[go: up one dir, main page]

JP6434029B2 - 導電性アセンブリ - Google Patents

導電性アセンブリ Download PDF

Info

Publication number
JP6434029B2
JP6434029B2 JP2016539556A JP2016539556A JP6434029B2 JP 6434029 B2 JP6434029 B2 JP 6434029B2 JP 2016539556 A JP2016539556 A JP 2016539556A JP 2016539556 A JP2016539556 A JP 2016539556A JP 6434029 B2 JP6434029 B2 JP 6434029B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
compound
patterned
composition
lmp
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2016539556A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2017502462A (ja
Inventor
パウラ コジョカル,
パウラ コジョカル,
マルコ アポストロ,
マルコ アポストロ,
アレッシオ マラーニ,
アレッシオ マラーニ,
イヴァン ファルコ,
イヴァン ファルコ,
Original Assignee
ソルベイ スペシャルティ ポリマーズ イタリー エス.ピー.エー.
ソルベイ スペシャルティ ポリマーズ イタリー エス.ピー.エー.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ソルベイ スペシャルティ ポリマーズ イタリー エス.ピー.エー., ソルベイ スペシャルティ ポリマーズ イタリー エス.ピー.エー. filed Critical ソルベイ スペシャルティ ポリマーズ イタリー エス.ピー.エー.
Publication of JP2017502462A publication Critical patent/JP2017502462A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6434029B2 publication Critical patent/JP6434029B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J7/00Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
    • C08J7/04Coating
    • C08J7/044Forming conductive coatings; Forming coatings having anti-static properties
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/38Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal at least one coating being a coating of an organic material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J7/00Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
    • C08J7/04Coating
    • C08J7/06Coating with compositions not containing macromolecular substances
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J7/00Chemical treatment or coating of shaped articles made of macromolecular substances
    • C08J7/12Chemical modification
    • C08J7/123Treatment by wave energy or particle radiation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01BCABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B1/00Conductors or conductive bodies characterised by the conductive materials; Selection of materials as conductors
    • H01B1/20Conductive material dispersed in non-conductive organic material
    • H01B1/22Conductive material dispersed in non-conductive organic material the conductive material comprising metals or alloys
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018Glow discharge
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0274Optical details, e.g. printed circuits comprising integral optical means
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0296Conductive pattern lay-out details not covered by sub groups H05K1/02 - H05K1/0295
    • H05K1/0298Multilayer circuits
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0011Working of insulating substrates or insulating layers
    • H05K3/0017Etching of the substrate by chemical or physical means
    • H05K3/0041Etching of the substrate by chemical or physical means by plasma etching
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1216Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by screen printing or stencil printing
    • H05K3/1225Screens or stencils; Holders therefor
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1241Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by ink-jet printing or drawing by dispensing
    • H05K3/125Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by ink-jet printing or drawing by dispensing by ink-jet printing
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/18Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material
    • H05K3/181Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating
    • H05K3/182Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by electroless plating characterised by the patterning method
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/227Drying of printed circuits
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4644Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
    • H05K3/4661Adding a circuit layer by direct wet plating, e.g. electroless plating; insulating materials adapted therefor
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4644Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
    • H05K3/4664Adding a circuit layer by thick film methods, e.g. printing techniques or by other techniques for making conductive patterns by using pastes, inks or powders
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J2367/00Characterised by the use of polyesters obtained by reactions forming a carboxylic ester link in the main chain; Derivatives of such polymers
    • C08J2367/02Polyesters derived from dicarboxylic acids and dihydroxy compounds

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)
  • Non-Insulated Conductors (AREA)
  • Manufacturing Of Electric Cables (AREA)

Description

本出願は、2013年9月6日に出願された欧州特許出願公開第13183282.6号に対する優先権を主張し、この出願の全内容は、あらゆる目的のために参照により本明細書に組み込まれる。
本発明は、光透過性導電性多層アセンブリ、その製造方法および様々な用途におけるその使用に関する。
光透過性導電性酸化物(TCO)半導体材料は、それらの可視スペクトルにおける光透過性および高い導電性の独特の組み合わせのために、フラットパネルディスプレイ、薄膜太陽電池ならびにレーザおよび発光ダイオードなどの用途で有望な機能性材料として長く考えられてきた。
TCO半導体材料は、典型的には1種または2種の金属元素を含む二元または三元化合物である。TCO半導体材料の最も代表的な例は、不純物ドープドZnO、In、SnOおよびCdO、ならびにZnSnO、ZnSnO、ZnIn、ZnIn、InSnO、CdSnOなどの三元化合物およびZnO、InおよびSnOの組み合わせからなる多成分酸化物である。
現在、SnドープドIn(ITO)は、TCO用途に最も広く用いられている材料である。しかしながら、ITOの大規模な実装は、インジウムの不足、毒性および高コストのために著しく妨げられている。
したがって、ITOのものと同等のデバイス性能を有する代替TCO材料が非常に望まれている。
化学蒸着、物理蒸着、パルスレーザー蒸着およびマグネトロンスパッタリングを含めて、種々の基板、典型的にはガラス基板上にTCO薄膜を製造するためにいくつかの方法が開発されてきた。
これらの方法は、典型的には、堆積時のTCO材料の膜結晶性を改善するために、通常は400℃を超える高いアニーリング温度の後処理工程を必要とする。改善された膜結晶性は、有利にはより良い光透過率、導電率およびキャリア移動度をもたらす。
しかしながら、従来の基板は高いアニーリング温度に耐えることができないため、堆積プロセスは、比較的低い温度下で完了させなければならない。
したがって、ポリマー基板を含む種々の基板上に光透過性導電性アセンブリを容易に製造するための代替方法、ならびにそれらの表面、特に大面積表面にわたって均一に高い透過性および高い導電性を与えられたアセンブリを提供することが当技術分野で依然として必要とされている。
今や、有利には電磁スペクトルの可視領域における低い吸収係数と高い導電率値とを併せ持つ光透過性導電性多層アセンブリが、種々の基板、特にポリマー基板上で本発明の方法によって容易に得ることができることがわかった。
また、意外なことに、導電性パターン化膜と導電性連続膜とを組み合わせることによって、有利には、それにより得られる多層アセンブリの厚さを減少させ、したがって、それらの表面、特に大面積表面にわたって均一に、電磁スペクトルの可視領域における低い吸収係数を確実にする一方で、より高い導電率値および卓越した機械的特性を首尾よく得ることができることがわかった。
さらに、本発明の方法は、有利には液相、好ましくは環境に優しい水系媒体中で行うことができることがわかった。
第1の例において、本発明は、多層アセンブリを製造する方法であって、以下の工程:
(1)
(1−a) 外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−1)]を得る工程、
(1−b) 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]を含む液体組成物[組成物(L1)]を得る工程、
(1−c) 任意選択により、化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]を含む液体組成物[組成物(L2)」を得る工程、
(1−d) 組成物(L1)を使用して、層(LT−1)の少なくとも1つの面上に、パターン化層[層(LMP)]を印刷する工程、
(1−e) 任意選択により、工程(1−d)で得られた層(LMP)を組成物(L2)と接触させる工程、および
(1−f) 工程(1−d)または工程(1−e)のいずれかで得られたパターン化基板を少なくとも50℃の温度で乾燥させる工程
を含む方法によって得られ得る、少なくとも1つのパターン化基板を得る工程と、
(2)
(2−a) 層(LT−1)に等しいかまたはそれとは異なる、外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]を得る工程、
(2−b) 少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]を含む液体組成物[組成物(L3)]を得る工程、
(2−c) 任意選択により、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって層(LT−2)の少なくとも1つの面を処理する工程、
(2−d) 工程(2−a)または工程(2−c)のいずれかで得られた層(LT−2)を、組成物(L3)と接触させ、それにより、光透過性非パターン化層[層(LMT)」を得る工程、および
(2−e) 工程(2−d)で得られた非パターン化基板を少なくとも50℃の温度で乾燥させる工程
を含む方法により得られ得る、少なくとも1つの非パターン化基板を得る工程と、
(3)前記少なくとも1つのパターン化基板を、前記少なくとも1つの非パターン化基板の少なくとも1つの面上に適用し、それにより、多層アセンブリを得る工程と
を含む方法に関する。
第2の例において、本発明は、
(1)
− 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]のコア、および任意選択により、前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、前記コアを少なくとも部分的にコーティングする少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]のシェルから作られているパターン化層[層(LMP)]と、
− 任意選択により、層(LMP)の少なくとも1つの面、好ましくは層(LMP)の1つの面上に直接接着されている、光透過性基板層[層(LT−1)]と
を含む、少なくとも1つのパターン化基板と、
(2)
− もしあれば、層(LT−1)に等しいかまたはそれとは異なる、外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]と、
− 層(LT−2)の少なくとも1つの面、好ましくは層(LT−2)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]と
を含み、前記層(LT−2)の少なくとも1つの面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される、少なくとも1つの非パターン加基板と
を含む多層アセンブリに関する。
本発明の多層アセンブリは、有利には本発明の方法によって得られ得る。
第3の例において、本発明は、電子デバイスにおける光透過性電極としての本発明の多層アセンブリの使用に関する。
本発明の光透過性電極は、有利には電子デバイス、例えば、パネルディスプレイ、光電池、ウィンドウ、トランジスタ、発光ダイオードおよびレーザに使用されてもよい。
本発明の目的のために、「パターン化基板」によって、前記基板の少なくとも1つの面上にパターン化層を含む基板が意味される。
「パターン化層」という用語によって、任意のパターン幾何形状を有する層を意味することが本明細書によって意図される。
本発明の目的のために、「非パターン化基板」によって、前記基板の少なくとも1つの面上に連続層を含む基板が意味される。
本発明の多層アセンブリのパターン化基板の層(LMP)は、典型的には非パターン化基板の層(LMT)の上に直接接着される。
本発明の多層アセンブリのパターン化基板および非パターン化基板は、有利には両方とも光透過性である。
本発明の目的のために、「光透過性」という用語によって、約200nm〜約3μmの波長を有する入射電磁放射線に対して光透過性であることが意味される。
層(LT−1)または層(LT−2)の厚さは、特には限定されず;それにもかかわらず、層(LT−1)および層(LT−2)は、典型的には少なくとも5μm、好ましくは少なくとも10μmの厚さを有する。5μm未満の厚さを有する層(LT−1)および層(LT−2)は、本発明の多層アセンブリになお適するが、十分な機械抵抗が必要とされる場合は使用されない。
層(LT−1)または層(LT−2)の厚さの上限によって、これは特には限定されず、但し、前記層(LT−1)および層(LT−2)が、目的とされる使用の特定の分野に必要とされる光透過性をなお与え得ることを条件とする。
層(LT−1)および層(LT−2)の性質に依存して、当業者は、必要とされる光透過性を与えるように前記層(LT−1)および層(LT−2)の適当な厚さを選択する。
層(LT−1)および層(LT−2)は、互いに等しいかまたは異なり、有利には入射電磁放射線の少なくとも75%、好ましくは少なくとも80%、より好ましくは少なくとも90%の透過率を有する。
したがって、本発明の多層アセンブリも、有利には光透過性である。
本発明の多層アセンブリは、典型的には入射電磁放射線の少なくとも50%、好ましくは少なくとも55%、より好ましくは少なくとも60%の透過率を有する。
透過率は、典型的には任意の適切な技術によって分光光度計を使用して測定される。
層(LMP)および層(LMT)は、有利には導電性層である。
本発明の多層アセンブリは、有利には多くとも50Ω/スクウェア、好ましくは多くとも25Ω/スクウェア、より好ましくは多くとも20Ω/スクウェア、さらにより好ましくは多くとも15Ω/スクウェアの電気抵抗率を有する。
本発明の多層アセンブリは、典型的には25μm〜250μm、好ましくは100μm〜150μmに含まれる厚さを有する。
層(LT−1)および層(LT−2)は、互いに等しいかまたは異なり、多孔質基板層または非多孔質基板層のいずれであってもよい。
「多孔質」という用語によって、有限寸法の細孔を含有する基板層を意味することが本明細書によって意図される。
「非孔質基材層」という用語によって、有限寸法の細孔を含有しない高密度基板層を意味することが本明細書によって意図される。
層(LT−1)および層(LT−2)は、互いに等しいかまたは異なり、典型的にはガラスおよびポリマーから選択される材料から作られている。
好適なポリマーの非限定的な例には、フルオロポリマー、ポリエチレンおよびポリプロピレンなどのポリオレフィン、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミド、エチレン酢酸ビニルならびにポリ塩化ビニルが含まれる。
層(LT−1)および層(LT−2)は、互いに等しいかまたは異なり、有利には非導電性基板層である。
非導電性基板層は、前記非導電性基板層が50Ω/スクウェアを超える電気抵抗率を有する点で導電性層と区別する。
層(LMP)は、好ましくは少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)のコア、および任意選択により、前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、前記コアを少なくとも部分的にコーティングする少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]のシェルから作られているパターン化グリッド層[層(LMP’)]である。
本発明の多層アセンブリのパターン化基板は、好ましくは
− 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)のコア、および任意選択により、前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、前記コアを少なくとも部分的にコーティングする少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]のシェルから作られているパターン化グリッド層[層(LMP’)]と、
− 任意選択により、層(LMP’)の少なくとも1つの面、好ましくは層(LMP’)の1つの面上に直接接着されている、光透過性基板層[層(LT−1)]と
を含む、パターン化グリッド基板である。
「パターン化グリッド層」という用語によって、グリッドパターン幾何形状を有する層を意味することが本明細書によって意図される。
層(LMP’)は、好ましくは、100μm〜800μm、好ましくは150μm〜500μmに含まれるメッシュサイズを有する。
層(LMP’)は、好ましくは、5μm〜70μm、好ましくは7μm〜35μmに含まれるバー幅を有する。
層(LMP’)のメッシュサイズおよびバー幅は、典型的には任意の適切な技術によってデジタル顕微鏡を使用して測定される。
パターン化基板が100μm〜800μm、好ましくは150μm〜500μmに含まれるメッシュサイズおよび5μm〜70μm、好ましくは7μm〜35μmに含まれるバー幅を有する層(LMP’)を含む、本発明の多層アセンブリは、有利には光透過性であり、入射電磁放射線の少なくとも50%、好ましくは少なくとも55%、より好ましくは少なくとも60%の透過率を有する。
本発明の方法のある実施形態によれば、層(LT−1)は、上で定義されたとおりの本発明の多層アセンブリの非パターン化基板であってもよく、前記非パターン化基板は、工程(2−a)〜工程(2−e)を含む本発明の方法によって得られ得る。
本発明の方法のこの実施形態によれば、多層アセンブリを製造する方法は、
(1’−a) 外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−1)]を得る工程、
(1’−b) 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]を含む液体組成物[組成物(L1)]を得る工程、
(1’−c) 任意選択により、化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]を含む液体組成物[組成物(L2)]を得る工程、
(1’−d) 組成物(L1)を使用して、層(LT−1)の少なくとも1つの面上にパターン化層[層(LMP)]を印刷する工程、
(1’−e) 任意選択により、工程(1’−d)で得られた層(LMP)を組成物(L2)と接触させる工程、および
(1’−f) 工程(1’−d)または工程(1’−e)のいずれかで得られたパターン化基板を少なくとも50℃の温度で乾燥させる工程
を含む方法により得られ得る、少なくとも1つのパターン化基板を得る工程を含み、ここで、前記層(LT−1)は、
(2−a) 外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]を得る工程と、
(2−b) 少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]を含む液体組成物[組成物(L3)]を得る工程と、
(2−c) 任意選択により、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって層(LT−2)の少なくとも1つの面を処理する工程と、
(2−d) 工程(2−a)または工程(2−c)のいずれかで得られた層(LT−2)を組成物(L3)と接触させ、それにより、光透過性非パターン化層[層(LMT)]を得る工程と、
(2−e) 工程(2−d)で得られた非パターン化基板を少なくとも50℃の温度で乾燥させる工程と
を含む方法によって得られ得る、非パターン化基板である。
本発明の方法のこの実施形態の非パターン化基板は、典型的には、
− 外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]と、
− 層(LT−2)の少なくとも1つの面、好ましくは層(LT−2)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]と
を含み、
層(LT−2)の前記少なくとも1つの面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される。
本発明の方法のこの実施形態の変形形態によれば、工程(1’−d)の下で、パターン化基板の層(LMP)は、非パターン化基板の層(LMT)の反対面上に印刷される。
本発明の第1の実施形態によれば、多層アセンブリは、
(1)
− 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]のコアから作られているパターン化層[層(LMP)]と、
− 層(LMP)の少なくとも1つの面、好ましくは層(LMP)の1つの面上に直接接着された光透過性基板層[層(LT−1)]と
を含む、少なくとも1つのパターン化基板と、
(2)
− 層(LT−1)に等しいかまたはそれとは異なる、外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]と、
− 層(LT−2)の少なくとも1つの面、好ましくは層(LT−2)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]と
を含み、前記層(LT−2)の少なくとも1つの面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される、少なくとも1つの非パターン化基板と
を含む。
本発明のこの第1の実施形態の多層アセンブリのパターン化基板は、有利には工程(1−a)、工程(1−b)、工程(1−d)および工程(1−f)を含む、本発明の方法により得られ得る。
本発明のこの第1の実施形態の多層アセンブリのパターン化基板は、典型的には層(LT−1)の上に支持される。
本発明のこの第1の実施形態の多層アセンブリのパターン化基板の層(LMP)は、典型的には非パターン化基板の層(LMT)の反対面上に直接接着される。
本発明のこの第1の実施形態の変形形態によれば、多層アセンブリは、
− 光透過性基板[層(LT−1)]、
− 層(LT−1)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1]のコアから作られているパターン化層[層(LMP)]、
− 層(LMP)の反対面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]、および
− 層(LMT)の反対面に直接接着されている、層(LT−1)に等しいかまたはそれとは異なる、光透過性基板層[層(LT−2)]
を含み、
層(LMT)の反対面上に直接接着された層(LT−2)の面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される。
本発明の第2の実施形態によれば、多層アセンブリは、
(1)少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]のコア、および任意選択により、前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、前記コアを少なくとも部分的にコーティングする少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]のシェルから作られているパターン化層[層(LMP)]を含む、少なくとも1つのパターン化基板と、
(2)
− 外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]と、
− 層(LT−2)の少なくとも1つの面、好ましくは層(LT−2)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT]と
を含み、前記層(LT−2)の少なくとも1つの面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される、少なくとも1つの非パターン化基板と
を含む。
本発明のこの第2の実施形態の多層アセンブリのパターン化基板は、典型的には層(LT−1)を含まない。
層(LT−1)が非多孔質光透過性基板層である場合、層(LMP)は、典型的には前記層(LT−1)から分離され、それにより、本発明の第2の実施形態の多層アセンブリを得、前記多層アセンブリは、層(LT−1)を含まない自立性パターン化基板を含む。
本発明のこの第2の実施形態の多層アセンブリのパターン化基板の層(LMP)は、典型的には非パターン化基板の層(LMT)の反対面上に直接接着される。
本発明のこの第2の実施形態の第1の変形形態によれば、多層アセンブリは、
− 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]のコア、および前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、前記コアを少なくとも部分的にコーティングする少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]のシェルから作られているパターン化層[層(LMP)]と、
−層(LMP)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]と、
− 層(LMT)の反対面上に直接接着された光透過性基板層[層(LT−2)]と
を含み、ここで、層(LMT)の反対上に直接接着された層(LT−2)の面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される。
本発明の第2の実施形態のこの第1の変形形態の多層アセンブリのパターン化基板は、有利には工程(1−a)〜工程(1−f)を含む、本発明の方法によって得られ得る。
本発明の第2の実施形態のこの第1の変形形態の多層アセンブリのパターン化基板の層(LMP)は、典型的には非パターン化基板の層(LMT)の反対面上に直接接着される。
本発明のこの第2の実施形態の第2の変形形態によれば、多層アセンブリは、
− 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]のコア、および任意選択により、前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、前記コアを少なくとも部分的にコーティングする少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]のシェルから作られているパターン化層[層(LMP)]と、
− 層(LMP)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]と、
− 層(LMT)の反対面上に直接接着された光透過性基板層[層(LT−2)]と
を含み、ここで、層(LMT)の反対面上に直接接着された層(LT−2)の面は、エッチングの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される。
本発明の第2の実施形態のこの第2の変形形態の多層アセンブリのパターン化基板は、有利には工程(1’−a)〜工程(1’−f)を含む、本発明の方法によって得られ得る。
本発明の第2の実施形態のこの第2の変形形態の多層アセンブリのパターン化基板の層(LMP)は、典型的には非パターン化基板の層(LMT)の反対面上に直接接着される。
本発明の目的のために、「フルオロポリマー」という用語は、少なくとも1種のフッ素化モノマーに由来する繰り返し単位を含むフルオロポリマー[ポリマー(F)]を意味すると理解される。
「フッ素化モノマー」という用語によって、少なくとも1個のフッ素原子を含むエチレン性不飽和モノマーを意味することが本明細書によって意図される。
「少なくとも1種のフッ素化モノマー」という用語によって、ポリマー(F)が1種または2種以上のフッ素化モノマーに由来する繰り返し単位を含んでいてもよいことを意味すると理解される。本文の残りにおいて、表現「フッ素化モノマー」という表現は、本発明の目的のために、複数形および単数形の両方で、すなわち、それらは、上で定義されたような1種または2種以上のフッ素化モノマーの両方を意味すると理解される。
好適なフッ素化モノマーの非限定的な例には、特に、以下:
− C〜Cパーフルオロオレフィン、例えば、テトラフルオロエチレン(TFE)およびヘキサフルオロプロペン(HFP);
− C〜Cの水素化フルオロオレフィン、例えば、フッ化ビニリデン(VDF)、フッ化ビニル、1,2−ジフルオロエチレン、およびトリフルオロエチレン(TrFE);
− 式CH=CH−Rf0(式中、Rf0は、C〜Cパーフルオロアルキル基である)のパーフルオロアルキルエチレン;
− クロロ−および/またはブロモ−および/またはヨード−C〜Cフルオロオレフィン、例えば、クロロトリフルオロエチレン(CTFE);
− 式CF=CFORf1(式中、Rf1は、C〜Cフルオロ−またはパーフルオロアルキル基、例えば、CF、C、Cである)の(パー)フルオロアルキルビニルエーテル;
− CF=CFOX(パー)フルオロ−オキシアルキルビニルエーテル(式中、Xは、C〜C12アルキル基、C〜C12オキシアルキル基、または1個以上のエーテル基を含むC〜C12(パー)フルオロオキシアルキル、例えば、パーフルオロ−2−プロポキシ−プロピル基である);
− 式CF=CFOCFORf2(式中、Rf2は、C〜Cのフルオロ−またはパーフルオロアルキル基、例えば、CF、C、Cなどの、または1個以上のエーテル基を含むC〜C(パー)フルオロオキシアルキル基、例えば、−C−O−CFである)の(パー)フルオロアルキルビニルエーテル;
− 式CF=CFOY(式中、Yは、C〜C12アルキルもしくは(パー)フルオロアルキル基、C〜C12オキシアルキル基、または1個以上のエーテル基を含むC〜C12(パー)フルオロオキシアルキル基であり、かつYは、その酸、酸ハライドまたは塩の形態でカルボン酸またはスルホン酸基を含む)の官能性(パー)フルオロ−オキシアルキルビニルエーテル;
− フルオロジオキソール、好ましくはパーフルオロジオキソール;および
− 式CR=CROCR1011(CR1213(O)CR14=CR1516(式中、各R〜R16は、互いに独立して、−FおよびC〜Cフルオロアルキル基から選択され、aは、0または1であり、bは、0または1であり、ただし、aが1である場合、bは0であることを条件とする)の環化重合可能なモノマー
が含まれる。
ポリマー(F)は、少なくとも1種の水素化モノマーをさらに含んでいてもよい。
「水素化モノマー」という用語は、少なくとも1個の水素原子を含み、フッ素原子を含まないエチレン性不飽和モノマーを意味することが本明細書によって意図される。
「少なくとも1種の水素化モノマー」という用語は、ポリマー(F)が1種または2種以上の水素化モノマーに由来する繰り返し単位を含んでいてもよいことを意味すると理解される。本文の残りにおいて、「水素化モノマー」という表現は、本発明の目的のために、複数形および単数形の両方で、すなわち、それらが、上で定義されたとおりの1種または2種以上の水素化モノマーの両方を意味すると理解される。
好適な水素化モノマーの非限定的な例には、特に、非フッ素化モノマー、例えば、エチレン、プロピレン、酢酸ビニルなどのビニルモノマー、メチルメタクリレートおよびブチルアクリレートなどのアクリルモノマー、ならびにスチレンおよびp−メチルスチレンなどのスチレンモノマーが含まれる。
ポリマー(F)は半結晶質または非晶質であってもよい。
「半結晶質」という用語は、ASTM D3418−08に従って測定して、10〜90J/g、好ましくは30〜60J/g、より好ましくは35〜55J/gの融解熱を有するポリマー(F)を意味することが本明細書によって意図される。
「非晶質」という用語は、ASTM D3418−08に従って測定して、5J/g未満、好ましくは3J/g未満、より好ましくは2J/g未満の融解熱を有するポリマー(F)を意味することが本明細書によって意図される。
ポリマー(F)は、典型的には、
(1)テトラフルオロエチレン(TFE)およびクロロトリフルオロエチレン(CTFE)から選択される少なくとも1種のフッ素化モノマー、エチレン、プロピレンおよびイソブチレンから選択される少なくとも1種の水素化モノマー(TFEおよび/またはCTFEならびに前記水素化モノマーの総量に基づいて、典型的には0.01モル%〜30モル%の量で1種以上の追加のコモノマーを任意選択により含む)に由来する繰り返し単位を含むポリマー(F−1);
(2)フッ化ビニリデン(VDF)、および任意選択により、VDFとは異なる1種以上のフッ素化モノマーに由来する繰り返し単位を含むポリマー(F−2);
(3)テトラフルオロエチレン(TFE)、および
− 式CF=CFORf1’(式中、Rf1’は、C〜Cパーフルオロアルキル基である)のパーフルオロアルキルビニルエーテル;
− 式CF=CFOX(式中、Xは、1つ以上のエーテル基を有するC〜C12パーフルオロオキシアルキル基、例えば、パーフルオロ−2−プロポキシ−プロピル基である)のパーフルオロ−オキシアルキルビニルエーテル;
− C〜Cパーフルオロオレフィン、例えば、ヘキサフルオロプロペン(HFP);および
− 式(I):
(式中、R、R、RおよびRは、互いに等しいかまたは異なり、−F、1個以上の酸素原子を任意選択により含むC〜Cフルオロアルキル基、および1個以上の酸素原子を任意選択により含むC〜Cフルオロアルコキシ基からなる群から独立して選択される)
のパーフルオロジオキソール
からなる群から選択される、TFEとは異なる少なくとも1種のフッ素化モノマーに由来する繰り返し単位とを含むポリマー(F−3);ならびに
(4)式CR=CROCR1011(CR1213(O)CR14=CR1516(式中、R〜R16は、互いに独立して、−FおよびC〜Cフルオロアルキル基から選択され、aは、0または1であり、bは、0または1であり、但し、aが1の場合、bは0であることを条件とする)の少なくとも1種の環化重合可能なモノマーに由来する繰り返し単位を含むポリマー(F−4)
からなる群から選択される。
ポリマー(F−1)は、好ましくはエチレン(E)ならびにクロロトリフルオロエチレン(CTFE)およびテトラフルオロエチレン(TFE)の少なくとも1種に由来する繰り返し単位を含む。
ポリマー(F−1)は、より好ましくは、
(a)30モル%〜48モル%、好ましくは35モル%〜45モル%のエチレン(E);
(b)52モル%〜70モル%、好ましくは55モル%〜65モル%の、クロロトリフルオロエチレン(CTFE)、テトラフルオロエチレン(TFE)またはそれらの混合物;ならびに
(c)モノマー(a)およびモノマー(b)の総量に基づいて、5モル%まで、好ましくは2.5モル%までの1種以上のフッ素化および/または水素化コモノマー
を含む。
コモノマーは、好ましくは(メタ)アクリルモノマーの群から選択される水素化コモノマーである。水素化コモノマーは、より好ましくはヒドロキシアルキルアクリレートコモノマー、例えば、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレートおよび(ヒドロキシ)エチルヘキシルアクリレート、ならびにアルキルアクリレートコモノマー、例えば、n−ブチルアクリレートの群から選択される。
ポリマー(F−1)の中で、ECTFEコポリマー、すなわち、エチレンとCTFEと、任意選択により第3のコモノマーとのコポリマーが好ましい。
本発明の方法に好適なECTFEポリマーは、典型的には210℃を超えない、好ましくは200℃を超えない、さらには198℃を超えない、好ましくは195℃を超えない、より好ましくは193℃を超えない、さらにより好ましくは190℃を超えない融点を有する。ECTFEポリマーは、有利には少なくとも120℃、好ましくは少なくとも130℃、なお好ましくは少なくとも140℃、より好ましくは少なくとも145℃、さらにより好ましくは少なくとも150℃の融点を有する。
融点は、ASTM D3418に従って、加熱速度10℃/分で示差走査熱量測定(DSC)によって決定される。
特に良好な結果を与えることが見出されたECTFEポリマーは、
(a)35モル%〜47モル%のエチレン(E);
(b)53モル%〜65モル%のクロロトリフルオロエチレン(CTFE)
に由来する繰り返し単位から本質的になるものである。
上述のものとは異なる繰り返し単位をもたらす末端鎖、欠陥、または微量のモノマー不純物が、材料の性質に影響せずに、好ましいECTFEになお含まれ得る。
230℃および2.16kgでASTM3275−81の手順に従って測定された、ECTFEポリマーのメルトフローレートは、一般に0.01〜75g/10分、好ましくは0.1〜50g/10分、さらに好ましくは0.5〜30g/10分の範囲である。
ポリマー(F−1)の融解熱は、ASTM D3418に従って、10℃/分の加熱速度で示差走査熱量測定(DSC)によって決定される。
ポリマー(F−1)は、典型的には最大で35J/g、好ましくは最大で30J/g、より好ましくは最大で25J/gの融解熱を有する。
ポリマー(F−1)は、典型的には少なくとも1J/g、好ましくは少なくとも2J/g、より好ましくは少なくとも5J/gの融解熱を有する。
ポリマー(F−1)は、有利には半結晶質ポリマーである。
ポリマー(F−2)は、好ましくは:
(a’)少なくとも60モル%、好ましくは少なくとも75モル%、より好ましくは少なくとも85モル%のフッ化ビニリデン(VDF);
(b’)任意選択により、0.1モル%〜15モル%、好ましくは0.1モル%〜12モル%、より好ましくは0.1モル%〜10モル%の、フッ化ビニル(VF)、クロロトリフルオロエチレン(CTFE)、ヘキサフルオロプロペン(HFP)、テトラフルオロエチレン(TFE)、トリフルオロエチレン(TrFE)およびパーフルオロメチルビニルエーテル(PMVE)から選択される1種以上のフッ素化モノマー
を含む。
ポリマー(F−2)は、0.01モル%〜20モル%、好ましくは0.05モル%〜18モル%、より好ましくは0.1モル%〜モル10%の上で定義されたとおりの少なくとも1種の(メタ)アクリルモノマーをさらに含んでもよい。
ポリマー(F−3)は、好ましくはテトラフルオロエチレン(TFE)に由来する繰り返し単位、およびTFEとは異なる少なくとも1種のフッ素化モノマーに由来する1.5重量%、好ましくは少なくとも5重量%、より好ましくは少なくとも7重量%の繰り返し単位を含む。
ポリマー(F−3)は、好ましくはテトラフルオロエチレン(TFE)に由来する繰り返し単位、およびTFEとは異なる少なくとも1種のフッ素化モノマーに由来する多くとも30重量%、好ましくは多くとも25重量%、より好ましくは多くとも20重量%の繰り返し単位を含む。
ポリマー(F−3)は、より好ましくは:
− テトラフルオロエチレン(TFE)、ならびに式CF=CFOCFのパーフルオロメチルビニルエーテル、式CF=CFOCのパーフルオロエチルビニルエーテル、および式CF=CFOCのパーフルオロプロピルビニルエーテルからなる群から選択される少なくとも1種のパーフルオロアルキルビニルエーテルに由来する繰り返し単位を含む、ポリマー(F−3A)と;
− テトラフルオロエチレン(TFE)および式(I):
(式中、R、R、RおよびRは、互いに等しいかまたは異なり、−F、C〜Cパーフルオロアルキル基(例えば、−CF、−C、−C)、および1個の酸素原子を任意選択により含むC〜Cパーフルオロアルコキシ基(例えば、−OCF、−OC、−OC、−OCFCFOCF)からなる群から独立して選択され;好ましくは、式中、R=R=−Fであり、R=Rは、C〜Cパーフルオロアルキル基であり、好ましくはR=R=−CFであるか、または式中、R=R=R=−Fであり、Rは、C〜Cパーフルオロアルコキシ(例えば−OCF、−OC、−OC)である)
の少なくとも1種のパーフルオロジオキソールに由来する繰り返し単位を含むポリマー(F−3B)と
からなる群から選択される。
好適なポリマー(F−3A)の非限定的な例には、特に、Solvay Specialty Polymers Italy S.p.Aから、商標名HYFLON(登録商標)PFA PシリーズおよびMシリーズ、ならびにHYFLON(登録商標)MFAの下で市販されているものが含まれる。
ポリマー(F−3B)は、より好ましくはテトラフルオロエチレン(TFE)、および上で定義されたとおりの式(I)(式中、R=R=R=−Fであり、R=−OCFであるか、または式中、R=R=−Fであり、R=R=−CFである)の少なくとも1種のパーフルオロジオキソールに由来する繰り返し単位を含む。
好適なポリマー(F−3B)の非限定的な例には、特に、Solvay Specialty Polymers Italy S.p.Aから商標名HYFLON(登録商標)ADおよびE.I.Du Pont de Nemours and Co.からTEFLON(登録商標)の下で市販されているものが含まれる。
ポリマー(F−4)は、好ましくは式CR=CROCR1011(CR1213(O)CR14=CR1516(式中、各R〜R16は、互いに独立して−Fであり、a=1であり、b=0である)の少なくとも1種の環化重合可能なモノマーに由来する繰り返し単位を含む。
ポリマー(F−4)は、典型的には非晶質である。
好適なポリマー(F−4)の非限定的な例には、特に、旭硝子株式会社から商標名CYTOP(登録商標)の下で市販されているものが含まれる。
ポリマー(F)は、典型的には懸濁重合法または乳化重合法によって製造される。
層(LT−1)および層(LT−2)は、互いに等しいかまたは異なり、好ましくはフルオロポリマー、好ましくは上で定義されたとおりのポリマー(F−1)、ポリエチレンナフタレートおよびポリエチレンテレフタレートからなる群から選択される材料から作られている。
本発明の目的のために、「液体組成物」によって、大気圧下20℃で液体状態の媒体が意味される。
組成物(L1)は、典型的には少なくとも1種の化合物(M1)、水および少なくとも1種の有機溶媒[溶媒(S)]を含む。
化合物(M1)は、その元素状態の金属、または酸化状態の1種以上の金属イオンを含む金属化合物であってもよい。
化合物(M1)は、Rh、Ir、Ru、Ti、Re、Os、Cd、Tl、Pb、Bi、In、Sb、Al、Ti、Cu、Ni、Pd、V、Fe、Cr、Mn、Co、Zn、Mo、W、Ag、Au、Pt、Ir、Ru、Pd、Sn、Ge、Ga、それらの合金、およびそれらの誘導体からなる群から選択される。
好適な有機溶媒(S)の非限定な例には、以下:
− 脂肪族、脂環式または芳香族エーテルオキシド類、より詳しくは、ジエチルオキシド、ジプロピルオキシド、ジイソプロピルオキシド、ジブチルオキシド、メチルテルチオブチルエーテル(methyltertiobutylether)、ジペンチルオキシド、ジイソペンチルオキシド、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテルベンジルオキシド;ジオキサン、テトラヒドロフラン(THF)、
− グリコールエーテル類、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、エチレングリコールモノベンジルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル;
− グリコールエーテルエステル類、例えば、エチレングリコールメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート;
− アルコール類、例えば、メチルアルコール、エチルアルコール、ジアセトンアルコール;
− ケトン類、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ジイソブチルケトン、シクロヘキサノン、イソホロン、および
− 線状または環状エステル類、例えば、イソプロピルアセテート、n−ブチルアセテート、メチルアセトアセテート、ジメチルフタレート、g−ブチロラクトン
が含まれる。
組成物(L1)は、好ましくはCu、Ni、Fe、Zn、Ag、Au、Pt、それらの合金、およびそれらの誘導体から選択される少なくとも1種の化合物(M1)を含む。
組成物(L1)は、好ましくはいかなる溶媒(S)も含まない。
本発明の方法の工程(1−d)の下で、組成物(L1)は、典型的にはスクリーン、グラビア、フレキソまたはインクジェット印刷技術によって層(LT−1)の少なくとも1つの面上に印刷される。
本発明の方法の工程(1−d)の下で、組成物(L1)は、好ましくはインクジェット印刷技術によって層(LT−1)の少なくとも1つの面上に印刷される。
本発明の方法の工程(1’−d)の下で、組成物(L1)は、典型的にはスクリーン、グラビア、フレキソまたはインクジェット印刷技術によって層(LMT)の反対面上に印刷される。
本発明の方法の工程(1’−d)の下で、組成物(L1)は、好ましくはインクジェット印刷技術によって層(LMT)の反対面上に印刷される。
組成物(L2)は、典型的には少なくとも1種の化合物(M2)および少なくとも1種のイオン液体[液体(I)]を含む。
化合物(M2)は、その元素状態の金属、または酸化状態の1種以上の金属イオンを含む金属化合物であってもよい。
化合物(M2)は、化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なっていてもよい。
化合物(M2)は、典型的にはRh、Ir、Ru、Ti、Re、Os、Cd、Tl、Pb、Bi、In、Sb、Al、Ti、Cu、Ni、Pd、V、Fe、Cr、Mn、Co、Zn、Mo、W、Ag、Au、Pt、Ir、Ru、Pd、Sn、Ge、Ga、それらの合金、およびそれらの誘導体からなる群から選択され得る。
本発明の目的のために、「イオン液体[液体(I)]」という用語によって、大気圧下100℃未満の温度で液体状態において正に荷電したカチオンと負に荷電したアニオンとの組み合わせにより形成される化合物が意味される。
液体(I)は、典型的には
− スルホニウムイオン、またはイミダゾリウム環、ピリジニウム環、ピロリジウム環、またはピペリジウム環(前記環は、窒素原子上で、特に1〜8個の炭素原子を有する1個以上のアルキル基によって、および炭素原子上で、特に1〜30個の炭素原子を有する1個以上のアルキル基によって任意選択により置換されている)からなる群から選択されるカチオン、ならびに
− ハロゲン化物アニオン、パーフッ素化アニオンおよびほう酸塩からなる群から選択されるアニオン
を含むイオン液体からなる群から選択される。
組成物(L2)は、好ましくはCu、Ni、Fe、Zn、Ag、Au、Pt、Cr、Co、Pd、それらの合金、およびそれらの誘導体からなる群から選択される少なくとも1種の化合物(M2)を含む。
本発明の方法の工程(1−e)の下で、もしあれば、工程(1−d)で得られた層(LMP)は、典型的には組成物(L2)と電気めっきまたは無電解めっき技術によって接触させられる。
本発明の方法の工程(1’−e)の下で、もしあれば、工程(1’−d)で得られた層(LMP)は、典型的には組成物(L2)と電気めっきまたは無電解めっき技術によって接触させられる。
本発明の方法が工程(1−e)または工程(1’−e)をさらに含む場合、それにより得られた多層アセンブリのパターン化基板の層(LMP)は、典型的には、少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]のコア、および前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、前記コアを少なくとも部分的にコーティングする少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)」のシェルから作られている。
本発明の方法が工程(1−e)または工程(1’−e)をさらに含む場合、それにより得られた多層アセンブリのパターン化基板は、典型的には層(LT−1)を含まない。
本発明の方法が工程(1−e)または工程(1’−e)をさらに含む場合、層(LMP)は、典型的には層(LT−1)から分離され、それにより、本発明の第2の実施形態の第1の変形形態の多層アセンブリを得、前記多層アセンブリは、層(LT−1)を含まない自立性パターン化基板を含む。
本発明の目的のために、「電気めっき」によって、典型的には、金属化合物をその酸化状態からその元素状態に還元するために電流が使用される電解槽で行われるプロセスが意味される。
本発明の目的のために、「無電解めっき」によって、典型的には、金属化合物が、適切な化学還元剤の存在下でその酸化状態からその元素状態に還元されるめっき浴で行われる、酸化還元プロセスが意味される。
本発明の方法の工程(1−e)の下で、もしあれば、工程(1−d)で得られた層(LMP)は、好ましくは組成物(L2)と電気めっき技術によって接触させられる。
本発明の方法の工程(1’−e)の下で、もしあれば、工程(1’−d)で得られた層(LMP)は、好ましくは組成物(L2)と電気めっき技術によって接触させられる。
本発明の方法の工程(1−f)の下で、工程(1−d)または工程(1−e)のいずれかで得られた多層アセンブリのパターン化基板は、典型的には50℃〜150℃に含まれる温度、好ましくは100℃〜150℃に含まれる温度で乾燥される。
本発明の方法の工程(1’−f)の下で、工程(1’−d)または工程(1’−e)のいずれかで得られた多層アセンブリのパターン化基板は、典型的には50℃〜150℃に含まれる温度、好ましくは100℃〜150℃に含まれる温度で乾燥される。
本発明の方法の工程(2−c)の下で、もしあれば、層(LT−2)の少なくとも1つの面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって処理される。
「高周波グロー放電法」によって、エッチングガスが入っているセルの中で2つの電極間に電圧をかけることによってグロー放電が発生する、高周波増幅器を動力源とする方法を意味することが本明細書によって意図される。そのように発生したグロー放電は、次いで、噴射ヘッドを通って、処理される材料の表面に到達する。
「エッチングガス」によって、高周波グロー放電法における使用に好適なガスまたはガス混合物を意味することが本明細書によって意図される。
エッチングガスは、好ましくは空気、N、NH、CH、CO、He、O、Hおよびそれらの混合物から選択される。
高周波グロー放電法は、典型的には減圧下または大気圧下で行われる。
高周波グロー放電法は、好ましくは約760Torrにて大気圧下で行われる。
大気圧プラズマは、低圧プラズマまたは高圧プラズマとは対照的に、大気圧とは異なる圧力レベルの維持を確実にするために反応容器が必要とされないため、卓越した技術的意義を有する。
高周波グロー放電法は、典型的には1kHz〜100kHzに含まれる高周波で行われる。
高周波グロー放電法は、典型的には1kV〜50kVに含まれる電圧で行われる。
本発明の方法の第1の実施形態によれば、工程(2−c)の下での高周波グロー放電法は、コロナ放電を発生させる。
本発明の方法の第1の実施形態の高周波グロー放電法は、典型的には5kHz〜15kHzに含まれる高周波で行われる。
本発明の方法のこの第1の実施形態の高周波グロー放電法は、典型的には1kV〜20kVに含まれる電圧で行われる。
コロナ放電は、典型的には1×10〜1×1013cm−3に含まれる密度を有する。
本発明の方法の第2の実施形態によれば、工程(2−c)の下での高周波グロー放電法は、プラズマ放電を発生させる。
本発明の方法のこの第2の実施形態の高周波グロー放電法は、典型的には10kHz〜100kHzに含まれる高周波で行われる。
本発明の方法のこの第2の実施形態の高周波グロー放電法は、典型的には5kV〜15kVに含まれる電圧で行われる。
プラズマ放電は、典型的には1×1016〜1×1019cm−3に含まれる密度を有する。
本出願人は、エッチングガスの存在下での高周波グロー放電法による層(LT−2)の処理後、層(LT−2)は、その光透過性を含むそのバルク特性を首尾よく維持することを見出した。
本出願人は、これが本発明の範囲を限定するものではないが、アンモニア雰囲気の存在下での高周波グロー放電法によって、アミン官能基が層(LT−2)の処理面にグラフトされると考える。
また、本出願人は、これが本発明の範囲を限定するものではないが、アンモニア雰囲気の存在下での高周波グロー放電法によって、窒素系官能基が層(LT−2)の処理面にグラフトされると考える。
本発明の方法の工程(2−d)の下で、工程(2−a)または工程(2−c)のいずれかで得られた層(LT−2)は、典型的には組成物(L3)と無電解めっき技術によって接触させられる。
組成物(L3)は、典型的には少なくとも1種の化合物(Mot)、少なくとも1種の溶媒(S)および少なくとも1種の還元剤[剤(R)]を含む。
化合物(Mot)は、典型的には、
− 不純物ドープドZnO、In、SnOおよびCdO、例えば、SnドープドZnO、In(ITO)、SnOおよびCdO、
− 三元金属酸化物化合物、例えば、ZnSnO、ZnSnO、ZnIn、ZnIn、InSnO、CdSnO、ならびに
− ZnO、InおよびSnOの組み合わせからなる多成分金属酸化物
からなる群から選択される金属酸化物である。
組成物(L3)は、好ましくは不純物ドープドZnO、In、SnOおよびCdO、例えば、Sn−ドープドZnO、In(ITO)、SnOおよびCdOからなる群から選択される少なくとも1種の化合物(Mot)を含む。
剤(R)は、典型的にはホルムアルデヒド、ヒドラジンおよびジ亜リン酸ナトリウムからなる群から選択される。
工程(2−a)または工程(2−c)のいずれかで得られた層(LT−2)が組成物(L3)と無電解技術によって接触させられる場合、層(LT−2)は、無電解金属化触媒と前もって接触させられ、それにより、触媒層[層(LT−2)]を得る。次いで、層(LT−2)は、組成物(L3)と接触させられる。
無電解金属化触媒は、典型的にはパラジウム、白金、ロジウム、イリジウム、ニッケル、銅、銀および金に由来する触媒からなる群から選択される。
無電解金属化触媒は、好ましくはPdClなどのパラジウムに由来する触媒から選択される。
本出願人は、そのように処理された層(LT−2)の表面が、無電解めっき技術によってそれに適用された層(LMT)との卓越した層間接着をもたらすことを見出した。
本発明の方法の工程(2−e)の下で、それにより得られた多層アセンブリの非パターン化基板は、典型的には50℃〜150℃に含まれる温度、好ましくは100℃〜150℃に含まれる温度で乾燥される。
本発明の方法の工程(3)の下で、少なくとも1つのパターン化基板の層(LMP)は、典型的には少なくとも1つの非パターン化基板の層(LMT)の上に適用される。
本発明の方法の工程(3)の下で、少なくとも1つのパターン化基板は、一般に当技術分野で通常知られた技術を使用して少なくとも1つの非パターン化基板の少なくとも1つの面上に適用される。
これらの技術の1つまたは他の選択は、典型的には前記パターン化基板および前記非パターン化基板の材料および厚さに基づいてなされる。
本発明の方法の工程(3)の下で、少なくとも1つのパターン化基板は、少なくとも1つの非パターン化基板の少なくとも1つの面上に、典型的には前記少なくとも1つのパターン化基板および前記少なくとも1つの非パターン化基板を互いの上にアセンブルすることによって適用される。
参照により本明細書に組み込まれる特許、特許出願、および刊行物のいずれかの開示が用語を不明瞭にさせ得る程度まで本出願の記載と矛盾する場合、本記載が優先するものとする。
本発明は、以下の実施例に関連してこれからより詳細に説明されるが、その目的は、例示的なものであるにすぎず、本発明の範囲を限定するものではない。
原材料
Sigma Aldrichから市販されているポリエチレンテレフタレート(PET)。
Sigma Aldrichから市販されているSnドープドIn(ITO)。
Sun Chemical,Inc.からSunTronic(登録商標)Jettable Silver Ink U5603として市販されているAgを含む組成物[組成物(Ag]。
実施例1 − 多層アセンブリの製造
SnドープドIn(ITO)から作られている光透過性連続層の上に直接接着されたポリエチレンテレフタレート(PET)から作られている層を有する、125μmの厚さを有する非パターン化基板を得た。多層アセンブリを、10−pLプリントヘッドおよび220nmシリンジフィルタを通して濾過した組成物(Ag)を収容する溶媒耐性カートリッジを有する、Dimatix DMP−2831インクジェットプリンタを使用して、インクジェット印刷技術により、1.2μmの厚さを有するパターン化グリッド層を前記非パターン化基板のITOから作られている光透過性連続層の上に印刷することによって製造した。それにより得られたAgから作られているパターン化グリッド層は、400μmのメッシュサイズおよび20μmのバー幅を有した。
比較例1 − パターン化基板の製造
120μmの厚さを有するPET層の1つの面上に、組成物(Ag)を使用してパターン化グリッド層をインクジェット印刷技術により印刷することによって、125μmの厚さを有するパターン化グリッド基板を製造した。それにより得られたAgから作られているパターン化グリッド層は、400μmのメッシュサイズおよび20μmのバー幅を有した。
比較例2 − 非パターン化基板の製造
125μmの厚さを有する、Sigma Aldrichから市販されている非パターン化基板を使用し、ここで、SnドープドIn(ITO)から作られている光透過性連続層は、120μmの厚さを有するPET層上に直接接着されていた。
メッシュおよびバー幅構造の決定
パターン化グリッド層のメッシュおよびバー幅構造は、Dimatix DMP−2831インクジェットプリンタ基準カメラおよびそのデジタルソフトウェアを使用することによって決定した。
光透過性の決定
アセンブリの光透過性は、ダブルビーム式分光光度計(Perkin Elmer Lambda 2)を使用して透過率値を測定することによって決定した。波長測定範囲は、200〜1000nmであり、データポイント間隔は、1nmであった。
電気抵抗率の決定
アセンブリの電気抵抗率は、標準環境において室温で25cm試料に対して4点手法(Multi Height Probe、Bridge Technology)を使用することによって決定した。
結果を以下の表1に示す。
したがって、本発明の多層アセンブリは、有利には高い透過率値を維持しながら、有利には従来技術のアセンブリと比較してより低い電気抵抗率値を与えることがわかった。

Claims (16)

  1. 多層アセンブリを製造する方法であって、以下の工程:
    (1)
    (1−a) 外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−1)]を得る工程、
    (1−b) 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]を含む液体組成物[組成物(L1)]を得る工程、
    (1−c) 任意選択により、前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]を含む液体組成物[組成物(L2)]を得る工程、
    (1−d) 前記組成物(L1)を使用して、前記層(LT−1)の少なくとも1つの面上に、パターン化層[層(LMP)]を印刷する工程、
    (1−e) 任意選択により、工程(1−d)で得られた前記層(LMP)を前記組成物(L2)と接触させる工程、および
    (1−f) 工程(1−d)または工程(1−e)のいずれかで得られたパターン化基板を少なくとも50℃の温度で乾燥させる工程
    を含む方法によって得られ得る、少なくとも1つのパターン化基板を得る工程と、
    (2)
    (2−a) 前記層(LT−1)に等しいかまたはそれとは異なる、外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]を得る工程、
    (2−b) 少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]を含む液体組成物[組成物(L3)]を得る工程、
    (2−c) 任意選択により、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって前記層(LT−2)の少なくとも1つの面を処理する工程、
    (2−d) 工程(2−a)または工程(2−c)のいずれかで得られた前記層(LT−2)を、前記組成物(L3)と接触させ、それにより、光透過性非パターン化層[層(LMT)]を得る工程、および
    (2−e) 工程(2−d)で得られた非パターン化基板を少なくとも50℃の温度で乾燥させる工程
    を含む方法によって得られ得る、少なくとも1つの非パターン化基板を得る工程と、
    (3)前記少なくとも1つのパターン化基板の前記層(LMP)を、前記少なくとも1つの非パターン化基板の前記層(LMT)上に適用し、それにより、多層アセンブリを得る工程と
    を含む方法。
  2. 少なくとも1つのパターン化基板を得る工程を含む、多層アセンブリを製造する方法であって、前記パターン化基板は、
    (1’−a)
    − 外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]と、
    − 前記層(LT−2)の少なくとも1つの面、好ましくは前記層(LT−2)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]と
    を含み、
    前記層(LT−2)の前記少なくとも1つの面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される、非パターン化基板である、光透過性基板層[層(LT−1)]を得る工程と、
    (1’−b) 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]を含む液体組成物[組成物(L1)]を得る工程と、
    (1’−c) 任意選択により、前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]を含む液体組成物[組成物(L2)]を得る工程と、
    (1’−d) 前記組成物(L1)を使用して、前記層(LMT)の反対面上に、パターン化層[層(LMP)]を印刷する工程と、
    (1’−e) 任意選択により、工程(1’−d)で得られた前記層(LMP)を前記組成物(L2)と接触させる工程と、
    (1’−f) 工程(1’−d)または工程(1’−e)のいずれかで得られた前記パターン化基板を少なくとも50℃の温度で乾燥させる工程と
    を含む方法によって得られ得る、方法。
  3. 前記非パターン化基板が、
    (2−a) 外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]を得る工程と、
    (2−b) 少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]を含む液体組成物[組成物(L3)」を得る工程と、
    (2−c) 任意選択により、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって前記層(LT−2)の少なくとも1つの面を処理する工程と、
    (2−d) 工程(2−a)または工程(2−c)のいずれかで得られた前記層(LT−2)を前記組成物(L3)と接触させ、それにより、光透過性非パターン化層[層(LMT)]を得る工程と、
    (2−e) 工程(2−d)で得られた前記非パターン化基板を少なくとも50℃の温度で乾燥させる工程と
    を含む方法によって得られ得る、請求項2に記載の方法。
  4. 前記組成物(L3)の前記化合物(Mot)が、
    − 不純物ドープドZnO、In、SnOおよびCdO、例えば、SnドープドZnO、In(ITO)、SnOおよびCdO、
    − 三元金属酸化物化合物、例えば、ZnSnO、ZnSnO、ZnIn、ZnIn、InSnO、CdSnO、ならびに
    − ZnO、InおよびSnOの組み合わせからなる多成分金属酸化物
    からなる群から選択される金属酸化物である、請求項1または3に記載の方法。
  5. 工程(2−d)の下で、前記層(LT−2)が、前記組成物(L3)と無電解めっき技術によって接触させられる、請求項1、3または4のいずれか一項に記載の方法。
  6. 前記組成物(L1)の前記化合物(M1)が、R、Ir、Ru、Ti、Re、Os、Cd、Tl、Pb、Bi、In、Sb、Al、Ti、Cu、Ni、Pd、V、Fe、Cr、Mn、Co、Zn、Mo、W、Ag、Au、Pt、Ir、Ru、Pd、Sn、Ge、Ga、それらの合金、およびそれらの誘導体からなる群から選択される、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
  7. 工程(1−d)または工程(1’−d)の下で、前記組成物(L1)が、スクリーン、グラビア、フレキソまたはインクジェット印刷技術によって印刷される、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
  8. 前記組成物(L2)の前記化合物(M2)が、R、Ir、Ru、Ti、Re、Os、Cd、Tl、Pb、Bi、In、Sb、Al、Ti、Cu、Ni、Pd、V、Fe、Cr、Mn、Co、Zn、Mo、W、Ag、Au、Pt、Ir、Ru、Pd、Sn、Ge、Ga、それらの合金、およびそれらの誘導体からなる群から選択される、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
  9. 工程(1−e)または工程(1’−e)の下で、前記層(LMP)が、前記組成物(L2)と、電気めっきまたは無電解めっき技術によって接触させられる、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
  10. (1)
    − 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]のコア、および任意選択により、前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、前記コアを少なくとも部分的にコーティングする少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]のシェルから作られているパターン化層[層(LMP)]と、
    − 任意選択により、前記層(LMP)の少なくとも1つの面、好ましくは前記層(LMP)の1つの面上に直接接着されている、光透過性基板層[層(LT−1)]と
    を含む、少なくとも1つのパターン化基板と、
    (2)
    − もしあれば、前記層(LT−1)に等しいかまたはそれとは異なる、外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]と、
    − 前記層(LT−2)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]と
    を含み、前記層(LT−2)の前記少なくとも1つの面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される、少なくとも1つの非パターン化基板と
    を含む多層アセンブリであって、
    前記多層アセンブリの前記パターン化基板の前記層(LMP)は、前記非パターン化基板の前記層(LMT)の反対面上に直接接着される、多層アセンブリ。
  11. − 光透過性基板層[層(LT−1)]と、
    − 前記層(LT−1)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]のコアから作られているパターン化層[層(LMP)]と、
    − 前記層(LMP)の前記反対面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]と、
    − 前記層(LMT)の前記反対面上に直接接着されている、前記層(LT−1)に等しいかまたはそれとは異なる、光透過性基板層[層(LT−2)]と
    を含み、
    前記層(LMT)の前記反対面上に直接接着された前記層(LT−2)の前記面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される、請求項10に記載の多層アセンブリ。
  12. − 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]のコア、および任意選択により、前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、前記コアを少なくとも部分的にコーティングする少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]のシェルから作られているパターン化層[層(LMP)]と、
    − 前記層(LMP)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]と、
    − 前記層(LMT)の前記反対面上に直接接着された光透過性基板層[層(LT−2)]と
    を含み、
    前記層(LMT)の前記反対面上に直接接着された前記層(LT−2)の前記面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される、請求項10に記載の多層アセンブリ。
  13. 前記層(LMP)が、少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]のコア、および任意選択により、前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、前記コアを少なくとも部分的にコーティングする少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]のシェルから作られているパターン化グリッド層[層(LMP’)]である、請求項10〜12のいずれか一項に記載の多層アセンブリ。
  14. 前記層(LMP’)が、100μm〜800μm、好ましくは150μm〜500μmに含まれるメッシュサイズを有する、請求項13に記載の多層アセンブリ。
  15. 前記層(LMP’)が、5μm〜70μm、好ましくは7μm〜35μmに含まれるバー幅を有する、請求項13または14に記載の多層アセンブリ。
  16. 電子デバイスにおける光透過性電極としての、請求項10〜15のいずれか一項に記載の多層アセンブリの使用。
JP2016539556A 2013-09-06 2014-09-05 導電性アセンブリ Expired - Fee Related JP6434029B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP13183282.6 2013-09-06
EP13183282 2013-09-06
PCT/EP2014/068977 WO2015032915A1 (en) 2013-09-06 2014-09-05 Electrically conducting assemblies

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2017502462A JP2017502462A (ja) 2017-01-19
JP6434029B2 true JP6434029B2 (ja) 2018-12-05

Family

ID=49182056

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016539556A Expired - Fee Related JP6434029B2 (ja) 2013-09-06 2014-09-05 導電性アセンブリ

Country Status (6)

Country Link
US (2) US10455696B2 (ja)
EP (1) EP3041890A1 (ja)
JP (1) JP6434029B2 (ja)
KR (1) KR20160051834A (ja)
CN (1) CN105518065B (ja)
WO (1) WO2015032915A1 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105849926B (zh) * 2013-12-23 2019-09-03 索尔维特殊聚合物意大利有限公司 显示装置
EP3380648A1 (en) * 2015-11-27 2018-10-03 Solvay Specialty Polymers Italy S.p.A. Multilayer composition and process of making
KR102492733B1 (ko) 2017-09-29 2023-01-27 삼성디스플레이 주식회사 구리 플라즈마 식각 방법 및 디스플레이 패널 제조 방법

Family Cites Families (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63160352A (ja) 1986-12-24 1988-07-04 Semiconductor Energy Lab Co Ltd 半導体装置の実装方法
US4966812A (en) * 1988-01-26 1990-10-30 The United States Of America As Represented By The Department Of Energy Sol-gel antireflective coating on plastics
US4929278A (en) * 1988-01-26 1990-05-29 United States Department Of Energy Sol-gel antireflective coating on plastics
EP0390163B1 (en) * 1989-03-31 1993-06-16 Asahi Glass Company Ltd. Electrically heatable windshield
US5411792A (en) 1992-02-27 1995-05-02 Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. Transparent conductive substrate
JP4596444B2 (ja) 2001-03-23 2010-12-08 大日本印刷株式会社 オフセット印刷による電極パターンの形成方法
JP2002316471A (ja) 2001-04-20 2002-10-29 Dainippon Printing Co Ltd オフセット印刷による電極パターンの形成方法
JP2002358916A (ja) 2001-05-31 2002-12-13 Noritake Itron Corp 蛍光表示管及びその製造方法並びに導電性ペースト
JP2002361998A (ja) 2001-06-05 2002-12-18 Dainippon Printing Co Ltd 電極パターンの印刷方法
JP2002361997A (ja) 2001-06-05 2002-12-18 Dainippon Printing Co Ltd 電極パターンの印刷方法
JP2003045234A (ja) * 2001-07-26 2003-02-14 Dainippon Printing Co Ltd 透明導電性フィルム
JP2003311916A (ja) 2002-04-19 2003-11-06 Dainippon Printing Co Ltd 厚膜パターンの印刷方法及びプラズマディスプレイパネルの電極パターンの印刷方法
US7138170B2 (en) * 2003-04-28 2006-11-21 Eastman Kodak Company Terminated conductive patterned sheet utilizing conductive conduits
JP4600284B2 (ja) * 2003-10-28 2010-12-15 住友金属鉱山株式会社 透明導電積層体とその製造方法及び透明導電積層体を用いたデバイス
KR20050122498A (ko) 2004-06-24 2005-12-29 삼성에스디아이 주식회사 감광성 페이스트 조성물, 이를 이용하여 제조된 pdp전극, 및 이를 포함하는 pdp
CN101379224A (zh) * 2005-04-15 2009-03-04 南壁技术股份有限公司 具有狭窄导电带线的光学涂层
WO2007038950A1 (en) * 2005-09-28 2007-04-12 Stichting Dutch Polymer Institute Method for generation of metal surface structures and apparatus therefor
KR100690930B1 (ko) * 2006-05-03 2007-03-09 한국기계연구원 깊은 제거를 이용하여 원하는 패턴 두께 혹은 높은종횡비를 가지는 고해상도 패턴 형성 방법
KR20080008022A (ko) 2006-07-19 2008-01-23 주식회사 엘지화학 잉크젯 프린팅과 무전해도금을 이용한 pdp용 전극패턴의제조방법
PT1935929E (pt) * 2006-12-19 2012-02-09 Evonik Degussa Gmbh Processo sol-gel para produzir películas protetoras para substratos poliméricos
DE102007008833A1 (de) * 2007-02-23 2008-08-28 Saint-Gobain Sekurit Deutschland Gmbh & Co. Kg Transparente Scheibe mit einer beheizbaren Beschichtung
US8241528B2 (en) 2007-03-15 2012-08-14 Dic Corporation Conductive ink for letterpress reverse printing
JP2008235098A (ja) * 2007-03-22 2008-10-02 Matsushita Electric Ind Co Ltd 透明導電膜およびその製造方法
US20100096647A1 (en) * 2007-04-03 2010-04-22 Koninklijke Philips Electronics N.V. Light output device
KR100911439B1 (ko) 2007-08-17 2009-08-11 나노씨엠에스(주) 나노 은 콜로이드를 이용한 잉크젯용 수계 전도성 잉크 조성물 및 이를 이용한 디스플레이용 전극 형성방법
EP2192598A1 (en) 2008-12-01 2010-06-02 Exax Inc. Paste composition for forming heat-resistant conductive patterns on substrate
JP2010155882A (ja) 2008-12-26 2010-07-15 Hitachi Maxell Ltd 透明導電膜形成用インク及び透明導電膜
JP2010191125A (ja) 2009-02-18 2010-09-02 Bridgestone Corp 情報表示パネル用パターン電極の製造方法、及び情報表示パネル
JP2010287590A (ja) * 2009-06-09 2010-12-24 Dainippon Printing Co Ltd 電磁波遮蔽材及びそのアース取り出し構造
JP2011060622A (ja) * 2009-09-11 2011-03-24 Nippon Steel Chem Co Ltd 透明導電性膜積層体およびその製造方法
KR101152357B1 (ko) 2010-01-29 2012-06-11 주식회사 엘지화학 마이크로웨이브를 이용한 도전성 패턴의 형성방법
KR101183435B1 (ko) 2010-06-14 2012-09-14 정승원 터치패널용 전극 페이스트 조성물 및 이를 이용한 전극 형성방법
KR101161968B1 (ko) 2010-07-19 2012-07-04 롯데알미늄 주식회사 전도성 향상액 및 이를 이용하여 그라비아 인쇄법으로 도전배선을 형성하는 방법
JP2012059417A (ja) * 2010-09-06 2012-03-22 Fujifilm Corp 透明導電フィルム、その製造方法、電子デバイス、及び、有機薄膜太陽電池
KR20120053480A (ko) * 2010-11-17 2012-05-25 주식회사 엘지화학 산화막이 형성된 도전성 필름 및 그 제조방법
JP5662824B2 (ja) * 2011-02-14 2015-02-04 住友理工株式会社 遮熱性合わせ構造体の製造方法、遮熱性合わせ構造体、合わせ構造体用透明積層フィルム
WO2012160468A1 (en) * 2011-05-23 2012-11-29 Koninklijke Philips Electronics N.V. Fabrication apparatus for fabricating a patterned layer
JP6047994B2 (ja) * 2012-01-24 2016-12-21 デクセリアルズ株式会社 透明導電性素子およびその製造方法、入力装置、電子機器、ならびに透明導電層の加工方法

Also Published As

Publication number Publication date
US10506710B1 (en) 2019-12-10
CN105518065A (zh) 2016-04-20
EP3041890A1 (en) 2016-07-13
US10455696B2 (en) 2019-10-22
US20200008297A1 (en) 2020-01-02
JP2017502462A (ja) 2017-01-19
CN105518065B (zh) 2020-03-10
US20160212844A1 (en) 2016-07-21
WO2015032915A1 (en) 2015-03-12
KR20160051834A (ko) 2016-05-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10506710B1 (en) Electrically conducting assemblies
JP5783902B2 (ja) 太陽電池の光電地要素のための白色顔料を含む不透明フルオロポリマー組成物
US20180338352A1 (en) Heater device and method for producing the same
JP2010267395A (ja) 透明導電フィルム、透明導電フィルムの製造方法及び電子デバイス用透明電極
JP2019091054A (ja) 多層ミラーアセンブリ
JP2018056562A (ja) λ/4型電波吸収体用抵抗皮膜及びλ/4型電波吸収体
JP2018505273A (ja) 電気活性ターポリマーに基づく組成物
WO2008122619A1 (en) Solar cell module
JP7574851B2 (ja) 導電膜、光電子素子及び導電膜の製造方法
JP2020098341A (ja) ディスプレイデバイス
JP4769572B2 (ja) 耐熱性透明電極の製造方法および色素増感太陽電池
CN1815327A (zh) 坯料及其形成方法,使用该坯料的黑色矩阵及其形成方法
US10696768B2 (en) Crosslinkable fluoropolymers
KR102741843B1 (ko) 유-무기 복합 태양전지 제조방법
JP3823166B2 (ja) 電解エッチング方法、光起電力素子の製造方法及び光起電力素子の欠陥処理方法
JP5885151B2 (ja) 導電性積層体及びその製造方法
CN101040402A (zh) 色素增感型太阳能电池用叠层体、色素增感型太阳能电池用电极及其制造方法
Oriani et al. Ink-jet printing and electrodeposition for the production of free standing and polymer supported micronet electrodes
TW201326443A (zh) 透明導電膜及其製造方法
EP2991123A1 (en) Collector for a luminescent solar concentrator

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20170804

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20180531

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20180626

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180925

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20181009

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20181107

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6434029

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees