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WO2013120839A3 - Dispositif pour le positionnement compensé par champ magnétique d'un composant - Google Patents

Dispositif pour le positionnement compensé par champ magnétique d'un composant Download PDF

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WO2013120839A3
WO2013120839A3 PCT/EP2013/052763 EP2013052763W WO2013120839A3 WO 2013120839 A3 WO2013120839 A3 WO 2013120839A3 EP 2013052763 W EP2013052763 W EP 2013052763W WO 2013120839 A3 WO2013120839 A3 WO 2013120839A3
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WO
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component
field
magnetic
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compensated
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PCT/EP2013/052763
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Inventor
Michael Stolz
Peter Gerber
Stefan Hembacher
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Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
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Publication date
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Abstract

La présente invention porte sur un dispositif (26) pour le positionnement compensé par champ magnétique d'un composant (25, 30), qui comprend une unité de maintien (27) pour montage du composant (25, 30) et un moyen (33) pour compenser au moins partiellement un champ magnétique extérieur dans la région de l'unité de maintien (27).
PCT/EP2013/052763 2012-02-14 2013-02-12 Dispositif pour le positionnement compensé par champ magnétique d'un composant Ceased WO2013120839A2 (fr)

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