時間=〇.243827秒 •在300微米處：運行時間=0.243827 + 0.00095 = 0.244777 秒 •在側邊A處：運行時間=〇.243827 + 0.00220 = 〇. 246027 秒、 為了計算缺陷之位置，人們需要知道檢視系統能夠量 測之精確度以及在該範例中感測器7〇2能夠量測5微米圖素 。為了達成該解析度，需要使速度等於玻璃片710速度⑺ 除以5微米圖素尺寸以及此因而得到1524〇掃瞄每秒。藉由 求該數值之倒氣人們得到掃瞄間之時間或〇. 0000656秒/ 掃瞒。對於700微米厚度玻璃片710由側邊B與側邊A產生運 行時間之間掃猫差值為33。如人們所知，該量測足夠精確 以產生良好的位置資訊。 人們了解先前所提及檢視系統1〇〇, 200. ·. 7〇〇中能夠

使用感測器例如為Kpdak KLI 14441感測器以及Kodak KLI 4104感測器。不過特定形式之感測器並不重要。重要的是 感測器具有多陣列線性感測器元件，其有助於對多個攝影 機影像或多個攝影機幾何特性之資料對準及標定。 第20 頁 1360652 雖然附圖中已顯示本發明數個實施例以及詳細加以說 明，人們了解本發明並不受限於所揭示實施例，但是能夠作 許多再排列，改變及替代而並不會脫離下列申請專利範圍 所揭示及界定之本發明精神。

第21 頁 1360652 【圖式簡單說明】 關之_鱗拇犧視_—實施例相 關之示出依據本發明檢視系統第二實施例相 關之讀示出依據本發明檢視系統第三實施例相 關之顯示出依據本發明檢視系統第四實施例相

第五圖A~C顯不出依據本發明檢視系統第施例相 關之三個圖式。 A 第六圖A-D顯示出依據本發明檢視系統第六實施例相 關之四個圖式。 第七圖A-D顯示出依據本發明檢視系統第七實施例相 關之四個圖式。 附圖元件數字符號說明： 檢視系統100::^體1〇2;雷射光線104;透鏡1〇6; 平行光束108;玻璃片110;掃瞄感測器112;檢視系統， 200;二極體202;雷射光線204;透鏡206;平行光束208; 玻璃片210;反射光束211;掃瞄感測器212;檢視系統 300;感測器302;照明器304;玻璃片306;透鏡308;偏極 光束 310a，310b;感測器 312a，312b，312c;塗膜 314a， 314b’314c;雷射316;檢視系統棚;感測器4〇2;照明器 404a，404b，404c，404d;玻璃片 406;感測器 412,412a， 412b，412c，412d;濾、波器 414a，414b，414c, 414d;光束 416a, 416b，416c’416d;透鏡 418;光柵 420;透鏡 424;檢 視系統500;檢視系統500a;透明材料504;表面顆粒 506;照明器508;螢光508a;光線510;光線510a;掃瞒攝 影機512;遮蔽514;檢視系統600;玻璃片602;光線6〇4 第22 頁 1360652 ;光源606;白色背景608;雷射610;光線612;準直透鏡 614;光線616;光栅618;感測器620;暗線622a;亮線 622b;檢視系統700;雷射光源702a，702b;感測器704;缺 陷706, 708;玻璃片710;掃瞄陣列712a，712b;光線 ’ 714b。

第23 頁

Claims (1)

1. ί仰年ί Ο月㈣修(更)正本 ...........I ......._l 咖M_|_ 十、申請專利範圍： 1. 一種辨識透明平坦材料中缺陷之檢視系統，該檢視系統 包含： 能狗發射雷射光束之雷射照明器； 第一透鏡，其能夠接收同調光束及發射平行同調光束通過部份 透明平坦材料； 線性掃瞄感測器，其能夠接收平行同調光束，該同調光束通過部 丨份透明平坦材料以及以聚焦於透明平坦材料中缺陷上-而並不 需要第二透鏡放置於線性掃瞄感測器之前方。 2. 依據申請專利範圍第1項之檢視系統，其中通過部份透明 平坦材料之平行同調光束藉由透明平坦材料之缺陷以及特性構 成。 3. 依據申凊專利範圍第1項之檢視系統，其中線性掃瞎感測 器具有虛擬場深度為大於1英吋。 4·依據申請專利範圍第1項之檢視系統，其中線性掃瞄感測 器輸出由計算機分析之訊號，其產生顯示平行同調光束相關夫 違耳效應之影像，該同調光束通過透明平坦材料，其能夠感測透 明平坦材料中之缺陷。 5·依據申請專利範圍第1項之檢視系統，其中線性掃猫感 測器輪出由計算機分析之訊號，其產生顯示平行同調光束相關 之干涉圖案，該同調光束通過透明平坦材料，其能夠感測透明平 坦材料中厚度或折射率之變化。 6·依據申請專利範圍第1項之檢視系統，其中透明平坦材料為 坡螭片。 第 24 頁 峨Χ_4 ；1€03383661：-α 1360652 7. —種辨識透明平坦材料十缺陷之方法，該方法包含下列 步驟： 使用雷射照明器作為發射雷射光束； 透 使用第-透鏡以接收同調光束及發射平行同調光束通過部 明平坦材料； 77 使用線性掃晦感測器以接收平行同調光束其通過部份透明 平坦材料以及以聚焦於透明平坦材料中缺陷上而並不需要 第二透鏡放置於線性掃瞄感測器之前方。 8·依據申請專利範圍第7項之方法其中通過部份透明平坦 鲁 材料之平行同調光束藉由透明平坦材料之缺陷及特性構成。 9. 依據申請專纖圍第7項之方法，其中線性掃喊測器之 场深度為大於1英忖。 10. 依據申請專利範圍第7項之方法其中線性掃猫感測器輪 出由計异機分析之訊?虎，其產生顯示平行同調光束相關夫淫耳 效應之影像，制調縣通财明平坦材料，其能触測透明平 坦材料中之缺陷。 11. 依據申請專利範圍第7項之方法，其中線性掃描感測器輸 φ 出由計算機分析之域，其產生顯示平行同調光束相關之干涉 圖案，該同調光束通過透明平坦材料，其能夠感測透明平坦材料 中厚度或折射率之變化。 12. 依據申請專利範圍第7項之方法，其中透明平坦材料為玻 璃片。 13. -種辨識透明平坦材料中缺陷之檢視系統，該檢視系統 包含： 頁 第 25 095112334 1003363661-0 能夠發射同調光束之照明器； 第一透鏡，其能夠接收雷射光束及發射平行雷射光束通 過部份透明平坦材料； 線性掃瞄感測器，其能夠接收平行同調光束，該同調光束由透明 平坦材料之前端表面及後端表面反射以及以聚焦於透明平坦 材料中缺陷上而並不需要第二透鏡放置於線性掃瞄感測 - Is之前方。 14. 依據申請專利範圍第13項之檢視系統，其中由透明平坦 材料之前端表面及後端表面反射的平行同調光束藉由透明平坦 材料之缺陷以及特性構成。 15. 依據申請專利範圍第13項之檢視系統，其中線性掃瞄感 測器具有場深度為大於1英吋。 16·依據申請專利範圍第13項之檢視系統，其中線性掃瞄感 測器輸出由計算機分析之訊號，其產生反射明亮場條紋圖 案影像，其能夠感測透明平坦材料中之缺陷。 17. 依據申請專利範圍第13項之檢視系統，其中線性掃瞄感 測器輪出由計算機分析之訊號，其產生反射亮場條紋圖案 影像，其能夠感測透明平坦材料中厚度或折射率之變化。 18. 依據申請專利範圍第13項之檢視系統，其中透明平坦材 料為破螭片。 19·—種辨識透明平坦材料中缺陷之方法，該方法包含下列 步驟： 使用雷射照明器作為發射雷射光束； 使用第一透鏡以接收同調光束及發射平行同調光束通過部份透 第 26 l〇O3S$3661r〇 1360652 明平坦材料； 使用線性掃瞄感測器以接收平行同調光束，該同調光束由透明 平坦材料之前端表面及後端表面反射以及以聚焦於透明平坦 材料中缺陷上而並不需要第二透鏡放置於線性掃瞄感測器 之前方。 20. 依據申請專利範圍第19項之方法，其中由透明平坦材料 之前端表面及後端表面反射之平行同調光束藉由透明平坦材料 之缺陷及特性構成。 21. 依據申請專利範圍第19項之方法，其中線性掃瞄感測器 之場深度為大於1英吋。 22. 依據申請專利範圍第19項之方法，其中線性掃瞄感測器 輸出由計算機分析之訊號，其產生反射明亮場條紋圖案影 像，其能夠感測透明平坦材料中之缺陷。 23. 依據申請專利範圍第19項之方法，其中線性掃瞄感測器 輸出由計算機分析之訊號，其產生反射明亮場條紋圖案影 像，其能夠感測透明平坦材料中厚度或折射率之變化。 24. 依據申請專利範圍第19項之方法，其中透明平坦材料為 玻璃片。 25. —種辨識透明平坦材料中應力之檢視系統，該檢視系統 包含： 感測器；以及 能夠發射偏極同調光束經由部份透明平坦材料朝向感測器之 照明器； δ亥感測器能夠接收通過透明平坦材料之偏極同調光束，其藉 第 27 頁 095112334 1003363661-0 1360652 由使用下列感測器達成： 利用第一偏極器模組之第一列感測器； 利用第二偏極器模組之第二列感測器； 利用第三偏極器模組之第三列感測器；以及 其中假如在透明平坦材料内存在可感測數量之應力則 應力改變通過透明平坦材料之偏極化同調光束的偏極角度其 能夠藉由三列感測器感測及量測出。

   26. 依據申請專利範圍第25項之檢視系統，其中： 第一偏極器為塗覆第一列感測器之〇度偏極器； 第二偏極器為塗覆第二列感測器之120度偏極器； 第二偏極器為塗覆第三列感測器之240度偏極器。 27. 依據申請專利範圍第25項之檢視系統，其中更進一步包 含多個感測器，其能夠使所有透明平坦材料產生之應力圖。 28. 依據申請專利範圍第25項之檢視系統，其中該透明平坦 材料為玻璃片。

   29. -種辨識透明平坦材料中缺陷之方法該方法包含下列 步驟： 使用發射偏極同調光束軸部份透明平坦材料朝向感測器之 照明器； "° 使用感測為以接收通過透明平坦材料之偏極同調光束，其藉 由使用下列感測器達成： ’八曰 以及 10033^3661-0 利用第一偏極器模組之第一列感測器 利用第二偏極器模組之第二列感測器 利用第三偏極器模組之第三列感測器 第 28 0951.1.2334 其中假如在透明平坦材料畴在可感聽量之應力，則 ，力，通過透明平坦材料之偏極化_光束的偏極角度其 能夠藉由三列感測器感測及量測出。 30·依據申請專利範圍第29項之方法其中： 第一偏極器為0度偏極器，其覆蓋第-列感測器； 第-偏極器為120度偏極器，其覆蓋第二列感測器； 第二偏極||為240度偏極H，其覆蓋第三列感測器。 31. 依據申凊專利範圍第29項之方法，其中更進一步包含多 個感測器’其能夠使所有透明平坦材料產生之應力圖。 32. 依據申請專利範圍第29項之方法其中該透明平坦材料 為玻璃片。 33. —種辨織透明平坦材料内或透明平坦材料上不同缺陷 種類之檢視系統，該檢視系統包含： 感測器；以及 第一照明器，其能夠發射具有特定能量頻帶之第一同調光束， 其反射離開或通過部份透明平坦材料朝向感測器； 第二照明器’其能夠發射具有特定能量頻帶之第二同調光束， 其反射離開或通過部份透明平坦材料朝向感測器； 該感測器能夠接收反射離開或通過透明平坦材料之第一 及第·一同調光束，其糟由使用下列感測器達成： 第一列感測器，其塗覆第一頻譜濾波器，其設計成只允 許第一同調光束被第一列感測器接收；以及 第·一列感測器，其塗覆第一頻譜濾、波器，其設計成只允 許第二同調光束被第二列感測器接收；以及 第 29 頁 095112334 1003363661-0 其中每i❹彳H能賊測剌平坦材料喊透明平坦 材料上不同缺陷種類。 一 34. 依據申請專利範圍第33項之檢視系統，其中更進—e 3其他照明器以及其他列感測器以及頻譜據波器。 35. 依據申請專利範圍第33項之檢視系統 細線條； 匕3. 條紋； 微小的雜質； 折射率變化。 36·依據申請專利範圍第33項之檢視系統，其中該透明平坦 材料為玻璃片。 一 37. -麵識透日胖蝴料喊透明平蝴料上不同缺陷 種類之方法，該方法包含下列步驟： 使用第-照明器以發射具有特定能量頻帶之第一同調光束， 其反射離開或通過部份透明平坦材料朝向感測器； ’ 使用第二照明器以發射具有特定能_帶之第二同調光束， 其反射離開或通過部份透明平坦材料朝向感測器； 使用感測器以接收反射離開或通過透明平坦材料之第一 及第一同調光束，其藉由使用下列感測器達成： 第一列感測器，其塗覆第一頻譜濾波器，其設計成只允 許第一同調光束被第一列感測器接收；以及 第一列感測器，其塗覆第二頻譜濾波器，其設計成只允 許第二同調光束被第二列感測器接收；以及 其中母一列感測器能夠感測透明平坦材料内或透明平土曰 第 30 •頁 10033 ；P95la.23S4： 材料上不同缺陷種類β 讥依據申請專利範圍第37項之方法其中更進一步包含使 用其他照明器以及其他列感測器以及頻譜滤波器而能夠感 測透明平坦材料喊義平坦材料上更多缺陷種類。 39. 依據申請專利範圍第37項之方法其中缺陷包含： 細線條； 條紋； 微小的雜質； 折射率變化。 40. 依據申請專利範圍帛37項之方法其中該透明平坦材料 為玻璃片。 41· 一種辨識透明平坦材料内缺陷之檢視系統，該檢視系統 包含： 照明器，其能夠以預先角度發射同調光束朝向透明平坦材料， 使得部份同調光束内部反射至透明平坦材料區域，其位於遠離 原先同調光束進入及離開透明平坦材料處以及更進一步能夠感 測反射離開透明平坦材料内缺陷而不受透明平坦材料表面 上被顆粒反射之光線影響； 感測器，其能夠聚焦於透明平坦材料區域上，其位於遠離 同調光束原先進入以及離開透明平坦材料處以及更進一步能夠 感測反射離開透明平坦材料内缺陷的光線而不受到透明平 坦材料表面上顆粒反射之光線影響。 42.依據申請專利範圍第41項之檢視系統，其中照明器包含 至少一項下列種類： 第 31 頁 095112334 1003363661-0 雷射線；以及 光源’其使用遮蔽使光線内部反射於透明平坦材料内，同 時阻隔光線防止進入以及離開透明平坦材料於感測器聚焦 於透明平坦材料上一點處。 43. 依據申請專利範圍第41項之檢視系統其中該感測器包 含至少一項下列種類： 線性掃瞄感測器； 線性掃瞄攝影機； 時間延遲積分器；以及 接觸感測器。 44. 依據申請專利範圍第41項之檢視系統，其中透明平坦材 料為玻璃片。 45. —種辨識透明平坦材料内缺陷之方法該方法包含下列 步驟： 使用照明器以預先角度發射同調光束朝向透明平坦材料，使 得部份同調光束内部反射至透明平坦材料區域，其位於遠離原 先同調光束進入及離開透明平坦材料處；以及 使用聚焦於透明平坦材料中區域之感測器，該區域位於 遠離原先同調光束進入及離開透明平坦材料處以感測反射離開 透明平坦材料内缺陷之光線而不受透明平坦材料表面上被 顆粒反射之光線影響。 46. 依據申請專利範圍第45項之方法，其中照明器包含至少 一項下列種類： 第 32 頁 雷射線；以及 光源，其使用遮蔽使光線内部反射於透明平坦材料内同 時阻隔光線防止進入以及離開透明平垣材料於感測器聚焦 於透明平坦材料上一點處。 AK“'' 47·依據申請專利範圍第45項之方法，其中該感測器包含至 少一項下列種類·. 線性掃瞄感測器； 線性掃瞄攝影機； 時間延遲積分器；以及 接觸感測器。 其中透明平坦材料為 48.依據申請專利範圍第45項之方法， 玻璃片。 49. 一種感測透明平坦材料中厚度及/或折射率變化之檢視 系統，該檢視系統包含： 能夠發射雷射光束之照明器； 透鏡，其能夠接收同調光束以及發射平行同調光束. 光柵，其㈣接收所發射平行_光紅及再形成系列導 朝向透明平坦材料之亮線及暗線； 感測器，其能夠接收通過透明平坦材料之系列亮線及暗 線以及更進-步能誠生通過翻平續料㈣亮線及暗 線相關之輸出波前；以及 處理單7G’其能夠相對於參考波前比較輸出波前以及產 生代表透日砰坦材解度及/或崎率變化之差值波前。 095112334 1003： 1360652 變化之大小 50.依據申請專利範圍第49項之檢視系統，其中差值波前具 有至少一個標記，其寬度代表通過透明平坦材料同調光束方向 51. 依據申請專利範圍第49項之檢視系統，其中透明平坦材 料為液晶顯示器玻璃片。 52. —種感測透明平坦材料中厚度及/或折射率變化之方法 ，該方法包含下列步驟：

   使用發射雷射光束之雷射照明器； 使用透鏡以接收同調光束以及發射平行同調光束； 使用光柵以接收所發射平行同調光束以及再形成系列導引朝 向透明平坦材料之亮線及暗線； 使用感測器以接收通過透明平坦材料之系列亮線及暗線 以及產生ϋ過透明平坦㈣㈣銳及暗_關之輸出波 前；以及 1 使用處理單元以相對於參考波前比較輸出波前以及產生 代表透明平坦材料厚度及/錢射率變化之差值波前。 53. 依據申請專利範圍第52項之方法其中差值波前具有至 少-個標記，其寬度代錢顿料坦材__束方向變化 之大小。 54. 依據㈣專纖_ 52項之方法，其巾透明平坦材 液晶顯示器玻璃片。 55. -麵賊a胖坦材_歧卿坦㈣上缺陷位置 之檢視系統，該檢視系統包含： 感測器；以及 第 34 頁· Q95112334 ;：1Ό03363661;-σ 1360652 第一照明器，其能夠發射具有第一波長之第—同豆 過部份透明平坦材料朝向感測器； 第二照明器，其能夠發射具有第二波長之第二同調 過部份透明平坦材料朝向感測器； 該感測器包含： 第一列感測器，其能夠接收通過透明平坦材料之第一 同調光束； 第二列感測器，其能夠接收通過透明平坦材料之第二 同調光束； 處理單70，其能夠比較由第一及第二列感測器所接收之 影像以及再辨識透明平坦材料内或透明平坦材料上缺陷之 位置。 %依據申請專利範圍第55項之檢視系統，其中處理單元比 較由第及第一列感測器所接收之影像以及再辨識透明平 坦材料内或透明平坦材料上缺陷之位置係藉由下列步驟達 成： 计算透明平坦材料内或透明平坦材料上缺陷運行距離， 其移動於感卿及第—及第：照㈣之間；以及 將所。十算距離乘以第一同調光束與第二同調光束相對於感測器 間角度之正切值。 57.依據申請專利範圍第55項之檢視系統 ，其中： 第歹J感測盗對第-同調光束為靈敏的以及對第二同調光束並 不靈敏；以及 第二列感測器對第二同調光束為靈敏的以及對第一同調光束並 頁 第35 095112334 1003363661-0 不靈敏 其中透明平坦材 依據申請專利範圍第55項之檢視系統，A 料為破璃片》 、 59. 種_透日胖坦材料喊透明平坦娜上缺陷位置 之方法，該方法包含下列步驟： 照明器以發射具有第—波長之第—同調光束，其通 過。P伤透明平坦材料朝向感測器； 、f用第二照明器以發射具有第二波長之第二同調光束 ，其通 過部份透明平坦材料朝向感測器； 該感測器包含： 第列感測器，其能夠接收通過透明平坦材料之第一 同調光束； 第二列感測器，其能夠接收通過透明平坦材料之第二 同調光束； 使用處理單元以比較由第一及第二列感測器所接收之 影像以及再辨識透明平坦材料内或透明平坦材料上缺陷之 位置。 60.依據申請專利範圍第59項之方法其中處理單元比較由 第一及第二列感測器所接收之影像以及再辨識透明平坦材 料内或透明平坦材料上缺陷之位置係藉由下列步驟達成： 計算透明平坦材料内或透明平坦材料上缺陷運行距離， 其移動於感測器及第一及第二照明器之間；以及 將所計算距離乘以第一同調光束與第二同調光束相對於感測器 間角度之正切值。 第 36 頁 095112^3,4 ,1003363661-0 1360652 61·依據申請專利範圍第59項之方法其中. 第一列感測器對笫一同梱忠A 八· 不靈敏；以及 料束為致敏的以及對第二同調光束並 同調光束並 第-列感測ϋ料二同調縣為靈敏的以及對第一 不靈敏。 =璃1據申請專利範圍第59項之方法，其中透明平坦材料為 63. -種辨識透明平坦材料中_之檢視系統綠視系統 包含： 雷射照明器，其能夠發射通過部份透明平坦材料之雷射 同調光束； 線性掃瞄感測器，其能夠接收通過透明平坦材料之同調光束 以及更進一步能夠聚焦於透明平坦材料中缺陷上而並不需 要第二透鏡放置於線性掃瞄感測器之前方。 64. —種辨識透明平坦材料中缺陷之方法該方法包含下列 步驟： 使用雷射照明器以發射通過部份透明平坦材料之雷射光 束； 使用線性掃瞄感測器以接收通過透明平坦材料之同調光束以 及更進一步能夠聚焦於透明平坦材料中缺陷上而並不需要 第二透鏡放置於線性掃瞄感測器之前方。 65. —種辨識透明平坦材料中缺陷之檢視系統，該檢視系統 包含： 照明器，其能夠發射朝向部份透明平坦材料之同調光束； 第 37 頁 095112334 1003363661-0 1360652 線性掃猫感測裔’其能夠接收由透明平坦材料前端表面 及後端表面所反射之同調光束以及更進一步能夠聚焦於透明平 坦材料中缺陷上而並不需要第二透鏡放置於線性掃睹感測 器之前方。 66. —種辨識透明平坦材料中缺陷之方法，該方法包含下列 步驟： 使用雷射照明器以發射朝向部份透明平坦材料之雷射光 束；

   使用線性掃瞄感測器以接收由透明平坦材料前端表面及 後端表面所反射之同調光束以及聚焦於透明平坦材料中缺陷上 而並不需要第二透鏡放置於線性掃瞄感測器之前方。 第 38 頁 1003363661:-0 ；P^?51.123 34- 1360652 1360652

   (Jl i · nil 第一圖F 1360652

   1360652

   第三闺Λ

   il.(- "ill·

   1360652

   第三圖I: 1360652 1360652 1360652 第五圖B 1360652

   響

   _腦_腦画腦醒麗ΜΜΜ_ί_+ 1調驟卩獄胃 1360652 1360652 1360652 Ί 0 第七圖

   第七圖1)