RU2018122773A - Способ и установка для сушки камеры в вакууме - Google Patents
Способ и установка для сушки камеры в вакууме Download PDFInfo
- Publication number
- RU2018122773A RU2018122773A RU2018122773A RU2018122773A RU2018122773A RU 2018122773 A RU2018122773 A RU 2018122773A RU 2018122773 A RU2018122773 A RU 2018122773A RU 2018122773 A RU2018122773 A RU 2018122773A RU 2018122773 A RU2018122773 A RU 2018122773A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- pressure
- chamber
- air
- cycles
- repetition
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 8
- 238000001035 drying Methods 0.000 title claims 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 title claims 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B5/00—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat
- F26B5/04—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat by evaporation or sublimation of moisture under reduced pressure, e.g. in a vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B5/00—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat
- F26B5/12—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat by suction
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Claims (16)
1. Способ сушки камеры, содержащий этапы, на которых
соединяют камеру со средствами удаления и подачи воздуха и с устройством измерения давления воздуха в камере,
подают на указанные средства команду на удаление воздуха из камеры вплоть до получения первого давления,
подают команду на указанные средства, чтобы начать повторение циклов повышения давления до второго давления и его понижения до значения, близкого к первому давлению, при этом первое давление и второе давление находятся в диапазоне значений испарения воды,
прерывают повторение и на указанные средства подают команду на удаление воздуха из камеры вплоть до получения третьего давления, близкого к тройной точке воды,
восстанавливают в камере окружающее давление и отключают указанные средства удаления и подачи воздуха.
2. Способ по п. 1, содержащий во время удаления воздуха этап измерения времени, необходимого для достижения первого давления, и сравнения измеренного времени с контрольным временем для достижения первого давления при требуемой степени влажности в камере; при этом повторение циклов начинают, если измеренное время превышает контрольное время, и в камере восстанавливают окружающее давление, если измеренное время меньше или равно контрольному времени.
3. Способ по п. 1, в котором повторение циклов прекращают, когда обнаруживают следующее условие: время, разделяющее циклы, равно контрольному времени, соответствующему требуемой степени влажности в камере.
4. Способ по п. 1, в котором повторение циклов прекращают, когда обнаруживают следующее условие: крутизна понижения второго давления до первого давления идентична от одного цикла к другому.
5. Способ по п. 1, в котором повторение циклов прекращают, когда обнаруживают следующее условие: крутизна понижения второго давления до первого давления идентична контрольной крутизне, соответствующей требуемой степени влажности в камере.
6. Способ по п. 1, в котором начинают новое повторение циклов, когда во время повышения давления от значения третьего давления изменение давления после определенного времени превышает изменение давления для требуемой степени влажности.
7. Сушильная установка для осуществления способа по любому из пп. 1-6, содержащая
насос (7), соединенный с блоком управления для образования средства удаления воздуха из камеры (8),
главный трубопровод, один конец которого выполнен с возможностью соединения с верхней частью камеры (8), чтобы сообщаться с внутренним объемом камеры (8), и противоположной конец которого соединен с входом насоса (7),
вспомогательный трубопровод, один конец которого предназначен для соединения с нижней частью камеры (8), чтобы сообщаться с внутренним объемом камеры (8), и оснащен вентилем (4), при этом вентилем (4) управляет блок управления,
датчик (9) давления, предназначенный для установки на камере (8) и соединенный с блоком управления.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP15196344.4 | 2015-11-25 | ||
| EP15196344.4A EP3173720B1 (fr) | 2015-11-25 | 2015-11-25 | Procédé et installation de séchage d'enceinte sous vide |
| PCT/EP2016/078900 WO2017089588A1 (fr) | 2015-11-25 | 2016-11-25 | Procede et installation de sechage d'enceinte sous vide |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2018122773A true RU2018122773A (ru) | 2019-12-25 |
| RU2018122773A3 RU2018122773A3 (ru) | 2019-12-25 |
Family
ID=54707575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2018122773A RU2018122773A (ru) | 2015-11-25 | 2016-11-25 | Способ и установка для сушки камеры в вакууме |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20180347902A1 (ru) |
| EP (2) | EP3173720B1 (ru) |
| JP (1) | JP2018538504A (ru) |
| RU (1) | RU2018122773A (ru) |
| WO (1) | WO2017089588A1 (ru) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7316323B2 (ja) * | 2021-06-30 | 2023-07-27 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 減圧乾燥装置および減圧乾燥方法 |
| CN113915956A (zh) * | 2021-10-13 | 2022-01-11 | 大冶市兴进铝业有限公司 | 一种型材干燥装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5555191Y2 (ru) * | 1975-04-02 | 1980-12-20 | ||
| WO2001088449A1 (en) * | 2000-05-19 | 2001-11-22 | Sun Tae Choi | Method of drying wood and a system therefor |
| JP5064119B2 (ja) * | 2007-06-07 | 2012-10-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空引き方法及び記憶媒体 |
| FR2920046A1 (fr) * | 2007-08-13 | 2009-02-20 | Alcatel Lucent Sas | Procede de post-traitement d'un support de transport pour le convoyage et le stockage atmospherique de substrats semi-conducteurs, et station de post-traitement pour la mise en oeuvre d'un tel procede |
| US8230616B2 (en) * | 2009-06-11 | 2012-07-31 | Sterilucent, Inc. | Apparatus and method for drying and sterilizing objects in a load |
| JP5927066B2 (ja) * | 2012-07-05 | 2016-05-25 | 株式会社協真エンジニアリング | 乾燥装置及び乾燥方法 |
-
2015
- 2015-11-25 EP EP15196344.4A patent/EP3173720B1/fr active Active
-
2016
- 2016-11-25 RU RU2018122773A patent/RU2018122773A/ru not_active Application Discontinuation
- 2016-11-25 EP EP16808941.5A patent/EP3380799A1/fr not_active Withdrawn
- 2016-11-25 JP JP2018526899A patent/JP2018538504A/ja not_active Ceased
- 2016-11-25 US US15/778,650 patent/US20180347902A1/en not_active Abandoned
- 2016-11-25 WO PCT/EP2016/078900 patent/WO2017089588A1/fr not_active Ceased
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20180347902A1 (en) | 2018-12-06 |
| EP3380799A1 (fr) | 2018-10-03 |
| JP2018538504A (ja) | 2018-12-27 |
| EP3173720A1 (fr) | 2017-05-31 |
| EP3173720B1 (fr) | 2019-03-13 |
| WO2017089588A1 (fr) | 2017-06-01 |
| RU2018122773A3 (ru) | 2019-12-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EA201491450A1 (ru) | Способы и устройства для выполнения сушки электронных устройств | |
| WO2010036480A3 (en) | Flash tank economizer cycle control | |
| JP2013217376A5 (ru) | ||
| RU2018113530A (ru) | Интеллектуальный насос для переносного детектора утечки газа | |
| JP2020503513A5 (ru) | ||
| RU2018122773A (ru) | Способ и установка для сушки камеры в вакууме | |
| MX2017009719A (es) | Sistema de lavadora a presion. | |
| CN104896749A (zh) | 一种热泵热水器的控制方法及控制系统 | |
| BR112017006572B1 (pt) | Sistema de bombeamento para a geração de vácuo e método de bombeamento | |
| RU2018103218A (ru) | Устройство и способ обнаружения влаги в вакуумной камере | |
| JP2020044979A (ja) | エアサスペンション装置 | |
| TWI734588B (zh) | 真空幫浦系統中的抽泵方法及真空幫浦系統 | |
| CN104747406A (zh) | 一种具有除湿功能的天然气压缩机 | |
| CN204854171U (zh) | 一种真空干燥箱 | |
| CN217654188U (zh) | 烘干系统及烘干装置 | |
| CN107003684B (zh) | 压力控制装置 | |
| JP2014145302A5 (ru) | ||
| RU2670640C9 (ru) | Насосная система для создания вакуума и способ откачивания с использованием данной насосной системы | |
| JP2020502410A (ja) | 真空ポンプシステム、及び真空ポンプシステムを作動させるための方法 | |
| JP2014162355A5 (ru) | ||
| JP5869804B2 (ja) | 出力制御方法および出力制御装置 | |
| WO2016019690A1 (zh) | 水泵控制方法 | |
| CN204987662U (zh) | 自动控制真空冷冻干燥机真空度和湿度的装置 | |
| CN105630042B (zh) | 一种自适应海拔的蒸柜控制方法和系统 | |
| CN204961429U (zh) | 柱塞泵蓄能器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FA94 | Acknowledgement of application withdrawn (non-payment of fees) |
Effective date: 20200528 |