WO2005058459A1

WO2005058459A1 - 成分分離デバイスおよびその製造方法並びにこれを用いた成分の分離方法

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Publication number: WO2005058459A1
Application number: PCT/JP2004/017455
Authority: WO
Inventors: Masaya Nakatani
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2003-12-17
Filing date: 2004-11-25
Publication date: 2005-06-30
Anticipated expiration: 2006-06-17
Also published as: EP1627675A4; CN1753718A; US20060124555A1; JPWO2005058459A1; US8333896B2; JP4259525B2; EP1627675A1; CN100393387C

Abstract

　成分分離デバイスは、液体成分と固形成分とを含有する流体を収容する流路が形成された基板と、流路に収容された流体を振動させるアクチュエータと、流体の液体成分と固形成分とのうちの一方を取り出す取出し部とを備える。アクチュエータは、流路から離れて基板上に設けられた第１の電極と、第１の電極上に設けられた圧電体と、圧電体上に設けられた第２の電極とを有する。この分離デバイスでは、アクチュエータが流体に汚染されず、効率的に成分を分離できる。

Description

明細書

成分分離デバイスおよびその製造方法並びにこれを用いた成分の分離方法

技術分野

[0001] 本発明は、液体成分と固形成分が混合された例えば血液、乳液などの流体のそれぞれの成分を分離するための成分分離デバイスおよびその製造方法並びにこのデバイスを用いた成分の分離方法に関する。

背景技術

[0002] 複数の固形成分が混合された流体として、例えば河川水、海水、血液などが挙げられる。これらは液体成分と固形成分が混合したものであり、砂、細菌、血球細胞などの固形成分は沈殿や分散により液体成分に溶融することなく固形として存在してヽる

[0003] これらの複数の成分を分離する方法、例えば血球を血液から分離する装置を説明する。通常、血液は液体成分である血漿と固形成分である血球細胞とその他の成分から構成された全血状態で採取される。しカゝしながら、血液検査のために必要な成分は血球細胞部分のみ、または、逆に血漿部分のみである場合が多い。

[0004] 例えば、血液中の血糖値を検査するためには血漿成分中に溶融して!/、る血糖を測定する必要がある。 DNAを検出するためには血球中の白血球細胞力 DNAを取り出す。このため、従来の一般的な方法では採取された全血を血漿 ·血球成分に分離するために試験管中に全血を入れた後、遠心分離器で所定の遠心力を加える。これにより、試験管内の全血はそれぞれの成分に応じた遠心力を受け、質量の違いによつてこれら成分が分離される。

[0005] その後、上澄み液を抽出することで血漿成分が取り出され、沈殿物から血球成分が取り出される。その後、分離されたそれぞれの成分は検査工程で所定の測定が行われる。

[0006] 遠心分離器を用いる従来の方法では以下の問題点がある。すなわち、試験管の中に全血をある程度の量、例えば数ミリリットル力も数十ミリリットルほどのサンプルが必要である。よってこの方法はサンプルの量が少な!/、場合には液体成分と固形成分は分離が困難である。

[0007] フィルタを用いて微量のサンプルから固形成分を分離する方法が「Integrated ve rtical screen microinter system using inclined SU— 8 structure. 」 (Y ong-Kyu Yoon、 MEMS2003, Kyoto, pp. 227—230 IEEE発行）に開示されている。多孔質性のフィルタにより所定の大きさ以上の血球を濾過して血漿成分と血球が分離されてそれぞれ取り出される。この方法ではフィルタの穴のサイズと数が分離特性に影響を与える。したがって、フィルタは分離したい成分に応じて最適に設計する必要がある。例えば、感光性レジストを立体的に感光させてメッシュ状のフィルタを精度良く作成でき、フィルタの穴のサイズと数が精度良く作成できる。

[0008] フィルタによる従来の方法では、フィルタに複数成分の混合された流体もしくは粉流体が通過する際の圧力によって、通過する固形成分の粒子の大きさが異なる。特に複数の大きさの固形成分粒子はこの方法では分離しにく!、。所定の粒子を取り出すため、それより小さい粒子のみが通過するようにフィルタの孔の大きさを決定する。その所定の粒子はフィルタにトラップされるのでフィルタの孔が詰まり、小さな粒子の通過を妨げる場合がある。

[0009] 特表 2001— 525722号公報には、流体内に懸濁した粒子のマ-ュピレーシヨンを行うための装置が開示されている。この装置は粒子の懸濁した流体を流すためのダタトと、ダクトの片側に配置される超音波トランスデューサと、ダクトの反対側に配置されるリフレクタとを備える。超音波トランスデューサはダクトの流路の側面に設けられている。超音波トランスデューサが直接ダクトの内部に接している。この装置では、ダクトを幅方向に横切る音響定在波が発生し、これによつて粒子が濃縮して、粒子によるダタトの縦軸に平行な一つ以上の平面状の帯が形成され、これにより液体成分と固形成分である粒子が分離する。

[0010] この装置では、音響定在波によって流体の所定の位置に粒子が集中するので、フィルタの目詰まりを心配する必要は無い。しかし、超音波トランスデューサが直接ダクトの内部に接しているので、ダクト内の流体力も汚染を受ける可能性がある。また、超音波トランスデューサがダクトの一部を構成して、るので、ダクトは平面で構成される必要があり、したがって超音波トランスデューサの振動面は平面である。よって、発生できる音響波が平面波のみに限られる。また、ダクトの側面に超音波ァクチユエータを正確に設置することが難し、。

発明の開示

[0011] 成分分離デバイスは、液体成分と固形成分とを含有する流体を収容する流路が形成された基板と、流路に収容された流体を振動させるァクチユエータと、流体の液体成分と固形成分とのうちの一方を取り出す取出し部とを備える。ァクチユエータは、流路から離れて基板上に設けられた第 1の電極と、第 1の電極上に設けられた圧電体と、圧電体上に設けられた第 2の電極とを有する。

[0012] この分離デバイスでは、ァクチユエータが流体に汚染されず、効率的に成分を分離できる。

図面の簡単な説明

[0013] [図 1]図 1は本発明の実施の形態 1における成分分離デバイスの斜視図である。

[図 2]図 2は実施の形態 1における成分分離デバイスの上面図である。

[図 3]図 3は実施の形態 1における成分分離デバイスの上面図である。

[図 4]図 4は実施の形態 1における成分分離デバイスのァクチユエ一タに印加される電圧を示す。

[図 5]図 5は実施の形態 1における他の成分分離デバイスの斜視図である。

[図 6]図 6は実施の形態 1における成分分離デバイスの製造工程を説明するための断面図である。

[図 7]図 7は実施の形態 1における成分分離デバイスの製造工程を説明するための断面図である。

[図 8]図 8は実施の形態 1における成分分離デバイスの製造工程を説明するための断面図である。

[図 9]図 9は実施の形態 1における成分分離デバイスの製造工程を説明するための断面図である。

[図 10]図 10は実施の形態 1における成分分離デバイスの製造工程を説明するための断面図である。 [図 11]図 11は実施の形態 1における成分分離デバイスの製造工程を説明するための断面図である。

[図 12]図 12は実施の形態 1における成分分離デバイスの製造工程を説明するための断面図である。

[図 13]図 13は本発明の実施の形態 2における成分分離デバイスの斜視図である。

[図 14]図 14は実施の形態 2における他の成分分離デバイスの斜視図である。

[図 15]図 15は図 14に示す成分分離デバイスの上面図である。

[図 16]図 16は図 14に示す成分分離デバイスの上面図である。

符号の説明

1 基板

2 流路

3 ァクチユエータ

5 共通電極

6A 圧電体

6B 圧電体

7A 駆動電極

7B 駆動電極

8 流入口

9 流出口

10A 貫通孔

10B 貫通孔

11 固形成分

12 液体成分

13 レジストマスク

14 レジストマスク

15 レジストマスク

16 ァクチユエータ

18 電極層 19 圧電層

20 電極層

26 基板

27 流路

28 ァクチユエータ

29 流入口

30 流出口

発明を実施するための最良の形態

[0015] (実施の形態 1)

図 1は本発明の実施の形態 1における成分分離デバイスの斜視図である。シリコン力もなる基板 1には流路 2が形成されて、る。デバイスの外部より固形成分と液体成分が混合された流体が流入口 8から流入し、流路 2を通って流出路 9から流出する、すなわち流体は流路 2に収容される。流路 2の底面 2Aには底面 2Aの反対の面 1A に貫通している貫通孔 10A、 10Bが設けられている。基板 1の上面 1B上であり流路 2 の外側には長手方向 3Aを有するァクチユエータ 3が流路 2から離れて設けられている。ァクチユエータ 3の長手方向 3Aは流路 2の側面 2Bに平行である。ァクチユエータ 3は基板 1上設けられた白金よりなる共通電極 5と、共通電極 5上のチタン酸ジルコン酸鉛からなる圧電体 6A, 6Bと、圧電体 6A, 6B上にそれぞれ設けられた金よりなる駆動電極 7A, 7Bよりなる。共通電極 5と駆動電極 7A, 7Bは金、クロム、チタンおよび白金のうちの少なくも 1つを含有しても良い。ァクチユエータ 3は小さくても低電圧で大きな振動を効率よく発生する。

[0016] ァクチユエータ 3の長手方向 3Aが面 1Bに繋がる流路 2の側面 2Bに平行なので、後に述べるようにァクチユエータ 3は振動をより効率的に発生できる。図 1に示すデバイスでは 2つのァクチユエータ 3が流路 2の両側面の外側にそれぞれ設けられている力 1つのァクチユエータのみでも振動を発生させることは可能である。

[0017] この成分分離デバイスを用いて固形成分と液体成分が混合した流体のそれぞれの成分を分離する方法について述べる。図 2および図 3は成分分離デバイスの上面図である。 [0018] まず、固形成分 11と液体成分 12が混合した流体 101を流入口 8より投入する。流体 101は流路 2を満たした後、流出口 9より流出する。通常、何もしない状態では図 2 に示すように流体 101は固形成分 11と液体成分 12がランダムに流れる。

[0019] 次に、ァクチユエータ 3に所定の周波数で振動する高周波電圧を印加する。共通電極 5は例えば OVの所定の電位に保たれる。図 3はァクチユエータ 3に接続された回路を示し、図 4は駆動電極 7A、 7Bにそれぞれ印加される高周波電圧 Va、 Vbを示す。高周波電圧 Va、 Vbは例えば 180度移相器 102により互いに位相が 180度ずれている。高周波電圧 Va、 Vbにしたがって圧電体 6A, 6Bはそれぞれ繰り返して伸び縮みして振動し、この振動が基板 1に伝達されて流路 2内に到達する。なお、高周波電圧 Va、 Vbには、図 4に示すように、圧電体 6Aと共通電極 5との電位の高低が逆にならず、かつ圧電体 6Bと共通電極 5との電位の高低が逆にならないように直流電源によりバイアス電圧 Eをカ卩えておくことが望ましい。これにより、圧電体 6A, 6Bは逆電圧印加による分極緩和が起こりにくぐ安定して駆動でき、特性の劣化がない。なお、圧電体 6Aと共通電極 5との電位の高低が逆にならず、かつ圧電体 6Bと共通電極 5との電位の高低が逆にならな、限り、直流バイアス値 Eは正負どちらでもよ、。

[0020] 流路 2の形状と振動の周波数によって流路 2内には所定の条件で振動の定在波が発生する。流路 2内に定在波が発生すると図 3に示すように固形成分 11は定在波の節の部分に集中し、整列しながら流路 2中を流れる。図 3は、流路 2中の定在波の 3 つの節に集中して流れて、る固形成分 11を摸式的に示す。

[0021] 基板 1の貫通孔 10Aは固形成分 11が集中的に流れて、る部分の下に設けられている。したがって、貫通孔 10Aから基板 1の下面側に流体 101を吸引すれば固形成分 11が少量の液体成分 12と共に貫通孔 10A力も取り出せる。基板 1の貫通孔 10B は固形成分 11が集中的に流れている部分の下以外に設けられている。したがって、貫通孔 10B力も流体 101を吸引すれば液体成分 12のみが取り出せる。貫通孔 10A 、 10Bは流体 101から固形成分 11と液体成分 12をそれぞれ取り出す成分取出し部として機能する。固形成分 11と液体成分 12のうちの一方のみ、例えば固形成分 11 のみが必要な場合は、デバイスは他方すなわち液体成分 12に対応する貫通孔 10B を有する必要はない。貫通孔 10A、 10Bのサイズ ·数は特定の血漿 '血球の分離のために個別に設計する必要はなぐこのデバイスは広汎に使用できる。

[0022] 図 5は実施の形態 1における他の成分分離デバイスの斜視図である。図 5に示すように、ァクチユエータ 16は基板 1の下面 1A上にもうけられてもよい。ァクチユエータ 16 は下面 1A上の流路 2の下の部分に位置に設けることができ、より効率的に振動が伝達できる。

[0023] 次に、図 1に示す実施の形態 1による成分分離デバイスの製造方法につ!、て説明する。図 6—図 12は成分分離デバイスの製造工程を示す断面図である。

[0024] まず、図 6に示すように、シリコン力もなる基板 1上に白金による電極層 18を形成し、電極層 18上にチタン酸ジルコン酸鉛により圧電層 19を形成し、圧電層 19上に金による電極層 20を形成する。電極層 18、 20はスパッタリングで、蒸着など通常の方法で形成した。チタン酸ジルコン酸鉛による圧電層 19はスパッタリング法、水熱合成法、ゾルゲル法などにより形成できる。特にスパッタリング法によって形成された圧電層 19は優れた圧電特性で安定して変位する。

[0025] 次に、図 7に示すように電極層 20上に所定のパターンを有するにレジストマスク 13 を形成する。その後、図 8に示すように、電極層 20をエッチングして互いに分離する駆動電極 7A、 7Bが形成される。続いて、図 9に示すように、チタン酸ジルコン酸鉛による圧電層 19をエッチングして、互いに分離した圧電体 6A、 6Bが形成される。その後レジストマスク 13を除去する。

[0026] 次に、図 10に示すように、所定のパターンを有するレジストマスク 14が電極 7A、 7B 上、電極層 18上に形成され、電極層 18をエッチングして共通電極 5を形成する。レジストマスク 14はエッチング後、除去する。

[0027] 次に、図 11に示すように所定のパターンを有するレジストマスク 15電極 7A、 7B上、電極層 18上、基板 1の上面 1B上に形成し、基板 1をエッチングして、シリコンによる基板 1に流入口 8および流出口 9を有する流路 2を形成する。その後、レジストマスク 15は除去する。シリコンによる基板 1をドライエッチング法でエッチングすることにより、微細な形状を高精度に加工できる。エッチングを促進するガスとエッチングを抑制するガスとを混合したガスでドライエッチングを行うことにより、より高精度に基板 1をカロェできる。これによりデバイスを小さくできる。 [0028] 次に、図 12に示すように、基板 1の下面 1Aに所定のパターンを有するレジストマスク 21を形成し、基板 1をエッチングして流路 2の底部に貫通孔 10A、 10Bを形成する。レジストマスク 21をエッチング後に除去して、実施の形態 1による成分分離デバイスが得られる。

[0029] 上記の方法により、基板 1の上面にァクチユエータ 3が設けられているので、半導体プロセスと同様に、複数の成分分離デバイスが 1つのウエノ、から一度に効率的に得られる。

[0030] ァクチユエータ 3、 16は流路 2内の流体に接していないので流体に汚染されない。

さらに、ァクチユエータ 3, 16は流路 2の側面 2Bに平行な長手方向 3Aを有した形状である。また、実施の形態 1によるデバイスは、流路 2内に振動を正確にロスなく発生できるので、効率的に成分を分離できる。

[0031] なお、図 5に示す成分分離デバイスを製造する際には、電極層や圧電層は基板 1 の下面 1 A上方に形成される。

[0032] (実施の形態 2)

図 13は本発明の実施の形態 2における成分分離デバイスの斜視図である。このデバイスでは、シリコン力もなる基板 26内に形成した流路 27は流入口 29からその幅が単調に大きくなり、最大幅 W1の部分力も流出口 30に向力つて幅が単調に小さくなつている。流路 27は部分 27Aでの最大幅 W1が流入口 29および流出口 30の幅 Wl、 W2より広い。複数のァクチユエータ 28が、流路 27の周辺に設けられている。広い幅 W1の流路 27に複数のァクチユエータ 28によって様々な振動を加えることによって様々な定在波を発生させることができ、より多様に成分を分離できる。また、広い幅の流路 27の周辺に複数のァクチユエータ 28を容易に設置でき、より効率的に成分を分離できる。

[0033] 図 14は実施の形態 2における他の成分分離デバイスの斜視図である。図 15と図 1 6は図 14に示す成分分離デバイスの上面図である。基板 31には、流入口 38に接続された流路 32と、流出口 39に接続された流路 44と、流路 32と流路 44との間の流路 33とが形成されている。流路 32の幅 W32は流路 33の幅 W33より狭い。流路 33の幅 W33は流路 32の幅 W32の三倍である。流路 32、 33にわたり流路 32、 33の両外側にァクチユエータ 34がそれぞれ設けられる。

[0034] この成分分離デバイスを用いて成分を分離する方法につ!、て述べる。流入口 32に互いに大きさの違う固形成分 41および 42と液体成分 43が混合された流体 45を注入すると、図 15に示すように、固形成分 41, 42は大きさに関係なくランダムに分散し流体 45が流れる。固形成分 42は固形成分 41より小さい。

[0035] 次に、ァクチユエータ 34によって流路 32の幅 W32の 2倍の波長の振動を流路 32 の流体 45に加える。これにより、流路 32には幅 W32を半波長とする基本モードで振動の定在波が発生し、図 16に示すように、固形成分 41, 42が集中的に流れる 1つの領域 R1が流路 32に平行に形成される。

[0036] ァクチユエータ 34は流路 33の両外側にも延びているので、流路 33には流路 32と同じ波長の振動の定在波が発生して、る。この定在波の波長は流路 33の幅 W33の 2Z3倍なので、流路 33には幅 W33の 3倍モードの定在波が発生する。図 16のように固形成分 41, 42が集中的に流れる 3つの領域 R2、 R3、 R4が流路 33に平行に形成される。

[0037] 小さい固形成分、もしくは密度が小さい固形成分は定在波による影響を受けにくい。したがって、流路 32で領域 R1に集中した固形成分 41, 42のうちの小さい固形成分 42は、図 16に示すように、流路 32の領域 R1で固形成分 41より分散する。流路 33 において、流路 32から流れ込んだ固形成分 42は、領域 R2より流路 33の壁 33A〖こ近い領域 R3、 R4に集中的に集まる。すなわち、固形成分の大きさもしくは密度によつて集中して流れる領域を制御でき、異なる固形成分を効率よく液体成分から分離できる。固形成分 41、 42や液体成分 43は、図 1に示す実施の形態 1の成分分離デバイスと同様に、貫通孔 40A, 40Bおよび流路 44から取り出すことができる。

[0038] 図 14に示すデバイスでは、流路 33の幅 W33が流路 32の幅 W32の 3倍であるので、ァクチユエータ 34で発生する振動によって流路 32では基本モードの定在波、流路 33では 3倍モードの定在波が発生して固形成分が集中的に流れる領域 R1— R4が形成されている。流路 32と流路 33の外側にそれぞれ異なるァクチユエータを設け、それぞれ別の波長の振動を発生させることができる。したがって、流路 33の幅 W33 は流路 32の幅 W32の必ずしも 3倍である必要はない。図 14に示す実施の形態 2によるデバイスでは異なるァクチユエータを流路 33、 32の外側にそれぞれ設ける必要は無ぐより簡便に成分分離デバイスを製造および使用できる。

[0039] なお、図 14に示すデバイスではァクチユエータ 34が流路 33、 32の両側にそれぞれ設けられている。ァクチユエータ 34の数はこれに限定されず、適切な振動を加えることができれば良い。

[0040] 実施の形態 2による図 14に示すデバイスでは、ァクチユエータ 34は基板 31上の共通電極 35と、共通電極 35上の圧電体 36A、 36Bと圧電体 36A、 36B上の駆動電極 37A, 37Bとを備え、実施の形態 1のァクチユエータ 3と同様に駆動できる。

産業上の利用可能性

[0041] 本発明による成分分離デバイスは、例えば血液、乳液等、液体成分と固形成分が混合された流体のそれぞれの成分を効率的に分離できる。

Claims

請求の範囲

[1] 第 1面と前記第 1面の反対側の前記第 2面とを有し、液体成分と固形成分とを含有する流体を収容する流路が前記第 1面に形成された基板と、

前記流路カゝら離れて前記基板上に設けられた第 1の電極と、前記第 1の電極上に設けられた第 1の圧電体と、前記第 1の圧電体上に設けられた第 2の電極とを有し、前記流路に収容された前記流体を振動させるァクチユエータと、

前記流体の前記液体成分と前記固形成分とのうちの一方を取り出す取出し部と、を備えた成分分離デバイス。

[2] 前記流体を前記流路に導入するための前記流路に接続された流入口と、前記流体を前記流路から排出するための前記流路に設けられた流出口とが前記基板に形成された、請求項 1に記載の成分分離デバイス。

[3] 前記ァクチユエータの前記第 1の電極は前記基板の前記第 1面上に設けられた、請求項 1に記載の成分分離デバイス。

[4] 前記ァクチユエータの前記第 1の電極は前記基板の前記第 2面上に設けられた、請求項 1に記載の成分分離デバイス。

[5] 前記ァクチユエータは前記流路に収容された前記流体に定在波を発生させる、請求項 1に記載の成分分離デバイス。

[6] 前記ァクチユエータは前記第 1の電極上に設けられた第 2の圧電体と、前記第 2の圧電体上に設けられた第 3の電極とをさらに有する、請求項 1に記載の成分分離デバィス。

[7] 前記ァクチユエータの前記第 1の電極は金、クロム、チタンおよび白金のうちの少なくとも一つの金属からなり、

前記ァクチユエータの前記第 2の電極は金、クロム、チタンおよび白金のうちの少なくとも一つの金属からなり、

前記ァクチユエータの前記第 3の電極は金、クロム、チタンおよび白金のうちの少なくとも一つの金属からなり、

前記第 1の圧電体と前記第 2の圧電体はチタン酸ジルコン酸鉛よりなる、請求項 1に記載の成分分離デバイス。

[8] 前記流路は前記流入口の幅と前記流出口の幅より大きな幅を有する部分を有する、請求項 1に記載の成分分離デバイス。

[9] 前記流路の幅は前記流入口から前記部分まで単調に増加し、前記部分から前記流出口まで単調に減少する、請求項 8に記載の成分分離デバイス。

[10] 前記流路は前記基板の前記第 1面に繋がる側面を有し、

前記ァクチユエータの前記第 1の電極と前記第 2の電極と前記第 1の圧電層とは前記流路の前記側面に平行な長手方向を有する、請求項 1に記載の成分分離デバイス。

[11] 前記流路から前記基板の前記第 2面に貫通する貫通孔が前記取出し部として前記基板に形成された、請求項 1に記載の成分分離デバイス。

[12] 前記基板はシリコンよりなる、請求項 1に記載の成分分離デバイス。

[13] 前記ァクチユエータの前記第 1の電極は金、クロム、チタンおよび白金のうちの少なくとも一つの金属からなり、

前記第 1の圧電体はチタン酸ジルコン酸鉛よりなる、請求項 1に記載の成分分離デバイス。

[14] 基板上に第 1の電極層を形成するステップと、

前記第 1の電極上に圧電層を形成するステップと、

前記圧電体上に第 2の電極層を形成するステップと、

前記第 1の電極層と前記圧電層と前記第 2の電極層とを所定のパターン形状に加工してァクチユエータを形成するステップと、

前記基板にエッチングによって流路を形成するステップと、

を含む、成分分離デバイスの製造方法。

[15] 前記基板にエッチングによって前記流路に接続された流入口と流出口とを形成するステップをさらに含む、請求項 14に記載の製造方法。

[16] 前記基板にエッチングによって流路を形成するステップは、前記流路にドライエッチングにて前記流路を形成するステップを含む、請求項 14に記載の製造方法。

[17] 前記流路にドライエッチングにて前記流路を形成するステップは、前記流路にエッチングを促進するガスとエッチングを抑制するガスを混合したガスによるドライエツチングにより前記流路を形成するステップを含む、請求項 16に記載の製造方法。

[18] 前記第 1の電極層は金、クロム、チタンおよび白金のうちの少なくとも一つよりなり、前記第 2の電極層は金、クロム、チタンおよび白金のうちの少なくとも一つよりなる、請求項 14に記載の製造方法。

[19] 前記圧電層はチタン酸ジルコン酸鉛よりなる、請求項 14に記載の製造方法。

[20] 成分分離デバイスであって、

第 1面と前記第 2面の反対側の前記第 2面とを有して流路が前記第 1面に形成された基板と、

前記流路カゝら離れて前記基板上に設けられた第 1の電極と、前記第 1の電極上に設けられた第 1の第 2の圧電体と、前記第 1と第 2の圧電体上にそれぞれ設けられた第 2 と第 3の電極とを有するァクチユエータと、

を備えた成分分離デバイスを準備するステップと、

液体成分と固形成分とを含有する流体を前記流路に収容するステップと、振動しかつ直流バイアスを有する第 1の電圧を前記第 1の電極と前記第 2の電極との間に印加し、前記第 1の電圧と位相が 180度異なって振動しかつ直流バイアスを有する第 2の電圧を前記第 1の電極と前記第 3の電極との間に印加することにより前記ァクチユエータを振動させるステップと、

前記振動するァクチユエータにより前記流路に収容された流体に定在波を発生させるステップと、

前記定在波が発生した前記流体から前記固形成分と前記液体成分のうちの一方を分離するステップと、

を含む、成分の分離方法。