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WO2009078329A1 - 酸化亜鉛焼結体およびその製造方法、スパッタリングターゲット、電極 - Google Patents

酸化亜鉛焼結体およびその製造方法、スパッタリングターゲット、電極 Download PDF

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Abstract

　ＺｎＯを主成分とする緻密な焼結体中に金属成分を分散させたターゲットを用いてスパッタリングを安定させ、低抵抗の透明電極を得る。本発明の酸化亜鉛焼結体の製造方法によって製造される酸化亜鉛焼結体は、ＺｎＯ中にＢ、Ａｌ、Ｓｉ、Ｓｃ、Ｔｉ、Ｖ、Ｇａ、Ｙ、Ｚｒ、Ｍｏ、Ａｇ、Ｈｆ、Ｃｅ、Ｄｙのうちいずれか１種以上の添加物元素が含有されることによって、導電性を有する。更に、この焼結体中に酸化されていない金属Ｚｎを分散させることによって、成膜されるＺｎＯ中のＺｎの量を化学量論的組成よりも大きくすることができる。この酸化亜鉛焼結体の製造方法においては、ＺｎＯ粉末、金属Ｚｎ粉末、上記の添加物元素が含まれる粉末、の３種類の粉末が混合された本焼成前粉末が造粒・成型され、非酸化性雰囲気で焼成されて酸化亜鉛焼結体が得られる。
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