JP2000294817A - 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−
ト層として、フッ素系樹脂シ−トを使用するも、水分、
酸素等の侵入を防止する防湿性を著しく向上させ、更
に、耐光性、耐熱性、耐水性等の諸堅牢性についても、
その長期的な性能劣化を最小限に抑え、保護能力性に優
れ、更に、防汚性等にも優れ、より低コストで安全な太
陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−トを安定的に
提供することである。 【解決手段】 フッ素系樹脂をビヒクルの主成分とする
樹脂組成物による塗布膜と、無機酸化物の蒸着薄膜を設
け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、金属アルコ
キシド化合物および／またはその加水分解物をビヒクル
の主成分とする組成物によるコ−ティング膜を設けた樹
脂フィルムとを積層し、更に、該塗布膜と、無機酸化物
の蒸着薄膜とコ−ティング膜とを設けた樹脂フィルムと
からなる積層体のいずれかの一方の面または両面に、防
汚層および／または紫外線吸収剤層を設けたことを特徴
とする太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トおよびそれ
を使用した太陽電池モジュ−ルに関するものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池モジュ−
ル用表面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジ
ュ−ルに関し、更に詳しくは、耐光性、耐熱性、耐水
性、防湿性、防汚性等に優れ、極めて保護能力が高い太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トおよびそれを使用し
た太陽電池モジュ−ルに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、環境問題に対する意識の高まりか
ら、クリ−ンなエネルギ−源としての太陽電池が注目さ
れ、現在、種々の形態からなる太陽電池モジュ−ルが開
発され、提案されている。而して、上記の太陽電池モジ
ュ−ルとしては、通常、表面保護シ−ト層、充填剤層、
光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、およ
び、裏面保護シ−ト層等の順に積層し、真空吸引して加
熱圧着するラミネ−ション法等を利用して製造されてい
る。そして、上記の太陽電池モジュ−ルを構成する表面
保護シ−ト層としては、現在、ガラス板等が、最も一般
的に使用され、その他、近年、フッ素系樹脂シ−ト等の
樹脂シ−トも、注目され、その開発が、急速に進められ
ている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、太陽電池
は、太陽光を吸収して光起電力することから、一般に、
太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層として
は、入射する太陽光を全て透過する性質を有すると共に
耐光性、耐熱性、耐水性等の諸堅牢性に優れ、かつ、水
分、酸素等の侵入を防止する防湿性に優れ、更に、表面
硬度が高く、かつ、表面の汚れ、ゴミ等の蓄積を防止
し、その保護能力性が高いこと、その他等の条件が挙げ
られるものである。しかしながら、太陽電池モジュ−ル
を構成する表面保護シ−ト層として、現在、最も一般的
に使用されているガラス板等は、太陽光の透過性に優
れ、かつ、耐光性、耐熱性、耐水性等の諸堅牢性に優
れ、また、防湿性にも優れ、更に、表面硬度が硬く、ま
た、防汚性等にも優れ、その保護能力性が高い等の利点
を有するが、可塑性、耐衝撃性、軽量化等に欠け、更
に、その加工性、施工性等に劣り、かつ、低コスト化等
に欠けるという問題点がある。また、上記の太陽電池モ
ジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層として、フッ素系
樹脂等の樹脂シ−トを使用する場合には、ガラス板等と
比較して、可塑性、耐衝撃性、軽量化、低コスト化等に
富むものではあるが、耐光性、耐熱性、耐水性等の諸堅
牢性に劣り、特に、防湿性等に欠けるという問題点があ
る。更に、上記のフッ素系樹脂シ−トを使用する場合に
は、その表面にゴミ等が蓄積し、防汚性等に欠けるとい
う問題点もある。そこで本発明は、太陽電池モジュ−ル
を構成する表面保護シ−ト層として、フッ素系樹脂シ−
トを使用するも、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性
を著しく向上させ、更に、耐光性、耐熱性、耐水性等の
諸堅牢性についても、その長期的な性能劣化を最小限に
抑え、保護能力性に優れ、更に、防汚性等にも優れ、よ
り低コストで安全な太陽電池モジュ−ルを構成する表面
保護シ−トを安定的に提供することである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の太陽
電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層についての
問題点を解決すべく種々研究の結果、太陽電池モジュ−
ルを構成する表面保護シ−ト層として使用されているガ
ラス板の特性、フッ素系樹脂、光触媒粉末、紫外線吸収
剤等に着目し、まず、樹脂フィルムの片面に、酸化珪
素、あるいは、酸化アルミニウム等の透明な、ガラス質
からなる無機酸化物の蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸
化物の蒸着薄膜の上に、金属アルコキシド化合物および
／またはその加水分解物をビヒクルの主成分とする組成
物によるコ−ティング膜を設け、次に、該無機酸化物の
蒸着薄膜とコ−ティング膜とを設けた樹脂フィルムのい
ずれかの一方の面あるいは両面に、フッ素系樹脂をビヒ
クルの主成分とする樹脂組成物による塗布膜を積層し、
更に、該塗布膜と、無機酸化物の蒸着薄膜とコ−ティン
グ膜とを設けた樹脂フィルムとからなる積層体のいずれ
かの一方の面または両面に、光触媒粉末を含む組成物に
よる塗布膜からなる防汚層および／または紫外線吸収剤
を含む組成物による塗布膜からなる紫外線吸収剤層を設
けて太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを製造し、こ
れを表面保護シ−ト層とし、上記の防汚層を最表面と
し、その他方の面に、充填剤層、光起電力素子としての
太陽電池素子、充填剤層、および、裏面保護シ−ト層等
を順次に積層し、次いで、これらを一体的に真空吸引し
て加熱圧着するラミネ−ション法等を利用して太陽電池
モジュ−ルを製造したところ、水分、酸素等の侵入を防
止する防湿性を著しく向上させ、更に、耐光性、耐熱
性、耐水性等の諸堅牢性についても、その長期的な性能
劣化を最小限に抑え、その保護能力性に優れ、更に、防
汚性等にも優れ、より低コストで安全な太陽電池モジュ
−ル用表面保護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モ
ジュ−ルを製造し得ることを見出して本発明を完成した
ものである。

【０００５】すなわち、本発明は、フッ素系樹脂をビヒ
クルの主成分とする樹脂組成物による塗布膜と、無機酸
化物の蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜
の上に、金属アルコキシド化合物および／またはその加
水分解物をビヒクルの主成分とする組成物によるコ−テ
ィング膜を設けた樹脂フィルムとを積層し、更に、該塗
布膜と、無機酸化物の蒸着薄膜とコ−ティング膜とを設
けた樹脂フィルムとからなる積層体のいずれかの一方の
面または両面に、防汚層および／または紫外線吸収剤層
を設けたことを特徴とする太陽電池モジュ−ル用表面保
護シ−トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ルに関
するものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】上記の本発明について以下に図面
等を用いて更に詳しく説明する。なお、本発明におい
て、シ−トとは、フィルムあるいはシ−トのいずれの場
合も意味するものであり、また、フィルムとは、フィル
ムあるいはシ−トのいずれの場合も意味するものであ
る。本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
トおよびそれを使用した太陽電池モジュ−ルについてそ
の層構成を図面等を用いて更に具体的に説明すると、図
１、図２、図３および図４は、本発明にかかる太陽電池
モジュ−ル用表面保護シ−トの層構成についてその二三
例を例示する概略的断面図であり、図５は、図１に示す
本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを
使用して製造した太陽電池モジュ−ルの層構成について
その一例を例示する概略的断面図である。

【０００７】まず、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−トＡは、図１に示すように、フッ素系樹
脂をビヒクルの主成分とする樹脂組成物による塗布膜１
と、その片面に、無機酸化物の蒸着薄膜２を設け、更
に、該無機酸化物の蒸着薄膜２の上に、金属アルコキシ
ド化合物および／またはその加水分解物をビヒクルの主
成分とする組成物によるコ−ティング膜３を設けた樹脂
フィルム４とを積層し、更に、該塗布膜１と、無機酸化
物の蒸着薄膜２とコ−ティング膜３を設けた樹脂フィル
ム４とからなる積層体５のいずれかの一方の面または両
面に、防汚層６および／または紫外線吸収剤層７を設
け、かつ、該防汚層６を最表面とする構成からなること
基本構造とするものである。本発明にかかる太陽電池モ
ジュ−ル用表面保護シ−トについて、具体例を例示する
と、図２に示すように、フッ素系樹脂をビヒクルの主成
分とする樹脂組成物による塗布膜１と、その片面に、例
えば、物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜２ａ
の１層、または、その２層以上の多層膜（図示せず）を
設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜２ａの上に、金属
アルコキシド化合物および／またはその加水分解物をビ
ヒクルの主成分とする組成物によるコ−ティング膜３を
設けた樹脂フィルム４とを積層し、更に、該塗布膜１
と、無機酸化物の蒸着薄膜２ａとコ−ティング膜３とを
設けた樹脂フィルム４とからなる積層体５を構成する塗
布膜１面に、防汚層６と紫外線吸収剤層７とを設け、か
つ、該防汚層６を最表面とすることを特徴とする太陽電
池モジュ−ル用表面保護シ−トＡ₁ を挙げることができ
る。

【０００８】更に、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−トについて、他の例を例示すると、図３
に示すように、フッ素系樹脂をビヒクルの主成分とする
樹脂組成物による塗布膜１と、例えば、化学気相成長法
による無機酸化物の蒸着薄膜２ｂの１層、または、その
２層以上の多層膜（図示せず）を設け、更に、該無機酸
化物の蒸着薄膜２ｂの上に、金属アルコキシド化合物お
よび／またはその加水分解物をビヒクルの主成分とする
組成物によるコ−ティング膜３を設けた樹脂フィルム４
とを積層し、更に、該塗布膜１と、無機酸化物の蒸着薄
膜２ｂとコ−ティング膜３とを設けた樹脂フィルム４と
からなる積層体５を構成する塗布膜１面に、防汚層６を
設け、また、該積層体５を構成する無機酸化物の蒸着薄
膜２ｂとコ−ティング膜３とを設けた樹脂フィルム４面
に、紫外線吸収剤層７を設け、かつ、該防汚層６を最表
面とすることを特徴とする太陽電池モジュ−ル用表面保
護シ−トＡ₂ を挙げることができる。また、本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トについて、更
に別の例を例示すると、図４に示すように、フッ素系樹
脂をビヒクルの主成分とする樹脂組成物による塗布膜１
と、その片面に、例えば、化学気相成長法による無機酸
化物の蒸着薄膜２ｂを設け、更に、該無機酸化物の蒸着
薄膜２ｂの上に、物理気相成長法による無機酸化物の蒸
着薄膜２ａを設けて該無機酸化物の蒸着薄膜２ａ、２ｂ
とからなる２層以上の多層膜８を設け、更に、該多層膜
８の上に、金属アルコキシド化合物および／またはその
加水分解物をビヒクルの主成分とする組成物によるコ−
ティング膜３を設けた樹脂フィルム４とを積層し、更
に、該塗布膜１と、多層膜８とコ−ティング膜３とを設
けた樹脂フィルム４とからなる積層体５を構成する塗布
膜１面に、防汚層６を設け、また、該積層体５を構成す
る多層膜８とコ−ティング膜３とを設けた樹脂フィルム
４面に、紫外線吸収剤層７を設け、かつ、該防汚層６を
最表面とすることを特徴とする太陽電池モジュ−ル用表
面保護シ−トＡ₃ を挙げることができる。上記の例示
は、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
トについて、その二三例を例示するものであり、本発明
は、これによって限定されるものではない。例えば、図
示しないが、上記において、塗布膜１と、無機酸化物の
蒸着薄膜２およびコ−ティング膜３を設けた樹脂フィル
ム４とを積層するに際しては、塗布膜１の面と樹脂フィ
ルム４との面、あるいは、塗布膜１の面と、コ−ティン
グ膜３との面等のいずれの面を対向させて積層してもよ
いものである。また、上記において、紫外線吸収剤層７
は、塗布膜１側、あるいは、樹脂フィルム４側等のいず
れの位置に設けてもよく、更には、塗布膜１とコ−ティ
ング膜３との間に設けることもできるものである。

【０００９】次に、本発明において、上記の本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを使用して製
造した太陽電池モジュ−ルについてその一例を例示する
と、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−
ル用表面保護シ−トＡを使用した例で説明すると、図５
に示すように、上記の図１に示す本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用表面保護シ−トＡに、その防汚層６を最
表面とし、その他方の面を内側にし、順次に、充填剤層
１１、光起電力素子としての太陽電池素子１２、充填剤
層１３、および、裏面保護シ−ト層１４等を積層し、次
いで、これらを一体として、真空吸引して加熱圧着する
ラミネ−ション法等の通常の成形法を利用し、上記の各
層を一体成形体として太陽電池モジュ−ルＴを製造する
ことができる。なお、図中、１、２、３、４、５、７等
は、前述と同じ意味である。上記の例示は、本発明にか
かる太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを使用して製
造した太陽電池モジュ−ルについてその一例を例示する
ものであり、本発明はこれにより限定されるものではな
い。例えば、図示しないが、上記の太陽電池モジュ−ル
においては、太陽光の透過性、吸収性、補強、その他等
の目的のもとに、更に、他の層を任意に加えて積層する
ことができるものである。

【００１０】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トおよびそれを使用し
た太陽電池モジュ−ルを構成する材料、製造法等につい
て更に詳しく説明すると、まず、本発明にかかる太陽電
池モジュ−ル用表面保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等
を構成するフッ素系樹脂をビヒクルの主成分とする樹脂
組成物による塗布膜について説明すると、かかる塗布膜
を形成するには、まず、フッ素系樹脂の１種ないし２種
以上をビヒクルの主成分とし、これに、必要ならば、例
えば、塗布膜の加工性、耐熱性、耐光性、耐水性、耐候
性、機械的ないし化学的性質、寸法安定性、抗酸化性、
滑り性、離形性、難燃性、抗カビ性、電気的特性、その
他等を改良、改質する目的で種々のプラスチックの添加
剤、例えば、滑剤、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収
剤、光安定剤、充填剤、強化剤、補強剤、帯電防止剤、
難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防ガビ剤、着色剤、その他等
の添加剤野１種ないし２種以上を太陽光の透過に影響し
ない範囲内で任意に添加し、更に、溶剤、希釈剤等で十
分に混練して、例えば、溶剤型、水性型、あるいは、エ
マルジョン型等の樹脂組成物を調整する。次に、上記で
調整した樹脂組成物を、例えば、フロ−ティングナイフ
コ−ト法、ナイフオ−バ−ロ−ルコ−ト法、インバ−テ
ィドナイフコ−ト法、スクイ−ズロ−ルコ−ト法、リバ
−スロ−ルコ−ト法、ロ−ルコ−ト法、グラビアロ−ル
コ−ト法、キスロ−ルコ−ト法、エア−ブレ−ドコ−ト
法、エクストル−ジョンコ−ト法、カ−テンフロ−コ−
ト法、その他等のコ−ティング法、あるいは、グラビア
印刷、オフセット印刷、シルクスクリ−ン印刷、転写印
刷、その他等の印刷法を用いて、前述の無機酸化物の蒸
着薄膜とコ−ティング膜とを設けた樹脂フィルムのいず
れかの一方の面、あるいは、その両面に塗布ないし印刷
し、乾燥して塗布膜を形成することができる。而して、
本発明においては、上記のように無機酸化物の蒸着薄膜
とコ−ティング膜とを設けた樹脂フィルムに塗布膜を形
成することにより、該塗布膜と無機酸化物の蒸着薄膜と
コ−ティング膜途を設けた樹脂フィルムとを積層した積
層体を製造することができる。上記において、塗布膜の
膜厚としては、１〜７５ｇ／ｍ² （乾燥状態）位、より
好ましくは、１０〜５０ｇ／ｍ² （乾燥状態）位が望ま
しい。

【００１１】上記において、フッ素系樹脂としては、例
えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テト
ラフルオロエチレンとペルフルオロアルキルビニルエ−
テルとの共重合体からなるペルフルオロアルコキシ樹脂
（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレンとヘキサフルオロ
プロピレンコポリマ−（ＦＥＰ）、テトラフルオロエチ
レンとペルフルオロアルキルビニルエ−テルとヘキサフ
ルオロプロピレンコポリマ−（ＥＰＥ）、テトラフルオ
ロエチレンとエチレンまたはプロピレンとのコポリマ−
（ＥＴＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン樹脂
（ＰＣＴＦＥ）、エチレンとクロロトリフルオロエチレ
ンとのコポリマ−（ＥＣＴＦＥ）、フッ化ビニリデン系
樹脂（ＰＶＤＦ）、フッ化ビニル系樹脂（ＰＶＦ）、商
品名、ＣＹＴＯＰ（サイトップ、登録商標）、または、
商品名、ルミフロン（登録商標）からなる透明フッ素樹
脂（両方とも、旭硝子株式会社製）等からなるフッ素系
樹脂の１種ないし２種以上を使用することができる。本
発明において、上記のフッ素系樹脂としては、可視光透
過率が、９０％以上、好ましくは、９３％以上であっ
て、入射する太陽光を全て透過する性質を有することが
望ましいものである。なお、本発明においては、上記の
フッ素系樹脂の中でも、特に、商品名、ＣＹＴＯＰ（サ
イトップ、登録商標）、または、商品名、ルミフロン
（登録商標）からなる透明フッ素樹脂が、透明性を有
し、太陽光の透過性等の観点から好ましいものである。
而して、本発明において、上記のフッ素系樹脂を使用す
ることにより、該フッ素系樹脂が有する優れた特性、特
に、機械的特性、化学的特性、光学的特性等、更には、
耐光性、耐熱性、耐水性、その他等の超耐候性、耐汚染
性、耐薬品性等の諸特性を利用し、太陽電池を構成する
表面保護シ−トとするものであり、これにより、従来の
ガラス板等と同等の光学特性、耐久性等を有し、また、
そのフレキシブル性や機械的特性等からガラス板等より
も軽く、かつ、加工性等に優れ、そのハンドリングし易
さ等の利点を有するものである。なお、本発明において
は、上記のフッ素系樹脂をビヒクルの主成分とする樹脂
組成物には、種々の添加剤を添加し得るが、それらの中
でも、紫外線吸収剤および／または酸化防止剤を添加す
ることが好ましいものである。

【００１２】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する無機酸化物の蒸着薄膜について説明する
と、かかる無機酸化物の蒸着薄膜としては、例えば、物
理気相成長法、または、化学気相成長法、あるいは、そ
の両者を併用して、無機酸化物の蒸着薄膜の１層あるい
は２層以上の多層膜を形成して、製造することができる
ものである。上記の物理気相成長法による無機酸化物の
蒸着薄膜について更に詳しく説明すると、かかる物理気
相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜としては、例え
ば、真空蒸着法、スパッタリング法、イオンプレ−ティ
ング法等の物理気相成長法（Ｐｈｙｓｉｃａｌ Ｖａｐ
ｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ法、ＰＶＤ法）を用いて無
機酸化物の蒸着薄膜を形成することができる。本発明に
おいて、具体的には、金属の酸化物を原料とし、これを
加熱して樹脂フィルムの上に蒸着する真空蒸着法、また
は、原料として金属または金属の酸化物を使用し、酸素
を導入して酸化させて樹脂フィルムの上に蒸着する酸化
反応蒸着法、更に酸化反応をプラズマで助成するプラズ
マ助成式の酸化反応蒸着法等を用いて蒸着膜を形成する
ことができる。本発明において、物理気相成長法による
無機酸化物の薄膜薄膜を形成する方法について、その具
体例を挙げると、図６は、巻き取り式真空蒸着装置の一
例を示す概略的構成図である。図６に示すように、巻き
取り式真空蒸着装置２１の真空チャンバ−２２の中で、
巻き出しロ−ル２３から繰り出す樹脂フィルム４は、ガ
イドロ−ル２４、２５を介して、冷却したコ−ティング
ドラム２６に案内される。而して、上記の冷却したコ−
ティングドラム２６上に案内された樹脂フィルム４の上
に、るつぼ２７で熱せられた蒸着源２８、例えば、金属
アルミニウム、あるいは、酸化アルミニウム等を蒸発さ
せ、更に、必要ならば、酸素ガス吹出口２９より酸素ガ
ス等を噴出し、これを供給しながら、マスク３０、３０
を介して、例えば、酸化アルミニウム等の無機酸化物の
蒸着薄膜を成膜化し、次いで、上記において、例えば、
酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成した
樹脂フィルム４を、ガイドロ−ル２５′、２４′を介し
て送り出し、巻き取りロ−ル３１に巻き取ることによっ
て、本発明にかかる物理気相成長法による無機酸化物の
蒸着薄膜を形成することができる。なお、本発明におい
ては、上記のような無機酸化物の蒸着薄膜の形成法を２
回以上繰り返すか、あるいは、上記のような真空蒸着装
置を２連以上接続し、２層以上重層して２層あるいはそ
れ以上からなる無機酸化物の蒸着薄膜を形成することが
できる。また、本発明においては、使用する金属、また
は金属の酸化物としては、１種または２種以上の混合物
で使用し、異種の材質で混合した無機酸化物の薄膜を構
成することもできる。

【００１３】上記において、無機酸化物の蒸着薄膜とし
ては、基本的に金属の酸化物を蒸着した薄膜であれば使
用可能であり、例えば、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム
（Ａｌ）、マグネシウム（Ｍｇ）、カルシウム（Ｃ
ａ）、カリウム（Ｋ）、スズ（Ｓｎ）、ナトリウム（Ｎ
ａ）、ホウ素（Ｂ）、チタン（Ｔｉ）、鉛（Ｐｂ）、ジ
ルコニウム（Ｚｒ）、イットリウム（Ｙ）等の金属の酸
化物の蒸着薄膜を使用することができる。而して、好ま
しいものとしては、ケイ素（Ｓｉ）、アルミニウム（Ａ
ｌ）等の金属の酸化物の蒸着薄膜を挙げることができ
る。而して、上記の金属の酸化物の蒸着薄膜は、ケイ素
酸化物、アルミニウム酸化物、マグネシウム酸化物等の
ように金属酸化物として呼ぶことができ、その表記は、
例えば、ＳｉＯ_X 、ＡｌＯ_X 、ＭｇＯ_X 等のようにＭＯ
_X （ただし、式中、Ｍは、金属元素を表し、Ｘの値は、
金属元素によってそれぞれ範囲がことなる。）で表され
る。また、上記のＸの値の範囲としては、ケイ素（Ｓ
ｉ）は、０〜２、アルミニウム（Ａｌ）は、０〜１．
５、マグネシウム（Ｍｇ）は、０〜１、カルシウム（Ｃ
ａ）は、０〜１、カリウム（Ｋ）は、０〜０．５、スズ
（Ｓｎ）は、０〜２、ナトリウム（Ｎａ）は、０〜０．
５、ホウ素（Ｂ）は、０〜１、５、チタン（Ｔｉ）は、
０〜２、鉛（Ｐｂ）は、０〜１、ジルコニウム（Ｚｒ）
は０〜２、イットリウム（Ｙ）は、０〜１．５の範囲の
値をとることができる。上記において、Ｘ＝０の場合、
完全な金属であり、透明ではなく全く使用することがで
きない、また、Ｘの範囲の上限は、完全に酸化した値で
ある。本発明において、一般的に、ケイ素（Ｓｉ）、ア
ルミニウム（Ａｌ）以外は、使用される例に乏しく、ケ
イ素（Ｓｉ）は、１．０〜２．０、アルミニウム（Ａ
ｌ）は、０．５〜１．５の範囲の値のものを使用するこ
とができる。本発明において、上記のような無機酸化物
の薄膜の膜厚としては、使用する金属、または金属の酸
化物の種類等によって異なるが、例えば、５０〜２００
０Å位、好ましくは、１００〜１０００Å位の範囲内で
任意に選択して形成することが望ましい。

【００１４】次にまた、本発明において、上記の化学気
相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜について更に説明
すると、かかる化学気相成長法による無機酸化物の蒸着
薄膜としては、例えば、プラズマ化学気相成長法、熱化
学気相成長法、光化学気相成長法等の化学気相成長法
（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏ
ｎ法、ＣＶＤ法）等を用いて無機酸化物の蒸着薄膜を形
成することができる。本発明においては、具体的には、
樹脂フィルムの一方の面に、有機珪素化合物等の蒸着用
モノマ−ガスを原料とし、キャリヤ−ガスとして、アル
ゴンガス、ヘリウムガス等の不活性ガスを使用し、更
に、酸素供給ガスとして、酸素ガス等を使用し、低温プ
ラズマ発生装置等を利用する低温プラズマ化学気相成長
法（ＣＶＤ法）を用いて酸化珪素等の無機酸化物の蒸着
薄膜を形成することができる。上記において、低温プラ
ズマ発生装置としては、例えば、高周波プラズマ、パル
ス波プラズマ、マイクロ波プラズマ等の発生装置を使用
することがてき、而して、本発明においては、高活性の
安定したプラズマを得るためには、高周波プラズマ方式
による発生装置を使用することが望ましい。

【００１５】具体的に、上記の低温プラズマ化学気相成
長法による無機酸化物の蒸着薄膜の形成法についてその
一例を例示して説明すると、図７は、上記のプラズマ化
学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜の形成法につ
いてその概要を示す低温プラズマ化学気相成長装置の概
略的構成図である。上記の図７に示すように、本発明に
おいては、プラズマ化学気相成長装置４１の真空チャン
バ−４２内に配置された巻き出しロ−ル４３から樹脂フ
ィルム４を繰り出し、更に、該樹脂フィルム４を、補助
ロ−ル４４を介して所定の速度で冷却・電極ドラム４５
周面上に搬送する。而して、本発明においては、ガス供
給装置４６、４７および、原料揮発供給装置４８等から
酸素ガス、不活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用モノ
マ−ガス、その他等を供給し、それらからなる蒸着用混
合ガス組成物を調整しなから原料供給ノズル４９を通し
て真空チャンバ−４２内に該蒸着用混合ガス組成物を導
入し、そして、上記の冷却・電極ドラム４５周面上に搬
送された樹脂フィルム４の上に、グロ−放電プラズマ５
０によってプラズマを発生させ、これを照射して、酸化
珪素等の無機酸化物の蒸着薄膜を形成し、製膜化する。
本発明においては、その際に、冷却・電極ドラム４５
は、チャンバ−外に配置されている電源５１から所定の
電力が印加されており、また、冷却・電極ドラム４５の
近傍には、マグネット５２を配置してプラズマの発生が
促進されており、次いで、上記で酸化珪素等の無機酸化
物の蒸着薄膜を形成した樹脂フィルム４は、補助ロ−ル
５３を介して巻き取りロ−ル５４に巻き取って、本発明
にかかるプラズマ化学気相成長法による無機酸化物の蒸
着薄膜を製造することができるものである。なお、図
中、５５は、真空ポンプを表す。なお、本発明において
は、上記のような無機酸化物の蒸着薄膜の形成法を２回
以上繰り返すか、あるいは、上記のような真空蒸着装置
を２連以上接続し、２層以上重層して２層あるいはそれ
以上からなる無機酸化物の蒸着薄膜を形成することがで
きる。また、本発明においては、蒸着用モノマ−ガス等
としては、１種または２種以上の混合物で使用し、異種
の材質で混合した無機酸化物の薄膜を構成することもで
きる。上記の例示は、その一例を例示するものであり、
これによって本発明は限定されるものではないことは言
うまでもないことである。

【００１６】上記において、酸化珪素等の無機酸化物の
蒸着薄膜を形成する有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−
ガスとしては、例えば、１．１．３．３−テトラメチル
ジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリ
メチルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘキサメチル
ジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチル
シラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシ
ラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシ
シラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラ
ン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシ
シラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、その他
等を使用することができる。本発明において、上記のよ
うな有機珪素化合物の中でも、１．１．３．３−テトラ
メチルジシロキサン、または、ヘキサメチルジシロキサ
ンを原料として使用することが、その取り扱い性、形成
された蒸着膜の特性等から、特に、好ましい原料であ
る。また、上記において、不活性ガスとしては、例え
ば、アルゴンガス、ヘリウムガス等を使用することがで
きる。

【００１７】本発明において、上記で形成される酸化珪
素の蒸着薄膜は、有機珪素化合物等のモノマ−ガスと酸
素ガス等とが化学反応し、その反応生成物が樹脂フィル
ムの上に密接着し、緻密な、柔軟性等に富む薄膜を形成
することができ、通常、一般式ＳｉＯ_X （ただし、Ｘ
は、０〜２の数を表す）で表される酸化珪素を主体とす
る連続状の蒸着薄膜である。而して、上記の酸化珪素の
蒸着薄膜としては、透明性、バリア性等の点から、一般
式ＳｉＯ_X （ただし、Ｘは、１．３〜１．９の数を表
す。）で表される酸化珪素の蒸着膜を主体とする薄膜で
あることが好ましいものである。上記において、Ｘの値
は、モノマ−ガスと酸素ガスのモル比、プラズマのエネ
ルギ−等により変化するが、一般的に、Ｘの値が小さく
なればガス透過度は小さくなるが、膜自身が黄色性を帯
び、透明性が悪くなる。また、上記の酸化珪素の蒸着薄
膜は、珪素（Ｓｉ）と酸素（Ｏ）を必須構成元素として
有し、更に、炭素（Ｃ）と水素（Ｈ）のいずれが一方、
または、その両者の元素を微量構成元素として含有する
酸化珪素の蒸着膜からなり、かつ、その膜厚が、５０Å
〜２０００Åの範囲であり、更に、上記の必須構成元素
と微量構成元素の構成比率が、膜厚方向において連続的
に変化しているものである。更に、上記の酸化珪素の蒸
着薄膜は、炭素からなる化合物を含有する場合には、そ
の膜厚の深さ方向において炭素の含有量が減少している
ことを特徴とするものである。而して、本発明におい
て、上記の酸化珪素の蒸着薄膜について、例えば、Ｘ線
光電子分光装置（Ｘｒａｙ Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏ
ｎ Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＸＰＳ）、二次イオン
質量分析装置（Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ
Ｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ、ＳＩＭＳ）等の表面分析
装置を用い、深さ方向にイオンエッチングする等して分
析する方法を利用して、酸化珪素の蒸着薄膜の元素分析
を行うことより、上記のような物性を確認することがで
きるものである。また、本発明において、上記の酸化珪
素の蒸着薄膜の膜厚としては、膜厚５０Å〜２０００Å
位であることが望ましく、具体的には、その膜厚として
は、より好ましくは、１００〜１０００Å位が望まし
く、而して、上記において、１０００Å、更には、２０
００Åより厚くなると、その膜にクラック等が発生し易
くなるので好ましくなく、また、１００Å、更には、５
０Å未満であると、バリア性の効果を奏することが困難
になることから好ましくないものである。上記のおい
て、その膜厚は、例えば、株式会社理学製の蛍光Ｘ線分
析装置（機種名、ＲＩＸ２０００型）を用いて、ファン
ダメンタルパラメ−タ−法で測定することができる。ま
た、上記において、上記の酸化珪素の蒸着薄膜の膜厚を
変更する手段としては、蒸着膜の体積速度を大きくする
こと、すなわち、モノマ−ガスと酸素ガス量を多くする
方法や蒸着する速度を遅くする方法等によって行うこと
ができる。

【００１８】ところで、本発明において、本発明にかか
る太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト、太陽電池モジ
ュ−ル等を構成する無機酸化物の蒸着薄膜として、例え
ば、物理気相成長法と化学気相成長法の両者を併用して
無機酸化物の蒸着薄膜の２層以上からなる多層膜を形成
する場合には、まず、樹脂フィルムの上に、化学気相成
長法により、緻密で、柔軟性に富み、比較的にクラック
の発生を防止し得る無機酸化物の蒸着薄膜を設け、次い
で、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、物理気相成長法に
よる無機酸化物の蒸着薄膜を設けて、２層以上の多層膜
からなる無機酸化物の蒸着薄膜を構成することが望まし
いものである。なお、本発明においては、コ−ティング
膜等との密接着性、親和性等を向上させるために、無機
酸化物の蒸着薄膜面に、例えば、気体をア−ク放電によ
り電離させることにより生じるプラズマガスを利用して
表面改質を行なうプラズマ表面処理法等を利用してプラ
ズマ処理面、あるいは、コロナ放電処理法等を利用して
コロナ処理面等を形成することができるものである。

【００１９】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する金属アルコキシド化合物および／または
その加水分解物をビヒクルの主成分として含む組成物に
よるコ−ティング膜について説明すると、まず、上記の
金属アルコキシド化合物および／またはその加水分解物
としては、例えば、主に、一般式、Ｍ（０Ｒ）_n （式
中、Ｍは、Ｓｉ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｂ、Ｚｒ、Ｗ、または、
Ｔａからなる金属原子を表し、Ｒは、Ｃ₁ 〜Ｃ₁₀からな
るアルキル基を表し、ｎは、１〜４の整数を表す。）で
表される金属アルコキシド化合物、または、その加水分
解物、あるいは、その両者の混合物等を使用することが
できる。上記において、金属アルコキシド化合物として
は、具体的には、例えば、テトラメトキシシラン、テト
ラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、テトライ
ソプロポキシシラン、テトラブトキシシラン、テトライ
ソブトキシシラン、テトラ−ｓｅｃ−ブトキシシラン、
テトラ−ｔｅｒｔ−ブトキシシラン、テトラ−ｎ−アミ
ルオキシシラン、テトライソアミルオキシシラン、テト
ラヘキシルオキシシラン、テトラヘプチルオキシシラ
ン、テトラオクチルオキシシラ、メチルトリメトキシシ
ラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプロポキ
シシラン、メチルトリブトキシシラ、ジメチルジメトキ
シシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジメチルジプロ
ポキシシラン、ジメチルジブトキシシラン、トリメチル
メトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、トリメチ
ルブトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、γ−
（メタクリロキシプロピル）トリメトキシシラン、γ−
グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリ
クロロシラン、ビニルトリメトキシシラン、その他等の
アルコキシシラン化合物；トリメトキシアルミニウム、
トリエトキシアルミニウム、トリイソプロポキシアルミ
ニウム、その他等のアルミニウムアルコキシド化合物；
テトラメトキシジルコニウム、テトラエトキシジルコニ
ウム、テトライソプロポキシジルコニウム、テトラブト
キシジルコニウム、その他等のジルコニウムアルコキシ
ド化合物；テトラメトキシチタニウム、テトラエトキシ
チタニウム、テトライソプロポキシチタニウム、テトラ
ブトキシチタニウム、その他等のチタニウムアルコキシ
ド化合物；タンタルペンタプロポキシド、タンタルペン
タブトキシ、その他等のタンタルアルコキシド化合物；
ボロントリメトキシド、ボロントリブトキシド、その他
等のボロンアルコキシド化合物；その他等の１種ないし
２種以上の混合物を使用することができる。

【００２０】次に、本発明において、金属アルコキシド
化合物の加水分解物としては、上記のような金属アルコ
キシド化合物の１種ないし２種以上を適当な溶媒中に溶
解して、金属アルコキシド化合物の部分ないし完全加水
分解物を得ることができる。上記において、溶媒として
は、水、メタノ−ル、エタノ−ル、イソプロピルアルコ
−ル、ブタノ−ル、その他等のアルコ−ル類、上記の水
−アルコ−ル系等からなる混合溶媒、メチルエチルケト
ン、メチルイソブチルケトン、その他等のケトン類、酢
酸エチル、酢酸ブチル、その他等のエステル類、ハロゲ
ンカ炭化水素、トルエン、キシレン、その他等の芳香族
炭化水素類、その他等を使用することができる。なお、
本発明において、上記の加水分解を行う際には、例え
ば、硫酸、塩酸、硝酸等の鉱酸、酢酸、酒石酸等の有機
酸等を触媒として少量添加して使用することができる。

【００２１】次に、本発明において、上記の金属アルコ
キシド化合物および／またはその加水分解物をビヒクル
の主成分として含む組成物において、金属アルコキシド
化合物および／またはその加水分解物の含有量として
は、該金属アルコキシド化合物が１００％加水分解およ
び縮合したとして生じるＳｉＯ₂ 換算で０．１重量％以
上、好ましくは、０．１〜７０重量％、更には、０．１
〜５０重量％位になるように溶媒中に溶解させて使用す
ることが望ましい。上記において、０．１重量％未満で
あると、形成されるコ−ティング膜が、所望の特性、す
なわち、所望のバリア性能を有する被膜を形成すること
ができず、また、５０重量％、更に、７０重量％を越え
ると、透明な均質の被膜を形成することが困難となるこ
とから好ましくないものである。

【００２２】而して、本発明において、上記の金属アル
コキシド化合物および／またはその加水分解物をビヒク
ルの主成分として含む組成物によるコ−ティング膜を形
成するには、まず、例えば、金属アルコキシド化合物お
よび／またはその加水分解物の１種ないしそれ以上をビ
ヒクルの主成分とし、これに、更に、必要ならば、例え
ば、結合剤としての樹脂、充填剤、安定剤、可塑剤、酸
化防止剤、紫外線吸収剤等の光安定剤、分散剤、増粘
剤、乾燥剤、滑剤、帯電防止剤、架橋剤、その他等の添
加剤を任意に添加し、溶剤、希釈剤等で充分に混練して
なる溶剤型、水性型、あるいは、エマルジョン型等から
なる組成物を調整する。而して、本発明においては、上
記で調整した組成物を使用し、例えば、ロ−ルコ−ト
法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスロ−ルコ−ト法、ス
クイ−ズロ−ルコ−ト法、リバ−スロ−ルコ−ト法、カ
−テンフロ−コ−ト法、その他等のコ−ティング法によ
り、コ−ティング量、例えば、０．１ｇ／ｍ² 〜１０ｇ
／ｍ² （乾燥状態）位、好ましくは、０．５ｇ／ｍ² 〜
５ｇ／ｍ² （乾燥状態）位になるようにコ−ティング
し、次いで、加熱乾燥、更には、エ−ジング処理等を施
して、本発明にかかるコ−ティング膜を形成することが
できる。上記において、上記の組成物としては、金属ア
ルコキシド化合物および／またはその加水分解物を溶解
ないし混練し、更に、これらを硬化させることから、
水、あるいは、アルコ−ル−水系溶液等を使用して調整
した組成物を使用することが好ましく、而して、上記の
アルコ−ル成分としては、例えば、ｎ−プロピルアルコ
−ル、イソプロピルアルコ−ル、ｎ−ブタノ−ル、ｔ−
ブタノ−ル、エチルアルコ−ル、メチルアルコ−ル等を
使用することができ、また、上記のアルコ−ル−水系溶
液において、アルコ−ルと水との配合割合としては、例
えば、アルコ−ル、５０〜７０重量部に対し水、５０〜
３０重量部の割合で配合してアルコ−ル−水系溶液を調
整することが望ましい。

【００２３】上記の組成物において、添加剤としては、
例えば、金属酸化物微粒子等の無機充填剤を同時に混合
して使用することが好ましいものである。かかる場合に
は、金属酸化物微粒子が、それ自身で硬い構造であるの
に比べ、その表面に多くの水酸基を持つＳｉＯ₂ 混合ゾ
ルが加熱等によりＳｉＯ₂ ゲル膜を形成する際に、その
表面の水酸基と反応し、コ−ティング膜を補強させると
いう利点を有するものである。上記の金属酸化物微粒子
としては、例えば、シリカ、アルミナ、チタニア、ジル
コニア、その他等を使用することができ、而して、その
粒子径としては、０．００５〜１．０μｍ位のものを少
量添加して使用することがてきる。

【００２４】また、上記の組成物においては、コ−ティ
ング膜の被膜性、コ−ティング膜の無機酸化物の蒸着薄
膜への密接着性、その他等のことから、例えば、水溶
性、親水性、疎水性、その他等の各種の樹脂の１種ない
し２種以上を添加することもできる。上記において、樹
脂としては、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピ
レン系樹脂等のポリオレフィン系樹脂、あるいは、その
酸変性ポリオレフィン系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、
ポリアクリルあるいはメタクリル系樹脂、ポリスチレン
系樹脂、ポリビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−ビニ
ルアルコ−ル共重合体、ポリビニルブチラ−ル系樹脂、
ポリビニルピロリドン系樹脂、メチルセルロ−ス、エチ
ルセルロ−ス、カルボキシルメチルセルロ−ス、ニトロ
セルロ−ス、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、
フェノ−ル系樹脂、メラミン系樹脂、尿素系樹脂、ポリ
ウレタン系樹脂、その他等を使用することができる。

【００２５】次にまた、上記の組成物においては、架橋
剤として、例えば、二元反応性を有するシランカップリ
ング剤、あるいは、イソシアネ−ト化合物等を添加する
ことができる。上記のシランカップリング剤としては、
例えば、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、ビニ
ルトリクロロシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニ
ル−トリス（β−メトキシエトキシ）シラン、γ−メタ
クリルオキシプロピルトリメトキシシラン、β−（３、
４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラ
ン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、ビ
ニルトリアセトキシシラン、γ−メルカプトプロピルト
リメトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチル）−γ−アミ
ノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−β（アミノエチ
ル）−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ
−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、ビス（β−ヒ
ドロキシエチル）−γ−アミノプロピルトリエトキシシ
ラン、γ−アミノプロピルシリコ−ンの１種ないしそれ
以上を使用することができる。また、上記のイソシアネ
−ト化合物としては、その分子中に２個以上のイソシア
ネ−ト基を有するものを使用することができ、例えば、
トリレンジイソシアネ−ト、トリフェニルメタントリイ
ソシアネ−ト、テトラメチルキシレンジイソシアネ−
ト、その他等を使用することがてきる。その使用量とし
ては、微量添加するだけでよい。

【００２６】更に、本発明においては、金属アルコキシ
ド化合物および／またはその加水分解を架橋硬化させる
ために、更には、架橋剤等と反応させ、架橋構造を構成
する際に、例えば、硬化触媒等を添加することができ
る。上記の硬化触媒としては、例えば、水に実質的に不
溶であり、かつ、有機溶媒に可溶な第三アミン類、例え
ば、Ｎ．Ｎ−ジメチルベンジルアミン、トリプロピルア
ミン、トリブチルアミン、トリペンチルアミン等、ま
た、酸類として、例えば、硫酸、塩酸、硝酸等の鉱酸、
酢酸、酒石酸等の有機酸等を使用することができる。そ
の使用量としては、微量添加することで充分である。

【００２７】ところで、本発明において、上記の金属ア
ルコキシド化合物および／またはその加水分解物をビヒ
クルの主成分とし、これに、必要ならば、所望の添加剤
を任意に添加し、水、あるいは、アルコ−ル−水系溶
剤、希釈剤等で充分に混練してなる組成物を調整し、こ
れを通常のコ−ティング法でコ−ティングし、次いで、
加熱乾燥、更には、エ−ジング処理等を施すことによ
り、コ−ティング膜を形成することができる。而して、
上記のコ−ティング膜は、無機酸化物の蒸着薄膜との密
接着性に優れ、その両者の接着強度は極めて強く、その
層間において剥離する等の現象は認められず、更に、本
発明においては、無機酸化物の蒸着薄膜と上記のコ−テ
ィング膜との２層からなるバリア性膜を形成し、それに
より、その酸素ガス、水蒸気ガス等に対するバリア性を
更に向上させ、かつ、透明性、耐熱性、耐熱水性、ラミ
ネ−ト適性、その他等にも優れ、極めて良好な積層材を
製造し得るものである。

【００２８】次に、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト、太陽電池モジュ−
ル等を構成する無機酸化物の蒸着薄膜とコ−ティング膜
とを設けた樹脂フィルムにおいて、その樹脂フィルムと
しては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポ
リオレフィン系樹脂、環状ポリオレフィン系樹脂、ポリ
エチレンテレフタレ−ト、ポリエチレンナフタレ−ト等
のポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボ
ネ−ト系樹脂、ポリスチレン系樹脂、（メタ）アクリル
系樹脂、ポリビニルアルコ−ル、エチレン−酢酸ビニル
共重合体のケン化部等のポリビニルアルコ−ル系樹脂、
ポリアクリルニトリル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、
ポリビニルアセタ−ル系樹脂、ポリビニルブチラ−ル系
樹脂、フッ素系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィルム
ないしシ−トを使用することができる。而して、本発明
において、上記の樹脂のフィルムないしシ−トとして
は、例えば、上記の樹脂の１種ないしそれ以上を使用
し、インフレ−ション法、Ｔダイ法、その他等の製膜化
法を用いて、上記の樹脂を単独で製膜化する方法、ある
いは、２種以上の異なる樹脂を使用して多層共押し出し
製膜化する方法、更には、２種以上の樹脂を使用し、製
膜化する前に混合して製膜化する方法等により、樹脂の
フィルムないしシ−トを製造し、更に、例えば、テンタ
−方式、あるいは、チュ−ブラ−方式等を利用して１軸
ないし２軸方向に延伸してなる樹脂のフィルムないしシ
−トを使用することができる。本発明において、樹脂フ
ィルムの膜厚としては、５〜２００μｍ位、より好まし
くは、１０〜５０μｍ位が望ましい。なお、上記におい
て、樹脂の製膜化に際して、例えば、フィルムの加工
性、耐熱性、耐候性、機械的性質、寸法安定性、抗酸化
性、滑り性、離形性、難燃性、抗カビ性、電気的特性、
その他等を改良、改質する目的で、種々のプラスチック
配合剤や添加剤等を添加することができ、その添加量と
しては、太陽光の透過に影響しない極く微量から数十％
まで、その目的に応じて、任意に添加することができ
る。また、上記において、一般的な添加剤としては、例
えば、滑剤、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、充填
剤、強化剤、補強剤、帯電防止剤、難燃剤、耐炎剤、発
泡剤、防カビ剤、顔料、その他等を使用することがで
き、更には、改質用樹脂等も使用することがてきる。

【００２９】また、本発明において、樹脂フィルムは、
必要に応じて、例えば、コロナ放電処理、オゾン処理、
酸素ガス若しくは窒素ガス等を用いて低温プラズマ処
理、グロ−放電処理、化学薬品等を用いて処理する酸化
処理、その他等の前処理を任意に施すことができる。上
記の表面前処理は、無機酸化物の蒸着薄膜を形成する前
に別工程で実施してもよく、また、例えば、低温プラズ
マ処理やグロ−放電処理等による表面処理の場合は、上
記の無機酸化物の蒸着薄膜を形成する前処理としてイン
ライン処理により前処理で行うことができ、このような
場合は、その製造コストを低減することができるという
利点がある。上記の表面前処理は、樹脂フィルムと無機
酸化物の蒸着薄膜との密着性を改善するための方法とし
て実施するものであるが、上記の密着性を改善する方法
として、その他、例えば、基材フィルムの表面に、予
め、プライマ−コ−ト剤層、アンダ−コ−ト剤層、ある
いは、蒸着アンカ−コ−ト剤層等を任意に形成すること
もできる。上記の前処理のコ−ト剤層としては、例え
ば、ポリエステル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、その他
等をビヒクルの主成分とする樹脂組成物を使用すること
ができる。また、上記において、コ−ト剤層の形成法と
しては、例えば、溶剤型、水性型、あるいは、エマルジ
ョン型等のコ−ト剤を使用し、ロ−ルコ−ト法、グラビ
アロ−ルコ−ト法、キスコ−ト法、その他等のコ−ト法
を用いてコ−トすることができ、そのコ−ト時期として
は、基材フィルムの２軸延伸処理後の後工程として、あ
るいは、２軸延伸処理のインライン処理等で実施するこ
とができる。なお、本発明において、基材フィルムとし
ては、具体的には、２軸延伸ポリプロピレンフィルム等
の２軸延伸ポリプロピレン系樹脂フィルム、２軸延伸ポ
リエチレンテレフタレ−トフィルム等の２軸延伸ポリエ
ステル系樹脂フィルム、または、２軸延伸ナイロンフィ
ルム等の２軸延伸ポリアミド系樹脂フィルムを使用する
ことが望ましいものである。

【００３０】次に、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−ト、太陽電池モジュ−ル等を構成する光
触媒粉末を含む組成物による塗布膜からなる防汚層につ
いて説明すると、かかる防汚層は、表面保護シ−トの最
表面に設けるものである。すなわち、本発明において
は、太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを構成するフ
ッ素系樹脂をビヒクルの主成分とする樹脂組成物による
塗布膜の他方の片面（最表面）に、ゴミ、埃等の蓄積を
防止する防汚層を形成するものである。而して、上記の
防汚層としては、光触媒粉末または光触媒ゾル（以下、
光触媒粉末とは、光触媒ゾルも含む意味で記す）を含む
組成物による塗布膜から構成することができる。上記に
おいて、光触媒粉末を含む組成物による塗布膜として
は、まず、例えば、光触媒粉末の１種ないし２種以上
に、ビヒクルとしての結合剤の１種ないし２種以上を添
加し、更に、必要ならば、例えば、滑剤、架橋剤、酸化
防止剤、紫外線吸収剤、光安定剤、充填剤、強化剤、補
強剤、帯電防止剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ
剤、顔料、その他等の添加剤の１種ないし２種以上を太
陽光の透過に影響しない範囲内で任意に添加し、更に、
溶剤、希釈剤等で十分に混練して、例えば、溶剤型、水
性型、あるいは、エマルジョン型等の組成物を調整す
る。次いで、本発明においては、上記で調整した組成物
を使用し、これを、、例えば、ナイフコ−ト法、スクイ
−ズロ−ルコ−ト法、リバ−スロ−ルコ−ト法、ロ−ル
コ−ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスロ−ルコ−ト
法、エクストル−ジョンコ−ト法、カ−テンフロ−コ−
ト法、その他等のコ−ティング法、あるいは、グラビア
印刷、オフセット印刷、シルクスクリ−ン印刷、転写印
刷、その他等の印刷法を用いて、塗布ないし印刷し、次
いで、乾燥して塗布膜を形成することにより、本発明に
かかる防汚層を構成することができるものである。上記
において、塗布膜の膜厚としては、０．１〜１０ｇ／ｍ
² 位（乾燥状態）、より好ましくは、０．５〜１ｇ／ｍ
² 位が望ましい。

【００３１】上記において、光触媒粉末としては、太陽
光等の光の作用により、例えば、樹脂が、酸化等により
劣化、破壊、あるいは、分解し、または、低分子化し、
防汚層の表面に付着した塵埃等を、その粘着性を破壊
し、風雨等で洗浄、除去し、その表面を清掃に保持する
ことを容易にする作用を有する化学物質を使用すること
ができる。具体的には、例えば、光触媒粉末としては、
例えば、ＴｉＯ₂ 、ＺｎＯ、ＳｒＴｉＯ₃ 、ＣｄＳ、Ｃ
ａＰ、ＩｎＰ、ＧａＡｓ、ＢａＴｉＯ₂ 、Ｋ₂ Ｔｉ
Ｏ₃ 、Ｋ₂ ＮｂＯ₃ 、Ｆｅ₂ Ｏ₃ 、Ｔａ₂ Ｏ₃ 、Ｗ
Ｏ₃ 、ＳｎＯ₂ 、Ｂｉ₂ Ｏ₈ 、ＮｉＯ、Ｃｕ₂ Ｏ、Ｓｉ
Ｃ、ＳｉＯ₂ 、ＭｏＳ₂ 、ＩｎＰｂ、ＲｕＯ₂ 、ＣｅＯ
₂ 等、あるいは、これらにＰｔ、Ｒｈ、ＲｕＯ₂ 、Ｎ
ｂ、Ｃｕ、Ｓｎ、Ｎｉ、Ｆｅ等の金属および／またはこ
れらの金属酸化物とを混合した組成物を使用することが
できる。上記の組成物において、光触媒粉末の含有量と
しては、その粒子形状、密度等によって異なるが、約
０．１〜３０重量％位が好ましい。また、上記におい
て、防汚層としては、酸化チタンを主成分とする光触媒
粉末、若しくはゾルに含まれる微粒子からなる組成物に
よる塗布膜からなるものが望ましいものである。

【００３２】また、上記において、ビヒクルとしての結
合剤としては、製膜性を有し、更に、耐光性、耐熱性、
耐水性等の諸堅牢性に優れ、また、塗布膜の硬度を増
し、耐擦傷性、耐磨耗性等に優れ、特に、光触媒粉末の
光活性に影響を受けない結合剤を使用することができ、
具体的には、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピ
レン系樹脂、エチレン−プロピレン共重合体、エチレン
−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−
アクリル酸エチル共重合体、エチレン−アクリル酸また
はメタクリル酸共重合体、メチルペンテンポリマ−、ポ
リブテン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニ
ル系樹脂、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリアクリル
ニトリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニトリ
ル−スチレン共重合体（ＡＳ系樹脂）、アクリロニトリ
ル−ブタジェン−スチレン共重合体（ＡＢＳ系樹脂）、
ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ
−ト系樹脂、ポリビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−
酢酸ビニル共重合体のケン化物、フッ素系樹脂、ジエン
系樹脂、ポリアセタ−ル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、
エポキシ系樹脂、フェノ−ル系樹脂、アミノプラスト系
樹脂、シリコ−ン系樹脂、ニトロセルロ−ス、無機系ポ
リマ−、その他等の各種の天然ないし半若しくは合成樹
脂、無機系ポリマ−、その他等の公知の樹脂、あるい
は、その変性樹脂、その他等の１種ないし２種以上を使
用することができる。而して、本発明においては、光触
媒粉末の影響を受けない結合剤としては、上記のような
結合剤の中でも、特に、低融点ガラス、アルカリ金属シ
リケ−ト、ホスフェ−ト、または、コロイダルシリカ、
その他等の無機系ポリマ−の１種ないしそれ以上を使用
することが好ましいものである。

【００３３】ところで、本発明においては、上記の防汚
層を構成する塗布膜中の光触媒粉末の光活性が、該防汚
層の下層に位置する、例えば、フッ素系樹脂シ−ト等に
影響を与え、その劣化、分解、あるいは、破壊等に起こ
さないように、その相互の接触を遮断する無機質膜等か
らなる光触媒粉末の活性を遮断する活性遮断層を設ける
ことができる。上記の活性遮断層は、通常、防汚層の下
層に設けるものである。上記の活性遮断層を構成する無
機質膜としては、例えば、前述の透明性を有する酸化珪
素、あるいは、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸着
膜等を使用することができる。上記の無機酸化物の蒸着
膜の形成は、前述と同様にして製膜化して、活性遮断層
を形成することができ、その膜厚としては、１００〜３
０００Å位、より好ましくは、１００〜１５００Å位が
望ましい。また、本発明においては、上記の防汚層の密
接着性を強固にするために、該防汚層を構成する光触媒
粉末を含む組成物による塗布膜を設けるに際し、必要な
らば、フッ素系樹脂シ−トの表面に接着用プライマ−層
等を設けることができる。上記のプライマ−層を構成す
る材料としては、例えば、防汚層中の光触媒粉末の光活
性等によって分解されない無機系のプライマ−層を構成
する材料を使用して形成することが望ましいものであ
る。具体的には、有機チタン化合物として代表的なテト
ライソプロピルチタネ−ト、テトラブチルチタネ−ト、
テトラステアリルチタネ−ト等のアルキルチタネ−トや
チタンキレ−ト等の加水分解による生成物等を使用する
ことができ、その他、無機ポリシラザン（ペルヒドポリ
シラザラン）等も使用することができる。本発明におい
ては、特に、加水分解速度が極めて早く、溶液を塗工後
に分解できるテトライソプロピルチタネ−ト、テトラブ
チルチタネ−トが好ましい材料である。

【００３４】次に、本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−ト太陽電池モジュ−ル等を構成する紫外
線吸収剤を含む組成物による塗布膜からなる紫外線吸収
剤層について説明すると、かかる紫外線吸収剤層として
は、例えば、紫外線吸収剤の１種ないし２種以上に、ビ
ヒクルとしての結合剤の１種ないし２種以上を添加し、
更に、必要ならば、例えば、滑剤、架橋剤、酸化防止
剤、紫外線吸収剤、光安定剤、充填剤、強化剤、補強
剤、帯電防止剤、難燃剤、耐炎剤、発泡剤、防カビ剤、
顔料、その他等の添加剤の１種ないし２種以上を太陽光
の透過に影響しない範囲内で任意に添加し、更に、溶
剤、希釈剤等で十分に混練して、例えば、溶剤型、水性
型、あるいは、エマルジョン型等の組成物を調整し、次
いで、該組成物を、例えば、ナイフコ−ト法、スクイ−
ズロ−ルコ−ト法、リバ−スロ−ルコ−ト法、ロ−ルコ
−ト法、グラビアロ−ルコ−ト法、キスロ−ルコ−ト
法、エクストル−ジョンコ−ト法、カ−テンフロ−コ−
ト法、その他等のコ−ティング法、あるいは、グラビア
印刷、オフセット印刷、シルクスクリ−ン印刷、転写印
刷、その他等の印刷法を用いて、塗布ないし印刷するこ
とにより塗布膜を形成して紫外線吸収剤層を設けること
ができる。上記において、塗布膜の膜厚としては、０．
１〜１０ｇ／ｍ² 位（乾燥状態）、より好ましくは、
１．０〜５ｇ／ｍ² 位が望ましい。

【００３５】上記において、紫外線吸収剤としては、太
陽光中の有害な紫外線を吸収し、分子内で無害な熱エネ
ルギ−へと変換し、高分子中の光劣化開始の活性種が励
起されるのを防止するものであり、具体的には、べンゾ
フェノン系、ベンゾトリアゾ−ル系、サルチレ−ト系、
アクリルニトリル系、金属錯塩系、ヒンダ−ドアミン
系、超微粒子酸化チタン（粒径、０．０１〜０．０６μ
ｍ）、超微粒子酸化亜鉛（粒径、０．０１〜０．０４μ
ｍ）等の無機系等の紫外線吸収剤の１種ないし２種以上
を使用することができる。上記の組成物において、紫外
線吸収剤の含有量としては、約０．１〜２０重量％位が
望ましい。また、上記において、上記の組成物には、高
分子の光劣化あるいは熱劣化等を防止する酸化防止剤、
具体的には、フェノ−ル系、アミン系、硫黄系、りん酸
系、その他等の酸化防止剤を使用することが望ましいも
のである。また、上記の組成物において、ビヒクルとし
ての結合剤としては、前述の防汚層を構成する際に例示
した結合剤を同様に使用することができる。

【００３６】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下
に積層する充填剤層について説明すると、かかる充填剤
層としては、入射する太陽光を透過する性質を有する透
明性を必要とするものであり、また、表面保護シ−トと
の接着性を有することも必要であり、更に、光起電力素
子としての太陽電池素子の表面の平滑性を保持する機能
を果たすために熱可塑性を有すること、更には、光起電
力素子としての太陽電池素子の保護とういことから、耐
スクラッチ性、衝撃吸収性等に優れていることが必要で
ある。具体的には、上記の充填剤層としては、例えば、
フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオ
ノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、または、メタクリ
ル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリプロピレン樹
脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等のポリオレ
フィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、
フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性した酸変性ポリ
オレンフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−ル樹脂、シリ
コ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、（メタ）アクリル系樹
脂、その他等の樹脂の１種ないし２種以上の混合物を使
用することができる。なお、本発明においては、上記の
充填剤層を構成する樹脂には、耐熱性、耐光性、耐水性
等の耐候性等を向上させるために、その透明性を損なわ
ない範囲で、例えば、架橋剤、熱酸化防止剤、光安定
剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他等の添加剤を
任意に添加し、混合することができるものである。而し
て、本発明においては、太陽光の入射側の充填剤として
は、耐光性、耐熱性、耐水性等の耐候性を考慮すると、
フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル系樹脂が望ましい
素材である。なお、上記の充填剤層の厚さとしては、２
００／１０００μｍ位、より好ましくは、３５０〜６０
０μｍ位が望ましい。

【００３７】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子としての太陽電池素子につい
て説明すると、かかる太陽電池素子としては、従来公知
のもの、例えば、結晶性シリコン太陽電池素子、多結晶
シリコン太陽電池素子、アモルファスシリコン太陽電池
素子、銅インジウムセレナイド太陽電池素子、化合物半
導体太陽電池素子、その他等を使用することができる。
更に、薄膜多結晶性シリコン太陽電池素子、薄膜微結晶
性シリコン太陽電池素子、薄膜結晶シリコン太陽電池素
子とアモルファスシリコン太陽電池素子とのハイブリッ
ト素子等を使用することができる。

【００３８】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する光起電力素子の下に積層する充填剤層につ
いて説明すると、かかる充填剤層としては、上記の太陽
電池モジュ−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤
層と同様に、裏面保護シ−トとの接着性を有することも
必要であり、更に、光起電力素子としての太陽電池素子
の裏面の平滑性を保持する機能を果たすために熱可塑性
を有すること、更には、光起電力素子としての太陽電池
素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、衝撃吸収
性等に優れていることが必要である。しかし、上記の太
陽電池モジュ−ルを構成する光起電力素子の下に積層す
る充填剤層としては、上記の太陽電池モジュ−ル用表面
保護シ−トの下に積層する充填剤層と異なり、必ずも、
透明性を有することを必要としないものである。具体的
には、上記の充填剤層としては、前述の太陽電池モジュ
−ル用表面保護シ−トの下に積層する充填剤層と同様
に、例えば、フッ素系樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重
合体、アイオノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸、また
は、メタクリル酸共重合体、ポリエチレン樹脂、ポリプ
ロピレン樹脂、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等
のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、イタコン酸、マ
レイン酸、フマ−ル酸等の不飽和カルボン酸で変性した
酸変性ポリオレンフィン系樹脂、ポリビニルブチラ−ル
樹脂、シリコ−ン系樹脂、エポキシ系樹脂、（メタ）ア
クリル系樹脂、その他等の樹脂の１種ないし２種以上の
混合物を使用することができる。なお、本発明において
は、上記の充填剤層を構成する樹脂には、耐熱性、耐光
性、耐水性等の耐候性等を向上させるために、その透明
性を損なわない範囲で、例えば、架橋剤、熱酸化防止
剤、光安定剤、紫外線吸収剤、光酸化防止剤、その他等
の添加剤を任意に添加し、混合することができるもので
ある。なお、上記の充填剤層の厚さとしては、２００／
１０００μｍ位、より好ましくは、３５０〜６００μｍ
位が望ましい。

【００３９】次に、本発明において、太陽電池モジュ−
ルを構成する裏面保護シ−ト層について説明すると、か
かる裏面保護シ−トとしては、絶縁性の樹脂のフィルム
ないしシ−トを使用することができ、更に、耐熱性、耐
光性、耐水性等の耐候性を有し、物理的あるいは化学的
強度性、強靱性等に優れ、更に、光起電力素子としての
太陽電池素子の保護とういことから、耐スクラッチ性、
衝撃吸収性等に優れていることが必要である。上記の裏
面保護シ−トとしては、具体的には、例えば、ポリアミ
ド系樹脂（各種のナイロン）、ポリエステル系樹脂、ポ
リエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂、ポリスチレ
ン系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、アセタ−ル系樹
脂、セルロ−ス系樹脂、（メタ）アクリル系樹脂、その
他等の各種の樹脂のフィルムないしシ−トを使用するこ
とができる。上記の樹脂のフィルムないしシ−トとして
は、例えば、２軸延伸した樹脂のフィルムないしシ−ト
も使用することができる。また、上記の樹脂のフィルム
ないしシ−トにおいて、その膜厚としては、１２〜２０
０μｍ位、好ましくは、２５〜１５０μｍ位が望まし
い。

【００４０】なお、本発明において、本発明にかかる太
陽電池モジュ−ルを製造する際しては、その強度、耐候
性、耐スクラッチ性、その他等の諸堅牢性を向上させる
ために、その他の素材、例えば、ポリエチレン系樹脂、
ポリプロピレン系樹脂、エチレン−プロピレン共重合
体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ−樹
脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−
アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、メチルペンテ
ンポリマ−、ポリブテン系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹
脂、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリアクリルニトリ
ル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロニトリル−ス
チレン共重合体（ＡＳ系樹脂）、アクリロニトリル−ブ
タジェン−スチレン共重合体（ＡＢＳ系樹脂）、ポリエ
ステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系
樹脂、ポリビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−酢酸ビ
ニル共重合体のケン化物、フッ素系樹脂、ジエン系樹
脂、ポリアセタ−ル系樹脂、ポリウレタン系樹脂、ニト
ロセルロ−ス、その他等の公知の樹脂のフィルムないし
シ−トから任意に選択して使用することができる。本発
明において、上記のフィルムないしシ−トは、未延伸、
一軸ないし二軸方向に延伸されたもの等のいずれのもの
でも使用することができる。また、その厚さは、任意で
あるが、数μｍから３００μｍ位の範囲から選択して使
用することができる。更に、本発明においては、フィル
ムないしシ−トとしては、押し出し成膜、インフレ−シ
ョン成膜、コ−ティング膜等のいずれの性状の膜でもよ
い。

【００４１】次に、本発明において、上記のような材料
を使用して太陽電池モジュ−ルを製造する方法について
説明すると、かかる製造法としては、公知の方法、例え
ば、上記に挙げた本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用
表面保護シ−トを使用し、これに、その無機酸化物の蒸
着薄膜の面を内側にし、順次に、充填剤層、光起電力素
子としての太陽電池素子、充填剤層、および、裏面保護
シ−ト層等を積層し、更に、必要ならば、各層間に、そ
の他の素材を任意に積層し、次いで、これらを、真空吸
引等により一体化して加熱圧着するラミネ−ション法等
の通常の成形法を利用し、上記の各層を一体成形体とし
て加熱圧着成形して、太陽電池モジュ−ルを製造するこ
とができる。上記において、必要ならば、各層間の接着
性等を高めるために、（メタ）アクリル系樹脂、オレフ
ィン系樹脂、ビニル系樹脂、その他等の樹脂をビヒクル
の主成分とする加熱溶融型接着剤、溶剤型接着剤、光硬
化型接着剤、その他等を使用することができる。

【００４２】

【実施例】次に、本発明について実施例を挙げて更に具
体的に説明する。 実施例１ （１）．基材として、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、これを巻き取り
式真空蒸着装置の送り出しロ−ルに装着し、次いで、こ
れをコ−ティングドラムの上に繰り出して、下記の蒸着
条件で、アルミニウムを蒸着源に用い、酸素ガスを供給
しながら、エレクトロンビ−ム（ＥＢ）加熱方式による
反応真空蒸着法により、その易接着処理面に、膜厚３０
０Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成した。 （蒸着条件） 蒸着源：アルミニウム 真空チャンバ−内の真空度：７．５×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：２．１×１０^-6ｍｂａｒ ＥＢ出力：４０ＫＷ フィルム搬送速度：６００ｍ／分 次に、上記で製膜化した膜厚３００Åの酸化アルミニウ
ムの蒸着薄膜面に、その蒸着直後に、グロ−放電プラズ
マ発生装置を使用し、プラズマ出力、１５００Ｗ、酸素
ガス（Ｏ₂ ）：アルゴンガス（Ａｒ）＝１９：１からな
る混合ガスを使用し、混合ガス圧６Ｘ１０^-5Ｔｏｏｒ、
処理速度４２０ｍ／ｍｉｎで酸素／アルゴン混合ガスプ
ラズマ処理を行ってプラズマ処理面を形成した。 （２）．他方、ジメチルジメトキシシラン２重量部とエ
タノ−ル１重量部と０．１規定の塩酸０．２重量部とを
その割合で混合して、５０℃にて２時間還流した。得ら
れたジメチルジメトキシシランの部分加水分解物溶液
に、メチルトリメトキシシラン２５重量部とエタノ−ル
５重量部とポリメチルメタクリレ−ト（ＰＭＭＡ）のト
ルエン溶液（２０％）２０重量部の割合で添加し、室温
にて更に２時間攪拌して、塗布用の組成物を調整した。
次に、上記の酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処
理面に、上記で得られた塗布用の組成物を使用し、これ
をグラビアロ−ルコ−ト法でコ−ティングして、厚さ
１．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）のコ−ティング膜を形成
し、次いで、１２０℃で５分間加熱処理してコ−ティン
グ硬化膜を形成した。 （３）．更に、上記で製造したコ−ティング硬化膜面
に、フッ素樹脂塗布液（商品名、ルミフロン、旭硝子株
式会社製）を使用し、グラビアロ−ルコ−ト法を用い
て、コ−ティングし、膜厚１０ｇ／ｍ² （乾燥状態）の
塗布膜を形成して積層体を製造した。次に、上記で製造
した積層体の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルム面に、０．０３μｍの酸化チタン超微粒子５重量部
とエチレン−ビニルアルコ−ル共重合体液（固形分２０
％溶液）９５重量部とからなる紫外線吸収剤組成物をグ
ラビアロ−ルコ−ト法を用いてコ−ティングし、膜厚
０．５ｇ／ｍ² （乾燥状態）の紫外線吸収剤層を形成し
て、本発明にかかる表面保護シ−トを製造した。 （４）．次に、上記で製造した表面保護シ−トの紫外線
吸収剤層面に、アモルファスシリコンからなる太陽電池
素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルム（受光面）を、その太陽電
池素子面を対向させ、アクリル系樹脂の接着剤層を介し
て積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造
した。 （５）．なお、上記において、上記のフッ素樹脂塗布液
（商品名、ルミフロン、旭硝子株式会社製）に代えて、
テトラフルオロエチレンとエチレンとのコポリマ−から
なるフッ素樹脂液を使用し、それ以外は、上記と全く同
様にして、同様な本発明にかかる表面保護シ−ト、およ
び、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。

【００４３】実施例２ （１）．基材として、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、これをプラズマ
化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の蒸
着条件で厚さ３００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を上記の２
軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの易接着処
理面に形成した。 （蒸着条件） 反応ガス混合比：ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：１０（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度：５．０×１０^-6ｍｂａｒ 蒸着チャンバ−内の真空度：６．０×１０^-2ｍｂａｒ 冷却・電極ドラム供給電力：２０ｋＷ フィルムの搬送速度：８０ｍ／分 蒸着面：コロナ処理面 次に、上記で膜厚３００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成
した後、その蒸着直後に、その酸化珪素の蒸着薄膜面
に、出力、１０ｋＷ、処理速度１００ｍ／ｍｉｎでコロ
ナ放電処理を行って、コロナ処理面を形成し、その蒸着
薄膜面の表面張力を３５ｄｙｎｅより６０ｄｙｎｅに向
上させた。 （２）．他方、テトラエトキシシラン２５重量部とエタ
ノ−ル１０重量部と０．１規定の塩酸５重量部とをその
割合で混合して、５０℃にて３時間還流した。得られた
テトラエトキシシランの部分加水分解物溶液に、ポリメ
チルメタクリレ−ト（ＰＭＭＡ）のトルエン溶液（２０
％）３０重量部を添加し、室温にて更に２時間攪拌し
て、塗布用の組成物を調整した。次に、上記の酸化珪素
の蒸着薄膜のコロナ処理面に、上記の塗布用の組成物を
を使用し、これをグラビアロ−ルコ−ト法でコ−ティン
グして、厚さ１．５ｇ／ｍ² （乾燥状態）のコ−ティン
グ膜を形成し、次いで、１２０℃で１分加熱処理してコ
−ティング硬化膜を形成した。 （３）．更に、上記で製造したコ−ティング硬化膜面
に、フッ素樹脂塗布液（商品名、ルミフロン、旭硝子株
式会社製）を使用し、グラビアロ−ルコ−ト法を用い
て、コ−ティングし、膜厚１０ｇ／ｍ² （乾燥状態）の
塗布膜を形成して積層体を製造した。次に、上記で製造
した積層体の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルム面に、ベンゾフェノン系紫外線吸収剤１重量部と熱
硬化型アクリル系樹脂液（固形分２０％）９９重量部と
からなる紫外線吸収剤組成物をグラビアロ−ルコ−ト法
を用いてコ−ティングし、膜厚２．０ｇ／ｍ² （乾燥状
態）の紫外線吸収剤層を形成して、本発明にかかる表面
保護シ−トを製造した。 （４）．次に、上記で製造した表面保護シ−トの紫外線
吸収剤層面に、アモルファスシリコンからなる太陽電池
素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルム（受光面）を、その太陽電
池素子面を対向させ、アクリル系樹脂の接着剤層を介し
て積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造
した。 （５）．なお、上記において、上記のフッ素樹脂塗布液
（商品名、ルミフロン、旭硝子株式会社製）に代えて、
テトラフルオロエチレンとエチレンとのコポリマ−から
なるフッ素樹脂液を使用し、それ以外は、上記と全く同
様にして、同様な本発明にかかる表面保護シ−ト、およ
び、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。

【００４４】実施例３ （１）．基材として、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、上記の実施例２
と全く同様にして、厚さ３００Åの酸化珪素の蒸着薄膜
を、その易接着処理面に形成し、更に、その酸化珪素の
蒸着薄膜面に、コロナ放電処理を行って、コロナ処理面
を形成し、その蒸着薄膜面の表面張力を３５ｄｙｎｅよ
り６０ｄｙｎｅに向上させた。次に、上記の実施例１と
全く同様にして、上記の２軸延伸ポリエチレンテレフタ
レ−トフィルムの酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理面
に、膜厚３００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成
し、更に、酸化アルミニウムの蒸着薄膜面に、プラズマ
処理を行ってプラズマ処理面を形成した。 （２）．他方、ジメチルジメトキシシラン５重量部とエ
タノ−ル２．５重量部と０．１規定の塩酸０．５重量部
とをその割合で混合して、５０℃にて２時間還流した。
得られたジメチルジメトキシシランの部分加水分解物溶
液に、メチルトリメトキシシラン１５重量部とエタノ−
ル３重量部と環状ポリオレフィンのシクロヘキサン溶液
（３０％）１０重量部の割合で添加し、室温にて更に２
時間攪拌して、塗布用の組成物を調整した。次に、上記
の酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面に、上
記で得られた塗布用の組成物を使用し、これをグラビア
ロ−ルコ−ト法でコ−ティングして、厚さ２．０ｇ／ｍ
² （乾燥状態）のコ−ティング膜を形成し、次いで、１
２０℃で１分加熱処理してコ−ティング硬化膜を形成し
た。 （３）．次に、上記で製造したコ−ティング硬化膜面
に、０．０３μｍの酸化チタン超微粒子５重量部とエチ
レン−ビニルアルコ−ル共重合体液（固形分２０％溶
液）９５重量部とからなる紫外線吸収剤組成物をグラビ
アロ−ルコ−ト法を用いてコ−ティングし、膜厚０．５
ｇ／ｍ² （乾燥状態）の紫外線吸収剤層を形成した。更
に、上記の紫外線吸収剤層の上に、フッ素樹脂塗布液
（商品名、ルミフロン、旭硝子株式会社製）を使用し、
グラビアロ−ルコ−ト法を用いて、コ−ティングし、膜
厚１０ｇ／ｍ² （乾燥状態）の塗布膜を形成して積層体
を製造した。次に、上記で製造した積層体の塗布膜面
（最表面）に、粒径０．０３μｍの酸化チタン超微粒子
１０重量部とテトラエトキシシラン液９０重量部（固形
分２０％）とからなる光触媒塗工液をグラビアロ−ルコ
−ト法を用いて塗布し、膜厚１ｇ／ｍ² （乾燥状態）の
防汚層を形成し、本発明にかかる表面保護シ−トを製造
した。 （４）．次に、上記で製造した表面保護シ−トの２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム面に、アモルフ
ァスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚
さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルム（受光面）を、その太陽電池素子面を対向させ、ア
クリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にか
かる太陽電池モジュ−ルを製造した。 （５）．なお、上記において、上記のフッ素樹脂塗布液
（商品名、ルミフロン、旭硝子株式会社製）に代えて、
テトラフルオロエチレンとエチレンとのコポリマ−から
なるフッ素樹脂液を使用し、それ以外は、上記と全く同
様にして、同様な本発明にかかる表面保護シ−ト、およ
び、太陽電池モジュ−ルを製造することができた。

【００４５】実施例４ （１）．上記の実施例１で製造した膜厚３００Åの酸化
アルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面に、更に、上
記の実施例１と全く同様にして、膜厚３００Åの酸化ア
ルミニウムの蒸着薄膜を形成し、また、酸化アルミニウ
ムの蒸着薄膜面に、プラズマ処理を行って、２層の酸化
アルミニウムの蒸着薄膜を形成した。 （２）．他方、テトラエトキシシラン２５重量部とエタ
ノ−ル１０重量部と０．１規定の塩酸５重量部とを混合
して、５０℃にて３時間還流した。得られたテトラエト
キシシランの部分加水分解物溶液に、フッ素系アクリル
樹脂液（旭硝子株式会社製、商品名、ルミフロン）２５
重量部を添加し、室温にて更に２時間攪拌して、塗布用
の組成物を調整した。次に、上記の酸化アルミニウムの
蒸着薄膜のプラズマ処理面に、上記の塗布用の組成物を
を使用し、これをグラビアロ−ルコ−ト法でコ−ティン
グして、厚さ０．５ｇ／ｍ² （乾燥状態）のコ−ティン
グ膜を形成し、次いで、１２０℃で５分間加熱処理して
コ−ティング硬化膜を形成した。 （３）．次いで、上記で形成したコ−ティング硬化膜面
に、上記の実施例３と全く同様にして、紫外線吸収剤層
を設け、更に、該紫外線吸収剤層の上に、塗布膜を設け
て積層体を構成し、次いで、該積層体の塗布膜面（最表
面）に、上記の実施例３と全く同様して、粒径０．０３
μｍの酸化チタン超微粒子１０重量部とテトラエトキシ
シラン液９０重量部（固形分２０％）とからなる光触媒
塗工液をグラビアロ−ルコ−ト法を用いて塗布し、膜厚
１ｇ／ｍ² （乾燥状態）の防汚層を形成して、本発明に
かかる表面保護シ−トを製造した。更に、上記で製造し
た表面保護シ−トを使用し、上記の実施例１と同様にし
て本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００４６】実施例５ （１）．上記の実施例２において製造した酸化珪素の蒸
着薄膜のコロナ処理面に、更に、上記の実施例２と全く
同様にして、膜厚３００Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成
し、また、酸化珪素の蒸着薄膜面に、コロナ放電処理を
行って、２層の酸化珪素の蒸着薄膜を形成した。 （２）．他方、テトラエトキシシラン２０重量部と水５
０重量部とエタノ−ル３０重量部と０．１規定の塩酸５
重量部とをその割合で混合して、５０℃にて３時間還流
した。得られたテトラエトキシシランの部分加水分解物
溶液に、エチレン−ビニルアルコ−ル共重合体の水−イ
ソプロピ−ルアルコ−ル溶液（固形分８％）５０重量部
を添加し、室温にて更に２時間攪拌して、塗布用の組成
物を調整した。次に、上記の酸化珪素の蒸着薄膜のプラ
ズマ処理面に、上記の塗布用の組成物をを使用し、これ
をグラビアロ−ルコ−ト法でコ−ティングして、厚さ
１．０ｇ／ｍ² （乾燥状態）のコ−ティング膜を形成
し、次いで、１２０℃で５分間加熱処理してコ−ティン
グ硬化膜を形成した。 （３）．次いで、上記で形成したコ−ティング硬化膜面
に、上記の実施例３と全く同様にして、紫外線吸収剤層
を形成し、更に、該紫外線吸収剤層の上に、塗布膜を形
成して積層体を構成し、次いで、該積層体の塗布膜面
（最表面）に、上記の実施例３と全く同様して、粒径
０．０３μｍの酸化チタン超微粒子１０重量部とテトラ
エトキシシラン液９０重量部（固形分２０％）とからな
る光触媒塗工液をグラビアロ−ルコ−ト法を用いて塗布
し、膜厚１ｇ／ｍ² （乾燥状態）の塗布膜からなる防汚
層を形成して、本発明にかかる表面保護シ−トを製造し
た。更に、上記で製造した表面保護シ−トを使用し、上
記の実施例２と同様にして本発明にかかる太陽電池モジ
ュ−ルを製造した。

【００４７】実施例６ （１）．基材として、紫外線吸収剤を練り込んだ厚さ５
０μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム
を使用し、上記の実施例１と全く同様にして、厚さ３０
０Åの酸化アルミニウムの蒸着薄膜を形成し、更に、そ
の酸化アルミニウムの蒸着薄膜面に、プラズマ処理を行
った。次に、上記の実施例２と全く同様にして、上記の
２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの酸化ア
ルミニウムの蒸着薄膜のプラズマ処理面に、膜厚３００
Åの酸化珪素の蒸着薄膜を形成し、更に、酸化珪素の蒸
着薄膜面に、コロナ放電処理を行った。 （２）．次に、上記の酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理
面に、以下、上記の実施例２と全く同様にして、本発明
にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを製造し
た。更に、上記で製造した表面保護シ−トを使用し、上
記の実施例２と全く同様にして本発明にかかる太陽電池
モジュ−ルを製造した。

【００４８】実施例７ （１）．基材として、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、上記の実施例１
と同様にして、その易接着処理面に、膜厚３００Åの酸
化アルミニウムの蒸着薄膜を形成し、更に、その酸化ア
ルミニウムの蒸着薄膜面に、プラズマ処理面を形成し
た。 （２）．次に、上記の酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプ
ラズマ処理面に、上記の実施例１と同様にして、コ−テ
ィング硬化膜を形成した。更に、上記で製造したコ−テ
ィング硬化膜面に、上記の実施例１と全く同様にして塗
布膜を形成して積層体を製造した。次に、上記で製造し
た積層体の塗布膜の面（最表面）に、粒子径０．０３μ
ｍの酸化チタン超微粒子１０重量部とテトラエトキシシ
ラン液（固形分２０％）９０重量部とからなる光触媒塗
工液をグラビアロ−ルコ−ト法を用いて塗布し、膜厚１
ｇ／ｍ² （乾燥状態）の塗布膜からなる防汚層を形成し
て、本発明にかかる表面保護シ−トを製造した。次に、
上記で製造した表面保護シ−トを使用し、上記の実施例
３と全く同様にして、本発明にかかる太陽電池モジュ−
ルを製造した。

【００４９】実施例８ （１）．基材として、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、上記の実施例２
と同様にして、その易接着処理面に、厚さ３００Åの酸
化珪素の蒸着薄膜を形成し、更に、その酸化珪素の蒸着
薄膜面に、コロナ処理面を形成した。 （２）．次に、上記の酸化珪素の蒸着薄膜のコロナ処理
面に、上記の実施例５と同様にして、コ−ティング硬化
膜を形成した。更に、上記で製造したコ−ティング硬化
膜面に、上記の実施例２と全く同様にして、塗布膜を形
成して、積層体を製造した。次に、上記で製造した積層
体の塗布膜の面（最表面）に、粒子径０．０３μｍの酸
化チタン超微粒子１０重量部とテトラエトキシシラン液
（固形分２０％）９０重量部とからなる光触媒塗工液を
グラビアロ−ルコ−ト法を用いて塗布し、膜厚１ｇ／ｍ
² （乾燥状態）の防汚層を形成して、本発明にかかる表
面保護シ−トを製造した。 （３）．次に、上記で製造した表面保護シ−トの２軸延
伸ポリエチレンテレフタレ−トフィルム面に、アモルフ
ァスシリコンからなる太陽電池素子を並列に配置した厚
さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−トフィ
ルム（受光面）を、その太陽電池素子面を対向させ、ア
クリル系樹脂の接着剤層を介して積層して、本発明にか
かる太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００５０】実施例９ （１）．基材として、厚さ５０μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、上記の実施例２
と全く同様にして、その易接着処理面に、厚さ３００Å
の酸化珪素の蒸着薄膜を形成し、更に、その酸化珪素の
蒸着薄膜面に、コロナ処理面を形成した。次に、上記の
実施例１と全く同様にして、上記の２軸延伸ポリエチレ
ンテレフタレ−トフィルムの酸化珪素の蒸着薄膜のコロ
ナ処理面に、膜厚３００Åの酸化アルミニウムの蒸着薄
膜を形成し、更に、その酸化アルミニウムの蒸着薄膜面
に、プラズマ処理面を形成した。 （２）．次に、上記の酸化アルミニウムの蒸着薄膜のプ
ラズマ処理面に、上記の実施例３と同様にして、コ−テ
ィング硬化膜を形成した。更に、上記で製造したコ−テ
ィング硬化膜面に、上記の実施例１と同様にして、塗布
膜を形成して積層体を製造した。更に、上記で製造した
積層体の塗布膜の面（最表面）に、粒径０．０３μｍの
酸化チタン超微粒子１０重量部とテトラエトキシシラン
液９０重量部（固形分２０％）とからなる光触媒塗工液
をグラビアロ−ルコ−ト法を用いて塗布し、膜厚１ｇ／
ｍ² （乾燥状態）の防汚層を形成してた。また、上記で
製造した積層体の２軸延伸ポリエチレンテレフタレ−ト
フィルム面に、粒径０．０３μｍの酸化チタン超微粒子
５重量部とメチルメタクリレ−ト液９５重量部（固形分
２０％）とからなる紫外線吸収剤組成物をグラビアロ−
ルコ−ト法を用いて塗布、乾燥し、膜厚０．５ｇ／ｍ²
（乾燥状態）の紫外線吸収剤層を形成して、本発明にか
かる表面保護シ−トを製造した。 （３）．次に、上記で製造した表面保護シ−トの紫外線
吸収剤層面に、アモルファスシリコンからなる太陽電池
素子を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルム（受光面）を、その太陽電
池素子面を対向させ、アクリル系樹脂の接着剤層を介し
て積層して、本発明にかかる太陽電池モジュ−ルを製造
した。

【００５１】比較例１ 基材として、厚さ５０μｍのポリフッ化ビニル樹脂フィ
ルム（ＰＶＦ）を使用し、これを表面保護シ−トし、そ
の片面に、アモルファスシリコンからなる太陽電池素子
を並列に配置した厚さ３８μｍの２軸延伸ポリエチレン
テレフタレ−トフィルム（受光面）を、その太陽電池素
子面を対向させ、アクリル系樹脂の接着剤層を介して積
層して、太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００５２】比較例２ 上記の実施例１において、金属アルコキシド化合物およ
び／またはその加水分解物をビヒクルの主成分とする組
成物によるコ−ティング膜を形成しないで、その他は、
上記の実施例１と全く同様にして、表面保護シ−ト、お
よび、それを使用した太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００５３】比較例３ 上記の実施例２において、金属アルコキシド化合物およ
び／またはその加水分解物をビヒクルの主成分とする組
成物によるコ−ティング膜を形成しないで、その他は、
上記の実施例２と全く同様にして、表面保護シ−ト、お
よび、太陽電池モジュ−ルを製造した。

【００５４】実験例 上記の実施例１〜９で製造した本発明にかかる表面保護
シ−トと比較例１〜３にかかる表面保護シ−トについ
て、全光線透過率を測定し、また、上記の実施例１〜９
で製造した太陽電池モジュ−ルと比較例１〜３で製造し
た太陽電池モジュ−ルについて太陽電池モジュ−ル評価
試験を行った。 （１）．全光線透過率の測定 これは、基材シ−トを基準とし、実施例１〜９で製造し
た本発明にかかる表面保護シ−トと比較例１〜３にかか
る表面保護シ−トについてカラ−コンピュ−タ−により
全光線透過率（％）を測定した。 （２）．太陽電池モジュ−ル評価試験 これは、ＪＩＳ規格Ｃ８９１７−１９８９に基づいて、
太陽電池モジュ−ルの環境試験を行い、試験前後の光起
電力の出力を測定して、比較評価した。 （３）．水蒸気透過度と酸素透過度の測定 水蒸気透過度は、実施例１〜９で製造した本発明にかか
る表面保護シ−トと比較例１〜３にかかる表面保護シ−
トについて、温度４０℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米
国、モコン（ＭＯＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、パ−
マトラン（ＰＥＲＭＡＴＲＡＮ）〕にて測定し、更に、
酸素透過度は、上記と同様の対象物について、温度２３
℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯＣＯ
Ｎ）社製の測定機〔機種名、オクストラン（ＯＸＴＲＡ
Ｎ）〕にて測定した。上記の測定結果について下記の表
１に示す。

【００５５】 上記の表１において、水蒸気透過度は、〔ｇ／ｍ² ／ｄ
ａｙ・４０℃・１００％ＲＨ〕の単位であり、また、酸
素透過度は、〔ｃｃ／ｍ² ／ｄａｙ・２３℃・９０％Ｒ
Ｈ〕の単位である。

【００５６】上記の表１に示す測定結果より明らかなよ
うに、実施例１〜９のものは、全光線透過率が高く、ま
た、水蒸気バリア性、酸素バリア性に優れており、更
に、その出力低下率も低いものであった。これに対し、
比較例１のものは、全光線透過率が高いものの、水蒸気
バリア性、酸素バリア性に劣り、そのため、その出力低
下率が、高いという問題点があり、また、比較例２、３
のものは、実施例１〜９のものと比較すると、コ−ティ
ング膜を設けていないものであることから、水蒸気バリ
ア性、酸素バリア性において、若干、劣るものであっ
た。

【００５７】

【発明の効果】以上の説明で明らかなよう、本発明は、
太陽電池モジュ−ルを構成する表面保護シ−ト層として
使用されているガラス板の特性、光触媒粉末、紫外線吸
収剤等に着目し、まず、フッ素系樹脂をビヒクルの主成
分とする樹脂組成物による塗布膜と、その片面に、酸化
珪素、酸化アルミニウム等の透明な、ガラス質からなる
無機酸化物の蒸着薄膜を設け、更に、該無機酸化物の蒸
着薄膜の上に、金属アルコキシド化合物および／または
その加水噴火委物をビヒクルの主成分とする組成物によ
るコ−ティング膜を設けた樹脂フィルムとを積層し、更
に、該塗布膜と、無機酸化物の蒸着薄膜とコ−ティング
膜とを設けた樹脂フィルムとからなる積層体のいずれか
の一方の面または両面に、光触媒粉末を含む組成物によ
る塗布膜からなる防汚層および／または紫外線吸収剤を
含む組成物による塗布膜からなる紫外線吸収剤層を設け
て太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トを製造し、これ
を表面保護シ−ト層とし、その防汚層を最表面とし、そ
の他方の面に、充填剤層、光起電力素子としての太陽電
池素子、充填剤層、および、裏面保護シ−ト層等を順次
に積層し、次いで、これらを一体的に真空吸引して加熱
圧着するラミネ−ション法等を利用して太陽電池モジュ
−ルを製造して、水分、酸素等の侵入を防止する防湿性
を著しく向上させ、更に、耐光性、耐熱性、耐水性等の
諸堅牢性についても、その長期的な性能劣化を最小限に
抑え、保護能力性に優れ、また、ゴミ等の蓄積してその
表面を汚染する汚染性等を防止し、より低コストで安全
な太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−トおよびそれを使
用した太陽電池モジュ−ルを製造し得ることができると
いうものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。

【図２】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。

【図３】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。

【図４】本発明にかかる太陽電池モジュ−ル用表面保護
シ−トについてその一例の層構成の概略を示す概略的断
面図である。

【図５】図１に示す本発明にかかる太陽電池モジュ−ル
用表面保護シ−トを使用して製造した太陽電池モジュ−
ルついてその一例の層構成の概略を示す概略的断面図で
ある。

【図６】物理気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜を
形成する方法についてその概要を示す巻き取り式真空蒸
着装置の概略的構成図である。

【図７】化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜を
形成する方法についてその概要を示す低温プラズマ化学
気相成長装置の概略的構成図である。

【符号の説明】

Ａ 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト Ａ₁ 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト Ａ₂ 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト Ａ₃ 太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト １ 塗布膜 ２ 無機酸化物の蒸着薄膜 ２ａ 無機酸化物の蒸着薄膜 ２ｂ 無機酸化物の蒸着薄膜 ３ コ−ティング膜 ４ 樹脂フィルム ５ 積層体 ６ 防汚層 ７ 紫外線吸収剤層 ８ 多層膜 Ｔ 太陽電池モジュ−ル １１ 充填剤層 １２ 太陽電池素子 １３ 充填剤層 １４ 裏面保護シ−ト

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 浩 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 (72)発明者 今野 克俊 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 5F051 BA17 BA18 HA19 HA20 JA03 JA04 JA05

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フッ素系樹脂をビヒクルの主成分とする
   樹脂組成物による塗布膜と、無機酸化物の蒸着薄膜を設
   け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、金属アルコ
   キシド化合物および／またはその加水分解物をビヒクル
   の主成分とする組成物によるコ−ティング膜を設けた樹
   脂フィルムとを積層し、更に、該塗布膜と、無機酸化物
   の蒸着薄膜とコ−ティング膜とを設けた樹脂フィルムと
   からなる積層体のいずれかの一方の面または両面に、防
   汚層および／または紫外線吸収剤層を設けたことを特徴
   とする太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト。
2. 【請求項２】 フッ素系樹脂をビヒクルの主成分とする
   樹脂組成物による塗布膜と、無機酸化物の蒸着薄膜を設
   け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、金属アルコ
   キシド化合物および／またはその加水分解物をビヒクル
   の主成分とする組成物によるコ−ティング膜を設けた樹
   脂フィルムとを積層し、更に、該塗布膜と、無機酸化物
   の蒸着薄膜とコ−ティング膜とを設けた樹脂フィルムと
   からなる積層体を構成する塗布膜面に、防汚層と紫外線
   吸収剤層とを設け、かつ、該防汚層を最表面とすること
   を特徴とする太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト。
3. 【請求項３】 フッ素系樹脂をビヒクルの主成分とする
   樹脂組成物による塗布膜と、無機酸化物の蒸着薄膜を設
   け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、金属アルコ
   キシド化合物および／またはその加水分解物をビヒクル
   の主成分とする組成物によるコ−ティング膜を設けた樹
   脂フィルムとを積層し、更に、該塗布膜と、無機酸化物
   の蒸着薄膜とコ−ティング膜とを設けた樹脂フィルムと
   からなる積層体を構成する塗布膜面に、防汚層を設け、
   また、該積層体を構成する無機酸化物の蒸着薄膜とコ−
   ティング膜とを設けた樹脂フィルム面に、紫外線吸収剤
   層を設け、かつ、該防汚層を最表面とすることを特徴と
   する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト。
4. 【請求項４】 フッ素系樹脂をビヒクルの主成分とする
   樹脂組成物による塗布膜と、無機酸化物の蒸着薄膜を設
   け、更に、該無機酸化物之蒸着薄膜の上に、金属アルコ
   キシド化合物および／またはその加水分解物をビヒクル
   の主成分とする組成物によるコ−ティング膜を設けた樹
   脂フィルムとを積層し、更に、該塗布膜と、無機酸化物
   の蒸着薄膜とコ−ティング膜とを設けた樹脂フィルムと
   からなる積層体を構成する塗布膜面に、防汚層を設け、
   また、該積層体を構成する塗布膜とコ−ティング膜との
   間に、紫外線吸収剤層を設け、かつ、該防汚層を最表面
   とすることを特徴とする太陽電池モジュ−ル用表面保護
   シ−ト。
5. 【請求項５】 塗布膜が、可視光透過率が９０％以上で
   ある透明フッ素系樹脂をビヒクルの主成分とする樹脂組
   成物からなることを特徴とする上記の請求項１〜４に記
   載する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト。
6. 【請求項６】 塗布膜が、商品名ＣＹＴＯＰ（サイトッ
   プ）または商品名ルミフロン（両方とも、旭硝子株式会
   社製）からなる透明フッ素系樹脂をビヒクルの主成分と
   する樹脂組成物からなることを特徴とする上記の請求項
   １〜５に記載する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
   ト。
7. 【請求項７】 無機酸化物の蒸着薄膜が、物理気相成長
   法による無機酸化物の蒸着薄膜の１層ないし２層以上の
   多層膜からなることを特徴とする上記の請求項１〜６に
   記載する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト。
8. 【請求項８】 無機酸化物の蒸着薄膜が、化学気相成長
   法による無機酸化物の蒸着薄膜の１層ないし２層以上の
   多層膜からなることを特徴とする上記の請求項１〜６に
   記載する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト。
9. 【請求項９】 無機酸化物の蒸着薄膜が、物理気相成長
   法および化学気相成長法による無機酸化物の蒸着薄膜の
   ２層以上の多層膜からなることを特徴とする上記の請求
   項１〜６に記載する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
   ト。
10. 【請求項１０】 無機酸化物の蒸着薄膜が、化学気相成
    長法による無機酸化物の蒸着薄膜を設け、次に、該無機
    酸化物の蒸着薄膜の上に、物理気相成長法による無機酸
    化物の蒸着薄膜を設けた２層以上の多層膜からなること
    を特徴とする上記の請求項９に記載する太陽電池モジュ
    −ル用表面保護シ−ト。
11. 【請求項１１】 無機酸化物の蒸着薄膜が、プラズマ処
    理面、または、コロナ処理面を形成してなることを特徴
    とする上記の請求項１〜１０に記載する太陽電池モジュ
    −ル用表面保護シ−ト。
12. 【請求項１２】 組成物が、樹脂成分をふくむことを特
    徴とする上記の請求項１〜１１に記載する太陽電池モジ
    ュ−ル用表面保護シ−ト。
13. 【請求項１３】 樹脂成分が、水溶性ないし親水性樹脂
    であることを特徴とする上記の請求項１２に記載する太
    陽電池モジュ−ル用表面保護シ−ト。
14. 【請求項１４】 組成物が、金属アルコキシド化合物お
    よび／またはその加水分解物の硬化触媒を含むことを特
    徴とする上記の請求項１〜１３に記載する太陽電池モジ
    ュ−ル用表面保護シ−ト。
15. 【請求項１５】 組成物が、無機酸化物微粒子を含むこ
    とを特徴とする上記の請求項１〜１４に記載する太陽電
    池モジュ−ル用表面保護シ−ト。
16. 【請求項１６】 組成物が、架橋剤を含むことを特徴と
    する上記の請求項１〜１５に記載する太陽電池モジュ−
    ル用表面保護シ−ト。
17. 【請求項１７】 樹脂フィルムが、二軸延伸ポリエステ
    ル系樹脂フィルム、二軸延伸ポリアミド系樹脂フィル
    ム、二軸延伸ポリプロピレン系樹脂フィルム、環状ポリ
    オレフィン系樹脂フィルム、または、（メタ）アクリル
    系樹脂フィルムからなることを特徴とする上記の請求項
    １〜１６に記載する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
    ト。
18. 【請求項１８】 防汚層が、酸化チタンを主成分とする
    光触媒粉末、またはゾルに含まれる微粒子からなる組成
    物による塗布膜からなることを特徴とする上記の請求項
    １〜１７に記載する太陽電池モジュ−ル用表面保護シ−
    ト。
19. 【請求項１９】 紫外線吸収剤層が、紫外線吸収剤を含
    む組成物による塗布膜からなることを特徴とする上記の
    請求項１〜１８に記載する太陽電池モジュ−ル用表面保
    護シ−ト。
20. 【請求項２０】 フッ素系樹脂をビヒクルの主成分とす
    る樹脂組成物による塗布膜と、無機酸化物の蒸着薄膜を
    設け、更に、該無機酸化物の蒸着薄膜の上に、金属アル
    コキシド化合物および／またはその加水分解物をビヒク
    ルの主成分とする組成物によるコ−ティング膜を設けた
    樹脂フィルムとを積層し、更に、該塗布膜と、無機酸化
    物の蒸着薄膜とコ−ティング膜とを設けた樹脂フィルム
    とからなる積層体のいずれたの一方の面または両面に、
    防汚層および／または紫外線吸収剤層を設けた太陽電池
    モジュ−ル用表面保護シ−トの一方の面に、充填剤層、
    光起電力素子としての太陽電池素子、充填剤層、およ
    び、裏面保護シ−ト層を順次に積層し、これらを真空吸
    引して加熱圧着ラミネ−ション法等により一体成形体と
    したことを特徴とする太陽電池モュジュ−ル。