RU2006132392A

RU2006132392A - Способ и устройство для электролитического увеличения толщины электропроводящего рисунка на диэлектрической подложке, а также диэлектрическая подложка

Info

Publication number: RU2006132392A
Application number: RU2006132392/09A
Authority: RU
Inventors: Петер Якобус Герардус ЛОЭРМАНС (NL); Петер Якобус Герардус ЛОЭРМАНС; ДЕ ВЕН Аугустинус Корнелис Мари ВАН (NL); ДЕ ВЕН Аугустинус Корнелис Мария ВАН
Original assignee: Меко Эквипмент Энджинирз Б.В. (Nl); Меко Эквипмент Энджинирз Б.В.
Priority date: 2004-02-09
Filing date: 2005-01-28
Publication date: 2008-03-20
Also published as: NL1025446C2; US20050189226A1; WO2005076680A2; BRPI0507510B1; AU2005211089B2; CA2496957A1; TW200540302A; ZA200606278B; MY146651A; EP1562412A2; BRPI0507510A; EP1562412B1; JP4754840B2; EP1562412A3; HK1086434A1; AU2005211089A1; CN1717153B; CA2496957C; JP2005256167A; KR20060041796A

Claims

1. Способ электролитического увеличения толщины электропроводящего рисунка на диэлектрической подложке, содержащий этапы погружения подложки с присутствующим на ней рисунком в электролитическую ванну, приведения отрицательно заряженн6ого электрода в электрический контакт с рисунком в электролитической ванне во время погружения подложки; отличающийся этапом осуществления контактного движения в электролитической ванне электрода и рисунка относительно друг друга во время погружения подложки.

2. Способ по п.1, в котором скорость, с которой электрод и рисунок движутся относительно друг друга, такова, что электродом проходится по меньшей мере одна повторяющаяся часть рисунка во время электрического контакта между электродом и рисунком.

3. Способ по п.1 или 2, в котором во время контактного движения электрода и рисунка относительно друг друга электрод катится по рисунку.

4. Способ по п.1, в котором во время контактного движения электрода и рисунка относительно друг друга подложка с присутствующим на ней рисунком движется через ванну в соответствии с некоторой траекторией движения.

5. Способ по п.4, в котором во время контактного движения электрода и рисунка относительно друг друга электрод движется через ванну в соответствии с по меньшей мере частью упомянутой траектории движения.

6. Способ по п.4 или 5, в котором подложка движется через ванну со скоростью в пределах между 0,5 и 20 м/мин, более предпочтительно между 1,5 и 6 м/мин.

7. Способ по п.4 или 5, в котором упомянутая траектория движения является дугообразной.

8. Способ по п.1, в котором электрод движется в соответствии с постоянной, бесконечной дополнительной траекторией движения относительно электролитической ванны.

9. Способ по п.8, в котором упомянутая дополнительная траектория движения является круговой.

10. Способ по п.8 или 9, в котором упомянутая дополнительная траектория движения проходит частично в электролитической ванне и частично над электролитической ванной.

11. Способ по п.10, в котором электрод заменяют на другой электрод при прохождении по той части упомянутой дополнительной траектории движения, которая проходит над электролитической ванной.

12. Способ по п.1, в котором в электролитической ванне создают более высокий уровень жидкости с той стороны подложки, которая обращена от электрода, чем с той стороны подложки, которая обращена к электроду.

13. Способ по п.1, в котором рисунок имеет, по меньшей мере, частично спиральную форму.

14. Устройство для электролитического увеличения толщины электропроводящего рисунка на диэлектрической подложке, содержащее контейнер для электролитической ванны, первые средства позиционирования для позиционирования подложки с присутствующим на ней рисунком в ванне, отрицательно заряженный электрод для электропроводящего контакта с рисунком и вторые средства позиционирования для позиционирования электрода таким образом, чтобы электрод находился в проводящем контакте с рисунком в ванне, отличающееся тем, что оно дополнительно содержит средства перемещения для осуществления контактного движения электрода и рисунка относительно друг друга.

15. Устройство по п.14, в котором первые средства позиционирования содержат первые средства перемещения для приведения в движение подложки с присутствующим на ней рисунком в ванну, через ванну и из ванны в соответствии с некоторой траекторией движения.

16. Устройство по п.14 или 15, в котором вторые средства позиционирования содержат вторые средства перемещения для приведения в движение электрода, по меньшей мере, через ванну.

17. Устройство по п.16, в котором вторые средства перемещения выполнены с возможностью приведения электрода в движение в соответствии с, по меньшей мере, частью этой траектории движения.

18. Устройство по п.14, в котором электрод имеет форму цилиндра и способен вращаться вокруг своей центральной оси.

19. Устройство по п.15, в котором первые средства перемещения содержат круговой элемент для пропускания подложки с присутствующим на ней рисунком по, по меньшей мере, части окружности кругового элемента.

20. Устройство по п.19, в котором вдоль окружности кругового элемента расположено некоторое количество удлиненных электродов, продольные направления которых простираются, по существу, параллельно друг другу и перпендикулярно траектории движения.

21. Устройство по п.20, в котором электроды расположены с внутренней стороны от траектории движения.

22. Устройство по пп.19, 20 или 21, в котором круговой элемент снабжен двумя кольцевыми отбортованными кромками, между которыми проходит траектория движения.

23. Устройство по п.19, в котором круговой элемент образован первым вращающимся элементом, который способен вращаться вокруг, по меньшей мере одной первой оси вращения.

24. Устройство по п.16, в котором вторые средства перемещения содержат второй вращающийся элемент, который способен вращаться вокруг, по меньшей мере, одной второй оси вращения и вдоль периметра которого предусмотрено некоторое количество удлиненных электродов, продольные направления которых простираются, по меньшей мере по существу, параллельно друг другу.

25. Устройство по п.23 и 24, в котором первый вращающийся элемент и второй вращающийся элемент образованы общим вращающимся элементом.

26. Устройство по п.24, в котором электроды имеют форму цилиндра и в котором электроды способны вращаться вокруг соответствующих своих центральных осей относительно оставшейся части второго вращающегося элемента.

27. Устройство по п.23 или 24, в котором первый вращающийся элемент и/или второй вращающийся элемент, по меньшей мере по существу, имеют форму цилиндра, вокруг центральной оси которого способны вращаться первый вращающийся элемент и/или второй вращающийся элемент.

28. Устройство по п.24 и 26, в котором предусмотрены средства передачи для приведения во вращение, с одной стороны, электродов вокруг их центральных осей и, с другой стороны, второго вращающегося элемента вокруг второй оси вращения в соответствии с определенным передаточным числом.

29. Устройство по п.14, в котором электрод большей частью помещен внутри полости экранирующего элемента, в ограниченной степени выходя наружу из этого экранирующего элемента.

30. Диэлектрическая подложка с присутствующим на ней электропроводящим рисунком, толщина которого была увеличена с использованием способа по любому из пп.1-13.

31. Способ электролитического увеличения толщины электропроводящего рисунка на диэлектрической подложке, содержащий этапы погружения подложки с присутствующим на ней рисунком в электролитическую ванну, приведения отрицательно заряженного электрода в электрический контакт с рисунком в электролитической ванне во время погружения подложки; при этом электрод движется в соответствии с постоянной, бесконечной дополнительной траекторией движения относительно электролитической ванны, причем эта дополнительная траектория движения проходит частично в электролитической ванне и частично над электролитической ванной.

32. Способ по п.31, в котором электрод заменяют на другой электрод при прохождении по той части упомянутой дополнительной траектории движения, которая проходит над электролитической ванной.

33. Способ по п.31 или 32, в котором в электролитической ванне создают более высокий уровень жидкости с той стороны подложки, которая обращена от электрода, чем с той стороны подложки, которая обращена к электроду.

34. Устройство для электролитического увеличения толщины электропроводящего рисунка на диэлектрической подложке, содержащее контейнер для электролитической ванны, первые средства позиционирования для позиционирования подложки с присутствующим на ней рисунком в ванне, отрицательно заряженный электрод для электропроводящего контакта с рисунком и вторые средства позиционирования для позиционирования электрода таким образом, чтобы электрод находился в проводящем контакте с рисунком в ванне, причем упомянутые первые средства позиционирования содержат первые средства перемещения для приведения в движение подложки с присутствующим на ней рисунком в ванну, через ванну и из ванны в соответствии с некоторой траекторией движения, при этом упомянутые первые средства перемещения содержат круговой элемент для пропускания подложки с присутствующим на ней рисунком по, по меньшей мере, части окружности кругового элемента, некоторое количество расположенных вдоль окружности кругового элемента удлиненных электродов, продольные направления которых простираются, по существу, параллельно друг другу и перпендикулярно траектории движения, причем упомянутый круговой элемент снабжен двумя кольцеобразными отбортованными кромками, между которыми проходит упомянутая траектория движения.