WO2013035793A1

WO2013035793A1 - リニアモータ装置、及び制御方法

Info

Publication number: WO2013035793A1
Application number: PCT/JP2012/072764
Authority: WO
Inventors: 山中　修平; 野村　祐樹
Original assignee: Thk株式会社
Priority date: 2011-09-07
Filing date: 2012-09-06
Publication date: 2013-03-14
Also published as: KR20140057330A; CN103765741B; US10020767B2; EP2755308B1; CN106877777A; EP2755308A1; JP6014040B2; KR101903830B1; JPWO2013035793A1; TWI577113B; CN106877777B; EP2755308A4; US20140210396A1; TW201322605A; CN103765741A

Abstract

　リニアモータ装置は、リニアモータと、該リニアモータに備えられている可動子を移動させて加圧対象物に圧力を加えさせる制御部とを具備する。制御部は、可動子が移動する速度を第１速度から、第１速度より遅い第２速度であって可動子が加圧対象物に接触した際に加圧対象物に加える圧力が所定の圧力以下となる第２速度に減速する際に要する距離と、加圧対象物に対して加圧を開始する位置とに基づいて、加圧対象物に圧力を加えるときに可動子が移動する速度を第１速度から第２速度への減速を開始させる位置である減速開始位置を算出する速度切替位置決定部と、可動子を所定の位置から加圧対象物に向かって移動させるとき、リニアモータの可動子を第１速度で駆動させ、可動子が減速開始位置に達すると、可動子を第２速度で移動させる位置判定部とを備える。

Description

リニアモータ装置、及び制御方法

　本発明は、リニアモータ装置、及び制御方法に関する。
　本願は、２０１１年９月７日に、日本に出願された特願２０１１－１９４７２９号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

　電子部品などをプリント基板に実装する際に、電子部品などを所定の位置から取り、プリント基板上の取り付け位置に配置する部品取付装置（ピック・アンド・プレース・ユニット）が用いられている（特許文献１）。

　図２５は、部品取付装置９の構成を示す図である。同図に示すように、部品取付装置９は、サーボモータ９１と、サーボモータ９１の回転軸に取り付けられたボールねじ９２Ａと、ボールねじナット９２Ｂに固定されているアーム９３と、アーム９３の直線移動を案内するリニアガイド９４と、アーム９３の一端に取り付けられた緩衝機構９５と、緩衝機構９５を介してアーム９３に取り付けられた吸着パッド９６とを具備している。
　部品取付装置９は、サーボモータ９１を制御して、アーム９３を上下運動させることにより、吸着パッド９６に電子部品などを押し付けて取上げ、当該電子部品をプリント基板上の取り付け位置に配置する。

　プリント基板に電子部品を取り付ける工程に要する時間を短縮するために、電子部品に吸着パッド９６が接触する直前までアーム９３を高速に移動させ、接触する直前に減速させた後に、電子部品を破壊しない程度の力で吸着パッド９６を押し付け、電子部品を取り上げる（ピック：Pick）。また、電子部品をプリント基板上に配置するときには、プリント基板に電子部品が接触する直前までアーム９３を高速に移動させ、接触する直前に減速させた後に、電子部品を破損させない程度の力で電子部品をプリント基板に押し付けて、電子部品をプリント基板に取り付ける（プレース：Place）。このように、アームをできる限り高速に移動させて、電子部品を取り付ける工程に要する時間を短縮している。

特開２００４－０８８０２４号公報

　上述のように動作する部品取付装置９において、アーム９３を移動させる速度を切り替える位置は、吸着パッド９６が電子部品に接触する直前や、電子部品がプリント基板に接触する直前であることが望ましい。しかし、電子部品の高さに応じて、ユーザが速度を切り替える位置（切替位置）を設定する必要があるため、最適な位置が設定されないことがあり、電子部品を取り付ける工程に要する時間に無駄が生じてしまうという問題があった。すなわち、電子部品を取り上げるために、加圧対象物としての電子部品に対する加圧を開始するまでに無駄な時間を要してしまうという問題があった。

　本発明は、上記問題を解決すべくなされたもので、その目的は、加圧対象物に対して加圧を開始するまでに要する時間を削減できるリニアモータ装置、及び制御方法を提供することにある。

　本発明は、リニアモータと、該リニアモータに備えられている可動子を移動させて加圧対象物に圧力を加えさせる制御部とを具備するリニアモータ装置であって、前記制御部は、前記可動子が移動する速度を第１速度から、前記第１速度より遅い第２速度であって前記可動子が前記加圧対象物に接触した際に前記加圧対象物に加える圧力が所定の圧力以下となる第２速度に減速する際に要する距離と、前記加圧対象物に対して加圧を開始する位置とに基づいて、前記可動子が移動する速度を前記第１速度から前記第２速度への減速を開始させる位置である減速開始位置を算出する速度切替位置決定部と、前記可動子を所定の位置から前記加圧対象物に向かって移動させるとき、前記リニアモータの可動子を前記第１速度で駆動させ、前記可動子が前記減速開始位置に達すると、前記可動子を前記第２速度で移動させる位置判定部とを備えることを特徴とする。

　また、本発明は、リニアモータと、該リニアモータに備えられている可動子を移動させて加圧対象物に圧力を加えさせる制御部とを具備するリニアモータ装置における制御方法であって、前記可動子が移動する速度を第１速度から、前記第１速度より遅い第２速度であって前記可動子が前記加圧対象物に接触した際に前記加圧対象物に加える圧力が所定の圧力以下となる第２速度に減速する際に要する距離と、前記加圧対象物に対して加圧を開始する位置とに基づいて、前記可動子が移動する速度を前記第１速度から前記第２速度への減速を開始させる位置である減速開始位置を算出する速度切替位置決定ステップと、前記可動子を所定の位置から前記加圧対象物に向かって移動させるとき、前記リニアモータの可動子を前記第１速度で駆動させ、前記可動子が前記減速開始位置に達すると、前記可動子を前記第２速度で移動させる位置判定ステップとを有することを特徴とする。

　この発明によれば、加圧対象物に対して加圧を開始する位置と、第１速度から第２速度への減速に要する距離とに基づいて減速開始位置を算出し、算出した減速開始位置を用いて、リニアモータを駆動するようにした。これにより、第１速度から第２速度へ切り替える位置をユーザが経験などに基づいて決定する場合に比べ、備えられているリニアモータの減速特性に応じて減速開始位置を決定することができるので、リニアモータを第２速度で駆動する時間を短くすることができ、加圧対象物に対して加圧を開始するまでに要する時間を削減することができる。

本実施形態における部品取付装置１の構成を示す概略ブロック図である。同実施形態におけるリニアモータ１０の斜視図（一部断面図）である。同実施形態におけるコイルホルダ１０５に保持されたコイルユニットを示す斜視図である。同実施形態におけるリニアモータ１０のマグネット１０３とコイル１０４の位置関係を示す図である。磁気センサの原理を示す斜視図である。ＡＭＲセンサにおける磁界の方向と、抵抗値との関係を示すグラフである。磁界強度が飽和感度以上の場合においても、磁界の方向を検出する磁気センサ１１２の強磁性薄膜金属の形状例を示す図である。磁気センサの等価回路（ハーフブリッジ）を示す図である。磁界の方向を検出する磁気センサの強磁性薄膜金属の形状例を示す図である。磁気センサ１１２と、ロッド１０１との位置関係を示す図である。磁気センサ１１２の出力する信号例を示す図である。二組のフルブリッジ構成を用いた磁気センサを示す図である。図１２の磁気センサが出力する信号を示すグラフである。ロッド１０１と磁気センサ１１２との位置関係及び磁気センサ１１２が出力する信号を示す概念図である。磁気センサ１１２の出力ＶoutＡとＶoutＢにより描かれるリサージュ図形を示す図である。エンドケース１０９に取り付けられる磁気センサ１１２を示す図である。エンドケース１０９に取り付けられた軸受であるブッシュ１０８を示す図である。同実施形態における制御部２０の構成を示す概略ブロック図である。同実施形態における部品取付装置１がワークＰを最初に取り上げる際の動作を示すフローチャートである。同実施形態における部品取付装置１が更新したＦＬモード開始位置を用いてワークＰをプリント基板Ｂに取り付ける動作、及びワークＰを取り上げる動作を示すフローチャートである。図２０のステップＳ２０２からステップＳ２０８までの動作における速度、電流、及び動作完了信号の変化を示す波形図である。図２０のステップＳ２０９からステップＳ２１５までの動作における速度、電流、及び動作完了信号の変化を示す波形図である。同図において、縦軸は吸着パッド１１の位置を示している。部品取付装置１が初期切替位置を取得する動作を示すフローチャートである。図２３のステップＳ３０２からステップＳ３０４までの動作における速度、及び電流の変化を示す波形図である。部品取付装置９の構成を示す図である。

　以下、図面を参照して、本発明の実施形態におけるリニアモータ装置、及び制御方法を説明する。

　図１は、本実施形態における部品取付装置１の構成を示す概略ブロック図である。同図に示すように、リニアモータ装置である部品取付装置１は、ロッドタイプのリニアモータ１０と、リニアモータ１０が取り付けられたリニアガイド３０と、リニアモータ１０を制御する制御部２０とを具備している。
　リニアガイド（直動案内装置）３０は、スライドブロック３１と、軌道レール３２とを有している。スライドブロック３１は、軌道レール３２に沿って移動可能に組み付けられている。また、スライドブロック３１にはリニアモータ１０が取り付けられており、リニアモータ１０がスライドブロック３１とともに水平方向に移動可能になっている。スライドブロック３１は、不図示の駆動装置を用いて、位置制御が可能になっている。すなわち、リニアガイド３０は、リニアモータ１０を左右に案内する。
　リニアモータ１０は、上下動可能な可動子としてのロッド１０１を有しており、ロッド１０１の一端に吸着パッド１１が取り付けられている。

　部品取付装置１は、電子部品等のワークＰを整列させて１つずつ供給するパーツフィーダの直上にリニアモータ１０を移動させ、制御部２０がリニアモータ１０を制御してロッド１０１をワークＰに向かって駆動させる。このとき、制御部２０は、ロッド１０１を下降させることにより吸着パッド１１をワークＰに押し付けて、吸着パッド１１にワークＰを吸着させる。制御部２０は、ワークＰを吸着させた後に、ロッド１０１を上昇させることによりワークＰをパーツフィーダから取り上げて保持する。
　制御部２０は、リニアモータ１０がリニアガイド３０に案内され、ワークＰを取り付けるプリント基板Ｂの直上に移動した後に、ロッド１０１を降下させることによりワークＰをプリント基板Ｂに押し付けて、ワークＰをプリント基板Ｂに取り付けた後に、ロッド１０１を上昇させる。
　部品取付装置１は、上述の動作を行うことにより、パーツフィーダ等から供給される電子部品（ワークＰ）をプリント基板Ｂに取り付ける。

　以下、リニアモータ１０と、制御部２０との構成について説明する。
　図２は、本実施形態におけるリニアモータ１０の斜視図（一部断面図）である。このリニアモータ１０は、コイル収容ケース１０２に対してロッド１０１が軸線方向に移動するロッドタイプのリニアモータである。

　コイル収容ケース１０２内には、コイルホルダ１０５に保持された複数のコイル１０４が積層（配列）されている。コイル収容ケース１０２の両端面それぞれには、エンドケース１０９が取り付けられている。エンドケース１０９には、ロッド１０１の直線運動を案内するための軸受であるブッシュ１０８が取り付けられている。
　なお、２つのエンドケース１０９のうちいずれか一方に、ロッド１０１が生じさせる磁界を検出する磁気センサ１１２が設けられている。

　ロッド１０１は、例えばステンレス等の非磁性材からなり、パイプのように中空の空間を有する。ロッド１０１の中空空間には、円柱状の複数のマグネット１０３（セグメント磁石）が互いに同極が対向するように積層される。すなわちＮ極とＮ極が、Ｓ極とＳ極とが対向するように積層される。マグネット１０３の間には、例えば鉄等の磁性体からなるポールシュー１０７（磁極ブロック）が介在される。ロッド１０１は、積層されたコイル１０４内を貫通するとともに、コイル収容ケース１０２に軸線方向に移動可能に支持されている。

　図３は、本実施形態におけるコイルホルダ１０５に保持されたコイルユニットを示す斜視図である。同図に示されるように、コイル１０４は銅線を螺旋状に巻いたもので、コイルホルダ１０５に保持されている。すなわち、複数のコイル１０４は、ロッド１０１のマグネット１０３が配列されている方向を中心として、ロッド１０１の外周に沿って銅線が巻かれたものであり、各コイル１０４がマグネット１０３の配列されている方向と同じ方向に配列されている。
　隣接するコイル１０４を絶縁させる必要があるので、コイル１０４間にはリング状の樹脂製スペーサ１０５ａが介在される。コイルホルダ１０５上にはプリント基板１０６が設けられている。コイル１０４の巻線の端部１０４ａは、プリント基板１０６に結線され、プリント基板１０６を介して、電力が供給される。

　本実施形態では、コイル１０４及びコイルホルダ１０５を金型にセットし、溶融した樹脂又は特殊セラミックスを金型内に注入するインサート成形によって、コイル収容ケース１０２をコイル１０４と一体に成形する。図２に示されるように、コイル収容ケース１０２には、コイル１０４の放熱性を高めるためにフィン１０２ａが複数形成される。なお、コイルホルダ１０５に保持されたコイル１０４をアルミ製のコイル収容ケース１０２に収納し、コイル１０４とコイル収容ケース１０２との間のすきまを接着剤で埋めて、コイル１０４及びコイルホルダ１０５をコイル収容ケース１０２に固定してもよい。

　図４は、本実施形態におけるリニアモータ１０のマグネット１０３とコイル１０４の位置関係を示す図である。ロッド１０１内の中空空間には、円盤状の複数のマグネット１０３（セグメント磁石）が互いに同極が対向するように配列される。コイル１０４は３つでＵ・Ｖ・Ｗ相からなる一組の三相コイルとなる。一組の三相コイルを複数組み合わせて、コイルユニットが構成される。Ｕ・Ｖ・Ｗ相の三相に分けた複数のコイル１０４に１２０°ずつ位相が異なる三相電流を流すと、コイル１０４の軸線方向に移動する移動磁界が発生する。ロッド１０１は、移動磁界により推力を得て、移動磁界の速さに同期してコイル１０４に対して相対的に直線運動を行う。

　図２に示されるように、磁気センサ収容ケースであるエンドケース１０９の一方には、ロッド１０１の位置を検出するための磁気センサ１１２が取り付けられる。磁気センサ１１２は、ロッド１０１から所定のすきまを開けて配置され、ロッド１０１の直線運動によって生ずるロッド１０１の磁界の方向（磁気ベクトルの方向）の変化を検出する。

　図５に示されるように、磁気センサ１１２は、Ｓｉ若しくはガラス基板１２１と、その上に形成されたＮｉ，Ｆｅなどの強磁性金属を主成分とする合金の強磁性薄膜金属で構成される磁気抵抗素子１２２を有する。磁気センサ１１２は、特定の磁界方向で抵抗値が変化するためにＡＭＲ（Anisotropic-Magnetro-Resistance)センサ（異方性磁気抵抗素子）と呼ばれる（参考文献：「垂直タイプＭＲセンサ技術資料」、[online]、２００５年１０月１日、浜松光電株式会社、「２０１１年７月２０日検索」、インターネット＜ＵＲＬ；http://www.hkd.co.jp/technique/img/amr-note1.pdf＞）。

　図６は、ＡＭＲセンサにおける磁界の方向と、抵抗値との関係を示すグラフである。
　磁気抵抗素子１２２に電流を流し、抵抗変化量が飽和する磁界強度を印加し、その磁界(Ｈ)の方向を電流方向Ｙに対して角度変化θを与えたとする。このとき、図６に示されるように、抵抗変化量（△Ｒ）は、電流方向と磁界の方向が垂直（θ＝９０°，２７０°）のときに最大となり、電流方向と磁界の方向が平行（θ＝０°，１８０°）のときに最小となる。抵抗値Ｒは、電流方向と磁界方向の角度成分に応じて、下記の式（１）のように変化する。
　なお、磁界強度が飽和感度以上であれば、△Ｒは定数になり、抵抗値Ｒは磁界の強度には影響されなくなる。

　　Ｒ＝Ｒ0－△Ｒｓｉｎ2θ…（１）
　　Ｒ0：無磁界中の強磁性薄膜金属の抵抗値
　　△Ｒ：抵抗変化量
　　θ：磁界方向を示す角度

　図７は、磁界強度が飽和感度以上の場合においても、磁界の方向を検出する磁気センサ１１２の強磁性薄膜金属の形状例を示す図である。同図に示すように、縦方向に形成された強磁性薄膜金属エレメント（Ｒ１）と、横方向のエレメント（Ｒ２）が直列に結線した形状になる。
　エレメント（Ｒ１）に対して最も大きな抵抗変化を促す垂直方向の磁界は、エレメント（Ｒ２）に対し最小の抵抗変化となる。抵抗値Ｒ１とＲ２は次式（２）、（３）で与えられる。

　　Ｒ１＝Ｒ0－△Ｒｓｉｎ2θ…（２）
　　Ｒ２＝Ｒ0－△Ｒｃｏｓ2θ…（３）

　図８は、磁気センサの等価回路（ハーフブリッジ）を示す図である。この等価回路の出力Ｖoutは次式（４）で与えられる。

　　Ｖout＝Ｒ１・Ｖcc／（Ｒ１＋Ｒ２）…（４）

　式（４）に式（２）、（３）を代入し、整理すると、次式（５－１）、（５－２）が得られる。

　　Ｖout＝Ｖcc／２＋αｃｏｓ２θ　　　…（５－１）
　　α＝△Ｒ・Ｖcc／２（２Ｒ0－△Ｒ）　…（５－２）

　図９は、磁界の方向を検出する磁気センサの強磁性薄膜金属の形状例を示す図である。同図に示すように、強磁性薄膜金属の形状を形成すれば、二つの出力Ｖout＋とＶout－を用いて中点電位の安定性の向上と増幅を行うことが可能になる。

　ロッド１０１が直線運動するときの磁界方向の変化と磁気センサ１１２の出力について説明する。
　図１０は、磁気センサ１１２と、ロッド１０１との位置関係を示す図である。同図に示すように、磁気センサ１１２を、飽和感度以上の磁界強度が印加されるギャップｌの位置に、かつ磁界の方向変化がセンサ面に寄与するように配置する。
　このとき、磁気センサ１１２がロッド１０１に沿って位置Ａ～Ｅの距離λを相対的に移動した場合、磁気センサ１１２の出力は、次のようになる。

　図１１は、磁気センサ１１２の出力する信号例を示す図である。同図に示すように、ロッド１０１が距離λを直線移動したとき、センサ面では磁界の方向が１回転する。このときに電圧の信号は、１周期の正弦波信号になる。より正確にいえば、式（５－１）により表される電圧Ｖoutは、２周期分の正弦波信号となる。しかし、磁気センサ１１２のエレメントの延伸方向に対して４５°にバイアス磁界を掛けるならば、周期が半減し、ロッド１０１がλを直線移動したときに１周期の出力波形が得られる。

　運動の方向を知るためには、図１２に示されるように、二組のフルブリッジ構成のエレメントを、互いに４５°傾くように一つの基板上に形成すればよい。二組のフルブリッジ回路によって得られた出力ＶoutＡとＶoutＢは、図１３に示されるように、互いに９０°の位相差を持つ余弦波信号及び正弦波信号となる。

　本実施形態においては、図１２に示される二組のフルブリッジ構成のエレメントを互いに４５°傾くように一つの基板上に形成された磁気センサ１１２が、ロッド１０１の磁界の方向の変化を検出するので、たとえ図１４に示されるように、磁気センサ１１２の取り付け位置が（1)から(2)にずれたとしても、磁気センサ１１２が出力する正弦波信号及び余弦波信号（出力ＶoutＡ及びＶoutＢ）には変化が少ない。

　図１５は、磁気センサ１１２の出力ＶoutＡとＶoutＢにより描かれるリサージュ図形を示す図である。磁気センサ１１２の出力の変化が少ないので、図１５に示される円の大きさが変化しにくくなる。このため、磁気ベクトル２４の方向θを正確に検出することができる。ロッド１０１と磁気センサ１１２との間のギャップｌを高精度に管理しなくても、ロッド１０１の正確な位置を検出できるので、磁気センサ１１２の取り付け調整が容易になる。それだけでなく、ブッシュ１０８によって案内されるロッド１０１にガタを持たせることも可能になるし、ロッド１０１の多少の曲がりを許容することも可能になる。

　図１６は、エンドケース１０９に取り付けられる磁気センサ１１２を示す図である。エンドケース１０９には、磁気センサ１１２を収容するための空間からなる磁気センサ収容部１２６が設けられている。
　磁気センサ収容部１２６内に磁気センサ１１２を配置した後、磁気センサ１１２の周囲を充填材１２７で埋める。これにより、磁気センサ１１２がエンドケース１０９に固定される。磁気センサ１１２は温度特性を持ち、温度の変化によって出力が変化する。コイル１０４から受ける熱の影響を低減するため、エンドケース１０９及び充填材１２７には、コイル収容ケース１０２よりも熱伝導率の低い材料が使用される。例えば、コイル収容ケース１０２にはエポキシ系の樹脂が使用され、エンドケース１０９及び充填材１２７には、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）が使用される。

　図１７は、エンドケース１０９に取り付けられた軸受であるブッシュ１０８を示す図である。エンドケース１０９に軸受機能を持たせることで、ロッド１０１と磁気センサ１１２との間のギャップが変動するのを防止することができる。

　図１８は、本実施形態における制御部２０の構成を示す概略ブロック図である。同図に示すように、制御部２０は、位置制御部２０１、スイッチ部２０２、速度制御部２０３、スイッチ部２０４、電流制御部２０５、電力変換器２０６、変流器（Current Transformer；ＣＴ）２０７、速度算出部２０８、位置算出部２０９、速度切替位置決定部２１０、位置判定部２１１、及び完了信号生成部２１２を備えている。

　位置制御部２０１は、外部より入力される位置指令と、位置算出部２０９が算出するリニアモータ１０に備えられているロッド１０１の位置を示す情報とに基づいて、速度指令を算出する。また、位置制御部２０１は、第１～第４速度（FL1SPD～FL4SPD）を予め記憶しており、当該第１～第４速度に基づいた４つの速度指令（第１速度指令～第４速度指令）を出力する。

　第１速度指令は、ロッド１０１が予め定められた原点から、ロッド１０１の一端に取り付けられている吸着パッド１１がワークＰの近傍（ＦＬ（Force Limit）モード開始位置）まで移動するときのロッド１０１が移動する速度を示す指令である。第１速度指令において、ロッド１０１を移動させる速度の上限値は、第１速度（FL1SPD）として予め定められている。例えば、リニアモータ１０がロッド１０１を移動させる際の最高速度を第１速度（FL1SPD）とする。
　第２速度指令は、吸着パッド１１がワークＰの近傍から、ワークＰに接触するまで移動するときのロッド１０１が移動する速度を示す指令である。第２速度指令において、ロッド１０１を移動させる速度は、第２速度（FL2SPD）として予め定められている。第２速度（FL2SPD）は、第１速度（FL1SPD）より遅い速度であり、吸着パッド１１がワークＰに接触する際に不要な衝撃を発生させない速度以下に設定される。換言すると、吸着パッド１１がワークＰに接触した際にワークＰに加えられる圧力がワークＰに破損や変形が生じない圧力以下の速度を第２速度（FL2SPD）にする。

　第３速度指令は、吸着パッド１１にワークＰを吸着させた後、及びワークＰをプリント基板Ｂに取り付けた後に、ロッド１０１を原点に向かって移動させるときの速度を示す指令である。第３速度指令において、ロッド１０１を移動させる速度は、第３速度（FL3PSD）として予め定められている。
　第４速度指令は、吸着パッド１１にワークＰを吸着させた後、及びワークＰをプリント基板Ｂに取り付けた後に、ロッド１０１を原点に向かって移動させるときの速度を示す指令である。第４速度指令において、ロッド１０１を移動させる速度の上限値は、第４速度（FL4SPD）として予め定められている。また、第４速度（FL4SPD）は、第３速度（FL3SPD）より速い速度が設定される。例えば、第１速度（FL1SPD）と同様に、第４速度（FL4SPD）をリニアモータ１０がロッド１０１を移動させる際の最高速度とする。

　スイッチ部２０２は、位置判定部２１１の制御に基づいて、位置制御部２０１が出力する４つの速度指令のうちいずれか一つを選択する。
　速度制御部２０３には、スイッチ部２０２が選択した速度指令と、速度算出部２０８が算出するリニアモータ１０に備えられているロッド１０１の速度を示す速度情報とが入力される。速度制御部２０３は、速度指令が示す速度と、速度情報とが示す速度との偏差に基づいて、ロッド１０１が移動する速度を速度指令が示す速度にするための電流値を算出する。
　また、速度制御部２０３は、算出した電流値を非制限電流指令として出力するとともに、予め定められた電流制限値（FL2I）を上限値にした電流指令である制限電流指令を出力する。算出された電流値が電流制限値（FL2I）以下の場合、非制限電流指令と制限電流指令とは、同じ電流値を示す。一方、算出された電流値が電流制限値（FL2I）より大きい場合、非制限電流指令は算出された電流値を示し、制限電流指令は電流制限値（FL2I）を示す。電流制限値は、リニアモータ１０の推力と、ワークＰを取り上げるときに吸着パッド１１をワークＰに押し付ける力とに基づいて定められる。

　スイッチ部２０４は、位置判定部２１１の制御に基づいて、速度制御部２０３が出力する制限電流指令及び非制限電流指令のうちいずれか一方を選択する。電流制御部２０５は、スイッチ部２０４が選択した電流指令と、変流器２０７が測定したリニアモータ１０に流れている電流値とに基づいて電圧指令を算出する。電力変換器２０６は、電流制御部２０５が算出した電圧指令に応じた電圧をリニアモータ１０に供給する。
　変流器２０７は、電力変換器２０６とリニアモータ１０とを接続している電力線に取り付けられている。また、変流器２０７は、当該電力線に流れている電流値を測定する。また、変流器２０７は、電流制御部２０５と、速度切替位置決定部２１０と、完了信号生成部２１２とに、測定した電流値を示す信号を出力する。

　速度算出部２０８は、リニアモータ１０に取り付けられている磁気センサ１１２から出力される正弦波信号及び余弦波信号（出力ＶoutＡ及びＶoutＢ）の変化量に基づいて、リニアモータ１０に備えられているロッド１０１の移動速度を算出する。
　位置算出部２０９は、磁気センサ１１２から出力される正弦波信号及び余弦波信号（出力ＶoutＡ及びＶoutＢ）の変化量に基づいて、ロッド１０１の原点からの移動量を算出する。位置算出部２０９は、位置制御部２０１、速度切替位置決定部２１０、及び位置判定部２１１にロッド１０１の位置を示す位置情報を出力する。

　速度切替位置決定部２１０は、リニアモータ１０に備えられているロッド１０１及び吸着パッド１１が、ワークＰ又はプリント基板Ｂに向かって移動しているとき、第１速度指令から第２速度指令に切り替える位置であるＦＬモード開始位置を示す信号を位置判定部２１１に出力する。また、速度切替位置決定部２１０は、ワークＰを吸着した後、又はワークＰをプリント基板Ｂに取り付けた後にロッド１０１を原点に向かって移動させているとき、第３速度指令から第４速度指令に切り替える位置である速度切替位置（FL3POS）を位置判定部２１１に出力する。

　また、速度切替位置決定部２１０は、ワークＰを最初に取り上げるとき、予め記憶している初期切替位置（FL2POSSUB）をＦＬモード開始位置として位置判定部２１１に出力する。速度切替位置決定部２１０は、最初にワークＰを取り上げた際における、ロッド１０１が移動する速度及び位置と、リニアモータ１０に流れる電流とに基づいて、ワークＰの取上げ及びプリント基板Ｂへの取り付ける工程に要する時間を短縮するように、ＦＬモード開始位置を更新する。以後、速度切替位置決定部２１０は、更新したＦＬモード開始位置を位置判定部２１１に出力する。初期切替位置は、ワークＰの高さに応じて予め定められた位置であり、吸着パッド１１をワークＰに接触させたときに不要な衝撃をワークＰに与えないように吸着パッド１１（リニアモータ１０のロッド１０１）の減速を開始する位置である。速度切替位置（FL3POS）は、例えば、初期切替位置（FL2POSSUB）と同じ位置が予め設定されている。

　位置判定部２１１は、外部より入力される位置指令及び動作開始信号と、位置算出部２０９が出力する位置情報とに基づいて、位置制御部２０１が出力する４つの速度指令からいずれか一つをスイッチ部２０２に選択させる制御をする。また、位置判定部２１１は、位置指令及び動作開始信号と、位置情報とに基づいて、速度制御部２０３が出力する２つの電流指令のうちいずれか一方をスイッチ部２０４に選択させる制御をする。
　完了信号生成部２１２は、吸着パッド１１がワークＰを加圧しているときに、変流器２０７が測定した電流値が予め定められた電流制限値（FL2I）に到達すると、動作完了信号（UO2）を外部に出力する。

　次に、部品取付装置１がパーツフィーダからワークＰを最初に取り上げる際の動作について説明する。
　図１９は、本実施形態における部品取付装置１がワークＰを最初に取り上げる際の動作を示すフローチャートである。ここで、ロッド１０１がワークＰ又はプリント基板Ｂに近づく方向をＣＷ方向とし、ロッド１０１がワークＰ又はプリント基板Ｂから遠ざかる方向をＣＣＷ方向とする。
　制御部２０は、ワークＰの位置に基づく位置指令が外部から入力されると、リニアモータ１０の駆動を開始し、吸着パッド１１を原点に移動させる原点復帰を行う（ステップＳ１０１）。本実施形態における吸着パッド１１の原点には、例えば、ロッド１０１を最も上昇させた際の吸着パッド１１の位置が予め定められる。

　位置判定部２１１は、原点復帰が完了すると、外部から動作開始信号（UI2）がオンになっているか否かを判定し（ステップＳ１０２）、動作開始信号がオンになるまで待機する（ステップＳ１０１：ＮＯ）。
　ステップＳ１０２において、動作開始信号がオンになると（ステップＳ１０１：ＹＥＳ）、位置判定部２１１は、第１速度指令（FL1SPD）をスイッチ部２０２に選択させるとともに、スイッチ部２０４に非制限電流指令を選択させ（ステップＳ１０３）、リニアモータ１０のロッド１０１をワークＰに向かって（ＣＷ方向に）移動させる（ステップＳ１０４）。

　位置判定部２１１は、吸着パッド１１の位置が初期切替位置（FL2POSSUB）に達しているか否かを判定し（ステップＳ１０５）、吸着パッド１１が初期切替位置（FL2POSSUB）に達するまで第１速度指令を用いてリニアモータ１０を駆動させる（ステップＳ１０５：ＮＯ）。
　ステップＳ１０５において、吸着パッド１１が初期切替位置（FL2POSSUB）に達すると（ステップＳ１０５：ＹＥＳ）、位置判定部２１１は、スイッチ部２０２に第２速度指令を選択させるとともに、スイッチ部２０４に制限電流指令を選択させ（ステップＳ１０６）、ロッド１０１の移動速度を減速させる。

　速度切替位置決定部２１０は、第２速度指令が選択された後に、ロッド１０１の移動速度が第２速度指令（FL2SPD）の示す速度以下であるか否か判定し（ステップＳ１０７）、ロッド１０１の移動速度が第２速度指令以下になるまで判定を繰り返す（ステップＳ１０７：ＮＯ）。
　ステップＳ１０７において、ロッド１０１の移動速度が第２速度指令以下になると（ステップＳ１０７：ＹＥＳ）、速度切替位置決定部２１０は、現在の吸着パッド１１の位置と、初期切替位置（FL2POSSUB）との差分（FL2POSMAIN1）を算出し、算出した差分（FL2POSMAIN1）を記憶する（ステップＳ１０８）。

　速度切替位置決定部２１０は、変流器２０７が測定した電流値が電流制限値（FL2I）以上であるか否かを判定し（ステップＳ１０９）、電流値が電流制限値（FL2I）に到達するまで待機する（ステップＳ１０９：ＮＯ）。
　ステップＳ１０９において、速度切替位置決定部２１０は、変流器２０７が測定した電流値が電流制限値（FL2I）に到達し、測定した電流値が電流制限値（FL2I）以上であると判定すると（ステップＳ１０９：ＹＥＳ）、現在の吸着パッド１１の位置から、ステップＳ１０８において算出した差分（FL2POSMAIN1）を引いた位置を、新たなＦＬモード開始位置（FL2POSMAIN2）として記憶する（ステップＳ１１０）。このとき、完了信号生成部２１２は、動作完了信号（UO2）をオンにして外部に出力する（ステップＳ１１１）。

　なお、ステップＳ１１０において、新たなＦＬモード開始位置（FL2POSMAIN2）を算出する際に、所定の距離Δｄをマージンとして設けるようにしてもよい。具体的には、現在の吸着パッド１１の位置から、差分（FL2POSMAIN1）と距離Δｄとを引いた位置を、新たなＦＬモード開始位置（FL2POSMAIN2）とするようにしてもよい。

　位置判定部２１１は、外部から入力される動作開始信号がオフであるか否かを判定し（ステップＳ１１２）、動作開始信号がオフになるまで待機する（ステップＳ１１２：ＮＯ）。
　ステップＳ１１２において、動作開始信号がオフになると（ステップＳ１１２：ＹＥＳ）、位置制御部２０１は、原点を移動先とする位置指令に応じて速度指令を算出し、位置判定部２１１は、第３速度指令をスイッチ部２０２に選択させるとともに、スイッチ部２０４に制限電流指令を選択させて（ステップＳ１１３）、ロッド１０１を原点に向かって（ＣＣＷ方向に）移動させる（ステップＳ１１４）。

　位置判定部２１１は、吸着パッド１１が速度切替位置（FL3POS）に達しているか否かを判定し（ステップＳ１１５）、吸着パッド１１が速度切替位置（FL3POS）に達するまで待機する（ステップＳ１１５：ＮＯ）。
　ステップＳ１１５において、吸着パッド１１が速度切替位置（FL3POS）に達すると（ステップＳ１１５：ＹＥＳ）、位置判定部２１１は、スイッチ部２０２に第４速度指令を選択させる（ステップＳ１１６）。

　次に、位置判定部２１１は、吸着パッド１１が原点に達したか否かを判定し（ステップＳ１１７）、吸着パッド１１が原点に達するまで待機する（ステップＳ１１７：ＮＯ）。
　ステップＳ１１７において、吸着パッド１１が原点に達すると、位置判定部２１１は、吸着パッド１１が原点に達したことを示す信号を完了信号生成部２１２に出力し、完了信号生成部２１２が動作完了信号をオフにして（ステップＳ１１８）、ワークＰを最初に取り上げる際の動作を終了する。

　図２０は、本実施形態における部品取付装置１が更新したＦＬモード開始位置を用いてワークＰをプリント基板Ｂに取り付ける動作、及びワークＰを取り上げる動作を示すフローチャートである。
　制御部２０は、ワークＰを取り付けるプリント基板Ｂの位置、あるいはワークＰの位置に基づく位置指令が外部から入力されると、リニアモータ１０の駆動を開始し、吸着パッド１１を原点に移動させる原点復帰を行う（ステップＳ２０１）。

　位置判定部２１１は、原点復帰が完了すると、外部から動作開始信号（UI2）がオンになっているか否かを判定し（ステップＳ２０２）、動作開始信号がオンになるまで待機する（ステップＳ２０２：ＮＯ）。
　ステップＳ２０２において、動作開始信号がオンになると（ステップＳ２０２：ＹＥＳ)、位置判定部２１１は、第１速度指令（FL1SPD）をスイッチ部２０２に選択させるとともに、スイッチ部２０４に非制限電流指令を選択させ（ステップＳ２０３）、リニアモータ１０のロッド１０１をプリント基板Ｂ又はワークＰに向かって（ＣＷ方向に）移動させる（ステップＳ２０４）。

　位置判定部２１１は、吸着パッド１１の位置が、ＦＬモード開始位置（FL2POSMAIN2）に達しているか否かを判定し（ステップＳ２０５）、吸着パッド１１がＦＬモード開始位置（FL2POSMAIN2）に達するまで第１速度指令を用いてリニアモータ１０を駆動させる（ステップＳ２０５：ＮＯ）。
　ステップＳ２０５において、吸着パッド１１がＦＬモード開始位置（FL2POSMAIN2）に達すると（ステップＳ２０５：ＹＥＳ）、位置判定部２１１は、スイッチ部２０２に第２速度指令を選択させるとともに、スイッチ部２０４に制限電流指令を選択させ（ステップＳ２０６)、ロッド１０１の移動速度を減速させる。

　位置判定部２１１は、変流器２０７が測定した電流値が電流制限値（FL2I）以上であるか否かを判定し（ステップＳ２０７）、電流値が電流制限値（FL2I）に到達するまで待機する（ステップＳ２０７：ＮＯ）。
　ステップＳ２０７において、位置判定部２１１は、電流値が電流制限値（FL2I）に到達し、測定した電流値が電流制限値（FL2I）以上であると判定すると（ステップＳ２０７：ＹＥＳ）、電流値が電流制限値（FL2I）に到達したことを示す信号を完了信号生成部２１２に出力する。完了信号生成部２１２は、動作完了信号（UO2）をオンにして外部に出力する（ステップＳ２０８）。

　位置判定部２１１は、外部から入力される動作開始信号がオフであるか否かを判定し（ステップＳ２０９)、動作開始信号がオフになるまで待機する（ステップＳ２０９：ＮＯ)。
　ステップＳ２０９において、動作開始信号がオフになると（ステップＳ２０９：ＹＥＳ)、位置制御部２０１は、原点を移動先とする位置指令に応じて速度指令を算出し、位置判定部２１１は、スイッチ部２０２に第３速度指令を選択させるとともに、スイッチ部２０４に制限電流指令を選択させて（ステップＳ２１０）、ロッド１０１を原点に向かって（ＣＣＷ方向に）移動させる（ステップＳ２１１）。

　位置判定部２１１は、吸着パッド１１が速度切替位置（FL3POS）に達しているか否かを判定し（ステップＳ２１２)、吸着パッド１１が速度切替位置（FL3POS）に達するまで待機する（ステップＳ２１２：ＮＯ）。
　ステップＳ２１２において、吸着パッド１１が速度切替位置（FL3POS）に達すると（ステップＳ２１２：ＹＥＳ）、位置判定部２１１は、スイッチ部２０２に第４速度指令を選択させる（ステップＳ２１３）。

　次に、位置判定部２１１は、吸着パッド１１が原点に達したか否かを判定し（ステップＳ２１４）、吸着パッド１１が原点に達するまで待機する（ステップＳ２１４：ＮＯ）。
　ステップＳ２１４において、吸着パッド１１が原点に達すると、位置判定部２１１は、吸着パッド１１が原点に達したことを示す信号を完了信号生成部２１２に出力し、完了信号生成部２１２が動作信号をオフにして（ステップＳ２１５）、ワークＰをプリント基板に取り付ける、又はワークＰを取り上げる動作を終了する。

　図２１は、図２０のステップＳ２０２からステップＳ２０８までの動作における速度、電流、及び動作完了信号の変化を示す波形図である。同図において、縦軸は吸着パッド１１の位置を示している。
　制御部２０は、動作開始信号がオンになると、吸着パッド１１を第１速度（FL1SPD）で、ワークＰに向かって移動させる。制御部２０は、吸着パッド１１がＦＬモード開始位置（FL2POSMAIN2）に達すると、吸着パッド１１を第１速度（FL1SPD）から第２速度（FL2SPD）まで減速させる。
　制御部２０は、吸着パッド１１を第２速度（FL2SPD）でパーツフィーダ上のワークＰに向かって移動させ、吸着パッド１１をワークＰに押し当てる。このとき、制御部２０は、吸着パッド１１をワークＰに押し当てる力が、電流制限値（FL2I）に対応する力より大きくなると、動作完了信号をオンにする。
　ここでは、パーツフィーダからワークＰを取り上げる（吸着させるまでの）工程を説明したが、取り上げたワークＰをプリント基板Ｂに取り付ける工程も同様の動作である。

　図２２は、図２０のステップＳ２０９からステップＳ２１５までの動作における速度、電流、及び動作完了信号の変化を示す波形図である。同図において、縦軸は吸着パッド１１の位置を示している。
　制御部２０は、吸着パッド１１にワークＰを押し付けた後、第３速度（FL3SPD）で、ワークＰを取り上げた（吸着させた）吸着パッド１１を原点に向かって移動させ、上昇させる。制御部２０は、吸着パッド１１が速度切替位置に達すると、第３速度（FL3SPD）より早い第４速度（FL4SPD）で、吸着パッド１１を原点に向かって移動させる。
　制御部２０は、原点において吸着パッド１１の速度が零になるように、リニアモータ１０のロッド１０１の移動速度を減速させ、吸着パッド１１が原点に達すると動作完了信号をオフにする。
　ここでは、取り上げたワークＰを取り上げる工程を説明したが、プリント基板ＢにワークＰを取り付けた後の工程も同様の動作である。

　上述のように、部品取付装置１は、ワークＰを最初に取り上げる際に、ワークＰを取り上げる際に、減速に要する距離（差分（FL2POSMAIN1））を検出し、吸着パッド１１がワークＰに接触した位置と差分（FL2POSMAIN1）とから新たなＦＬモード開始位置（FL2POSMAIN2）を算出する。
　また、部品取付装置１は、ワークＰを最初に取り上げた際に算出したＦＬモード開始位置（PS2POSMAIN2）を用いて、取り上げたワークＰをプリント基板Ｂに取り付ける動作、及びワークＰを取り上げる動作を行う。

　すなわち、部品取付装置１は、ワークＰを最初に取り上げる際に検出したワークＰの位置と、第１速度から第２速度に原則するまでに要する距離とに基づいて、当該ワークＰを取り扱う際において取り付け時間を最短にするＦＬモード開始位置を算出し、算出したＦＬモード開始位置を用いてワークＰの取り付けを行う。
　これにより、部品取付装置１は、取り扱うワークＰの高さに応じたＦＬモード開始位置を算出し、算出したＦＬモード開始位置を用いることにより、ワークＰを取り上げる工程、及びワークＰをプリント基板Ｂに取り付ける工程に要する時間を短縮することができ、ワークＰの取り付ける工程に要する時間を削減することができる。特に、水平駆動軸におけるリニアモータ１０の移動と、リニアモータ１０の駆動とが順次行われる場合、各工程に要する時間の削減により、生産効率を向上させることができる。

　なお、上述の実施形態では、部品取付装置１が、１つの種類の電子部品（ワークＰ）をプリント基板Ｂに取り付ける例について説明した。しかし、これに限ることなく、部品取付装置１が、ｎ種類の電子部品（ワークＰ１、Ｐ２、…Ｐｎ：ｎ≧２）をプリント基板Ｂに取り付けるようにしてもよい。この場合、部品の種類が変わるたびに、図１９に示したＦＬモード開始位置を更新する処理を行うようにする。更に、上位の装置において、取り扱うワークＰ１、Ｐ２、…、Ｐｎそれぞれの数量を計数し、部品の種類が変わるたびに部品の種類が変わったことを外部から速度切替位置決定部２１０に通知して、ＦＬモード開始位置を更新する処理を行うようにしてもよい。また、パーツフィーダに取り付けられた近接センサなどにより、ワークＰ１、Ｐ２、…、Ｐｎそれぞれの形状の違いを検出して、速度切替位置決定部２１０に通知して、ＦＬモード開始位置を更新する処理を行うようにしてもよい。
　これにより、部品取付装置１は、複数のワークＰ１、Ｐ２、…、Ｐｎをプリント基板Ｂに取り付ける工程に要する時間（タクトタイム）を短縮することができ、生産効率を向上させることができる。

　また、上述の実施形態において、ワークＰを取り上げるごとに、第２速度に減速してから、吸着パッド１１をワークＰに押し付け、電流値が制限電流値（FL2I）に達するまでの時間を測定し、測定した時間（Ｔ）が予め定めた設定時間範囲（ｔ１≦ｔ≦ｔ２）内になるように、ＦＬモード開始位置（FL2POSMAIN2）を変更するようにしてもよい。すなわち、第２速度に減速してから、吸着パッド１１をワークＰに所定の力で押し付けるまでの時間（Ｔ）が予め定めた設定時間範囲（ｔ１≦ｔ≦ｔ２）内になるように、ＦＬモード開始位置（FL2POSMAIN2）を変更するようにしてもよい。
　具体的には、速度切替位置決定部２１０は、測定した時間（Ｔ）が時間（ｔ２）より大きいとき（Ｔ＞ｔ２）、タクトタイム短縮のために、ステップＳ１１０で算出したＦＬモード開始位置（FL2POSMAIN2）をワークＰ寄りに微小距離ΔＰ分変更する。また、時間（Ｔ）が時間（ｔ１）より小さいとき（Ｔ＜ｔ１）、吸着パッド１１とワークＰとの衝突を避けるために、ステップＳ１１０で算出したＦＬモード開始位置（FL2POSMAIN2）を原点寄りに微小距離ΔＰ分変更する。ここで、微小距離ΔＰは、リニアモータ１０の位置制御の分解能に応じて予め定めた距離である。また、設定時間範囲（ｔ１≦ｔ≦ｔ２）は、リニアモータ１０の特性と、ワークＰの高さのバラツキとに応じて定める。
　これにより、ワークＰやプリント基板Ｂの破損を防ぎつつ、更にタクトタイムを短縮し、生産効率を向上させることができる。

（変形例）
　上述の実施形態では、初期切替位置（FL2POSSUB）を速度切替位置決定部２１０が予め記憶している構成について説明した。しかし、部品取付装置１が以下に説明するように動作して、初期切替位置（FL2POSSUB）を取得するようにしてもよい。

　図２３は、部品取付装置１が初期切替位置を取得する動作を示すフローチャートである。初期切替位置の取得を指示する指令が外部から制御部２０に入力されると、制御部２０は、吸着パッド１１を原点に移動させる原点復帰を行う（ステップＳ３０１）。
　位置判定部２１１は、第２速度指令（FL2SPD）をスイッチ部２０２に選択させるとともに、スイッチ部２０４に制限電流指令を選択させ（ステップＳ３０２）、リニアモータ１０のロッド１０１をプリント基板Ｂ又はワークＰに向かって（ＣＷ方向に）移動させる（ステップＳ３０３）。

　位置判定部２１１は、変流器２０７が測定した電流値が電流制限値（FL2I）以上であるか否かを判定し８ステップＳ３０４）、電流値が電流制限値（FL2I）に到達するまで待機する（ステップＳ３０４：ＮＯ）。
　ステップＳ３０４において、電流値が電流制限値（FL2I）に到達し、測定した電流が電流制限値（FL2I）以上であると判定すると（ステップＳ３０４：ＹＥＳ）、速度切替位置決定部２１０は、現在の吸着パッド１１の位置から原点までの間の距離（FLPOS）に基づいて、初期切替位置（FL2POSSUB）を算出して取得する（ステップＳ３０５）。

　例えば、「原点までの距離（FLPOS）／２」、すなわち原点復帰の後に移動した距離の半分の位置を初期切替位置（FL2POSSUB）にする。このとき、速度切替位置決定部２１０は、速度切替位置（FL3POS）に「原点までの距離（FLPOS）／２」を設定してもよい。
　また、原点までの距離（FLPOS）と、第１速度から第２速度への減速に要する距離とに基づいて、初期切替位置（FL2POSSUB）を算出するようにしてもよい。

　位置判定部２１１は、速度切替位置決定部２１０が初期切替位置（FL2POSSUB）を取得すると、第３速度指令（FL3SPD）をスイッチ部２０２に選択させるとともに、スイッチ部２０４に制限電流指令を選択させて（ステップＳ３０６）、ロッド１０１を原点に向かって（ＣＣＷ方向に）原点まで移動させ（ステップＳ３０７）、吸着パッド１１が原点に達するとリニアモータ１０を停止させて処理を終了する。

　図２４は、図２３のステップＳ３０２からステップＳ３０４までの動作における速度、及び電流の変化を示す波形図である。同図において、縦軸は吸着パッド１１の位置を示している。
　制御部２０は、初期切替位置の取得を指示する指令が入力されると、吸着パッド１１を第２速度（FL2SPD）でワークＰに向かって移動させる。制御部２０は、吸着パッド１１がワークＰに押し当てられた際にリニアモータ１０に流れる電流の変化を検出し、ワークＰの押し当て面の位置（FLPOS）を取得する。制御部２０は、押し当て面の位置（FLPOS）に基づいて、初期切替位置（FL2POSSUB）を取得する。

　変形例における部品取付装置１は、上述のように、初期切替位置（FL2POSSUB）を取得することにより、ユーザが初期切替位置（FL2POSSUB）を設定する手間及び時間を省くことができる。例えば、ワークＰのサイズが頻繁に変わったり、基板Ｂの位置が変わったりする場合においては、ユーザが初期切替位置（FL2POSSUB）を設定する必要がなくなるため、ワークＰを基板Ｂに取り付ける行程に要する時間を短縮することができる。

　また、上述の実施形態において、速度切替位置（FL3POS）をＦＬモード開始位置（FL2POSMAIN2）と同じにしてもよい。また、上述の実施形態において、リニアモータ１０のロッド１０１を原点に向かって（ＣＣＷ方向に）移動させるとき、第３速度指令を用いずに、第４速度指令を用いて移動させるようにしてもよい。
　また、上述の実施形態において、リニアモータ１０のロッド１０１に吸着パッド１１を取り付けずに、ロッド１０１が上下に移動することによりワークＰに対して圧力を加える動作を行うようにしてもよい。すなわち、部品取付装置１をワークＰに対して加圧を行うリニアモータ装置として用いるようにしてもよい。

　なお、本発明に記載の加圧対象物は実施形態におけるワークＰに対応する。また、本発明に記載の減速開始位置は実施形態におけるＦＬモード開始位置に対応する。

　上述の制御部２０は内部に、コンピュータシステムを有していてもよい。その場合、上述した位置制御部２０１、スイッチ部２０２、速度制御部２０３、スイッチ部２０４、電流制御部２０５、速度算出部２０８、位置算出部２０９、速度切替位置決定部２１０、位置判定部２１１、及び完了信号生成部２１２の行う処理の過程は、プログラムの形式でコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶されており、このプログラムをコンピュータが読み出して実行することによって、各機能部の処理が行われることになる。ここでコンピュータ読み取り可能な記録媒体とは、磁気ディスク、光磁気ディスク、ＣＤ－ＲＯＭ、ＤＶＤ－ＲＯＭ、半導体メモリ等をいう。また、このコンピュータプログラムを通信回線によってコンピュータに配信し、この配信を受けたコンピュータが当該プログラムを実行するようにしても良い。

　この発明によれば、モータを用いて対象物に対して加圧を行う際に要する時間を短縮することができる。

　１…部品取付装置、１０…リニアモータ、１１…吸着パッド、２０…制御部、２１０…速度切替位置決定部、２１１…位置判定部

Claims

　リニアモータと、該リニアモータに備えられている可動子を移動させて加圧対象物に圧力を加えさせる制御部とを具備するリニアモータ装置であって、
　前記制御部は、
　前記可動子が移動する速度を第１速度から、前記第１速度より遅い第２速度であって前記可動子が前記加圧対象物に接触した際に前記加圧対象物に加える圧力が所定の圧力以下となる第２速度に減速する際に要する距離と、前記加圧対象物に対して加圧を開始する位置とに基づいて、前記可動子が移動する速度を前記第１速度から前記第２速度への減速を開始させる位置である減速開始位置を算出する速度切替位置決定部と、
　前記可動子を所定の位置から前記加圧対象物に向かって移動させるとき、前記リニアモータの可動子を前記第１速度で駆動させ、前記可動子が前記減速開始位置に達すると、前記可動子を前記第２速度で移動させる位置判定部と
　を備える
　ことを特徴とするリニアモータ装置。
　前記減速開始位置は、前記可動子が前記加圧対象物に接する位置から、少なくとも前記減速する際に要する距離を隔てた位置である
　ことを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ装置。
　前記速度切替位置決定部は、
　前記可動子の速度が前記第２速度になってから、前記加圧対象物を所定の力で押し付けるまでの時間が予め定めた設定時間範囲内となるように予め定められた微小距離で前記減速開始位置を変更する
　ことを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれかに記載のリニアモータ装置。
　前記加圧対象物が複数の種類からなる場合、
　前記速度切替位置決定部は、
　前記加圧対象物の種類が変わるごとに、前記減速開始位置を算出する
　ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか一項に記載のリニアモータ装置。
　前記速度切替位置決定部は、
　前記第２速度で前記所定の位置から前記加圧対象物に向かって前記可動子を移動させ、前記リニアモータに流れる電流の変化に基づいて前記加圧対象物に対して加圧を開始する位置を検出し、
　検出した前記加圧対象物に対して加圧を開始する位置に基づいて前記減速開始位置を算出する
　ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のリニアモータ装置。
　前記可動子に取り付けられ、前記加圧対象物を吸着保持する吸着パッドを更に具備し、
　前記速度切替位置決定部は、
　前記可動子を第１速度から、前記第１速度より遅い第２速度であって前記可動子が加圧対象物に加える圧力が所定の圧力以下となる第２速度に減速する際に要する距離と、前記吸着パッドが前記加圧対象物に接する位置とに基づいて、前記減速開始位置を算出する
　ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のリニアモータ装置。
　リニアモータと、該リニアモータに備えられている可動子を移動させて加圧対象物に圧力を加えさせる制御部とを具備するリニアモータ装置における制御方法であって、
　前記可動子が移動する速度を第１速度から、前記第１速度より遅い第２速度であって前記可動子が前記加圧対象物に接触した際に前記加圧対象物に加える圧力が所定の圧力以下となる第２速度に減速する際に要する距離と、前記加圧対象物に対して加圧を開始する位置とに基づいて、前記可動子が移動する速度を前記第１速度から前記第２速度への減速を開始させる位置である減速開始位置を算出する速度切替位置決定ステップと、
　前記可動子を所定の位置から前記加圧対象物に向かって移動させるとき、前記リニアモータの可動子を前記第１速度で駆動させ、前記可動子が前記減速開始位置に達すると、前記可動子を前記第２速度で移動させる位置判定ステップと
　を有することを特徴とする制御方法。