JP3051971B2 - 金属ろう材付着ｉｔｏの処理方法 - Google Patents
金属ろう材付着ｉｔｏの処理方法Info
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/20—Recycling
Landscapes
- Electrolytic Production Of Metals (AREA)
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、金属ろう材付着ＩＴＯ
（酸化インジウム錫）の処理方法に関し、詳しくはＩＴ
ＯターゲットからＩｎを回収するに際し、不純物となる
金属ろう材を容易に分離除去し、しかも該ターゲット本
体の損失を防止して、高回収率でＩｎを回収することが
できる金属ろう材付着ＩＴＯの処理方法に関するもので
ある。
（酸化インジウム錫）の処理方法に関し、詳しくはＩＴ
ＯターゲットからＩｎを回収するに際し、不純物となる
金属ろう材を容易に分離除去し、しかも該ターゲット本
体の損失を防止して、高回収率でＩｎを回収することが
できる金属ろう材付着ＩＴＯの処理方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来からＩＴＯスパッタリングターゲッ
トは、透明導電膜形成用として広く使用されており、こ
のターゲットは使用率が３０％程度であり、希少金属で
あるＩｎを回収するために、使用後のターゲットを回収
して精製し、再利用することが行なわれている。
トは、透明導電膜形成用として広く使用されており、こ
のターゲットは使用率が３０％程度であり、希少金属で
あるＩｎを回収するために、使用後のターゲットを回収
して精製し、再利用することが行なわれている。
【０００３】一般に、スパッタリングターゲットは、冷
却効果を高めるため、銅や銅合金のバッキングプレート
とターゲット材を低融点金属ろう材で接合して使用され
る。この金属ろう材としては、Ｉｎ系の低融点合金が用
いられることが多く、融点や接着強度等の制御のため、
種々の添加物が配合されている。
却効果を高めるため、銅や銅合金のバッキングプレート
とターゲット材を低融点金属ろう材で接合して使用され
る。この金属ろう材としては、Ｉｎ系の低融点合金が用
いられることが多く、融点や接着強度等の制御のため、
種々の添加物が配合されている。
【０００４】回収時には、このパッキングプレートを加
熱してターゲット材と分離するが、このターゲットには
金属ろう材が付着したままとなっている。
熱してターゲット材と分離するが、このターゲットには
金属ろう材が付着したままとなっている。
【０００５】この金属ろう材が使用済みターゲットから
Ｉｎを回収する際に、Ｉｎの不純物となるため、予め金
属ろう材を分離除去した後にＩｎ回収操作を行なうのが
好ましいのである。
Ｉｎを回収する際に、Ｉｎの不純物となるため、予め金
属ろう材を分離除去した後にＩｎ回収操作を行なうのが
好ましいのである。
【０００６】従来、使用済みＩＴＯターゲットからろう
材を除去する方法としては、機械的にターゲットの表面
ごと削り落す方法、あるいは化学薬品により溶解除去す
る方法が行なわれていたが、両法ともターゲット本体を
削ったり溶解させるため、金属ろう材のみの除去ができ
ず、ターゲット本体も損失するので、Ｉｎの回収率が著
しく低いという欠点があった。
材を除去する方法としては、機械的にターゲットの表面
ごと削り落す方法、あるいは化学薬品により溶解除去す
る方法が行なわれていたが、両法ともターゲット本体を
削ったり溶解させるため、金属ろう材のみの除去ができ
ず、ターゲット本体も損失するので、Ｉｎの回収率が著
しく低いという欠点があった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、従来法の欠
点を解消し、金属ろう材が付着した使用済みＩＴＯター
ゲットから金属ろう材を除去するのに際し、ＩＴＯ本体
の損失がなく、金属ろう材のみを容易に、しかも確実に
分離除去することができる金属ろう材付着ＩＴＯの処理
方法を提案するものである。
点を解消し、金属ろう材が付着した使用済みＩＴＯター
ゲットから金属ろう材を除去するのに際し、ＩＴＯ本体
の損失がなく、金属ろう材のみを容易に、しかも確実に
分離除去することができる金属ろう材付着ＩＴＯの処理
方法を提案するものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、使用済みＩＴ
Ｏターゲットから金属ろう材を分離除去するに際し、従
来法の欠点を解消すべく鋭意研究の結果、ＩＴＯターゲ
ット及び金属ろう材共に導電性であることから、金属ろ
う材が付着した使用済みターゲットをアノードとして電
解することにより、金属ろう材のみを分離することがで
きる、との知見を得て開発された技術である。
Ｏターゲットから金属ろう材を分離除去するに際し、従
来法の欠点を解消すべく鋭意研究の結果、ＩＴＯターゲ
ット及び金属ろう材共に導電性であることから、金属ろ
う材が付着した使用済みターゲットをアノードとして電
解することにより、金属ろう材のみを分離することがで
きる、との知見を得て開発された技術である。
【０００９】即ち、本発明は金属ろう材が付着したＩＴ
Ｏをアノードとして電解液中で電気分解することによ
り、該ＩＴＯから該金属ろう材を分離することを特徴と
する金属ろう材付着ＩＴＯの処理方法を提供するもので
ある。
Ｏをアノードとして電解液中で電気分解することによ
り、該ＩＴＯから該金属ろう材を分離することを特徴と
する金属ろう材付着ＩＴＯの処理方法を提供するもので
ある。
【００１０】上記において、電気分解におけるカソード
が電解液に不溶性の導電体であり、アノードの金属ろう
材面が該カソードに向き合うように配置して電気分解す
ることが好ましいのである。
が電解液に不溶性の導電体であり、アノードの金属ろう
材面が該カソードに向き合うように配置して電気分解す
ることが好ましいのである。
【００１１】本発明は、上記のように構成されているの
で、ＩＴＯ本体の損失がなく、付着した金属ろう材のみ
を容易にして、しかも確実に分離除去することができる
のである。
で、ＩＴＯ本体の損失がなく、付着した金属ろう材のみ
を容易にして、しかも確実に分離除去することができる
のである。
【００１２】従って、使用済みＩＴＯターゲットからＩ
ｎを分離回収し精製するに際し、不純物となる金属ろう
材の成分がＩｎ回収工程前に電解分離することで、ＩＴ
Ｏターゲットから除去ができるので、高純度なＩｎの回
収が容易となり、しかもＩＴＯターゲットの損失がほど
んどないので、高収率で高純度Ｉｎを回収することがで
きる。
ｎを分離回収し精製するに際し、不純物となる金属ろう
材の成分がＩｎ回収工程前に電解分離することで、ＩＴ
Ｏターゲットから除去ができるので、高純度なＩｎの回
収が容易となり、しかもＩＴＯターゲットの損失がほど
んどないので、高収率で高純度Ｉｎを回収することがで
きる。
【００１３】
【作用】金属ろう材が付着した使用済みＩＴＯターゲッ
トをアノード電極とし、カソード電極として電解液に不
溶性な金属板等、例えばＩＴＯ板やＴｉ板等を使用し、
電解液としては所定濃度の塩化アンモニウム溶液等を使
用する。
トをアノード電極とし、カソード電極として電解液に不
溶性な金属板等、例えばＩＴＯ板やＴｉ板等を使用し、
電解液としては所定濃度の塩化アンモニウム溶液等を使
用する。
【００１４】電解槽内において、アノード電極である使
用済みＩＴＯターゲットの金属ろう材を付着した面がカ
ソード電極面と向き合うように配置して浸漬し、所定の
電流を通電する。
用済みＩＴＯターゲットの金属ろう材を付着した面がカ
ソード電極面と向き合うように配置して浸漬し、所定の
電流を通電する。
【００１５】こうすることにより、付着した金属ろう材
はＩＴＯターゲット面から完全に分離・除去されてＩＴ
Ｏ本体の地肌が表われる。
はＩＴＯターゲット面から完全に分離・除去されてＩＴ
Ｏ本体の地肌が表われる。
【００１６】本発明法によれば、ターゲットとしてはＩ
ＴＯに限らず金属，非金属のターゲットでも金属ろう材
が導電性を保有するものであれば、その金属ろう材のみ
を完全に分離・除去することができるのである。
ＴＯに限らず金属，非金属のターゲットでも金属ろう材
が導電性を保有するものであれば、その金属ろう材のみ
を完全に分離・除去することができるのである。
【００１７】また、電解液は電解質の溶液であれば、水
系もしくは非水系のものでもよいが、ターゲット材自体
を侵食しない溶液であればよい。
系もしくは非水系のものでもよいが、ターゲット材自体
を侵食しない溶液であればよい。
【００１８】なお、電解時の電流密度は処理量や所望す
る処理速度等を考慮して決定する。その他、電解槽，極
間距離，電解時間，電解温度及び電解液濃度等の電解諸
条件は適宜予め予備実験等により決めればよい。次に、
本発明の実施例を説明する。
る処理速度等を考慮して決定する。その他、電解槽，極
間距離，電解時間，電解温度及び電解液濃度等の電解諸
条件は適宜予め予備実験等により決めればよい。次に、
本発明の実施例を説明する。
【００１９】
実施例１ １００ｇ／ｌの塩化アンモニウム溶液を電解液とし、実
験用電解槽に装入し、スターラーで攪拌しておき、金属
ろう材付着ＩＴＯターゲットに金属ろう材の分離状態が
分るように該ターゲットの面積が半分になるようにマス
キングテープを貼り、テープの貼っていない下半分を電
解液中に浸漬させてアノードとした。
験用電解槽に装入し、スターラーで攪拌しておき、金属
ろう材付着ＩＴＯターゲットに金属ろう材の分離状態が
分るように該ターゲットの面積が半分になるようにマス
キングテープを貼り、テープの貼っていない下半分を電
解液中に浸漬させてアノードとした。
【００２０】この場合、カソードとして使用したＩＴＯ
板とアノードの金属ろう材付着面が向い合うようにセッ
トした。金属ろう材は市販のはんだ剤で、その成分組成
はＳｎ：４３％，Ｐｂ：４３％，Ｂｉ：１４％であっ
た。
板とアノードの金属ろう材付着面が向い合うようにセッ
トした。金属ろう材は市販のはんだ剤で、その成分組成
はＳｎ：４３％，Ｐｂ：４３％，Ｂｉ：１４％であっ
た。
【００２１】上記のように金属ろう材付着ＩＴＯターゲ
ットをアソードとし、カソードとしてＩＴＯ板を使用
し、塩化アンモニウム電解液中でアノード電極の電流密
度１０Ａ／ｄｍ２で１０分間電解した。
ットをアソードとし、カソードとしてＩＴＯ板を使用
し、塩化アンモニウム電解液中でアノード電極の電流密
度１０Ａ／ｄｍ２で１０分間電解した。
【００２２】電解処理後、アノードを取り出し、金属ろ
う材の付着していた面を調べた結果、金属ろう材は完全
に分離されてＩＴＯ本体の表面となっており、しかもＩ
ＴＯ面は全く荒れていなかった。
う材の付着していた面を調べた結果、金属ろう材は完全
に分離されてＩＴＯ本体の表面となっており、しかもＩ
ＴＯ面は全く荒れていなかった。
【００２３】実施例２ 実施例１と同様に、１００ｇ／ｌの塩化アンモニウム溶
液を電解液として実験用電解槽に装入し、スターラーで
攪拌しておき、金属ろう材付着ＩＴＯターゲットに金属
ろう材の分離状況が分るように該ターゲットの面積が半
分になるようにマスキングテープを貼り、テープの貼っ
ていない下半分を電解液中に浸漬させてアノードとし
た。この場合、カソードとして使用したＩＴＯ板とアノ
ードの金属ろう材付着面が向い合うようにセットした。
液を電解液として実験用電解槽に装入し、スターラーで
攪拌しておき、金属ろう材付着ＩＴＯターゲットに金属
ろう材の分離状況が分るように該ターゲットの面積が半
分になるようにマスキングテープを貼り、テープの貼っ
ていない下半分を電解液中に浸漬させてアノードとし
た。この場合、カソードとして使用したＩＴＯ板とアノ
ードの金属ろう材付着面が向い合うようにセットした。
【００２４】金属ろう材はＩｎ系ろう材で、その成分組
成はＩｎ：９０％，Ｓｎ：１０％であった。
成はＩｎ：９０％，Ｓｎ：１０％であった。
【００２５】上記のように金属ろう材付着ＩＴＯターゲ
ットをアノードとし、カソードとしてＩＴＯ板を使用
し、塩化アンモニウム電解液中で、アノード電極の電流
密度２０Ａ／ｄｍ２で１０分間電解した。
ットをアノードとし、カソードとしてＩＴＯ板を使用
し、塩化アンモニウム電解液中で、アノード電極の電流
密度２０Ａ／ｄｍ２で１０分間電解した。
【００２６】電解処理後、アノードを取り出し、金属ろ
う材の付着していた面を調べた結果、金属ろう材は完全
に分離されてＩＴＯ本体の表面となっており、かつＩＴ
Ｏ面は全く荒れていなかった。
う材の付着していた面を調べた結果、金属ろう材は完全
に分離されてＩＴＯ本体の表面となっており、かつＩＴ
Ｏ面は全く荒れていなかった。
【００２７】
【発明の効果】本発明は上記にように構成されているの
で、使用済み金属ろう材付着ＩＴＯターゲットをアノー
ドとして電解処理することにより、金属ろう材のみを容
易かつ確実に分離除去することができ、しかもＩＴＯ本
体の損失が全くない。
で、使用済み金属ろう材付着ＩＴＯターゲットをアノー
ドとして電解処理することにより、金属ろう材のみを容
易かつ確実に分離除去することができ、しかもＩＴＯ本
体の損失が全くない。
【００２８】従って、使用済みＩＴＯターゲットからＩ
ｎを回収精製するに際し、不純物となる金属ろう材の諸
成分がＩｎ回収工程前に完全に分離除去できるので、高
純度なＩｎの回収が容易となり、しかもＩＴＯターゲッ
ト本体の損失がないので、高収率で高純度Ｉｎを回収す
ることができる効果がある。
ｎを回収精製するに際し、不純物となる金属ろう材の諸
成分がＩｎ回収工程前に完全に分離除去できるので、高
純度なＩｎの回収が容易となり、しかもＩＴＯターゲッ
ト本体の損失がないので、高収率で高純度Ｉｎを回収す
ることができる効果がある。
Claims (3)
- 【請求項１】 はんだを主成分とした金属ろう材が付着
したＩＴＯターゲットをアノード電極とし、カソード電
極として電解液に不溶性なＩＴＯ板又は金属板を使用
し、電解液中で電気分解することにより、該ＩＴＯから
該金属ろう材を分離することを特徴とする金属ろう材付
着ＩＴＯの処理方法。 - 【請求項２】 Ｉｎを主成分とした金属ろう材が付着し
たＩＴＯターゲットをアノード電極とし、カソード電極
として電解液に不溶性なＩＴＯ板又は金属板を使用し、
電解液中で電気分解することにより該ＩＴＯから該金属
ろう材を分離することを特徴とする金属ろう材付着ＩＴ
Ｏの処理方法。 - 【請求項３】 前記電解液は１００ｇ／ｌ以下の濃度の
塩化アンモニウム溶液である請求項１又は２記載の金属
ろう材付着ＩＴＯの処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6204141A JP3051971B2 (ja) | 1994-07-26 | 1994-07-26 | 金属ろう材付着ｉｔｏの処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6204141A JP3051971B2 (ja) | 1994-07-26 | 1994-07-26 | 金属ろう材付着ｉｔｏの処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0841560A JPH0841560A (ja) | 1996-02-13 |
| JP3051971B2 true JP3051971B2 (ja) | 2000-06-12 |
Family
ID=16485520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6204141A Expired - Fee Related JP3051971B2 (ja) | 1994-07-26 | 1994-07-26 | 金属ろう材付着ｉｔｏの処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3051971B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
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| CA2666129C (en) | 2006-10-24 | 2012-01-03 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | Method for collection of valuable metal from ito scrap |
| EP2078766B1 (en) | 2006-10-24 | 2011-09-28 | JX Nippon Mining & Metals Corporation | Method for collection of valuable metal from ito scrap |
| US8012335B2 (en) | 2006-10-24 | 2011-09-06 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Method for collection of valuable metal from ITO scrap |
| CN102174675A (zh) | 2006-10-24 | 2011-09-07 | Jx日矿日石金属株式会社 | 从ito废料中回收有价金属的方法 |
| CA2673833C (en) | 2007-02-16 | 2012-03-06 | Nippon Mining & Metals Co., Ltd. | Method of recovering valuable metal from scrap containing conductive oxide |
| US8734633B2 (en) | 2007-02-16 | 2014-05-27 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Method of recovering valuable metal from scrap containing conductive oxide |
| JP4210714B2 (ja) | 2007-03-27 | 2009-01-21 | 日鉱金属株式会社 | 導電性のある酸化物を含有するスクラップからの有価金属の回収方法 |
| US8308933B2 (en) | 2008-02-12 | 2012-11-13 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Method of recovering valuable metals from IZO scrap |
| EP2241655B1 (en) | 2008-02-12 | 2013-03-27 | JX Nippon Mining & Metals Corporation | Method of recovering valuable metals from izo scrap |
| US8308934B2 (en) | 2008-03-06 | 2012-11-13 | Jx Nippon Mining & Metals Corporation | Method of recovering valuable metals from IZO scrap |
| KR101304704B1 (ko) * | 2011-11-29 | 2013-09-06 | 성균관대학교산학협력단 | 저전류 전해법을 이용하여 엘씨디 패널로부터 아이티오 및 유리를 회수하는 방법 |
-
1994
- 1994-07-26 JP JP6204141A patent/JP3051971B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0841560A (ja) | 1996-02-13 |
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