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CN101304813B - 通过采用微滴图案形成的微构造提高弹性体材料生物相容性的方法 - Google Patents

通过采用微滴图案形成的微构造提高弹性体材料生物相容性的方法 Download PDF

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CN101304813B CN2006800419875A CN200680041987A CN101304813B CN 101304813 B CN101304813 B CN 101304813B CN 2006800419875 A CN2006800419875 A CN 2006800419875A CN 200680041987 A CN200680041987 A CN 200680041987A CN 101304813 B CN101304813 B CN 101304813B
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Abstract

本发明描述了将微结构引入到弹性体材料如硅氧烷弹性体的表面的简单方法。通过在硅氧烷弹性体膜上形成保护性聚合物的微滴，使该聚合物硬化，然后通过化学蚀刻去除未被涂覆的材料，产生图案。细胞附着研究结果显示与未处理过的对照样相比经处理的材料具有显著提高的生物相容性。

Description

通过采用微滴图案形成的微构造提高弹性体材料生物相容性的方法
发明领域
本发明描述了将微结构引入到弹性体材料如硅氧烷弹性体的表面上的简单方法。通过在硅氧烷弹性体膜上形成保护性聚合物的微滴，使该聚合物硬化，然后由化学蚀刻去除未被涂覆的材料，来生成图案。细胞附着研究结果显示出，与未经处理的对照样相比，被处理过的材料具有显著提高的生物相容性。
背景技术
弹性体材料，例如硅氧烷弹性体或橡胶已经被广泛应用于各种医疗设备。硅氧烷弹性体和硅橡胶都是硅氧烷聚合物类。具体地，这些是基于结构单元R2SiO的半无机聚合物中的一种，其中R是有机基团。对包括弹性体材料如硅氧烷弹性体或硅橡胶的设备的性能进行优化的努力主要集中在两种通常可相容的方法：化学改性(参见Wang等人，Nature Biotechnology 20：602-606(2002年)；Hu等人，Langmuir 20：5569-5574(2004年)；Chen等人，Biomaterials 25：2273-2282(2005年)；Makamba等人，Anal.Chem.77：3971-3978(2005年)；Price等人，J.Biomed.Mater.Res.74B-.481-487(2005年)；Huang等人，Lab Chip5：1005-1007(2005年)；Yamauchi等人，Macromolecules 38：8022-8027(2005年)；以及Zhou等人，Colloids and Surfaces B：Biointerfaces 41：55-62(2005年))以及表面构形改性(参见Yamauchi等人，Macromolecules 38：8022-8027(2005年)；den Braber等人，Biomaterials 17：2037-2044(1996年)；Flemming等人，Biomaterials 20：573-588(1999年)；Wilkerson等人，Polymer Preprints 42：147-148(2001年)；Berglin等人，Colloids and Surfaces B：Biointerfaces28：107-117(2003年)；Evans等人，Biomaterials 26：1703-1711(2005年)；以及Goldner等人，Biomaterials 27：460-472(2006年))。一种用于硅氧烷弹性体化学改性的常用方法是等离子体处理：例如，Price等人，supra，使硅橡胶经受氩等离子体放电处理和氟化硅烷耦合的组合处理，发现粘附在处理过的橡胶上的假丝酵母减少。另外的已知的方法是聚合物接枝：例如，Hu等人，supra，在制备具有不同电泳淌度性能的聚二甲基硅氧烷(PDMS)中共混合带电及中性的单体；Zhou等人，supra，将N，N’-二甲基-N-异丁烯酰基乙氧基-N-(2-羧乙基)胺接枝在硅烷树脂膜上，并且发现经这样处理的膜具有提高的血液相容性，正如没有血小板粘附以及蛋白质吸附所表示的那样；以及Xiao等人，Anal.Chem.76：2055～2061(2004年)，通过原子转移自由基聚合用聚丙烯酰胺改性PDMS，并且发现这样的表面用于毛细结构中消除了蛋白质吸附且促进了电泳蛋白质分离。另外的已知的化学改性方法是吸附：例如，Huang等人，supra，用正-十二烷基-β-D-麦芽苷涂覆PDMS，从使非特异性蛋白吸附最小化；以及Phillips等人，Anal.Chem.77：327～334(2005年)，在等离子体氧化的PDMS上组装卵磷脂膜以提高润湿性和蛋白质抗性。如Makamba等人，Electrophoresis24：3607～3619(2003年)所综述的那样，常见类型的PDMS改性方法包括能量暴露(energy exposure)、采用带电表面活性剂的动态改性(dynamicmodification)、采用多层聚合电解质的改性、包括自由基诱导接枝聚合和铈(IV)催化聚合及硅烷化的共价改性、化学气相沉积、双层磷脂改性以及蛋白质改性。这些改性促进涉及蛋白质附着(参见Chen等人，supra)、细胞响应(参见Makamba等人，Anal.Chem.，supra)和粘附(参见Bartzoka等人，Adv.Mater.11：257～259(1999年))的所希望设备的性能。典型地通过微图案形成技术(micro-patterning technique)改进硅氧烷弹性体的表面形貌。许多研究已经表明，在织构化表面(textured surfaces)上的生物粘附力与它们的常规对应物相比明显不同。其实例包括Flemming等人，supra(将基膜拓朴学与合成微结构和纳米结构的表面对细胞阵列和层形成的影响联系起来)；Goldner等人，supra(观察开槽的PDMS表面上的槽之间轴突的桥接)；den Braber等人，J.Biomed.Mater.Res.15：539～547(1997年)(在植入活有机体内的开有微槽的硅氧烷橡胶所环绕的胶囊内发现明显较少的炎性细胞和较多的血管)；Yim等人，Biomaterials 26：5405～5413(2005年)(发现平滑肌细胞接种在弹性体表面上，该弹性体表面具有与网格成一直线的纳米图案的网格，且比接种在对照表面上的细胞延长)；Thapa等人，Biomaterials 24：2915～2926(2003年)(发现由于纳米结构的表面粗糙度增加，在化学蚀刻的聚合物膜上出现较大量的膀胱平滑肌细胞)；以及von Recum等人，J.Biomater.Sci.，Polym.Ed.7：181～198(1995年)。
已描述了几种制备微结构表面的方法，典型地采用微加工技术，例如采用光刻法在表面上生成图案，随后反应离子蚀刻，或者在预成型图案的母版上铸造硅烷树脂及其固化剂的混合物，随后剥去固化的弹性体(软光刻)。这两种方法提供了表面特征的精确控制，但是它们通常分别限于平整的设备表面或未固化的材料。此外，已报道了对硅氧烷弹性体(具体地为聚二甲基硅烷，“PDMS”)表面重排的观测，尽管这种现象至今未充分报道。例如，Makamba等人，Anal.Chem.，supra报道了亲水改性的PDMS(以其未改性的形式是高度憎水的)表面重排的现象，导致该表面返回憎水状态；以及Batra等人，Macromolecules 38：7174-7180(2005年)报道了PDMS链的末端键连对弹性体的末端弛豫时间的影响。对引向弹性体材料的表面的微结构重排(伴随着丧失那些微特征带来的所希望的性能)的这些观测表明弹性体材料如硅氧烷弹性体的表面通常随着时间流逝是不稳定的，且这种不稳定性可能消除由表面改性所获得的好处。
发明概述
在本发明的一个方面，提供一种处理弹性体表面的方法，其包括：在弹性体表面上形成包括聚合物的液体的微滴；使该聚合物微滴硬化；采用蚀刻弹性体但不会蚀刻所述硬化的聚合物微滴的试剂来化学蚀刻该表面；以及溶解所述聚合物微滴。
在另一方面，弹性体表面包括硅氧烷弹性体。
在另一方面，弹性体表面包括聚二甲基硅氧烷。
在另一方面，液体包括溶解在丙二醇甲醚醋酸酯中的聚合物。
在另一方面，形成步骤包括将所述液体喷射到弹性体表面上。
在另一方面，形成步骤包括将供给液体的细长的探头与弹性体表面接触。
在另一方面，硬化步骤包括烘焙。
在另一方面，硬化步骤包括将微滴暴露于辐射线。
在另一方面，硬化的微滴具有在0.001～500微米范围内的最大宽度。
在另一方面，硬化的微滴具有在0.005～300微米范围内的最大宽度。
在另一方面，硬化的微滴具有在0.05～175微米范围内的最大宽度。
在另一方面，硬化的微滴具有在0.5～100微米范围内的最大宽度。
在另一方面，蚀刻剂是酸溶液。
在另一方面，酸溶液是氢氟酸水溶液。
在另一方面，酸溶液是硝酸溶液。
在另一方面，蚀刻剂是离子形式。
在另一方面，蚀刻剂是氧等离子体。
在另一方面，蚀刻剂选自氢氧化钠、丙酮、甲苯和己烷组成的组。
在另一方面，溶解步骤包括用溶解聚合物微滴的试剂进行漂洗。
在另一方面，漂洗剂是乙醇。
在另一方面，漂洗包括在无水乙醇中超声处理。
在另一方面，该方法另外包括在蚀刻步骤之后立即用水漂洗所述表面。
在另一方面，形成步骤包括通过阴影掩模(shadow mask)将液体喷射到弹性体表面上。
在另一方面，阴影掩模具有网格形状。
在另一方面，将阴影掩模设置为在至少部分弹性体表面上防止形成微滴。
在另一方面，形成步骤包括加热固体聚合物微粒以形成聚合物微滴。
在另一方面，硬化步骤包括将微滴冷却。
附图说明
图1所示的是在示意形式的本公开发明的弹性体膜上形成微结构的方法。
图2(a)所示的是对照的PDMS膜的扫描电子显微图。
图2(b)所示的是根据本发明方法处理过的PDMS膜的扫描电子显微图。
图3(a)所示的是蚀刻60分钟但是未喷雾聚合物微滴的对照PDMS膜在处理后68天的明视场摄影影像。
图3(b)所示的是用聚合物微滴喷雾之后蚀刻60分钟的PDMS膜在处理后68天的明视场摄影影像。
图3(c)所示的是蚀刻2分钟但是没有用聚合物微滴喷雾的对照PDMS膜在处理后68天的明视场摄影影像。
图3(d)所示的是用聚合物微滴喷雾之后蚀刻2分钟的PDMS膜在处理后68天的明视场摄影影像。
图4(a)所示的是未经蚀刻并且随后在细胞附着着测试中暴露于HEK细胞的对照PDMS膜的明视场摄影影像。
图4(b)所示的是图4(a)的对照PDMS膜的荧光图像。
图4(c)所示的是经过蚀刻并且随后在细胞附着测试中暴露于HEK细胞的PDMS膜的明视场摄影影像。
图4(d)所示的是图4(c)的未经处理过的PDMS膜的荧光图像。
图5(a)所示的是采用本公开的方法处理之前硅胶管的明视场摄影影像。
图5(b)所示的是采用本公开的方法处理之后硅胶管的明视场摄影影像。
图6所示的是采用本公开的方法与网格阴影掩模一起处理过的膜的明视场摄影影像。
优选的实施方式
本发明公开涉及构图的弹性体表面如硅氧烷弹性体表面的制备，其是通过用含聚合物的液体的细雾(fine mist)喷涂硅氧烷膜，接着化学处理以蚀刻未被涂覆的硅氧烷。含聚合物的液体的例子包括聚合物溶液和固体聚合物微粒的悬浮液。在脱去聚合物小滴之后，得到具有微岛特征的微结构表面。如通过细胞附着研究所示的(参见下面实施方式3)，与其未处理过的对应物相比，所得材料具有明显提高的细胞附着。
本发明公开的方法代表了不需要预构图的母版(参见Xia等人，Angew.Chem.Int.Ed.37：550～575(1998年))的软光刻(参见Li等人，Adv.Mater.17：1249～1250(2005年))的变化。它来源于基于喷墨印刷或已用于控制微尺寸或较小颗粒的喷嘴喷雾(参见Okuyama等人，Chem.Engr.Sci.58：537～547(2003年))的技术。该工艺可概括如下。
首先，将聚合物微滴沉积在弹性体表面上。在优选的实施方式中，微滴的沉积可以通过采用市售的喷雾器如喷漆器的喷雾沉积来完成，但是，可以采用导致聚合物微滴随即分散的任何方法。可以采用其它的喷雾设备，例如，压力浮质发生器。优选地，所使用的喷雾设备可以通过可调节的喷嘴等用于制备不同尺寸的微滴。当弹性体表面将要被处理许多次以产生更复杂的微结构时，这是特别优选的。还可以采用除喷雾之外的方法。例如，在一个实施方式中，采用与弹性体表面接触且将含聚合物的液体供应到该表面的细长探头，可以将微滴涂布到弹性体表面上。细长的探头的例子包括针、棒或其它的浸入含聚合物的液体中的细长结构，以及由其供应聚合物溶液的导管类结构。在其它的实施方式中，可以将固体聚合物微粒涂布到弹性体的表面，然后在随后的加热步骤中熔融在该表面上。在其一方面，通过在指向弹性体表面的气流中输送微粒来完成微粒的涂布。在另一方面，通过用含聚合物微粒的悬浮液涂覆弹性体表面，涂布该聚合物微粒。或者，可以使聚合物蒸汽凝结且在弹性体表面上形成微滴。在其它的实施方式中，可以将含聚合物的液体涂布到弹性体的表面上，然后摇动以使部分液体脱离该表面，而一些小滴或其它的聚合物结构保留在表面上。此外，在本文中“微滴”意指如下小滴，该小滴优选具有在0.001～500微米范围内的最大宽度，更优选0.0025～400微米，甚至更优选0.005～300微米，甚至更优选0.01～250微米，甚至更优选0.025～200微米，甚至更优选0.05～175微米，甚至更优选0.1～150微米，甚至更优选0.25～125微米，最优选0.5～100微米。上述范围的任意下限和上限的组合可以明确地预料到在本发明公开的范围内。所述微滴不必具有通常圆形的构形；在实施方式中，根据微滴的成分和用于形成它们的方法，所述微滴在与弹性体表面接触的点可以具有椭圆形或不规则形状的横截面。
此外，可以预料各种类型弹性体材料的处理。在优选的实施方式中，采用硅氧烷弹性体PDMS。然而，还可以采用其它的二甲基硅氧烷、甲基苯基硅氧烷、氟硅氧烷、热塑性硅氧烷-尿烷共聚物、聚甲基丙烯酸甲酯、乳酸-羟基乙酸共聚物、聚异戊二烯、聚丁二烯、聚氯丁烯、聚异丁烯、聚(苯乙烯-丁二烯-苯乙烯)以及聚氨酯如聚醚氨酯。
此外，包含微滴的聚合物没有特别限制，只要它可以以液体溶液或悬浮液的形式喷雾，并且通过烘焙或一些其它方法可以被硬化。在优选的实施方式中，可以采用聚合物在丙二醇甲醚醋酸酯中的溶液(作为Shipley 1813出售)；这种溶液具有易于使用的特征，因为它能够方便地涂布，不溶于水溶液，并且用乙醇或丙酮能够容易地除去所得到的硬化的微滴。聚苯乙烯和聚甲基丙烯酸甲酯也具有类似的易于使用的特征，并且在本方法中也是优选的。然而，可以采用其它的聚合物溶液，例如，聚氨酯及聚酯等。此外，可以采用任何已知的溶剂，只要它允许聚合物微滴硬化。
聚合物微滴起蚀刻掩模的作用。首先将微滴硬化，其优选通过烘焙或干燥，但是，可以采用任何已知的硬化方法。例如，在一些实施方式中，可以通过暴露于辐射线如UV光或者显影剂将微滴固化。其次，将其上具有硬化的聚合物微滴的弹性体表面暴露于化学蚀刻剂。在优选的实施方式中，蚀刻剂是氢氟酸的水溶液，但是，可以采用已知用于蚀刻相关的弹性体表面的任何试剂。例如，可以用THF溶液中的氟化四丁铵、离子铣削(ion milling)、硝酸、氢氧化钠、丙酮、甲苯、己烷、氧等离子体或CF4气体来完成蚀刻。离子铣削是应用于在真空下的样品的工艺，其中表面的选定区域受到离子能量束的轰击。例如，在用保护聚合物微滴选择性地覆盖弹性体表面之后，用氩气进行离子铣削，以除去未保护的弹性体从而产生图案。化学处理蚀刻掉未涂覆的弹性体，且在未涂覆的表面上产生微结构特征。在除去聚合物微滴后，获得具有微岛特征的微结构表面。此微滴涂覆/化学蚀刻方法代表了将微结构引入弹性体装置表面的简单且低廉的技术。常规微处理技术与本公开的微滴图案形成技术的比较列于表1中。
表1.常规微处理技术与微滴图案形成技术的比较
  技术   光刻法或电子束光刻   软光刻   微滴图案形成
需要掩模或母版？   对于光刻法需要光掩模；对于电子束光刻需要SEM产生图案 需要母版或模型 否
所需的典型装置   具有旋涂器、掩模对准器或SEM，铁反应蚀刻等的净化室 通常需要净化室以产生母版 喷雾器或其它简单机械涂布设备
可应用于非平整表面？   否。限于视距效应(light-of-sight effect)   否。仅能够用于未固化的材料 是
所形成图案的特征 微尺寸或亚微尺寸特征，精确控制的图案 微尺寸特征，精确控制的图案   微尺寸颗粒，可调节的随即配置的颗粒尺寸和密度
  与批量生产的相容性   需要复杂、多步骤、昂贵的设施   不能用于已经制造的产品   是
实施方式1：形成微结构的膜
按图1中所述的方案制备微结构的硅氧烷弹性体。采用道康宁公司(DowCorning)的Sylard184硅氧烷弹性体成套材料(Silicone Elastomer Kit)制备PDMS膜。具体地，通过按10∶1的比例将道康宁公司的Sylard184硅氧烷弹性体与固化剂混合来制备PDMS膜。将混合物抽真空，并且在90℃下固化1小时。这种成套材料的应用仅是示例性的；可以采用任何已知的制备PDMS膜的方法。采用商业便携式喷漆机(Preval
Figure S2006800419875D00081
Spray Gun)将Shipley 1813溶液的细雾喷雾到PDMS膜上，接着在110℃下硬化烘焙5分钟。这些步骤在PDMS表面上形成硬化微滴的图案。将所得到的膜暴露在氢氟酸(HF)的25％水溶液中10分钟以蚀刻未涂覆的PDMS膜。随后进行水漂洗。为了除去Shipley
1813微滴，在无水乙醇(Aldrich Chemicals)中将样品超声处理15分钟，然后用乙醇漂洗几次。在本实施方式中，不重复上述步骤，但是，如果较大程度的表面粗糙度是所希望的，则可以如所需要的重复多次。重复上述步骤的效果将增加所形成的微结构的复杂度，从而增加表面粗糙度。
如扫描电子显微术所示的，所获得的膜具有微结构表面。图2所示的是两种PDMS膜的扫描电子显微(二次电子)图像，一种通过上述的本实施方式的喷雾、烘焙及蚀刻步骤来获得，一种未执行这些步骤来获得。图2(a)所示的是未蚀刻的PDMS膜，而图2(b)所示的是喷雾且在25％HF水溶液中蚀刻10分钟的PDMS膜。采用H日立4800仪器在1kV的加速电压下操作得到扫描电子显微图像。如从图2可以看到的，通过喷雾、烘焙及蚀刻处理的PDMS膜具有形成在其表面上的微结构。
实施方式2：比较的PDMS处理
为了评价在PDMS膜的表面上各种处理方式的效果，样品膜经过下列处理：(a)在110℃下烘焙5分钟，随后在25％的HF水溶液中蚀刻60分钟；(b)用聚合物溶液喷雾，在110℃下烘焙5分钟，接着在25％的HF水溶液中蚀刻60分钟；(c)在110℃下烘焙5分钟，接着在25％的HF水溶液中蚀刻2分钟；以及(d)用聚合物溶液喷雾，在110℃下烘焙5分钟，接着在25％的HF水溶液中蚀刻2分钟。采用上述方式。在制备之后68天所获得的PDMS膜表面的明视场照片(采用反射光)显示在图3(a)～3(d)中。如图中所示的，与同样制备但无喷雾步骤的样品相比，采用喷雾和蚀刻步骤制备的样品显示了提高的稳定性，68天后在表面上仍具有微结构。因此喷雾导致的微岛特征不仅将微结构引入表面，而且起到稳定由蚀刻工艺所引入的表面形貌的作用。
实施方式3：细胞附着
为了评价细胞附着在处理过和未处理的PDMS膜上的能力(测量提高的生物相容性)，在膜上的细胞附着测试中采用HEK 293细胞(ATCC，CRL-1573TM)。采用这种细胞系是由于容易使用，并且因为它经常用于评价细胞对各种物质的粘附性。在Cui等人，Toxicology Lett.155：73～85(2005年)(将单壁碳纳米管暴露于HEK细胞以评价纳米管的生物相容性)、Gumpenberger等人，Lasers and Electro-Optics：CLEO/Pacific Rim 1434～1435(2005年)(将HEK细胞接种在表面改性的聚四氟乙烯上以评价细胞粘附性)以及Li等人，Pharmaceutical Research，20：884～888(2003年)(将HEK细胞暴露于嵌段共聚物以评价其细胞毒性)可以找到以这种方式利用HEK细胞的例子。将HEK细胞以56,000细胞/mL的浓度悬浮在含有10％胎牛血清(Invitrogen)的高糖型细胞培养液(Dulbecco′s Modified Eagle Media(Invitrogen))中。将PDMS膜预切割为0.9cm×0.9cm的正方形，并且附着在细胞培养皿(Costar Corp.，24孔的细胞培养组)的孔底部。向每个孔添加1mL的HEK细胞悬浮液。在37℃下培养6天后，用溶解在杜尔贝科磷酸盐缓冲盐溶液(PBS，hivitrogen)中的4％多聚甲醛(Aldrich)，将HEK细胞固定5分钟，并且用PBS溶液清洗3次。然后用0.5％的甲基绿(Aldrich Chemicals)溶液给样品染色10分钟，随后用水清洗3次，且允许在空气中干燥。图4所示的是所获得的PDMS膜的明视场(图4(a)、(c))和荧光照片(图4(b)、(d))，显示细胞附着测试的结果。采用具有内部Z轴马达的奥林巴斯BX 61荧光显微镜，获得荧光显微图像。图4(a)和4(b)所示的是未蚀刻的对照PDMS膜的照片，除了没有用HF溶液蚀刻外，与图4(c)和4(d)中所示的膜同样地制备。图4(c)和4(d)所示的是通过喷雾以及在25％的HF水溶液中将膜蚀刻10分钟所制备的PDMS膜的照片。如图中所示的，明视场和荧光显微研究证实了很少有或者没有细胞粘附于未蚀刻的对照膜上，但是，其上具有通过HF蚀刻产生的微结构的PDMS膜上有明显增加的细胞附着。
实施方式4：对非平整表面的适用性
为了测试在非平整表面上微滴图案成形技术的适用性，采用实施方式1的工艺，对具有3mm直径的硅胶管进行喷雾和蚀刻。图5所示的是采用微滴图案形成技术之前(a)和之后(b)的明视场照片。如图中所示，在硅胶管的表面上产生了微结构的表面。
实施方式5：采用掩模的二次图案形成
本方法还可以与常规掩模技术一起使用，为弹性体表面上形成的微结构增加进一步的细节和规律性。具体地，对于形成的图案，设置在喷雾器和样品之间的多孔过滤器或挡板可以提供额外的控制。
在本实施方式中，采用设置在喷雾器和膜之间距膜2mm的铜网格阴影掩模(Ted Pella TEM网格)，在PDMS膜上产生了50μm宽正方形的图案。除了使用该阴影掩模之外，所使用的方式与上面实施方式1中所述的相同。图6所示的是采用铜网格阴影掩模所产生的具有50宽正方形图案的PDMS膜的明视场照片。如图中所示，弹性体表面不仅展现出所使用的网格的图案，而且展现了由喷雾、烘焙和蚀刻步骤所引入的微结构。在这种情况下，采用网格状的掩模，但可以设想其它形状。具体地，在某些应用中有利的是采用明显减少或消除某些区域内微滴形成的掩模，以致获得不同的微结构特征，从而在希望的图案中影响细胞粘附。

Claims (27)

1.处理弹性体表面的方法，包括：
在弹性体表面上形成包括聚合物的液体的微滴；
使该聚合物微滴硬化；
采用蚀刻弹性体但不会蚀刻该硬化的聚合物微滴的试剂化学蚀刻所述表面；以及
溶解所述聚合物微滴。
2.如权利要求1所述的方法，其中，所述弹性体表面包括硅氧烷弹性体。
3.如权利要求1所述的方法，其中，所述弹性体表面包括聚二甲基硅氧烷。
4.如权利要求1所述的方法，其中，所述液体包括溶解在丙二醇单甲醚醋酸酯中的聚合物。
5.如权利要求1所述的方法，其中，所述形成步骤包括将所述液体喷射到所述弹性体表面上。
6.如权利要求1所述的方法，其中，所述形成步骤包括使供给液体的细长探头与所述弹性体表面接触。
7.如权利要求1所述的方法，其中，所述硬化步骤包括烘焙。
8.如权利要求1所述的方法，其中，所述硬化步骤包括将微滴暴露于辐射。
9.如权利要求1所述的方法，其中，所述硬化的微滴具有在0.001～500微米范围内的最大宽度。
10.如权利要求1所述的方法，其中，所述硬化的微滴具有在0.005～300微米范围内的最大宽度。
11.如权利要求1所述的方法，其中，所述硬化的微滴具有在0.05～175微米范围内的最大宽度。
12.如权利要求1所述的方法，其中，所述硬化的微滴具有在0.5～100微米范围内的最大宽度。
13.如权利要求1所述的方法，其中，所述蚀刻步骤中所述的试剂是酸溶液。
14.如权利要求13所述的方法，其中，所述酸溶液是氢氟酸水溶液。
15.如权利要求13所述的方法，其中，所述酸溶液是硝酸溶液。
16.如权利要求1所述的方法，其中，所述蚀刻步骤中所述的试剂是离子形式。
17.如权利要求1所述的方法，其中，所述蚀刻步骤中所述的试剂是氧等离子体。
18.如权利要求1所述的方法，其中，所述蚀刻步骤中所述的试剂选自氢氧化钠、丙酮、甲苯和己烷组成的组。
19.如权利要求1所述的方法，其中，所述溶解步骤包括用溶解聚合物微滴的试剂进行漂洗。
20.如权利要求19所述的方法，其中，所述溶解聚合物微滴的试剂是乙醇。
21.如权利要求19所述的方法，其中，所述漂洗包括在无水乙醇中的超声处理。
22.如权利要求1所述的方法，另外包括在蚀刻步骤之后立即用水漂洗所述表面。
23.如权利要求5所述的方法，其中，所述形成步骤包括通过阴影掩模将所述聚合物溶液喷射到所述弹性体表面上。
24.如权利要求23所述的方法，其中，所述阴影掩模具有网格形状。
25.如权利要求23所述的方法，其中，将阴影掩模设置为防止在至少部分弹性体表面上形成微滴。
26.如权利要求1所述的方法，其中，所述形成步骤包括：
加热固体聚合物微粒以形成聚合物微滴。
27.如权利要求26所述的方法，其中，所述硬化步骤包括冷却微滴。
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