JP6434029B2 - 導電性アセンブリ - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 122
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 102
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 80
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 68
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 claims description 49
- -1 metal oxide compound Chemical class 0.000 claims description 21
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 20
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 18
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 13
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 9
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 9
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 claims description 7
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 6
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 claims description 6
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000007639 printing Methods 0.000 claims description 6
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims description 4
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 4
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 4
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052716 thallium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910007717 ZnSnO Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 213
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 42
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 36
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 15
- UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N chlorotrifluoroethylene Chemical group FC(F)=C(F)Cl UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 description 12
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 8
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 8
- BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 1,1-Difluoroethene Chemical compound FC(F)=C BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229920001780 ECTFE Polymers 0.000 description 6
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- HCDGVLDPFQMKDK-UHFFFAOYSA-N hexafluoropropylene Chemical compound FC(F)=C(F)C(F)(F)F HCDGVLDPFQMKDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 5
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 5
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 5
- MIZLGWKEZAPEFJ-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-trifluoroethene Chemical group FC=C(F)F MIZLGWKEZAPEFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HFNSTEOEZJBXIF-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,5-tetrafluoro-1,3-dioxole Chemical class FC1=C(F)OC(F)(F)O1 HFNSTEOEZJBXIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 4
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 4
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 4
- 125000001033 ether group Chemical group 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 4
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 4
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 4
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 4
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 3
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 3
- 239000002608 ionic liquid Substances 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 3
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- BLTXWCKMNMYXEA-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-trifluoro-2-(trifluoromethoxy)ethene Chemical compound FC(F)=C(F)OC(F)(F)F BLTXWCKMNMYXEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethyl acetate Chemical compound COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N Dimethoxyethane Chemical compound COCCOC XTHFKEDIFFGKHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIQCNGHVCWTJSM-UHFFFAOYSA-N Dimethyl phthalate Chemical compound COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OC NIQCNGHVCWTJSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001774 Perfluoroether Polymers 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N butyl acetate Chemical compound CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001768 cations Chemical class 0.000 description 2
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N diacetone alcohol Chemical compound CC(=O)CC(C)(C)O SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000113 differential scanning calorimetry Methods 0.000 description 2
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 2
- XUCNUKMRBVNAPB-UHFFFAOYSA-N fluoroethene Chemical compound FC=C XUCNUKMRBVNAPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N isophorone Chemical compound CC1=CC(=O)CC(C)(C)C1 HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 125000005429 oxyalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 2
- 125000005010 perfluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 2
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 2
- 229920000307 polymer substrate Polymers 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- 125000004400 (C1-C12) alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000006664 (C1-C3) perfluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000002733 (C1-C6) fluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- WFLOTYSKFUPZQB-OWOJBTEDSA-N (e)-1,2-difluoroethene Chemical group F\C=C\F WFLOTYSKFUPZQB-OWOJBTEDSA-N 0.000 description 1
- RRZIJNVZMJUGTK-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-trifluoro-2-(1,2,2-trifluoroethenoxy)ethene Chemical compound FC(F)=C(F)OC(F)=C(F)F RRZIJNVZMJUGTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WUMVZXWBOFOYAW-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,3,4,4,4-heptafluoro-1-(1,2,3,3,4,4,4-heptafluorobut-1-enoxy)but-1-ene Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)=C(F)OC(F)=C(F)C(F)(F)C(F)(F)F WUMVZXWBOFOYAW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZPCMSSQHRAJCC-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoro-1-(1,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoropent-1-enoxy)pent-1-ene Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)=C(F)OC(F)=C(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F BZPCMSSQHRAJCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LZDKZFUFMNSQCJ-UHFFFAOYSA-N 1,2-diethoxyethane Chemical compound CCOCCOCC LZDKZFUFMNSQCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UTPFSIZAJUXRQS-UHFFFAOYSA-N 1-(2-butoxyethoxy)butane;phenylmethoxymethylbenzene Chemical compound CCCCOCCOCCCC.C=1C=CC=CC=1COCC1=CC=CC=C1 UTPFSIZAJUXRQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 1-butoxybutane Chemical compound CCCCOCCCC DURPTKYDGMDSBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AOPDRZXCEAKHHW-UHFFFAOYSA-N 1-pentoxypentane Chemical compound CCCCCOCCCCC AOPDRZXCEAKHHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 1H-imidazole Chemical group C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IIXWKXLCOIFETI-UHFFFAOYSA-N 2-(2-ethoxyethoxy)ethanol;2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO.CCOCCOCCO IIXWKXLCOIFETI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PTTPXKJBFFKCEK-UHFFFAOYSA-N 2-Methyl-4-heptanone Chemical compound CC(C)CC(=O)CC(C)C PTTPXKJBFFKCEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOC(C)=O NQBXSWAWVZHKBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCDWFXQBSFUVSP-UHFFFAOYSA-N 2-phenoxyethanol Chemical compound OCCOC1=CC=CC=C1 QCDWFXQBSFUVSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CUZKCNWZBXLAJX-UHFFFAOYSA-N 2-phenylmethoxyethanol Chemical compound OCCOCC1=CC=CC=C1 CUZKCNWZBXLAJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCGFUIQPSOCUHI-UHFFFAOYSA-N 2-propan-2-yloxyethanol Chemical compound CC(C)OCCO HCGFUIQPSOCUHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 2-propoxyethanol Chemical compound CCCOCCO YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QZPSOSOOLFHYRR-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxypropyl prop-2-enoate Chemical compound OCCCOC(=O)C=C QZPSOSOOLFHYRR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AQZGPSLYZOOYQP-UHFFFAOYSA-N Diisoamyl ether Chemical compound CC(C)CCOCCC(C)C AQZGPSLYZOOYQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZAFNJMIOTHYJRJ-UHFFFAOYSA-N Diisopropyl ether Chemical compound CC(C)OC(C)C ZAFNJMIOTHYJRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N Isobutene Chemical group CC(C)=C VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WRQNANDWMGAFTP-UHFFFAOYSA-N Methylacetoacetic acid Chemical compound COC(=O)CC(C)=O WRQNANDWMGAFTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101150003085 Pdcl gene Proteins 0.000 description 1
- NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N Piperidine Chemical group C1CCNCC1 NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical group C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWRDLPDLKQPQOW-UHFFFAOYSA-N Pyrrolidine Chemical group C1CCNC1 RWRDLPDLKQPQOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 125000005250 alkyl acrylate group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000012736 aqueous medium Substances 0.000 description 1
- 150000008378 aryl ethers Chemical class 0.000 description 1
- 150000001642 boronic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 125000001246 bromo group Chemical group Br* 0.000 description 1
- DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N but-3-enoic acid;ethene Chemical compound C=C.OC(=O)CC=C DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- FBSAITBEAPNWJG-UHFFFAOYSA-N dimethyl phthalate Natural products CC(=O)OC1=CC=CC=C1OC(C)=O FBSAITBEAPNWJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001826 dimethylphthalate Drugs 0.000 description 1
- POLCUAVZOMRGSN-UHFFFAOYSA-N dipropyl ether Chemical compound CCCOCCC POLCUAVZOMRGSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010556 emulsion polymerization method Methods 0.000 description 1
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 125000003709 fluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 125000002346 iodo group Chemical group I* 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMMWKPVZQRWMSS-UHFFFAOYSA-N isopropanol acetate Natural products CC(C)OC(C)=O JMMWKPVZQRWMSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940011051 isopropyl acetate Drugs 0.000 description 1
- GWYFCOCPABKNJV-UHFFFAOYSA-N isovaleric acid Chemical compound CC(C)CC(O)=O GWYFCOCPABKNJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002609 medium Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N methanone Chemical compound O=[14CH2] WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 1
- 230000033116 oxidation-reduction process Effects 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229960005323 phenoxyethanol Drugs 0.000 description 1
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 229920006126 semicrystalline polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 1
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-O sulfonium Chemical compound [SH3+] RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 238000010558 suspension polymerization method Methods 0.000 description 1
- KRAHLZAGPKKBSW-UHFFFAOYSA-N tetrasodium;dioxidophosphanyl phosphite Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[O-]P([O-])OP([O-])[O-] KRAHLZAGPKKBSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 description 1
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000001429 visible spectrum Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Description
(1)
(1−a) 外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−1)]を得る工程、
(1−b) 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]を含む液体組成物[組成物(L1)]を得る工程、
(1−c) 任意選択により、化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]を含む液体組成物[組成物(L2)」を得る工程、
(1−d) 組成物(L1)を使用して、層(LT−1)の少なくとも1つの面上に、パターン化層[層(LMP)]を印刷する工程、
(1−e) 任意選択により、工程(1−d)で得られた層(LMP)を組成物(L2)と接触させる工程、および
(1−f) 工程(1−d)または工程(1−e)のいずれかで得られたパターン化基板を少なくとも50℃の温度で乾燥させる工程
を含む方法によって得られ得る、少なくとも1つのパターン化基板を得る工程と、
(2)
(2−a) 層(LT−1)に等しいかまたはそれとは異なる、外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]を得る工程、
(2−b) 少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]を含む液体組成物[組成物(L3)]を得る工程、
(2−c) 任意選択により、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって層(LT−2)の少なくとも1つの面を処理する工程、
(2−d) 工程(2−a)または工程(2−c)のいずれかで得られた層(LT−2)を、組成物(L3)と接触させ、それにより、光透過性非パターン化層[層(LMT)」を得る工程、および
(2−e) 工程(2−d)で得られた非パターン化基板を少なくとも50℃の温度で乾燥させる工程
を含む方法により得られ得る、少なくとも1つの非パターン化基板を得る工程と、
(3)前記少なくとも1つのパターン化基板を、前記少なくとも1つの非パターン化基板の少なくとも1つの面上に適用し、それにより、多層アセンブリを得る工程と
を含む方法に関する。
(1)
− 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]のコア、および任意選択により、前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、前記コアを少なくとも部分的にコーティングする少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]のシェルから作られているパターン化層[層(LMP)]と、
− 任意選択により、層(LMP)の少なくとも1つの面、好ましくは層(LMP)の1つの面上に直接接着されている、光透過性基板層[層(LT−1)]と
を含む、少なくとも1つのパターン化基板と、
(2)
− もしあれば、層(LT−1)に等しいかまたはそれとは異なる、外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]と、
− 層(LT−2)の少なくとも1つの面、好ましくは層(LT−2)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]と
を含み、前記層(LT−2)の少なくとも1つの面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される、少なくとも1つの非パターン加基板と
を含む多層アセンブリに関する。
− 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)のコア、および任意選択により、前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、前記コアを少なくとも部分的にコーティングする少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]のシェルから作られているパターン化グリッド層[層(LMP’)]と、
− 任意選択により、層(LMP’)の少なくとも1つの面、好ましくは層(LMP’)の1つの面上に直接接着されている、光透過性基板層[層(LT−1)]と
を含む、パターン化グリッド基板である。
(1’−a) 外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−1)]を得る工程、
(1’−b) 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]を含む液体組成物[組成物(L1)]を得る工程、
(1’−c) 任意選択により、化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]を含む液体組成物[組成物(L2)]を得る工程、
(1’−d) 組成物(L1)を使用して、層(LT−1)の少なくとも1つの面上にパターン化層[層(LMP)]を印刷する工程、
(1’−e) 任意選択により、工程(1’−d)で得られた層(LMP)を組成物(L2)と接触させる工程、および
(1’−f) 工程(1’−d)または工程(1’−e)のいずれかで得られたパターン化基板を少なくとも50℃の温度で乾燥させる工程
を含む方法により得られ得る、少なくとも1つのパターン化基板を得る工程を含み、ここで、前記層(LT−1)は、
(2−a) 外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]を得る工程と、
(2−b) 少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]を含む液体組成物[組成物(L3)]を得る工程と、
(2−c) 任意選択により、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって層(LT−2)の少なくとも1つの面を処理する工程と、
(2−d) 工程(2−a)または工程(2−c)のいずれかで得られた層(LT−2)を組成物(L3)と接触させ、それにより、光透過性非パターン化層[層(LMT)]を得る工程と、
(2−e) 工程(2−d)で得られた非パターン化基板を少なくとも50℃の温度で乾燥させる工程と
を含む方法によって得られ得る、非パターン化基板である。
− 外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]と、
− 層(LT−2)の少なくとも1つの面、好ましくは層(LT−2)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]と
を含み、
層(LT−2)の前記少なくとも1つの面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される。
(1)
− 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]のコアから作られているパターン化層[層(LMP)]と、
− 層(LMP)の少なくとも1つの面、好ましくは層(LMP)の1つの面上に直接接着された光透過性基板層[層(LT−1)]と
を含む、少なくとも1つのパターン化基板と、
(2)
− 層(LT−1)に等しいかまたはそれとは異なる、外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]と、
− 層(LT−2)の少なくとも1つの面、好ましくは層(LT−2)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]と
を含み、前記層(LT−2)の少なくとも1つの面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される、少なくとも1つの非パターン化基板と
を含む。
− 光透過性基板[層(LT−1)]、
− 層(LT−1)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1]のコアから作られているパターン化層[層(LMP)]、
− 層(LMP)の反対面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]、および
− 層(LMT)の反対面に直接接着されている、層(LT−1)に等しいかまたはそれとは異なる、光透過性基板層[層(LT−2)]
を含み、
層(LMT)の反対面上に直接接着された層(LT−2)の面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される。
(1)少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]のコア、および任意選択により、前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、前記コアを少なくとも部分的にコーティングする少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]のシェルから作られているパターン化層[層(LMP)]を含む、少なくとも1つのパターン化基板と、
(2)
− 外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]と、
− 層(LT−2)の少なくとも1つの面、好ましくは層(LT−2)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT]と
を含み、前記層(LT−2)の少なくとも1つの面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される、少なくとも1つの非パターン化基板と
を含む。
− 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]のコア、および前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、前記コアを少なくとも部分的にコーティングする少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]のシェルから作られているパターン化層[層(LMP)]と、
−層(LMP)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]と、
− 層(LMT)の反対面上に直接接着された光透過性基板層[層(LT−2)]と
を含み、ここで、層(LMT)の反対上に直接接着された層(LT−2)の面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される。
− 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]のコア、および任意選択により、前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、前記コアを少なくとも部分的にコーティングする少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]のシェルから作られているパターン化層[層(LMP)]と、
− 層(LMP)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]と、
− 層(LMT)の反対面上に直接接着された光透過性基板層[層(LT−2)]と
を含み、ここで、層(LMT)の反対面上に直接接着された層(LT−2)の面は、エッチングの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される。
− C3〜C8パーフルオロオレフィン、例えば、テトラフルオロエチレン(TFE)およびヘキサフルオロプロペン(HFP);
− C2〜C8の水素化フルオロオレフィン、例えば、フッ化ビニリデン(VDF)、フッ化ビニル、1,2−ジフルオロエチレン、およびトリフルオロエチレン(TrFE);
− 式CH2=CH−Rf0(式中、Rf0は、C1〜C6パーフルオロアルキル基である)のパーフルオロアルキルエチレン;
− クロロ−および/またはブロモ−および/またはヨード−C2〜C6フルオロオレフィン、例えば、クロロトリフルオロエチレン(CTFE);
− 式CF2=CFORf1(式中、Rf1は、C1〜C6フルオロ−またはパーフルオロアルキル基、例えば、CF3、C2F5、C3F7である)の(パー)フルオロアルキルビニルエーテル;
− CF2=CFOX0(パー)フルオロ−オキシアルキルビニルエーテル(式中、X0は、C1〜C12アルキル基、C1〜C12オキシアルキル基、または1個以上のエーテル基を含むC1〜C12(パー)フルオロオキシアルキル、例えば、パーフルオロ−2−プロポキシ−プロピル基である);
− 式CF2=CFOCF2ORf2(式中、Rf2は、C1〜C6のフルオロ−またはパーフルオロアルキル基、例えば、CF3、C2F5、C3F7などの、または1個以上のエーテル基を含むC1〜C6(パー)フルオロオキシアルキル基、例えば、−C2F5−O−CF3である)の(パー)フルオロアルキルビニルエーテル;
− 式CF2=CFOY0(式中、Y0は、C1〜C12アルキルもしくは(パー)フルオロアルキル基、C1〜C12オキシアルキル基、または1個以上のエーテル基を含むC1〜C12(パー)フルオロオキシアルキル基であり、かつY0は、その酸、酸ハライドまたは塩の形態でカルボン酸またはスルホン酸基を含む)の官能性(パー)フルオロ−オキシアルキルビニルエーテル;
− フルオロジオキソール、好ましくはパーフルオロジオキソール;および
− 式CR7R8=CR9OCR10R11(CR12R13)a(O)bCR14=CR15R16(式中、各R7〜R16は、互いに独立して、−FおよびC1〜C3フルオロアルキル基から選択され、aは、0または1であり、bは、0または1であり、ただし、aが1である場合、bは0であることを条件とする)の環化重合可能なモノマー
が含まれる。
(1)テトラフルオロエチレン(TFE)およびクロロトリフルオロエチレン(CTFE)から選択される少なくとも1種のフッ素化モノマー、エチレン、プロピレンおよびイソブチレンから選択される少なくとも1種の水素化モノマー(TFEおよび/またはCTFEならびに前記水素化モノマーの総量に基づいて、典型的には0.01モル%〜30モル%の量で1種以上の追加のコモノマーを任意選択により含む)に由来する繰り返し単位を含むポリマー(F−1);
(2)フッ化ビニリデン(VDF)、および任意選択により、VDFとは異なる1種以上のフッ素化モノマーに由来する繰り返し単位を含むポリマー(F−2);
(3)テトラフルオロエチレン(TFE)、および
− 式CF2=CFORf1’(式中、Rf1’は、C1〜C6パーフルオロアルキル基である)のパーフルオロアルキルビニルエーテル;
− 式CF2=CFOX0(式中、X0は、1つ以上のエーテル基を有するC1〜C12パーフルオロオキシアルキル基、例えば、パーフルオロ−2−プロポキシ−プロピル基である)のパーフルオロ−オキシアルキルビニルエーテル;
− C3〜C8パーフルオロオレフィン、例えば、ヘキサフルオロプロペン(HFP);および
− 式(I):
(式中、R1、R2、R3およびR4は、互いに等しいかまたは異なり、−F、1個以上の酸素原子を任意選択により含むC1〜C6フルオロアルキル基、および1個以上の酸素原子を任意選択により含むC1〜C6フルオロアルコキシ基からなる群から独立して選択される)
のパーフルオロジオキソール
からなる群から選択される、TFEとは異なる少なくとも1種のフッ素化モノマーに由来する繰り返し単位とを含むポリマー(F−3);ならびに
(4)式CR7R8=CR9OCR10R11(CR12R13)a(O)bCR14=CR15R16(式中、R7〜R16は、互いに独立して、−FおよびC1〜C3フルオロアルキル基から選択され、aは、0または1であり、bは、0または1であり、但し、aが1の場合、bは0であることを条件とする)の少なくとも1種の環化重合可能なモノマーに由来する繰り返し単位を含むポリマー(F−4)
からなる群から選択される。
(a)30モル%〜48モル%、好ましくは35モル%〜45モル%のエチレン(E);
(b)52モル%〜70モル%、好ましくは55モル%〜65モル%の、クロロトリフルオロエチレン(CTFE)、テトラフルオロエチレン(TFE)またはそれらの混合物;ならびに
(c)モノマー(a)およびモノマー(b)の総量に基づいて、5モル%まで、好ましくは2.5モル%までの1種以上のフッ素化および/または水素化コモノマー
を含む。
(a)35モル%〜47モル%のエチレン(E);
(b)53モル%〜65モル%のクロロトリフルオロエチレン(CTFE)
に由来する繰り返し単位から本質的になるものである。
(a’)少なくとも60モル%、好ましくは少なくとも75モル%、より好ましくは少なくとも85モル%のフッ化ビニリデン(VDF);
(b’)任意選択により、0.1モル%〜15モル%、好ましくは0.1モル%〜12モル%、より好ましくは0.1モル%〜10モル%の、フッ化ビニル(VF1)、クロロトリフルオロエチレン(CTFE)、ヘキサフルオロプロペン(HFP)、テトラフルオロエチレン(TFE)、トリフルオロエチレン(TrFE)およびパーフルオロメチルビニルエーテル(PMVE)から選択される1種以上のフッ素化モノマー
を含む。
− テトラフルオロエチレン(TFE)、ならびに式CF2=CFOCF3のパーフルオロメチルビニルエーテル、式CF2=CFOC2F5のパーフルオロエチルビニルエーテル、および式CF2=CFOC3F7のパーフルオロプロピルビニルエーテルからなる群から選択される少なくとも1種のパーフルオロアルキルビニルエーテルに由来する繰り返し単位を含む、ポリマー(F−3A)と;
− テトラフルオロエチレン(TFE)および式(I):
(式中、R1、R2、R3およびR4は、互いに等しいかまたは異なり、−F、C1〜C3パーフルオロアルキル基(例えば、−CF3、−C2F5、−C3F7)、および1個の酸素原子を任意選択により含むC1〜C3パーフルオロアルコキシ基(例えば、−OCF3、−OC2F5、−OC3F7、−OCF2CF2OCF3)からなる群から独立して選択され;好ましくは、式中、R1=R2=−Fであり、R3=R4は、C1〜C3パーフルオロアルキル基であり、好ましくはR3=R4=−CF3であるか、または式中、R1=R3=R4=−Fであり、R2は、C1〜C3パーフルオロアルコキシ(例えば−OCF3、−OC2F5、−OC3F7)である)
の少なくとも1種のパーフルオロジオキソールに由来する繰り返し単位を含むポリマー(F−3B)と
からなる群から選択される。
− 脂肪族、脂環式または芳香族エーテルオキシド類、より詳しくは、ジエチルオキシド、ジプロピルオキシド、ジイソプロピルオキシド、ジブチルオキシド、メチルテルチオブチルエーテル(methyltertiobutylether)、ジペンチルオキシド、ジイソペンチルオキシド、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテルベンジルオキシド;ジオキサン、テトラヒドロフラン(THF)、
− グリコールエーテル類、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、エチレングリコールモノベンジルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル;
− グリコールエーテルエステル類、例えば、エチレングリコールメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート;
− アルコール類、例えば、メチルアルコール、エチルアルコール、ジアセトンアルコール;
− ケトン類、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、ジイソブチルケトン、シクロヘキサノン、イソホロン、および
− 線状または環状エステル類、例えば、イソプロピルアセテート、n−ブチルアセテート、メチルアセトアセテート、ジメチルフタレート、g−ブチロラクトン
が含まれる。
− スルホニウムイオン、またはイミダゾリウム環、ピリジニウム環、ピロリジウム環、またはピペリジウム環(前記環は、窒素原子上で、特に1〜8個の炭素原子を有する1個以上のアルキル基によって、および炭素原子上で、特に1〜30個の炭素原子を有する1個以上のアルキル基によって任意選択により置換されている)からなる群から選択されるカチオン、ならびに
− ハロゲン化物アニオン、パーフッ素化アニオンおよびほう酸塩からなる群から選択されるアニオン
を含むイオン液体からなる群から選択される。
− 不純物ドープドZnO、In2O3、SnO2およびCdO、例えば、SnドープドZnO、In2O3(ITO)、SnO2およびCdO、
− 三元金属酸化物化合物、例えば、Zn2SnO4、ZnSnO3、Zn2In2O5、Zn3In2O6、In2SnO4、CdSnO3、ならびに
− ZnO、In2O3およびSnO2の組み合わせからなる多成分金属酸化物
からなる群から選択される金属酸化物である。
Sigma Aldrichから市販されているポリエチレンテレフタレート(PET)。
SnドープドIn2O3(ITO)から作られている光透過性連続層の上に直接接着されたポリエチレンテレフタレート(PET)から作られている層を有する、125μmの厚さを有する非パターン化基板を得た。多層アセンブリを、10−pLプリントヘッドおよび220nmシリンジフィルタを通して濾過した組成物(Ag)を収容する溶媒耐性カートリッジを有する、Dimatix DMP−2831インクジェットプリンタを使用して、インクジェット印刷技術により、1.2μmの厚さを有するパターン化グリッド層を前記非パターン化基板のITOから作られている光透過性連続層の上に印刷することによって製造した。それにより得られたAgから作られているパターン化グリッド層は、400μmのメッシュサイズおよび20μmのバー幅を有した。
120μmの厚さを有するPET層の1つの面上に、組成物(Ag)を使用してパターン化グリッド層をインクジェット印刷技術により印刷することによって、125μmの厚さを有するパターン化グリッド基板を製造した。それにより得られたAgから作られているパターン化グリッド層は、400μmのメッシュサイズおよび20μmのバー幅を有した。
125μmの厚さを有する、Sigma Aldrichから市販されている非パターン化基板を使用し、ここで、SnドープドIn2O3(ITO)から作られている光透過性連続層は、120μmの厚さを有するPET層上に直接接着されていた。
パターン化グリッド層のメッシュおよびバー幅構造は、Dimatix DMP−2831インクジェットプリンタ基準カメラおよびそのデジタルソフトウェアを使用することによって決定した。
アセンブリの光透過性は、ダブルビーム式分光光度計(Perkin Elmer Lambda 2)を使用して透過率値を測定することによって決定した。波長測定範囲は、200〜1000nmであり、データポイント間隔は、1nmであった。
アセンブリの電気抵抗率は、標準環境において室温で25cm2試料に対して4点手法(Multi Height Probe、Bridge Technology)を使用することによって決定した。
Claims (16)
- 多層アセンブリを製造する方法であって、以下の工程:
(1)
(1−a) 外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−1)]を得る工程、
(1−b) 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]を含む液体組成物[組成物(L1)]を得る工程、
(1−c) 任意選択により、前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]を含む液体組成物[組成物(L2)]を得る工程、
(1−d) 前記組成物(L1)を使用して、前記層(LT−1)の少なくとも1つの面上に、パターン化層[層(LMP)]を印刷する工程、
(1−e) 任意選択により、工程(1−d)で得られた前記層(LMP)を前記組成物(L2)と接触させる工程、および
(1−f) 工程(1−d)または工程(1−e)のいずれかで得られたパターン化基板を少なくとも50℃の温度で乾燥させる工程
を含む方法によって得られ得る、少なくとも1つのパターン化基板を得る工程と、
(2)
(2−a) 前記層(LT−1)に等しいかまたはそれとは異なる、外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]を得る工程、
(2−b) 少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]を含む液体組成物[組成物(L3)]を得る工程、
(2−c) 任意選択により、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって前記層(LT−2)の少なくとも1つの面を処理する工程、
(2−d) 工程(2−a)または工程(2−c)のいずれかで得られた前記層(LT−2)を、前記組成物(L3)と接触させ、それにより、光透過性非パターン化層[層(LMT)]を得る工程、および
(2−e) 工程(2−d)で得られた非パターン化基板を少なくとも50℃の温度で乾燥させる工程
を含む方法によって得られ得る、少なくとも1つの非パターン化基板を得る工程と、
(3)前記少なくとも1つのパターン化基板の前記層(LMP)を、前記少なくとも1つの非パターン化基板の前記層(LMT)上に適用し、それにより、多層アセンブリを得る工程と
を含む方法。 - 少なくとも1つのパターン化基板を得る工程を含む、多層アセンブリを製造する方法であって、前記パターン化基板は、
(1’−a)
− 外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]と、
− 前記層(LT−2)の少なくとも1つの面、好ましくは前記層(LT−2)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]と
を含み、
前記層(LT−2)の前記少なくとも1つの面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される、非パターン化基板である、光透過性基板層[層(LT−1)]を得る工程と、
(1’−b) 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]を含む液体組成物[組成物(L1)]を得る工程と、
(1’−c) 任意選択により、前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]を含む液体組成物[組成物(L2)]を得る工程と、
(1’−d) 前記組成物(L1)を使用して、前記層(LMT)の反対面上に、パターン化層[層(LMP)]を印刷する工程と、
(1’−e) 任意選択により、工程(1’−d)で得られた前記層(LMP)を前記組成物(L2)と接触させる工程と、
(1’−f) 工程(1’−d)または工程(1’−e)のいずれかで得られた前記パターン化基板を少なくとも50℃の温度で乾燥させる工程と
を含む方法によって得られ得る、方法。 - 前記非パターン化基板が、
(2−a) 外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]を得る工程と、
(2−b) 少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]を含む液体組成物[組成物(L3)」を得る工程と、
(2−c) 任意選択により、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって前記層(LT−2)の少なくとも1つの面を処理する工程と、
(2−d) 工程(2−a)または工程(2−c)のいずれかで得られた前記層(LT−2)を前記組成物(L3)と接触させ、それにより、光透過性非パターン化層[層(LMT)]を得る工程と、
(2−e) 工程(2−d)で得られた前記非パターン化基板を少なくとも50℃の温度で乾燥させる工程と
を含む方法によって得られ得る、請求項2に記載の方法。 - 前記組成物(L3)の前記化合物(Mot)が、
− 不純物ドープドZnO、In2O3、SnO2およびCdO、例えば、SnドープドZnO、In2O3(ITO)、SnO2およびCdO、
− 三元金属酸化物化合物、例えば、Zn2SnO4、ZnSnO3、Zn2In2O5、Zn3In2O6、In2SnO4、CdSnO3、ならびに
− ZnO、In2O3およびSnO2の組み合わせからなる多成分金属酸化物
からなる群から選択される金属酸化物である、請求項1または3に記載の方法。 - 工程(2−d)の下で、前記層(LT−2)が、前記組成物(L3)と無電解めっき技術によって接触させられる、請求項1、3または4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記組成物(L1)の前記化合物(M1)が、Rh、Ir、Ru、Ti、Re、Os、Cd、Tl、Pb、Bi、In、Sb、Al、Ti、Cu、Ni、Pd、V、Fe、Cr、Mn、Co、Zn、Mo、W、Ag、Au、Pt、Ir、Ru、Pd、Sn、Ge、Ga、それらの合金、およびそれらの誘導体からなる群から選択される、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- 工程(1−d)または工程(1’−d)の下で、前記組成物(L1)が、スクリーン、グラビア、フレキソまたはインクジェット印刷技術によって印刷される、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記組成物(L2)の前記化合物(M2)が、Rh、Ir、Ru、Ti、Re、Os、Cd、Tl、Pb、Bi、In、Sb、Al、Ti、Cu、Ni、Pd、V、Fe、Cr、Mn、Co、Zn、Mo、W、Ag、Au、Pt、Ir、Ru、Pd、Sn、Ge、Ga、それらの合金、およびそれらの誘導体からなる群から選択される、請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 工程(1−e)または工程(1’−e)の下で、前記層(LMP)が、前記組成物(L2)と、電気めっきまたは無電解めっき技術によって接触させられる、請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
- (1)
− 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]のコア、および任意選択により、前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、前記コアを少なくとも部分的にコーティングする少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]のシェルから作られているパターン化層[層(LMP)]と、
− 任意選択により、前記層(LMP)の少なくとも1つの面、好ましくは前記層(LMP)の1つの面上に直接接着されている、光透過性基板層[層(LT−1)]と
を含む、少なくとも1つのパターン化基板と、
(2)
− もしあれば、前記層(LT−1)に等しいかまたはそれとは異なる、外面および内面を有する光透過性基板層[層(LT−2)]と、
− 前記層(LT−2)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]と
を含み、前記層(LT−2)の前記少なくとも1つの面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される、少なくとも1つの非パターン化基板と
を含む多層アセンブリであって、
前記多層アセンブリの前記パターン化基板の前記層(LMP)は、前記非パターン化基板の前記層(LMT)の反対面上に直接接着される、多層アセンブリ。 - − 光透過性基板層[層(LT−1)]と、
− 前記層(LT−1)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]のコアから作られているパターン化層[層(LMP)]と、
− 前記層(LMP)の前記反対面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]と、
− 前記層(LMT)の前記反対面上に直接接着されている、前記層(LT−1)に等しいかまたはそれとは異なる、光透過性基板層[層(LT−2)]と
を含み、
前記層(LMT)の前記反対面上に直接接着された前記層(LT−2)の前記面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される、請求項10に記載の多層アセンブリ。 - − 少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]のコア、および任意選択により、前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、前記コアを少なくとも部分的にコーティングする少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]のシェルから作られているパターン化層[層(LMP)]と、
− 前記層(LMP)の1つの面上に直接接着されている、少なくとも1種の光透過性金属化合物[化合物(Mot)]から作られている光透過性非パターン化層[層(LMT)]と、
− 前記層(LMT)の前記反対面上に直接接着された光透過性基板層[層(LT−2)]と
を含み、
前記層(LMT)の前記反対面上に直接接着された前記層(LT−2)の前記面は、エッチングガスの存在下で高周波グロー放電法によって任意選択により処理される、請求項10に記載の多層アセンブリ。 - 前記層(LMP)が、少なくとも1種の第1の金属化合物[化合物(M1)]のコア、および任意選択により、前記化合物(M1)に等しいかまたはそれとは異なる、前記コアを少なくとも部分的にコーティングする少なくとも1種の第2の金属化合物[化合物(M2)]のシェルから作られているパターン化グリッド層[層(LMP’)]である、請求項10〜12のいずれか一項に記載の多層アセンブリ。
- 前記層(LMP’)が、100μm〜800μm、好ましくは150μm〜500μmに含まれるメッシュサイズを有する、請求項13に記載の多層アセンブリ。
- 前記層(LMP’)が、5μm〜70μm、好ましくは7μm〜35μmに含まれるバー幅を有する、請求項13または14に記載の多層アセンブリ。
- 電子デバイスにおける光透過性電極としての、請求項10〜15のいずれか一項に記載の多層アセンブリの使用。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP13183282.6 | 2013-09-06 | ||
| EP13183282 | 2013-09-06 | ||
| PCT/EP2014/068977 WO2015032915A1 (en) | 2013-09-06 | 2014-09-05 | Electrically conducting assemblies |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2017502462A JP2017502462A (ja) | 2017-01-19 |
| JP6434029B2 true JP6434029B2 (ja) | 2018-12-05 |
Family
ID=49182056
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016539556A Expired - Fee Related JP6434029B2 (ja) | 2013-09-06 | 2014-09-05 | 導電性アセンブリ |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US10455696B2 (ja) |
| EP (1) | EP3041890A1 (ja) |
| JP (1) | JP6434029B2 (ja) |
| KR (1) | KR20160051834A (ja) |
| CN (1) | CN105518065B (ja) |
| WO (1) | WO2015032915A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105849926B (zh) * | 2013-12-23 | 2019-09-03 | 索尔维特殊聚合物意大利有限公司 | 显示装置 |
| EP3380648A1 (en) * | 2015-11-27 | 2018-10-03 | Solvay Specialty Polymers Italy S.p.A. | Multilayer composition and process of making |
| KR102492733B1 (ko) | 2017-09-29 | 2023-01-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 구리 플라즈마 식각 방법 및 디스플레이 패널 제조 방법 |
Family Cites Families (38)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
2014
- 2014-09-05 CN CN201480049033.3A patent/CN105518065B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2014-09-05 EP EP14759205.9A patent/EP3041890A1/en not_active Withdrawn
- 2014-09-05 WO PCT/EP2014/068977 patent/WO2015032915A1/en not_active Ceased
- 2014-09-05 KR KR1020167008549A patent/KR20160051834A/ko not_active Withdrawn
- 2014-09-05 US US14/917,172 patent/US10455696B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2014-09-05 JP JP2016539556A patent/JP6434029B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2019
- 2019-09-10 US US16/566,854 patent/US10506710B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US10506710B1 (en) | 2019-12-10 |
| CN105518065A (zh) | 2016-04-20 |
| EP3041890A1 (en) | 2016-07-13 |
| US10455696B2 (en) | 2019-10-22 |
| US20200008297A1 (en) | 2020-01-02 |
| JP2017502462A (ja) | 2017-01-19 |
| CN105518065B (zh) | 2020-03-10 |
| US20160212844A1 (en) | 2016-07-21 |
| WO2015032915A1 (en) | 2015-03-12 |
| KR20160051834A (ko) | 2016-05-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170804 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180531 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180626 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180925 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181107 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |