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WO2023281827A1 - 天井搬送車 - Google Patents

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Publication number
WO2023281827A1
WO2023281827A1 PCT/JP2022/011035 JP2022011035W WO2023281827A1 WO 2023281827 A1 WO2023281827 A1 WO 2023281827A1 JP 2022011035 W JP2022011035 W JP 2022011035W WO 2023281827 A1 WO2023281827 A1 WO 2023281827A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
support member
base portion
arm member
elastic body
suspension
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2022/011035
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
誠 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Priority to JP2023533078A priority Critical patent/JP7544278B2/ja
Priority to US18/575,102 priority patent/US20240300736A1/en
Priority to CN202280038763.8A priority patent/CN117396413A/zh
Publication of WO2023281827A1 publication Critical patent/WO2023281827A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0464—Storage devices mechanical with access from above
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers

Definitions

  • This disclosure relates to an overhead transport vehicle.
  • an overhead transport vehicle that includes a main body portion that can travel along a track and an elevating portion that is lifted and lowered relative to the main body portion by a suspension member.
  • the lifting section has a gripping section that grips an article.
  • a base portion provided with a grip portion is supported by a support portion.
  • the support part is attached to the lower end of the suspension member and is raised and lowered by the suspension member.
  • a spring member is provided between the base portion and the support portion.
  • the spring member functions as a vibration isolator and reduces vibration transmitted between members that are in contact with each other.
  • a plurality of spring members, shaft members, support members, and the like are provided for one hanging member, which tends to complicate the structure.
  • This disclosure describes an overhead transport vehicle that can suppress vibration in the base part with a simple configuration.
  • One aspect of the present disclosure is an overhead transport vehicle that has a gripping portion that grips an article and that includes an elevating portion that is lifted and lowered by a plurality of hanging members arranged on the left and right sides, wherein the elevating portion has a gripping portion that A base portion provided, a left support member and a right support member attached to the lower end of the suspension member and arranged on the left and right sides, respectively supporting the base portion via an elastic body, a left support member and a right support member, and the base portion and a first end attached to the left support member and the right support member via the first rotation shaft, and a second end attached to the base portion via the second rotation shaft, respectively and a left arm member and a right arm member including.
  • the left support member and the right support member which are the left and right support members, are suspended by the suspension members, and these left support member and right support member support the base portion.
  • the left arm member and the right arm member are rotatable with respect to the left support member and the right support member, respectively, by the first rotation shafts provided at the first ends of the left arm member and the right arm member.
  • the base portion is rotatable with respect to the left arm member and the right arm member while expanding and contracting the elastic body via second rotating shafts provided at the second ends of the left arm member and the right arm member. ing. Thereby, the base portion is provided so as to be able to swing via the left arm member and the right arm member.
  • the second end of the left arm member and the second end of the right arm member may be attached to the base via a common second pivot shaft.
  • the base section is connected to the left support member and the right support member by the left arm member, the right arm member, and the common second pivot shaft provided therebetween. Since the left arm member, the right arm member, and the second rotation shaft form a C-shaped connection structure in a plan view, the posture of the base portion can be further stabilized.
  • a rubber bush as a bearing may be provided on the common second rotating shaft. According to this configuration, damping properties can be imparted to the left arm member and the right arm member as well.
  • the support positions where the base portion is supported via the elastic body may be different from the suspension positions where the left support member and the right support member are suspended by the suspension members in plan view. According to this configuration, the support position where the elastic body is provided can be displaced from the suspension position, and the elevation section can be made compact in the height direction.
  • the number of support positions at which the base portion is supported via the elastic body is equal to or less than the number of suspension positions at which the left support member and the right support member are suspended by the suspension members. good too. According to this configuration, the number of support positions (that is, the number of elastic bodies) can be minimized, and the configuration can be further simplified.
  • the ceiling transport vehicle of the present disclosure it is possible to suppress vibration in the base part with a simple configuration.
  • FIG. 1 is a side view showing an overhead transport vehicle according to an embodiment of the present disclosure
  • FIG. FIG. 2 is a front view showing a schematic internal configuration of the elevation drive unit.
  • FIG. 3 is a plan view showing a schematic internal configuration of the elevation drive unit.
  • FIG. 4 is a plan view of the lifting section according to the overhead transport vehicle of the first embodiment.
  • FIG. 5 is a right side view of the lifting section of FIG. 4;
  • FIG. 6 is a left side view of the lifting section of FIG. 4;
  • FIG. 7 is a plan view of the lifting section according to the overhead transport vehicle of the second embodiment.
  • FIG. 8 is a front view of the lifting section of FIG. 7;
  • FIG. 9 is a left side view of the lifting section of FIG. 7;
  • FIG. 10 is a plan view of the lifting section according to the ceiling guided vehicle of the third embodiment.
  • FIG. 11 is a front view of the lifting section of FIG. 10;
  • FIG. 12 is a left side view of the lifting
  • An overhead transport vehicle 1 shown in FIG. 1 travels along a travel rail 2 provided at a position higher than the floor surface, such as the ceiling of a clean room.
  • the ceiling transport vehicle 1 transports a FOUP (Front Opening Unified Pod) (article) 90 as an article, for example, between a storage facility and a predetermined load port.
  • the FOUP 90 accommodates, for example, a plurality of semiconductor wafers or reticles.
  • the FOUP 90 has a flange 95 that is held by the ceiling transport vehicle 1 .
  • the left-right direction (X-axis direction) in FIG. 1 is defined as the up-down (vertical) direction (Z-axis direction) of the overhead transport vehicle 1 .
  • the X-axis, Y-axis and Z-axis are orthogonal to each other.
  • a front view is a view seen from the traveling direction of the ceiling transport vehicle 1, that is, the X-axis direction.
  • the overhead transport vehicle 1 has a travel drive section 3, a horizontal drive section 5, a rotation drive section 6, an elevation drive section 7, an elevation section 10, and a grip section 11. ing.
  • the horizontal drive section 5 , the rotation drive section 6 and the elevation drive section 7 constitute a main body that can move along the running rail 2 .
  • the ceiling transport vehicle 1 is provided with a pair of covers 8 , 8 extending in the front-rear direction so as to cover the horizontal drive section 5 , the rotation drive section 6 , the elevation drive section 7 , the elevation section 10 and the grip section 11 .
  • the pair of covers 8, 8 form a space in which the FOUP 90 is accommodated below the grip part 11 when the lift part 10 is raised to the upper end.
  • the drop prevention mechanism 8A prevents the FOUP 90 held by the grip part 11 from dropping when the elevating part 10 is raised to the upper end.
  • the shaking suppressing mechanism 8B suppresses shaking of the FOUP 90 held by the grip portion 11 in the longitudinal direction (traveling direction) and the lateral direction of the overhead transport vehicle 1 during traveling.
  • the travel drive unit 3 moves the ceiling transport vehicle 1 along the travel rails 2 .
  • the travel drive unit 3 is arranged inside the travel rail 2 .
  • the travel drive unit 3 drives rollers (not shown) that travel on the travel rail 2 .
  • a horizontal drive unit 5 is provided below the traveling drive unit 3 via a shaft 3A.
  • the horizontal drive unit 5 moves the rotation drive unit 6, the elevation drive unit 7, and the elevation unit 10 in a horizontal plane in a direction perpendicular to the extending direction of the travel rail 2 (horizontal direction).
  • the rotation drive unit 6 rotates the elevation drive unit 7 and the elevation unit 10 in a horizontal plane.
  • the lifting unit 10 is provided so as to be able to be lifted and lowered by the lifting drive unit 7, and functions as a lifting platform for the overhead transport vehicle 1.
  • the elevation drive unit 7 raises and lowers the elevation unit 10 by winding up and extending three belts (hanging members) 9 .
  • the lifting section 10 is lifted and lowered with respect to the main body section by means of three belts.
  • the three (plurality) belts 9 are arranged on the left and right. In this embodiment, two of the three belts 9 are arranged on the left side and one is arranged on the right side.
  • the suspension member is not limited to the belt 9, and other members such as wires and ropes may be used.
  • the lifting unit 10 includes a left vibration isolation mechanism (first vibration isolation mechanism) 30 and a right vibration isolation mechanism (second vibration isolation mechanism) 40 to which three belts 9 are attached, and a base portion 20 on which the grip portion 11 is provided. (see FIGS. 4-6).
  • the gripping portion 11 grips (or holds) the FOUP 90 .
  • the grip part 11 includes a pair of L-shaped arms 12, 12, hands 13, 13 fixed to the respective arms 12, 12, and an opening/closing mechanism 15 for opening and closing the pair of arms 12, 12. there is A pair of arms 12 , 12 and an opening/closing mechanism 15 are attached to the base portion 20 .
  • a pair of arms 12 , 12 are provided in an opening/closing mechanism 15 .
  • the opening/closing mechanism 15 moves the pair of arms 12, 12 in a direction toward and away from each other.
  • the opening/closing mechanism 15 operates to move the pair of arms 12, 12 forward and backward.
  • the pair of hands 13, 13 fixed to the arms 12, 12 are opened and closed.
  • the holding surface of the hand 13 is positioned below the height of the lower surface of the flange 95. adjusted.
  • By closing the pair of hands 13, 13 in this state the holding surfaces of the hands 13, 13 advance below the lower surface of the flange 95.
  • the hands 13, 13 hold (grip) the flange 95 and support the FOUP 90. As shown in FIG.
  • the left anti-vibration mechanism 30 and the right anti-vibration mechanism 40 are cushioning mechanisms in the lifting section 10 and function as stabilizers for the ceiling guided vehicle 1 .
  • the configurations of the left anti-vibration mechanism 30 and the right anti-vibration mechanism 40 will be described in detail later.
  • FIG. 2 is a front view showing a schematic internal configuration of the elevation driving section 7
  • FIG. 3 is a plan view showing a schematic internal configuration of the elevation driving section 7.
  • the elevation drive unit 7 includes a body frame 61, a support portion 62, three (plural) winding drums 63, a first idler roller 64, and a second idler roller. 65 , a third idler roller 66 , an idler adjusting mechanism 69 including an actuator 67 and a swinging member 68 , and three belts (hanging members) 9 .
  • the body frame 61 is suspended and supported by the travel drive unit 3 .
  • the body frame 61 supports the winding drum 63 and the first idler roller 64 via the supporting portion 62 .
  • the support portion 62 rotatably supports the three winding drums 63 .
  • One end of each belt 9 is connected to the gripper 11 , and the other end of each belt 9 is connected to each winding drum 63 .
  • the three winding drums 63 are arranged in the front-rear direction, and wind up or let out each of the three belts 9 by being driven by a drive motor 63A.
  • Each winding drum 63 is attached to the body frame 61 via a support portion 62 so as to be rotatable.
  • the drive motor 63A is a drive source for rotating each winding drum 63 and is fixed to the body frame 61 .
  • the three winding drums 63 are driven by a driving motor 63A by being attached to a common rotating shaft 63B (see FIG. 3). Note that the three winding drums 63 may be connected by an interlocking mechanism (not shown) and driven by the drive motor 63A.
  • the elevation driving unit 7 As shown in FIG. 3, in the elevation driving unit 7, two pairs of first idler roller 64 and second idler roller 65 (that is, the two belts 9 on the left side) provided on the front and rear sides are Two idler adjustment mechanisms 69 are provided.
  • the two idler adjustment mechanisms 69 are arranged on the left side of the body frame 61 .
  • the elevation drive unit 7 also has two rotation adjustment control boards 71 and one horizontal adjustment control board 72 .
  • the rotation adjustment control board 71 and the horizontal adjustment control board 72 are arranged on the left side of the body frame 61 .
  • the lifting drive unit 7 of the present embodiment is lighter than the case of using four belts. Although members and equipment such as a clamp section or a winding drum are required for one belt 9, the weight of these parts can be reduced.
  • the drive motor 63A is arranged on the front side, so that the center of gravity of the elevation drive section 7 is set toward the front side. As a result, lifting when the ceiling transport vehicle 1 decelerates is suppressed. Since the lifting phenomenon of the overhead transport vehicle 1 is stronger during deceleration than during acceleration, moving the center of gravity forward works advantageously.
  • the center of gravity of the elevation drive section 7 would be biased to the left side if it were arranged as in the past. Therefore, by arranging the entire winding drum 63, idler roller, idler adjustment mechanism 69, etc. shown in FIG.
  • the center of gravity G of the FOUP 90 is located to the right of the center of the FOUP 90 in the left-right direction (indicated by the dashed line in the figure), but the positions of the left and right belts 9, 9 are the same distance away from this center. Instead, it is positioned at an equal distance from the center of gravity G in the left-right direction so that the load applied to the belt 9 is not unbalanced.
  • FIG. 3 Three belts 9 are provided so as to suspend three points of the lifting section 10 .
  • the left portion of the base portion 20 is suspended from the lower ends of the left two belts 9 via the left anti-vibration mechanism 30 .
  • the right portion of the base portion 20 is suspended from the lower end of the belt 9 on the right side via the right anti-vibration mechanism 40 .
  • illustration of the gripping portion 11 is omitted, and the positional relationship of the lifting portion 10 with respect to the FOUP 90 gripped by the gripping portion 11 is shown.
  • the base portion 20 has, for example, a rectangular plate shape.
  • a left anti-vibration mechanism 30 is provided on the left side of the base portion 20
  • a right anti-vibration mechanism 40 is provided on the right side of the base portion 20 .
  • the left anti-vibration mechanism 30 and the right anti-vibration mechanism 40 each extend generally in the front-rear direction (that is, in the running direction).
  • the left anti-vibration mechanism 30 has a left support member 31 attached to the lower ends of the two belts 9 and arranged on the left side of the base portion 20 .
  • a lower end of each belt 9 is connected to the left support member 31 via a clamp portion 34 .
  • the left support member 31 includes an outer member 32 and an inner member 33 facing in parallel in the left-right direction and extending in the front-rear direction.
  • the outer member 32 and the inner member 33 are made of metal, for example, and can be regarded as rigid bodies.
  • the outer member 32 includes two connecting portions 32c corresponding to the position of each belt 9, and the inner member 33 includes two connecting portions corresponding to the position of each belt 9 (inner member 32 in FIG. 5). 33 is hidden and cannot be seen).
  • a lower end of each belt 9 is connected to a connecting portion 32c of the outer member 32 and a connecting portion of the inner member 33 via a clamp portion 34 and a connecting shaft 35 extending in the left-right direction.
  • a rectangular opening 25 is formed on the left side surface of the base portion 20 .
  • the opening 25 penetrates vertically and opens leftward.
  • the left support member 31 is arranged at the position of the opening 25 in plan view.
  • the base portion 20 includes a left front end portion 21 positioned in front of the opening 25 and a left rear end portion 22 positioned behind the opening 25 .
  • the left support member 31 including the connecting portion 32c is arranged on the base portion 20, while the outer member 32 includes a pair of front and rear hanging portions 32e, 32e hanging downward.
  • Depending portions 32 e , 32 e are positioned within opening 25 and traverse base portion 20 .
  • the lower ends of the drooping portions 32e, 32e are located below the base portion 20.
  • a left front support plate portion 32a and a left rear support plate portion 32b extending horizontally (left-right direction and front-rear direction) are provided at the lower ends of the drooping portions 32e, 32e.
  • the left front support plate portion 32a faces the left front end portion 21 of the base portion 20 in the vertical direction, and a left front elastic body 39A is interposed between the left front support plate portion 32a and the left front end portion 21.
  • the left rear support plate portion 32b faces the left rear end portion 22 of the base portion 20 in the vertical direction, and a left rear elastic body 39B is interposed between the left rear support plate portion 32b and the left rear end portion 22.
  • the left front elastic body 39A and the left rear elastic body 39B are, for example, rubber having the same elasticity (for example, elastic modulus), and have, for example, a cylindrical shape.
  • the left front elastic body 39A and the left rear elastic body 39B may be spring members.
  • the right anti-vibration mechanism 40 has a right support member 41 attached to the lower end of one belt 9 and arranged on the right side of the base portion 20 .
  • a lower end of the belt 9 is connected to the right support member 41 via the clamp portion 34 .
  • the right support member 41 is provided in the front-rear direction central portion of the base portion 20 corresponding to the position of the belt 9 and extends in the vertical direction.
  • the right support member 41 is made of metal, for example, and can be regarded as a rigid body.
  • a lower end of the belt 9 is connected to the right support member 41 via a clamp portion 44 and a right rotation shaft 47 extending in the left-right direction.
  • the upper end portion of the right support member 41 provided with the right rotation shaft 47 is arranged on the base portion 20 , but the right support member 41 crosses the base portion 20 on the side of the base portion 20 .
  • the lower end of the right support member 41 is positioned below the base portion 20 .
  • a right support plate portion 41a is provided at the lower end of the right support member 41 and extends horizontally (left-right direction and front-rear direction).
  • the right support plate portion 41a faces the right central portion 23 of the base portion 20 in the vertical direction, and a right elastic body 49 is interposed between the right support plate portion 41a and the right central portion 23.
  • the right elastic body 49 is, for example, rubber having the same elasticity (eg, elastic modulus) as the left front elastic body 39A and the left rear elastic body 39B of the left anti-vibration mechanism 30, and has, for example, a cylindrical shape. Note that the right elastic body 49 may be a spring member.
  • the left support member 31 of the left anti-vibration mechanism 30 supports the base portion 20 via the left front elastic body 39A and the left rear elastic body 39B, and the right support member 41 of the right anti-vibration mechanism 40 supports the right
  • the base portion 20 is supported via the elastic body 49 .
  • the left anti-vibration mechanism 30 has a left arm member 38 that spans between the left support member 31 and the base portion 20 and extends in the front-rear direction.
  • the left arm member 38 is made of metal, for example, and can be regarded as a rigid body.
  • the left arm member 38 is provided parallel to the left support member 31 and has a length corresponding to the front half of the base portion 20 .
  • a first end 38a on the rear side of the left arm member 38 is attached to the left support member 31 via a left rotating shaft (first rotating shaft) 37 extending in the left-right direction.
  • the left arm member 38 is a swing arm rotatable around the left rotating shaft 37 .
  • the left pivot shaft 37 passes through the outer member 32 , the inner member 33 , and the first end 38 a of the left arm member 38 .
  • the outer member 32 , the inner member 33 and the left arm member 38 are rotatable around the left rotation shaft 37 .
  • the left rotating shaft 37 which is a cantilever shaft, has a predetermined rigidity.
  • the right anti-vibration mechanism 40 has a right arm member 48 that spans between the right support member 41 and the base portion 20 and extends in the front-rear direction.
  • the right arm member 48 is made of metal, for example, and can be regarded as a rigid body.
  • the right arm member 48 has a length corresponding to the front half of the base portion 20 .
  • a first end 48a on the rear side of the right arm member 48 is attached to the right support member 41 via a right rotation shaft (first rotation shaft) 47 extending in the left-right direction.
  • the right arm member 48 is a swing arm rotatable around the right rotation shaft 47 .
  • the right pivot shaft 47 passes through the right support member 41 , the clamp portion 44 , and the first end 48 a of the right arm member 48 .
  • the right support member 41 and the right arm member 48 are rotatable around the right rotation shaft 47 .
  • the right rotating shaft 47 which is a cantilever shaft, has a predetermined rigidity.
  • the front second end 38b of the left arm member 38 and the front second end 48b of the right arm member 48 are connected to each other by a front rotation shaft (second rotation shaft) 51 extending in the left-right direction. It is attached to the base portion 20 via the . That is, the front second end 38 b of the left arm member 38 and the front second end 48 b of the right arm member 48 are attached to the base portion 20 via a common front rotation shaft 51 .
  • the left arm member 38 and the right arm member 48 are fixed, for example, to the front rotation shaft 51 and cannot rotate around the front rotation shaft 51 .
  • the front rotation shaft 51 is provided with rubber bushes 52 as bearings at two locations near the second end 38b of the left arm member 38 and near the second end 48b of the right arm member 48.
  • These rubber bushes 52 incorporate a cylindrical rubber member, and are configured to receive the axial load of the front rotation shaft 51 on the inner peripheral surface of the rubber member.
  • the rubber bush 52 constitutes a rotation shaft by twisting the rubber member. It should be noted that a general rotary bearing may be used instead of the bearing comprising the rubber bush 52 .
  • a rubber bush 52 is a damper element.
  • the left anti-vibration mechanism 30 and the right anti-vibration mechanism 40 having the above configurations employ configurations in which degrees of freedom of rotation about the left rotation shaft 37 and the right rotation shaft 47 are different.
  • the left support member 31 and two elastic bodies namely, the left front elastic body 39A and the left rear elastic body 39B, are supported so as to allow free rotation about the left pivot shaft 37. it's getting harder.
  • the right anti-vibration mechanism 40 can freely rotate around the right rotation shaft 47 due to the support structure via the right support member 41 and the right elastic body 49 which is one elastic body.
  • the structure is such that the swing (swing with the Y direction as the axis) accompanying the acceleration or deceleration of the overhead transport vehicle 1 is moderately allowed.
  • the left arm member 38, the front rotation shaft 51, and the right arm member 48 form a C-shaped rigid connection structure 50 in plan view.
  • the function of a stabilizer is realized by coaxially fixing the left arm member 38, which is the left swing arm, and the right arm member 48, which is the right swing arm.
  • the left and right elastic bodies are contracted by the same amount.
  • the left arm member 38 and the right arm member 48 can be provided with damping properties and elasticity in all of the X, Y and Z directions.
  • the left support member 31 and the right support member 41 which are left and right support members, are suspended by the belt 9, and the left support member 31 and the right support member 41 are attached to the base.
  • Support the part 20 The left arm member 38 and the right arm member 48 are connected to the left support member 31 and the right arm member 48 by the left pivot shaft 37 and the right pivot shaft 47 provided at the first ends 38a, 48a of the left arm member 38 and the right arm member 48, respectively. Each of them is rotatable with respect to the support member 41 .
  • the base portion 20 moves the left arm member 38 and the right arm member 48 while expanding and contracting the elastic body through the front rotation shafts 51 provided at the second ends 38b, 48b of the left arm member 38 and the right arm member 48, respectively. It is slightly rotatable. Thus, the base portion 20 is provided swingably via the left arm member 38 and the right arm member 48 .
  • vibration in the base portion 20 can be suppressed.
  • the number of elastic bodies for example, rubber or spring members
  • vibration in the base portion 20 can be suppressed with a simple structure.
  • the base portion 20 is configured to support the left support member 31 and the right support member 41, the left arm member 38, the right arm member 48, and the common shaft provided therebetween. are connected by a front rotation shaft 51 of the . Since the left arm member 38, the right arm member 48, and the front rotation shaft 51 form a C-shaped connecting structure in plan view, the posture of the base portion 20 can be further stabilized.
  • a common front rotation shaft 51 is provided with a rubber bush 52 as a bearing. According to this configuration, damping properties can be imparted to the left arm member 38 and the right arm member 48 as well.
  • the support position where the base portion 20 is supported via the elastic body is different from the suspension position where the left support member 31 and the right support member 41 are suspended by the belt 9 in plan view. According to this configuration, the support position where the elastic body is provided can be shifted from the belt 9, and the elevation unit 10 can be made compact in the height direction.
  • the number of support positions (three in the above embodiment) at which the base portion 20 is supported via the elastic body is the number of suspension positions (three in the above embodiment) at which the left support member 31 and the right support member 41 are suspended by the belt 9.
  • morphology is the same as 3). According to this configuration, the number of support positions (that is, the number of elastic bodies) can be minimized, and the configuration can be further simplified.
  • a right anti-vibration mechanism 40A having a right support member 41A extending in the front-rear direction attached to the lower ends of the two belts 9, 9 and the lifting section 10A
  • the same functions and effects as those of the lifting section 10 of the embodiment can be obtained.
  • Four belts 9 are provided as suspension members in the right anti-vibration mechanism 40A.
  • the right support plate portion 41a is provided at a position facing the right central portion 23 of the base portion 20 via the hanging portion 41e.
  • a right elastic body 49 is interposed between the right support plate portion 41 a and the right central portion 23 .
  • the drooping portion 41 e is provided at a position to avoid interference with the FOUP 90 .
  • the right support member 41 includes an outer member 42 and an inner member 43 that face each other in parallel in the left-right direction and extend in the front-rear direction.
  • the outer member 42 and the inner member 43 are made of metal, for example, and can be regarded as rigid bodies.
  • the two clamp portions 44 are connected to the right support member 41A via a connecting shaft 45 extending in the left-right direction.
  • the number of support positions (three in this embodiment) at which the base section 20 is supported via the elastic body is the suspension position at which the left support member 31 and the right support member 41 are suspended by the belt 9. (four in this embodiment).
  • the right anti-vibration mechanism 40B in which the right support member 41B is attached to the lower ends of the two belts 9, 9 via the central body 46 and the lifting section 10B the same functions and effects as those of the lifting unit 10 of the above-described embodiment can be obtained.
  • Four belts 9 are provided as suspension members in the right anti-vibration mechanism 40B.
  • the right support plate portion 41a of the right support member 41 extending in the front-rear direction is connected to the right front portion 24 of the base portion 20 and the right support plate portion 41a via the central body 46, the horizontal portion 41f, and the hanging portion 41e. It is provided at a position facing the rear portion 26 .
  • a right front elastic body 49A and a right rear elastic body 49B are interposed between the right support plate portion 41a and the right front portion 24 and the right rear portion 26, respectively.
  • the drooping portion 41 e is provided at a position to avoid interference with the FOUP 90 .
  • the front second end 38b of the left arm member 38 and the front second end 48b of the right arm member 48 are attached to the base portion 20 via separate second pivot shafts. good too.
  • a bearing other than the rubber bush 52 may be used as the bearing for the front rotation shaft 51 .
  • Inner member 47... Right rotation shaft (first rotation shaft), 48... Right arm member, 48a... First end, 48b... Second End 49...Right elastic body 49A...Right front elastic body 49B...Right rear elastic body 51...Front rotation shaft (second rotation shaft) 52...Rubber bush.

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Abstract

天井搬送車は、物品を把持する把持部を有し、左右に配置された複数の吊持部材によって昇降される昇降部を備える。昇降部は、把持部が設けられるベース部と、吊持部材の下端に取り付けられて左右に配置され、弾性体を介してそれぞれベース部を支持する左支持部材及び右支持部材と、左支持部材及び右支持部材とベース部との間に架け渡され、第１回動軸を介して左支持部材及び右支持部材に取り付けられる第１端と、第２回動軸を介してベース部に取り付けられる第２端とをそれぞれ含む左アーム部材及び右アーム部材とを有する。

Description

天井搬送車
　本開示は、天井搬送車に関する。
　従来、特許文献１に記載されるように、軌道に沿って走行可能な本体部と、本体部に対して吊持部材によって昇降される昇降部とを備えた天井搬送車が知られている。昇降部は、物品を把持する把持部を有する。把持部が設けられたベース部は、支持部によって支持される。支持部は、吊持部材の下端に取り付けられており、吊持部材によって昇降される。ベース部と支持部との間には、バネ部材が設けられている。
国際公開第２０１８／０７９１４６号
　特許文献１に記載された構造では、バネ部材は、防振部として機能し、互いに接触する部材間に伝わる振動を低減する。しかしながら、この構造では、１本の吊持部材に対して、バネ部材、軸部材、及び支持部材等がそれぞれ複数設けられており、構成が複雑化する傾向にあった。
　本開示は、簡易な構成でベース部における振動を抑えることができる天井搬送車を説明する。
　本開示の一態様は、物品を把持する把持部を有し、左右に配置された複数の吊持部材によって昇降される昇降部を備えた天井搬送車であって、昇降部は、把持部が設けられるベース部と、吊持部材の下端に取り付けられて左右に配置され、弾性体を介してそれぞれベース部を支持する左支持部材及び右支持部材と、左支持部材及び右支持部材とベース部との間に架け渡され、第１回動軸を介して左支持部材及び右支持部材に取り付けられる第１端と、第２回動軸を介してベース部に取り付けられる第２端とをそれぞれ含む左アーム部材及び右アーム部材とを有する。
　この天井搬送車によれば、吊持部材によって、左右の支持部材である左支持部材及び右支持部材が吊り下げられ、これらの左支持部材及び右支持部材が、ベース部を支持する。左アーム部材及び右アーム部材の第１端に設けられた第１回動軸により、左アーム部材及び右アーム部材は、左支持部材及び右支持部材に対してそれぞれ回動可能となっている。ベース部は、左アーム部材及び右アーム部材の第２端に設けられた第２回動軸を介して、弾性体を伸縮させつつ、左アーム部材及び右アーム部材に対して回動可能となっている。これにより、ベース部は、左アーム部材及び右アーム部材を介して揺動可能に設けられている。ベース部と、左支持部材及び右支持部材との間に弾性体が設けられることで、ベース部における振動を抑えることができる。従来の構造に比して、弾性体（例えばバネ部材等）の個数を減らすことができ、簡易な構成で、ベース部における振動を抑えることができる。
　左アーム部材の第２端及び右アーム部材の第２端は、共通の第２回動軸を介してベース部に取り付けられてもよい。この構成によれば、ベース部は、左支持部材及び右支持部材に対して、左アーム部材、右アーム部材、及びそれらの間に設けられた共通の第２回動軸によって連結される。左アーム部材、右アーム部材、及び第２回動軸によって、平面視でＣ字状の連結構造が形成されるので、ベース部の姿勢をより安定させることができる。
　共通の第２回動軸には、軸受けとしてのゴムブッシュが設けられていてもよい。この構成によれば、左アーム部材及び右アーム部材においても制振性を付与することができる。
　弾性体を介してベース部が支持される支持位置は、平面視において、吊持部材によって左支持部材及び右支持部材が吊り下げられる吊持位置とは何れも異なっていてもよい。この構成によれば、弾性体が設けられる支持位置を、吊持位置からずらすことができ、昇降部を高さ方向にコンパクト化できる。
　弾性体を介してベース部が支持される支持位置の個数は、吊持部材によって左支持部材及び右支持部材が吊り下げられる吊持位置の個数と同じか又は吊持位置の数よりも少なくてもよい。この構成によれば、支持位置の個数（すなわち弾性体の個数）を必要最小限にすることができ、構成をより一層簡易にすることができる。
　本開示の天井搬送車によれば、簡易な構成でベース部における振動を抑えることができる。
図１は、本開示の一実施形態に係る天井搬送車を示す側面図である。 図２は、昇降駆動部の内部の概略構成を示す正面図である。 図３は、昇降駆動部の内部の概略構成を示す平面図である。 図４は、第１実施形態の天井搬送車に係る昇降部の平面図である。 図５は、図４の昇降部の右側面図である。 図６は、図４の昇降部の左側面図である。 図７は、第２実施形態の天井搬送車に係る昇降部の平面図である。 図８は、図７の昇降部の正面図である。 図９は、図７の昇降部の左側面図である。 図１０は、第３実施形態の天井搬送車に係る昇降部の平面図である。 図１１は、図１０の昇降部の正面図である。 図１２は、図１０の昇降部の左側面図である。
　以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において同一要素には同一符号を付し、重複する説明は省略する。
　まず図１を参照して、天井搬送車１の全体構成について説明する。図１に示される天井搬送車１は、クリーンルームの天井等、床面より高い位置に設けられる走行レール２に沿って走行する。天井搬送車１は、例えば保管設備と所定のロードポートとの間で物品としてのＦＯＵＰ（Front　Opening　Unified　Pod）（物品）９０を搬送する。ＦＯＵＰ９０には、例えば、複数枚の半導体ウェハ又はレチクル等が収容される。ＦＯＵＰ９０は、天井搬送車１に保持されるフランジ９５を有している。
　以下の説明では、説明の便宜のため、図１における左右方向（Ｘ軸方向）を天井搬送車１の前後方向とする。図１における上下方向を天井搬送車１の上下（鉛直）方向（Ｚ軸方向）とする。図１における奥行方向を天井搬送車１の左右方向又は幅方向（Ｙ軸方向）とする。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は互いに直交する。本明細書では、天井搬送車１（天井搬送車１の各部を含む）の図示に関し、天井搬送車１の走行方向すなわちＸ軸方向から見た図を正面図とする。
　図１に示されるように、天井搬送車１は、走行駆動部３と、水平駆動部５と、回転駆動部６と、昇降駆動部７と、昇降部１０と、把持部１１とを有している。水平駆動部５、回転駆動部６及び昇降駆動部７は、走行レール２に沿って移動可能な本体部を構成する。天井搬送車１には、水平駆動部５、回転駆動部６、昇降駆動部７、昇降部１０及び把持部１１を覆うように前後方向に一対のカバー８，８が設けられている。一対のカバー８，８は、昇降部１０が上昇端まで上昇した状態において把持部１１の下方に、ＦＯＵＰ９０が収容される空間を形成している。落下防止機構８Ａは、昇降部１０が上昇端まで上昇した状態において把持部１１に保持されたＦＯＵＰ９０の落下を防止する。また、揺れ抑制機構８Ｂは、走行時における把持部１１に保持されたＦＯＵＰ９０の天井搬送車１の前後方向（走行方向）及び左右方向の揺れを抑制する。
　走行駆動部３は、天井搬送車１を走行レール２に沿って移動させる。走行駆動部３は、走行レール２内に配置されている。走行駆動部３は、走行レール２を走行するローラ（図示しない）を駆動する。走行駆動部３の下部には、軸３Ａを介して水平駆動部５が設けられている。水平駆動部５は、回転駆動部６、昇降駆動部７及び昇降部１０を水平面内で走行レール２の延在方向に直交する方向（左右方向）に移動させる。回転駆動部６は、水平面内で昇降駆動部７及び昇降部１０を回転させる。
　昇降部１０は、昇降駆動部７によって昇降可能に設けられており、天井搬送車１における昇降台として機能している。昇降駆動部７は、３本のベルト（吊持部材）９の巻き上げ及び繰り出しにより昇降部１０を昇降させる。昇降部１０は、３本のベルトによって、上記した本体部に対して昇降される。３本の（複数の）ベルト９は、左右に配置されている。本実施形態では、３本のベルト９のうちの２本が左側に配置され、１本が右側に配置されている。なお、吊持部材として、ベルト９に限られず、ワイヤ及びロープ等といった他の部材が用いられてもよい。
　昇降部１０は、３本のベルト９が取り付けられる左防振機構（第１防振機構）３０及び右防振機構（第２防振機構）４０と、把持部１１が設けられるベース部２０とを有している（図４～図６参照）。把持部１１は、ＦＯＵＰ９０を把持（又は保持）する。把持部１１は、Ｌ字状である一対のアーム１２，１２と、各アーム１２，１２に固定されたハンド１３，１３と、一対のアーム１２，１２を開閉させる開閉機構１５と、を備えている。一対のアーム１２，１２及び開閉機構１５が、ベース部２０に取り付けられている。
　一対のアーム１２，１２は、開閉機構１５に設けられている。開閉機構１５は、一対のアーム１２，１２を、互いに近接する方向及び互いに離間する方向に移動させる。開閉機構１５の動作により、一対のアーム１２，１２は、前後方向に進退する。これにより、アーム１２，１２に固定された一対のハンド１３，１３が開閉する。本実施形態では、一対のハンド１３，１３が開状態のときに、ハンド１３の保持面がフランジ９５の下面の高さより下方となるように、把持部１１（昇降部１０）の高さ位置が調整される。そして、この状態で一対のハンド１３，１３が閉状態となることで、ハンド１３，１３の保持面がフランジ９５の下面の下方へ進出し、この状態で昇降部１０を上昇させることにより、一対のハンド１３，１３によってフランジ９５が保持（把持）され、ＦＯＵＰ９０の支持が行われる。
　左防振機構３０及び右防振機構４０は、昇降部１０における緩衝機構であり、天井搬送車１のスタビライザとして機能する。左防振機構３０及び右防振機構４０の構成については後に詳述する。
　続いて、図２及び図３を参照して、昇降駆動部７の構成について説明する。図２は昇降駆動部７の内部の概略構成を示す正面図であり、図３は昇降駆動部７の内部の概略構成を示す平面図である。図２及び図３に示されるように、昇降駆動部７は、本体フレーム６１と、支持部６２と、３つ（複数）の巻取ドラム６３と、第１アイドラローラ６４と、第２アイドラローラ６５と、第３アイドラローラ６６と、アクチュエータ６７及び揺動部材６８を含むアイドラ調整機構６９と、３本のベルト（吊持部材）９とを有している。
　本体フレーム６１は、走行駆動部３に懸垂支持されている。本体フレーム６１は、支持部６２を介して巻取ドラム６３及び第１アイドラローラ６４を支持している。支持部６２は、３つの巻取ドラム６３を回転可能に支持する。各ベルト９の一端は把持部１１に接続されており、各ベルト９の他端は各巻取ドラム６３に接続されている。３つの巻取ドラム６３は、前後方向に配列されており、駆動モータ６３Ａの駆動によって３本のベルト９のそれぞれを巻き取り又は繰り出しする。各巻取ドラム６３は、回転可能となるように支持部６２を介して本体フレーム６１に取り付けられている。駆動モータ６３Ａは、各巻取ドラム６３を回転させるための駆動源であり、本体フレーム６１に固定されている。３つの巻取ドラム６３は、共通の回動軸６３Ｂ（図３参照）に取り付けられることにより、駆動モータ６３Ａによって駆動される。なお、３つの巻取ドラム６３が、図示しない連動機構で連結されて、駆動モータ６３Ａによって駆動されてもよい。
　図３に示されるように、昇降駆動部７では、前側と後側に設けられた２対の第１アイドラローラ６４及び第２アイドラローラ６５（すなわち左側の２本のベルト９）に対して、２つのアイドラ調整機構６９が設けられている。２つのアイドラ調整機構６９は、本体フレーム６１における左側に配置されている。また、昇降駆動部７は、２つの回転調整用制御基板７１及び１つの水平調整用制御基板７２を有している。これらの回転調整用制御基板７１及び水平調整用制御基板７２は、本体フレーム６１における左側に配置されている。
　本実施形態の昇降駆動部７では、３本のベルト９を用いることで、４本のベルトを有する場合に比して、軽量化が図られている。１本のベルト９につき、クランプ部又は巻取ドラム等の部材及び機器が必要となるが、これらの重量が軽減される。また、駆動モータ６３Ａが前側に配置されることで、昇降駆動部７の重心が前方寄りに設定されている。これにより、天井搬送車１が減速する際の浮き上がりが抑制される。天井搬送車１の浮き上がり現象は、加速時よりも減速時の方が強いため、重心が前方に移動されることは有利に働く。
　また、アイドラ調整機構６９が左側に配置されるため、従来どおりの配置であれば昇降駆動部７の重心が左側に偏ってしまう。そこで、図２に示される巻取ドラム６３、アイドラローラ及びアイドラ調整機構６９等の全体を右側寄りに配置することにより、昇降駆動部７の重心位置の改善が図られている。ＦＯＵＰ９０の重心Ｇは、ＦＯＵＰ９０の左右方向の中心部（図中において一点鎖線で示される）よりも右に位置するが、左右のベルト９，９の位置をこの中心部から等しい距離離れた位置とするのではなく、重心Ｇから左右方向に等しい距離離れた位置とすることで、ベルト９に加わる荷重がアンバランスにならないように改善が図られている。
　続いて、図４～図６を参照して、左防振機構３０及び右防振機構４０について詳細に説明する。３本のベルト９は、昇降部１０の三点を吊り下げるように設けられている。図４及び図５に示されるように、左側の２本のベルト９の下端には、左防振機構３０を介して、ベース部２０の左側部分が吊り下げられている。図４及び図６に示されるように、右側の１本のベルト９の下端には、右防振機構４０を介して、ベース部２０の右側部分が吊り下げられている。なお、図５以降の右側面図及び左側面図では、把持部１１の図示は省略されており、把持部１１によって把持されたＦＯＵＰ９０に対する昇降部１０の位置関係が示されている。
　図４に示されるように、ベース部２０は、例えば矩形の板状を呈している。ベース部２０の左側に左防振機構３０が設けられており、ベース部２０の右側に右防振機構４０が設けられている。左防振機構３０及び右防振機構４０は、それぞれ、概ね前後方向（すなわち走行方向）に延びる。
　図４及び図５に示されるように、左防振機構３０は、２本のベルト９の下端に取り付けられてベース部２０の左側に配置された左支持部材３１を有する。各ベルト９の下端は、クランプ部３４を介して左支持部材３１に連結されている。左支持部材３１は、左右方向に平行に対面すると共に前後方向に延びる外側部材３２及び内側部材３３を含む。外側部材３２及び内側部材３３は、例えば金属製であり、剛体とみなせる。外側部材３２は各ベルト９の位置に対応して２つの連結部３２ｃを含んでおり、内側部材３３は各ベルト９の位置に対応して２つの連結部を含んでいる（図５では内側部材３３の連結部は隠れて見えない）。各ベルト９の下端が、クランプ部３４及び左右方向に延びる連結軸３５を介して外側部材３２の連結部３２ｃ及び内側部材３３の連結部に連結されている。
　ベース部２０の左側面には、矩形の開口２５が形成されている。開口２５は、上下方向に貫通すると共に、左方に向けて開放されている。左支持部材３１は、平面視において開口２５の位置に配置される。ベース部２０は、開口２５の前側に位置する左前端部２１と、開口２５の後側に位置する左後端部２２とを含む。
　連結部３２ｃを含む左支持部材３１の大部分は、ベース部２０の上に配置されるが、外側部材３２は、下方に向けて垂下する前後一対の垂下部３２ｅ，３２ｅを含む。垂下部３２ｅ，３２ｅは、開口２５内に配置され、ベース部２０を横断する。垂下部３２ｅ，３２ｅの下端はベース部２０よりも下に位置する。垂下部３２ｅ，３２ｅの下端に、水平（左右方向及び前後方向）に延在する左前支持板部３２ａ及び左後支持板部３２ｂが設けられている。
　左前支持板部３２ａは、ベース部２０の左前端部２１に上下方向で対面しており、左前支持板部３２ａと左前端部２１の間には左前弾性体３９Ａが介在されている。左後支持板部３２ｂは、ベース部２０の左後端部２２に上下方向で対面しており、左後支持板部３２ｂと左後端部２２の間には左後弾性体３９Ｂが介在されている。左前弾性体３９Ａ及び左後弾性体３９Ｂは、例えば同一の弾性（例えば弾性係数）を有するゴムであり、例えば円筒形状を有する。なお、左前弾性体３９Ａ及び左後弾性体３９Ｂが、バネ部材であってもよい。
　図４及び図６に示されるように、右防振機構４０は、１本のベルト９の下端に取り付けられてベース部２０の右側に配置された右支持部材４１を有する。ベルト９の下端は、クランプ部３４を介して右支持部材４１に連結されている。右支持部材４１は、ベルト９の位置に対応してベース部２０の前後方向中央部に設けられており、上下方向に延びる。右支持部材４１は例えば金属製であり、剛体とみなせる。ベルト９の下端が、クランプ部４４及び左右方向に延びる右回動軸４７を介して右支持部材４１に連結されている。
　右回動軸４７が設けられた右支持部材４１の上端部は、ベース部２０の上に配置されるが、右支持部材４１は、ベース部２０の側方においてベース部２０を横断する。右支持部材４１の下端はベース部２０よりも下に位置する。右支持部材４１の下端に、水平（左右方向及び前後方向）に延在する右支持板部４１ａが設けられている。
　右支持板部４１ａは、ベース部２０の右中央部２３に上下方向で対面しており、右支持板部４１ａと右中央部２３の間には右弾性体４９が介在されている。右弾性体４９は、例えば左防振機構３０の左前弾性体３９Ａ及び左後弾性体３９Ｂと同一の弾性（例えば弾性係数）を有するゴムであり、例えば円筒形状を有する。なお、右弾性体４９が、バネ部材であってもよい。
　このように、左防振機構３０における左支持部材３１は、左前弾性体３９Ａ及び左後弾性体３９Ｂを介してベース部２０を支持すると共に、右防振機構４０における右支持部材４１は、右弾性体４９を介してベース部２０を支持する。
　さらに、図４及び図５に示されるように、左防振機構３０は、左支持部材３１とベース部２０との間に架け渡されて、前後方向に延在する左アーム部材３８を有する。左アーム部材３８は例えば金属製であり、剛体とみなせる。左アーム部材３８は、左支持部材３１に平行に設けられており、ベース部２０の前半分に相当する長さを有する。左アーム部材３８の後側の第１端３８ａは、左右方向に延びる左回動軸（第１回動軸）３７を介して左支持部材３１に取り付けられている。左アーム部材３８は、左回動軸３７を中心に回動可能なスウィングアームである。左回動軸３７は、外側部材３２及び内側部材３３と、左アーム部材３８の第１端３８ａとを貫通している。外側部材３２、内側部材３３及び左アーム部材３８は、左回動軸３７の周りで回動可能である。片持ち軸である左回動軸３７は、所定の剛性を有する。
　また図４及び図６に示されるように、右防振機構４０は、右支持部材４１とベース部２０との間に架け渡されて、前後方向に延在する右アーム部材４８を有する。右アーム部材４８は例えば金属製であり、剛体とみなせる。右アーム部材４８は、ベース部２０の前半分に相当する長さを有する。右アーム部材４８の後側の第１端４８ａは、左右方向に延びる右回動軸（第１回動軸）４７を介して右支持部材４１に取り付けられている。右アーム部材４８は、右回動軸４７を中心に回動可能なスウィングアームである。右回動軸４７は、右支持部材４１及びクランプ部４４と、右アーム部材４８の第１端４８ａとを貫通している。右支持部材４１及び右アーム部材４８は、右回動軸４７の周りで回動可能である。片持ち軸である右回動軸４７は、所定の剛性を有する。
　図４に示されるように、左アーム部材３８の前側の第２端３８ｂと、右アーム部材４８の前側の第２端４８ｂとは、左右方向に延びる前回動軸（第２回動軸）５１を介してベース部２０に取り付けられている。すなわち、左アーム部材３８の前側の第２端３８ｂ及び右アーム部材４８の前側の第２端４８ｂが、共通の前回動軸５１を介してベース部２０に取り付けられている。左アーム部材３８及び右アーム部材４８は、前回動軸５１に例えば固着されており、前回動軸５１の周りで回動不能とされている。
　前回動軸５１には、左アーム部材３８の第２端３８ｂ近傍と、右アーム部材４８の第２端４８ｂ近傍の２箇所において、軸受けとしてのゴムブッシュ５２が設けられている。これらのゴムブッシュ５２は、円筒形状のゴム部材を内蔵しており、ゴム部材の内周面で前回動軸５１の軸方向荷重を受けるように構成されている。ゴムブッシュ５２は、ゴム部材の捩れによる回転軸を構成している。なお、ゴムブッシュ５２からなる軸受けに替えて、一般的な回転軸受けを用いてもよい。ゴムブッシュ５２はダンパ要素である。
　上記構成を備えた左防振機構３０及び右防振機構４０では、左回動軸３７及び右回動軸４７を中心とする回転の自由度が相違する構成が採用されている。左防振機構３０では、左支持部材３１と、２つの弾性体である左前弾性体３９Ａ及び左後弾性体３９Ｂを介しての支持構造により、左回動軸３７を中心とする自由な回転が難しくなっている。一方、右防振機構４０では、右支持部材４１と、１つの弾性体である右弾性体４９を介しての支持構造により、右回動軸４７を中心とする自由な回転が可能となっている。これにより、天井搬送車１の加速又は減速に伴う揺れ（Ｙ方向を軸線とする揺動）が、適度に許容される構造となっている。
　一方、左アーム部材３８、前回動軸５１、及び右アーム部材４８によって、平面視でＣ字状のリジッドな連結構造５０が形成されている。連結構造５０では、左のスウィングアームである左アーム部材３８と、右のスウィングアームである右アーム部材４８とを同軸で固定することで、スタビライザのはたらきが実現される。このとき、左右の弾性体が同量縮むようになっている。ゴムブッシュ５２によれば、左アーム部材３８及び右アーム部材４８に減衰性を持たせると共に、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のいずれにも弾性を持たせることができる。
　本実施形態の天井搬送車１によれば、ベルト９によって、左右の支持部材である左支持部材３１及び右支持部材４１が吊り下げられ、これらの左支持部材３１及び右支持部材４１が、ベース部２０を支持する。左アーム部材３８及び右アーム部材４８の第１端３８ａ，４８ａに設けられた左回動軸３７及び右回動軸４７により、左アーム部材３８及び右アーム部材４８は、左支持部材３１及び右支持部材４１に対してそれぞれ回動可能となっている。ベース部２０は、左アーム部材３８及び右アーム部材４８の第２端３８ｂ，４８ｂに設けられた前回動軸５１を介して、弾性体を伸縮させつつ、左アーム部材３８及び右アーム部材４８に対して僅かに回動可能となっている。これにより、ベース部２０は、左アーム部材３８及び右アーム部材４８を介して揺動可能に設けられている。ベース部２０と、左支持部材３１及び右支持部材４１との間に弾性体が設けられることで、ベース部２０における振動を抑えることができる。従来の構造に比して、弾性体（例えばゴム又はバネ部材等）の個数を減らすことができ、簡易な構成で、ベース部２０における振動を抑えることができる。
　共通の前回動軸５１を有する構成によれば、ベース部２０は、左支持部材３１及び右支持部材４１に対して、左アーム部材３８、右アーム部材４８、及びそれらの間に設けられた共通の前回動軸５１によって連結される。左アーム部材３８、右アーム部材４８、及び前回動軸５１によって、平面視でＣ字状の連結構造が形成されるので、ベース部２０の姿勢をより安定させることができる。
　共通の前回動軸５１には、軸受けとしてのゴムブッシュ５２が設けられている。この構成によれば、左アーム部材３８及び右アーム部材４８においても制振性を付与することができる。
　弾性体を介してベース部２０が支持される支持位置は、平面視において、ベルト９によって左支持部材３１及び右支持部材４１が吊り下げられる吊持位置とは何れも異なっている。この構成によれば、弾性体が設けられる支持位置を、ベルト９からずらすことができ、昇降部１０を高さ方向にコンパクト化できる。
　弾性体を介してベース部２０が支持される支持位置の個数（上記実施形態では３つ）は、ベルト９によって左支持部材３１及び右支持部材４１が吊り下げられる吊持位置の個数（上記実施形態では３つ）と同じである。この構成によれば、支持位置の個数（すなわち弾性体の個数）を必要最小限にすることができ、構成をより一層簡易にすることができる。
　以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限られない。たとえば、図７～図９に記載されるように、２本のベルト９，９の下端に、前後方向に延びる右支持部材４１Ａが取り付けられた右防振機構４０Ａ及び昇降部１０Ａによっても、上記実施形態の昇降部１０と同様の作用・効果を奏することができる。右防振機構４０Ａでは、吊持部材として４本のベルト９が設けられる。図８に示されるように、垂下部４１ｅを介して、右支持板部４１ａがベース部２０の右中央部２３に対面する位置に設けられる。右支持板部４１ａと右中央部２３との間に、右弾性体４９が介在される。垂下部４１ｅは、ＦＯＵＰ９０との干渉を回避する位置に設けられる。図７に示されるように、右支持部材４１は、左右方向に平行に対面すると共に前後方向に延びる外側部材４２及び内側部材４３を含む。外側部材４２及び内側部材４３は、例えば金属製であり、剛体とみなせる。２つのクランプ部４４は、左右方向に延びる連結軸４５を介して右支持部材４１Ａに連結される。昇降部１０Ａでは、弾性体を介してベース部２０が支持される支持位置の個数（この実施形態では３つ）は、ベルト９によって左支持部材３１及び右支持部材４１が吊り下げられる吊持位置の個数（この実施形態では４つ）よりも少ない。
　また、図１０～図１２に記載されるように、２本のベルト９，９の下端に、中央本体４６を介して右支持部材４１Ｂが取り付けられた右防振機構４０Ｂ及び昇降部１０Ｂによっても、上記実施形態の昇降部１０と同様の作用・効果を奏することができる。右防振機構４０Ｂでは、吊持部材として４本のベルト９が設けられる。図１１に示されるように、中央本体４６と、水平部４１ｆと、垂下部４１ｅとを介して、前後方向に延びる右支持部材４１の右支持板部４１ａがベース部２０の右前部２４と右後部２６に対面する位置に設けられる。右支持板部４１ａと、右前部２４及び右後部２６との間に、右前弾性体４９Ａ及び右後弾性体４９Ｂが介在される。垂下部４１ｅは、ＦＯＵＰ９０との干渉を回避する位置に設けられる。
　また、変形例として、左アーム部材３８の前側の第２端３８ｂ及び右アーム部材４８の前側の第２端４８ｂが、各々別個の第２回動軸を介してベース部２０に取り付けられていてもよい。前回動軸５１の軸受けとして、ゴムブッシュ５２以外の軸受けが用いられてもよい。
　１…天井搬送車、２…走行レール、７…昇降駆動部、１０…昇降部、１１…把持部、２０…ベース部、２１…左前端部、２２…左後端部、２３…右中央部、２４…右前部、２６…右後部、３０…左防振機構（第１防振機構）、３１…左支持部材、３２…外側部材、３３…内側部材、３７…左回動軸（第１回動軸）、３８…左アーム部材、３８ａ…第１端、３８ｂ…第２端、３９Ａ…左前弾性体、３９Ｂ…左後弾性体、４０，４０Ａ，４０Ｂ…右防振機構（第２防振機構）、４１…右支持部材、４２…外側部材、４３…内側部材、４７…右回動軸（第１回動軸）、４８…右アーム部材、４８ａ…第１端、４８ｂ…第２端、４９…右弾性体、４９Ａ…右前弾性体、４９Ｂ…右後弾性体、５１…前回動軸（第２回動軸）、５２…ゴムブッシュ。

Claims (5)

  1. 　物品を把持する把持部を有し、左右に配置された複数の吊持部材によって昇降される昇降部を備えた天井搬送車であって、
    　前記昇降部は、
    　前記把持部が設けられるベース部と、
    　前記吊持部材の下端に取り付けられて左右に配置され、弾性体を介してそれぞれ前記ベース部を支持する左支持部材及び右支持部材と、
    　前記左支持部材及び前記右支持部材と前記ベース部との間に架け渡され、第１回動軸を介して前記左支持部材及び前記右支持部材に取り付けられる第１端と、第２回動軸を介して前記ベース部に取り付けられる第２端とをそれぞれ含む左アーム部材及び右アーム部材と、を有する、天井搬送車。
  2. 　前記左アーム部材の前記第２端及び前記右アーム部材の前記第２端は、共通の前記第２回動軸を介して前記ベース部に取り付けられる、請求項１に記載の天井搬送車。
  3. 　共通の前記第２回動軸には、軸受けとしてのゴムブッシュが設けられている、請求項２に記載の天井搬送車。
  4. 　前記弾性体を介して前記ベース部が支持される支持位置は、平面視において、前記吊持部材によって前記左支持部材及び前記右支持部材が吊り下げられる吊持位置とは何れも異なっている、請求項１～３のいずれか一項に記載の天井搬送車。
  5. 　前記弾性体を介して前記ベース部が支持される支持位置の個数は、前記吊持部材によって前記左支持部材及び前記右支持部材が吊り下げられる吊持位置の個数と同じか又は前記吊持位置の数よりも少ない、請求項１～４のいずれか一項に記載の天井搬送車。
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