[go: up one dir, main page]

WO2009052819A3 - Système optique adaptable - Google Patents

Système optique adaptable Download PDF

Info

Publication number
WO2009052819A3
WO2009052819A3 PCT/DE2008/001776 DE2008001776W WO2009052819A3 WO 2009052819 A3 WO2009052819 A3 WO 2009052819A3 DE 2008001776 W DE2008001776 W DE 2008001776W WO 2009052819 A3 WO2009052819 A3 WO 2009052819A3
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
optical system
optical
adaptable
temperature
optical component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/DE2008/001776
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
WO2009052819A9 (fr
WO2009052819A2 (fr
Inventor
Stefan Franz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jenoptik Optical Systems GmbH
Original Assignee
Jenoptik Optical Systems GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jenoptik Optical Systems GmbH filed Critical Jenoptik Optical Systems GmbH
Publication of WO2009052819A2 publication Critical patent/WO2009052819A2/fr
Publication of WO2009052819A3 publication Critical patent/WO2009052819A3/fr
Publication of WO2009052819A9 publication Critical patent/WO2009052819A9/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B3/00—Simple or compound lenses
    • G02B3/0081—Simple or compound lenses having one or more elements with analytic function to create variable power
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B15/00—Optical objectives with means for varying the magnification
    • G02B15/02—Optical objectives with means for varying the magnification by changing, adding, or subtracting a part of the objective, e.g. convertible objective
    • G02B15/04—Optical objectives with means for varying the magnification by changing, adding, or subtracting a part of the objective, e.g. convertible objective by changing a part

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lenses (AREA)
  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)

Abstract

L'invention concerne un système optique adaptable et a pour but d'obtenir un système actif, peu sensible aux perturbations, au moyen duquel il est possible de faire varier différemment des propriétés de reproduction thermiquement dépendantes, afin de pouvoir compenser des oscillations de température dans un large éventail de température. Le système optique adaptable renferme, dans au moins une forme d'exécution, au moins un composant optique constitué par un matériau à indice de réfraction et/ou à coefficient de dilatation thermiquement dépendant, et des moyens d'introduire un gradient de température dans le système optique, sous forme de différence de température entre des composants optiques ou dans au moins un composant optique. L'invention est caractérisée en ce que, du fait des gradients de température introduits, on peut faire varier la réfringence ou l'état de correction du système optique, en effectuant une redistribution de la quantité de chaleur, directement dans un composant optique et/ou un échange de la quantité de chaleur entre des composants optiques. Une variante particulièrement avantageuse sur le plan énergétique consiste à combiner des éléments de refroidissement et des éléments chauffants.
PCT/DE2008/001776 2007-10-24 2008-10-24 Système optique adaptable Ceased WO2009052819A2 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200710051291 DE102007051291B4 (de) 2007-10-24 2007-10-24 Adaptierbares optisches System
DE102007051291.2 2007-10-24

Publications (3)

Publication Number Publication Date
WO2009052819A2 WO2009052819A2 (fr) 2009-04-30
WO2009052819A3 true WO2009052819A3 (fr) 2009-07-09
WO2009052819A9 WO2009052819A9 (fr) 2009-09-24

Family

ID=40473914

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE2008/001776 Ceased WO2009052819A2 (fr) 2007-10-24 2008-10-24 Système optique adaptable

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102007051291B4 (fr)
WO (1) WO2009052819A2 (fr)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011005840A1 (de) * 2011-03-21 2012-09-27 Carl Zeiss Smt Gmbh Steuerbare Mehrfachspiegelanordnung, optisches System mit einer steuerbaren Mehrfachspiegelanordnung sowie Verfahren zum Betreiben einer steuerbaren Mehrfachspiegelanordnung
DE102011084117A1 (de) 2011-10-07 2013-04-11 Carl Zeiss Smt Gmbh Reflektives optisches Element für den EUV-Wellenlängenbereich, Verfahren zur Erzeugung und zur Korrektur eines solchen Elements, Projektionsobjektiv für die Mikrolithographie mit einem solchen Element und Projektionsbelichtungsanlage für die Mikrolithographie mit einem solchen Projektionsobjektiv
US9606419B2 (en) 2014-03-21 2017-03-28 Fundació Institut De Ciències Fotòniques Adaptive photothermal lens
US10274648B2 (en) 2014-05-28 2019-04-30 Fundació Institut De Ciències Fotòniques Adaptive thermal micro lens
DE102015116962A1 (de) * 2015-10-06 2017-04-06 Connaught Electronics Ltd. Kamera mit einer Linse und einer Heizeinheit zum Heizen der Linse, und Kraftfahrzeug
GB201703356D0 (en) 2017-03-02 2017-04-19 Cambridge Mechatronics Ltd SMA actuator for zoom camera OIS
CN107272188B (zh) * 2017-07-31 2020-03-10 信利光电股份有限公司 一种变焦镜头及电子设备
DE102017217121A1 (de) * 2017-09-26 2019-03-28 Robert Bosch Gmbh Anordnung eines optischen Systems und Temperierungsverfahren
CN107948513A (zh) * 2017-11-30 2018-04-20 信利光电股份有限公司 一种变焦摄像模组及其变焦方法
DE102018211596A1 (de) 2018-07-12 2020-01-16 Carl Zeiss Smt Gmbh Verfahren zur Herstellung eines reflektierenden optischen Elementes einer Projektionsbelichtungsanlage und reflektierendes optisches Element für eine Projektionsbelichtungsanlage, Projektionsobjektiv und Projektionsbelichtungsanlage
CN113396353B (zh) * 2018-10-09 2023-10-20 康宁股份有限公司 液体透镜
DE102019132003A1 (de) * 2019-04-12 2020-10-15 Jenoptik Optical Systems Gmbh Optische Einheit und Verfahren zum Betreiben einer optischen Einheit
DE102020203750A1 (de) 2020-03-24 2021-09-30 Carl Zeiss Smt Gmbh Vorrichtung zur Erfassung einer Temperatur, Anlage zur Herstellung eines optischen Elementes und Verfahren zur Herstellung eines optischen Elementes
DE102020203753A1 (de) 2020-03-24 2021-09-30 Carl Zeiss Smt Gmbh Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie
DE102022200976A1 (de) 2022-01-31 2023-01-05 Carl Zeiss Smt Gmbh Kalibrierkörper und Verfahren zur Kalibrierung
DE102022210037A1 (de) 2022-09-23 2024-03-28 Carl Zeiss Smt Gmbh Anordnung zum Tempern mindestens eines Teilbereichs eines optischen Elementes
GB202309720D0 (en) * 2023-06-28 2023-08-09 Univ College Dublin National Univ Of Ireland Adjustable optical element
DE102023208563A1 (de) 2023-09-06 2025-03-06 Carl Zeiss Smt Gmbh Bearbeitung eines optischen Elements für eine Projektionsbelichtungsanlage
DE102024109474A1 (de) * 2024-04-04 2025-10-09 TRUMPF Laser SE Verfahren und Laserbearbeitungsanlage zur Beeinflussung eines Astigmatismus in einem Laserstrahl

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4872743A (en) * 1983-04-18 1989-10-10 Canon Kabushiki Kaisha Varifocal optical element
EP0678768A2 (fr) * 1994-04-22 1995-10-25 Canon Kabushiki Kaisha Appareil de pose par projection et procédé pour la fabrication d'un microdispositif
EP0965871A1 (fr) * 1998-06-20 1999-12-22 Carl Zeiss Procédé pour la correction des défauts optiques asymètriques en rotation
EP1376192A2 (fr) * 2002-06-20 2004-01-02 Nikon Corporation Optique adaptive utilisant plusieurs actionneurs pour deformer de manière continue un miroir déformable
JP2005140999A (ja) * 2003-11-06 2005-06-02 Nikon Corp 光学系、光学系の調整方法、露光装置、および露光方法
DE102005062401A1 (de) * 2005-12-23 2007-06-28 Carl Zeiss Smt Ag Vorrichtung zur Variation der Abbildungseigenschaften eines Spiegels

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4505535A (en) 1982-02-06 1985-03-19 Barr & Stroud Limited Infrared objective lens systems
JPS6197608A (ja) 1984-10-17 1986-05-16 Canon Inc レンズ保持部
GB9809739D0 (en) 1998-05-08 1998-07-08 Pilkington Perkin Elmer Ltd Afocal telescope
DE19956353C1 (de) * 1999-11-24 2001-08-09 Zeiss Carl Optische Anordnung
JP2005062632A (ja) 2003-08-19 2005-03-10 Konica Minolta Opto Inc レンズ装置
DE102006059091B4 (de) * 2005-12-16 2011-03-31 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Mikrooptisches reflektierendes Bauelement und dessen Verwendung

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4872743A (en) * 1983-04-18 1989-10-10 Canon Kabushiki Kaisha Varifocal optical element
EP0678768A2 (fr) * 1994-04-22 1995-10-25 Canon Kabushiki Kaisha Appareil de pose par projection et procédé pour la fabrication d'un microdispositif
EP0965871A1 (fr) * 1998-06-20 1999-12-22 Carl Zeiss Procédé pour la correction des défauts optiques asymètriques en rotation
EP1376192A2 (fr) * 2002-06-20 2004-01-02 Nikon Corporation Optique adaptive utilisant plusieurs actionneurs pour deformer de manière continue un miroir déformable
JP2005140999A (ja) * 2003-11-06 2005-06-02 Nikon Corp 光学系、光学系の調整方法、露光装置、および露光方法
DE102005062401A1 (de) * 2005-12-23 2007-06-28 Carl Zeiss Smt Ag Vorrichtung zur Variation der Abbildungseigenschaften eines Spiegels

Also Published As

Publication number Publication date
WO2009052819A9 (fr) 2009-09-24
WO2009052819A2 (fr) 2009-04-30
DE102007051291B4 (de) 2010-02-11
DE102007051291A1 (de) 2009-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2009052819A3 (fr) Système optique adaptable
WO2008124087A8 (fr) Systèmes de transfert de chaleur utilisant des mélanges de polyols et de liquides ioniques
EP1889321A4 (fr) Systeme de pile a combustible haute temperature a reseau d'echangeurs thermiques integres
GB201116290D0 (en) Layer assembly for heat exchanger
WO2008039611A3 (fr) support de substrat thermorÉgulÉ avec couche d'isolation non homogÈne pour systÈme de traitement des substrats
JP2007305993A5 (fr)
WO2008025850A3 (fr) Système énergétique doté d'une pompe à chaleur
WO2014043526A3 (fr) Systèmes et procédés de refroidissement pour microscopie cryogénique par fluorescence à super résolution et autres applications
WO2008133210A1 (fr) Dispositif semi-conducteur
ATE523915T1 (de) Brennstoffzellenmodul
WO2007037856A3 (fr) Systeme de pile a combustible productrice d'hydrogene a amorçage thermique
WO2008057429A3 (fr) Réchauffeur de fluide cryogénique à triple enveloppe
WO2011060074A3 (fr) Systèmes et procédés de gestion thermique d'une batterie
WO2012136323A3 (fr) Dispositif d'accumulation d'énergie comportant un appareil de thermorégulation
WO2010026114A3 (fr) Nacelle d'éolienne comportant un échangeur de chaleur
WO2009071222A3 (fr) Système permettant l'utilisation de l'énergie solaire et pourvu d'un dispositif de dissipation de la chaleur dans le milieu ambiant, procédé de fonctionnement du système et utilisation
WO2006101405A3 (fr) Systeme pour l'utilisation de sources d'energie renouvelables
CN205958828U (zh) 一种中波制冷消热差红外光学镜头
WO2011100298A3 (fr) Système et procédé pour processus thermique comprenant une pompe à chaleur thermoélectrique et un échangeur de chaleur interne
SG185829A1 (en) Apparatus lens and back support plate for cooling solar energy collectors and method of fabrication thereof
SG126908A1 (en) Oven for controlled heating of compounds at varying temperatures
WO2010057017A3 (fr) Système et méthode de gestion de température d'un composant thermique de fond
EP2453178A3 (fr) Dispositif de commande pour système de chauffage et système de chauffage
WO2007010011A3 (fr) Module d'element optique
WO2012016192A3 (fr) Cryopompe à haute vitesse pour réfrigérateurs multiples

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 08842966

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 08842966

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A2