[go: up one dir, main page]

TWI410363B - 物品運送設備（一） - Google Patents

物品運送設備（一） Download PDF

Info

Publication number
TWI410363B
TWI410363B TW096140344A TW96140344A TWI410363B TW I410363 B TWI410363 B TW I410363B TW 096140344 A TW096140344 A TW 096140344A TW 96140344 A TW96140344 A TW 96140344A TW I410363 B TWI410363 B TW I410363B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
article
support
moving body
locking
moving
Prior art date
Application number
TW096140344A
Other languages
English (en)
Other versions
TW200831376A (en
Inventor
Mitsuru Yoshida
Yoshitaka Inui
Original Assignee
Daifuku Kk
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daifuku Kk filed Critical Daifuku Kk
Publication of TW200831376A publication Critical patent/TW200831376A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI410363B publication Critical patent/TWI410363B/zh

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G37/00—Combinations of mechanical conveyors of the same kind, or of different kinds, of interest apart from their application in particular machines or use in particular manufacturing processes
    • B65G37/02—Flow-sheets for conveyor combinations in warehouses, magazines or workshops
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67775—Docking arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Intermediate Stations On Conveyors (AREA)

Description

物品運送設備(一) 發明領域
本發明係有關於一種物品運送設備，該物品運送設備係將物品運送用移動體設置成可沿著移動路徑自由移動，且該移動體具有保持物品之保持部，又，將物品保管用物品支持體設置成可自由變換位置至物品交接位置與物品保管位置，且該物品交接位置係自停止在相對於前述物品支持體之物品移載處的前述移動體之前述保持部收取物品及將物品交給前述保持部者。
 發明背景
前述物品運送設備係沿著移動路徑設置複數物品移載用站台，且移動體沿著移動路徑移動而自站台收取物品或將物品交給站台，藉此，可於複數站台間進行物品運送。
又，為了暫時地保管運送至站台之物品，設置有物品保管用物品支持體，又，為了不妨礙移動體之移動，該物品支持體通常係位於物品保管位置，且該物品保管位置係訂定在移動路徑橫向附近之位置等，只有在與移動體之保持部間交接物品時會變換位置至物品交接位置，即，於使移動體停止在物品移載處之狀態下，使物品支持體自物品保管位置變換位置至物品交接位置，並於物品支持體與移動體之保持部間進行物品之交接，然後，藉由自物品交接位置變換位置至物品保管位置，使物品保管在物品支持體或使移動體自物品支持體收取物品。
於習知物品運送設備中，作為移動路徑之導軌係設置於天花板側，同時更設置有：連桿機構，係可相對於天花板部環繞水平軸心自由搖動，且將物品支持體支持為可自由變換位置至物品保管位置與物品交接位置者；及油壓缸，係設置於天花板部與連桿機構間，且用以將物品支持體變換操作至物品保管位置與物品交接位置者。
於該習知物品運送設備中，藉由使油壓缸作動，使連桿機構環繞水平軸心搖動，並使物品支持體自物品保管位置變換操作至物品交接位置，同時藉由使油壓缸作動，使連桿機構環繞水平軸心搖動，並使物品支持體自物品交接位置變換操作至物品保管位置。
 發明之揭示
於前述習知物品運送設備中，為了使物品支持體變換位置至物品保管位置與物品交接位置，除了將物品支持體支持為可自由變換位置至物品保管位置與物品交接位置之連桿機構外，於移動路徑橫向附近之位置等移動路徑側更必須設置用以將物品支持體變換操作至物品保管位置與物品交接位置之油壓缸，因此，會增加設置於移動路徑側之零件數且設置空間會擴大，同時會有導致構造複雜化之虞。
本發明係著眼於該觀點所完成，其目的在提供一種可簡化構造並使物品支持體變換位置至物品保管位置與物品交接位置之物品運送設備。
為了達成該目的，有關本發明之物品運送設備之第1特徵構造在於：將物品運送用移動體設置成可沿著移動路徑自由移動，且該移動體具有保持物品之保持部，又，將物品保管用物品支持體設置成可自由變換位置至物品交接位置與物品保管位置，且該物品交接位置係自停止在相對於前述物品支持體之物品移載處的前述移動體之前述保持部收取物品及將物品交給前述保持部者，又，設置有鎖定元件，且該鎖定元件可自由切換成將前述物品支持體鎖定在前述物品保管位置之鎖定狀態(locking state)與解除該鎖定之解除鎖定狀態，又，於前述移動體上設置有操作元件，且該操作元件係進行前述物品支持體之位置變換操作及前述鎖定元件之切換操作，以於將前述鎖定元件自前述鎖定狀態切換操作成前述解除鎖定狀態後，將前述物品支持體自前述物品保管位置變換操作至前述物品交接位置，且在將前述物品支持體自前述物品交接位置變換操作至前述物品保管位置後，將前述鎖定元件自前述解除鎖定狀態切換操作成前述鎖定狀態。
即，藉由將鎖定元件切換成鎖定狀態，可將物品支持體進行鎖定而不會移動至物品交接位置，因此，可防止因地震或振動等而使物品支持體誤自物品保管位置移動至物品交接位置，故可避免物品支持體誤與移動體衝突。
又，於將物品保管在物品支持體時或取出物品支持體所保管之物品時，在使移動體停止在物品移載處之狀態下，操作元件係進行物品支持體之位置變換操作及鎖定元件之切換操作，以於將鎖定元件自鎖定狀態切換操作成解除鎖定狀態後，將物品支持體自物品保管位置變換操作至物品交接位置，藉此，可將鎖定元件自鎖定狀態切換成解除鎖定狀態，並使物品支持體自物品保管位置變換位置至物品交接位置，且可於移動體之保持部與位於物品交接位置之物品支持體間進行物品之交接。
又，於移動體之保持部與位於物品交接位置之物品支持體間進行過物品之交接後，操作元件係進行物品支持體之位置變換操作及鎖定元件之切換操作，以於將物品支持體自物品交接位置變換操作至物品保管位置後，將鎖定元件自解除鎖定狀態切換操作成鎖定狀態，藉此，可使物品支持體自物品交接位置變換位置至物品保管位置，並將鎖定元件自解除鎖定狀態切換成鎖定狀態。
依此，由於可藉由設置在移動體上之操作元件將鎖定元件切換操作成鎖定狀態與解除鎖定狀態，同時可將物品支持體進行位置變換操作至物品保管位置與物品交接位置，因此，亦可不在移動路徑側設置用以將鎖定元件進行切換操作之構件及用以將物品支持體進行位置變換操作之構件，同時可減少設置於移動路徑側之零件數。
故，可提供一種能避免物品支持體誤與移動體衝突並減少設置於移動路徑側之零件數而可簡化構造之物品運送設備。
有關本發明之物品運送設備之第2特徵構造在於：前述操作元件包含有：物品支持體用操作部，係藉由朝相對於停止在前述物品移載處之前述移動體的遠近方向中自前述移動體突出之方向之移動，將前述物品支持體自前述物品保管位置變換操作至前述物品交接位置，且藉由朝相對於停止在前述物品移載處之前述移動體的遠近方向中退回至前述移動體之方向之移動，將前述物品支持體自前述物品交接位置變換操作至前述物品保管位置者；及突出退回式鎖定元件用操作部，係藉由朝相對於停止在前述物品移載處之前述移動體的遠近方向中自前述移動體突出之方向之移動，將前述鎖定元件自前述鎖定狀態切換操作成前述解除鎖定狀態，且藉由朝相對於停止在前述物品移載處之前述移動體的遠近方向中退回至前述移動體之方向之移動，將前述鎖定元件自前述解除鎖定狀態切換操作成前述鎖定狀態者。
即，操作元件可藉由使物品支持體用操作部朝前述遠近方向中自移動體突出之方向及退回至移動體之方向移動，而使物品支持體變換位置至物品保管位置與物品交接位置，因此，為了使物品支持體變換位置至物品保管位置與物品交接位置，操作元件只要使物品支持體用操作部朝前述遠近方向中自移動體突出之方向及退回至移動體之方向移動即可，同時可簡化用以使物品支持體變換位置至物品保管位置與物品交接位置之構造。
又，操作元件可藉由使鎖定元件用操作部朝前述遠近方向中自移動體突出之方向及退回至移動體之方向移動，而將鎖定元件切換成鎖定狀態與解除鎖定狀態，因此，為了將鎖定元件切換成鎖定狀態與解除鎖定狀態，操作元件只要使鎖定元件用操作部朝前述遠近方向中自移動體突出之方向及退回至移動體之方向移動即可，同時可簡化用以將鎖定元件切換成鎖定狀態與解除鎖定狀態之構造。
有關本發明之物品運送設備之第3特徵構造在於：前述操作元件包含有突出退回移動體，且該突出退回移動體可朝相對於停止在前述物品移載處之前述移動體的遠近方向中自前述移動體突出之方向及退回至前述移動體之方向自由移動操作，又，於前述突出退回移動體上設置有前述物品支持體用操作部及前述鎖定元件用操作部。
即，操作元件只要使突出退回移動體朝前述遠近方向中自移動體突出之方向及退回至移動體之方向移動，即可使物品支持體用操作部與鎖定元件用操作部朝前述遠近方向中自移動體突出之方向及退回至移動體之方向移動，因此，只要具有用以使突出退回移動體移動之引動器，即可使物品支持體用操作部與鎖定元件用操作部移動，因此可簡化構造。
有關本發明之物品運送設備之第4特徵構造在於：更設置有被操作體，且該被操作體係被支持為可朝相對於停止在前述物品移載處之前述移動體的遠近方向自由變換位置，並藉由利用前述物品支持體用操作部朝自前述移動體突出之方向之移動，自接近停止在前述物品移載處之前述移動體的接近位置操作至遠離停止在前述物品移載處之前述移動體的遠離位置，且藉由利用前述物品支持體用操作部朝退回至前述移動體之方向之移動，自前述遠離位置操作至前述接近位置，又，前述被操作體係與前述物品支持體聯結，以於位在前述接近位置時使前述物品支持體位於前述物品保管位置，且於位在前述遠離位置時使前述物品支持體位於前述物品交接位置。
即，若被操作體藉由利用物品支持體用操作部朝自移動體突出之方向之移動而自接近位置操作至遠離位置，則會將物品支持體操作至物品交接位置，因此，可藉由利用物品支持體用操作部將被操作體自接近位置操作至遠離位置，使物品支持體自物品保管位置變換位置至物品交接位置。
又，若被操作體藉由利用物品支持體用操作部朝退回至移動體之方向之移動而自遠離位置操作至接近位置，則會將物品支持體操作至物品保管位置，因此，可藉由利用物品支持體用操作部將被操作體自遠離位置操作至接近位置，使物品支持體自物品交接位置變換位置至物品保管位置。
依此，由於物品支持體用操作部並非直接操作物品支持體，而是將與物品支持體聯結之被操作體操作至接近位置與遠離位置，因此，可將被操作體配置在容易藉由物品支持體用操作部操作之處等構成容易進行利用物品支持體用操作部之操作，故，可輕易地使物品支持體適當地變換位置至物品保管位置與物品交接位置。
有關本發明之物品運送設備之第5特徵構造在於：前述被操作體係設置成可藉由環繞搖動軸心之搖動自由切換至前述接近位置與前述遠離位置，且於前述接近位置中其前端部構成比前述搖動軸心更接近停止在前述物品移載處之前述移動體的姿勢，又，於前述被操作體之前端部設置有溝部，且該溝部係於前述被操作體位於前述接近位置之狀態下在相對於前述遠近方向呈交叉之方向中朝前述搖動軸心側延伸，又，前述溝部係於接近停止在前述物品移載處之前述移動體側之前端沿著前述遠近方向延伸之狀態下設置，且前述物品支持體用操作部係藉由於前述遠近方向之移動對前述溝部卡合及脫離，又，前述操作元件係藉由於前述遠近方向中使前述物品支持體用操作部朝自前述移動體突出之方向移動，使前述物品支持體用操作部與前述溝部卡合，並將前述被操作體自前述接近位置推壓操作至前述遠離位置，且藉由於前述遠近方向中使前述物品支持體用操作部朝退回至前述移動體之方向移動，將前述被操作體自前述遠離位置拉引操作至前述接近位置，然後使前述物品支持體用操作部脫離前述溝部。
即，於被操作體位於接近位置時，其前端部係構成比搖動軸心更接近停止在物品移載處之移動體的姿勢，且設置於該被操作體之前端部的溝部係將接近停止在物品移載處之移動體側之前端沿著相對於停止在物品移載處之移動體的遠近方向延伸，同時構成沿著相對於前述遠近方向呈交叉之方向朝搖動軸心側延伸之形狀。
藉由使前述物品支持體用操作部朝前述遠近方向中自移動體突出之方向移動，使物品支持體用操作部自接近停止在物品移載處之移動體側之前端嵌入溝部並卡合。又，若物品支持體用操作部與溝部卡合而朝自移動體突出之方向移動，則物品支持體用操作部會將被操作體自接近位置推壓操作至遠離位置，且被操作體會環繞搖動軸心搖動而自接近位置切換至遠離位置。
反之，藉由使物品支持體用操作部朝前述遠近方向中退回至移動體之方向移動，使物品支持體用操作部與溝部卡合而將被操作體自遠離位置拉引操作至接近位置，且被操作體會環繞搖動軸心搖動而自遠離位置切換至接近位置。又，若被操作體位於接近位置，則溝部中接近停止在物品移載處之移動體側之前端會沿著前述遠近方向延伸，且物品支持體用操作部會自該開口脫離溝部。
依此，由於可使操作部與溝部卡合而藉由推壓操作及拉引操作將被操作體操作至接近位置與遠離位置，因此，舉例言之，亦無須設置用以朝接近位置賦予被操作體復歸勢能之賦勢元件，同時可簡化構造並將被操作體適當地操作至接近位置與遠離位置。
有關本發明之物品運送設備之第6特徵構造在於：前述鎖定元件包含有鎖定體，且該鎖定體可自由變換位置至鎖定位置與解除鎖定位置，又，前述鎖定位置係限制前述被操作體自前述接近位置至前述遠離位置之位置變換而呈前述鎖定狀態者，且前述解除鎖定位置係容許前述被操作體於前述接近位置與前述遠離位置間之位置變換而呈前述解除鎖定狀態者，又，前述鎖定體係設置成藉由利用前述鎖定元件用操作部朝自前述移動體突出之方向之移動，自前述鎖定位置操作至前述解除鎖定位置，且藉由利用前述鎖定元件用操作部朝退回至前述移動體之方向之移動，自前述解除鎖定位置操作至前述鎖定位置。
即，由於鎖定元件包含有鎖定體，且該鎖定體可自由變換位置至鎖定位置與解除鎖定位置，又，前述鎖定位置係限制被操作體自接近位置朝遠離位置之位置變換者，且前述解除鎖定位置係容許被操作體於接近位置與遠離位置間之位置變換者，因此，並非直接限制物品支持體之動向，而是只要具有限制被操作體之動向之鎖定體即可，同時可簡化構造。
又，由於鎖定體可藉由於前述遠近方向中鎖定元件用操作部朝自移動體突出之方向之移動而自鎖定位置操作至解除鎖定位置，因此可將鎖定元件自鎖定狀態切換成解除鎖定狀態。又，由於鎖定體可藉由於前述遠近方向中鎖定元件用操作部朝退回至移動體之方向之移動而自解除鎖定位置操作至鎖定位置，因此可將鎖定元件自解除鎖定狀態切換成鎖定狀態。
故，可簡化構造並將鎖定元件確切地切換成鎖定狀態與解除鎖定狀態。
有關本發明之物品運送設備之第7特徵構造在於：前述鎖定體係設置成可於被賦予朝前述鎖定位置之勢能之狀態下藉由環繞搖動軸心之搖動自由變換位置至前述鎖定位置與前述解除鎖定位置，並藉由前述鎖定元件用操作部朝自前述移動體突出之方向之移動，自前述鎖定位置推壓操作至前述解除鎖定位置，且藉由前述鎖定元件用操作部朝退回至前述移動體之方向之移動，解除利用前述鎖定元件用操作部自前述鎖定位置朝前述解除鎖定位置之推壓操作。
即，若鎖定元件用操作部藉由朝前述遠近方向中自移動體突出之方向移動而將鎖定體自鎖定位置推壓操作至解除鎖定位置，則可使鎖定體環繞搖動軸心搖動而自鎖定位置變換位置至解除鎖定位置。又，若鎖定元件用操作部藉由朝前述遠近方向中退回至移動體之方向移動而解除對鎖定體自鎖定位置朝解除鎖定位置之推壓操作，則可藉由朝鎖定位置賦予鎖定體勢能之賦勢力使鎖定體環繞搖動軸心搖動而自解除鎖定位置變換位置至鎖定位置。
依此，藉由利用朝鎖定位置賦予鎖定體勢能之賦勢力，而可藉由利用鎖定元件用操作部將鎖定體進行推壓操作及解除該推壓操作之簡易操作，使鎖定體變換位置至鎖定位置與解除鎖定位置，同時可簡化操作並使鎖定體確切地變換位置至鎖定位置與解除鎖定位置。
有關本發明之物品運送設備之第8特徵構造在於：前述鎖定體係藉由利用前述鎖定元件用操作部朝退回至前述移動體之方向之移動，自前述解除鎖定位置推壓操作至前述鎖定位置。
即，由於鎖定元件用操作部可藉由朝前述遠近方向中退回至移動體之方向移動而將鎖定體自解除鎖定位置推壓操作至鎖定位置，因此可確切地進行鎖定體自解除鎖定位置朝鎖定位置之位置變換。
有關本發明之物品運送設備之第9特徵構造在於：更設置有滑動導引支持元件，且該滑動導引支持元件係相對於對應前述物品保管位置所設置之固定框體，將前述物品支持體支持為可相對於水平方向呈傾斜地自由滑動導引移動至前述物品保管位置與比前述物品保管位置更上方之前述物品交接位置。
即，由於物品交接位置係位於比物品保管位置更上方，且滑動導引支持元件係將物品支持體支持為可相對於水平方向呈傾斜地自由滑動導引移動至物品保管位置與物品交接位置，因此，可藉由物品支持體本身之重量賦予物品支持體朝物品保管位置之勢能，故，滑動導引支持元件可於朝物品保管位置賦予物品支持體勢能之狀態下將物品支持體支持為可自由滑動導引至物品保管位置與物品交接位置，且可防止物品支持體誤自物品保管位置移動至物品交接位置。
如有關本發明之物品運送設備之第10特徵構造，前述移動路徑宜藉由架空之軌條所形成，且前述移動體係構成為可沿著前述軌條移動之車輛，又，於前述車輛上設置有具有柔軟構件之升降操作機構，且前述物品保持部係藉由升降操作機構而透過前述柔軟構件於上升位置與下降位置間朝上下方向移動。
如有關本發明之物品運送設備之第11特徵構造，前述車輛於其行進方向上宜具有前縱框體及後縱框體，又，前述上升位置係前述物品保持部配置於前述前後框體間之位置，且前述下降位置係適合於配置在地上之站台上載置物品之位置。
如有關本發明之物品運送設備之第12特徵構造，前述物品支持體宜配置成於位於前述上升位置之前述物品保持部大致相同之高度，使前述物品支持體可實質呈水平地移動至前述物品交接位置，藉此使前述物品支持體自前述物品保持部收取物品。
如有關本發明之物品運送設備之第13特徵構造，前述物品支持體宜透過固定框體自天花板垂吊。
 發明之較佳實施形態
依據圖式說明有關本發明之物品運送設備之實施形態，又，以後說明複數實施形態，然而，一般認為組合一實施形態之特徵與其他實施形態之特徵者亦包含於本發明之範圍內。
〔第1實施形態〕
如第1及2圖所示，該物品運送設備係於經由複數物品處理部1之狀態下設置有作為移動路徑之導軌2，且設置有可沿著該導軌2自由移動之物品運送用移動車3(移動體或車輛)。又，收納有半導體基板之容器5(物品之一例)係構成為移動車3可於複數物品處理部1間運送容器5，且於前述物品處理部1中可對半導體基板之製造途中之製品等進行預定處理。
前述移動車3包含有可自由升降之把持部4，且該把持部4係以垂吊狀態把持容器5，又，保持容器5之保持部係藉由把持部4所構成。
前述把持部4係設置成於移動車3停止之狀態下可藉由將金屬線6捲取或捲出而自由升降至上升位置與下降位置，又，前述上升位置係位置接近移動車3者，且前述下降位置係可於與設置在比移動車3更下方側之物品移載用站台7間進行物品移載者。
附帶一提，於第2圖中，右側係顯示把持部4自上升位置下降至下降位置之情形，左側則顯示使把持部4自下降位置上升至上升位置之情形。
前述站台7係藉由載置支持容器5之載置台所構成，又，站台7係用以自移動車3收取藉由物品處理部1進行預定處理之容器5或將業已藉由物品處理部1進行預定處理之容器5交接至移動車3者，同時配置成分別對應於複數物品處理部1。
又，移動車3係於使把持部4位於上升位置之狀態下沿著導軌2移動，且於停止在對應於複數站台7中移載對象之站台7的停止位置之狀態下使把持部4於上升位置與下降位置間升降，藉此，可於與站台7間進行容器5之交接。
如第2至4圖所示，前述導軌2係藉由導軌用托架8以固定狀態設置於天花板部上，又，前述移動車3係藉由前後筒狀之連結部10、11來連結位於導軌2之內側空間部之上方車體9與位於導軌2下方之下方車體12。
前述上方車體9係於與設置在導軌2之內側空間部的磁鐵13接近、相對之狀態下具有一次線圈14，又，上方車體9係利用由磁鐵13與一次線圈14所構成之線性馬達來得到推動力之線性馬達式，且移動車3可藉由該推動力沿著導軌2移動。
於前述導軌2之內側空間部形成有相對於上方車體9所具有之行走輪15的行走導引面16；及相對於上方車體9所具有之止振輪17的止振導引面18。
又，於導軌2上設置有供電線19，且於上方車體9上設置有接電線圈20，又，藉由交流電流之通電使供電線19產生磁場，且藉由該磁場使接電線圈20產生於移動車3側之必要電力，並於無接觸狀態下進行供電。
於該實施形態中，使上方車體9驅動之方式係列舉藉由線性馬達來得到推動力而使其驅動之線性馬達式，然而，舉例言之，亦可利用下述方式，即：設置用以將行走輪15旋轉驅動之電動馬達，且藉由該電動馬達使行走輪15旋轉驅動，藉此，使上方車體9驅動。
前述下方車體12係由朝移動車3之前後方向延伸之前後框體21及自前後框體21之前端處與後端處朝下方側延伸之前後一對縱框體22所構成，又，下方車體12係於側視下形成為下方側開放之ㄇ字形，且於前後方向之中央部配置把持部4。
前述把持部4係設置於可相對於上方車體9自由升降之升降體23上，且該升降體23係被支持為可藉由設置於前後框體21上之升降操作機構24自由升降操作。
前述升降操作機構24(升降機)係將四根金屬線6捲掛在可藉由圓筒驅動用馬達25自由旋動之轉動圓筒26上，又，升降操作機構24係使轉動圓筒26正逆旋轉而將四根金屬線6同時地捲取及捲出，藉此，使升降體23一面維持在略呈水平姿勢一面進行升降操作。
該實施形態係顯示將金屬線6捲掛在轉動圓筒26上之例子，然而，舉例言之，亦可將皮帶捲掛在轉動圓筒26上而將升降體23進行升降操作，同時並不限於金屬線6或皮帶，亦可使用電纜。金屬線、皮帶、電纜係稱作柔軟構件(flexible member)。
於前述把持部4上設置有一對用以把持容器5之凸緣5a之把持具4a，文，一對把持具4a可藉由把持動作用馬達27之正逆旋轉，自由切換成朝相互接近之方向搖動而把持凸緣5a之把持姿勢(第3圖中實線)與一對把持具4a朝相互分離之方向搖動而解除把持之解除姿勢(第3圖中虛線)。
又，把持部4係設置於升降體23上且可環繞縱軸芯自由旋繞，又，雖然省略圖示，然而，設置有用以將把持部4進行旋繞操作之旋繞用馬達。
為了暫時地保管運送至前述站台7之容器5，如第1圖所示，於導軌2橫向附近之位置上，相對於導軌2在左右兩側設置有物品保管用物品支持體29，又，物品支持體29係於沿著導軌2排列之狀態下設置複數個。
以下依據第5至10圖說明物品支持體29。
複數物品支持體29係分別設置成可自由變換位置至物品交接位置(參照第8及10圖)與物品保管位置(參照第7及9圖)，且該物品交接位置係用以自停止在相對於該物品支持體29之物品移載處的移動車3之把持部4收取容器5及將容器5交給把持部4者。
前述物品移載處係訂定為分別對應於複數物品支持體29，又，於停止在物品移載處之移動車3之前後方向中，物品支持體29之寬度係形成為比移動車3中前後一對縱框體22之間隔小，因此，於移動車3停止在物品移載處之狀態下，可於移動車3中前後一對縱框體22間插入或拉出物品支持體29。
前述物品保管位置係於朝遠離及接近停止在物品移載處之移動車3之方向(遠近方向)離開導軌2之狀態下設定在導軌2橫向附近之位置，使物品支持體29位於物品保管位置時，該物品支持體29或該物品支持體29所支持之容器5不會妨礙移動車3之移動或把持部4之升降。
前述物品交接位置係設定於與停止在物品移載處之移動車3中的把持部4於上下方向上實質相同之位置，使物品支持體29位於物品交接位置時，可於與停止在物品移載處之移動車3中位於接近上升位置之位置的把持部4間交接容器5。
如第5及6圖所示，前述物品支持體29係被支持為可相對於對應物品保管位置所設置之固定框體35朝相對於停止在物品移載處之移動車3的遠近方向移動自如。
前述固定框體35與前述移動車3係獨立地設置，並配置於前後方向中物品支持體29之兩側，且由一對於遠近方向上形成為長形狀之側面框部35a所構成。一對側面框部35a係藉由於遠近方向上間隔配置之接近停止在物品移載處之移動車3側的框體用第1連結體37a與離開停止在物品移載處之移動車3側的框體用第2連結體37b來連結。
又，固定框體35係藉由安裝模具將分別自一對側面框部35a朝上方延設之複數安裝用延設體38的上端部固定在二根框體用支持體39上並垂吊支持。前述框體用支持體39係藉由起自天花板部之起重螺栓40垂吊支持，並沿著導軌2之長向配置成與導軌2平行。
依此，由於可藉由對框體用支持體39安裝或卸下安裝用延設體38而使物品支持體29一個一個地增加或減少，因此可輕易地進行物品支持體29之增設或拆卸。
以後亦將停止在物品移載處之移動車3的前後方向稱作第1方向，且亦將遠離或接近停止在物品移載處之移動車3的方向稱作第2方向。
前述物品支持體29包含有：一對朝上方延伸之垂吊支持用垂吊支持體30；配置於一對垂吊支持體30間之板狀底面體31；及一對配置於底面體31上並載置支持容器5之載置體32。又，物品支持體29係藉由分別配置於一對載置體32上之定位銷W於定位狀態下支持容器5。
前述一對垂吊支持體30分別包含有：下端部30a，係與底面體31連結並沿著遠近方向延伸者；中間部30b，係自遠近方向中下端部30a離開移動車3側之端部朝上方延伸者；及上端部30c，係自該中間部30b之上端沿著遠近方向延伸者。又，一對垂吊支持體30係藉由第1垂吊用連結體33a連結上端部30c彼此，且藉由第2垂吊用連結體33b連結中間部30b彼此。前述垂吊支持體30中的下端部30a及中間部30b係於其長向間隔地設置複數孔部30d，又，於前述底面體31上，複數孔部31a係於朝前後方向及遠近方向排成列狀之狀態下設置，且於遠近方向之兩端部設置有與容器5之側面部抵接並限制容器5於遠近方向之移動的限制體34。
又，設置有將前述物品支持體29支持為可自由變換位置至物品保管位置與物品交接位置之滑動導引機構36，且該滑動導引機構36係將物品支持體29支持為可相對固定框體35朝遠近方向自由滑動移動。
前述滑動導引機構36包含有：形成於固定框體35上之軌條部41；及複數設置於垂吊支持體30上之導引滾輪42。又，滑動導引機構36係藉由軌條部41導引支持導引滾輪42，藉此，將物品支持體29支持為可相對固定框體35自由滑動導引移動至物品保管位置與物品交接位置。
前述軌條部41係分別設置於一對側面框部35a上，且前述導引滾輪42係設置於垂吊支持體30中的上端部30c上。前述導引滾輪42係由第1導引滾輪42a、第2導引滾輪42b與第3導引滾輪42c三種所構成，且前述第1導引滾輪42a係藉由軌條部41之上面部來導引，第2導引滾輪42b係藉由軌條部41之下面部來導引，第3導引滾輪42c則藉由軌條部41之側面部來導引。又，第1導引滾輪42a與第2導引滾輪42b係於上下夾入軌條部41之狀態下於遠近方向間隔地各設置二個，且第3導引滾輪42c亦於遠近方向間隔地設置二個。
又，於固定框體35上設置有被操作體43，且該被操作體43係被支持為可自由移動至遠近方向中接近停止在物品移載處之移動車3的接近位置(參照第7及9圖)與遠離停止在物品移載處之移動車3的遠離位置(參照第8及10圖)。又，被操作體43係與物品支持體29聯結，以於接近位置中將物品支持體29操作至物品保管位置，且於遠離位置中將物品支持體29操作至物品交接位置。
前述被操作體43係其長向之中央部與設置在一側之側面框部35a上部的板狀基台48樞支連結，且設置成可環繞為其連結處之第1搖動軸心P1自由搖動。又，被操作體43係一體地形成於位在接近位置之狀態下自第1搖動軸心P1朝接近移動車3側延伸之第1被操作部分43a與自第1搖動軸心P1朝離開移動車3側延伸之第2被操作部分43b，且上下具有段差。
前述被操作體43係設置成可藉由環繞第1搖動軸心P1之搖動自由切換至接近位置與遠離位置，且於接近位置(參照第7及9圖)中，作為其前端部之第1被操作部分43a構成比第1搖動軸心P1更接近停止在物品移載處之移動車3的姿勢。又，於被操作體43之第1被操作部分43a設置有溝部50，且該溝部50係於被操作體43位於接近位置之狀態下沿著相對於遠近方向呈交叉之方向朝第1搖動軸心P1側延伸，又，於該溝部50上形成有使接近停止在物品移載處之移動車3側的前端沿著遠近方向開口之開口部分50a。
又，設置有聯結被操作體43之動向與物品支持體29之動向之聯結機構44，以如第7及9圖所示，當被操作體43位於接近位置時，使物品支持體29位於物品保管位置，且如第8及10圖所示，當被操作體43位於遠離位置時，使物品支持體29位於物品交接位置。
前述聯結機構44係由可環繞上下軸心自由搖動之第1連桿臂45、第2連桿臂46及第3連桿臂47三個連桿臂所構成。第1連桿臂45之一端部係與被操作體43之第2被操作部分43b之一端部樞支連結，且另一端部與第2連桿臂46長向之中途部分樞支連結，又，第2連桿臂46之一端部係與基台48樞支連結，且另一端部與第3連桿臂47之一端部樞支連結，又，第3連桿臂47之另一端係與立設於垂吊用連結體33上之聯結用被操作體49樞支連結。
於前述移動車3上設置有用以將物品支持體29變換操作至物品保管位置與物品交接位置之操作元件S(操作裝置)。如第11圖所示，該操作元件S係藉由進行於遠近方向中使卡合滾輪51朝自移動車3突出側移動之突出作動及遠近方向中使卡合滾輪51朝退回至移動車3側移動之退回作動，將卡合滾輪51支持為可朝前後方向自由移動，又，卡合滾輪51係構成為物品支持體用操作部。於移動車3上設置有用以將移動車3之行走方向中位於右側之物品支持體29進行變換操作的操作元件S；及用以將移動車3之行走方向中位於左側之物品支持體29進行變換操作的操作元件S。
前述操作元件S包含有：基體52，係固定於移動車3上且朝遠近方向延長者；滑件53，係可藉由設置於該基體52上之滾珠螺桿57之旋轉，朝遠近方向中自移動車3突出側及退回至移動車3側自由移動者；及作為突出退回移動體之操作體56，係設置成可與該滑件53一體地朝遠近方向自由移動，且於遠近方向上呈長形狀者。又，操作體56係藉由設置在支持台54上的導軌55支持為可朝前後方向自由移動，且前述支持台54係固定於滑件53上。前述卡合滾輪51係設置於操作體56前端部之下面側，且於前述基體52之兩側面部設置有用以導引設置在滑件53上之導引滾輪58的細長狀溝部59。
又，操作元件S係將操作用電動馬達60旋轉驅動而使滾珠螺桿57正逆旋轉，並使滑件53朝遠近方向移動，藉此，使卡合滾輪51朝遠近方向移動而進行突出作動及退回作動。
又，設置有賦勢彈簧61，且該賦勢彈簧61係賦予勢能，使操作體56於前後方向中復歸至支持台54上。於操作體56上設置有於前後方向之一方側開口之狀態下切口之賦勢彈簧安裝用第1切口部56a；及於前後方向之另一方側開口之狀態下切口之賦勢彈簧安裝用第2切口部56b。又，第1切口部56a係於前後方向中自一側朝另一側賦予勢能之狀態下設置賦勢彈簧61，且第2切口部56b係於前後方向中自另一側朝一側賦予勢能之狀態下設置賦勢彈簧61。
依此，可藉由二個賦勢彈簧61賦予復歸勢能，使操作體56於前後方向中復歸至支持台54上，又，二個賦勢彈簧61可使卡合滾輪51於前後方向中復歸至中立位置。作為此種復歸賦勢元件之賦勢彈簧61亦可為一個，且亦可利用氣缸等公知技術。在此，中立位置係訂定為於前後方向中使卡合滾輪51之中心與基體52之中心一致。
前述操作元件S係於移動車3停止在物品移載處之狀態下藉由突出作動而利用卡合滾輪51將被操作體43自接近位置(參照第7及9圖)操作至遠離位置(參照第8及10圖)，且藉由退回作動而利用卡合滾輪51將被操作體43自遠離位置(參照第8及10圖)操作至接近位置(參照第7及9圖)。
前述卡合滾輪51係形成為於前後方向中與被操作體43之溝部50之寬度相同或小於該寬度之直徑，又，卡合滾輪51可藉由於遠近方向之移動與被操作體43之溝部50自由卡合脫離。
又，操作元件S係構成為推壓拉引式，即：藉由突出作動使卡合滾輪51與溝部50卡合，並將被操作體43自接近位置推壓操作至遠離位置，且藉由退回作動使卡合滾輪51與溝部50卡合，並將被操作體43自遠離位置拉引操作至接近位置，然後使卡合滾輪51脫離溝部50。
若前述操作元件S藉由突出作動而利用卡合滾輪51將被操作體43自接近位置操作至遠離位置，則可藉由使被操作體43位於遠離位置而將物品支持體29操作至物品交接位置，並使物品支持體29自物品保管位置變換位置至物品交接位置。
又，若操作元件S藉由退回作動而利用卡合滾輪51將被操作體43自遠離位置操作至接近位置，則可藉由使被操作體43位於接近位置而將物品支持體29操作至物品保管位置，並使物品支持體29自物品交接位置變換位置至物品保管位置。
說明使前述物品支持體29變換位置至物品保管位置與物品交接位置時之動向。
如第7及9圖所示，若被操作體43位於接近位置，則由於溝部50之開口部分50a朝遠近方向開口，因此，藉由使操作元件S進行突出作動，使卡合滾輪51朝遠近方向中自移動車3突出側移動而自溝部50之開口嵌入溝部50並與溝部50卡合。又，藉由使卡合滾輪51於與溝部50卡合之狀態下朝遠近方向中自移動車3突出側移動，使卡合滾輪51一面推壓溝部50之側壁部一面於溝部50中移動而將被操作體43自接近位置推壓操作至遠離位置。又，若被操作體43自接近位置搖動至遠離位置，則聯結機構44中之第1連桿臂45、第2連桿臂46及第3連桿臂47會依序地搖動而使聯結用被操作體49朝接近移動車3側移動，因此，藉由利用聯結用被操作體49朝接近移動車3側之移動，滑動導引機構36會將物品支持體29支持為可自由滑動導引移動，且如第8及10圖所示，物品支持體29會自物品保管位置變換位置至物品交接位置。
如第8及10圖所示，被操作體43位於遠離位置時，若操作元件S進行退回作動，則卡合滾輪51會在與溝部50卡合之狀態下朝接近移動車3側移動，且卡合滾輪51會一面推壓溝部50之側壁部一面於溝部50中移動而將被操作體43自遠離位置拉引操作至接近位置。又，若被操作體43自遠離位置搖動至接近位置，則聯結機構44中之第1連桿臂45、第2連桿臂46及第3連桿臂47會依序地搖動而使聯結用被操作體49朝離開移動車3側移動，因此，藉由利用聯結用被操作體49朝離開移動車3側之移動，滑動導引機構36會將物品支持體29支持為可自由滑動導引移動，且物品支持體29會自物品交接位置變換位置至物品保管位置。又，如第7及9圖所示，若被操作體43位於接近位置，則由於溝部50之開口部分50a朝遠近方向開口，因此，藉由使卡合滾輪51朝接近移動車3側移動，使卡合滾輪51脫離溝部50而退回至移動車3。
依此，操作元件S係藉由突出作動而利用卡合滾輪51將被操作體43自接近位置操作至遠離位置，然而，此時，若前後方向中卡合滾輪51偏離相對於被操作體43之適當操作位置，則卡合滾輪51會無法與被操作體43之溝部50卡合而有無法將被操作體43自接近位置操作至遠離位置之虞。前述適當操作位置係訂定為於前後方向中相對於位在接近位置之被操作體43之溝部50的中心使卡合滾輪51的中心一致之位置，以使卡合滾輪51可與被操作體43之溝部50卡合。
故，設置有導引元件F(導引構件)，且該導引元件F可於操作元件S進行突出作動時，如第12及13圖所示，於前後方向中將卡合滾輪51導引至相對於被操作體43之適當操作位置。又，導引元件F係配置於前後方向中適當操作位置之兩側，且具有作為將卡合滾輪51導引至適當操作位置之導引體的導引滾輪62。
前述導引滾輪62係於位在接近位置之被操作體43中的溝部50之開口部分50a的前後方向兩端部中藉由導引滾輪支持體63支持為可環繞上下軸心自由旋轉，又，前述導引滾輪支持體63係其基端部藉由阻擋用支持體71來阻擋支持，且其前端部形成為於前後方向分歧之二叉狀。又，導引滾輪支持體63係藉由螺帽等連結件G與阻擋用支持體71連結，且前述導引滾輪62係分別配置在導引滾輪支持體63中分歧成二叉之前端部，又，前述阻擋用支持體71係固定在具有被操作體43之第1搖動軸心P1之軸部71a。
前述導引滾輪62係設置成可藉由與操作體56前端之角部分抵接並旋轉而朝前後方向導引操作體56，又，二個導引滾輪62係藉由將操作體56導引至該等二個導引滾輪62間而將卡合滾輪51導引至適當操作位置。
又，導引元件F係於將卡合滾輪51導引至適當操作位置後，繼續地於前後方向中使卡合滾輪51位於適當操作位置之狀態下沿著遠近方向導引卡合滾輪51，若加以說明，二個導引滾輪62係於將操作體56導引至二個導引滾輪62間後，繼續地藉由與操作體56之兩側面部抵接並旋轉而沿著遠近方向導引操作體56。
又，於被操作體43中，在溝部50之開口部分50a設置有導引面50b，且該導引面50b係將前後方向之寬度作成越是自寬度大於卡合滾輪51之入口部遠離停止在物品移載處之移動車3側則寬度越小，且將卡合滾輪51導引至適當操作位置，又，該導引面50b係形成為使前後方向之兩側壁部朝相互接近側傾斜之形狀，使溝部50之開口部分50a中越是離開移動車3側則於前後方向上寬度越小，同時與卡合滾輪51抵接而導引至適當操作位置。
依據第13圖，說明於前述操作元件S進行突出作動時藉由導引元件F將卡合滾輪51導引至適當操作位置時之動向。
若前述卡合滾輪51之中心Q1偏離適當操作位置Q2，則操作體56前端之角部分會與導引滾輪62抵接而使導引滾輪62旋轉，藉此，如第13(B)圖所示，可於前後方向中將操作體56導引至二個導引滾輪62間，並導引卡合滾輪51使卡合滾輪51之中心Q1與適當操作位置Q2一致。此時，若溝部50之開口部分50a中的導引面50b與卡合滾輪51抵接，則亦可藉由導引面50b來導引卡合滾輪51，使卡合滾輪51之中心Q1與適當操作位置Q2一致。依此，藉由利用導引元件F之導引作用及利用導引面50b之導引作用，可將卡合滾輪51確切地導引至適當操作位置。
又，如第13(C)圖所示，二個導引滾輪62係於前後方向中將操作體56導引至二個導引滾輪62間後，繼續地藉由與操作體56之兩側面部抵接並旋轉而沿著遠近方向導引操作體56，且於前後方向中使卡合滾輪51位於適當操作位置之狀態下沿著遠近方向導引卡合滾輪51。
依此，卡合滾輪51係藉由導引元件F導引至前述方向之適當操作位置，又，如第11圖所示，由於操作體56係藉由設置在支持台54上的導軌55支持為可朝前後方向自由移動，因此可平順地進行利用導引元件F之卡合滾輪51之導引及利用導引面50b之卡合滾輪51之導引。
又，於操作元件S進行過突出作動後進行退回作動時，若解除利用導引元件F之導引作用及利用導引面50b之導引作用，則如第11圖所示，藉由二個賦勢彈簧61之賦勢力於前後方向賦予操作體56復歸勢能，且卡合滾輪51於前後方向中復歸至中立位置並退回至移動車3。
如前所述，操作元件S係藉由進行退回作動使物品支持體29自物品交接位置變換位置至物品保管位置，然而，若物品支持體29誤自物品保管位置移動至物品交接位置側，則物品支持體29會於移動車3之移動路徑上飛出，且有物品支持體29與移動車3接觸之虞。
故，如第12、14及15圖所示，設置有鎖定元件R(鎖定裝置)，且該鎖定元件R可自由切換成將物品支持體29鎖定在物品保管位置之鎖定狀態(參照第14圖)與解除該鎖定之解除鎖定狀態(參照第15圖)。又，鎖定元件R包含有鎖定體64，且該鎖定體64可自由變換位置至鎖定位置(參照第14圖)與解除鎖定位置(參照第15圖)，又，前述鎖定位置係限制被操作體43自接近位置朝遠離位置之位置變換而作成鎖定狀態者，且前述解除鎖定位置係容許被操作體43於接近位置與遠離位置間之位置變換而作成解除鎖定狀態者。前述鎖定體64係設置成可於被賦予朝鎖定位置之勢能之狀態下藉由環繞搖動軸心之搖動自由變換位置至鎖定位置(參照第14(A)圖)與構成比該鎖定位置更上方側之解除鎖定位置(參照第15(A)圖)。
另一方面，操作元件S包含有突出退回式鎖定元件用操作部70，且該鎖定元件用操作部70係藉由於遠近方向中自移動車3突出側之移動，將鎖定元件R自鎖定狀態切換操作成解除鎖定狀態，且藉由於遠近方向中退回至移動車3側之移動，將鎖定元件R自解除鎖定狀態切換操作成鎖定狀態。前述鎖定元件用操作部70係藉由推壓用傾斜面所構成，且設置於操作體56前端部之上面側，又，前述推壓用傾斜面係形成為於遠近方向中越是操作體56之前端側則越是構成下位。
依此，於作為突出退回移動體之操作體56上設置有為物品支持體用操作部之卡合滾輪51及鎖定元件用操作部70。又，操作元件S係藉由進行突出作動，使卡合滾輪51及鎖定元件用操作部70朝遠近方向中自移動車3突出側移動，且藉由進行退回作動，使卡合滾輪51及鎖定元件用操作部70朝遠近方向中退回至移動車3側移動。
前述鎖定體64包含有：搖動臂65(操作臂)，係設置成可環繞沿著水平方向之第2搖動軸心P2自由搖動者；鎖板66，係於朝下方側延伸之狀態下設置於該搖動臂65之前端部者；及被推壓滾輪67，係與該鎖板66於前後方向間隔排列，且可環繞設置於搖動臂65之前端部的水平軸心自由旋轉者。
前述搖動臂65係其基端部與鎖定用支持台68樞支連結，且設置成可環繞第2搖動軸心P2自由搖動，又，前述鎖定用支持台68係藉由立設於基台48上之棒狀立設支持體72及阻擋用支持體71來支持。除了鎖定用支持台68外，阻擋用支持體71亦支持導引滾輪支持體63，又，藉由螺栓等連結件G使鎖定用支持台68與導引滾輪支持體63於上下疊合之狀態下締結，且鎖定用支持台68係構成比導引滾輪支持體63更下方側。
又，藉由搖動臂65環繞第2搖動軸心P2之搖動，使鎖定體64設置成可自由搖動至鎖定位置(參照第14圖)與構成比該鎖定位置更上方側之解除鎖定位置(參照第15圖)，且鎖定體64係藉由搖動臂65本身之重量被賦予朝鎖定位置之勢能。又，設置有藉由阻擋支持搖動臂65而限制搖動臂65朝下方側之搖動之鎖定用制動體69，且該鎖定用制動體69係設置成於阻擋支持搖動臂65時使鎖定體64位於鎖定位置。
前述鎖板66係設置成如第14(B)圖所示，於鎖定體64位於鎖定位置之狀態下與位於接近位置之被操作體43之側面部抵接，並限制被操作體43自接近位置朝遠離位置之搖動而作成鎖定狀態，且如第15(B)圖所示，於鎖定體64位於解除鎖定位置之狀態下構成退避至比被操作體43更上方之位置，並容許被操作體43於接近位置與遠離位置間之搖動而作成解除鎖定狀態。
前述鎖定體64係藉由利用鎖定元件用操作部70自移動車3突出側之移動，自鎖定位置推壓操作至解除鎖定位置，且藉由利用鎖定元件用操作部70退回至移動車3側之移動，解除利用鎖定元件用操作部70自鎖定位置朝解除鎖定位置之推壓操作。
若加以說明，如第12圖所示，被推壓滾輪67係設置成於鎖定體64位於鎖定位置之狀態下位於二個導引滾輪62間，又，前述被推壓滾輪67係設置成可藉由利用鎖定元件用操作部70自移動車3突出側之移動，而利用鎖定元件用操作部70朝上方側推壓操作，且藉由利用鎖定元件用操作部70退回至移動車3側之移動，解除利用鎖定元件用操作部70朝上方側之推壓操作。
又，藉由利用鎖定元件用操作部70將被推壓滾輪67朝上方側推壓操作，使鎖定體64自鎖定位置推壓操作至解除鎖定位置，又，藉由利用鎖定元件用操作部70解除對被推壓滾輪67朝上方側之推壓操作，解除對鎖定體64自鎖定位置朝解除鎖定位置之推壓操作。
說明前述鎖定元件用操作部70之動向與前述鎖定元件R之動向。
如第14圖所示，於鎖定體64位於鎖定位置之狀態下，藉由使操作元件S進行突出作動，使設置於操作體56前端部之鎖定元件用操作部70朝自移動車3突出側移動。又，鎖定元件用操作部70係與被推壓滾輪67抵接，且隨著鎖定元件用操作部70朝自移動車3突出側之移動，被推壓滾輪67會藉由鎖定元件用操作部70朝上方側推壓操作，因此，搖動臂65會朝上方側搖動，且使鎖定體64自鎖定位置變換位置至解除鎖定位置。依此，如第15圖所示，若鎖定體64變換位置至解除鎖定位置，則鎖板66會構成退避至比被操作體43更上方之位置，並容許被操作體43自接近位置朝遠離位置之搖動而構成解除鎖定狀態。
如第15圖所示，於鎖定體64位於解除鎖定位置之狀態下，藉由使操作元件S進行退回作動，使設置於操作體56前端部之鎖定元件用操作部70朝退回至移動車3側移動。隨著該鎖定元件用操作部70朝退回至移動車3側之移動，被推壓滾輪67會於鎖定元件用操作部70中之傾斜面上一面旋轉一面下降，且搖動臂65會隨之朝下方側搖動。又，若鎖定元件用操作部70離開被推壓滾輪67，則搖動臂65會藉由本身之重量朝下方側搖動，直到受到鎖定用制動器69阻擋支持為止，且鎖定體64會自解除鎖定位置變換位置至鎖定位置。依此，若鎖定體64變換位置至鎖定位置，則鎖板66會與被操作體43之側面部抵接，並限制被操作體43自接近位置朝遠離位置之搖動而構成鎖定狀態。
如前所述，操作元件S係藉由進行突出作動及退回作動將鎖定元件R切換成鎖定狀態與解除鎖定狀態，又，操作元件S係進行物品支持體29之位置變換操作及鎖定元件R之切換操作，以於藉由進行突出作動將鎖定元件R自鎖定狀態切換操作成解除鎖定狀態後，將物品支持體29自物品保管位置變換操作至物品交接位置，且於藉由進行退回作動將物品支持體29自物品交接位置變換操作至物品保管位置後，將鎖定元件R自解除鎖定狀態切換操作成鎖定狀態。
若加以說明，當操作元件S進行突出作動時，設置於操作體56前端部之卡合滾輪51與鎖定元件用操作部70皆會朝遠近方向中自移動車3突出側移動，然而，由於被推壓滾輪67係設置於遠近方向中被操作體43之溝部50之入口部分，因此，在卡合滾輪51與溝部50卡合前，鎖定元件用操作部70會將被推壓滾輪67朝上方側推壓操作，因此，首先，利用鎖定元件用操作部70將被推壓滾輪67朝上方側推壓操作，藉此，將鎖定體64自鎖定位置推壓操作至解除鎖定位置，並將鎖定元件R自鎖定狀態切換成解除鎖定狀態。
又，若鎖定元件R自鎖定狀態切換成解除鎖定狀態，則可容許被操作體43自接近位置朝遠離位置之搖動，且卡合滾輪51與溝部50卡合而將被操作體43自接近位置推壓操作至遠離位置。附帶一提，在鎖定元件R切換成解除鎖定狀態前，即使卡合滾輪51欲將被操作體43自接近位置推壓操作至遠離位置側，亦可藉由鎖板66限制被操作體43自接近位置朝遠離位置之搖動。若前述被操作體43位於遠離位置，則被操作體43會將物品支持體29自物品保管位置操作至物品交接位置而使物品支持體29自物品保管位置變換位置至物品交接位置。
若前述操作元件S進行退回作動，則設置於操作體56前端部之卡合滾輪51及鎖定元件用操作部70會朝遠近方向中退回至移動車3側移動。首先，卡合滾輪51會與溝部50卡合而將被操作體43自遠離位置拉引操作至接近位置，又，若被操作體43位於接近位置，則被操作體43會將物品支持體29自物品交接位置操作至物品保管位置而使物品支持體29自物品交接位置變換位置至物品保管位置。
然後，於卡合滾輪51脫離溝部50時，鎖定元件用操作部70會離開被推壓滾輪67，並解除利用鎖定元件用操作部70對被推壓滾輪67朝上方側之推壓操作，如此一來，藉由解除對被推壓滾輪67朝上方側之推壓操作，可解除利用鎖定元件用操作部70對鎖定體64自鎖定位置朝解除鎖定位置之推壓操作，且鎖定元件R會自解除鎖定狀態切換成鎖定狀態。
又，如第16圖所示，滑動導引機構36係相對於固定框體35將物品支持體29支持為可相對於水平方向呈傾斜地自由滑動導引移動至物品保管位置與比物品保管位置更上方之物品交接位置。
若加以說明，軌條部41係於使遠近方向中離開停止在物品移載處之移動車3側的端部位於最下位，且使接近停止在物品移載處之移動車3側的端部位於最上位之狀態下，自一端部經過另一端部相對於水平方向傾斜設定角度θ(例如2度)，又，該設定角度θ宜為0.5度與10間之值，且更為理想的是1度與5間之值。
依此，滑動導引機構36係利用物品支持體29本身之重重於朝物品保管位置側賦予物品支持體29勢能之狀態下，將物品支持體29支持為可自由滑動導引移動至物品保管位置與物品交接位置而構成滑動導引支持元件。
於前述移動車3上設置有控制移動車3之動作之台車用控制部(控制器)，又，台車用控制部係依據來自管理物品運送設備全體動作之管理用電腦的指令及設置於移動車3上之各種感測器的檢測資訊，控制移動車3之移動及把持部4之升降作動，同時控制把持動作用馬達27及操作元件S中之操作用電動馬達60之作動。
舉例言之，自管理用電腦指示在複數站台7中特定運送起源及運送目的之站台7的狀態下自運送起源之站台7將容器5運送至運送目的之站台7之運送指令時，台車用控制部係控制移動車3之動作，以自運送起源之站台7收取容器5並將容器5交給運送目的之站台7。
自前述運送起源之站台7收取容器5時，首先，台車用控制部係控制移動車3之移動，使移動車3移動至對應於運送起源之站台7的停止位置，其次，台車用控制部係於使移動車3停止在對應於運送起源之站台7的停止位置之狀態下控制把持部4之升降作動，使把持部4自上升位置下降至下降位置。又，若把持部4位於下降位置，則台車用控制部會使把持動作用馬達27作動而將一對把持具4a切換成把持姿勢，並藉由一對把持具4a把持容器5之凸緣5a而收取容器5，然後，台車用控制部係控制把持部4之升降作動，使把持部4自下降位置上升至上升位置後，控制移動車3之移動，使移動車3移動至對應於運送目的之站台7的停止位置。
又，若移動車3停止在對應於運送目的之站台7的停止位置，則與自運送起源之站台7收取容器5時相同，台車用控制部會藉由控制把持部4之升降作動或把持動作用馬達27之作動而將容器5交給運送目的之站台7。
又，說明自管理用電腦指示在複數物品支持體29中特定移載對象之物品支持體29的狀態下將容器5保管在物品支持體29之保管指令的情形。
首先，前述台車用控制部係控制移動車3之移動，使移動車3移動至對應於移載對象之物品支持體29的物品移載處，其次，台車用控制部係於使移動車3停止在對應於移載對象之物品支持體29的物品移載處之狀態下使操作用電動馬達60作動而藉由操作元件S進行突出作動。又，藉由使操作元件S進行突出作動，而可利用導引元件F將卡合滾輪51導引至適當操作位置，並將鎖定元件R自鎖定狀態切換成解除鎖定狀態後，使物品支持體29自物品保管位置變換位置至物品交接位置。又，台車用控制部係控制把持部4之升降作動，使把持部4自上升位置下降至接近該物品支持體29之位置後，使把持動作用馬達27作動而將一對把持具4a切換成解除姿勢，並自把持部4將容器5交給位於物品交接位置之物品支持體29，然後，台車用控制部係控制把持部4之升降作動，使把持部4上升至上升位置後，使操作用電動馬達60作動而藉由操作元件S進行退回作動。又，藉由使操作元件S進行退回作動，使物品支持體29自物品交接位置變換位置至物品保管位置後，將鎖定元件R自解除鎖定狀態切換成鎖定狀態。
說明自前述管理用電腦指示在複數物品支持體29中特定移載對象之物品支持體29的狀態下取出藉由物品支持體29所保管之容器5之取出指令的情形。
與指示保管指令時相同，前述台車用控制部係藉由控制移動車3之移動，使移動車3停止在對應於移載對象之物品支持體29的物品移載處，又，台車用控制部係使操作用電動馬達60作動而藉由操作元件S進行突出作動。藉由使前述操作元件S進行突出作動，而可利用導引元件F將卡合滾輪51導引至適當操作位置，並將鎖定元件R自鎖定狀態切換成解除鎖定狀態後，使物品支持體29自物品保管位置變換位置至物品交接位置，然後，台車用控制部係控制把持部4之升降作動，使把持部4自上升位置朝接近該物品支持體29之位置下降後，使把持動作用馬達27作動而將一對把持具4a切換成把持姿勢，並自物品支持體29將容器5收取至把持部4。又，台車用控制部係控制把持部4之升降作動，使把持部4上升至上升位置後，使操作用電動馬達60作動而藉由操作元件S進行退回作動。又，藉由使操作元件S進行退回作動，使物品支持體29自物品交接位置變換位置至物品保管位置後，將鎖定元件R自解除鎖定狀態切換成鎖定狀態。
〔第2實施形態〕
其次，說明第2實施形態中之物品運送設備，又，該第2實施形態係顯示有關前述第1實施形態中之鎖定元件R之其他實施形態。依據第17至20圖說明鎖定元件R(鎖定裝置)，又，由於其他構造係與前述第1實施形態相同，因此省略說明。
前述鎖定元件R包含有鎖定體64，且該鎖定體64可自由變換位置至鎖定位置(參照第18(A)圖)與解除鎖定位置(參照第18(B)圖)，又，前述鎖定位置係限制被操作體43自接近位置朝遠離位置之位置變換而作成鎖定狀態者，且前述解除鎖定位置係容許被操作體43於接近位置與遠離位置間之位置變換而作成解除鎖定狀態者。
前述鎖定體64係設置成可於被賦予朝鎖定位置之勢能之狀態下藉由環繞搖動軸心之搖動自由變換位置至鎖定位置與構成比該鎖定位置更上方側之解除鎖定位置。
前述操作元件S包含有突出退回式鎖定元件用操作部73，且該鎖定元件用操作部73係藉由於遠近方向中自移動車3突出側之移動，將鎖定元件R自鎖定狀態切換操作成解除鎖定狀態，且藉由於遠近方向中退回至移動車3側之移動，將鎖定元件R自解除鎖定狀態切換操作成鎖定狀態。
又，鎖定體64係藉由利用鎖定元件用操作部73自移動車3突出側之移動，自鎖定位置推壓操作至解除鎖定位置，且藉由利用鎖定元件用操作部73退回至移動車3側之移動，解除自鎖定位置朝解除鎖定位置之推壓操作，同時自解除鎖定位置推壓操作至鎖定位置。
前述鎖定元件用操作部73係由第1推壓用傾斜面73a與第2推壓用傾斜面73b所構成，且前述第1推壓用傾斜面73a係形成為於遠近方向中越是操作體56之前端側則越是構成下位，以藉由自移動車3突出側之移動，將鎖定體64自鎖定位置推壓操作至解除鎖定位置，且藉由退回至移動車3側之移動，解除對鎖定體64自鎖定位置朝解除鎖定位置之推壓操作，又，前述第2推壓用傾斜面73b係形成為於遠近方向中越是操作體56之前端側則越是構成上位，以藉由退回至移動車3側之移動，將鎖定體64自解除鎖定位置推壓操作至鎖定位置。
又，操作體56之前端部係形成為凹狀，且於該凹狀部分設置有第1推壓用傾斜面73a，又，於操作體56中前後方向之一方側，在遠近方向中與凹狀部分鄰接之狀態下沿著遠近方向設置有長形狀孔部74，且於該孔部74中在操作體56前端側之端部設置有第2推壓用傾斜面73b。
前述鎖定體64包含有：搖動體75，係設置成可環繞沿著水平方向之第3搖動軸心P3自由搖動，且於遠近方向觀察下具有水平部分與二個自其兩端朝下方延伸之腳部者；鎖板76，係於該搖動體75之一方側沿著前後方向延設者；及二個被推壓滾輪77，係於搖動體75之另一側設置成可環繞水平軸心自由旋轉者。
前述搖動體75係於旋轉軸部78上設置成可自由搖動，且前述旋轉軸部78係於沿著第3搖動軸心P3之狀態下在導引滾輪支持體63上設置成可自由旋轉。又，藉由搖動體75環繞第3搖動軸心P3之搖動，使鎖定體64設置成可自由搖動至鎖定位置(參照第18(A)圖)與相較於該鎖定位置使鎖板76位於上方側之解除鎖定位置(參照第18(B)圖)。
前述鎖板76係設置成如第17及18(A)圖所示，於鎖定體64位於鎖定位置之狀態下與位於接近位置之被操作體43之側面部抵接，並限制被操作體43自接近位置朝遠離位置之搖動而作成鎖定狀態，且如第18(B)圖所示，於鎖定體64位於解除鎖定位置之狀態下構成退避至比被操作體43更上方之位置，並容許被操作體43於接近位置與遠離位置間之搖動而作成解除鎖定狀態。
前述二個被推壓滾輪77係由第1被推壓滾輪77a與第2被推壓滾輪77b所構成，又，前述第1被推壓滾輪77a係藉由為鎖定元件用操作部73之第1推壓用傾斜面73a自移動車3突出側之移動朝上方側推壓操作，且藉由第1推壓用傾斜面73a退回至移動車3側之移動解除朝上方側之推壓操作，又，前述第2被推壓滾輪77b係藉由為鎖定元件用操作部73之第2推壓用傾斜面73b退回至移動車3側之移動朝上方側推壓操作。又，第1被推壓滾輪77a與第2被推壓滾輪77b係設置成於鎖定體64位於鎖定位置之狀態下，第2被推壓滾輪77b會位於比第1被推壓滾輪77a更上方，同時藉由搖動體75之搖動，使一側朝下方側移動且另一側朝上方側移動。
為了將搖動體75之搖動朝下方側賦予遠近方向中離開移動車3側勢能，於前述搖動體75上具有在遠近方向中離開移動車3側朝下方側延伸之重量部75a，又，鎖定體64係藉由利用搖動體75之重量部75a之本身重量賦予朝鎖定位置之勢能。又，設置有賦勢體79，且該賦勢體79係藉由將第2被推壓滾輪77b抵接為朝遠近方向中接近移動車3側推壓而使鎖定體64位於鎖定位置，又，雖然省略圖示，然而，賦勢體79係藉由彈簧等彈性體來賦予勢能，同時支持於賦勢用支持體80上，且該賦勢用支持體80係設置於導引滾輪支持體63上。
依據第19及20圖，說明前述鎖定元件用操作部73之動向與前述鎖定元件R之動向，附帶一提，第19圖係顯示於操作體56中並未存在有前後方向之第2推壓用傾斜面73b側之截面圖，第20圖係顯示於操作體56中存在有前後方向之第2推壓用傾斜面73b側之截面圖。
於前述鎖定體64位於鎖定位置之狀態下，藉由使操作元件S進行突出作動，使設置於操作體56前端部之鎖定元件用操作部73朝自移動車3突出側移動。又，第1推壓用傾斜面73a係與第1被推壓滾輪77a抵接，且如第19(B)圖所示，藉由第1推壓用傾斜面73a將第1被推壓滾輪77a朝上方側推壓操作，因此，搖動體75會環繞第3搖動軸心P3搖動，且如第19(C)圖所示，使鎖定體64自鎖定位置變換位置至解除鎖定位置。另一方面，如第20圖所示，隨著搖動體75之搖動，第2被推壓滾輪77b會朝下方側移動，且如第20(C)圖所示，第2被推壓滾輪77b會插入操作體56之孔部74。
依此，若鎖定體64變換位置至解除鎖定位置，則鎖板76會構成退避至比被操作體43更上方之位置，並容許被操作體43自接近位置朝遠離位置之搖動而構成解除鎖定狀態。
如第19(C)及20(C)圖所示，於鎖定體64位於解除鎖定位置之狀態下，藉由使操作元件S進行退回作動，使設置於操作體56前端部之鎖定元件用操作部73朝退回至移動車3側移動。如第20圖所示，隨著鎖定元件用操作部73朝退回至移動車3側之移動，第2推壓用傾斜面73b會與第2被推壓滾輪77b抵接而藉由第2推壓用傾斜面73b將第2被推壓滾輪77b朝上方側推壓操作，且搖動體75會環繞第3搖動軸心P3搖動。另一方面，如第19圖所示，隨著鎖定元件用操作部73退回至移動車3側之移動及搖動體75之搖動，第1被推壓滾輪77a會於第1推壓用傾斜面73a上一面旋轉一面下降，且第1推壓用傾斜面73a會離開第1被推壓滾輪77a。如第19(A)及20(A)圖所示，前述搖動體75會藉由本身之重量環繞第3搖動軸心P3搖動，直到賦勢體79與第2被推壓滾輪77b抵接為止，同時會使鎖定體64自解除鎖定位置變換位置至鎖定位置。
依此，若鎖定體64變換位置至鎖定位置，則鎖板76會與被操作體43之側面部抵接，並限制被操作體43自接近位置朝遠離位置之搖動而構成鎖定狀態。
如前所述，操作元件S係藉由進行突出作動及退回作動將鎖定元件R切換成鎖定狀態與解除鎖定狀態，又，與前述第1實施形態相同，操作元件S係進行物品支持體29之位置變換操作及鎖定元件R之切換操作，以於藉由進行突出作動將鎖定元件R自鎖定狀態切換操作成解除鎖定狀態後，將物品支持體29自物品保管位置變換操作至物品交接位置，且於藉由進行退回作動將物品支持體29自物品交接位置變換操作至物品保管位置後，將鎖定元件R自解除鎖定狀態切換操作成鎖定狀態。
若加以說明，當操作元件S進行突出作動時，設置於操作體56前端部之卡合滾輪51與鎖定元件用操作部73皆會朝遠近方向中自移動車3突出側移動，然而，由於被推壓滾輪77係設置於遠近方向中被操作體43之溝部50之入口部分，因此，在卡合滾輪51與溝部50卡合前，鎖定元件用操作部73中的第1推壓用傾斜面73a會將第1被推壓滾輪77a朝上方側推壓操作，因此，首先，第1推壓用傾斜面73a會將第1被推壓滾輪77a朝上方側推壓操作，藉此，將鎖定體64自鎖定位置推壓操作至解除鎖定位置，並將鎖定元件R自鎖定狀態切換成解除鎖定狀態。
又，若鎖定元件R自鎖定狀態切換成解除鎖定狀態，則可容許被操作體43自接近位置朝遠離位置之搖動，且卡合滾輪51與溝部50卡合並將被操作體43自接近位置推壓操作至遠離位置。附帶一提，在鎖定元件R切換成解除鎖定狀態前，即使卡合滾輪51欲將被操作體43自接近位置推壓操作至遠離位置側，亦可藉由鎖板76限制被操作體43自接近位置朝遠離位置之搖動。若前述被操作體43位於遠離位置，則被操作體43會將物品支持體29自物品保管位置操作至物品交接位置而使物品支持體29自物品保管位置變換位置至物品交接位置。
若前述操作元件S進行退回作動，則設置於操作體56前端部之卡合滾輪51及鎖定元件用操作部73會朝遠近方向中退回至移動車3側移動。首先，卡合滾輪51會與溝部50卡合而將被操作體43自遠離位置拉引操作至接近位置，又，若被操作體43位於接近位置，則被操作體43會將物品支持體29自物品交接位置操作至物品保管位置而使物品支持體29自物品交接位置變換位置至物品保管位置。
然後，於卡合滾輪51到達溝部50之入口部分時，第2推壓用傾斜面73b會將第2被推壓滾輪77b朝上方側推壓，且鎖定體64會自解除鎖定位置變換位置至鎖定位置，同時鎖定元件R會自解除鎖定狀態切換成鎖定狀態。
〔其他實施形態〕
(1)於前述第1及第2實施形態中，操作元件S係構成為推壓拉引式，即：使卡合滾輪51與溝部50卡合而將被操作體43自接近位置推壓操作至遠離位置，且使卡合滾輪51與溝部50卡合而將被操作體43自遠離位置拉引操作至接近位置，然而，要藉由何種形式來構成操作元件S是可以適當地變更的。
舉例言之，可設置用以朝接近位置賦予被操作體43復歸勢能之賦勢彈簧等賦勢元件，且使操作元件S構成為推壓式，即：藉由突出作動而利用卡合滾輪51將被操作體43自接近位置推壓操作至遠離位置，且藉由退回作動而利用賦勢元件之賦勢力使被操作體43自遠離位置復歸移動至接近位置。
(2)於前述第1及第2實施形態中，物品支持體29係設置成可於物品交接位置中在與位於接近上升位置之位置的把持部4間交接容器5，然而，舉例言之，亦可將物品支持體29設置成可於物品交接位置中在與位於上升位置之把持部4間交接容器5。
又，於物品交接位置中，物品支持體29在與把持部4間交接容器5之位置並不限於接近上升位置之位置或上升位置，亦可為相較於上升位置下降設定高度之位置，此時，於使物品支持體29位於物品交接位置之狀態下，藉由使把持部4自上升位置下降設定高度，而可於物品支持體29與把持部4間進行容器5之交接。
(3)於前述第1及第2實施形態中，在沿著導軌2排列之狀態下設置有複數物品支持體29，然而，設置物品支持體29之數量可適當地變更，又，物品支持體29之設置位置亦相對於導軌2而設置在左右兩側，然而，亦可僅設置於導軌2之單側。
(4)於前述第1及第2實施形態中，在移動車3上設置有二個操作元件S，即：用以變換操作移動車3之行走方向中位於右側之物品支持體29的操作元件S；及用以變換操作移動車3之行走方向中位於左側之物品支持體29的操作元件S，然而，舉例言之，操作元件S亦可相對於移動車3之行走方向在右側及左側兩側具有卡合滾輪51且可自由突出退回，藉此，可於移動車3上設置一個操作元件S而加以實施。
(5)於前述第1及第2實施形態中，移動體係列舉具有可於垂吊狀態下自由把持容器5且可相對於移動車3自由升降之把持部4的移動車3，然而，要藉由何種構造來把持容器5是可以適當地變更的，舉例言之，亦可藉由僅具有夾持部之移動車來實施，且該夾持部係藉由自兩側夾入容器5來保持容器5。
附帶一提，此時，舉例言之，可於導軌2之橫向附近之位置等設置物品移載用站台，且於該站台上設置可於與移動車3間移載物品之突出退回式物品移載裝置，藉此，可於移動車與站台間進行物品移載。
(6)於前述第1及第2實施形態中，物品係列舉運送收納有半導體基板之容器5的物品運送設備，然而，所運送之物品可適當地變更。
1．．．物品處理部
2．．．導軌(移動路徑)
3．．．移動車(物品運送用移動體)
4．．．把持部(保持部)
4a．．．把持具
5．．．容器(物品)
5a．．．凸緣
6．．．金屬線
7．．．站台
8．．．導軌用托架
9．．．上方車體
10，11．．．連結部
12．．．下方車體
13．．．磁鐵
14．．．一次線圈
15．．．行走輪
16．．．行走導引面
17．．．止振輪
18．．．止振導引面
19．．．供電線
20．．．接電線圈
21．．．前後框體
22．．．縱框體
23．．．升降體
24．．．升降操作機構
25．．．圓筒驅動用馬達
26．．．轉動圓筒
27．．．把持動作用馬達
29．．．物品支持體(物品保管用物品支持體)
30．．．垂吊支持體
30a．．．下端部
30b．．．中間部
30c．．．上端部
30d，31a，74．．．孔部
31．．．底面體
32．．．載置體
33．．．垂吊用連結體
33a．．．第1垂吊用連結體
33b．．．第2垂吊用連結體
34．．．限制體
35．．．固定框體
35a．．．側面框部
36．．．滑動導引機構
37a．．．框體用第1連結體
37b．．．框體用第2連結體
38．．．安裝用延設體
39．．．框體用支持體
40．．．起重螺栓
41．．．軌條部
42，58，62．．．導引滾輪
42a．．．第1導引滾輪
42b．．．第2導引滾輪
42c．．．第3導引滾輪
43．．．被操作體
43a．．．第1被操作部分
43b．．．第2被操作部分
44．．．聯結機構
45．．．第1連桿臂
46．．．第2連桿臂
47．．．第3連桿臂
48．．．基台
49．．．聯結用被操作體
50，59．．．溝部
50a．．．開口部分
50b．．．導引面
51．．．卡合滾輪(物品支持體用操作部)
52．．．基體
53．．．滑件
54．．．支持台
55．．．導軌
56．．．操作體(突出退回移動體)
56a．．．第1切口部
56b．．．第2切口部
57．．．滾珠螺桿
60．．．操作用電動馬達
61．．．賦勢彈簧
63．．．導引滾輪支持體
64．．．鎖定體
65．．．搖動臂
66，76．．．鎖板
67，77．．．被推壓滾輪
68．．．鎖定用支持台
69．．．鎖定用制動體
70，73．．．鎖定元件用操作部
71．．．阻擋用支持體
71a．．．軸部
72．．．立設支持體
73a．．．第1推壓用傾斜面
73b．．．第2推壓用傾斜面
75．．．搖動體
75a．．．重量部
77a．．．第1被推壓滾輪
77b．．．第2被推壓滾輪
78．．．旋轉軸部
79．．．賦勢體
80．．．賦勢用支持體
F．．．導引元件
G．．．連結件
P1．．．第1搖動軸心
P2．．．第2搖動軸心
P3．．．第3搖動軸心
R．．．鎖定元件
S．．．操作元件
W．．．定位銷
第1圖係物品運送設備之平面圖。
第2圖係移動車與站台之側視圖。
第3圖係移動車之側視圖。
第4圖係移動車之縱切正視圖。
第5圖係物品支持體及固定框體之立體圖。
第6圖係物品支持體及固定框體之分解立體圖。
第7圖係於物品保管位置中物品支持體及固定框體之透視圖。
第8圖係於物品交接位置中物品支持體及固定框體之透視圖。
第9圖係於物品保管位置中物品支持體及固定框體之平面圖。
第10圖係於物品交接位置中物品支持體及固定框體之平面圖。
第11圖係操作元件之透視圖。
第12圖係物品支持體之主要部分放大圖。
第13(A)至13(D)圖係顯示利用導引元件之操作部之導引狀態圖。
第14(A)、14(B)圖係顯示於鎖定狀態中之鎖定元件圖。
第15(A)、15(B)圖係顯示於解除鎖定狀態中之鎖定元件圖。
第16圖係物品支持體及固定框體之導軌之長向視圖。
第17圖係於第2實施形態中物品支持體之主要部分放大圖。
第18(A)、18(B)圖係顯示鎖定元件之狀態之前後方向視圖。
第19(A)至19(D)圖係顯示鎖定元件之狀態之前後方向視圖。
第20(A)至20(D)圖係顯示鎖定元件之狀態之前後方向視圖。
3．．．移動車(物品運送用移動體)
5．．．容器(物品)
30．．．垂吊支持體
31．．．底面體
32．．．載置體
33a．．．第1垂吊用連結體
33b．．．第2垂吊用連結體
34．．．限制體
35．．．固定框體
35a．．．側面框部
36．．．滑動導引機構
38．．．安裝用延設體
41．．．軌條部
42．．．導引滾輪
43．．．被操作體
43a．．．第1被操作部分
43b．．．第2被操作部分
44．．．聯結機構
45．．．第1連桿臂
46．．．第2連桿臂
47．．．第3連桿臂
48．．．基台
49．．．聯結用被操作體
51．．．卡合滾輪(物品支持體用操作部)
52．．．基體
56．．．操作體(突出退回移動體)
F．．．導引元件
P1．．．第1搖動軸心
R．．．鎖定元件
S．．．操作元件
W．．．定位銷

Claims (13)

  1. 一種物品運送設備，係物品運送用移動體設置成可沿著移動路徑自由移動，且該移動體具有保持物品之保持部，又，物品保管用物品支持體設置成可自由變換位置至物品交接位置與物品保管位置，且該物品交接位置係自停止在相對於前述物品支持體之物品移載處的前述移動體之前述保持部收取物品及將物品交給前述保持部者，該物品運送設備更設置有，固定框體，其與前述移動體係獨立地設置，並將前述物品支持體支持為在前述物品交接位置與前述物品保管位置上移動自如，和鎖定元件，可自由切換成將前述物品支持體鎖定在前述物品保管位置之鎖定狀態與解除該鎖定之解除鎖定狀態，又，於前述移動體上設置有操作元件，且該操作元件可進行前述物品支持體之位置變換操作及前述鎖定元件之切換操作，以於將前述鎖定元件自前述鎖定狀態切換操作成前述解除鎖定狀態後，將前述物品支持體自前述物品保管位置變換操作至前述物品交接位置，且在將前述物品支持體自前述物品交接位置變換操作至前述物品保管位置後，將前述鎖定元件自前述解除鎖定狀態切換操作成前述鎖定狀態。
  2. 如申請專利範圍第1項之物品運送設備，其中前述操作 元件包含有：物品支持體用操作部，係藉由朝相對於停止在前述物品移載處之前述移動體的遠近方向中自前述移動體突出之方向之移動，將前述物品支持體自前述物品保管位置變換操作至前述物品交接位置，且藉由朝相對於停止在前述物品移載處之前述移動體的遠近方向中退回至前述移動體之方向之移動，將前述物品支持體自前述物品交接位置變換操作至前述物品保管位置者；及突出退回式鎖定元件用操作部，係藉由朝相對於停止在前述物品移載處之前述移動體的遠近方向中自前述移動體突出之方向之移動，將前述鎖定元件自前述鎖定狀態切換操作成前述解除鎖定狀態，且藉由朝相對於停止在前述物品移載處之前述移動體的遠近方向中退回至前述移動體之方向之移動，將前述鎖定元件自前述解除鎖定狀態切換操作成前述鎖定狀態者。
  3. 如申請專利範圍第2項之物品運送設備，其中前述操作元件包含有突出退回移動體，且該突出退回移動體可朝相對於停止在前述物品移載處之前述移動體的遠近方向中自前述移動體突出之方向及退回至前述移動體之方向自由移動操作，又，於前述突出退回移動體上設置有前述物品支持體用操作部及前述鎖定元件用操作部。
  4. 如申請專利範圍第2或3項之物品運送設備，更設置有被操作體，且該被操作體係被支持為可朝相對於停止在前述物品移載處之前述移動體的遠近方向自由變換位 置，並藉由利用前述物品支持體用操作部朝自前述移動體突出之方向之移動，自接近停止在前述物品移載處之前述移動體的接近位置操作至遠離停止在前述物品移載處之前述移動體的遠離位置，且藉由利用前述物品支持體用操作部朝退回至前述移動體之方向之移動，自前述遠離位置操作至前述接近位置，又，前述被操作體係與前述物品支持體聯結，以於位在前述接近位置時使前述物品支持體位於前述物品保管位置，且於位在前述遠離位置時使前述物品支持體位於前述物品交接位置。
  5. 如申請專利範圍第4項之物品運送設備，其中前述被操作體係設置成可藉由環繞搖動軸心之搖動自由切換至前述接近位置與前述遠離位置，且於前述接近位置時，其前端部構成比前述搖動軸心更接近停止在前述物品移載處之前述移動體的姿勢，又，於前述被操作體之前端部設置有溝部，且該溝部係於前述被操作體位於前述接近位置之狀態下，在相對於前述遠近方向呈交叉之方向上朝前述搖動軸心側延伸，並且前述溝部係於接近停止在前述物品移載處之前述移動體側之前端沿著前述遠近方向延伸之狀態下設置，且前述物品支持體用操作部係構成可藉由於前述遠近方向之移動對前述溝部卡合及脫離，又，前述操作元件係藉由於前述遠近方向上使前述 物品支持體用操作部朝自前述移動體突出之方向移動，使前述物品支持體用操作部與前述溝部卡合，並將前述被操作體自前述接近位置推壓操作至前述遠離位置，且藉由於前述遠近方向上使前述物品支持體用操作部朝退回至前述移動體之方向移動，將前述被操作體自前述遠離位置拉引操作至前述接近位置，然後使前述物品支持體用操作部脫離前述溝部。
  6. 如申請專利範圍第4項之物品運送設備，其中前述鎖定元件包含有鎖定體，且該鎖定體可自由變換位置至鎖定位置與解除鎖定位置，而前述鎖定位置係限制前述被操作體自前述接近位置至前述遠離位置之位置變換而呈前述鎖定狀態者，且前述解除鎖定位置係容許前述被操作體於前述接近位置與前述遠離位置間之位置變換而呈前述解除鎖定狀態者，又，前述鎖定體係設置成藉由前述鎖定元件用操作部朝自前述移動體突出之方向之移動，自前述鎖定位置操作至前述解除鎖定位置，且藉由前述鎖定元件用操作部朝退回至前述移動體之方向之移動，自前述解除鎖定位置操作至前述鎖定位置。
  7. 如申請專利範圍第6項之物品運送設備，其中前述鎖定體係設置成可於被賦予朝前述鎖定位置之勢能之狀態下藉由環繞搖動軸心之搖動自由變換位置至前述鎖定位置與前述解除鎖定位置，且藉由前述鎖定元件用操作部朝自前述移動體突出 之方向之移動，自前述鎖定位置推壓操作至前述解除鎖定位置，並藉由前述鎖定元件用操作部朝退回至前述移動體之方向之移動，解除利用前述鎖定元件用操作部自前述鎖定位置朝前述解除鎖定位置之推壓操作。
  8. 如申請專利範圍第7項之物品運送設備，其中前述鎖定體係藉由利用前述鎖定元件用操作部朝退回至前述移動體之方向之移動，自前述解除鎖定位置推壓操作至前述鎖定位置。
  9. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之物品運送設備，更設置有滑動導引支持元件，且該滑動導引支持元件係相對於前述固定框體，將前述物品支持體支持為可相對於水平方向呈傾斜地自由滑動導引移動至前述物品保管位置與比前述物品保管位置更上方之前述物品交接位置。
  10. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之物品運送設備，其中前述移動路徑係藉由架空之軌條所形成，且前述移動體係構成為可沿著前述軌條移動之車輛，又，於前述車輛上設置有具有柔軟構件之升降操作機構，且前述物品保持部係藉由升降操作機構而透過前述柔軟構件於上升位置與下降位置間朝上下方向移動。
  11. 如申請專利範圍第10項之物品運送設備，其中前述車輛於其行進方向上具有前縱框體及後縱框體，又，前述上升位置係前述物品保持部配置於前述前後框體間之位置，且前述下降位置係適合於配置在地上之站台上載置 物品之位置。
  12. 如申請專利範圍第11項之物品運送設備，其中前述物品支持體係配置於與位於前述上升位置之前述物品保持部大致相同之高度，使前述物品支持體可實質呈水平地移動至前述物品交接位置，藉此使前述物品支持體可自前述物品保持部收取物品。
  13. 如申請專利範圍第12項之物品運送設備，其中前述物品支持體係透過前述固定框體自天花板垂吊。
TW096140344A 2006-11-14 2007-10-26 物品運送設備（一） TWI410363B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006308080A JP4849331B2 (ja) 2006-11-14 2006-11-14 物品搬送設備

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW200831376A TW200831376A (en) 2008-08-01
TWI410363B true TWI410363B (zh) 2013-10-01

Family

ID=39363364

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW096140344A TWI410363B (zh) 2006-11-14 2007-10-26 物品運送設備（一）

Country Status (9)

Country Link
US (1) US8348588B2 (zh)
JP (1) JP4849331B2 (zh)
KR (1) KR101234543B1 (zh)
CN (1) CN101181956B (zh)
DE (1) DE102007054351B4 (zh)
IE (1) IE86645B1 (zh)
NL (1) NL2000997C2 (zh)
SG (1) SG143142A1 (zh)
TW (1) TWI410363B (zh)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5765549B2 (ja) * 2010-10-04 2015-08-19 株式会社ダイフク 物品搬送装置
US8540070B2 (en) * 2011-07-19 2013-09-24 Siemens Industry, Inc. Coil shift transfer car
KR20130022025A (ko) * 2011-08-24 2013-03-06 삼성전자주식회사 기판수납용기 로더
JP5590420B2 (ja) * 2011-12-21 2014-09-17 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP5842276B2 (ja) * 2012-02-28 2016-01-13 株式会社ダイフク 物品移載装置
DE202012102447U1 (de) * 2012-07-03 2013-10-07 Kuka Systems Gmbh Zuführeinrichtung
SG11201708640UA (en) * 2015-04-21 2017-11-29 Opex Corp Method and apparatus for storing or retrieving items
JP6919610B2 (ja) * 2018-03-22 2021-08-18 株式会社ダイフク 物品搬送設備
CN109353768B (zh) * 2018-10-26 2020-07-17 合肥国轩高科动力能源有限公司 复合式环形装配线
JP2020193058A (ja) * 2019-05-27 2020-12-03 株式会社ダイフク 物品搬送体
JP7238736B2 (ja) * 2019-11-13 2023-03-14 株式会社ダイフク 物品昇降装置
JP7215457B2 (ja) * 2020-04-28 2023-01-31 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP7529039B2 (ja) * 2020-11-12 2024-08-06 村田機械株式会社 保管棚
CN114630495B (zh) * 2020-12-11 2025-02-11 群翊工业股份有限公司 基板输送设备的基板持承装置
US11912512B2 (en) 2021-05-13 2024-02-27 HighRes Biosolutions, Inc. Overhead labware transport system
JP7501493B2 (ja) * 2021-11-01 2024-06-18 株式会社ダイフク 自動倉庫
KR102655946B1 (ko) * 2021-12-30 2024-04-11 세메스 주식회사 물품 반송 장치
CN116853801B (zh) * 2023-09-01 2023-12-08 常州孟腾智能装备有限公司 电芯托盘解锁机构及其输送线
CN117842668B (zh) * 2024-03-08 2024-05-17 山西亚德玛斯材料科技有限公司 一种具有自动上下料机械臂的六面顶压机及其使用方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040047714A1 (en) * 2002-09-06 2004-03-11 Recif, Societe Anonyme System for the conveying and storage of containers of semiconductor wafers, and transfer mechanism

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT37343B (de) 1908-04-02 1909-05-25 Adolf Schiel Vorrichtung zum Öffnen und Schließen von Wagenfenstern.
SE363794B (zh) * 1971-04-26 1974-02-04 Electrolux Ab
JPS5946903U (ja) 1982-09-20 1984-03-28 株式会社ダイフク ケ−ス係止具付き格納設備
GB2150542A (en) * 1983-12-01 1985-07-03 Douglas Osborne Steuart A storage and handling installation for palletised goods and method of operating the same
ATE37343T1 (de) * 1983-12-01 1988-10-15 Douglas Osborne Steuart Lagerung und befoerderung von auf paletten angeordneten guetern.
EP0235488B1 (fr) * 1986-09-19 1990-01-24 REDOUTE CATALOGUE Société Anonyme: Installation de manutention robotisée
DE3714638A1 (de) 1987-05-02 1988-12-01 Megamat Gmbh & Co Entlade- und ggf. beladevorrichtung
US5570990A (en) * 1993-11-05 1996-11-05 Asyst Technologies, Inc. Human guided mobile loader stocker
JP2762928B2 (ja) * 1994-05-17 1998-06-11 村田機械株式会社 物品移載装置
JP3361004B2 (ja) * 1996-02-29 2003-01-07 富士通株式会社 Ａｔｍ運用支援システム
JP3436334B2 (ja) * 1996-08-06 2003-08-11 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JPH11159214A (ja) * 1997-12-01 1999-06-15 Sanshin Kinzoku Kogyo Kk 物品収納棚の物品載置棚部材用ロック装置
JP3696407B2 (ja) 1998-06-19 2005-09-21 本田技研工業株式会社 搬送装置におけるストッパ操作装置
DE19953812A1 (de) 1999-11-09 2001-05-23 Psb Gmbh Materialflus & Logist Verfahren und Vorrichtung zum Kommissionieren
DE10234360A1 (de) 2002-07-27 2004-02-05 Nedcon Magazijninrichting B.V. Lagerregal für Waren oder Warengebinde, wie z.B. beladene Paletten
US6663340B1 (en) * 2002-08-30 2003-12-16 Motorola, Inc. Wafer carrier transport system for tool bays
EP2615625B2 (en) * 2002-10-11 2017-05-31 Murata Machinery, Ltd. Overhead vehicle for an automated material handling system
JP3991852B2 (ja) * 2002-12-09 2007-10-17 村田機械株式会社 天井搬送車システム
JP4632091B2 (ja) * 2005-08-30 2011-02-16 株式会社ダイフク 物品搬送設備

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040047714A1 (en) * 2002-09-06 2004-03-11 Recif, Societe Anonyme System for the conveying and storage of containers of semiconductor wafers, and transfer mechanism

Also Published As

Publication number Publication date
TW200831376A (en) 2008-08-01
JP4849331B2 (ja) 2012-01-11
US20080131249A1 (en) 2008-06-05
JP2008120553A (ja) 2008-05-29
NL2000997C2 (nl) 2014-03-18
CN101181956A (zh) 2008-05-21
US8348588B2 (en) 2013-01-08
SG143142A1 (en) 2008-06-27
DE102007054351A1 (de) 2008-06-12
KR20080043725A (ko) 2008-05-19
NL2000997A1 (nl) 2008-05-27
IE20070813A1 (en) 2008-07-23
KR101234543B1 (ko) 2013-02-19
DE102007054351B4 (de) 2015-09-10
CN101181956B (zh) 2012-07-11
IE86645B1 (en) 2016-05-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI410363B (zh) 物品運送設備（一）
TWI415775B (zh) 物品運送設備（二）
JP4632091B2 (ja) 物品搬送設備
CN111148716B (zh) 用于连接自主移动机器人的系统
JP4378656B2 (ja) 物品搬送設備
JP6064940B2 (ja) 物品搬送車
TWI438127B (zh) 物品搬運設備
TWI483884B (zh) Transfer device
TWI411568B (zh) 物品處理設備及其控制方法
JP2008195471A (ja) 物品搬送設備
KR20080082471A (ko) 물품 수납 설비
CN103547518B (zh) 拉出装置以及保存装置
JP4427740B2 (ja) 物品搬送装置
EP1071119B1 (en) Handling apparatus for front opening unified pod
JP2000072238A (ja) 手押し式荷搬送台車