[go: up one dir, main page]

WO2002033348A1 - Optically measuring an object using a coordinate measuring device, cameras and lighting sources - Google Patents

Optically measuring an object using a coordinate measuring device, cameras and lighting sources Download PDF

Info

Publication number
WO2002033348A1
WO2002033348A1 PCT/DE2001/003897 DE0103897W WO0233348A1 WO 2002033348 A1 WO2002033348 A1 WO 2002033348A1 DE 0103897 W DE0103897 W DE 0103897W WO 0233348 A1 WO0233348 A1 WO 0233348A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
camera
illumination source
light
incident light
transmitted light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/DE2001/003897
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Frank Brosette
Mario Schroeder
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mycrona Gesellschaft fuer Innovative Messtechnik mbH
Original Assignee
Mycrona Gesellschaft fuer Innovative Messtechnik mbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mycrona Gesellschaft fuer Innovative Messtechnik mbH filed Critical Mycrona Gesellschaft fuer Innovative Messtechnik mbH
Priority to AU2002220497A priority Critical patent/AU2002220497A1/en
Priority to DE10194460T priority patent/DE10194460D2/en
Publication of WO2002033348A1 publication Critical patent/WO2002033348A1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G01B11/245—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using a plurality of fixed, simultaneously operating transducers

Definitions

  • the invention relates to devices and a method for the optical measurement of an object, with coordinate measuring machine, camera, in particular video camera, and illumination source for illuminating an object arranged in the beam path of the illumination source and in the field of view of the camera in incident light or transmitted light, according to the preambles of claims 1 and 11 and 12 respectively.
  • Devices with optical coordinate measuring devices and multi-sensor coordinate measuring devices with movable measuring tables are known, the coordinate measuring devices being equipped with a video sensor in which incident light or transmitted light is used to illuminate the field of view of the video sensor.
  • the incident light can be a two-dimensional incident light or a ring light or the incident light can be reflected in a lens of the video sensor.
  • such devices usually have three-dimensional data processing software.
  • a measuring device for measuring structures on a transparent substrate has become known from DE 198 19 492 A1, an incident-light illuminating device which illuminates from above and having an imaging device above a movable measuring table, consisting of a quartz glass mask, being used.
  • a transmitted-light illuminating device is provided below the measuring table, the optical axis of which is aligned with that of the incident-light illuminating device, the measuring table being designed as an open frame.
  • a measuring table for optical coordinate measuring machines with a height measuring device arranged above the measuring table for the Z-axis and a lighting source arranged below the table has become known; an object is irradiated with transmitted light.
  • a coordinate table has become known for coordinate measuring machines, above which there is a lens and a camera (CCD matrix).
  • a light source and lighting optics for the transmitted light irradiation of a test object from below To the side of the measuring table there is another, fixed evaluation unit, such as a measuring camera, of a flat incident light measuring system.
  • Devices of this type generally have the disadvantage that when an object is viewed or measured on both sides, the object must be turned over and relaunched, so that of course considerably more time and work must be spent than only one side of the object. Furthermore, a reference must be created for the most precise measurements.
  • the invention is therefore based on the object of further improving a device of the type mentioned in such a way that an object no longer needs to be turned during the inspection from opposite sides, the inspections can be carried out more quickly and also no additional reference is required.
  • the object is achieved according to the invention by a device for optical measurement of an object, with coordinate measuring machine, camera, in particular video camera, and illumination source for illuminating an object arranged in the beam path of the illumination source and in the field of view of the camera in incident light or transmitted light, characterized in that the device comprises a first camera with a first illumination source and a second camera with a second illumination source, which are arranged opposite one another with the object between them, the illumination sources being able to illuminate the object simultaneously or successively from opposite sides and the first camera to illuminate the object in the Reflected light from the first and transmitted light from the second illumination source and the second camera is able to detect the object in reflected light from the second and transmitted light from the first illumination source.
  • the optical axes of the two cameras essentially coincide and are essentially anti-parallel.
  • the first or second illumination source when the object is detected by the first or second camera, the first or second illumination source is used to illuminate the object in incident light, and at the same time the second or first illumination source is used to illuminate the object in transmitted light.
  • this comprises a measuring table movable in the horizontal XY plane with a glass plate for supporting the object on the glass plate, the first camera with the first lighting source above the measuring table and the second camera with the second lighting source below the Measuring table is arranged.
  • the invention has the advantage that it allows an object to be viewed both from above and from below, and additionally at the same time, so that the object no longer has to be turned over when inspecting from opposite sides.
  • An object can thus be measured and inspected simultaneously from above and from below, the incident light from one illumination source or camera serving as transmitted light for the other camera and vice versa, which makes such a device more versatile.
  • the inspection can also be carried out more quickly because the two sides of the object can be measured simultaneously. Furthermore, the measurements are more accurate because no additional reference is required.
  • Lenses can be connected upstream of the cameras in their field of vision.
  • the incident light generated by the first or second illumination source can be, for example, a planar incident light or a ring light or a multi-segment ring light.
  • a beam splitter in particular a partially transparent mirror, which serves to reflect the incident light and / or the transmitted light into the first or second lens.
  • the two cameras can be moved together or individually parallel and / or vertically to the measuring table.
  • the lighting sources can be cold light sources or laser light sources or LEDs.
  • the first or second cameras can also have a focusing device.
  • the stated object is also achieved by a device for the optical measurement of an object, with coordinate measuring machine, camera, in particular video camera, and illumination source for illuminating an object arranged in the beam path of the illumination source and in the field of view of the camera in incident light or in transmitted light, characterized in that the Device comprises a first and a second camera, which are arranged opposite one another with the object between them, the first camera being able to detect the object in reflected light and at the same time the second camera being able to detect the object in transmitted light from the illumination source, or vice versa.
  • the object is further achieved by a method for the optical measurement of an object, with coordinate measuring machine, camera, in particular video camera, and illumination source for illuminating an object arranged in the beam path of the illumination source and in the field of view of the camera in incident light or transmitted light, characterized in that a first and a second camera capture the object, which are opposed to each other the object are arranged between them, the first camera capturing the object in reflected light and at the same time the second camera capturing the object in transmitted light from the illumination source, or vice versa.
  • the drawing shows a device comprising a coordinate measuring machine with a camera for the optical measurement of an object.
  • the device for the optical measurement of an object 12, shown schematically in the drawing, comprises a coordinate measuring machine 3 which is suitably held in a known manner and which has a camera 5, which is in particular a video camera 5.
  • the coordinate measuring machine 3 can be moved in a suitable manner in the z direction or in height.
  • An illumination source 6 generates a beam 17 for illuminating the object 12 from above in incident light or also in transmitted light.
  • the beam 17 of the illumination source 6 is reflected into the field of view of the camera 5 by means of a partially transparent mirror 7.
  • the object to be measured 12 which is located in the beam path of the beam 17 of the illumination source 6 and in the field of view of the camera 5, is placed on a measuring table 1 which can be moved in the xy plane or in the plane, the contact surface of the measuring table 1 for the Object 12 is a glass plate 13 that is transparent to the beam 17.
  • the measuring table 1 is supported on the floor in a known and suitable manner (not shown in the drawing) and can likewise carry the coordinate measuring machine 3 and the optical equipment, such as camera 5, mirror 7 and lighting source 6, for example by means of a portal support.
  • the coordinate measuring machine 3 can have, at its lower end facing the measuring table 1, an objective 11 arranged in the beam path 17 or in the direction of the camera-object axis, into which the incident light from the illumination source 6 is then reflected.
  • the first camera 5 is preferably oriented such that it coincides the axis of the first camera object with the optical axis 15 of the first camera 5.
  • the illumination source 10 thus illuminates the object 12 equally from below, in transmitted light or in incident light.
  • the cameras 5, 8 of the device are followed by lenses 11, 14 in their field of view, which is shown in the drawing. Then the incident light from the lower illumination source 10 can likewise be reflected into the objective 14 by means of the partially transparent mirror 9.
  • the second camera 8 is preferably aligned in such a way that it coincides with the axis second camera object and the optical axis 16 of the second camera 8.
  • the two cameras 5, 8 are thus directed facing each other, so that the beam 17 of the incident light from the first illumination source 6 is directed from above onto the object 12 equally as transmitted light through the object 12 into the second camera 8, preferably the optical ones Axes 15, 16 of the two cameras 5, 8 coincide.
  • the beam of reflected light from the lower illumination source 10 from below onto the object 12 simultaneously serves as transmitted light through the object 12, which is captured by the upper camera 5 in its field of vision.
  • the two cameras 5, 8 can be moved together or individually parallel and / or vertically to the measuring table 1.
  • the invention is particularly suitable for devices for optically measuring an object because it allows an object to be viewed both from above and from below, and additionally at the same time, so that the object is not inspected from opposite sides needs to be turned more. An object can thus be measured and inspected simultaneously from above and from below, the incident light from one illumination source or camera serving as transmitted light for the other camera and vice versa, which makes such a device more versatile.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

The invention relates to a device for optically measuring an object comprising a coordinate measuring unit (3), a camera (5, 8), especially a video camera (5, 8), and a lighting source (6, 10) for illuminating, using incident light or transmitted light, an object (12), which is arranged in the beam path of the lighting source (6, 10) and in the field of view of the camera (5, 8). A second camera (8) having a second lighting source (10) is located beyond the object (12) such that it is opposite the first camera (5) in the direction of the optical axis (15, 16) camera-object . Both cameras (6, 8) are aligned opposite one another, and the second lighting source (10) is likewise capable of illuminating the object (12) with incident light, and the incident light of the first lighting source (6, 10) can also be directed as transmitted light through the object (12) into the field of view of the second camera (8).

Description

OPTISCHE VERMESSUNG EINES OBJEKTES MIT KOORDINATENMESSGERAT , KAMERAS UND BELEUCHTUNGSQUELLENOPTICAL MEASUREMENT OF AN OBJECT WITH COORDINATE MEASURING DEVICE, CAMERAS AND LIGHTING SOURCES

Technisches Gebiet. Die Erfindung betrifft Vorrichtungen und ein Verfahren zur optischen Vermessung eines Objektes, mit Koordinatenmeßgerät, Kamera, insbesondere Videokamera, und Beleuchtungsquelle zur Ausleuchtung eines im Strahlengang der Beleuchtungsquelle und im Blickfeld der Kamera angeordneten Objektes im Auflicht oder im Durchlicht, gemäß den Oberbegriffen der Ansprüche 1 bzw. 11 bzw. 12.Technical field. The invention relates to devices and a method for the optical measurement of an object, with coordinate measuring machine, camera, in particular video camera, and illumination source for illuminating an object arranged in the beam path of the illumination source and in the field of view of the camera in incident light or transmitted light, according to the preambles of claims 1 and 11 and 12 respectively.

Stand der Technik:State of the art:

Es sind Vorrichtungen mit optischen Koordinaten eßgeräten sowie Multisen- sor-Koordinatenmessgeräten mit verfahrbaren Meßtischen bekannt, wobei die Koordninatenmeßgeräte mit einem Videosensor ausgestattet sind, bei denen zur Ausleuchtung des Blickfeldes des Videosensors Auflicht oder Durchlicht benutzt wird. Das Auflicht kann dabei ein flächenhaftes Auflicht oder ein Ringlicht sein oder das Auflicht kann in ein Objektiv des Videosensors eingespiegelt werden. Zur Auswertung besitzen derartige Vorrichtungen gewöhnlich eine dreidimensionale Daten verarbeitende Meßsoftware.Devices with optical coordinate measuring devices and multi-sensor coordinate measuring devices with movable measuring tables are known, the coordinate measuring devices being equipped with a video sensor in which incident light or transmitted light is used to illuminate the field of view of the video sensor. The incident light can be a two-dimensional incident light or a ring light or the incident light can be reflected in a lens of the video sensor. For evaluation purposes, such devices usually have three-dimensional data processing software.

Durch die DE 198 19 492 AI ist ein Meßgerät zur Vermessung von Strukturen auf einem transparenten Substrat bekannt geworden, wobei eine von oben beleuchtende Auflicht-Beleuchtungseinrichtung mit einer Abbildungs-Ein- richtung über einem verfahrbaren Meßtisch, bestehend aus einer Quarzglasmaske, verwendet wird. Unterhalb des Meßtisches ist eine Durchlicht- Beleuchtungseinrichtung vorgesehen, deren optische Achse mit derjenigen der Auflicht-Beleuchtungseinrichtung fluchtet, wobei der Meßtisch als offener Rahmen ausgebildet ist.A measuring device for measuring structures on a transparent substrate has become known from DE 198 19 492 A1, an incident-light illuminating device which illuminates from above and having an imaging device above a movable measuring table, consisting of a quartz glass mask, being used. A transmitted-light illuminating device is provided below the measuring table, the optical axis of which is aligned with that of the incident-light illuminating device, the measuring table being designed as an open frame.

Durch die DE 196 47 059 Cl ist ein Meßtisch für optische Koordinatenmeß- maschinen mit einer oberhalb des Meßtisches angeordneten Höhenmeßeinrichtung für die Z-Achse und einer unterhalb des Tisches angeordneten Beleuchtungsquelle bekannt geworden; ein Objekt wird im Durchlicht bestrahlt. Durch die DE 44 42 787 Cl ist für Koordinatenmeßgeräte ein Koordinatentisch bekannt geworden, über dem sich ein Objektiv und eine Kamera (CCD- Matrix) befinden. Unterhalb des Tisches befinden sich eine Lichtquelle sowie eine Beleuchtungsoptik für die Durchlichtbestrahlung eines Meßobjektes von unten. Seitlich des Meßtisches befindet sich eine weitere, ortsfeste Auswerteeinheit, wie Meßkamera, eines flächenhaften Auflichtmeßsystems.From DE 196 47 059 Cl a measuring table for optical coordinate measuring machines with a height measuring device arranged above the measuring table for the Z-axis and a lighting source arranged below the table has become known; an object is irradiated with transmitted light. From DE 44 42 787 Cl a coordinate table has become known for coordinate measuring machines, above which there is a lens and a camera (CCD matrix). Below the table there is a light source and lighting optics for the transmitted light irradiation of a test object from below. To the side of the measuring table there is another, fixed evaluation unit, such as a measuring camera, of a flat incident light measuring system.

Derartige Vorrichtung weisen generell den Nachteil auf, dass bei einer beidseitig notwendigen Betrachtung oder Vermessung eines Objektes das Objekt gewendet und neu aufgelegt werden muß, so dass dafür natürlich erheblich mehr Zeit und Arbeit aufgewendet werden muß als für die Betrachtung nur einer Seite des Objektes. Des Weiteren muß für genaueste Messungen zusätzlich eine Referenz geschaffen werden.Devices of this type generally have the disadvantage that when an object is viewed or measured on both sides, the object must be turned over and relaunched, so that of course considerably more time and work must be spent than only one side of the object. Furthermore, a reference must be created for the most precise measurements.

Technische Aufgabe:Technical task:

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der genannten Gattung dergestalt weiter zu verbessern, daß ein Objekt bei der Inspektion von sich gegenüberliegenden Seiten nicht mehr gewendet zu werden braucht, die Inspektionen schneller durchgeführt werden können und auch keine zusätzliche Referenz benötigt wird.The invention is therefore based on the object of further improving a device of the type mentioned in such a way that an object no longer needs to be turned during the inspection from opposite sides, the inspections can be carried out more quickly and also no additional reference is required.

Offenbarung der Erfindung und deren Vorteile:Disclosure of the invention and its advantages:

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Vorrichtung zur optischen Vermessung eines Objektes, mit Koordinatenmeßgerät, Kamera, insbesondere Videokamera, und Beleuchtungsquelle zur Ausleuchtung eines im Strahlengang der Beleuchtungsquelle und im Blickfeld der Kamera angeordneten Objektes im Auflicht oder im Durchlicht, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung eine erste Kamera mit einer ersten Beleuchtungsquelle und eine zweite Kamera mit einer zweiten Beleuchtungsquelle umfaßt, welche einander gegenüberstehend mit dem Objekt zwischen ihnen angeordnet sind, wobei die Beleuchtungsquellen das Objekt gleichzeitig oder nacheinander von einander gegenüberliegenden Seiten zu beleuchten imstande sind und die erste Kamera das Objekt im Auflicht der ersten und im Durchlicht der zweiten Beleuchtungsquelle und die zweite Kamera das Objekt im Auflicht der zweiten und im Durchlicht der ersten Beleuchtungsquelle zu erfassen imstande ist.The object is achieved according to the invention by a device for optical measurement of an object, with coordinate measuring machine, camera, in particular video camera, and illumination source for illuminating an object arranged in the beam path of the illumination source and in the field of view of the camera in incident light or transmitted light, characterized in that the device comprises a first camera with a first illumination source and a second camera with a second illumination source, which are arranged opposite one another with the object between them, the illumination sources being able to illuminate the object simultaneously or successively from opposite sides and the first camera to illuminate the object in the Reflected light from the first and transmitted light from the second illumination source and the second camera is able to detect the object in reflected light from the second and transmitted light from the first illumination source.

In einer bevorzugten Ausfpührungsform der Erfindung fallen die optischen Achsen der beiden Kameras im wesentlichen zusammen und verlaufen im wesentlichen antiparallel .In a preferred embodiment of the invention, the optical axes of the two cameras essentially coincide and are essentially anti-parallel.

In einer weiteren Ausgestaltung dient bei Erfassung des Objektes mit der ersten bzw. zweiten Kamera die erste bzw. zweite Beleuchtungsquelle zur Beleuchtung des Objektes im Auflicht und gleichzeitig die zweite bzw. erste Beleuchtungsquelle zur Beleuchtung des Objektes im Durchlicht.In a further embodiment, when the object is detected by the first or second camera, the first or second illumination source is used to illuminate the object in incident light, and at the same time the second or first illumination source is used to illuminate the object in transmitted light.

In einer bevorzugten Ausgestaltung der Vorrichtung umfasst diese einen in der horizontalen X-Y-Ebene verfahrbaren Meßtisch mit einer Glasplatte zur Auflage des Objektes auf die Glasplatte, wobei die erste Kamera mit der ersten Beleuchtungs quelle über dem Meßtisch und die zweite Kamera mit der zweiten Beleuchtungsquelle unter dem Meßtisch angeordnet ist.In a preferred embodiment of the device, this comprises a measuring table movable in the horizontal XY plane with a glass plate for supporting the object on the glass plate, the first camera with the first lighting source above the measuring table and the second camera with the second lighting source below the Measuring table is arranged.

Die Erfindung besitzt den Vorteil, dass sie es gestattet, ein Objekt sowohl von oben als auch von unten zu betrachten, und dies zusätzlich gleichzeitig, so dass das Objekt bei der Inspektion von sich gegenüberliegenden Seiten nicht mehr gewendet zu werden braucht. Damit kann ein Objekt gleichzeitig von oben und von unten vermessen und inspiziert werden, wobei das Auflicht der einen Beleuchtungsquelle bzw. Kamera als Durchlicht für die andere Kamera dient und umgekehrt, wodurch eine derartige Vorrichtung vielseitiger ist. Ebenso kann die Inspektion schneller durchgeführt werden, weil eine Vermessung der beiden Seiten des Objektes gleichzeitig durchgeführt werden kann. Des weiteren sind die Messungen genauer, weil keine zusätzliche Referenz benötigt wird.The invention has the advantage that it allows an object to be viewed both from above and from below, and additionally at the same time, so that the object no longer has to be turned over when inspecting from opposite sides. An object can thus be measured and inspected simultaneously from above and from below, the incident light from one illumination source or camera serving as transmitted light for the other camera and vice versa, which makes such a device more versatile. The inspection can also be carried out more quickly because the two sides of the object can be measured simultaneously. Furthermore, the measurements are more accurate because no additional reference is required.

Den Kameras können in ihrem Blickfeld Objektive vorgeschaltet sein. Das von der ersten bzw. zweiten Beleuchtungsquelle erzeugte Auflicht kann z.B. ein flächenhaftes Auflicht oder ein Ringlicht oder ein Mehrsegment- Ringlicht sein.Lenses can be connected upstream of the cameras in their field of vision. The incident light generated by the first or second illumination source can be, for example, a planar incident light or a ring light or a multi-segment ring light.

Zwischen der ersten bzw. zweiten Kamera und dem ersten bzw. zweiten Objektiv kann sich ein Strahlenteiler, insbesondere teildurchlässiger Spiegel, befinden, welcher zur Einspiegelung des Auflichts und/oder des Durchlichts in das erste bzw. zweite Objektiv dient.Between the first or second camera and the first or second lens, there can be a beam splitter, in particular a partially transparent mirror, which serves to reflect the incident light and / or the transmitted light into the first or second lens.

In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Vorrichtung sind die beiden Kameras gemeinsam oder einzeln parallel und/oder vertikal zum Meßtisch verfahrbar.In a further preferred embodiment of the device, the two cameras can be moved together or individually parallel and / or vertically to the measuring table.

Die Beleuchtungsquellen können Kaltlichtquellen oder Laserlichtquellen oder LED's sein. Auch können die erste bzw. zweite Kameras eine Fokusier- einrichtung aufweisen.The lighting sources can be cold light sources or laser light sources or LEDs. The first or second cameras can also have a focusing device.

Die genannte Aufgabe wird auch gelöst durch eine Vorrichtung zur optischen Vermessung eines Objektes, mit Koordinatenmeßgerät, Kamera, insbesondere Videokamera, und Beleuchtungsquelle zur Ausleuchtung eines im Strahlengang der Beleuchtungsquelle und im Blickfeld der Kamera angeordneten Objektes im Auflicht oder im Durchlicht, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung eine erste und eine zweite Kamera umfaßt, welche einander gegenüberstehend mit dem Objekt zwischen ihnen angeordnet sind, wobei die erste Kamera das Objekt im Auflicht und zugleich die zweite Kamera das Objekt im Durchlicht der Beleuchtungsquelle zu erfassen imstande ist, oder umgekehrt.The stated object is also achieved by a device for the optical measurement of an object, with coordinate measuring machine, camera, in particular video camera, and illumination source for illuminating an object arranged in the beam path of the illumination source and in the field of view of the camera in incident light or in transmitted light, characterized in that the Device comprises a first and a second camera, which are arranged opposite one another with the object between them, the first camera being able to detect the object in reflected light and at the same time the second camera being able to detect the object in transmitted light from the illumination source, or vice versa.

Die Aufgabe wird ferner gelöst durch ein Verfahren zur optischen Vermessung eines Objektes, mit Koordinatenmeßgerät, Kamera, insbesondere Videokamera, und Beleuchtungsquelle zur Ausleuchtung eines im Strahlengang der Beleuchtungs quelle und im Blickfeld der Kamera angeordneten Objektes im Auflicht oder im Durchlicht, dadurch gekennzeichnet, dass eine erste und eine zweite Kamera das Objekt erfassen, welche einander gegenüberstehend mit dem Objekt zwischen ihnen angeordnet sind, wobei die erste Kamera das Objekt im Auflicht und zugleich die zweite Kamera das Objekt im Durchlicht der Beleuchtungsquelle erfaßt, oder umgekehrt.The object is further achieved by a method for the optical measurement of an object, with coordinate measuring machine, camera, in particular video camera, and illumination source for illuminating an object arranged in the beam path of the illumination source and in the field of view of the camera in incident light or transmitted light, characterized in that a first and a second camera capture the object, which are opposed to each other the object are arranged between them, the first camera capturing the object in reflected light and at the same time the second camera capturing the object in transmitted light from the illumination source, or vice versa.

Die Zeichnung zeigt eine Vorrichtung, umfassend ein Koordinatenmeßgerät mit Kamera, zur optischen Vermessung eines Objektes.The drawing shows a device comprising a coordinate measuring machine with a camera for the optical measurement of an object.

Die in der Zeichnung schematisch abgebildete Vorrichtung zur optischen Vermessung eines Objektes 12 umfaßt ein in bekannter Weise geeignet gehaltertes Koordinatenmeßgerät 3, welches eine Kamera 5 aufweist, die insbesondere eine Videokamera 5 ist. Das Koordinatenmeßgerät 3 ist in geeigneter Weise in der z-Richtung bzw. in der Höhe verfahrbar. Eine Beleuchtungsquelle 6 erzeugt ein Strahlenbündel 17 zur Ausleuchtung des Objektes 12 von oben im Auflicht oder auch im Durchlicht. Das Strahlen- bündel 17 der Beleuchtungsquelle 6 wird mittels eines teildurchlässigen Spiegels 7 in das Blickfeld der Kamera 5 eingespiegelt. Das zu vermessende Objekt 12, welches sich im Strahlengang des Strahlenbündels 17 der Beleuchtungsquelle 6 sowie im Blickfeld der Kamera 5 befindet, ist auf einem in der x-y-Ebene bzw. in der Ebene verfahrbaren Meßtisch 1 aufgelegt, wobei die Auflagefläche des Meßtisches 1 für das Objekt 12 eine für das Strahlenbündel 17 durchlässige Glasplatte 13 ist. Der Meßtisch 1 ist in bekannter und geeigneter Weise (nicht zeichnerisch dargestellt) auf dem Boden abgestützt und kann gleichermaßen das Koordinatenmeßgerät 3 sowie die optischen Ausrüstungsgegenstände, wie Kamera 5, Spiegel 7 und Beleuch- tungsquelle 6, tragen, zum Beispiel durch einen Portalträger.The device for the optical measurement of an object 12, shown schematically in the drawing, comprises a coordinate measuring machine 3 which is suitably held in a known manner and which has a camera 5, which is in particular a video camera 5. The coordinate measuring machine 3 can be moved in a suitable manner in the z direction or in height. An illumination source 6 generates a beam 17 for illuminating the object 12 from above in incident light or also in transmitted light. The beam 17 of the illumination source 6 is reflected into the field of view of the camera 5 by means of a partially transparent mirror 7. The object to be measured 12, which is located in the beam path of the beam 17 of the illumination source 6 and in the field of view of the camera 5, is placed on a measuring table 1 which can be moved in the xy plane or in the plane, the contact surface of the measuring table 1 for the Object 12 is a glass plate 13 that is transparent to the beam 17. The measuring table 1 is supported on the floor in a known and suitable manner (not shown in the drawing) and can likewise carry the coordinate measuring machine 3 and the optical equipment, such as camera 5, mirror 7 and lighting source 6, for example by means of a portal support.

Das Koordinatenmeßgerät 3 kann an seinem unteren, dem Meßtisch 1 zugewandten Ende ein im Strahlengang 17 bzw. in Richtung der Achse Kamera- Objekt angeordnetes Objektiv 11 aufweisen, in welches dann das Auflicht der Beleuchtungsquelle 6 eingespiegelt wird. Die erste Kamera 5 ist vorzugsweise so ausgerichtet, daß sie Achse erste Kamera — Objekt mit der optischen Achse 15 der ersten Kamera 5 zusammenfällt. Unterhalb der Glasplatte 13 des Meßtisches 1 und vorzugsweise ebenfalls vom Meßtisch 1 getragen befindet sich in Richtung der Achse erste Kamera-Objekt der ersten Kamera 5 gegenüberliegend und von dieser aus gesehen hinter dem Objekt 12 eine zweite Kamera 8 mit einer zweiten Beleuchtungsquelle 10, welche ein Strahlenbündel 18 erzeugt, welches mittels eines weiteren teildurchlässigen Spiegels 9 in das Blickfeld der unteren Kamera 8 eingespiegelt wird. Damit beleuchtet die Beleuchtungsquelle 10 gleichermaßen das Objekt 12 im Durchlicht oder im Auflicht von unten. Den Kameras 5, 8 der Vorrichtung sind in ihrem Blickfeld Objektive 11, 14 nachgeschaltet, was in der Zeichnung dargestellt ist. Dann kann gleichermaßen das Auflicht der unteren Beleuchtungsquelle 10 in das Objektiv 14 mittels des teildurchlässigen Spiegels 9 eingespiegelt werden.The coordinate measuring machine 3 can have, at its lower end facing the measuring table 1, an objective 11 arranged in the beam path 17 or in the direction of the camera-object axis, into which the incident light from the illumination source 6 is then reflected. The first camera 5 is preferably oriented such that it coincides the axis of the first camera object with the optical axis 15 of the first camera 5. Below the glass plate 13 of the measuring table 1 and preferably also carried by the measuring table 1, in the direction of the axis, there is a first camera object opposite the first camera 5 and seen from this behind the object 12, a second camera 8 with a second illumination source 10, which a Beams 18 are generated, which is reflected into the field of view of the lower camera 8 by means of a further partially transparent mirror 9. The illumination source 10 thus illuminates the object 12 equally from below, in transmitted light or in incident light. The cameras 5, 8 of the device are followed by lenses 11, 14 in their field of view, which is shown in the drawing. Then the incident light from the lower illumination source 10 can likewise be reflected into the objective 14 by means of the partially transparent mirror 9.

Die zweite Kamera 8 ist vorzugsweise so ausgerichtet, daß sie Achse zweite Kamera — Objekt mit der optischen Achse 16 der zweiten Kamera 8 zusammenfällt.The second camera 8 is preferably aligned in such a way that it coincides with the axis second camera object and the optical axis 16 of the second camera 8.

Die beiden Kameras 5, 8 sind somit sich gegenüberstehend einander zugewandt gerichtet, so dass das Strahlenbündel 17 des Auflichtes der ersten Beleuchtungsquelle 6 von oben auf das Objekt 12 gleichermaßen als Durchlicht durch das Objekt 12 in die zweite Kamera 8 geleitet wird, wobei vorzugsweise die optischen Achsen 15, 16 der beiden Kameras 5, 8 zusammenfallen. Umgekehrt dient das Strahlenbündel des Auflichtes der unteren Beleuchtungsquelle 10 von unten auf das Objekt 12 gleichzeitig als Durchlicht durch das Objekt 12, welches von der oberen Kamera 5 in deren Blickfeld aufgefangen wird. Die beiden Kameras 5, 8 können gemeinsam oder einzeln parallel und/oder vertikal zum Meßtisch 1 verfahrbar sein.The two cameras 5, 8 are thus directed facing each other, so that the beam 17 of the incident light from the first illumination source 6 is directed from above onto the object 12 equally as transmitted light through the object 12 into the second camera 8, preferably the optical ones Axes 15, 16 of the two cameras 5, 8 coincide. Conversely, the beam of reflected light from the lower illumination source 10 from below onto the object 12 simultaneously serves as transmitted light through the object 12, which is captured by the upper camera 5 in its field of vision. The two cameras 5, 8 can be moved together or individually parallel and / or vertically to the measuring table 1.

Aufgrund der erfindungsgemäßen Ausgestaltung der Vorrichtung mit zwei Kameras sowie einem Meßtisch 1, der wenigstens im Bereich der Auflage des zu vermessenden Objektes 12 transluzid ist, kann gleichzeitig ein Abbild der Oberseite und der Unterseite des Objektes 12 gewonnen werden, die in einem an die Kameras 5, 8 angeschlossenen Rechner (nicht dargestellt) ausgewertet werden können. Die gleichzeitige Gewinnung eines Abbildes der Oberseite und der Unterseite eines Objektes 12 ist auch mit nur einer Beleuchtungsquelle möglich.Due to the configuration of the device according to the invention with two cameras and a measuring table 1, which is translucent at least in the area of the support of the object 12 to be measured, an image of the top and the bottom of the object 12 can be obtained at the same time , 8 connected computers (not shown) can be evaluated. Simultaneously obtaining an image of the top and the underside of an object 12 is also possible with only one lighting source.

Gewerbliche Anwendbarkeit: Die Erfindung ist insbesondere für Vorrichtungen zur optischen Vermessung eines Objektes geeignet, weil sie es gestattet, ein Objekt sowohl von oben als auch von unten zu betrachten, und dies zusätzlich gleichzeitig, so dass das Objekt bei der Inspektion von sich gegenüberliegenden Seiten nicht mehr gewendet zu werden braucht. Damit kann ein Objekt gleichzeitig von oben und von unten vermessen und inspiziert werden, wobei das Auflicht der einen Beleuchtungsquelle bzw. Kamera als Durchlicht für die andere Kamera dient und umgekehrt, wodurch eine derartige Vorrichtung vielseitiger ist.Industrial applicability: The invention is particularly suitable for devices for optically measuring an object because it allows an object to be viewed both from above and from below, and additionally at the same time, so that the object is not inspected from opposite sides needs to be turned more. An object can thus be measured and inspected simultaneously from above and from below, the incident light from one illumination source or camera serving as transmitted light for the other camera and vice versa, which makes such a device more versatile.

Liste der B ezugszeichen:List of reference numbers:

1 Meßtisch1 measuring table

2, 2', 4 Bewegungsdoppelpfeile2, 2 ', 4 movement double arrows

3 Koordinatenmeßgerät3 coordinate measuring machine

5, 8 Video-Sensoren, zum Beispiel CCD-Kameras5, 8 video sensors, for example CCD cameras

6, 10 Beleuchtungsquellen6, 10 lighting sources

7, 9 teildurchlässige Spiegel7, 9 partially transparent mirror

11, 14 Objektive11, 14 lenses

12 zu vermessendes Objekt12 object to be measured

13 Glasplatte13 glass plate

15, 16 optische Achsen von 5,815, 16 optical axes of 5.8

17, 18 Strahlenbündel aus 6,10 17, 18 bundles of rays from 6.10

Claims

Patentansprüche claims 1. Vorrichtung zur optischen Vermessung eines Objektes, mit Koordinatenmeßgerät, Kamera, insbesondere Videokamera, und Beleuchtungsquelle zur Ausleuchtung eines im Strahlengang der Beleuchtungsquelle und im Blickfeld der Kamera angeordneten Objektes im Auflicht oder im Durchlicht, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung eine erste Kamera (5) mit einer ersten Beleuchtungsquelle (6) und eine zweite Kamera (8) mit einer zweiten Beleuchtungsquelle (10) umfaßt, welche einander gegenüberstehend mit dem Objekt (12) zwischen ihnen angeordnet sind, wobei die Beleuchtungsquellen (6,10) das Objekt (12) gleichzeitig oder nacheinander von einander gegenüberliegenden Seiten zu beleuchten imstande sind und die erste Kamera (5) das Objekt (12) im Auflicht der ersten und im Durchlicht der zweiten Beleuchtungsquelle (6,10) und die zweite Kamera (8) das Objekt (12) im Auflicht der zweiten und im Durchlicht der ersten Beleuchtungsquelle (10,6) zu erfassen imstande ist.1. Device for the optical measurement of an object, with coordinate measuring machine, camera, in particular video camera, and illumination source for illuminating an object arranged in the beam path of the illumination source and in the field of view of the camera in incident light or transmitted light, characterized in that the device comprises a first camera (5 ) with a first illumination source (6) and a second camera (8) with a second illumination source (10), which are arranged opposite one another with the object (12) between them, the illumination sources (6, 10) the object (12 ) are able to illuminate simultaneously or successively from opposite sides and the first camera (5) illuminates the object (12) in the reflected light of the first and transmitted light from the second illumination source (6,10) and the second camera (8) the object (12 ) is able to be detected in the incident light of the second and the transmitted light of the first illumination source (10, 6). 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die optischen Achsen (15,16) der beiden Kameras (5,8) im wesentlichen zusammenfallen und im wesentlichen antiparallel verlaufen.2. Device according to claim 1, characterized in that the optical axes (15, 16) of the two cameras (5, 8) essentially coincide and run essentially antiparallel. 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass bei Erfassung des Objektes (12) mit der ersten bzw. zweiten Kamera (5,8) die erste bzw. zweite Beleuchtungsquelle (6,10) zur Beleuchtung des Objektes (12) im Auflicht und gleichzeitig die zweite bzw. erste Beleuchtungsquelle (10,6) zur Beleuchtung des Objektes (12) im Durchlicht dient.3. Device according to claim 1 or 2, characterized in that when the object (12) is detected with the first or second camera (5, 8), the first or second illumination source (6, 10) for illuminating the object (12) in incident light and at the same time the second or first illumination source (10, 6) serves to illuminate the object (12) in transmitted light. 4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass dieselbe einen in der horizontalen X-Y-Ebene verfahrbaren Meßtisch (1) mit einer Glasplatte (13) zur Auflage des Objektes (12) auf die Glasplatte (13) umfasst, wobei die erste Kamera (5) mit der ersten Beleuchtungsquelle (6) über dem Meßtisch (1) und die zweite Kamera (8) mit der zweiten Beleuchtungsquelle (10) unter dem Meßtisch (1) angeordnet ist. 4. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the same comprises a movable in the horizontal XY plane measuring table (1) with a glass plate (13) for supporting the object (12) on the glass plate (13), wherein the first camera (5) with the first illumination source (6) is arranged above the measuring table (1) and the second camera (8) with the second illumination source (10) below the measuring table (1). 5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass den Kameras (5,8) in ihrem Blickfeld Objektive (11,14) vorgeschaltet sind.5. Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the cameras (5, 8) have lenses (11, 14) connected upstream in their field of vision. 6. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das von der ersten bzw. zweiten Beleuchtungsquelle (6,10) erzeugte Auflicht ein flächenhaftes Auflicht oder ein Ringlicht oder ein Mehrsegment-Ringlicht ist.6. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the incident light generated by the first or second illumination source (6, 10) is a two-dimensional incident light or a ring light or a multi-segment ring light. 7. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass sich zwischen der ersten bzw. zweiten Kamera (5,8) und dem ersten bzw. zweiten Objektiv (11,14) ein Strahlenteiler, insbesondere teildurchlässiger Spiegel (7,9) befindet, welcher zur Einspiegelung des Auflichts und/oder des Durchlichts in das erste bzw. zweite Objektiv (11,14) dient.7. The device according to claim 5, characterized in that between the first or second camera (5,8) and the first or second lens (11,14) is a beam splitter, in particular partially transparent mirror (7,9), which serves to reflect the incident light and / or the transmitted light into the first or second objective (11, 14). 8. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste bzw. zweite Kamera (5,8) einzeln oder gemeinsam parallel und/oder vertikal zum Meßtisch (1) verfahrbar sind.8. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the first or second camera (5, 8) can be moved individually or together parallel and / or vertically to the measuring table (1). 9. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Beleuchtungsquellen (6,10) Kaltlichtquellen oder Laserlichtquellen oder LED's sind.9. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the illumination sources (6, 10) are cold light sources or laser light sources or LEDs. 10. Vorrichtung nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die erste bzw. zweite Kamera (5,8) eine Fokusiereinrichtung aufweist.10. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the first or second camera (5,8) has a focusing device. 11. Vorrichtung zur optischen Vermessung eines Objektes, mit Koordi- natenmeßgerät, Kamera, insbesondere Videokamera, und Beleuchtungsquelle zur Ausleuchtung eines im Strahlengang der Beleuchtungsquelle und im Blickfeld der Kamera angeordneten Objektes im Auflicht oder im Durchhcht, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung eine erste und eine zweite Kamera (5,8) umfaßt, welche einander gegenüberstehend mit dem Objekt (12) zwischen ihnen angeordnet sind, wobei die erste Kamera (5) das Objekt (12) im Auflicht und zugleich die zweite Kamera (8) das Objekt (12) im Durchlicht der Beleuchtungsquelle (6,10) zu erfassen imstande ist, oder umgekehrt.11. Device for the optical measurement of an object, with coordinate measuring device, camera, in particular video camera, and illumination source for illuminating an object arranged in the beam path of the illumination source and in the field of view of the camera in incident light or transillumination, characterized in that that the device comprises a first and a second camera (5, 8) which are arranged opposite one another with the object (12) between them, the first camera (5) the object (12) in incident light and at the same time the second camera ( 8) the object (12) is able to be detected in transmitted light from the illumination source (6, 10), or vice versa. 12. Verfahren zur optischen Vermessung eines Objektes, mit Koordinatenmeßgerät, Kamera, insbesondere Videokamera, und Beleuchtungsquelle zur Ausleuchtung eines im Strahlengang der Beleuchtungsquelle und im Blickfeld der Kamera angeordneten Objektes im Auflicht oder im Durchlicht, dadurch gekennzeichnet, dass eine erste und eine zweite Kamera (5,8) das Objekt (12) erfassen, welche einander gegenüberstehend mit dem Objekt (12) zwischen ihnen angeordnet sind, wobei die erste Kamera (5) das Objekt (12) im Auflicht und zugleich die zweite Kamera (8) das Objekt (12) im Durchlicht der Beleuchtungsquelle (6,10) erfaßt, oder umgekehrt. 12. Method for the optical measurement of an object, with coordinate measuring machine, camera, in particular video camera, and illumination source for illuminating an object arranged in the beam path of the illumination source and in the field of view of the camera in incident light or transmitted light, characterized in that a first and a second camera ( 5.8) capture the object (12), which are arranged opposite one another with the object (12) between them, the first camera (5) the object (12) in incident light and at the same time the second camera (8) the object ( 12) detected in transmitted light from the illumination source (6, 10), or vice versa.
PCT/DE2001/003897 2000-10-16 2001-10-16 Optically measuring an object using a coordinate measuring device, cameras and lighting sources Ceased WO2002033348A1 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AU2002220497A AU2002220497A1 (en) 2000-10-16 2001-10-16 Optically measuring an object using a coordinate measuring device, cameras and lighting sources
DE10194460T DE10194460D2 (en) 2000-10-16 2001-10-16 Optical measurement of an object with coordinate measuring machine, camera and lighting sources

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE20017739U DE20017739U1 (en) 2000-10-16 2000-10-16 Devices for the optical measurement of an object, with a coordinate measuring machine with a camera
DE20017739.7 2000-10-16

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2002033348A1 true WO2002033348A1 (en) 2002-04-25

Family

ID=7947710

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/DE2001/003897 Ceased WO2002033348A1 (en) 2000-10-16 2001-10-16 Optically measuring an object using a coordinate measuring device, cameras and lighting sources

Country Status (3)

Country Link
AU (1) AU2002220497A1 (en)
DE (2) DE20017739U1 (en)
WO (1) WO2002033348A1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100410623C (en) * 2006-09-30 2008-08-13 赵政康 Mobile Gantry Optical Coordinate Measuring Machine
DE102012100987B3 (en) * 2012-02-07 2013-07-11 Miho Holding-Gmbh Inspection device for objects e.g. containers, has cameras in which one camera images object in non-transparent state of optical element by performing transmitted light method
US20210197233A1 (en) * 2017-10-27 2021-07-01 Robert Bosch Gmbh Acquisition device and method for acquiring sets of multiple object data of at least one object

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10211760A1 (en) * 2002-03-14 2003-10-02 Werth Messtechnik Gmbh Arrangement and method for measuring geometries or structures of essentially two-dimensional objects by means of image processing sensors
DE102012105923B4 (en) * 2012-07-03 2014-02-27 Sd Mechatronik Gmbh Apparatus and method for measuring abrasion
DE102014205705B4 (en) * 2014-03-27 2020-11-05 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Light table suitable for applications in metrology and coordinate measuring machine with such a light table
DE102015114575B4 (en) * 2015-09-01 2017-05-24 Stephan Krebs Device for image control
DE102016102360B4 (en) * 2016-02-11 2018-06-07 Kohnle GmbH Measuring arrangement and method for optical measurement of cutting machines
DE102016004713A1 (en) * 2016-04-19 2017-10-19 ISW GmbH Device and method for the optical measurement of an object
DE102020118319B4 (en) * 2020-07-10 2021-09-16 Heilig & Schwab GmbH & Co. KG Method and device for measuring an object to be measured
DE102024000103B3 (en) * 2024-01-13 2025-05-08 Manfred Sommer Device and method for measuring a double seam of a can

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3712958C1 (en) * 1987-04-16 1988-10-06 Rollei Fototechnic Gmbh Method and device for photographically measuring a three-dimensional object
US4947474A (en) * 1988-10-24 1990-08-07 Mathias Zirm Mechanism of observation and recording operation on an object
DE4442787C1 (en) * 1994-12-01 1996-06-13 Zeiss Carl Jena Gmbh Coordinate table for coordinate measuring device
JPH10221041A (en) * 1997-02-10 1998-08-21 Toppan Printing Co Ltd Defect inspection method
DE19805040A1 (en) * 1998-02-09 1999-08-12 Wegu Messtechnik Optical co-ordinate measuring machine using light transmission
DE19819492A1 (en) * 1998-04-30 1999-11-11 Leica Microsystems Measuring device for measuring structures on a transparent substrate

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19514692C2 (en) 1995-04-13 1998-12-17 Sicon Spectroscopic Instr Gmbh Optical coordinate measuring machine for non-contact, three-dimensional measurement of workpieces on a measuring surface
DE19647059C1 (en) 1996-11-14 1997-11-20 Zeiss Carl Jena Gmbh Measuring table for optical coordinate measuring machine
DE19747027A1 (en) 1997-04-21 1998-10-22 Wegu Messtechnik Multiple sensor scan device e.g. for coordinate measuring device

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3712958C1 (en) * 1987-04-16 1988-10-06 Rollei Fototechnic Gmbh Method and device for photographically measuring a three-dimensional object
US4947474A (en) * 1988-10-24 1990-08-07 Mathias Zirm Mechanism of observation and recording operation on an object
DE4442787C1 (en) * 1994-12-01 1996-06-13 Zeiss Carl Jena Gmbh Coordinate table for coordinate measuring device
JPH10221041A (en) * 1997-02-10 1998-08-21 Toppan Printing Co Ltd Defect inspection method
DE19805040A1 (en) * 1998-02-09 1999-08-12 Wegu Messtechnik Optical co-ordinate measuring machine using light transmission
DE19819492A1 (en) * 1998-04-30 1999-11-11 Leica Microsystems Measuring device for measuring structures on a transparent substrate

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 1998, no. 13 30 November 1998 (1998-11-30) *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100410623C (en) * 2006-09-30 2008-08-13 赵政康 Mobile Gantry Optical Coordinate Measuring Machine
DE102012100987B3 (en) * 2012-02-07 2013-07-11 Miho Holding-Gmbh Inspection device for objects e.g. containers, has cameras in which one camera images object in non-transparent state of optical element by performing transmitted light method
US20210197233A1 (en) * 2017-10-27 2021-07-01 Robert Bosch Gmbh Acquisition device and method for acquiring sets of multiple object data of at least one object
US12072182B2 (en) * 2017-10-27 2024-08-27 Robert Bosch Gmbh Acquisition device and method for acquiring sets of multiple object data of at least one object

Also Published As

Publication number Publication date
AU2002220497A1 (en) 2002-04-29
DE10194460D2 (en) 2003-10-02
DE20017739U1 (en) 2001-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102013008273B4 (en) Three-dimensional image capture device
DE102012101301B4 (en) Device for non-contact edge profile determination on a thin disc-shaped object
EP1716410B1 (en) Method and system for inspecting surfaces
DE69714401T2 (en) Optical method and device for detecting defects
DE102016215529B4 (en) Hardness testing device and hardness testing method
DE2617457A1 (en) METHOD OF GENERATING A VISUAL IMAGE OF AN OBJECTIVE TO BE TESTED BY MEANS OF TRANSMISSION AND OPTICAL TESTING DEVICE
DE2818060A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR VISUAL MEASUREMENT INSPECTION
WO2002033348A1 (en) Optically measuring an object using a coordinate measuring device, cameras and lighting sources
DE69614452T2 (en) Method of measuring the degree of bending of a curved glass sheet
DE102009032210B4 (en) processing plant
DE4212404A1 (en) DEVICE FOR MEASURING THE SPATIAL FORM OF A LONG-STRETCHED COMPONENT
DE10211760A1 (en) Arrangement and method for measuring geometries or structures of essentially two-dimensional objects by means of image processing sensors
DE102016107900A1 (en) Method and device for edge detection of a test object in optical metrology
DE102021118327B4 (en) Measuring camera for the two-dimensional measurement of objects
DE102007000981A1 (en) Apparatus and method for measuring structures on a mask and for calculating the structures resulting from the structures in a photoresist
DE102007049100B4 (en) Method for determining the centrality of masks
DE112020002180T5 (en) NORMAL INCIDENCE PHASE-SHIFT DEFLECTOMETRY SENSOR, SYSTEM AND METHOD FOR INSPECTING A SURFACE OF A SAMPLE
DE102004033526A1 (en) Analysis of at least partly reflecting surfaces involves varying relative orientation/position of object, pattern generation device and/or image receiver(s) for image reflected at surface, to obtain surface, especially geometry, information
DE102019201272B4 (en) Device, measuring system and method for detecting an at least partially reflective surface using two reflection patterns
DE102022116214A1 (en) Measuring camera and method for two-dimensional measurement of objects
EP0631129A1 (en) Method and device for inspecting transparent objects
DE102007017649A1 (en) A method for determining the focal position of at least two edges of structures on a substrate
DE102005029901A1 (en) Visually recording flat or spatial objects e.g. for quality control testing of products, uses evaluation device connected to camera with an adjustable mirror element
DE102007047935A1 (en) Apparatus and method for inspection of defects at the edge region of a wafer and use of the device in a wafer inspection device
DE102012005966A1 (en) Device for generating representation of three dimensional body in form of vehicle, has illumination device for generating light strip, particularly parallel light, where electronic sensor is arranged behind or in front of shadow wall

Legal Events

Date Code Title Description
AK Designated states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AU BA BG BR BY CA CN CZ DE DZ EE HR HU ID IL IN JP KR LT LV MK MX NO NZ PL RO RU SG SI SK TR UA US YU ZA

AL Designated countries for regional patents

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AM AZ BY KG KZ MD RU TJ TM AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LU MC NL PT SE TR

DFPE Request for preliminary examination filed prior to expiration of 19th month from priority date (pct application filed before 20040101)
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
REF Corresponds to

Ref document number: 10194460

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20031002

Kind code of ref document: P

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 10194460

Country of ref document: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase
NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP

REG Reference to national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: 8607