WO2006128733A3 - Appareil de mesure par coordonnees et procede pour mesurer un objet a l'aide d'un appareil de mesure par coordonnees - Google Patents
Appareil de mesure par coordonnees et procede pour mesurer un objet a l'aide d'un appareil de mesure par coordonnees Download PDFInfo
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- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37193—Multicoordinate measuring system, machine, cmm
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- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/30—Nc systems
- G05B2219/37—Measurements
- G05B2219/37287—Fiber optic interferometer
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
L'invention concerne un appareil de mesure par coordonnées (10) qui comprend au moins un capteur optique (32) balayant sans contact un objet à mesurer (16). L'invention vise à permettre de mesurer de petites dimensions et inclinaisons très précises de l'objet. A cet effet, l'angle de sortie et/ou la position angulaire et/ou la longueur de la trajectoire du faisceau de mesure du capteur optique (32) peuvent être adaptés pour la détection de structures désirées de l'objet (16) et les résultats de mesure pour les différents angles de sortie et/ou positions angulaires et/ou longueurs peuvent être mis à disposition dans un système de coordonnées homogène par calibrage réciproque des capteurs optiques en ce qui concerne les différents angles de sortie et/ou positions angulaires et/ou longueurs.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE112006001423.4T DE112006001423B4 (de) | 2005-06-03 | 2006-06-06 | Koordinatenmessgerät sowie Verfahren zum Messen eines Objektes mit einem Koordinatenmessgerät |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102005026022A DE102005026022A1 (de) | 2005-06-03 | 2005-06-03 | Koordinatenmessgerät sowie Verfahren zum Messen eines Objektes mit einem Koordinatenmessgerät |
| DE102005026022.5 | 2005-06-03 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2006128733A2 WO2006128733A2 (fr) | 2006-12-07 |
| WO2006128733A3 true WO2006128733A3 (fr) | 2007-01-18 |
Family
ID=37198451
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/EP2006/005355 Ceased WO2006128733A2 (fr) | 2005-06-03 | 2006-06-06 | Appareil de mesure par coordonnees et procede pour mesurer un objet a l'aide d'un appareil de mesure par coordonnees |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (2) | DE102005026022A1 (fr) |
| WO (1) | WO2006128733A2 (fr) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| DE102007003059A1 (de) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Technische Universität Ilmenau | Verfahren zur objektivierten Fokussierung für die optische Längenmesstechnik |
| DE102007024197B4 (de) | 2007-05-24 | 2017-01-05 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Formmessung von Freiform-Flächen |
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2005
- 2005-06-03 DE DE102005026022A patent/DE102005026022A1/de not_active Withdrawn
-
2006
- 2006-06-06 WO PCT/EP2006/005355 patent/WO2006128733A2/fr not_active Ceased
- 2006-06-06 DE DE112006001423.4T patent/DE112006001423B4/de not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE112006001423B4 (de) | 2021-06-24 |
| WO2006128733A2 (fr) | 2006-12-07 |
| DE102005026022A1 (de) | 2006-12-07 |
| DE112006001423A5 (de) | 2008-04-10 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application | ||
| WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 1120060014234 Country of ref document: DE |
|
| REF | Corresponds to |
Ref document number: 112006001423 Country of ref document: DE Date of ref document: 20080410 Kind code of ref document: P |
|
| 122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 06761973 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A2 |