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WO1996008749A3 - Verfahren zur herstellung eines dreidimensionalen bauteils oder einer bauteilgruppe - Google Patents

Verfahren zur herstellung eines dreidimensionalen bauteils oder einer bauteilgruppe Download PDF

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WO1996008749A3
WO1996008749A3 PCT/DE1995/001151 DE9501151W WO9608749A3 WO 1996008749 A3 WO1996008749 A3 WO 1996008749A3 DE 9501151 W DE9501151 W DE 9501151W WO 9608749 A3 WO9608749 A3 WO 9608749A3
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Martina Rothe
Andreas Maciossek
Bernd Loechel
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Fraunhofer Ges Zur Foerderng D
Martina Rothe
Andreas Maciossek
Bernd Loechel
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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines dreidimensionalen Bauteils oder einer Bauteilgruppe, insbesondere auf Oberflächen von bereits prozessierten Halbleiter-Chips. Basis für bekannte dreidimensionale Aufbauten auf Chipoberflächen bildet die Strukturierung dicker Photolacke und die anschließende galvanische Abformung dieser Lackstrukturen. Die bekannten Verfahren setzen lediglich dicken Photolack und zwischenliegende Galvanikstartschichten für die Ausbildung der dreidimensionalen Aufbauten ein. Der Aufbau komplizierterer Strukturen ist aufgrund der geringen Stabilität der Photolacke nur mit erhöhtem Aufwand möglich. Das erfindungsgemäße Verfahren nutzt für die dreidimensionalen Aufbauten neben der galvanischen Abformung von beispielsweise UV-strukturierten Photolackschichten mit aufbauenden Metallschichten (16) auch die Abformung mit später wieder zu entfernenden metallischen Hilfsschichten (Opferschichten) (13). Diese in den Lackschichten liegenden metallischen Hilfsschichten werden bei Mehrlagenaufbauten gleichzeitig als Galvanikstartschichten für weitere aufzubauende Ebenen genutzt. Das hier beschriebene Verfahren stellt mit den dreidimensionalen Aufbauten beispielsweise Spulen und Transformatoren zur Integration auf Chipoberflächen bereit, die bislang in dieser Form nicht realisierbar waren.
PCT/DE1995/001151 1994-09-14 1995-08-23 Verfahren zur herstellung eines dreidimensionalen bauteils oder einer bauteilgruppe WO1996008749A2 (de)

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WO1996008749A2 WO1996008749A2 (de) 1996-03-21
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