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WO2020122045A1 - 硬化樹脂用組成物、該組成物の硬化物、該組成物および該硬化物の製造方法、ならびに半導体装置 - Google Patents

硬化樹脂用組成物、該組成物の硬化物、該組成物および該硬化物の製造方法、ならびに半導体装置 Download PDF

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WO2020122045A1
WO2020122045A1 PCT/JP2019/048200 JP2019048200W WO2020122045A1 WO 2020122045 A1 WO2020122045 A1 WO 2020122045A1 JP 2019048200 W JP2019048200 W JP 2019048200W WO 2020122045 A1 WO2020122045 A1 WO 2020122045A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
epoxy compound
group
benzoxazine
composition
compound
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2019/048200
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
西谷　佳典
樹生 佐藤
南　昌樹
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Eneos Corp
Original Assignee
JXTG Nippon Oil and Energy Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JXTG Nippon Oil and Energy Corp filed Critical JXTG Nippon Oil and Energy Corp
Priority to US17/311,659 priority Critical patent/US12441833B2/en
Priority to JP2020559240A priority patent/JP7410052B2/ja
Priority to CN201980076469.4A priority patent/CN113166346B/zh
Priority to KR1020217019716A priority patent/KR20210102281A/ko
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    • C08G59/00—Polycondensates containing more than one epoxy group per molecule; Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups
    • C08G59/18—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing
    • C08G59/40—Macromolecules obtained by polymerising compounds containing more than one epoxy group per molecule using curing agents or catalysts which react with the epoxy groups ; e.g. general methods of curing characterised by the curing agents used
    • C08G59/62—Alcohols or phenols
    • C08G59/621—Phenols
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • H01L23/31—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
    • H01L23/3107—Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed

Definitions

  • the present invention relates to a cured resin composition for obtaining a high heat-resistant cured product, a cured product thereof, a composition for the cured resin, and a method for producing the cured product. Furthermore, the present invention relates to a semiconductor device using the cured product as a sealing material.
  • Cured resins are used in various applications such as semiconductor encapsulants and fiber reinforced plastics, and a benzoxazine compound is used as one raw material thereof.
  • the benzoxazine compound refers to a compound containing a benzoxazine ring having a benzene skeleton and an oxazine skeleton, and a cured product (polymer) of the benzoxazine resin has excellent physical properties such as heat resistance and mechanical strength. It is used as a high performance material in various applications.
  • Patent Document 1 discloses a novel benzoxazine compound having a specific structure and a method for producing the same, wherein the benzoxazine compound has a high thermal conductivity, and the benzoxazine compound cures a benzoxazine resin having a high thermal conductivity. It states that it is possible to manufacture things.
  • Patent Document 2 discloses a thermosetting resin in which a part or all of the reactive terminals of a polybenzoxazine resin having a specific benzoxazine ring structure in the main chain is sealed, and the thermosetting resin is used as a solvent. It is described that it has excellent storage stability when dissolved.
  • a highly heat-resistant resin cured product is still required so as to be compatible with more severe usage conditions. Furthermore, in order to improve productivity, a composition for a curable resin having excellent low temperature curability is required. However, a composition for a curable resin which is excellent in low temperature curability for obtaining a cured product with high heat resistance has not yet been obtained.
  • the present inventors have developed a composition for a cured resin containing a specific polyfunctional benzoxazine compound, an epoxy compound and a phenolic curing agent in a specific ratio.
  • the inventors have found that the cured resin composition has excellent low-temperature curability and that the cured product has excellent heat resistance, and thus completed the present invention.
  • each R independently represents hydrogen, a chain alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a cyclic alkyl group having 3 to 8 carbon atoms, or an aryl group having 6 to 14 carbon atoms;
  • the aryl group may have a halogen or a chain alkyl group having 1 to 12 carbon atoms as a substituent.
  • Each R may be independently bonded to any position of the benzoxazine ring.
  • the benzoxazine rings may be independently bonded to any position of the benzene ring.
  • the (B) epoxy compound has at least one norbornane structure and at least two epoxy groups, a biphenyl type epoxy compound, a trisphenolmethane type epoxy compound, a naphthalene type epoxy compound, a novolac type epoxy compound,
  • the curable resin composition according to [1] which is at least one selected from the group consisting of a phenol aralkyl type epoxy compound and an epoxy compound having a cyclohexene oxide group.
  • each R independently represents hydrogen, a chain alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a cyclic alkyl group having 3 to 8 carbon atoms, or an aryl group having 6 to 14 carbon atoms;
  • the aryl group may have a halogen or a chain alkyl group having 1 to 12 carbon atoms as a substituent.
  • Each R may be independently bonded to any position of the benzoxazine ring.
  • the benzoxazine rings may be independently bonded to any position of the benzene ring.
  • the (B) epoxy compound has at least one norbornane structure and at least two epoxy groups, a biphenyl type epoxy compound, a trisphenolmethane type epoxy compound, a naphthalene type epoxy compound, a novolac type epoxy compound,
  • the production method according to [7] which is at least one selected from the group consisting of a phenol aralkyl type epoxy compound and an epoxy compound having a cyclohexene oxide group.
  • a cured product which has a step of curing the composition for curable resin produced by the method according to any one of [7] to [9] at 150 to 300° C. for 20 seconds to 4 hours to cure the composition. Manufacturing method.
  • the composition for curable resin of the present invention is a novel composition for curable resin which contains the components (A) to (C) in a specific ratio, and further optionally contains the components (D) and (E),
  • the composition has excellent low-temperature curability, but the cured product has a high glass transition temperature and excellent heat resistance. Therefore, the curable resin composition of the present invention is used for applications requiring heat resistance while requiring low-temperature curability, for example, applications such as adhesives, encapsulants, paints, matrix resins for composite materials, etc. It is possible. In particular, it can exhibit excellent sealing performance as a semiconductor element sealing material and contribute to high reliability of the semiconductor device. Further, according to the method for producing a cured product of the present invention, it is possible to form a cured product having the above-mentioned excellent performance and applicable to the above-mentioned applications in a short time.
  • the “compound” in the components (A) to (C) of the present invention means not only the monomer represented by each formula but also an oligomer obtained by polymerizing the monomer, for example, a small amount of oligomer, that is, a cured resin.
  • the prepolymer before forming is also included. Therefore, the curable resin composition of the present invention may be a curable resin composition.
  • the component (A) constituting the composition for cured resin is a benzoxazine compound represented by the structure of formula (1).
  • each R independently represents hydrogen, a chain alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a cyclic alkyl group having 3 to 8 carbon atoms, or an aryl group having 6 to 14 carbon atoms, The aryl group may have a halogen or a chain alkyl group having 1 to 12 carbon atoms as a substituent.
  • Each R may be independently bonded to any position of the benzoxazine ring.
  • the benzoxazine rings may be independently bonded to any position of the benzene ring.
  • R in the formula (1) include the following groups in addition to hydrogen.
  • Examples of the chain alkyl group having 1 to 12 carbon atoms include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group and t-butyl group.
  • Examples of the cyclic alkyl group having 3 to 8 carbon atoms include cyclopentyl group and cyclohexyl group.
  • the aryl group having 6 to 14 carbon atoms include phenyl group, 1-naphthyl group, 2-naphthyl group, phenanthryl group and biphenyl group.
  • the aryl group having 6 to 14 carbon atoms may be substituted, and the substituent includes a chain alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or halogen.
  • Examples of the chain alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or the aryl group having 6 to 14 carbon atoms substituted with halogen include, for example, o-tolyl group, m-tolyl group, p-tolyl group, xylyl group, o- Ethylphenyl group, m-ethylphenyl group, p-ethylphenyl group, ot-butylphenyl group, mt-butylphenyl group, pt-butylphenyl group, o-chlorophenyl group, o-bromophenyl group Is mentioned.
  • R is preferably selected from hydrogen, methyl group, ethyl group, propyl group, phenyl group, and p-tolyl group
  • the benzoxazine compound of the formula (1) may be a symmetric benzoxazine compound or an asymmetric benzoxazine compound.
  • the symmetric benzoxazine compound means a benzoxazine compound having symmetry in molecular structure.
  • the benzoxazine compound having a symmetry in molecular structure means a benzoxazine compound in which the same atom exists at equal and opposite distances from the center (symmetry center) of the molecule of the benzoxazine compound.
  • the symmetric benzoxazine compound has the same R in the formula (1) around the oxygen atom connecting the two benzene rings, and has the same bonding position of R to the benzoxazine ring.
  • a benzoxazine compound in which the bonding position of the benzoxazine ring to the benzene ring is also the same.
  • the symmetrical benzoxazine compound is not particularly limited, but for example, 3-[4-[4-(2,4-dihydro-1,3-benzoxazin-3-yl)phenoxy]phenyl]-2,4- Dihydro-1,3-benzoxazine (3-[4-[4-(2,4-dihydro-1,3-benzoxazin-3-yl)phenoxy]phenyl]-2,4-dihydro-1,3-benzoxazine ) And the like.
  • the asymmetric benzoxazine compound means a benzoxazine compound having no symmetry in the molecular structure.
  • the benzoxazine compound having no symmetry in the molecular structure means a benzoxazine compound in which the same atom does not exist at equal and opposite distances from the center (symmetry center) of the molecule of the benzoxazine compound.
  • the asymmetric benzoxazine compound is represented by the above formula (1) with R, R's bonding position to the benzoxazine ring, and the benzoxazine ring's bonding centered on the oxygen atom connecting the two benzene rings.
  • a benzoxazine compound in which at least one of the bonding positions to the benzene ring is different.
  • the asymmetric benzoxazine compound is not particularly limited, but for example, a compound represented by the formula (1-1) is preferable. [R in the formula (1-1) has the same meaning as R in the formula (1).
  • the component (A) is a mixture of a plurality of compounds represented by the formula (1) in which at least one of R, the bonding position of R to the benzoxazine ring, and the bonding position of the benzoxazine ring to the benzene ring is different. May be
  • the benzoxazine equivalent of the component (A) benzoxazine compound is preferably 50 g/eq or more and 600 g/eq or less, and more preferably 80 g/eq or more and 400 g/eq or less from the viewpoint of improving reactivity.
  • the benzoxazine equivalent of the component (A) benzoxazine compound means the equivalent when the benzoxazine ring in the component (A) benzoxazine compound is monofunctional.
  • the benzoxazine ring number (mol) of the component (A) benzoxazine compound is calculated from the benzoxazine equivalent of the component (A) benzoxazine compound.
  • the benzoxazine ring number is the total number of rings calculated from the benzoxazine equivalents of these compounds. ..
  • the component (B) constituting the composition for cured resin is an epoxy compound.
  • an epoxy compound is not particularly limited without departing from the spirit of the present invention, an epoxy compound having at least one norbornane structure and at least two epoxy groups, a biphenyl type epoxy compound, a trisphenolmethane type epoxy compound, a naphthalene type.
  • examples thereof include an epoxy compound, a novolac type epoxy compound, a phenol aralkyl type epoxy compound, and an epoxy compound having a cyclohexene oxide group, but preferably an epoxy compound having at least one norbornane structure and at least two epoxy groups, a biphenyl type epoxy compound.
  • An epoxy compound, a trisphenolmethane type epoxy compound, and an epoxy compound having a cyclohexene oxide group is more preferably an epoxy compound having at least two epoxy groups.
  • the composition of the present invention may contain a plurality of epoxy compounds as the component (B). Examples of the plurality of types of epoxy compounds include an epoxy compound having at least one norbornane structure and at least two epoxy groups, a biphenyl type epoxy compound, a trisphenolmethane type epoxy compound, a naphthalene type epoxy compound, and a novolac type epoxy compound. , A phenol aralkyl type epoxy compound, and a combination with at least one epoxy compound selected from epoxy compounds having a cyclohexene oxide group.
  • the epoxy equivalent of the component (B) epoxy compound is preferably 50 g/eq or more and 400 g/eq or less, and more preferably 80 g/eq or more and 300 g/eq or less from the viewpoint of improving reactivity.
  • the number of epoxy groups (mol) of the epoxy compound of component (B) is calculated from the epoxy equivalent.
  • the number of epoxy groups is the total number of epoxy groups of these compounds.
  • the biphenyl type epoxy compound is not particularly limited as long as it does not depart from the gist of the present invention, but is preferably an epoxy compound represented by the structure of the following formula (3-1) or formula (3-2).
  • the biphenyl type epoxy compound either one of the epoxy compound represented by the structure of the following formula (3-1) and the epoxy compound represented by the structure of the following formula (3-2) may be used, or two types thereof may be used. You may mix and use.
  • a more preferable biphenyl type epoxy compound is an epoxy compound represented by the structure of the following formula (3-1). [In the formula (3-1), R 1 is a substituent, which is an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and may be the same or different.
  • R 1 to R 8 are a hydrogen atom, a halogen atom, or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and may be the same or different.
  • M in the formula (3-1) is preferably 0 to 2, and more preferably 0.
  • N in the formula (3-1) is preferably 1 to 5, and more preferably 2 to 4.
  • Examples of the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms in the substituent R 1 of the formula (3-1) include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and a butyl group.
  • the substituent R 1 is preferably a methyl group or an ethyl group.
  • the biphenyl type epoxy compound may be a mixture of compounds represented by the formula (3-1) each having different R 1 , m and n.
  • Examples of the alkyl group having 1 to 4 carbon atoms in R 1 to R 8 of the formula (3-2) include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, and a butyl group.
  • R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 , R 7 , or R 8 a hydrogen atom or a methyl group is preferable.
  • the biphenyl type epoxy compound may be a mixture of compounds represented by the formula (3-2) in which R 1 to R 8 are different from each other.
  • the biphenyl type epoxy compound used in the present invention is a compound represented by the formula (3-2) wherein R 1 , R 2 , R 3 and R 4 are alkyl groups having 1 to 4 carbon atoms. And R 5 , R 6 , R 7 , and R 8 are hydrogen atoms.
  • the biphenyl type epoxy compound used in the present invention has R 1 , R 2 , R 3 and R 4 in the formula (3-2) are methyl groups, and R 5 , R 6 , R 7 , and R 8 are hydrogen atoms.
  • Epoxy compound having at least one norbornane structure and at least two epoxy groups is preferably an alicyclic epoxy compound, and an epoxy compound bonded to a 5-membered ring, a 6-membered ring or a norbornane ring represented by the following formula (4). It is more preferable to have a structure. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.
  • the compound of the following formula (5-1) (epoxy equivalent: 109 g/eq) is synthesized, for example, by a Diels-Alder reaction of butadiene and dicyclopentadiene to synthesize a compound (a) having the following norbornane structure, and then: It can be produced by reacting the compound (a) with metachloroperbenzoic acid as shown in the following formula (6).
  • the compound of the formula (5-2) (epoxy equivalent: 115 g/eq) can be obtained by subjecting the compound (b) (tricyclopentadiene) having the following norbornane structure to a Diels-Alder reaction of cyclopentadiene and dicyclopentadiene, for example. It can be produced by synthesizing and then reacting the compound (b) with metachloroperbenzoic acid as shown in the following formula (7).
  • the compound of the following formula (5-3) (epoxy equivalent: 109 g/eq) is synthesized, for example, by a Diels-Alder reaction of butadiene and cyclopentadiene to synthesize a compound (c) having the following norbornane structure, and then It can be produced by reacting compound (c) with metachloroperbenzoic acid as shown in formula (8).
  • the compound of the following formula (5-4) (epoxy equivalent: 82.1 g/eq) can be produced, for example, by reacting dicyclopentadiene with potassium peroxymonosulfate (oxone).
  • the dicyclopentadiene diepoxide that is the compound of formula (5-4) may be a commercially available product, and examples of the commercially available product include dicyclopentadiene diepoxide manufactured by SHANDONG QIHUAN BIOCHEMICAL CO., LTD.
  • the trisphenolmethane type epoxy compound is not particularly limited as long as it does not depart from the gist of the present invention, but is preferably an epoxy compound represented by the structure of the following formula (9).
  • R is a substituent and each independently represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an allyl group, or a phenyl group.
  • m is the number of substituents R and represents an integer of 0 to 3, respectively.
  • n is an average value and 0 ⁇ n ⁇ 10.
  • M in formula (9) is preferably 0 to 2, and more preferably 0.
  • N in the formula (9) is preferably 0 or more and 5 or less.
  • the alkyl group having 1 to 6 carbon atoms in the substituent R of the formula (9) include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a butyl group, and a cyclohexyl group.
  • the substituent R a methyl group is preferable.
  • the trisphenolmethane type epoxy compound may be a mixture of compounds represented by the formula (9) in which R, m and n are different from each other.
  • a commercially available product can be used as the trisphenolmethane type epoxy compound.
  • Commercially available products are EPPN-501H (trade name, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent 162 to 172 g/eq, softening point 51 to 57°C), EPPN-501HY (trade name, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy Equivalent weight 163 to 175 g/eq, softening point 57 to 63°C), EPPN-502H (trade name, manufactured by Nippon Kayaku Co., epoxy equivalent 158 to 178 g/eq, softening point 60 to 72°C), EPPN-503 (commodity) Name, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent 170 to 190 g/eq, softening point 80 to 100° C.) and the like. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.
  • the naphthalene type epoxy compound is not particularly limited as long as it does not depart from the gist of the present invention, and examples thereof include a naphthylene ether type epoxy compound, a binaphthalene type epoxy compound, a naphthol type epoxy compound, and the like, and preferably a naphthylene ether type epoxy compound. , A binaphthalene type epoxy compound.
  • the naphthylene ether type epoxy compound is not particularly limited as long as it does not depart from the gist of the present invention, but is preferably an epoxy compound represented by the structure of the following formula (10).
  • n is an integer of 1 or more and 20 or less
  • l is an integer of 0 to 2
  • R 1 is a substituent
  • each R 2 is independently a hydrogen atom or a methyl group.
  • Ar is independently a phenylene group or a naphthylene group
  • R 2 is independently a hydrogen atom or a methyl group
  • m is an integer of 1 or 2.
  • the naphthylene ether type epoxy compound may be a mixture of compounds represented by the formula (10) in which R 1 , R 2 , 1, and n are different from each other.
  • Examples of the naphthylene ether type epoxy compound represented by the general formula (10) include those represented by the formula (10-1).
  • n is an integer of 1 or more and 20 or less, preferably an integer of 1 or more and 10 or less, more preferably an integer of 1 or more and 8 or less.
  • R is a substituent. Or each independently has a benzyl group, an alkyl group, or a structure represented by the following general formula (10a-1) or does not exist, and preferably the substituent R does not exist.
  • m is an integer of 1 or 2.
  • Examples of the naphthylene ether type epoxy compound represented by the formula (10-1) include those represented by the formulas (10-2) to (10-6). You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.
  • a commercially available product may be used as the naphthylene ether type epoxy compound.
  • Commercially available naphthylene ether type epoxy compounds include HP-6000 (trade name, DIC Corporation, epoxy equivalent 235 to 255 g/eq), EXA-7310 (trade name, DIC Corporation, epoxy equivalent 237 to 257 g/eq). ), EXA-7311 (trade name, DIC Corporation, epoxy equivalent 267 to 287 g/eq), EXA-7311L (trade name, DIC Corporation, epoxy equivalent 252 to 272 g/eq), EXA-7311-G3 (trade name) , DIC Corporation, epoxy equivalent 240 to 260 g/eq) and the like. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.
  • the binaphthalene-type epoxy compound is not particularly limited as long as it does not deviate from the gist of the present invention and does not include the naphthylene ether-type epoxy compound, but an epoxy compound represented by the structure of the following formula (11) is preferable.
  • X represents an alkylene group having 1 to 8 carbon atoms.
  • R 1 to R 4 each represent a group represented by the following formula (11a), a hydrogen atom, a halogen atom, a phenyl group, or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms.
  • R 1 to R 4 may be added to any ring of the naphthalene skeleton or may be added to both rings at the same time. At least two or more of R 1 to R 4 must contain a group represented by the following general formula (11a) on average, and other Rs may be the same or different from each other. Good.
  • the binaphthalene type epoxy compound may be a mixture of compounds represented by the formula (11) in which R 1 to R 4 and X are different from each other.
  • binaphthalene-type epoxy compound examples include a bifunctional or higher functional binaphthalene-type epoxy compound, preferably a bifunctional, trifunctional or tetrafunctional binaphthalene type epoxy compound, more preferably a bifunctional compound represented by the following formula (11-1). Is a binaphthalene type epoxy compound.
  • binaphthalene type epoxy compound Commercially available products can be used as the binaphthalene type epoxy compound.
  • examples of commercially available products of the bifunctional binaphthalene type epoxy compound include HP-4770 (trade name, DIC Corporation, epoxy equivalent 200 to 210 g/eq).
  • Examples of commercially available trifunctional binaphthalene-type epoxy compounds include EXA-4750 (trade name, DIC Corporation, epoxy equivalent 185 g/eq).
  • commercially available products of the tetrafunctional binaphthalene type epoxy compound include HP-4710 (trade name, DIC Corporation, epoxy equivalent 160 to 180 g/eq), HP-4700 (trade name, DIC Corporation, epoxy equivalent 160 to 170 g/eq). ) And the like. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.
  • the cyclohexene oxide group-containing epoxy compound is not particularly limited as long as it does not depart from the gist of the present invention and does not include the norbornane structure, but is preferably an epoxy compound represented by the structure of the following formula (13).
  • R 1 to R 18 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, or a hydrocarbon group, and the hydrocarbon group may contain an oxygen atom or a halogen atom.
  • X is a single bond or a divalent organic group.
  • R 1 to R 18 in formula (13) each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, or a hydrocarbon group, and the hydrocarbon group may contain an oxygen atom or a halogen atom.
  • the hydrocarbon group may contain an oxygen atom or a halogen atom.
  • Examples of the halogen atom for R 1 to R 18 in the formula (13) include a fluorine atom, a chlorine atom, a bromine atom and an iodine atom.
  • Examples of the hydrocarbon group for R 1 to R 18 in the formula (13) include an aliphatic hydrocarbon group.
  • Examples of the aliphatic hydrocarbon group include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, butyl group, isobutyl group, s-butyl group, t-butyl group, pentyl group, hexyl group, decyl group, dodecyl group, etc.
  • alkyl group having 1 to 20 (preferably 1 to 10, more preferably 1 to 3) carbon atoms; vinyl group, allyl group, methallyl group, 1-propenyl group, isopropenyl group, 1-butenyl group, 2- A butenyl group, 3-butenyl group, 1-pentenyl group, 2-pentenyl group, 3-pentenyl group, 4-pentenyl group, 5-hexenyl group and the like having 2 to 20 carbon atoms (preferably 2 to 10, more preferably 2) Alkenyl groups of about 2 to 3); alkynyl groups of about 2 to 20 (preferably 2 to 10 and more preferably 2 to 3) carbon atoms such as ethynyl group and propynyl group.
  • the hydrocarbon group which may contain an oxygen atom or a halogen atom in R 1 to R 18 in the formula (13) is a group or halogen in which at least one hydrogen atom in the above-mentioned hydrocarbon group has an oxygen atom.
  • examples thereof include groups substituted with atoms.
  • Examples of the group having an oxygen atom include C 1-10 alkoxy groups such as methoxy, ethoxy, propoxy, isopropyloxy, butoxy and isobutyloxy groups.
  • X represents a single bond or a divalent organic group.
  • the divalent organic group include a divalent hydrocarbon group, an alkenylene group in which part or all of carbon-carbon double bonds is epoxidized, a carbonyl group (—CO—), an ether bond (—O). -), ester bond (-COO-), carbonate group (-O-CO-O-), amide group (-CONH-), -CO-O-CH 2 -, and groups in which a plurality of these groups are connected. be able to.
  • Examples of the epoxy compound having a cyclohexene oxide group include (3,4,3′,4′-diepoxy)bicyclohexyl, bis(3,4-epoxycyclohexylmethyl)ether, 2,2-bis(3,4-) Examples thereof include epoxycyclohexan-1-yl)propane and 1,2-bis(3,4-epoxycyclohexan-1-yl)ethane.
  • a commercially available product may be used as the epoxy compound having a cyclohexene oxide group.
  • the epoxy compound having a cyclohexene oxide group include Celoxide 2021P (trade name, Daicel Corporation, epoxy equivalent 128 to 145 g/eq), Celoxide 8010 (trade name, Daicel Corporation, epoxy equivalent 95 to 105 g/eq) and the like. Be done. You may use these 1 type or in combination of 2 or more types.
  • the blending ratio of the component (A) benzoxazine compound and the component (B) epoxy compound is preferably 10 parts by mass or more and 300 parts by mass or less, and 40 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the component (A). More preferably, it is 200 parts by mass or more.
  • the mixing ratio of the components (A) and (B) is within the above range, more excellent heat resistance can be obtained.
  • the composition of the present invention contains a plurality of kinds of benzoxazine compounds as the component (A), the total amount of these compounds is regarded as 100 parts by mass.
  • the component (B) means the total of the plurality of compounds.
  • the component (C) that constitutes the composition for cured resin is a phenolic curing agent.
  • the component (C) is not particularly limited as long as it does not depart from the gist of the present invention.
  • monofunctional phenol for example, bisphenol A, bisphenol F, dihydroxynaphthalene, bisphenol sulfide (for example, bis(4 -Hydroxyphenyl) sulfide, etc.), polyphenol compounds (eg, pyrogallol etc.)), phenol novolac resins, phenol aralkyl resins (eg, phenol aralkyl resins having a biphenylene skeleton, phenol aralkyl resins having a phenylene skeleton), and the like, Bisphenol F and bisphenol sulfide are preferred. These may be used alone or as a mixture of two or more kinds.
  • a commercially available product may be used as the phenolic curing agent as the component (C).
  • the phenolic curing agent for example, bisphenol F (manufactured by Honshu Chemical Industry Co., Ltd., hydroxyl equivalent 100 g/eq), bis(4-hydroxyphenyl) sulfide (TDP, manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., hydroxyl equivalent 109 g/eq), 2,7-dihydroxynaphthalene.
  • phenol novolac resin for example, ferrite TD-2106, DIC Corporation, hydroxyl equivalent 104 g/ eq: Ferrite TD-2090, DIC Corporation, hydroxyl group equivalent weight 105 g/eq
  • phenol aralkyl resin for example, MEHC-7851SS, hydroxyl group equivalent weight 203 g/eq, manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.; MEH-7800-4S, hydroxyl group equivalent weight 169 g/ eq, manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.
  • the mixing ratio of the component (C) is preferably in the range of 1 part by mass or more and 30 parts by mass or less with respect to 100 parts by mass of the total of the components (A) and (B). More preferably, it is not less than 25 parts by mass. By containing the component (C) in this range, a more excellent cured product having high heat resistance can be obtained.
  • the hydroxyl equivalent of the component (C) phenolic curing agent is preferably 30 g/eq or more and 400 g/eq or less, and more preferably 40 g/eq or more and 250 g/eq or less from the viewpoint of improving reactivity.
  • the number of hydroxyl groups (mol) of the phenolic curing agent of component (C) is calculated from the hydroxyl equivalent.
  • the number of hydroxyl groups is the total number of hydroxyl groups of these curing agents.
  • the ratio of epoxy groups of the component (B) epoxy compound, the number of benzoxazine rings of the component (A) benzoxazine compound, and the number of functional groups of the number of hydroxyl groups of the component (C) phenolic curing agent in the composition for cured resin It is preferable that the ratio satisfies the following formula (2).
  • the ratio of the number of functional groups in the above formula (2) is more preferably 0.7 to 1.8, further preferably 0.8 to 1.5, and further preferably 0.9 to 1.4. ..
  • the ratio of the number of functional groups of each component of the formula (2) is within the range, it is possible to obtain a cured resin composition having better low-temperature curability and a cured product having more excellent heat resistance.
  • the ratio (number of benzoxazine rings/number of hydroxyl groups) of the benzoxazine ring number of the component (A) benzoxazine compound to the number of hydroxyl groups of the component (C) phenolic curing agent in the cured resin composition is It is preferably 1.1 to 8.0.
  • the ratio of the number of functional groups (the number of benzoxazine rings/the number of hydroxyl groups) is more preferably 1.1 to 7.8, and further preferably 2.0 to 4.6.
  • the ratio of the number of functional groups is within the range, it is possible to obtain a cured resin composition having a better low-temperature curability and a cured product having a more excellent heat resistance.
  • the curable resin composition of the present invention may further contain (D) a curing accelerator, if desired.
  • a curing accelerator known curing accelerators can be used, such as tributylamine, amine compounds such as 1,8-diazabicyclo(5,4,0)undecene-7, 2-methylimidazole and 2-ethyl.
  • Imidazole compounds such as imidazole and 1,2-dimethylimidazole, organic phosphorus compounds in which phosphorus is bound only by covalent bonds such as triphenylphosphine, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, bis(tetrabutylphosphonium) (BTBP)- Phosphorus is bonded by covalent bond or ionic bond of pyromellitic acid, tetrabutylphosphonium 2,6-bis[(2-hydroxy-5-methylphenyl)methyl]-4-methylphenolate (TBP-3PC), etc.
  • organic phosphorus compounds such as salt-type organic phosphorus compounds, but are not limited thereto.
  • the above-mentioned curing accelerators may be used alone or in combination of two or more.
  • organophosphorus compounds such as triphenylphosphine, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, and tetrabutylphosphonium 2,6-bis[(2-hydroxy-5-methylphenyl)methyl]-4-methylphenolate are cured. This is preferable because the effect of improving the speed is great.
  • the above-mentioned organic phosphorus compound preferably has a function of promoting a crosslinking reaction between an epoxy group and a phenolic hydroxyl group. Furthermore, it is preferable that the organophosphorus compound also exhibits a function of accelerating the reaction between the hydroxyl group and the epoxy group generated when the (A) benzoxazine compound undergoes the cleavage reaction at high temperature.
  • the curable resin composition of the present invention may further contain (E) an inorganic filler, if desired.
  • an inorganic filler used in the present invention is not particularly limited, and can be selected in consideration of the composition of the cured resin or the cured product, or the properties to be imparted.
  • this inorganic filler is referred to as component (E).
  • component (E) examples include silica, alumina, titanium oxide, zirconium oxide, magnesium oxide, cerium oxide, yttrium oxide, calcium oxide, antimony trioxide, zinc oxide, iron oxide, and other oxides; calcium carbonate, magnesium carbonate.
  • Carbonates such as barium carbonate and strontium carbonate; sulfates such as barium sulfate, aluminum sulfate and calcium sulfate; nitrides such as aluminum nitride, silicon nitride, titanium nitride, boron nitride and manganese nitride; calcium silicate, magnesium silicate , Silicon compounds such as aluminum silicate; boron compounds such as aluminum borate; zirconium compounds such as barium zirconate and calcium zirconate; phosphorus compounds such as zirconium phosphate and magnesium phosphate; strontium titanate, calcium titanate, titanium Titanium compounds such as magnesium acidate, bismuth titanate, barium titanate, potassium titanate; mica, talc, kaolin, kaolin clay, kaolinite, halloysite, cordierite, pyrophyllite, montmorillonite, sericite, amesite, bentonite , Asbestos, wo
  • Component (E) is preferably silica or alumina.
  • silica include fused silica, spherical silica, crystalline silica, amorphous silica, synthetic silica, hollow silica, and the like, and spherical silica and crystalline silica are preferable.
  • the component (E) may be granular, and the average particle size in that case is not particularly limited, but examples thereof include 0.01 ⁇ m or more and 150 ⁇ m or less, and preferably 0.1 ⁇ m or more and 120 ⁇ m or less, It is preferably 0.5 ⁇ m or more and 75 ⁇ m or less. Within this range, for example, when the composition of the present invention is used as an encapsulant for semiconductor elements, the mold cavity is more easily filled.
  • the average particle size of the component (E) can be measured by a laser diffraction/scattering method.
  • the particle size distribution of the inorganic filler can be created on a volume basis using a laser diffraction type particle size distribution measuring device, and the median size can be used as the average particle size for measurement.
  • a laser diffraction type particle size distribution measuring device As the measurement sample, an inorganic filler dispersed in water by ultrasonic waves can be preferably used.
  • the laser diffraction type particle size distribution measuring device As the laser diffraction type particle size distribution measuring device, "LA-500”, “LA-750", “LA-950", “LA-960” and the like manufactured by Horiba Ltd. can be used.
  • the mixing ratio of the component (E) is not particularly limited as long as a cured product having a high heat resistance of the composition for a cured resin can be obtained, and can be appropriately set according to the application.
  • the following compounding ratios are preferable.
  • the lower limit of the mixing ratio of the component (E) is, for example, 150 parts by mass or more, and 400 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass in total of the components (A), (B), (C) and (D). Is preferable, and 500 parts by mass or more is more preferable.
  • the upper limit of the blending ratio of the component (E) is 1300 parts by mass or less, preferably 1150 parts by mass or less, and more preferably 950 parts by mass or less.
  • the lower limit of the mixing ratio of the component (E) is 400 parts by mass or more, it is possible to further suppress an increase in the amount of moisture absorption and a decrease in strength that accompany the curing of the composition for cured resin, and thus to obtain better solder crack resistance. A cured product having the same can be obtained.
  • the upper limit of the blending ratio of the component (E) is 1300 parts by mass or less, the fluidity of the composition for a cured resin becomes better, the mold is easily filled, and the cured product has a better sealing property. Demonstrate stopping performance.
  • composition of the present invention may contain a benzoxazine compound other than the component (A) without departing from the spirit of the present invention.
  • a monofunctional benzoxazine compound having one benzoxazine ring may be added to the composition.
  • nanocarbon or a flame retardant, a release agent, a colorant, a low stress additive, a metal hydroxide, etc. may be blended within a range that does not impair the performance.
  • nanocarbons include carbon nanotubes, fullerenes and their respective derivatives.
  • the flame retardant examples include phosphoric acid esters such as red phosphorus, triphenyl phosphate, tricresyl phosphate, trixylenyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, xylenyl diphenyl phosphate, resorcinol bisphenyl phosphate, and bisphenol A bisdiphenyl phosphate. And boric acid ester, phosphazene and the like.
  • phosphoric acid esters such as red phosphorus, triphenyl phosphate, tricresyl phosphate, trixylenyl phosphate, cresyl diphenyl phosphate, xylenyl diphenyl phosphate, resorcinol bisphenyl phosphate, and bisphenol A bisdiphenyl phosphate.
  • boric acid ester phosphazene and the like.
  • Examples of the release agent include natural waxes such as stearic acid ester and carnauba wax, synthetic waxes such as oxidized polyethylene wax, higher fatty acids or esters thereof such as stearic acid, metal salts such as zinc stearate, paraffin, and silicone oil. Etc.
  • Examples of the colorant include carbon black, red iron oxide, and titanium oxide.
  • Examples of the low stress additive include silicone oil and silicone rubber.
  • Examples of the metal hydroxide include hydroxides such as calcium hydroxide, aluminum hydroxide and magnesium hydroxide.
  • the other components should be in the range of 0.01 parts by mass or more and 10 parts by mass or less based on 100 parts by mass of the components (A), (B) and (C) in total. Is preferable, and it is more preferable to set it in the range of 0.1 parts by mass or more and 7 parts by mass or less.
  • the curing performance of the cured resin composition of the present invention can be measured as a thermophysical property (reaction peak temperature) by differential scanning calorimetry (DSC). Specifically, it can be measured by using a differential scanning calorimeter under a temperature range condition of 30° C. to 300° C. at a temperature rising rate of 10° C./min. The highest point on the graph is the reaction peak temperature. From the viewpoint of reactivity, the reaction peak temperature is preferably 255° C. or lower, more preferably 245° C. or lower.
  • the components (A) to (C), and optionally the components (D) and (E), other components, and a solvent are appropriately added and kneaded or mixed to produce a cured resin composition of the present invention. can do.
  • the kneading or mixing method is not particularly limited, and the mixing can be performed using, for example, a planetary mixer, a twin-screw extruder, a mixing device such as a hot roll or a kneader, or a kneader.
  • the components (A), (B) and (C) are liquid or solid with high viscosity at room temperature or contain the component (E), they are heated and kneaded as necessary. Alternatively, kneading may be performed under pressure or reduced pressure. The heating temperature is preferably 80 to 120°C. Since the composition for a cured resin containing the component (E) is solid at room temperature, it may be kneaded by heating, then cooled and pulverized to be a powder, and the powder is tableted into pellets. Good. Alternatively, the powder may be granulated to form a granule.
  • the curable resin composition of the present invention does not contain the component (E) and is used for prepreg applications for FRP, etc.
  • the curable resin composition preferably has a viscosity of 10 to 3000 Pa ⁇ s at 50° C. .. It is more preferably 10 to 2500 Pa ⁇ s, and even more preferably 100 to 2000 Pa ⁇ s.
  • the viscosity is not particularly limited as long as it does not hinder the work such as sealing or coating.
  • the cured product of the cured resin composition of the present invention is characterized by a high glass transition temperature and excellent heat resistance.
  • the reason why the curable resin composition of the present invention forms such an excellent cured product is considered as follows. First, in homopolymerization of benzoxazine, a phenolic hydroxyl group is generated by the polymerization. This phenolic hydroxyl group passes through the keto-enol tautomer at high temperature, for example, 200° C. or higher, and the polymer chain is cleaved thereby, so that the heat resistance is low and the glass transition temperature is also low. Has been.
  • the curable resin composition of the present invention when used in combination with the benzoxazine compound represented by the structure of formula (1) and the epoxy compound, has an extremely high curing rate even at low temperatures and forms a dense crosslinked structure. Therefore, it is considered that the composition has excellent low temperature curability.
  • the heat resistance of the cured product of the present invention can be evaluated by measuring the glass transition temperature.
  • the glass transition temperature is 210° C. or higher, and preferably 220° C. or higher.
  • the glass transition temperature is 215° C. or higher, and preferably 230° C. or higher.
  • the glass transition temperature can be measured by differential scanning calorimetry (DSC). Such measurement can be easily performed by using a commercially available differential scanning calorimeter (for example, manufactured by Hitachi High-Tech Science Co., Ltd.).
  • the cured product of the present invention can be produced by ring-opening polymerization and curing under the same curing conditions as those of known benzoxazine compounds and/or epoxy compounds.
  • the following method can be mentioned.
  • the cured resin composition of the present invention is produced by the above method.
  • the obtained cured resin composition is heated, for example, at 150 to 300° C. for a curing time of, for example, 20 seconds to 5 hours, preferably 20 seconds to 1 hour to obtain a cured product. ..
  • a curing time of 1 to 3 minutes is sufficient, but it is preferable to further heat for about 5 minutes to 5 hours as post-curing to obtain higher strength.
  • a cured product can be obtained by blending a benzoxazine compound other than the component (A) and/or an epoxy compound other than the component (B) without departing from the spirit of the present invention.
  • a solvent may be further added to obtain a composition having a solution viscosity suitable for thin film formation.
  • the solvent is not particularly limited as long as it can dissolve the components (A) to (D), and examples thereof include hydrocarbons, ethers, esters, and halogen-containing compounds.
  • the solvent is volatilized and then thermosetting is performed. A cured product can be obtained.
  • the semiconductor device of the present invention comprises a semiconductor in a cured product obtained by curing the curable resin composition of the present invention containing components (A) to (C), and optionally (D), (E), and other components.
  • a semiconductor device in which an element is installed is usually supported and fixed by a lead frame which is a thin plate made of a metal material.
  • the semiconductor element is installed in the cured product means that the semiconductor element is sealed with the cured product of the composition for cured resin, and the semiconductor element is covered with the cured product. Represents a state. In this case, the entire semiconductor element may be covered, or the surface of the semiconductor element installed on the substrate may be covered.
  • a sealing step by a conventional molding method such as transfer molding, compression molding, or injection molding.
  • a semiconductor device can be manufactured by carrying out.
  • (CA1) was used as an epoxy compound for comparative examples.
  • Epoxy compound 2 compound of formula (5-4) (dicyclopentadiene diepoxide) After charging 10 kg of dicyclopentadiene, 68 kg of sodium bicarbonate, 100 L of acetone and 130 L of ion-exchanged water into a reaction vessel and cooling to 10°C or lower, cooling is controlled so as to maintain the temperature of the reaction solution at 30°C or lower, and 84 kg of Oxone. Was gradually added, and the reaction was carried out for 10 hours with stirring. Next, the reaction product was extracted twice with 100 L of ethyl acetate, and the obtained organic layers were separated and combined.
  • the organic layer was washed with 100 L of a mixed aqueous solution of sodium chloride and sodium thiosulfate (20 wt% of sodium chloride+20 wt% of sodium thiosulfate), and further washed twice with 100 L of ion-exchanged water.
  • the washed organic layer was dried over magnesium sulfate, magnesium sulfate was removed by filtration, and the organic solvent was distilled off from the filtrate to obtain 11 kg of a compound represented by the following formula (5-4) as a white solid.
  • Epoxy compound 3 Biphenyl type epoxy compound represented by the following formula (3-1-1) (NC3000, epoxy equivalent (g/eq): 265 to 285, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) (In the formula (3-1-1), n is an average value and is 3.4.)
  • Epoxy compound 4 Epoxy compound represented by the following formula (9-1) (EPPN-501H, epoxy equivalent (g/eq): 162 to 172, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) (In the formula (9-1), n is an average value and is 1.3.)
  • Epoxy compound 6 Biphenyl type epoxy compound represented by the following formula (3-2-1) (YX4000, epoxy equivalent (g/eq): 180 to 192, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)
  • Epoxy compound 7 Epoxy compound represented by the following formula (11) (HP-4770, epoxy equivalent (g/eq): 200 to 210, manufactured by DIC Corporation)
  • Epoxy compound 8 Epoxy compound represented by the following formula (13-1) (Celoxide 2021P, epoxy equivalent (g/eq): 128 to 145, manufactured by Daicel Corporation)
  • Epoxy compound 9 Epoxy compound represented by the following formula (13-2) (Celoxide 8010, epoxy equivalent (g/eq): 95 to 105 g/eq, manufactured by Daicel Corporation)
  • Phenolic curing agent 2 Bis(4-hydroxyphenyl)sulfide (TDP) represented by the following formula (12-2) (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
  • Phenolic curing agent 4 Pyrogallol represented by the following formula (12-4) (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
  • Phenolic curing agent 5 Phenol novolac resin (TD-2106, hydroxyl equivalent 104, manufactured by DIC Corporation)
  • Phenolic curing agent 6 Phenol aralkyl resin having a biphenylene skeleton (MEHC-7851SS, hydroxyl equivalent 203 g/eq, manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.)
  • Phenolic curing agent 7 Phenol aralkyl resin having a phenylene skeleton (MEH-7800-4S, hydroxyl equivalent 169 g/eq, manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.)
  • Curing accelerator 2 Bis(tetrabutylphosphonium) (BTBP)-pyromellitic acid represented by the following formula (manufactured by Kitako Chemical Industry Co., Ltd.)
  • Curing accelerator 3 tetraphenylphosphonium tetraphenylborate (TPP-K (trademark)) represented by the following formula (manufactured by Kitako Chemical Co., Ltd.)
  • Curing accelerator 4 tetrabutylphosphonium 2,6-bis[(2-hydroxy-5-methylphenyl)methyl]-4-methylphenolate (TBP-3PC) (Made by Hokuko Chemical Industry Co., Ltd.)
  • component (E) fused spherical silica (FB-820, manufactured by Denka Co., Ltd.) having an average particle diameter D50 of 22 ⁇ m was used.
  • Carnauba wax manufactured by Clariant Japan Co., Ltd.
  • carbon black MA600, manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd.
  • composition for curable resin (hereinafter, simply referred to as “composition”) and a cured product were prepared as follows, and thermophysical properties (reaction peak temperature) by differential scanning calorimetry (DSC) as curability evaluation, and The glass transition temperature was measured as a heat resistance evaluation.
  • the components (A1), (B1), and (C1) were mixed at the blending ratio shown in Table 1 on a hot plate whose surface temperature was set to 100° C. under atmospheric pressure for 5 minutes, and then cooled to room temperature. A mixture was obtained. The mixture was ground into a powder in a mortar to obtain a composition.
  • ⁇ Glass transition temperature Tg> About 10 mg of the composition was weighed in an aluminum pan used for DSC, and heated in an oven at 200° C. for 4 hours to obtain a cured product.
  • the Tg of the obtained cured product was measured by DSC under the following conditions. The results are shown in Table 1.
  • Examples 2 to 44 The compositions of the respective examples were prepared in the same manner as in Example 1 except that the blending ratio of each component was as shown in Table 1. Thermophysical properties (reaction peak temperature) and heat resistance (glass transition temperature) of each composition were measured by DSC in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
  • Comparative Examples 1 to 8 A composition of each comparative example was prepared in the same manner as in Example 1 except that the mixing ratio of each component was as shown in Table 2. Thermophysical properties (reaction peak temperature) and heat resistance (glass transition temperature) of each composition were measured by DSC in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 2.
  • the reaction peak temperature by DSC is 255° C. or less
  • the composition for cured resin of each example is excellent in low temperature curability.
  • the cured product has a Tg of 210° C. or higher and has high heat resistance.
  • the cured products obtained by curing the cured resin compositions of Comparative Examples 1, 2 and 6 to 8 have a low Tg and are inferior in heat resistance.
  • the reaction peak temperatures of the cured resin compositions of Comparative Examples 3 to 5 are higher than 255° C., the low temperature curability is inferior.
  • Example 3 the reaction peak temperature of Example 3 in which the number of benzoxazine rings/the number of hydroxyl groups is 7.6 is the same as that in Example 3, and the reaction of Comparative Example 5 in which the number of benzoxazine rings/the number of hydroxyl groups is 15.5. Lower than peak temperature.
  • the glass transition temperature of Example 5 in which the number of benzoxazine rings/the number of hydroxyl groups is 1.1 is the same as that of Example 5, and the glass transition temperature of Comparative Example 6 in which the number of benzoxazine rings/the number of hydroxyl groups is 0.8. High compared to.
  • the glass transition temperature of Example 42 in which the functional group ratio (the number of epoxy groups/(the number of benzoxazine rings+the number of hydroxyl groups)) is 1.8 is the same as that of Example 42 and the functional group number ratio is 2.0. It is higher than the glass transition temperature of Comparative Example 8. From the above results, it is understood that the curable resin composition according to the embodiment of the present invention is excellent in low-temperature curability, but the cured product achieves high heat resistance.
  • composition for curable resin (hereinafter, simply referred to as “composition”) and a cured product were prepared as follows, and thermophysical properties (reaction peak temperature) by differential scanning calorimetry (DSC) as curability evaluation, and The glass transition temperature was measured as a heat resistance evaluation.
  • Components (A1), (B1), (C1), (D1), (E), carnauba wax, and carbon black were blended in the proportions shown in Table 3 in a two-roll roll having a surface temperature of 90°C and 100°C.
  • a hot roll kneader (BR-150HCV, manufactured by Imex Co., Ltd.) was kneaded at atmospheric pressure for 10 minutes and then cooled to room temperature to obtain a mixture.
  • the obtained mixture was pulverized into a powder by a mini speed mill MS-09 (manufactured by RaboNect Co., Ltd.) so that the mold could be well filled to obtain a composition.
  • ⁇ Glass transition temperature; Tg> Using a transfer molding machine, the prepared composition is cured under the conditions of a mold temperature of 200° C., an injection pressure of 4 MPa, and a curing time of 3 minutes, and is further heated at 200° C. for 4 hours in an oven as a post-curing treatment to vertically.
  • a cured product having a size of 3 mm ⁇ width 3 mm ⁇ length 15 mm was prepared.
  • Tg was measured by DSC under the following conditions. The results are shown in Table 3.
  • thermophysical properties by differential scanning calorimetry (DSC)> The thermophysical properties (reaction peak temperature) of the composition of Example 45 were measured by DSC in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 3.
  • Example 46 The composition of each Example was prepared in the same manner as in Example 45 except that the mixing ratio of each component was as shown in Table 3.
  • Thermophysical properties (reaction peak temperature) and heat resistance (glass transition temperature) by DSC of each composition were measured in the same manner as in Example 45. The results are shown in Table 3.
  • Comparative Example 9 A composition of Comparative Example 9 was prepared in the same manner as in Example 45, except that the mixing ratios of the components were as shown in Table 3. The thermophysical properties (reaction peak temperature) and heat resistance (glass transition temperature) by DSC of the composition of Comparative Example 9 were measured in the same manner as in Example 45. The results are shown in Table 3.
  • the Tg of the cured product of the cured resin composition of each example is 215° C. or higher, which shows that it has high heat resistance.
  • the cured product obtained by curing the cured resin composition of Comparative Example 9 has a low Tg and is inferior in heat resistance.
  • the glass transition temperature of Example 48 is higher than that of Comparative Example 9 in which the components other than benzoxazine are the same as those of Example 48 by 10° C. or more.

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Abstract

［課題］高耐熱性硬化物を得るための低温硬化性に優れる硬化樹脂用組成物、その硬化物、ならびに該硬化樹脂用組成物および該硬化物の製造方法を提供する。また、前記硬化物を封止材として用いた半導体装置を提供する。 ［解決手段］本発明の硬化樹脂用組成物は、（Ａ）式（１）の構造で示されるベンゾオキサジン化合物と、（Ｂ）エポキシ化合物と、（Ｃ）フェノール系硬化剤とを含有し、（Ｂ）エポキシ化合物のエポキシ基数と、（Ａ）ベンゾオキサジン化合物のベンゾオキサジン環数と、（Ｃ）フェノール系硬化剤の水酸基数が式（２）を満たし、かつ、（Ｃ）フェノール系硬化剤の水酸基当量に対する、（Ａ）ベンゾオキサジン化合物のベンゾオキサジン当量の比が１．１～８．０である。

Description

硬化樹脂用組成物、該組成物の硬化物、該組成物および該硬化物の製造方法、ならびに半導体装置 関連出願の参照
　本特許出願は、２０１８年１２月１０日に出願された日本国特許出願２０１８－２３１１５０号に基づく優先権の主張を伴うものであり、かかる先の特許出願における全開示内容は、引用することにより本明細書の一部とされる。
　本発明は、高耐熱性硬化物を得るための硬化樹脂用組成物、その硬化物、ならびに該硬化樹脂用組成物および該硬化物の製造方法に関する。さらに、前記硬化物を封止材として用いた半導体装置に関する。
　硬化樹脂は半導体封止材、繊維強化プラスチック等各種用途に使用され、その一原料としてベンゾオキサジン化合物が使用されている。
　ベンゾオキサジン化合物とは、ベンゼン骨格とオキサジン骨格とを有するベンゾオキサジン環を含む化合物を指し、その硬化物（重合物）であるベンゾオキサジン樹脂は、耐熱性、機械的強度等の物性に優れ、多方面の用途において高性能材料として使用されている。
　特許文献１は、特定構造の新規なベンゾオキサジン化合物およびその製造方法を開示し、該ベンゾオキサジン化合物は高い熱伝導率を有すること、ならびに該ベンゾオキサジン化合物により高い熱伝導率を有するベンゾオキサジン樹脂硬化物を製造することが可能であることを記載している。
　特許文献２は、特定のベンゾオキサジン環構造を主鎖中に有するポリベンゾオキサジン樹脂の反応性末端の一部または全部を封止した熱硬化性樹脂を開示し、該熱硬化性樹脂は溶媒に溶解した際の保存安定性に優れることを記載している。
特開２０１３－６０４０７号公報 特開２０１２－３６３１８号公報
　接着剤、封止材、塗料、複合材向けマトリックス樹脂等の用途においては、依然として、より過酷な使用条件に適合し得るように高耐熱性の樹脂硬化物が求められている。さらに、生産性を向上させるために、低温硬化性に優れる硬化樹脂用組成物が求められている。
　しかしながら、高耐熱性硬化物を得るための低温硬化性に優れる硬化樹脂用組成物は、いまだ得られていない。
　したがって、本発明は、高耐熱性硬化物を得るための低温硬化性に優れる硬化樹脂用組成物を提供することを課題とする。また、本発明の別の課題は、上記硬化樹脂用組成物を硬化させてなる硬化物、ならびに上記硬化樹脂用組成物および該硬化物の製造方法を提供することにある。また、本発明の別の課題は、前記硬化物を封止材として用いた半導体装置を提供することにある。
　本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討を行った結果、特定の多官能ベンゾオキサジン化合物、エポキシ化合物およびフェノール系硬化剤を特定の割合で含有する硬化樹脂用組成物を開発し、該硬化樹脂用組成物が低温硬化性に優れ、その硬化物が耐熱性に優れることを見出して本発明を完成するに至った。
　すなわち、本発明によれば、以下の発明が提供される。
［１］　（Ａ）式（１）の構造で示されるベンゾオキサジン化合物と、
　（Ｂ）エポキシ化合物と、
　（Ｃ）フェノール系硬化剤と
を含有し、
　（Ｂ）エポキシ化合物のエポキシ基数と、（Ａ）ベンゾオキサジン化合物のベンゾオキサジン環数と、（Ｃ）フェノール系硬化剤の水酸基数とが下記式（２）を満たし、かつ、　（Ｃ）フェノール系硬化剤の水酸基数に対する、（Ａ）ベンゾオキサジン化合物のベンゾオキサジン環数の比が１．１～８．０である、硬化樹脂用組成物。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004
 ［式（１）中、Ｒはそれぞれ独立して、水素、炭素数１～１２の鎖状アルキル基、炭素数３～８の環状アルキル基、または炭素数６～１４のアリール基を表し、該アリール基は置換基としてハロゲンまたは炭素数１～１２の鎖状アルキル基を有していてもよい。Ｒはそれぞれ独立して、ベンゾオキサジン環のいずれの位置に結合してもよい。前記ベンゾオキサジン環はそれぞれ独立して、ベンゼン環のいずれの位置に結合してもよい。］
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000005
 ［２］　前記（Ｂ）エポキシ化合物が、ノルボルナン構造を少なくとも一つおよびエポキシ基を少なくとも二つ有するエポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、トリスフェノールメタン型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、ノボラック型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物およびシクロヘキセンオキシド基を有するエポキシ化合物からなる群から選択される少なくとも一つである、［１］に記載の硬化樹脂用組成物。
［３］　（Ｄ）硬化促進剤をさらに含有する、［１］または［２］に記載の硬化樹脂用組成物。
［４］　（Ｅ）無機充填剤をさらに含有する、［１］～［３］のいずれか一つに記載の硬化樹脂用組成物。
［５］　［１］～［４］のいずれか一つに記載の硬化樹脂用組成物を硬化させてなる硬化物。
［６］　［１］～［４］のいずれか一つに記載の硬化樹脂用組成物を硬化させてなる硬化物中に半導体素子が設置されている、半導体装置。
［７］　［１］～［４］のいずれか一つに記載の硬化樹脂用組成物の製造方法であって、　（Ａ）式（１）の構造で示されるベンゾオキサジン化合物と、
　（Ｂ）エポキシ化合物と、
　（Ｃ）フェノール系硬化剤と
を混合して混合物を得る工程、
　該混合物を粉体状、ペレット状、または顆粒状の硬化樹脂用組成物に加工する工程
を有する、硬化樹脂用組成物の製造方法。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000006
 ［式（１）中、Ｒはそれぞれ独立して、水素、炭素数１～１２の鎖状アルキル基、炭素数３～８の環状アルキル基、または炭素数６～１４のアリール基を表し、該アリール基は置換基としてハロゲンまたは炭素数１～１２の鎖状アルキル基を有していてもよい。Ｒはそれぞれ独立して、ベンゾオキサジン環のいずれの位置に結合してもよい。前記ベンゾオキサジン環はそれぞれ独立して、ベンゼン環のいずれの位置に結合してもよい。］
［８］　前記（Ｂ）エポキシ化合物が、ノルボルナン構造を少なくとも一つおよびエポキシ基を少なくとも二つ有するエポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、トリスフェノールメタン型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、ノボラック型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、およびシクロヘキセンオキシド基を有するエポキシ化合物からなる群から選択される少なくとも一つである、［７］に記載の製造方法。
［９］　前記混合物を得る工程において、（Ｄ）硬化促進剤および／または（Ｅ）無機充填剤をさらに混合して混合物を得る、［７］または［８］に記載の製造方法。
［１０］　［７］～［９］いずれか一つに記載の方法により製造した前記硬化樹脂用組成物を１５０～３００℃にて２０秒間～４時間加熱して硬化させる工程
を有する、硬化物の製造方法。
　本発明の硬化樹脂用組成物は、成分(Ａ）～（Ｃ）を特定の割合で含有し、さらに所望により成分（Ｄ）、（Ｅ）を含有する新規な硬化樹脂用組成物であり、該組成物は低温硬化性に優れながら、その硬化物はガラス転移温度が高く、耐熱性に優れるという特徴を有している。したがって、本発明の硬化樹脂用組成物は、低温硬化性を要求されながら、耐熱性を必要とされる用途、例えば、接着剤、封止材、塗料、複合材向けマトリックス樹脂等の用途に使用可能である。特に、半導体素子封止材として優れた封止性能を発揮すると共に、半導体装置の高信頼性に寄与することができる。
　また、本発明の硬化物の製造方法によれば、上記優れた性能を有し、上記用途に適用可能な硬化物を短時間で形成することができる。
典型的な示差走査熱量測定（ＤＳＣ）の測定結果における反応ピーク温度を示す図である。
［硬化樹脂用組成物］
　以下、本発明について詳細に説明する。なお、本発明の成分（Ａ）～（Ｃ）における「化合物」とは、各式に示す単量体だけでなく、該単量体が重合したオリゴマー、例えば、少量重合したオリゴマー、すなわち硬化樹脂を形成する前のプレポリマーも含むものとする。したがって、本発明の硬化樹脂用組成物は、硬化性樹脂組成物であってもよい。
（成分Ａ）
　硬化樹脂用組成物を構成する成分（Ａ）は、式（１）の構造で示されるベンゾオキサジン化合物である。なお、上記式（１）のＲはそれぞれ独立して、水素、炭素数１～１２の鎖状アルキル基、炭素数３～８の環状アルキル基、または炭素数６～１４のアリール基を表し、該アリール基は置換基としてハロゲンまたは炭素数１～１２の鎖状アルキル基を有していてもよい。Ｒはそれぞれ独立して、ベンゾオキサジン環のいずれの位置に結合してもよい。前記ベンゾオキサジン環はそれぞれ独立して、ベンゼン環のいずれの位置に結合してもよい。
　式（１）のＲの具体例としては、水素に加え、以下の基を例示できる。
　炭素数１～１２の鎖状アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｔ－ブチル基が挙げられる。
　炭素数３～８の環状アルキル基としては、例えば、シクロペンチル基、シクロヘキシル基が挙げられる。
　炭素数６～１４のアリール基としては、例えば、フェニル基、１－ナフチル基、２－ナフチル基、フェナントリル基、ビフェニル基が挙げられる。
　炭素数６～１４のアリール基は置換されていてもよく、その置換基としては炭素数１～１２の鎖状アルキル基またはハロゲンが挙げられる。炭素数１～１２の鎖状アルキル基もしくはハロゲンで置換された、炭素数６～１４のアリール基としては、例えば、ｏ－トリル基、ｍ－トリル基、ｐ－トリル基、キシリル基、ｏ－エチルフェニル基、ｍ－エチルフェニル基、ｐ－エチルフェニル基、ｏ－ｔ－ブチルフェニル基、ｍ－ｔ－ブチルフェニル基、ｐ－ｔ－ブチルフェニル基、ｏ－クロロフェニル基、ｏ－ブロモフェニル基が挙げられる。
　取り扱い性が良好な点において、Ｒは水素、メチル基、エチル基、プロピル基、フェニル基、およびｐ－トリル基から選択されることが好ましい。
　式（１）のベンゾオキサジン化合物は、対称型ベンゾオキサジン化合物でも非対称型ベンゾオキサジン化合物でもよい。
　ここで、対称型ベンゾオキサジン化合物とは、分子構造上の対称性を有するベンゾオキサジン化合物を意味する。分子構造上の対称性を有するベンゾオキサジン化合物とは、ベンゾオキサジン化合物の分子中央（対称中心）から正反対の等しい距離に同一の原子が存在するベンゾオキサジン化合物を意味する。具体的には、対称性型ベンゾオキサジン化合物とは、上記式（１）において、２つのベンゼン環を連結する酸素原子を中心にＲが同一であり、Ｒのベンゾオキサジン環への結合位置も同一であり、ベンゾオキサジン環のベンゼン環への結合位置も同一であるベンゾオキサジン化合物を意味する。対称型ベンゾオキサジン化合物としては、特に限定されないが、例えば、３－［４－［４－（２，４－ジヒドロ－１，３－ベンゾオキサジン－３－イル）フェノキシ］フェニル］－２，４－ジヒドロ－１，３－ベンゾオキサジン（3-[4-[4-(2,4-dihydro-1,3-benzoxazin-3-yl)phenoxy]phenyl]-2,4-dihydro-1,3-benzoxazine）等が挙げられる。
　一方、非対称型ベンゾオキサジン化合物とは、分子構造上の対称性を有さないベンゾオキサジン化合物を意味する。分子構造上の対称性を有さないベンゾオキサジン化合物とは、ベンゾオキサジン化合物の分子中央（対称中心）から正反対の等しい距離に同一の原子が存在しないベンゾオキサジン化合物を意味する。具体的には、非対称型ベンゾオキサジン化合物とは、上記式（１）において、２つのベンゼン環を連結する酸素原子を中心に、Ｒ、Ｒのベンゾオキサジン環への結合位置、およびベンゾオキサジン環のベンゼン環への結合位置の少なくとも一つが異なるベンゾオキサジン化合物を意味する。
　非対称型ベンゾオキサジン化合物としては、特に限定されないが、例えば、式（１－１）で表されるものが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000007
 ［式（１－１）中のＲは、式（１）中のＲと同義である。］
　非対称型ベンゾオキサジン化合物としては、３－［３－［４－（２Ｈ－１，３－ベンゾオキサジン－３（４Ｈ）－イル）フェノキシ］フェニル］－３，４－ジヒドロ－２Ｈ－１，３－ベンゾオキサジン（3-[3-[4-(2H-1,3-benzoxazin-3(4H)-yl)phenoxy]phenyl]-3,4-dihydro-2H-1,3-Benzoxazine）（以下、３，４'－ＡＰＥ－ＢＯＺともいう）がより好ましい。３，４'－ＡＰＥ－ＢＯＺは特開２０１８－１８４５３３号公報の合成例１の記載に基づいて製造できる。
　さらに、成分（Ａ）は、各々、Ｒ、Ｒのベンゾオキサジン環への結合位置、およびベンゾオキサジン環のベンゼン環への結合位置の少なくとも一つが異なる複数種の式（１）に示す化合物の混合物であってもよい。
　成分（Ａ）ベンゾオキサジン化合物のベンゾオキサジン当量は、反応性良化の観点から、好ましくは５０ｇ／ｅｑ以上６００ｇ／ｅｑ以下であり、より好ましくは８０ｇ／ｅｑ以上４００ｇ／ｅｑ以下である。ここで、成分（Ａ）ベンゾオキサジン化合物のベンゾオキサジン当量とは、成分（Ａ）ベンゾオキサジン化合物におけるベンゾオキサジン環を１官能とした場合の当量をいう。
　成分（Ａ）ベンゾオキサジン化合物のベンゾオキサジン環数（ｍｏｌ）は、成分（Ａ）ベンゾオキサジン化合物のベンゾオキサジン当量から算出される。なお、本発明の組成物が成分（Ａ）として複数種の式（１）のベンゾオキサジン化合物を含有する場合、上記ベンゾオキサジン環数はこれら化合物のベンゾオキサジン当量から計算した環数の合計とする。
（成分Ｂ）
　硬化樹脂用組成物を構成する成分（Ｂ）は、エポキシ化合物である。かかるエポキシ化合物としては、本発明の趣旨を逸脱しない限り特に限定されず、ノルボルナン構造を少なくとも一つおよびエポキシ基を少なくとも二つ有するエポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、トリスフェノールメタン型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、ノボラック型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、およびシクロヘキセンオキシド基を有するエポキシ化合物等が挙げられるが、好ましくは、ノルボルナン構造を少なくとも一つおよびエポキシ基を少なくとも二つ有するエポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、トリスフェノールメタン型エポキシ化合物、シクロヘキセンオキシド基を有するエポキシ化合物である。成分（Ｂ）のエポキシ化合物としては、エポキシ基を少なくとも二つ有するエポキシ化合物であることがより好ましい。本発明の組成物は成分（Ｂ）として複数種のエポキシ化合物を含有していてもよい。上記複数種のエポキシ化合物としては、例えば、ノルボルナン構造を少なくとも一つおよびエポキシ基を少なくとも二つ有するエポキシ化合物と、ビフェニル型エポキシ化合物、トリスフェノールメタン型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、ノボラック型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、およびシクロヘキセンオキシド基を有するエポキシ化合物から選択される少なくとも１つのエポキシ化合物との組み合わせが挙げられる。
　成分（Ｂ）エポキシ化合物のエポキシ当量は、反応性良化の観点から、好ましくは５０ｇ／ｅｑ以上４００ｇ／ｅｑ以下であり、より好ましくは８０ｇ／ｅｑ以上３００ｇ／ｅｑ以下である。
　成分（Ｂ）のエポキシ化合物のエポキシ基数（ｍｏｌ）は、エポキシ当量から算出される。なお、本発明の組成物が成分（Ｂ）として複数種のエポキシ化合物を含有する場合、上記エポキシ基数はこれら化合物のエポキシ基数の合計とする。
（ビフェニル型エポキシ化合物）
　ビフェニル型エポキシ化合物としては、本発明の趣旨を逸脱しない限り特に限定されないが、下記式（３－１）または式（３－２）の構造で示されるエポキシ化合物であることが好ましい。ビフェニル型エポキシ化合物としては、下記式（３－１）の構造で示されるエポキシ化合物および下記式（３－２）の構造で示されるエポキシ化合物のいずれか１種を用いてよいし、２種を混合して用いてもよい。より好ましいビフェニル型エポキシ化合物は、下記式（３－１）の構造で示されるエポキシ化合物とされる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000008
 ［式（３－１）中、Ｒ１は置換基であって、炭素数１～４のアルキル基であり、各々同一であっても異なっていてもよい。ｍは置換基Ｒ１の数であり、０～４の整数である。ｎは平均値であり、１～１０である。］
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000009
 ［式（３－２）中、Ｒ１～Ｒ８は、水素原子、ハロゲン原子、または炭素数１～４のアルキル基であり、各々同一であっても異なっていてもよい。］
　式（３－１）のｍは、好ましくは０～２であり、より好ましくは０である。式（３－１）のｎは、好ましくは１～５であり、より好ましくは２～４である。式（３－１）の置換基Ｒ１における炭素数１～４のアルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、およびブチル基等が挙げられる。置換基Ｒ１としては、メチル基、エチル基が好ましい。さらに、ビフェニル型エポキシ化合物は、各々Ｒ１、ｍ、ｎが異なる式（３－１）に示す化合物の混合物であってもよい。
　式（３－２）のＲ１～Ｒ８における炭素数１～４のアルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、およびブチル基等が挙げられる。Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、またはＲ８としては、水素原子またはメチル基が好ましい。さらに、ビフェニル型エポキシ化合物は、各々Ｒ１～Ｒ８が異なる式（３－２）に示す化合物の混合物であってもよい。
　本発明の別の好ましい実施態様によれば、本発明で用いられるビフェニル型エポキシ化合物は、式（３－２）におけるＲ１、Ｒ２、Ｒ３およびＲ４が炭素数１～４のアルキル基であり、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、およびＲ８が水素原子である。本発明の別のさらに好ましい実施態様によれば、本発明で用いられるビフェニル型エポキシ化合物は、式（３－２）におけるＲ１、Ｒ２、Ｒ３およびＲ４がメチル基であり、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、およびＲ８が水素原子である。
　ビフェニル型エポキシ化合物としては市販品を使用することもできる。式（３－１）の構造で示されるエポキシ化合物の市販品としては、ＮＣ３０００（商品名、日本化薬株式会社、エポキシ当量２６５～２８５ｇ／ｅｑ）、ＮＣ３０００－Ｌ（商品名、日本化薬株式会社、エポキシ当量２６１～２８２ｇ／ｅｑ）、ＮＣ３０００－Ｈ（商品名、日本化薬株式会社、エポキシ当量２８０～３００ｇ／ｅｑ）、ＮＣ３０００－ＦＨ－７５Ｍ（商品名、日本化薬株式会社、エポキシ当量３１０～３４０ｇ／ｅｑ）、ＮＣ３１００（商品名、日本化薬品式会社、エポキシ当量２４５～２７０ｇ／ｅｑ）等が挙げられる。式（３－２）の構造で示されるエポキシ化合物の市販品としては、ＹＸ４０００（商品名、三菱化学株式会社、エポキシ当量１８０～１９２ｇ／ｅｑ）、ＹＸ４０００Ｈ（商品名、三菱化学株式会社、エポキシ当量１８７～１９７ｇ／ｅｑ）、ＹＬ６１２１Ｈ（商品名、三菱化学株式会社、エポキシ当量１７０～１８０ｇ／ｅｑ）等が挙げられる。これらを１種または２種以上組み合わせて使用してもよい。
（ノルボルナン構造を少なくとも一つ、およびエポキシ基を少なくとも二つ有するエポキシ化合物）
　ノルボルナン構造を少なくとも一つ、およびエポキシ基を少なくとも二つ有するエポキシ化合物としては、脂環式エポキシ化合物が好ましく、下記式（４）に示す、５員環、６員環またはノルボルナン環に結合したエポキシ構造を有することがより好ましい。これらを１種または２種以上組み合わせて使用してもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000010
　具体的な脂環式エポキシ化合物としては、下記式（５）で表される化合物を例示することができる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000011
　成分（Ｂ）の脂環式エポキシ化合物の製造例を説明する。
　下記式（５－１）の化合物（エポキシ当量：１０９ｇ／ｅｑ）は、例えば、ブタジエンとジシクロペンタジエンとのディールズアルダー反応により、下記ノルボルナン構造を有する化合物（ａ）を合成し、次に、下記式（６）に示すように化合物（ａ）とメタクロロ過安息香酸とを反応させることによって製造できる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000012
　下記式（５－２）の化合物（エポキシ当量：１１５ｇ／ｅｑ）は、例えば、シクロペンタジエンとジシクロペンタジエンとのディールズアルダー反応により、下記ノルボルナン構造を有する化合物（ｂ）（トリシクロペンタジエン）を合成し、次に、下記式（７）に示すように化合物（ｂ）とメタクロロ過安息香酸とを反応させることによって製造できる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000013
　下記式（５－３）の化合物（エポキシ当量：１０９ｇ／ｅｑ）は、例えば、ブタジエンとシクロペンタジエンとのディールズアルダー反応により、下記ノルボルナン構造を有する化合物（ｃ）を合成し、次に、下記式（８）に示すように化合物（ｃ）とメタクロロ過安息香酸とを反応させることによって製造できる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000014
　下記式（５－４）の化合物（エポキシ当量：８２．１ｇ／ｅｑ）は、例えば、ジシクロペンタジエンとペルオキシ一硫酸カリウム（オキソン）とを反応させることによって製造できる。式（５－４）の化合物であるジシクロペンタジエンジエポキシドは、市販品であってもよく、市販品としてはSHANDONG QIHUAN BIOCHEMICAL CO., LTD.製のジシクロペンタジエンジエポキシドを例示できる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000015
（トリスフェノールメタン型エポキシ化合物）
　トリスフェノールメタン型エポキシ化合物としては、本発明の趣旨を逸脱しない限り特に限定されないが、下記式（９）の構造で示されるエポキシ化合物であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000016
 ［式（９）中、Ｒは置換基であり、それぞれ独立して、炭素数１～６のアルキル基、アリル基、またはフェニル基を示す。ｍは置換基Ｒの数であり、０～３の整数をそれぞれ表す。ｎは平均値であり、０≦ｎ≦１０である。］
　式（９）のｍは、好ましくは０～２であり、より好ましくは０である。式（９）のｎは、好ましくは０以上５以下である。式（９）の置換基Ｒにおける炭素数１～６のアルキル基としては、例えばメチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、およびシクロヘキシル基などが挙げられる。置換基Ｒとしては、メチル基が好ましい。さらに、トリスフェノールメタン型エポキシ化合物は、各々Ｒ、ｍ、ｎが異なる式（９）に示す化合物の混合物であってもよい。
　トリスフェノールメタン型エポキシ化合物としては市販品を使用することもできる。市販品としては、ＥＰＰＮ－５０１Ｈ（商品名、日本化薬株式会社製、エポキシ当量１６２～１７２ｇ／ｅｑ、軟化点５１～５７℃）、ＥＰＰＮ－５０１ＨＹ（商品名、日本化薬株式会社製、エポキシ当量１６３～１７５ｇ／ｅｑ、軟化点５７～６３℃）、ＥＰＰＮ－５０２Ｈ（商品名、日本化薬株式会社製、エポキシ当量１５８～１７８ｇ／ｅｑ、軟化点６０～７２℃）、ＥＰＰＮ－５０３（商品名、日本化薬株式会社製、エポキシ当量１７０～１９０ｇ／ｅｑ、軟化点８０～１００℃）等を例示できる。これらを１種または２種以上組み合わせて使用してもよい。
（ナフタレン型エポキシ化合物）
　ナフタレン型エポキシ化合物としては、本発明の趣旨を逸脱しない限り特に限定されないが、ナフチレンエーテル型エポキシ化合物、ビナフタレン型エポキシ化合物、ナフトール型エポキシ化合物等が挙げられ、好ましくは、ナフチレンエーテル型エポキシ化合物、ビナフタレン型エポキシ化合物である。
（ナフチレンエーテル型エポキシ化合物）
　ナフチレンエーテル型エポキシ化合物としては、本発明の趣旨を逸脱しない限り特に限定されないが、下記式（１０）の構造で示されるエポキシ化合物であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000017
 ［式（１０）中、ｎは１以上２０以下の整数であり、ｌは０～２の整数であり、Ｒ１は置換基であって、それぞれ独立にベンジル基、アルキル基または式（１０ａ）で表される構造であり、Ｒ２はそれぞれ独立に水素原子またはメチル基である。］
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000018
 ［式（１０ａ）中、Ａｒはそれぞれ独立にフェニレン基またはナフチレン基であり、Ｒ２はそれぞれ独立に水素原子またはメチル基であり、ｍは１または２の整数である。］
　さらに、ナフチレンエーテル型エポキシ化合物は、各々Ｒ１、Ｒ２、ｌ、ｎが異なる式（１０）に示す化合物の混合物であってもよい。
　上記一般式（１０）で表されるナフチレンエーテル型エポキシ化合物としては、式（１０－１）で表されるものが例として挙げられる。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000019
 （式（１０－１）において、ｎは１以上２０以下の整数であり、好ましくは１以上１０以下の整数であり、より好ましくは１以上８以下の整数である。Ｒは置換基であって、それぞれ独立にベンジル基、アルキル基、または下記一般式（１０ａ－１）で表される構造であるか存在せず、好ましくは置換基Ｒは存在しない。）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000020
 （上記一般式（１０ａ－１）式において、ｍは１または２の整数である。）
　式（１０－１）で表されるナフチレンエーテル型エポキシ化合物は、例えば、式（１０－２）～（１０－６）で表されるものが挙げられる。これらを１種または２種以上組み合わせて使用してもよい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000021
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000022
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000023
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000024
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000025
　ナフチレンエーテル型エポキシ化合物としては市販品を使用することもできる。ナフチレンエーテル型エポキシ化合物の市販品としては、ＨＰ－６０００（商品名、ＤＩＣ株式会社、エポキシ当量２３５～２５５ｇ／ｅｑ）、ＥＸＡ－７３１０（商品名、ＤＩＣ株式会社、エポキシ当量２３７～２５７ｇ／ｅｑ）、ＥＸＡ－７３１１（商品名、ＤＩＣ株式会社、エポキシ当量２６７～２８７ｇ／ｅｑ）、ＥＸＡ－７３１１Ｌ（商品名、ＤＩＣ株式会社、エポキシ当量２５２～２７２ｇ／ｅｑ）、ＥＸＡ－７３１１－Ｇ３（商品名、ＤＩＣ株式会社、エポキシ当量２４０～２６０ｇ／ｅｑ）等が挙げられる。これらを１種または２種以上組み合わせて使用してもよい。
（ビナフタレン型エポキシ化合物）
　ビナフタレン型エポキシ化合物としては、本発明の趣旨を逸脱せず、上記ナフチレンエーテル型エポキシ化合物を含まない限り特に限定されないが、下記式（１１）の構造で示されるエポキシ化合物であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000026
 ［式（１１）中、Ｘは、炭素数が１～８のアルキレン基を表す。Ｒ１～Ｒ４は、下記の式（１１ａ）で示される基、水素原子、ハロゲン原子、フェニル基、炭素数１～４のアルキル基のいずれかを表す。Ｒ１～Ｒ４は、ナフタレン骨格のいずれの環に付加してもよく両リングに同時に付加してもよい。Ｒ１～Ｒ４のうち、平均して少なくとも２つ以上が下記の一般式（１１ａ）で示される基を含む必要があり、それ以外のＲは、それぞれ互いに同一であっても異なっていてもよい。］
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000027
 　さらに、ビナフタレン型エポキシ化合物は、各々Ｒ１～Ｒ４、Ｘが異なる式（１１）に示す化合物の混合物であってもよい。
　ビナフタレン型エポキシ化合物としては、２官能以上のビナフタレン型エポキシ化合物が挙げられ、好ましくは、２官能、３官能または４官能のビナフタレン型エポキシ化合物、より好ましくは下記式（１１－１）に示す２官能のビナフタレン型エポキシ化合物である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000028
　ビナフタレン型エポキシ化合物としては市販品を使用することもできる。２官能ビナフタレン型エポキシ化合物の市販品としては、ＨＰ－４７７０（商品名、ＤＩＣ株式会社、エポキシ当量２００～２１０ｇ／ｅｑ）等が挙げられる。３官能ビナフタレン型エポキシ化合物の市販品としては、ＥＸＡ－４７５０（商品名、ＤＩＣ株式会社、エポキシ当量１８５ｇ／ｅｑ）等が挙げられる。４官能ビナフタレン型エポキシ化合物の市販品としては、ＨＰ－４７１０（商品名、ＤＩＣ株式会社、エポキシ当量１６０～１８０ｇ／ｅｑ）、ＨＰ－４７００（商品名、ＤＩＣ株式会社、エポキシ当量１６０～１７０ｇ／ｅｑ）等が挙げられる。これらを１種または２種以上組み合わせて使用してもよい。
（シクロヘキセンオキシド基を有するエポキシ化合物）
　シクロヘキセンオキシド基を有するエポキシ化合物としては、本発明の趣旨を逸脱せず、上記ノルボルナン構造を含まない限り特に限定されないが、下記式（１３）の構造で示されるエポキシ化合物であることが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000029
 ［式（１３）中、Ｒ１～Ｒ１８は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、または炭化水素基を表し、該炭化水素基は酸素原子またはハロゲン原子を含んでいてもよい。Ｘは単結合または二価の有機基である。］
　式（１３）中のＲ１～Ｒ１８は、それぞれ独立して、水素原子、ハロゲン原子、または炭化水素基を表し、該炭化水素基は酸素原子またはハロゲン原子を含んでいてもよいものであり、好ましくは、水素原子、炭化水素基からなる群から選択され、より好ましくは、水素原子である。
　式（１３）中のＲ１～Ｒ１８におけるハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子等を挙げることができる。
　式（１３）中のＲ１～Ｒ１８における炭化水素基としては、脂肪族炭化水素基等が挙げられる。脂肪族炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｓ－ブチル基、ｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、デシル基、ドデシル基等の炭素数１～２０（好ましくは１～１０、より好ましくは１～３）程度のアルキル基；ビニル基、アリル基、メタリル基、１－プロペニル基、イソプロペニル基、１－ブテニル基、２－ブテニル基、３－ブテニル基、１－ペンテニル基、２－ペンテニル基、３－ペンテニル基、４－ペンテニル基、５－ヘキセニル基等の炭素数２～２０（好ましくは２～１０、より好ましくは２～３）程度のアルケニル基；エチニル基、プロピニル基等の炭素数２～２０（好ましくは２～１０、より好ましくは２～３）程度のアルキニル基等を挙げることができる。
　式（１３）中のＲ１～Ｒ１８における、酸素原子またはハロゲン原子を含んでいてもよい炭化水素基としては、上述の炭化水素基における少なくとも１つの水素原子が、酸素原子を有する基またはハロゲン原子で置換された基等を挙げることができる。上記酸素原子を有する基としては、例えば、メトキシ、エトキシ、プロポキシ、イソプロピルオキシ、ブトキシ、イソブチルオキシ基等のＣ１－１０アルコキシ基等を挙げることができる。
　上記式（１３）中、Ｘは単結合または二価の有機基を示す。前記二価の有機基としては、例えば、二価の炭化水素基、炭素－炭素二重結合の一部または全部がエポキシ化されたアルケニレン基、カルボニル基（－ＣＯ－）、エーテル結合（－Ｏ－）、エステル結合（－ＣＯＯ－）、カーボネート基（－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－）、アミド基（－ＣＯＮＨ－）、－ＣＯ－Ｏ－ＣＨ２－およびこれらが複数個連接した基等を挙げることができる。
　シクロヘキセンオキシド基を有するエポキシ化合物としては、例えば、（３，４，３’，４’－ジエポキシ）ビシクロヘキシル、ビス（３，４－エポキシシクロヘキシルメチル）エーテル、２，２－ビス（３，４－エポキシシクロヘキサン－１－イル）プロパン、１，２－ビス（３，４－エポキシシクロヘキサン－１－イル）エタン等を挙げることができる。
　シクロヘキセンオキシド基を有するエポキシ化合物としては市販品を使用することもできる。シクロヘキセンオキシド基を有するエポキシ化合物としては、セロキサイド２０２１Ｐ（商品名、株式会社ダイセル、エポキシ当量１２８～１４５ｇ／ｅｑ）、セロキサイド８０１０（商品名、株式会社ダイセル、エポキシ当量９５～１０５ｇ／ｅｑ）等が挙げられる。これらを１種または２種以上組み合わせて使用してもよい。
　成分（Ａ）ベンゾオキサジン化合物と成分（Ｂ）エポキシ化合物との配合割合は、成分（Ａ）１００質量部に対して、成分（Ｂ）が１０質量部以上、３００質量部以下が好ましく、４０質量部以上、２００質量部以下がより好ましい。成分（Ａ）と（Ｂ）との配合割合が上記範囲内にあると、より優れた耐熱性を得ることができる。
　なお、本発明の組成物が成分（Ａ）として複数種のベンゾオキサジン化合物を含有する場合、これら化合物の合計を１００質量部とみなす。本発明の組成物が成分（Ｂ）として複数種のエポキシ化合物を含有する場合、上記成分（Ｂ）は複数種の化合物の合計を意味する。
（成分Ｃ）
　硬化樹脂用組成物を構成する成分（Ｃ）はフェノール系硬化剤である。
　成分（Ｃ）としては、本発明の趣旨を逸脱しない限り特に限定されないが、例えば、単官能フェノール、多官能フェノール化合物（例えば、ビスフェノールＡ、ビスフェノールＦ、ジヒドロキシナフタレン、ビスフェノールスルフィド（例えば、ビス（４－ヒドロキシフェニル）スルフィド等）、ポリフェノール化合物（例えば、ピロガロール等）等）、フェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂（例えば、ビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル樹脂、フェニレン骨格を有するフェノールアラルキル樹脂）等が挙げられ、好ましくは、ビスフェノールＦ、ビスフェノールスルフィドである。これらは、単独で使用してもよく、２種類以上の混合物として使用してもよい。
　成分（Ｃ）のフェノール系硬化剤としては市販品を使用することもできる。例えば、ビスフェノールＦ（本州化学工業株式会社製、水酸基当量１００ｇ／ｅｑ）、ビス（４－ヒドロキシフェニル）スルフィド（ＴＤＰ、東京化成工業株式会社製、水酸基当量１０９ｇ／ｅｑ）、２，７－ジヒドロキシナフタレン（東京化成工業株式会社製、水酸基当量８０ｇ／ｅｑ）、ピロガロール（東京化成工業株式会社製、水酸基当量４２ｇ／ｅｑ）、フェノールノボラック樹脂（例えば、フェライトＴＤ－２１０６、ＤＩＣ株式会社、水酸基当量１０４ｇ／ｅｑ；フェライトＴＤ－２０９０、ＤＩＣ株式会社、水酸基当量１０５ｇ／ｅｑ）、フェノールアラルキル樹脂（例えば、ＭＥＨＣ－７８５１ＳＳ、水酸基当量２０３ｇ／ｅｑ、明和化成株式会社製；ＭＥＨ－７８００－４Ｓ、水酸基当量１６９ｇ／ｅｑ、明和化成株式会社製）等が挙げられる。これらを１種または２種以上組み合わせて使用してもよい。
　成分（Ｃ）の配合割合としては、成分（Ａ）および（Ｂ）の合計１００質量部に対して、成分（Ｃ）を１質量部以上、３０質量部以下の範囲とすることが好ましく、２質量部以上、２５質量部以下がより好ましい。成分（Ｃ）をこの範囲で含有することにより、より優れた高耐熱性の硬化物を得ることができる。
　成分（Ｃ）フェノール系硬化剤の水酸基当量は、反応性良化の観点から、好ましくは３０ｇ／ｅｑ以上４００ｇ／ｅｑ以下であり、より好ましくは４０ｇ／ｅｑ以上２５０ｇ／ｅｑ以下である。
　成分（Ｃ）のフェノール系硬化剤の水酸基数（ｍｏｌ）は、水酸基当量から算出される。なお、本発明の組成物が成分（Ｃ）として複数種のフェノール系硬化剤を含有する場合、上記水酸基数はこれら硬化剤の水酸基数の合計とする。
　本発明において、硬化樹脂用組成物中の成分（Ｂ）エポキシ化合物のエポキシ基数、成分（Ａ）ベンゾオキサジン化合物のベンゾオキサジン環数、および成分（Ｃ）フェノール系硬化剤の水酸基数の官能基数の比が下記式（２）を満たすことが好ましい。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000030
 　上記式（２）における官能基数の比は、より好ましくは０．７～１．８であり、さらに好ましくは０．８～１．５であり、さらに好ましくは０．９～１．４である。式（２）の各成分の官能基数の比が当該範囲内にあると、低温硬化性がより優れた硬化樹脂用組成物、および、より優れた耐熱性を有する硬化物を得ることができる。
　また、本発明において、硬化樹脂用組成物中の成分（Ｃ）フェノール系硬化剤の水酸基数に対する、成分（Ａ）ベンゾオキサジン化合物のベンゾオキサジン環数の比（ベンゾオキサジン環数／水酸基数）が１．１～８．０であることが好ましい。
　ここで、上記官能基数の比（ベンゾオキサジン環数／水酸基数）は、より好ましくは１．１～７．８であり、さらに好ましくは２．０～４．６である。上記官能基数の比が当該範囲内にあると、低温硬化性がより優れた硬化樹脂用組成物、および、より優れた耐熱性を有する硬化物を得ることができる。
（成分Ｄ）
　本発明の硬化樹脂用組成物は、所望により（Ｄ）硬化促進剤をさらに含有してもよい。　硬化促進剤としては、公知の硬化促進剤を使用することができ、トリブチルアミン、１，８－ジアザビシクロ（５，４，０）ウンデセン－７等のアミン系化合物、２－メチルイミダゾール、２－エチルイミダゾール、１，２－ジメチルイミダゾール等のイミダゾール系化合物、トリフェニルホスフィン等の共有結合のみでリンが結合している有機リン化合物、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、ビス（テトラブチルホスホニウム）（ＢＴＢＰ）－ピロメリット酸、テトラブチルホスホニウム２，６－ビス［（２－ヒドロキシ－５－メチルフェニル）メチル］－４－メチルフェノラート（ＴＢＰ－３ＰＣ）等の共有結合およびイオン結合でリンが結合している塩タイプの有機リン化合物等の有機リン化合物等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。また、上記した硬化促進剤は単独で使用してもよく、２種以上を併用して使用してもよい。これらのうち、トリフェニルホスフィン、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラブチルホスホニウム２，６－ビス［（２－ヒドロキシ－５－メチルフェニル）メチル］－４－メチルフェノラート等の有機リン化合物が、硬化速度向上の効果が大きく、好ましい。
　上記有機リン化合物は、特開昭５５－１５７５９４号公報に記載されているように、エポキシ基とフェノール性水酸基との架橋反応を促進する機能を発揮するものが好ましい。さらに、上記有機リン化合物は、（Ａ）ベンゾオキサジン化合物が高温で開裂反応した際に発生する水酸基とエポキシ基との反応を促進する機能も発揮することが好ましい。
　成分（Ｄ）の配合割合としては、成分（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）の合計１００質量部に対して、成分（Ｄ）を０．０１質量部以上、１０質量部以下の範囲とすることが好ましく、０．１質量部以上、５質量部以下の範囲とすることがより好ましい。成分（Ｄ）をこの範囲で含有することにより、より優れた速硬化性を有する硬化樹脂用組成物とすることができる。
（成分Ｅ）
　本発明の硬化樹脂用組成物は、所望により（Ｅ）無機充填剤をさらに含有してもよい。例えば、半導体素子等の封止材用途に本発明の硬化樹脂用組成物を使用する場合は、成分（Ｅ）を含有することが好ましい。本発明で用いる無機充填剤は特に限定されず、硬化樹脂用組成物あるいはその硬化物の用途あるいは付与したい性状を考慮して選択することができる。以下、この無機充填剤を成分（Ｅ）と称する。
　成分（Ｅ）の例としては、シリカ、アルミナ、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化マグネシウム、酸化セリウム、酸化イットリウム、酸化カルシウム、三酸化アンチモン、酸化亜鉛、酸化鉄等の酸化物；炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウム、炭酸ストロンチウム等の炭酸塩；硫酸バリウム、硫酸アルミニウム、硫酸カルシウム等の硫酸塩；窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化チタン、窒化ホウ素、窒化マンガン等の窒化物；ケイ酸カルシウム、ケイ酸マグネシウム、ケイ酸アルミニウム等のケイ素化合物；ホウ酸アルミニウム等のホウ素化合物；ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム等のジルコニウム化合物；リン酸ジルコニウム、リン酸マグネシウム等のリン化合物；チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、チタン酸バリウム、チタン酸カリウム等のチタン化合物；マイカ、タルク、カオリン、カオリンクレー、カオリナイト、ハロイサイト、コーディエライト、パイロフィライト、モンモリロナイト、セリサイト、アメサイト、ベントナイト、アスベスト、ウォラストナイト、セピオライト、ゾノライト、ゼオライト、ハイドロタルサイト、水和石膏、ミョウバン、ケイ藻土、ベーマイト等の鉱物類；フライアッシュ、脱水汚泥、ガラスビーズ、ガラスファイバー、ケイ砂、マグネシウムオキシサルフェイト、シリコン酸化物、シリコンカーバイド等；銅、鉄、コバルト、ニッケル等の金属あるいはそのいずれかを含む合金；センダスト、アルニコ磁石、フェライト等の磁性材料；黒鉛、コークス等が挙げられる。成分（Ｅ）は、好ましくはシリカまたはアルミナである。シリカの例としては、溶融シリカ、球状シリカ、結晶シリカ、無定形シリカ、合成シリカ、中空シリカ等が挙げられ、好ましくは球状シリカ、結晶シリカである。成分（Ｅ）は１種単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
　成分（Ｅ）は粒状であってもよく、その場合の平均粒径は、特に限定されないが、例えば、０．０１μｍ以上、１５０μｍ以下が挙げられ、好ましくは、０．１μｍ以上、１２０μｍ以下、より好ましくは、０．５μｍ以上、７５μｍ以下である。この範囲であれば、例えば、本発明の組成物を半導体素子の封止材用途に使用する場合、金型キャビティへの充填性がより良好となる。成分（Ｅ）の平均粒径はレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的にはレーザー回折式粒度分布測定装置により、無機充填剤の粒度分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填剤を超音波により水中に分散させたものを好ましく使用することができる。レーザー回折式粒度分布測定装置としては、（株）堀場製作所製「ＬＡ－５００」、「ＬＡ－７５０」、「ＬＡ－９５０」、「ＬＡ－９６０」等を使用することができる。
　成分（Ｅ）の配合割合としては、硬化樹脂用組成物の高耐熱性の硬化物が得られる限り、特に限定されず、用途に応じて適宜設定できる。例えば、組成物を半導体封止用途に使用する場合は以下に示す配合割合が好ましい。
　成分（Ｅ）の配合割合の下限値は、成分（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）および（Ｄ）の合計１００質量部に対して、例えば１５０質量部以上が挙げられ、４００質量部以上が好ましく、５００質量部以上がより好ましい。また、成分（Ｅ）の配合割合の上限値は、１３００質量部以下が挙げられ、１１５０質量部以下が好ましく、９５０質量部以下がより好ましい。成分（Ｅ）の配合割合の下限値が４００質量部以上であれば、硬化樹脂用組成物の硬化に伴う吸湿量の増加や強度の低下をより抑制でき、したがってより良好な耐半田クラック性を有する硬化物を得ることができる。また、成分（Ｅ）の配合割合の上限値が１３００質量部以下であれば、硬化樹脂用組成物の流動性がより良くなり、金型への充填がしやすく、硬化物がより良好な封止性能を発揮する。
（その他の成分）
　本発明の組成物は、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、成分（Ａ）以外のベンゾオキサジン化合物を含有していてもよい。例えば、組成物の粘度を低下させたい場合、ベンゾオキサジン環が１つである単官能ベンゾオキサジン化合物を組成物に添加してもよい。
　また、本発明の硬化樹脂用組成物には、その性能を損なわない範囲で、例えば、ナノカーボンや難燃剤、離型剤、着色剤、低応力添加剤、金属水酸化物等を配合することができる。
　ナノカーボンとしては、例えば、カーボンナノチューブ、フラーレンまたはそれぞれの誘導体が挙げられる。
　難燃剤としては、例えば、赤燐、トリフェニルホスフェート、トリクレジルホスフェート、トリキシレニルホスフェート、クレジルジフェニルホスフェート、キシレニルジフェニルホスフェート、レゾルシノールビスフェニルホスフェート、ビスフェノールＡビスジフェニルホスフェート等のリン酸エステルや、ホウ酸エステル、フォスファゼン等が挙げられる。
　離型剤としては、例えば、ステアリン酸エステル、カルナバワックス等の天然ワックス、酸化ポリエチレンワックス等の合成ワックス、ステアリン酸等の高級脂肪酸またはそのエステル、ステアリン酸亜鉛等の金属塩類、パラフィン、およびシリコーンオイル等が挙げられる。
　着色剤としては、カーボンブラック、ベンガラ、および酸化チタン等が挙げられる。
　低応力添加剤としては、シリコーンオイル、およびシリコーンゴム等が挙げられる。
　金属水酸化物としては、水酸化カルシウム、水酸化アルミニウム、および水酸化マグネシウム等の水酸化物が挙げられる。
　成分（Ｅ）無機充填剤が含まれる場合、シランカップリング剤を配合しても良い。
　その他の成分の配合割合としては、成分（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）の合計１００質量部に対して、その他の成分を０．０１質量部以上、１０質量部以下の範囲とすることが好ましく、０．１質量部以上、７質量部以下の範囲とすることがより好ましい。
（硬化樹脂用組成物の特性）
　本発明の硬化樹脂用組成物の硬化性能は、示差走査熱量測定（ＤＳＣ）による熱物性（反応ピーク温度）として測定することができる。具体的には、示差走査熱量測計を用いて、昇温速度を１０℃／ｍｉｎで３０℃から３００℃の温度範囲条件にて、測定することができる。グラフの最高点を反応ピーク温度とする。反応ピーク温度は、反応性の観点から、好ましくは２５５℃以下であり、より好ましくは２４５℃以下である。
［硬化樹脂用組成物の製造方法］
　次に、本発明の硬化樹脂用組成物の製造方法について説明する。
　成分（Ａ）～（Ｃ）、さらに、所望により成分（Ｄ）、（Ｅ）、その他の成分、および溶剤を適宜追加して混練または混合することにより、本発明の硬化樹脂用組成物を製造することができる。
　混練または混合方法は、特に限定されず、例えば、プラネタリーミキサー、２軸押出機、熱ロールまたはニーダー等の混合装置または混練機等を用いて混合することができる。また、成分（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）が室温で高粘度の液状または固体状である場合、または成分（Ｅ）を含有する場合等には、必要に応じて加熱して混練したり、さらに、加圧または減圧条件下で混練したりしても良い。加熱温度としては８０～１２０℃が好ましい。　成分（Ｅ）を含む硬化樹脂用組成物は室温下では固体状であるので、加熱混練後、冷却、粉砕して粉体状としてもよく、該粉体を打錠成形してペレット状にしてもよい。また、粉体を造粒して顆粒状にしてもよい。
　本発明の硬化樹脂用組成物が成分（Ｅ）を含有せず、ＦＲＰ用プリプレグ用途等に使用する場合、硬化樹脂用組成物は５０℃において、１０～３０００Ｐａ・ｓの粘度を有することが好ましい。より好ましくは１０～２５００Ｐａ・ｓ、さらに好ましくは１００～２０００Ｐａ・ｓである。封止材、塗布用途に使用する場合は、封止、塗布等の作業に支障がない限り粘度は特に限定されない。
［硬化物］
　本発明の硬化樹脂用組成物の硬化物は、ガラス転移温度が高く、耐熱性に優れるという特徴を有している。本発明の硬化樹脂用組成物がこのような優れた硬化物を形成する理由としては、次のようなことが考えられる。
　まず、ベンゾオキサジンの単独重合では、重合によりフェノール性の水酸基が生成する。このフェノール性の水酸基は、高温、例えば２００℃以上にて、ケトエノ－ル互変異性体を経由し、それによって高分子鎖が切断されるため、耐熱性が低く、ガラス転移温度も低くなると考えられている。
　それに対し、本発明の硬化樹脂用組成物は、式（１）の構造で示されるベンゾオキサジン化合物とエポキシ化合物とを併用することで、低温でも極めて硬化速度が速く、密な架橋構造を形成するため、低温硬化性に優れるものになると考えられる。
（硬化物の特性）
　本発明の硬化物の耐熱性は、ガラス転移温度を測定することにより評価できる。ガラス転移温度は、２１０℃以上が挙げられ、好ましくは２２０℃以上とされる。また、硬化樹脂用組成物が成分（Ｅ）を含有する場合には、ガラス転移温度は、２１５℃以上が挙げられ、好ましくは２３０℃以上とされる。ガラス転移温度は、示差走査熱量測定（ＤＳＣ）により測定することができる。このような測定は、市販の示差走査熱量計（例えば株式会社日立ハイテクサイエンス製）を用いることにより、簡便に行うことができる。
［硬化物の製造方法］
　本発明の硬化物は、公知のベンゾオキサジン化合物および／またはエポキシ化合物と同様の硬化条件にて、開環重合を行い硬化することにより製造することができる。例えば、以下の方法を挙げることができる。
　まず、本発明の硬化樹脂用組成物を上記方法によって製造する。続いて、得られた硬化樹脂用組成物を、例えば１５０～３００℃にて、硬化時間として例えば２０秒間～５時間、好ましくは２０秒間～１時間加熱することで、硬化物を得ることができる。硬化物を連続生産する場合には、硬化時間は１～３分間で十分であるが、より高い強度を得るために後硬化としてさらに５分間～５時間程度加熱することが好ましい。
　また、本発明の趣旨を逸脱しないない範囲で、成分（Ａ）以外のベンゾオキサジン化合物および／または成分（Ｂ）以外のエポキシ化合物を配合して硬化物を得ることもできる。
　硬化物としてフィルム状成形物を得る場合には、さらに溶剤を配合して、薄膜形成に好適な溶液粘度を有する組成物とすることもできる。成分（Ａ）～（Ｄ）を溶解できる溶剤であれば特に限定されず、例えば、炭化水素類、エーテル類、エステル類、含ハロゲン類等が挙げられる。
　このように、溶媒に溶解した溶液状の硬化樹脂用組成物の場合は、該溶液状の硬化樹脂用組成物を基材等に塗布後、溶媒を揮発させたのち、熱硬化を行うことで硬化物を得ることができる。
［半導体装置］
　本発明の半導体装置は、成分（Ａ）～（Ｃ）、所望により（Ｄ）、（Ｅ）、その他の成分を含有する本発明の硬化樹脂用組成物を硬化させてなる硬化物中に半導体素子が設置されている半導体装置である。ここで、通常、半導体素子は金属素材の薄板であるリードフレームにより支持固定されている。「硬化物中に半導体素子が設置されている」とは、半導体素子が上記硬化樹脂用組成物の硬化物で封止されていることを意味し、半導体素子が該硬化物で被覆されている状態を表す。この場合、半導体素子全体が被覆されていてもよく、基板上に設置された半導体素子の表面が被覆されていてもよい。
　本発明の硬化物を用いて、半導体素子等の各種の電子部品を封止し、半導体装置を製造する場合は、トランスファーモールド、コンプレッションモールド、あるいはインジェクションモールド等の従来からの成形方法により封止工程を実施することによって、半導体装置を製造することができる。
　以下に実施例および比較例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。
＜成分（Ａ）：多官能ベンゾオキサジン化合物＞
　成分（Ａ）として下記（Ａ１）を使用した。
（Ａ１）：下記式（１－１－１）に示すベンゾオキサジン（３－［３－［４－（２Ｈ－１，３－ベンゾオキサジン－３（４Ｈ）－イル）フェノキシ］フェニル］－３，４－ジヒドロ－２Ｈ－１，３－ベンゾオキサジン）（３，４'－ＡＰＥ－ＢＯＺ）（ベンゾオキサジン当量（ｇ／ｅｑ）：２１８、本州化学工業株式会社、開発品）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000031
　比較例用のエポキシ化合物として下記（ＣＡ１）を使用した。
（ＣＡ１）：下記式に示すフェノール－ジアミノジフェニルメタン（Ｐ－ｄ）型ベンゾオキサジン（四国化成株式会社製）（ベンゾオキサジン当量（ｇ／ｅｑ）：２１７）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000032
＜成分（Ｂ）；エポキシ化合物＞
　成分（Ｂ）として下記（Ｂ１）～（Ｂ９）を使用した。
（Ｂ１）エポキシ化合物１：式（５－１）の化合物
　上記式（６）に示す化合物（ａ）を、『土田詔一ら、「ブタジエンとシクロペンタジエンとのＤｉｅｌｓ－Ａｌｄｅｒ反応－三量体の決定－」、石油学会誌、１９７２年、第１５巻、３号、ｐ１８９－１９２』に記載の方法に準拠して合成した。
　次に、上記式（６）の反応を次のようにして行った。反応容器に、クロロホルム２３．５ｋｇおよび化合物（ａ）１．６ｋｇを投入し、０℃で攪拌しながらメタクロロ過安息香酸４．５ｋｇを滴下した。室温まで昇温し、１２時間反応を行った。
　次に、ろ過により副生したメタクロロ安息香酸を除去した後、ろ液を１Ｎ水酸化ナトリウム水溶液で３回洗浄後、飽和食塩水で洗浄した。有機層を硫酸マグネシウムで乾燥後、ろ過により硫酸マグネシウムを除去してろ液を濃縮し、粗体を得た。
　粗体にトルエン２ｋｇを加え、室温で溶解した。これにヘプタン６ｋｇを滴下して晶析し、５℃で１時間熟成した。晶析物をろ取してヘキサンにより洗浄した。３５℃下、２４時間減圧乾燥することによって、下記式（５－１）に示す化合物を白色固体として１．４ｋｇ得た。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000033
（Ｂ２）エポキシ化合物２：式（５－４）の化合物（ジシクロペンタジエンジエポキシド）
　反応容器にジシクロペンタジエン１０ｋｇ、重曹６８ｋｇ、アセトン１００Ｌおよびイオン交換水１３０Ｌを仕込み、１０℃以下に冷却した後、反応液の温度を３０℃以下に維持するように冷却を制御して、オキソン８４ｋｇを徐々に添加し、撹拌しながら１０時間反応を行った。
　次に、酢酸エチル１００Ｌによる反応生成物の抽出を２回行い、得られた有機層を分取して合わせた。続いて、上記有機層を食塩およびチオ硫酸ナトリウムの混合水溶液（食塩２０ｗｔ％＋チオ硫酸ナトリウム２０ｗｔ％）１００Ｌにて洗浄した後、さらに、イオン交換水１００Ｌで２回洗浄した。
　洗浄後の有機層を硫酸マグネシウムにて乾燥後、ろ過により硫酸マグネシウムを除去し、ろ液から有機溶媒を留去して、下記式（５－４）に示す化合物を白色固体として１１ｋｇ得た。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000034
（Ｂ３）エポキシ化合物３：下記式（３－１－１）に示すビフェニル型エポキシ化合物（ＮＣ３０００、エポキシ当量（ｇ／ｅｑ）：２６５～２８５、日本化薬株式会社製）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000035
 （式（３－１－１）中、ｎは平均値であり、３．４である。）
（Ｂ４）エポキシ化合物４：下記式（９－１）に示すエポキシ化合物（ＥＰＰＮ－５０１Ｈ、エポキシ当量（ｇ／ｅｑ）：１６２～１７２、日本化薬株式会社製）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000036
 （式（９－１）中、ｎは平均値であり、１．３である。）
（Ｂ５）エポキシ化合物５：下記式（１０－７）に示すナフチレンエーテル型エポキシ化合物（ＨＰ－６０００、エポキシ当量（ｇ／ｅｑ）：２３５～２５５、ＤＩＣ社製）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000037
 （エポキシ化合物５は、式（１０－７）中のｎ＝１である成分とｎ＝２である成分との混合物である。）
（Ｂ６）エポキシ化合物６：下記式（３－２－１）に示すビフェニル型エポキシ化合物（ＹＸ４０００、エポキシ当量（ｇ／ｅｑ）：１８０～１９２、三菱化学株式会社製）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000038
（Ｂ７）エポキシ化合物７：下記式（１１）に示すエポキシ化合物（ＨＰ－４７７０、エポキシ当量（ｇ／ｅｑ）：２００～２１０、ＤＩＣ株式会社製）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000039
（Ｂ８）エポキシ化合物８：下記式（１３－１）に示すエポキシ化合物（セロキサイド２０２１Ｐ、エポキシ当量（ｇ／ｅｑ）：１２８～１４５、株式会社ダイセル製）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000040
（Ｂ９）エポキシ化合物９：下記式（１３－２）に示すエポキシ化合物（セロキサイド８０１０、エポキシ当量（ｇ／ｅｑ）：９５～１０５ｇ／ｅｑ、株式会社ダイセル製）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000041
＜成分（Ｃ）：フェノール系硬化剤＞
　成分（Ｃ）として下記（Ｃ１）～（Ｃ７）を使用した。
（Ｃ１）フェノール系硬化剤１：下記式（１２－１）に示すビスフェノールＦ（本州化学工業株式会社製）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000042
（Ｃ２）フェノール系硬化剤２：下記式（１２－２）に示すビス（４－ヒドロキシフェニル）スルフィド（ＴＤＰ）（東京化成工業株式会社製）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000043
（Ｃ３）フェノール系硬化剤３：下記式（１２－３）に示す２，７－ジヒドロキシナフタレン（東京化成工業株式会社製）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000044
（Ｃ４）フェノール系硬化剤４：下記式（１２－４）に示すピロガロール（東京化成工業株式会社製）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000045
（Ｃ５）フェノール系硬化剤５：フェノールノボラック樹脂（ＴＤ－２１０６、水酸基当量１０４、ＤＩＣ株式会社製）
（Ｃ６）フェノール系硬化剤６：ビフェニレン骨格を有するフェノールアラルキル樹脂（ＭＥＨＣ－７８５１ＳＳ、水酸基当量２０３ｇ／ｅｑ、明和化成株式会社製）
（Ｃ７）フェノール系硬化剤７：フェニレン骨格を有するフェノールアラルキル樹脂（ＭＥＨ－７８００－４Ｓ、水酸基当量１６９ｇ／ｅｑ、明和化成株式会社製）
＜成分（Ｄ）：硬化促進剤＞
　成分（Ｄ）として下記（Ｄ１）～（Ｄ４）を使用した。
として下記を使用した。
（Ｄ１）硬化促進剤１：下記式に示すトリフェニルホスフィン（ＴＰＰ）（北興化学工業株式会社製）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000046
（Ｄ２）硬化促進剤２：下記式に示すビス（テトラブチルホスホニウム）（ＢＴＢＰ）－ピロメリット酸（北興化学工業株式会社製）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000047
（Ｄ３）硬化促進剤３：下記式に示すテトラフェニルホスホニウム　テトラフェニルボレート（ＴＰＰ－Ｋ(商標)）（北興化学工業株式会社製）
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000048
 （Ｄ４）硬化促進剤４：テトラブチルホスホニウム２，６－ビス［（２－ヒドロキシ－５－メチルフェニル）メチル］－４－メチルフェノラート（ＴＢＰ－３ＰＣ）
(北興化学工業株式会社製)
＜成分（Ｅ）；無機充填剤＞
　成分（Ｅ）として、平均粒径Ｄ５０が２２μｍの溶融球状シリカ（ＦＢ－８２０、デンカ株式会社製）を使用した。
＜その他の成分＞
　離型剤としてカルナバワックス（クラリアントジャパン株式会社製）、着色剤としてカーボンブラック（ＭＡ６００、三菱化学株式会社製）を使用した。
（実施例１）
　硬化樹脂用組成物（以後、単に「組成物」と称する）および硬化物を以下のようにして調製し、硬化性評価としての示差走査熱量測定（ＤＳＣ）による熱物性（反応ピーク温度）、および耐熱性評価としてのガラス転移温度を測定した。
　成分（Ａ１）、（Ｂ１）、および（Ｃ１）を、表１に示す配合割合で、表面温度が１００℃に設定された熱板上で、大気圧下で５分間混練した後、室温まで冷却して混合物を得た。該混合物を乳鉢で粉末状に粉砕して組成物を得た。
＜示差走査熱量測定（ＤＳＣ）による熱物性＞
　示差走査熱量測計（日立ハイテクサイエンス社製：ＤＳＣ７０２０）を用い、窒素気流下で、昇温速度を１０℃／ｍｉｎで３０℃から３００℃の温度範囲条件にて、組成物１０ｍｇをアルミ製パンに投入し、測定した。グラフの最高点を反応ピーク温度とした。反応ピーク温度が高過ぎると、所定の硬化温度で反応が十分に進行せず、反応性に劣る恐れがある。結果を表１に示した。なお、図１に典型的なＤＳＣの測定結果（一例）における反応ピーク温度を示す。
＜ガラス転移温度；Ｔｇ＞
　ＤＳＣで用いるアルミ製パンに組成物を約１０ｍｇ秤量し、オーブンで２００℃、４時間加熱し硬化物を得た。得られた硬化物のＴｇをＤＳＣによって下記条件により測定した。結果を表１に示した。
　装置：Ｘ－ＤＳＣ－７０００（株式会社日立ハイテクサイエンス製）
　測定条件：Ｎ２流量；２０ｍＬ／分、昇温速度；２０℃／分
（実施例２～４４）
　各成分の配合割合を表１に示した通りとした以外は実施例１と同様にして、各実施例の組成物を調製した。各々の組成物について実施例１と同様にしてＤＳＣによる熱物性（反応ピーク温度）および耐熱性（ガラス転移温度）を測定した。結果を表１に示す。
（比較例１～８）
　各成分の配合割合を表２に示した通りとした以外は実施例１と同様にして、各比較例の組成物を調製した。各々の組成物について実施例１と同様にしてＤＳＣによる熱物性（反応ピーク温度）および耐熱性（ガラス転移温度）を測定した。結果を表２に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000049
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000050
Figure JPOXMLDOC01-appb-I000051
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000052
　各実施例の硬化樹脂用組成物はＤＳＣによる反応ピーク温度が２５５℃以下であるため、低温硬化性に優れている。また、その硬化物のＴｇは２１０℃以上であり、高耐熱性であることが分かる。一方、比較例１、２および６～８の硬化樹脂用組成物を硬化させた硬化物はＴｇが低くなっており耐熱性に劣っている。また、比較例３～５の硬化樹脂用組成物の反応ピーク温度が２５５℃より大きいため、低温硬化性に劣っている。さらに、ベンゾオキサジン環数／水酸基数が７．６である実施例３の反応ピーク温度は、実施例３と成分が同一でベンゾオキサジン環数／水酸基数が１５．５である比較例５の反応ピーク温度に比べて低い。ベンゾオキサジン環数／水酸基数が１．１である実施例５のガラス転移温度は、実施例５と成分が同一でベンゾオキサジン環数／水酸基数が０．８である比較例６のガラス転移温度に比べて高い。また、官能基数の比（エポキシ基数／（ベンゾオキサジン環数＋水酸基数））が０．７である実施例４０のガラス転移温度は、実施例４０と成分が同一で該官能基数比が０．４である比較例７のガラス転移温度に比べて１０℃以上高い。官能基数比（エポキシ基数／（ベンゾオキサジン環数＋水酸基数））が１．８である実施例４２のガラス転移温度は、実施例４２と成分が同一で該官能基数比が２．０である比較例８のガラス転移温度に比べて高い。
　以上の結果から、本発明の実施形態である硬化樹脂用組成物は、低温硬化性に優れながら、その硬化物は高耐熱性を達成していることが分かる。
（実施例４５）
　硬化樹脂用組成物（以後、単に「組成物」と称する）および硬化物を以下のようにして調製し、硬化性評価としての示差走査熱量測定（ＤＳＣ）による熱物性（反応ピーク温度）、および耐熱性評価としてのガラス転移温度を測定した。
　成分（Ａ１）、（Ｂ１）、（Ｃ１）、（Ｄ１）、（Ｅ）、カルナバワックス、およびカーボンブラックを、表３に示す配合割合で、表面温度が９０℃と１００℃の２本ロールを有する熱ロール混練機（ＢＲ－１５０ＨＣＶ、アイメックス株式会社）を用いて大気圧下で１０分間混練した後、室温まで冷却して混合物を得た。得られた混合物をミニスピードミルＭＳ－０９（ラボネクト株式会社製）により、金型への充填が良好に行えるように粉末状に粉砕して組成物を得た。
＜ガラス転移温度；Ｔｇ＞
　トランスファー成形機を用い、金型温度２００℃、注入圧力４ＭＰａ、硬化時間３分の条件で、調製した組成物を硬化させ、さらに、後硬化処理としてオーブンで２００℃、４時間加熱することで縦３ｍｍ×横３ｍｍ×長さ１５ｍｍの硬化物を作成した。該硬化物を縦３ｍｍ×横３ｍｍ×長さ２ｍｍの大きさに切断した試験片を用いて、ＤＳＣによって下記条件によりＴｇを測定した。結果を表３に示した。
　装置：Ｘ－ＤＳＣ－７０００（株式会社日立ハイテクサイエンス製）
　測定条件：Ｎ２流量；２０ｍＬ／分、昇温速度；２０℃／分
＜示差走査熱量測定（ＤＳＣ）による熱物性＞
　実施例４５の組成物について実施例１と同様にしてＤＳＣによる熱物性（反応ピーク温度）を測定した。結果を表３に示した。
（実施例４６～４９）
　各成分の配合割合を表３に示した通りとした以外は実施例４５と同様にして、各実施例の組成物を調製した。各々の組成物について実施例４５と同様にしてＤＳＣによる熱物性（反応ピーク温度）および耐熱性（ガラス転移温度）を測定した。結果を表３に示す。
（比較例９）
　各成分の配合割合を表３に示した通りとした以外は実施例４５と同様にして、比較例９の組成物を調製した。比較例９の組成物について実施例４５と同様にしてＤＳＣによる熱物性（反応ピーク温度）および耐熱性（ガラス転移温度）を測定した。結果を表３に示す。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000053
　各実施例の硬化樹脂用組成物の硬化物のＴｇは２１５℃以上であり、高耐熱性であることが分かる。一方、比較例９の硬化樹脂用組成物を硬化させた硬化物はＴｇが低くなっており耐熱性に劣っている。さらに、実施例４８のガラス転移温度は、実施例４８とベンゾオキサジン以外の成分が同一である比較例９のガラス転移温度に比べて１０℃以上高い。

Claims (10)

  1. 　（Ａ）式（１）の構造で示されるベンゾオキサジン化合物と、
    　（Ｂ）エポキシ化合物と、
    　（Ｃ）フェノール系硬化剤と
    を含有し、
    　（Ｂ）エポキシ化合物のエポキシ基数と、（Ａ）ベンゾオキサジン化合物のベンゾオキサジン環数と、（Ｃ）フェノール系硬化剤の水酸基数とが下記式（２）を満たし、かつ、　（Ｃ）フェノール系硬化剤の水酸基数に対する、（Ａ）ベンゾオキサジン化合物のベンゾオキサジン環数の比が１．１～８．０である、硬化樹脂用組成物。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
     ［式（１）中、Ｒはそれぞれ独立して、水素、炭素数１～１２の鎖状アルキル基、炭素数３～８の環状アルキル基、または炭素数６～１４のアリール基を表し、該アリール基は置換基としてハロゲンまたは炭素数１～１２の鎖状アルキル基を有していてもよい。Ｒはそれぞれ独立して、ベンゾオキサジン環のいずれの位置に結合してもよい。前記ベンゾオキサジン環はそれぞれ独立して、ベンゼン環のいずれの位置に結合してもよい。］
    Figure JPOXMLDOC01-appb-M000002
  2. 　前記（Ｂ）エポキシ化合物が、ノルボルナン構造を少なくとも一つおよびエポキシ基を少なくとも二つ有するエポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、トリスフェノールメタン型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、ノボラック型エポキシ化合物、およびシクロヘキセンオキシド基を有するエポキシ化合物からなる群から選択される少なくとも一つである、請求項１に記載の硬化樹脂用組成物。
  3. 　（Ｄ）硬化促進剤をさらに含有する、請求項１または２に記載の硬化樹脂用組成物。
  4. 　（Ｅ）無機充填剤をさらに含有する、請求項１～３のいずれか一項に記載の硬化樹脂用組成物。
  5. 　請求項１～４のいずれか一項に記載の硬化樹脂用組成物を硬化させてなる硬化物。
  6. 　請求項１～４のいずれか一項に記載の硬化樹脂用組成物を硬化させてなる硬化物中に半導体素子が設置されている、半導体装置。
  7. 　請求項１～４のいずれか一項に記載の硬化樹脂用組成物の製造方法であって、
    　（Ａ）式（１）の構造で示されるベンゾオキサジン化合物と、
    　（Ｂ）エポキシ化合物と、
    　（Ｃ）フェノール系硬化剤と
    を混合して混合物を得る工程、
    　該混合物を粉体状、ペレット状、または顆粒状の硬化樹脂用組成物に加工する工程
    を有する、硬化樹脂用組成物の製造方法。
    Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
     ［式（１）中、Ｒはそれぞれ独立して、水素、炭素数１～１２の鎖状アルキル基、炭素数３～８の環状アルキル基、または炭素数６～１４のアリール基を表し、該アリール基は置換基としてハロゲンまたは炭素数１～１２の鎖状アルキル基を有していてもよい。Ｒはそれぞれ独立して、ベンゾオキサジン環のいずれの位置に結合してもよい。前記ベンゾオキサジン環はそれぞれ独立して、ベンゼン環のいずれの位置に結合してもよい。］
  8. 　前記（Ｂ）エポキシ化合物が、ノルボルナン構造を少なくとも一つおよびエポキシ基を少なくとも二つ有するエポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、トリスフェノールメタン型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、ノボラック型エポキシ化合物、およびシクロヘキセンオキシド基を有するエポキシ化合物からなる群から選択される少なくとも一つである、請求項７に記載の製造方法。
  9. 　前記混合物を得る工程において、（Ｄ）硬化促進剤および／または（Ｅ）無機充填剤をさらに混合して混合物を得る、請求項７または８に記載の製造方法。
  10. 　請求項７～９のいずれか一項に記載の方法により製造した前記硬化樹脂用組成物を１５０～３００℃にて２０秒間～４時間加熱して硬化させる工程
    を有する、硬化物の製造方法。
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