WO2004068154A1

WO2004068154A1 - Ｔｃｐハンドリング装置および当該装置における位置ずれ補正方法

Info

Publication number: WO2004068154A1
Application number: PCT/JP2003/001033
Authority: WO
Inventors: Syuuichi Kaneko; Kenji Higashiyama; Hiroyuki Kaneko; Hisashi Murano
Original assignee: JAPAN ENGINEERING CO LTD; Advantest Corp
Current assignee: JAPAN ENGINEERING CO LTD; Advantest Corp
Priority date: 2003-01-31
Filing date: 2003-01-31
Publication date: 2004-08-12
Anticipated expiration: 2005-07-31
Also published as: JPWO2004068154A1; JP4098306B2; TWI247122B; AU2003303828A1; CN100472220C; TW200422631A; CN1745311A; AU2003303828A8

Abstract

　ＴＣＰハンドラ２の実稼動中に、吸着プレート３４によって吸着したキャリアテープ５をＸ軸−Ｙ軸方向に移動させることができるとともに、垂直軸回りに回転移動させることのできるプッシャステージ４と、ＴＣＰハンドラ２の実稼動中に、プローブカード８をＸ軸−Ｙ軸方向に移動させることができるとともに、垂直軸回りに回転移動させることのできるプローブカードステージ７とをＴＣＰハンドラ２に設ける。　このような構成を有するＴＣＰハンドラ２によれば、ＴＣＰとプローブカード８との位置合わせを正確に行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。

Description

明細書

T C Pハンドリング装置おょぴ当該装置における位置ずれ補正方法技術分野

本発明は、 I Cデノ《イスの 1種である T C P (Tape Carrier Package) や C O F (Chip On Film) (以下、 T C P、 C O F、その他 TAB (Tape Automated Bonding)実装技術によつて製造されたデバイスを纏めて「T C P」という。）を試験するのに用いられる T C Pハンドリング装置、および T C Pハンドリング装置における T C Pとコンタクト部との位置ずれ補正方法に関するものである。背景技術

I Cデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造された I Cデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験する電子部品試験装置が必要であり、 T C Pの場合には、 T C P用の試験装置が使用される。

T C P用の試験装置は、一般的にテスタ本体と、テストヘッドと、 T C Pハンドリング装置 (以下「 T C Pハンドラ」という場合がある。 ) とから構成される。この T C Pハンドラは、テープ (フィルムの概念も含むものとする。以下同じ。 ) 上に T C Pが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているプロ一ブカ一ドのプローブにキャリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子をプローブにコンタクトさせることにより、複数の T C Pを順次試験に付す機能を備えている。

このような T C Pハンドラを使用して効率良く正確に試験を行うためには、 T C Pの外部端子とプローブカードの各プローブとを確実にコンタクトさせることが必要である。

従来、 T C Pとプローブとの位置合わせ方法として、キャリアテープをプッシャおよびクランプまたはコンタクトプレスとともに XY方向に移動させる方法（実公平 6— 2 2 7 1号公報，特開平 9一 9 2 6 9 5 号公報，特開平 8 - 2 9 4 8 4号公報）や、プロ^ブカードを XY方向に移動させる方法（特開平 1 0— 1 8 5 9 9 6号公報，特開 2 0 0 2— 1 8 1 8 8 8号公報）が知られている。

しかしながら、このような X Y方向のみの 2軸制御では、 T C Pとプロープとの位置合わせを必ずしも正確に行うことができず、コンタクト不良が発生することが少なからずあった。特に、将来的なデバイスの多ピン ·狭ピッチ化に伴い、かかるコンタクト不良の発生頻度は大きくなると予想される。

一方、特開 2 0 0 2— 1 8 1 8 8 9号公報には、回転ステージに搭載したプローブカードを T C Pに対して補正角度 Θだけ回転させることにより、 T C Pとプローブカードとの角度のずれを補正する発明が記載されている。 . しかしながら、特開 2 0 0 2— 1 8 1 8 8 9号公報に記載の発明は、あくまでも初期設定時にプローブカードを回転させて位置合わせを行うものであるため、 T C P試験装置の実稼動中に T C Pとプローブカードとにずれが生じた場合、または初期設定自体が不正確で、それが T C P試験装置の実稼動中に発見された場合 ίこは対応することができなつた。発明の開示

本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、 T C Pとコンタクト部との位置合わせを正確に行い、コンタクト不良の発生を低減させることのできる T C Pハンドリング装置、および T C Pハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、第 1に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキヤリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置であって、前記コンタクト部に押圧されるキヤリアテープを、その垂直軸回りに回転移動させることのできるテープ垂直軸回転装置を備えたことを特徴とする T C Pハンドリング装置を提供する（ 1 ) 。

本明緬書'〖こお Tデる— πシ ^ ~部丁ほ丁 T C Pの外—部端子が接続—される接続端子 (例えばプローブ) そのものと、そのような接続端子を備えた部材（例えばプローブカード）の双方の概念が含まれるものとする。上記発明（ 1 ) によれば、テープ垂直軸回転装置によってキャリアテープを垂直軸回りに回転移動させることにより、垂直軸回りにずれている T C Pとコンタクト部との位置合わせを行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。

上記発明（ 1 ) に係る T C Pハンドリング装置は、前記コンタクト部に押圧されるキヤリァテープを、その平面方向に移動させることのできるテープ平面移動装置をさらに備えているのが好ましい (2) 。

上記発明（ 2) によれば、テープ垂直軸回転装置および Zまたはテープ平面移動装置によってキヤリァテープを垂直軸回りに回転移動および/または平面方向に移動させることにより、 T C Pとコンタクト部との位置合わせを確実に行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。 '' 上記発明（ 2) において、前記テープ垂直軸回転装置およびまたは前記テープ平面移動装置は、キヤリァテープを前記コンタク'ト部に押圧する押圧装置とともに、キヤリァテープを垂直軸回りに回転移動およびまたは平面方向に移動させるのが好ましい（ 3) 。

なお、ここでいう「押圧装置」は、キャリアテープを押圧するだけでなく、キヤリァテープを保持する機能を有するものであってもよい。上記発明（ 3 ) によれば、キャリアテープとそれを押圧する押圧装置との間に位置ずれが生じない。

上記発明（ 2， 3 ) に係る前記 T C Pハンドリング装置は、 T C Pと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得することのできる位置ずれ情報取得装置をさらに備えており、前記位置ずれ情報取得装置によつて取得しだ位置ずれ情報に基づいて、前記テープ垂直軸回転装置おょぴ

Zまたは前記テープ平面移動装置を駆動し、前記位置ずれを自動補正するのが好ましい（4) 。

本明細書における「位置ずれ情報」には、位置ずれの方向（X · Y ·

Θ ) および位置ずれの量が含まれるものとする。

位置ずれ情報取得装置としては、例えば、キヤリァテープおよびコンタクト部を撮像することのできるカメラと画像処理装置との組合せ等を挙げることができる。

上記発明（4) によれば、オペレータの技量等にかかわらず、 T C P とコンタクト部との位置ずれを自動的に確実に補正することが可能となる。

第 2に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリアテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置であって、 T C Pと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得することのできる位置ずれ情報取得装置と、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動させることのできるコンタクト部垂直軸回転装置とを備えており、実稼動中（初期設定時ではなく、実際に試験を行うために稼動している最中）に、前記位置ずれ情報取得装置によつて取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部垂直軸回転装置を駆動して前記コンタクト部を垂直軸回りに回転移動させ、前記位置ずれを自動補正することを特徴とする T C Pハンドリング装置を提供する ( 5 ) 。

上記発明（ 5 ) によれば、 T C Pハンドリング装置の実稼動中に、コンタクト部垂直軸回転装置によってコンタクト部を垂直軸回りに回転移動ざせることにより、'垂直軸回りにずれている被試験 T C Pどコシタ ' タト部との位置合わせを被試験 T C P毎に行うことができるため、コンタクト不良の発生を著しく低減させることができる。

上記発明（ 5 ) に係る T C Pハンドリング装置は、前記コンタクト部を、その平面方向に移動させることのできるコンタクト部平面移動装置をさらに備えており、実稼動中に、前記位置ずれ情報取得装置によって取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部垂直軸回転装置および zまたは前記コンタクト部平面移動装置を駆動して前記コンタクト部を垂直軸回りに回転移動および/または平面方向に移動させ、前記位置ずれを自動補正するのが好ましい（6 ) 。

上記発明（6 ) によれば、 T C Pハンドリング装置の実稼動中に、コンタクト部垂直軸回転装置および/またはコンタクト部平面移動装置によってコンタクト部を垂直軸回りに回転移動および/または平面方向に移動させることにより、被試験 T C Pとコンタクト部との位置合わせを被試験 T C P毎に確実に行うことができるため、コンタクト不良の発生を著しく低減させることができる。

第 3に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリアテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置であって、 T C Pと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得することのできる位置ずれ情報取得装置と、前記コンタクト部に押圧されるキヤリァテープを、その垂直軸回りに回転移動させることのできるテープ垂直軸回転装置と、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動させることのできるコンタクト部垂直軸回転装置とを備えており、前記位置ずれ情報取得装置によって取得した位置ずれ量が所一' '定の'値より大きい場合または所定の値以上の場合には、'前記ンタク部垂直軸回転装置を駆動して前記コンタクト部を垂直軸回りに回転移動させ、前記位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合には、前記テープ垂直軸回転装置を駆動して前記キヤリアテープを垂直軸回りに回転移動させることにより、前記位置ずれを自動補正することを特徴とする T C Pハンドリング装置を提供する（7 ) 。

上記発明（ 7 ) によれば、テープ垂直軸回転装置またはコンタクト部垂直軸回転装置を駆動することにより、垂直軸回りにずれている T C P とコンタクト部との位置合わせを行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。

ここで、 T C Pハンドリング装置の構造上、テスタ本体に繋がるコ一ドを多数備えたコンタクト部を移動させるコンタクト部垂直軸回転装置と比較して、テープ垂直軸回転装置は短時間で位置ずれ補正を行うことが可能である。しかしながら、テープ垂直軸回転装置は、ガイドローラゃスプロケット等によって支持されたキヤリァテープを移動させるものであるため、その移動量が大きいとキャリアテープに応力がかかり、キヤリァテープ上の T C P (特にリードまたはテストパッド）やキヤリァテープ自体（特にスプロケットの爪が入る穴部またはその周辺部）を損傷してしまうおそれがある。

したがって、上記発明（ 7 )によれば、位置ずれ量が大きい場合には、コンタクト部垂直軸回転装置を駆動して T C Pやキャリアテープの損傷を防止し、位置ずれ量が小さい場合には、テープ垂直軸回転装置を駆動して位置ずれ補正の時間、ひいてはインデックスタイムを短くすることができる。

上記発明（ 7 ) に係る T C Pハンドリング装置は、前記コンタクト部に押圧されるキヤリァテープを、その平面方向に移動させることのできるテプ平面移動装置と、前記シタグド部を、その平面方向に移動させることのできるコンタクト部平面移動装置とをさらに備えており、前記位置ずれ情報取得装置によつて取得した位置ずれ量が所定の値より大きい場合または所定の値以上の場合には、前記コンタクト部垂直軸回転装置およびノまたは前記コンタクト部平面移動装置を駆動して前記コンタクト部を垂直軸回りに回転移動および Zまたは平面方向に移動させ、前記位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合には、前記テープ垂直軸回転装置および/または前記テープ平面移動装置を駆動して前記キヤリァテープを垂直軸回りに回転移動および/または平面方向に移動させることにより、前記位置ずれを自動補正するのが好ましい（ 8 ) 。

上記発明（ 8 ) によれば、テープ垂直軸回転装置および/もしくはテープ平面移動装置、またはコンタクト部垂直軸回転装置および Zもしくはコンタクト部平面移動装置によってキヤリアテープまたはコンタクト部を垂直軸回りに回転移動および/または平面方向に移動させることにより、 T C Pとコンタクト部との位置合わせを確実に行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。また、上記発明（ 8 ) によれば、位置ずれ量が大きい場合には、コンタクト部垂直軸回転装置および Zまたはコンタクト部平面移動装置を駆動して τ c pやキャリアテープの損傷を防止し、位置ずれ量が小さい場合には、テープ垂直軸回転装置および zまたはテープ平面移動装置を駆動して位置ずれ補正の時間、ひいてはインデックスタイムを短くすることができる。

第 4に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリアテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置における T C Pと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、前記コンタクト部に押圧されるキヤリアテープを、その垂直軸回りに回転移動させることにより、 T C Pと前記コンタクト部との位置ずれを補正することを特徴とする T C Pハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供する（9 ) 。

上記発明（ 9 ) によれば、キャリアテープを垂直軸回りに回転移動させることにより、垂直軸回りにずれている T C Pとコンタクト部との位置合わせを行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。第 5に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置における T C Pと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、前記コンタクト部に押圧されるキヤリアテープを、その垂直軸回りに回転移動およびまたはその平面方向に移動させることにより、 T C Pと前記コンタクト部との位置ずれを補正することを特徴とする T C Pハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供する ( 1 0) 。

上記発明（ 1 0 ) によれば、キヤリァテープを垂直軸回りに回転移動および/または平面方向に移動させることにより、 T C Pとコンタクト部との位置合わせを確実に行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。

第 6に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリアテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置における T'C Pと前記コンタタト部との位置ずれ補正方法であって、 T C Pと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し- 前記取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その垂直軸回りに回転移動させることにより、前記位啬ずれを補正することを特徴とする T C Pハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供する（ 1 1) 。

上記発明（ 1 1 ) によれば、取得した位置ずれ情報に基づいてキヤリァテープを垂直軸回りに回転移動させることにより、垂直軸回りにずれている T C Pとコンタクト部との位置ずれを確実に補正することが可能となる。

第 7に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリアテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置における T C Pと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、 T C Pと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、前記取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その垂直軸回りに回転移動および/またはその平面方向に移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とする T C Pハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供する（ 1 2) 。 .

上記発明（ 1 2 ) によれば、取得した位置ずれ情報に基づいてキヤリァテープを垂直軸回りに回転移動および Zまたは平面方向に移動させることにより、 T C Pとコンタクト部との位置ずれを確実に補正することが可能となる。

第 8に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置における T C Pと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、 T C Pハンドリング装置の実稼動中に、 T C Pと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、前記取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とする T C Pハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供する（ 1 3) 。

上記発明 ( 1 3 ) によれば、 T C Pハンドリング装置の実稼動中にコンタクト部を垂直軸回りに回転移動させることにより、垂直軸回りにずれている被試験 T C P とコンタクト部との位置合わせを被試験 T C P 毎に行うことができるため、コンタクト不良の発生を著しく低減させることができる。

第 9に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリアテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置における T C P と前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、 T C Pハンドリング装置の実稼動中に、 T C Pと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、前記取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動おょぴ zまたはその平面方向に移動させることにより、前記位置ずれを捕正することを特徴とする T C Pハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供する（ 1 4) 。

上記発明（ 1 4 ) によれば、 T C Pハンドリング装置の実稼動中に、コンタクト部を垂直軸回りに回転移動および/または平面方向に移動させることにより、被試験 T C Pとコンタクト部との位置合わせを被試験 T C P毎に確実に行うことができるため、コンタクト不良の発生を著しく低減させることができる。

第 1 0に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリアテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキヤリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C P ハンドリング装置における T C Pと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、 T C Pと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、取得した位置ずれ量が所定の値より大きい場合または所定の値以上の場合には、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動させ、取得した位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合には、前記コンタクト部に押圧されるキヤリアテープを、その垂直軸回りに回転移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とする T C Pハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供する（ 1 5 ) 。

上記発明（ 1 5 ) によれば、垂直軸回りにずれている T C Pとコンタクト部との位置合わせを行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。

ここで、 T C Pハンドリング装置の構造上、テスタ本体に繋がるコードを多数備えたコンタクト部を移動させて位置ずれ補正を行う時間よりも、キヤリァテープを移動させて位置ずれ補正を行う時間の方が短くできるのが通常である。しかしながら、キャリアテープは通常ガイドロ一ラゃスプロケット等によって支持されているため、キヤリァテープの移動量が大きいとキヤリァテープに応力がかかり、キヤリァテープ上の

T C P (特にリードまたはテストパッド）やキャリアテープ自体（特にスプロケットの爪が入る穴部またはその周辺部)を損傷してしまうおそれがある。

したがって、上記発明（ 1 5 ) によれば、位置ずれ量が大きい場合には、コンタクト部を垂直軸回りに回転移動させて T C Pやキャリアテープの損傷を防止し、位置ずれ量が小さい場合には、キャリアテープを垂直軸回りに回転移動させて位置ずれ補正の時間、ひいてはィンデックスタイムを短くすることができる。

第 1 1に本発明は、テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリアテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタク卜部にキヤリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C P ハンドリング装置における T C Pと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、 T C Pと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、取得した位置ずれ量が所定の値より大きい場合または所定の値以上の場合には、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動および Z またはその平面方向に移動させ、取得した位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合には、前記コンタクト部に押圧されるキャリァテープを、その垂直軸回りに回転移動および zまたはその平面方向に移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とする

T C Pハンドリング装置における位置ずれ補正方法を提供する（ 1 6 )。上記発明（ 1 6 ) によれば、コンタクト部またはキャリアテープを垂直軸回りに回転移動および zまたは平面方向に移動させることにより、

T C Pとコンタクト部との位置合わせを行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。また、上記発明（ 1 6 ) によれば、位置ずれ量が大きい場合には、コンタクト部を垂直軸回りに回転移動および/または平面方向に移動させて T C Pやキヤリァテープの損傷を防止し、位置ずれ量が小さい場合には、キヤリァテープを垂直軸回りに回転移動および/または平面方向に移動させて位置ずれ補正の時間、ひいてはィンデッタスタイムを短くすることができる。図面の簡単な説明

図 1は、本発明の一実施形態に係る T C Pハンドラを用いた T C P試験装置を示す正面図である。

図 2は、同実施形態に係る T C Pハンドラにおけるプッシャュニットの側面図である。

図 3は、同実施形態に係る T C Pハンドラにおけるプッシャステージの平面図である。

図 4は、同実施形態に係る T C Pハンドラにおけるプローブカードステージの平面図である。図 5は、同実施形態に係る T C Pハンドラにおけるプローブカードステージの正面図である。

図 6は、同実施形態に係る T C Pハンドラの主動作を説明するフローチャートである。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

本発明の一実施形態に係る T C Pハンドラを用いた T C P試験装置を図 1に示す。

T C P試験装置 1は、図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド 1 0と、テストへッド 1 0の上側に設けられた T C Pハンドラ 2とから構成される。

T C Pハンドラ 2は、キヤリァテープ 5上に複数形成された各 T C P を順次試験に付すものであり、本実施形態では、説明の簡略化のために T C Pを 1個ごと試験に付すものとする。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、キャリアテープ 5上において直列方向および/または並列方向に並んだ複数の T C Pを同時に試験に付すようにしてもよい。

T C Pハンドラ 2は、巻出リール 2 1 と卷取リール 2 2 とを備えており、巻出リール 2 1には試験前のキヤリアテープ 5が卷き取られている ₍ キャリアテープ 5は、卷出リール 2 1から卷き出され、試験に付された後に卷取リール 2 2に卷き取られる。

卷出リール 2 1 と卷取リール 2 2 との間には、キャリアテープ 5から剥離した保護テープ 5 1を卷出リール 2 1から卷取リール 2 2に架け渡す 3個のスぺーサロール 2 3 a , 2 3 b , 2 3 cが設けられている。各スぺーサロール 2 3 a , 2 3 b , 2 3 cは、保護テープ 5 1の張力を調整することができるように、それぞれ上下可動となっている。卷出リール 2 1の下側には、テープガイド 2 4 a、巻出リミットローラ 2 5 a、イン側サブスプロケット 2 5 bおよびイン側ガイドローラ 2 5 cが設けられており、卷出リール 2 1から巻き出されたキャリアテープ 5は、テープガイド 2 4 aによってガイドされつつ、卷出リミット口ーラ 2 5 a、イン側サブスプロケット 2 5 bおよびイン側ガイドローラ 2 5 cを経てプッシャュニット 3に搬送される。

また、巻取リール 2 2の下側には、テープガイド 2 4 b、卷取リミツトロ一ラ 2 5 f 、ァゥト側サブスプロケット 2 5 eおよびァゥト側ガイドローラ 2 5 dが設けられており、試験に付された後のキヤリァテープ 5は、ァゥト側ガイドローラ 2 5 d、アウト側サブスプロケット 2 5 e および卷取リミットローラ 2 5 f を経て、テープガイド 2 4 bによってガイドされつつ、巻取リール 2 2に巻き取られる。

ィン側ガイドローラ 2 5 c と、アウト側ガイドローラ 2 5 dとの間には、プッシャュニット 3が設けられており、プッシャュ二ット 3の前段側（図 1中左側）には第 1カメラ 6 aが、プッシャュエツト 3の下側（後述するプローブ力一ドステージ 7の内側）には第 2カメラ 6 bが、プッシャュニット 3の後段側（図 1中右側）には第 3カメラ 6 cが設けられている。また、プッシャュ -ット 3と第 3カメラ 6 c との間には、マークパンチ 2 6 aおよびリジェクトパンチ 2 6 bが設けられている。

マークパンチ 2 6 aは、試験の結果に基づいて、該当する T C Pにつき所定の位置に 1個または複数個の孔を開けるものであり、リジェクトパンチ 2 6 bは、試験の結果不良品であると判断された T C Pを打ち抜くものである。

各カメラ 6 a， 6 b , 6 cは、図示しない画像処理装置に接続されており、第 1カメラ 6 aおよぴ第 3カメラ 6 cは、キャリアテープ 5上における T C Pの有無やマークパンチ 2 6 aによる孔の位置や数を判断するためのものであり、第 2カメラ 6 bは、キャリアテープ 5上の T C Pとプローブとの位置ずれの情報を取得するためのものである。本実施形態における第 2カメラ 6 bは、視野内の複数の対象についての位置ずれ情報を取得することができるようになつている。

第 2カメラ 6 bは、カメラステージ 6 1上に搭載されており、カメラステージ 6 1が有するァクチユエータによって平面視縦横方向（X軸一 Y軸方向）および上下方向（Z軸方向）に移動可能となっている。

図 1およぴ図 2に示すように、プッシャュニット 3のフレーム (プッシャフレーム） 3 6には、ボールねじ 3 2を回転させることのできるサーポモータ 3 1がブラケット 3 6 1を介して取り付けられているとともに、ボールねじ 3 2が螺合しているプッシャ本体部 3 3が 2本の Z軸方向のリニアモーションガイド (以下「L Mガイド」という。 ) 3 7を介して取り付けられている。このプッシャ本体部 3 3は、サーボモータ 3 1を駆動させることにより、リユアモ一ションガイド 3 7にガイドされながら上下方向（Z軸方向）に移動可能となっている。

このプッシャ本体部 3 3の下端部には、エアを吸引することによりキャリァテープ 5を吸着保持することのできる吸着プレート 3 4が設けられている。

プッシャ本体部 3 3の前段側（図 1中左側) には、テンシヨンスプロケット 3 5 aが設けられており、プッシャ本体部 3 3の後段側 (図 1中右側) には、メインスプロケット 3 5 bが設けられている。

図 2および図 3に示すように、プッシャフレーム 3 6におけるプッシャ本体部 3 3の背面側には、基台 3 8に載せられるようにしてプッシャステージ 4が設置されており、プッシャステージ 4の回転台であるトツプテーブル 4 8はプッシャフレーム 3 6に固定されている。

プッシャステージ 4のベース 4 0上には、 X軸方向に軸を有するポールねじ 4 2 aを回転させるサーポモータ 4 1 a と、 Y軸方向に軸を有するボールねじ 4 2 bを回転させるサーボモータ 4 1 bと、 Y軸方向に軸を有するボールねじ 4 2 cを回転させるサーボモータ 4 1 c とが設けられており、サーボモータ 4 1 bおよびサーポモータ 4 1 cは、それぞれベース 4 0上の両端部に位置している。

ポールねじ 4 2 aには、 X軸方向の L Mガイド 4 3 a， 4 3 aにガイドされて X軸方向に摺動可能な摺動ブ口ック 4 4 aが螺合している。摺動ブロック 4 4 aには、 Y軸方向の L Mガイド 4 5 aを介して摺動板 4 6 aが Y軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板 4 6 aの上側には、内部にローラリングを有する回転部材 4 7 aが固定されており、回転部材 4 7 aは、トップテーブル 4 8に回転自在に取り付けられている。

ボールねじ 4 2 bには、 Y軸方向の L Mガイド 4 3 b， 4 3 bにガイドされて Y軸方向に摺動可能な摺動ブ口ック 4 4 bが螺合している。摺動ブロック 4 4 bには、 X軸方向の L Mガイド 4 5 bを介して摺動板 4 6 bが X軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板 4 6 bの上側には、内部にローラリングを有する回転部材 4 7 bが固定されており、回転部材 4 7 bは、トップテーブル 4 8に回転自在に取り付けられている。

ボールねじ 4 2 cには、 Y軸方向の L Mガイド 4 3 c， 4 3 cにガイドされて Y軸方向に摺動可能な摺動ブ口ック 4 4 cが螺合している。摺動ブロック 4 4 cには、 X軸方向の L Mガイド 4 5 cを介して摺動板 4 6 cが X軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板 4 6 cの上側には、内部にローラリングを有する回転部材 4 7 cが固定されており、回転部材 4 7 cは、トップテーブル 4 8に回転自在に取り付けられている。このような構成を有するプッシャステージ 4においては、サーポモータ 4 1 aを駆動して、摺動ブ口ック 4 4 a、摺動板 4 6 bおよぴ摺動板 4 6 cを X軸方向に摺動させることにより、トップテーブル 4 8を X軸方向に移動させることができる。また、サーボモータ 4 1 bおよびサーボモータ 4 1 cを駆動して、摺動ブロック 4 4 b、摺動ブロック 4 4 c および摺動板 4 6 aを Y軸同方向に摺動させることにより、トップテーブル 4 8を Y軸方向に移動させることができる。さらには、サーボモータ 4 1 aを駆動して、摺動ブ口ック 4 4 aを X軸方向に摺動させるとともに、サーボモータ 4 1 bおよぴサーポモータ 4 1 cを駆動して、摺動ブロック 4 4 bおよび摺動プロック 4 4 cを互いに Y軸反対方向に摺動させ、そして各回転部材 4 7 a， 4 5 b , 4 5 cを回転させることにより、トップテーブル 4 8をその垂直軸回りに回転させることができる _c このプッシャステージ 4によれば、プッシャュニット 3を X軸一 Y軸方向に移動させること、および垂直軸回りに回転移動させることができる。なお、本実施形態におけるプッシャステージ 4は、その構造上 X軸一 Y軸方向の移動および垂直軸回りの回転移動を同時に行うことができ、また、移動対象であるプッシャュニット 3は比較的軽量であるため、短時間で位置ずれを補正することができるという特徴がある。

一方、図 1に示すように、プッシャュニット 3の下側であって、テストへッド 1 0の上部には、プローブカード 8を搭載したプローブ力一ドステージ 7が設置されている。

図 4およぴ図 5に示すように、プローブカードステージ 7の基台 7 1 上には、 X軸方向に軸を有するボールねじ 7 1 2を回転させるサーボモータ 7 1 1 と、 4つの X軸方向の L Mガイド 7 1 3 とが設けられている, それら 4つの L Mガイド 7 1 3上には、各 L Mガイド 7 1 3により X軸方向に摺動可能にガイドされる矩形の Xベース 7 2が設けられている。この Xベース 7 2の一側部には、ボールねじ 7 1 2が螺合している螺合部 7 2 1が形成されている。

Xベース 7 2上には、 Y軸方向に軸を有するポールねじ 7 2 3を回転させるサーボモータ 7 2 2と、 2本の Y軸方向の L Mガイド 7 2 4とが設けられている。それら 2本の L Mガイド 7 2 4上には、各 L Mガイド 7 2 4により Y軸方向に摺動可能にガイドされる矩形の Yベース 7 3 が設けられている。この Yベース 7 3の一側部には、ボールねじ 7 2 3 が螺合している螺合部 7 3 1が形成されている。

Yベース 7 3上には、 Y軸方向に軸を有するボールねじ 7 3 3を回転させるサーポモータ 7 3 2と、カードリング 7 3 5を回転自在に支持する接続リング 7 3 4とが設けられている。カードリング 7 3 5の一部には、ポールねじ 7 3 3が螺合している螺合部 7 3 6が形成されている。複数のプローブ 8 1を備えたプローブカード 8は、 4本のピン 8 2によつてカードリング 7 3 5に着脱自在に取り付けられて'いる。

なお、図 4および図 5には示さないが、プローブカード 8の各プロ.一ブ 8 1は、テストヘッド 1 0を介してテスタ本体に電気的に接続されており、プローブカード 8の下側であって、プローブカードステージ 7の内側には第 2カメラ 6 bが位置している。

このような構成を有するプローブカードステージ 7においては、サーボモータ 7 1 1を駆動することにより、 Xベース 7 2、ひいてはプロ一ブカード 8を X軸方向に移動させることができ、サ一ボモータ 7 2 2を駆動することにより、 Yベース 7 3、ひいてはプローブカ一ド 8を Y軸方向に移動させることができる。また、サーボモータ 7 3 2を駆動してボールねじ 7 3 3を回転させ、螺合部 7 3 6を移動させることにより、カードリング 7 3 5およびプローブカード 8をその垂直軸回りに回転させることができる。ここで、前述したプッシャステージ 3は、構造的に短時間で位置ずれ補正を行うことができるが、平面方向に多数の部材を備えており、平面方向のサイズが大きくなつてしまうものである。プローブカードステージ 7は、平面方向のスペースが限られているため、プッシャステージ 3 と同じ構造とすることは困難であり、仮にプッシャステージ 3 と同様の構造にするためにサーポモータ 7 1 1 , 7 2 2 , 7 3 2を小型化すると、サーボモータ 7 1 1， 7 2 2 , 7 3 3の駆動力が弱くなり、テスタ本体に繋がるコードを多数備えたプローブカード 8を確実に移動させることができなくなってしまう。すなわち、本実施形態におけるプローブ力ードステージ 7は、その構造上、 X軸一 Y軸方向の移動と垂直軸回りの回転移動とを別々に行わなくてはならず、プッシャステージ 3よりも位置ずれ補正に時間を要するが、狭いスペースで確実にプローブカード 8 を移動させることができるという特徴を有する。

次に、 T C Pハンドラ 2の使用方法および動作について説明する。

T C Pハンドラ 2を使用する場合には、 T C Pハンドラ 2を実稼動させる前に、あらかじめ初期設定を行う必要がある。すなわち、 T C Pの品種や、それに伴ってプローブカード 8を変更した場合には、 T C Pの外部端子（以下「テストパッド」ということがある。）とプローブカード 8のプローブ 8 1 とがコンタクトするように、プッシャステージ 4おょぴプローブカードステージ 7の基準位置を決定し、登録する必要がある（この位置を「登録位置」という）。

例えば、マニュアル操作にて、複数箇所 (例えば 3箇所) のプローブ 8 1 とそれに対応するテストパッドとを選択して粗位置を定め、次いで. 第 2カメラ 6 bおよび画像処理装置を利用して、それぞれのプローブ 8 1ができる限り各テストパッドの中央に位置するように、プッシヤステージ 4および/またはプローブカードステージ 7を自動制御で移動させることにより、基準位置を決定し登録することができる。なお、所望により、上記粗位置の決定についても、マニュアル操作ではなく自動制御により行ってもよい。

このとき、第 2カメラ 6 bの視野内における所定の対象の位置座標を併せて登録する。位置座標は複数箇所、特にカメラの視野内にて離れた対象について 3箇所以上登録するのが好ましい。それにより、位置ずれ情報を高い精度で取得することが可能となる。所定の対象としては、例えば、キャリアテープ 5におけるァライメントマーク、 T C Pの対角線上にある 2つ以上のテストパッドまたは特徴のあるリード、それらに対応する 2つ以上のプローブ 8 1先端部等を選択することができる。

T C Pハンドラ 2を実稼動させるときの T C Pハンドラ 2の主動作を、図 6のフローチャートを参照しながら説明する。

T C Pハンドラ 2が主動作を開始すると、プッシャステージ 4およびプローブカードステージ 7は登録位置に移動する（ステップ S O 1 ) 。そして、卷出リール 2 1および卷取リール 2 2が所定角度回転することによりキャリアテープ 5を移動させ、 1個目の T C Pを吸着プレート 3 4の下側の所定位置まで搬送する（ステップ S O 2 ) 。

T C Pが吸着プレート 3 4の下側まで搬送されてきたら、プッシャュニット 3のサーボモータ 3 1が駆動し、プッシャ本体部 3 3を介して吸着プレート 3 4を Z軸下方向に移動させる。吸着プレート 3 4は、キヤリァテープ 5を吸着し、撮像位置まで下降する (ステップ S 0 3 ) 。なお、テンションスプロケット 3 5 aは、キャリアテープ 5の走行方向と逆方向に回転することによりキャリアテープ 5に所定のテンシヨンを力け、キャリアテープ 5の位置精度を向上させる。

この状態で第 2カメラ 6 bは撮像を行い（ステップ S 0 4 ) 、画像情報を画像処理装置に送信する。画像処理装置は、受信した画像情報から、あらかじめ登録された所定の対象の位置座標と、実際に撮像した対象の位置座標との位置ずれの情報（位置ずれの方向（X ■ Y ■ Θ ) および位置ずれの量）を取得する。例えば、ァライメントマーク、 2つ以上のテストパッドおよびそれらに対応する 2つ以上のプローブ先端部の位置座標が登録されていれば、それら登録されている位置座標と、実際に撮像したァライメントマーク、 2つ以上のテストパッドおよびそれらに対応する 2つ以上のプローブ先端部の位置座標との位置ずれの情報を取得する。

画像処理装置は、取得した位置ずれ情報に基づいて、 X軸方向、 Y軸方向および垂直軸回りの位置ずれ量を演算する (ステップ S 0 5 ) 。

なお、複数の T C Pを同時に試験する場合には、各 T C Pについての位置ずれ量の平均値を出すものとする。

演算の結果、位置ずれ補正の必要がないと判断された場合（ステップ S O 6— N o ) には、後述するステップ S 1 0にスキップする。

演算の結果、位置ずれ補正の必要があると判断された場合 (ステップ S 0 6 - Y e s ) には、位置ずれ量が所定の値 T以上であるか否かを判断する（ステップ S O 7 ) 。この場合における「位置ずれ量」は、垂直軸回りの位置ずれ量だけを対象としてもよいし、垂直軸回りの位置ずれ量および Y軸方向の位置ずれ量を対象としてもよいし、垂直軸回りの位置ずれ量、 Y軸方向の位置ずれ量および X軸方向の位置ずれ量を対象としてもよい。位置ずれ量の要素が複数ある場合には、それらを適宜組み合わせて判断すればよい。

位置ずれ量が所定の値 T以上である場合（ステップ S 0 7 — Y e s ) には、プローブカードステージ 7のサーポモータ 7 1 1， 7 2 2 , 7 3 2が駆動して Xベース 7 2、 Yベース 7 3またはカードリング 7 3 5を動かし、プローブカード 8を X軸一 Y軸方向に移動および/または垂直軸回りに回転移動させることにより位置ずれを補正する（ステップ S 0 8 ) 。

それに対し、位置ずれ量が所定の値 T未満である場合（ステップ S 0 7— N o ) には、プッシャステージ 4のサーボモータ 4 1 a， 4 1 b , 4 1 cが駆動してトツプテーブル 4 8、ひいてはプッシャュニット 3を動かし、吸着プレート 3 4で吸着しているキャリアテープ 5を X軸一 Y 軸方向に移動および/または垂直軸回りに回転移動させることにより位置ずれを補正する（ステップ S O 9 ) 。

位置ずれ量が大きい場合に、プッシャステージ 4によりキャリアテープ 5を移動させると、ィン側ガイドローラ 2 5 c、テンションスプロケット 3 5 a、メインスプロケット 3 5 bおよびアウト側ガイドローラ 2 5 dによって支持されているキヤリアテープ 5に応力がかかり、キヤリァテープ 5上の T C P、特にリードまたはテストパッドゃ、キャリアテープ自体、特にテンションスプロケット 3 5 aおよびメインスプロケット 3 5 bの爪が入る穴部またはその周辺部を損傷してしまうおそれがある。このような問題は、特にキャリアテープ 5を垂直軸回りに回転移動させた場合に発生し易く、またキャリアテープ 5を Y軸方向に移動させた場合にも発生することがある。

本実施形態では、位置ずれ量が大きい場合（T以上の場合）には、プローブカードステージ 7によりプローブカード 8を移動させて位置ずれ補正を行うため、上記のような問題がない。 Tの値は、 T C Pのサイズ（特に X軸方向のパーフォレーションサイズゃテストパッドサイズ）等によって異なってくるが、上記のように T C Pやキャリアテープ 5の損傷リスクを考慮して適宜設定すればよい。通常、垂直軸回りの位置ずれ量（度）としての Tの値は 0 . 1 (度）以内となる。

—方、位置ずれ量が小さい場合 ( T未満の場合) には、位置ずれ補正に要する時間が短いプッシャステージ 4によりキャリアテープ 5を移動させることによって、インデックスタイム（テストエンドからテストスタートまでの時間）を短縮することができる。

ステップ S 0 8またはステップ S 0 9により位置ずれ補正が行われたら、プッシャュニット 3のサーボモータ 3 1が駆動し、プッシャ本体部 3 3を介して吸着プレート 3 4をさらに Z軸下方向に移動させる。キャリアテープ 5を吸着した吸着プレート 3 4は、コンタクト位置まで下降し、 T C Pをプローブカード 8のプローブ 8 1 に対して押圧する（ステツプ S 1 0 ) 。

T C Pのテストパッドがプローブ 8 1にコンタク 1、したら、 T C Pにはテスタ本体からテストへッド 1 0を通じてテスト信号が印加され、 T C Pから読み出された応答信号は、テストヘッド 1 0を通じてテスタ本体に送られる。これにより T C Pの性能や機能等が試験され、その試験結果に基づいてマークパンチ 2 6 a またはリジエタトパンチ 2 6 bが駆動することとなる。

T C Pハンドラ 2は、試験を行った T C Pが最後のデバイスであるか否かを判断し (ステップ S 1 1 ) 、最後のデバイスであると判断した場合には（ステップ S I 1— Y e s ) 、主動作を終了する。一方、最後のデバイスでないと判断した場合には (ステップ S 1 1 - N o ) 、プッシャュ-ット 3のサーボモータ 3 1が駆動し、プッシャ本体部 3 3を介して吸着プレート 3 4を Z軸上方向に移動させるとともに、プッシヤステージ 4およびプローブカードステージ 7が登録位置に移動する（ステップ S 1 2 ) 。そして、吸着プレート 3 4は、キャリアテープ 5の吸着を停止してキヤリアテープ 5を解放するとともに、さらに Z軸上方向に移動する (ステップ S 1 3 ) 。その後はステップ S 0 2に戻る。

本実施形態に係る T C Pハンドラ 2によれば、プッシャステージ 4および Zまたはプローブカードステージ 7によって、 T C Pハンドラ 2の実稼動中に、キャリアテープ ⁵および Zまたはプローブカード 8を X軸一 Y軸方向のみならず、垂直軸回りに移動させて位置ずれ補正を行うことができるため、 T C Pとプローブ 8 1 との位置合わせを確実に行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。また、プッシヤステージ 4およぴプローブカードステージ 7を使い分けることにより、 T C Pやキヤリァテープを損傷することなく、インデッタスタイムを可能な限り短縮することができる。

以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

例えば、プッシャステージ 4およびプローブカードステージ 7の構造は特に限定されるものではなく、両者の構造が入れ替わってもよいし、両者とも同様の構造とされてもよい。

また、上記 T C Pハンドラ 2においては、プローブカードステージ 7 が省略され、プッシャステージ 4のみによって位置ずれ補正を行ってもよい。この場合であっても、プッシャステージ 4によりキャリアテープ 5を垂直回りに回転移動させることができるため、 X軸一 Y軸方向のみの 2軸制御と比較して、 T C Pとプローブ 8 1 との位置合わせを正確に行うことが可能である。

さらに、上記 T C Pハンドラ 2においては、プッシャステージ 4が省略され、プローブカードステージ 7のみによって位置ずれ補正を行ってもよい。この場合であっても、プローブカードステージ 7により、 T C Pハンドラ 2の実稼動中にプローブカード 8を X軸一 Y軸方向に移動および垂直軸回りに回転移動させることができるため、 T C Pとプロ一ブ 8 1 とのコンタクト不良の発生を低減させることが可能である。

さらに、上記 T C Pハンドラ 2のプローブカードステージ 7においては、垂直軸回りの回転移動機構のみを、第 2カメラ 6 bおよび画像処理装置を使用した自動制御にし、 X軸一 Y軸方向の移動機構は、第 2カメラ 6 bで撮像した画像を見ながらのマニュアル操作式にしてもよい。またこの場合において、プッシャステージ 3は、垂直軸回りの回転移動機構が省略され、 X軸一 Y軸方向の移動機構のみが自動制御されるようにしてもよい。産業上の利用の可能性

以上説明したように、本発明に係る T C Pハンドリング装置または位置ずれ補正方法によれば、 T C Pとコンタクト部との位置合わせを正確に行い、コンタクト不良の発生を低減させることができる。すなわち、本発明に係る T C Pハンドリング装置および位置ずれ補正方法は、正確 -確実に効率良く T C Pの試験を行うのに有用である。

Claims

請求の範囲

1 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置であって、

前記コンタクト部に押圧されるキヤリアテープを、その垂直軸回りに回転移動させることのできるテープ垂直軸回転装置を備えたことを特徴とする T C Pハンドリング装置。

2 . 前記 T C Pハンドリング装置は、前記コンタクト部に押圧されるキャリアテープを、その平面方向に移動させることのできるテープ平面移動装置をさらに備えたことを特徴とする請求項 1に記載の T C Pハンドリング装置。

3 .前記テープ垂直軸回転装置および/または前記テープ平面移動装置は、キヤリァテープを前記コンタクト部に押圧する押圧装置とともに、キヤリァテープを垂直軸回りに回転移動および/または平面方向に移動させることを特徴とする請求項 2に記載の T C Pハンドリング装置。

4 . 前記 T C Pハンドリング装置は、 T C Pと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得することのできる位置ずれ情報取得装置をさらに備えており、

前記位置ずれ情報取得装置によつて取得した位置ずれ情報に基づいて、前記テープ垂直軸回転装置および Zまたは前記テープ平面移動装置を駆動し、前記位置ずれを自動補正することを特徴とする請求項 2または 3に記載の T C Pハンドリング装置。

5 . テープ上に T C Pが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置であって、

T C Pと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得することのできる位置ずれ情報取得装置と、

前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動させることのできるコンタクト部垂直軸回転装置とを備えており、

実稼動中に、前記位置ずれ情報取得装置によって取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部垂直軸回転装置を駆動して前記コンタクト部を垂直軸回りに回転移動させ、前記位置ずれを自動補正することを特徴とする T C Pハンドリング装置。

6 . 前記 T C Pハンドリング装置は、前記コンタクト部を、その平面方向に移動させることのできるコンタクト部平面移動装置をさらに備えており、

実稼動中に、前記位置ずれ情報取得装置によって取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部垂直軸回転装置およびノまたは前記コンタクト部平面移動装置を駆動して前記コンタクト部を垂直軸回りに回転移動および /または平面方向に移動させ、前記位置ずれを自動補正することを特徴とする請求項 5に記載の T C Pハンドリング装置。

7 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤ Vァテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキヤリァテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置であって、

前記コンタクト部に押圧されるキヤリァテープを、その垂直軸回りに回転移動させることのできるテープ垂直軸回転装置と、

前記位置ずれ情報取得装置によって取得した位置ずれ量が所定の値より大きい場合または所定の値以上の場合には、前記コンタクト部垂直軸回転装置を駆動して前記コンタクト部を垂直軸回りに回転移動させ、前記位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合には、前記テープ垂直軸回転装置を駆動して前記キヤリァテープを垂直軸回りに回転移動きせることにより、前記位置ずれを自動補正することを特徴とする T C Pハンドリング装置。

8 . 前記 T C Pハンドリング装置は、前記コンタクト部に押圧されるキャリァテープを、その平面方向に移動させることのできるテープ平面移動装置と、前記コンタクト部を、その平面方向に移動させることのできるコンタクト部平面移動装置とをさらに備えており、

前記位置ずれ情報取得装置によつて取得した位置ずれ量が所定の値より大きい場合または所定の値以上の場合には、前記コンタクト部垂直軸回転装置およびまたは前記コンタクト部平面移動装置を駆動して前記コンタクト部を垂直軸回りに回転移動および/または平面方向に移動させ、前記位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合には、前記テープ垂直軸回転装置および/または前記テープ平面移動装匱を駆動して前記キヤリアテープを垂直軸回りに回転移動および /または平面方向に移動させることにより、前記位置ずれを自動補正することを特徴とする請求項 7に記載の T C Pハンドリング装置。

9 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置における T C Pと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であって、前記コンタクト部に押圧されるキヤリァテープを、その垂直軸回りに回転移動させることにより、 T C Pと前記コンタクト部との位置ずれを補正することを特徴とする T C Pハンドリング装置における位置ずれ補正方法。

1 0 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置における T C P と前記コンタクト部との位置ずれ捕正方法であつて、

前記コンタクト部に押圧されるキヤリァテープを、その垂直軸回りに回転移動および/またはその平面方向に移動させることにより、 T C P と前記コンタクト部との位置ずれを補正することを特徴とする T C P ハンドリング装置における位置ずれ補正方法。

1 1 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置における T C Pと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であつて、

T C Pと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、前記取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部に押圧されるキヤリァテープを、その垂直軸回りに回転移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とする T C Pハンドリング装置における位置ずれ補正方法。

1 2 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置における T C P と前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であつて、

T C Pと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、前記取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部に押圧されるキヤリァテープを、その垂直軸回りに回転移動および/またはその平面方向に移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とする T C P A ンドリング装置における位置ずれ補正方法。

1 3 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤ Vァテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置における T C Pと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であつて、

T C Pハンドリング装置の実稼動中に、 T C Pと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、前記取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とする T C Pハンドリング装置における位置ずれ補正方法。

1 4 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置における T C Pと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であつて、

T C Pハンドリング装置の実稼動中に、 T C Pと前記コンタタト部との位置ずれの情報を取得し、前記取得した位置ずれ情報に基づいて、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動および/またはその平面方向に移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とする T C Pハンドリング装置における位置ずれ補正方法。

1 5 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置における T C Pと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であつて、

T C Pと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、取得した位置ずれ量が所定の値より大きい場合または所定の値以上の場合には、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動させ、取得した位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合には、前記コンタクト部に押圧されるキヤリアテープを、その垂直軸回りに回転移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とする T C Pハンドリング装置における位置ずれ補正方法。

1 6 . テープ上に T C Pが複数形成されたキヤリァテープを搬送して、テストへッドに電気的に接続されているコンタクト部にキャリアテープを押圧し、 T C Pの外部端子を前記コンタクト部に接続させることにより、複数の T C Pを順次試験に付すことのできる T C Pハンドリング装置における T C Pと前記コンタクト部との位置ずれ補正方法であつて、

T C Pと前記コンタクト部との位置ずれの情報を取得し、取得した位置ずれ量が所定の値より大きい場合または所定の値以上の場合には、前記コンタクト部を、その垂直軸回りに回転移動および/またはその平面方向に移動させ、取得した位置ずれ量が所定の値以下の場合または所定の値未満の場合には、前記コンタクト部に押圧されるキヤリアテープを. その垂直軸回りに回転移動および/またはその平面方向に移動させることにより、前記位置ずれを補正することを特徴とする T C Pハンドリング装置における位置ずれ補正方法。