WO2008108215A1 - 弾性境界波装置 - Google Patents
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Abstract
挿入損失の低減及び周波数温度係数TCFの絶対値の低減を可能とする弾性境界波装置を提供する。 圧電体2と誘電体3との界面を伝搬する弾性境界波を利用した弾性境界波装置であって、圧電体2の周波数温度係数TCFが負の値であり、誘電体3の周波数温度係数TCFが正の値であり、IDT電極4が圧電体2側及び誘電体3側にそれぞれ配置された第1,第3の導体層7,9と、第1,第3の導体層7,9間に配置されており、第1,第3の導体層7,9よりも密度が低い金属または該金属を主体とする合金からなる第2の導体層8とを有し、前記第1~第3の導体層の厚みを、それぞれ、H1、H2、H3とし、前記IDT電極周期をλとしたときに、0.04λ<H1+H3<0.12λ、H1>0.009λ、H3>0.022λ、0.05λ<H2<0.16λとされている弾性境界波装置。
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