[go: up one dir, main page]

WO2006041272A1 - Procede de production de silane - Google Patents

Procede de production de silane Download PDF

Info

Publication number
WO2006041272A1
WO2006041272A1 PCT/KZ2005/000008 KZ2005000008W WO2006041272A1 WO 2006041272 A1 WO2006041272 A1 WO 2006041272A1 KZ 2005000008 W KZ2005000008 W KZ 2005000008W WO 2006041272 A1 WO2006041272 A1 WO 2006041272A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
silicon
silane
containing alloy
item
present method
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/KZ2005/000008
Other languages
English (en)
Inventor
Marat Fatykhovich Tamendarov
Bolat Nygmetuly Mukashev
Khabibulla Abdullaevich Abdullin
Zhaksybek Abdrakhmetovich Kulekeev
Nuraly Sultanovich Bekturganov
Boris Anatolievich Beketov
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ministry Of Education And Sciences Of Republic Kazakhstan Republican State Enterprise 'center Of Chemical-Technological Researches'
'silicon Technologies' Ltd Liability Partnersship
Original Assignee
Ministry Of Education And Sciences Of Republic Kazakhstan Republican State Enterprise 'center Of Chemical-Technological Researches'
'silicon Technologies' Ltd Liability Partnersship
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ministry Of Education And Sciences Of Republic Kazakhstan Republican State Enterprise 'center Of Chemical-Technological Researches', 'silicon Technologies' Ltd Liability Partnersship filed Critical Ministry Of Education And Sciences Of Republic Kazakhstan Republican State Enterprise 'center Of Chemical-Technological Researches'
Publication of WO2006041272A1 publication Critical patent/WO2006041272A1/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/04—Hydrides of silicon
    • C01B33/043—Monosilane

Definitions

  • the purpose of the invention is to create highly effective, wasteless, ecologically clean, and energy-efficient method for the manufacture of semi ⁇ conductor silicon for photoelectron and microelectronic industry from inexpensive initial raw materials, namely from the phosphoric industry wastes, available in surplus at the phosphoric industry enterprises.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

La présente invention a trait à un procédé de production de silane utilisé pour la formation des structures semi-conductrices à film minces par la technologie d'épitaxie en phase gazeuse et la fabrication de silicium monocristallin et polycristallin à diverses fins (semi-conducteurs, énergie solaire). Le procédé de la présente invention comprend la production d'un alliage silicié par réduction aluminothermique de silice obtenue à partir de déchets métallurgiques contenant du silicium, et l'interaction dudit alliage silicié avec un solution aqueuse d'acide minéral. Dans ce procédé l'acide chlorhydrique a été utilisé en tant qu'acide minéral requis. Les principaux avantages des procédés de l'invention sont les suivants: l'utilisation de matières premières peu coûteuses, une faible consommation d'énergie, le respect de l'environnement. Le rendement élevé de silane entraîne à son tour la réduction du coût du produit et permet une utilisation efficace de déchets industriels. Du ciment alumineux, qui est le sous-produit du procédé de l'invention, peut être utilisé dans l'industrie de la construction.
PCT/KZ2005/000008 2004-10-12 2005-10-12 Procede de production de silane Ceased WO2006041272A1 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KZ2004/1444.1 2004-10-12
KZ20041444 2004-10-12

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2006041272A1 true WO2006041272A1 (fr) 2006-04-20

Family

ID=35797011

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/KZ2005/000008 Ceased WO2006041272A1 (fr) 2004-10-12 2005-10-12 Procede de production de silane

Country Status (1)

Country Link
WO (1) WO2006041272A1 (fr)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2931472A1 (fr) * 2008-05-22 2009-11-27 Air Liquide Production de silanes par hydrolyse acide d'alliages de silicium et de metaux alcalino-terreux ou siliciures de metaux alcalino-terreux
WO2011010032A1 (fr) 2009-07-22 2011-01-27 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Production de silanes a partir d'alliages de silicium et de metaux alcalino-terreux ou siliciures de metaux alcalino-terreux
WO2011036389A1 (fr) 2009-09-23 2011-03-31 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude PRODUCTION DE SILANES PAR BROYAGE DE GRAINS DE SILICE MELANGES A UN METAL TEL QUE Mg OU Al SOUS ATMOSPHERE HYDROGENE
WO2011036367A1 (fr) 2009-09-23 2011-03-31 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Production de silanes par broyage de grains de silicium mélangé à un métal tel que Mg, Al, Ca, Zn sous atmosuphère hydrogène
WO2011036366A1 (fr) 2009-09-23 2011-03-31 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Production de silanes par broyage de grains de silicium sous atmosphere hydrogene
WO2011036368A1 (fr) 2009-09-23 2011-03-31 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Production de silanes par broyage de grains d'alliage de silicium sous atmosphère hydrogène
WO2013007923A1 (fr) 2011-07-08 2013-01-17 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Procede de preparation de monosilane electrochimiquement assiste
CN109250722A (zh) * 2018-09-18 2019-01-22 兰凤 一种利用有机硅渣浆制备单硅烷的方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0215606A2 (fr) * 1985-09-03 1987-03-25 MITSUI TOATSU CHEMICALS, Inc. Procédé de préparation de silanes
US4698218A (en) * 1983-12-19 1987-10-06 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Process and the apparatus for the production of silicon hydrides
SU1761705A1 (ru) * 1989-10-30 1992-09-15 Казахский государственный университет им.С.М.Кирова Способ переработки фосфорных шлаков
RU2174950C1 (ru) * 2000-08-15 2001-10-20 Общество с ограниченной ответственностью "Ц.Е.С. - Украина" Способ получения силана

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4698218A (en) * 1983-12-19 1987-10-06 L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Process and the apparatus for the production of silicon hydrides
EP0215606A2 (fr) * 1985-09-03 1987-03-25 MITSUI TOATSU CHEMICALS, Inc. Procédé de préparation de silanes
SU1761705A1 (ru) * 1989-10-30 1992-09-15 Казахский государственный университет им.С.М.Кирова Способ переработки фосфорных шлаков
RU2174950C1 (ru) * 2000-08-15 2001-10-20 Общество с ограниченной ответственностью "Ц.Е.С. - Украина" Способ получения силана

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DATABASE CA [online] CHEMICAL ABSTRACTS SERVICE, COLUMBUS, OHIO, US; BEKETOV, B. A. ET AL: "Method of preparing silane for semiconductor industry", XP002369013, retrieved from STN Database accession no. 137:203487 *
DATABASE WPI Section Ch Week 199350, Derwent World Patents Index; Class E36, AN 1993-402364, XP002369056 *
MUKASHEV, B. N. ET AL: "A novel low cost process for the production of semiconductor polycrystalline silicon from recycled industrial waste", NATO SCIENCE SERIES, 3: HIGH TECHNOLOGY , 73(PERSPECTIVES, SCIENCE AND TECHNOLOGIES FOR NOVEL SILICON ON INSULATOR DEVICES), 75-84 CODEN: NSSTFF; ISSN: 1388-6576, 2000, XP008060568 *
TAMENDAROV M F ET AL COMMISSION OF THE EUROPEAN COMMUNITIES: "TECHNOLOGY AND THERMODYNAMIC MODELLING FOR SEMICOMDUCTOR SILICON PRODUCTION BY RECYCLING INDUSTRIAL WASTES", 16TH. E.C. PHOTOVOLTAIC SOLAR ENERGY CONFERENCE. GLASCOW, UNITED KINGDOM, MAY 1 - 5, 2000, PROCEEDINGS OF THE INTERNATIONAL PHOTOVOLTAIC SOLAR ENERGY CONFERENCE, LONDON : JAMES & JAMES LTD, GB, vol. VOL. 2 OF 3. CONF. 16, 1 May 2000 (2000-05-01), pages 1631 - 1633, XP001138965, ISBN: 1-902916-18-2 *

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102036913A (zh) * 2008-05-22 2011-04-27 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 通过硅的和碱土金属的合金或碱土金属硅化物的酸解制造硅烷
WO2009141540A3 (fr) * 2008-05-22 2010-11-04 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Production de silanes par hydrolyse acide d'alliages de silicium et de metaux alcalino-terreux ou siliciures de metaux alcalino-terreux
FR2931472A1 (fr) * 2008-05-22 2009-11-27 Air Liquide Production de silanes par hydrolyse acide d'alliages de silicium et de metaux alcalino-terreux ou siliciures de metaux alcalino-terreux
CN102036913B (zh) * 2008-05-22 2014-06-25 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 通过硅的和碱土金属的合金或碱土金属硅化物的酸解制造硅烷
US8551438B2 (en) 2008-05-22 2013-10-08 L'Air Liquide, Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude Production of silanes by acid hydrolysis of alloys of silicon and of alkaline-earth metals or alkaline-earth metal silicides
WO2011010032A1 (fr) 2009-07-22 2011-01-27 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Production de silanes a partir d'alliages de silicium et de metaux alcalino-terreux ou siliciures de metaux alcalino-terreux
WO2011036389A1 (fr) 2009-09-23 2011-03-31 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude PRODUCTION DE SILANES PAR BROYAGE DE GRAINS DE SILICE MELANGES A UN METAL TEL QUE Mg OU Al SOUS ATMOSPHERE HYDROGENE
WO2011036368A1 (fr) 2009-09-23 2011-03-31 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Production de silanes par broyage de grains d'alliage de silicium sous atmosphère hydrogène
WO2011036366A1 (fr) 2009-09-23 2011-03-31 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Production de silanes par broyage de grains de silicium sous atmosphere hydrogene
WO2011036367A1 (fr) 2009-09-23 2011-03-31 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Production de silanes par broyage de grains de silicium mélangé à un métal tel que Mg, Al, Ca, Zn sous atmosuphère hydrogène
WO2013007923A1 (fr) 2011-07-08 2013-01-17 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude Procede de preparation de monosilane electrochimiquement assiste
CN109250722A (zh) * 2018-09-18 2019-01-22 兰凤 一种利用有机硅渣浆制备单硅烷的方法
CN109250722B (zh) * 2018-09-18 2020-04-17 浙江胡涂硅有限公司 一种利用有机硅渣浆制备单硅烷的方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Ceccaroli et al. Solar grade silicon feedstock
US8568683B2 (en) Method for making silicon for solar cells and other applications
US7972584B2 (en) Magnesiothermic methods of producing high-purity silicon
US6887448B2 (en) Method for production of high purity silicon
US20100008841A1 (en) Method for the Manufacture of Silicon Tetrachloride
US12162761B2 (en) Silicon granules for the preparation of trichlorosilane and associated production method
US20120128568A1 (en) Production of silanes from silicon alloys and alkaline earth metals or alkaline earth metal silicides
Okutani Utilization of silica in rice hulls as raw materials for silicon semiconductors
CN102123944A (zh) 任选地在第二碳源存在下由硅氧化物和碳化硅反应制备硅
WO2006041272A1 (fr) Procede de production de silane
US20040022713A1 (en) Method for producing trichlorosilane
CN109867287A (zh) 一种太阳能多晶硅片制备方法
Ceccaroli et al. New advances in polysilicon processes correlating feedstock properties and good crystal and wafer performances
CN101243014B (zh) 硅的制备方法
EP1805106A1 (fr) Procede de production de silicium pur
US20090130015A1 (en) Method for producing high purity silicon
US20090136409A1 (en) Method for producing polycrystalline silicon
JP2013067520A (ja) トリクロロシラン製造方法及び製造装置
JP2009084129A (ja) 高純度シリコンの製造方法
KR101088901B1 (ko) 슬래그로부터 회수된 실리카를 이용한 폴리실리콘의 제조방법
WO2007013644A1 (fr) Procédé servant à produire du silicium polycristallin
JP2007039318A (ja) 高純度シリコンの製造方法
JP2007055891A (ja) 多結晶シリコンの製造方法
Kim Preparation of polysilicon for solar cells
JP4672264B2 (ja) ＳｉＯの精製方法及び得られたＳｉＯを用いる高純度シリコンの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AE AG AL AM AT AU AZ BA BB BG BR BW BY BZ CA CH CN CO CR CU CZ DE DK DM DZ EC EE EG ES FI GB GD GE GH GM HR HU ID IL IN IS JP KE KG KM KP KR KZ LC LK LR LS LT LU LV LY MA MD MG MK MN MW MX MZ NA NG NI NO NZ OM PG PH PL PT RO RU SC SD SE SG SK SL SM SY TJ TM TN TR TT TZ UA UG US UZ VC VN YU ZA ZM ZW

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): BW GH GM KE LS MW MZ NA SD SL SZ TZ UG ZM ZW AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR BF BJ CF CG CI CM GA GN GQ GW ML MR NE SN TD TG

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 05797691

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1