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WO2009066555A1 - Microscope à sonde à balayage et unité de sonde pour un microscope à sonde à balayage - Google Patents

Microscope à sonde à balayage et unité de sonde pour un microscope à sonde à balayage Download PDF

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WO2009066555A1
WO2009066555A1 PCT/JP2008/069879 JP2008069879W WO2009066555A1 WO 2009066555 A1 WO2009066555 A1 WO 2009066555A1 JP 2008069879 W JP2008069879 W JP 2008069879W WO 2009066555 A1 WO2009066555 A1 WO 2009066555A1
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WO
WIPO (PCT)
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probe
sample
cantilever
scan
microscope
Prior art date
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Ceased
Application number
PCT/JP2008/069879
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Inventor
Masahiro Watanabe
Shuichi Baba
Toshihiko Nakata
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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    • G01Q20/00—Monitoring the movement or position of the probe
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
    • G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
    • G01Q10/04—Fine scanning or positioning
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    • G—PHYSICS
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Abstract

Selon l'invention, tout en entraînant la sonde d'un microscope à sonde à balayage à une vitesse très élevée, le contact entre la sonde et un échantillon est optiquement détecté et une détection de sonde rapide adaptée à des échantillons, tels qu'une grande tranche semi-conductrice et un substrat d'affichage plat, qui ne peuvent pas être entraînés, est activée. Un faisceau lumineux parallèle pour une détection optique du contact entre la sonde et l'échantillon et faisant vibrer optiquement la sonde est dirigé vers une région au-dessous de l'objectif pour observer l'échantillon et focalisé sur un point fixe sur un porte-à-faux au moyen d'une micro-lentille de focalisation attachée au-dessous de l'objectif de façon à être entraînée avec le porte-à-faux, irradiant ainsi l'échantillon avec le faisceau lumineux. Par conséquent, même lorsque le porte-à-faux est déplacé, le point fixe sur le porte-à-faux peut être irradié à tout moment. En outre, étant donné que la lentille de focalisation est très petite, l'échantillon peut être balayé avec le porte-à-faux à une vitesse élevée sans influencer les caractéristiques dynamiques de l'unité d'entraînement de porte-à-faux, de façon à observer et à mesurer l'échantillon.
PCT/JP2008/069879 2007-11-22 2008-10-31 Microscope à sonde à balayage et unité de sonde pour un microscope à sonde à balayage Ceased WO2009066555A1 (fr)

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