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TWI475061B - 分散組成物、用於遮光性彩色濾光片之感光性樹脂組成物、遮光性彩色濾光片、其製法及具有該彩色濾光片之固態影像感測器 - Google Patents

分散組成物、用於遮光性彩色濾光片之感光性樹脂組成物、遮光性彩色濾光片、其製法及具有該彩色濾光片之固態影像感測器 Download PDF

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TWI475061B
TWI475061B TW099104978A TW99104978A TWI475061B TW I475061 B TWI475061 B TW I475061B TW 099104978 A TW099104978 A TW 099104978A TW 99104978 A TW99104978 A TW 99104978A TW I475061 B TWI475061 B TW I475061B
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color filter
light
dispersion
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TW099104978A
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Makoto Kubota
Yuzo Nagata
Masaru Yoshikawa
Yoichi Maruyama
Original Assignee
Fujifilm Corp
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Publication date
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Description

分散組成物、用於遮光性彩色濾光片之感光性樹脂組成物、遮光性彩色濾光片、其製法及具有該彩色濾光片之固態影像感測器 發明背景 發明領域
本發明係關於一種包含鈦黑之分散組成物及其製法、使用該分散組成物之用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物及其製法、遮光性彩色濾光片及其製法、及具有該遮光性彩色濾光片之固態影像感測器。
使用在液晶顯示器中的彩色濾光片提供一種稱為黑色矩陣之遮光膜,其目的為遮住在呈色畫素間之間隔的光、改良對比或其類似性質。此外,固態影像感應器亦提供一種遮光性彩色濾光片,其目的為防止雜訊、改良影像品質或其類似性質。
至於使用來形成用於液晶顯示裝置的黑色矩陣或用於固態影像感應器的遮光性彩色濾光片之組成物,包含黑色顏色物質(諸如碳黑及鈦黑)之感光性樹脂組成物已知。更具體而言,作為主要使用於液晶顯示器的感光性樹脂組成物,為了例如改良光學密度之目的,已經檢驗包含具有特定的X射線繞射波峰強度比率之鈦黑的感光性樹脂組成物(例如,日本專利案號3724269及國際專利公告案號WO 2005/037926),或包含具有特定氮濃度或特定結晶直徑之鈦黑的感光性樹脂組成物(例如,日本專利申請案特許公開(JP-A)案號2006-182627、2006-206891及2006-209102)。
再者,作為用於固態影像感應器的感光性樹脂組成物,為了獲得具有高遮光性質的薄膜之目的,已揭示出用來形成包含鈦黑與樹脂組分的遮光膜之組成物(例如,JP-A案號2007-115921)。
發明概述
如上所述,鈦黑已知作為黑色顏料,且已認為包含鈦黑的組成物可形成具有優良的遮光性質及絕緣性質之高性能遮光膜。但是,在包含鈦黑細顆粒之組成物中,該等顆粒會因為鈦黑的密度高而隨著時間團聚。因此,難以在想要用於應用的組成物中使用鈦黑。
於最近幾年中,特別在固態影像感應器之領域中,固態影像感應器的尺寸已經減少且欲施加濾光器的物體之結構已變得更複雜,因此,需要能在具有某些結構(例如,圖案結構)的基材上形成遮光性彩色濾光片之技術。再者,在用於固態影像感應器的彩色濾光片中,需要能減少彩色圖案厚度(例如,至厚度1微米或較薄)及將畫素圖案尺寸減少至小如2微米或較小(例如,至從0.5至2.0微米)之技術。因此,亦需要能減少欲施加至固態影像感應器之遮光膜厚度的技術。
已經考慮到上述描述的細節製得本發明,且其旨在達成下列。
更具體而言,本發明提供一種抑制鈦黑顆粒團聚、具有優良的分散穩定性之分散組成物;及一種製造該分散組成物之方法。本發明亦提供一種用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物,其可製造出具有優良的遮光能力之遮光性彩色濾光片及可防止該遮光性彩色濾光片與基材(甚至當其在上面提供有進一步結構的基材上形成時)分離;及提供一種製造該感光性樹脂組成物之方法。本發明進一步提供一種可抑制與基材分離、具有優良的遮光能力之遮光性彩色濾光片;及一種製造該遮光性彩色濾光片的方法。此外,本發明提供一種具有優良的顏色再現性與減低的雜訊之固態影像感測器。
本發明之觀點包括描述在下列的那些。
<1>一種包含鈦黑、溶劑及分散劑的分散組成物之製法,其中該分散劑包含至少第一分散劑及第二分散劑,其中該方法包括:分散包含鈦黑、第一分散劑及溶劑的混合液體;及將第二分散劑加入至該已分散的混合液體並將它分散;其中該分散劑的至少一部分具有酸值50毫克KOH/克或更大。
<2>根據第<1>項之分散組成物之製法,其中該分散劑的總量(D)對鈦黑的量(P)之比率(D/P)(質量比率)從0.2至1.2。
<3>根據第<1>或<2>項之分散組成物之製法,其中該分散劑的至少一部分為包含具有原子總數(除了氫原子外)從40至10,000之接枝鏈的接枝共聚物。
<4>一種分散組成物,其根據第<1>至<3>項之任何一項之製法。
<5>一種用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物之製法,其中該組成物包含鈦黑、樹脂、可聚合的化合物、光聚合起始劑、溶劑及分散劑,其中該分散劑包含至少第一分散劑及第二分散劑,其中該方法包括:分散包含鈦黑、第一分散劑及溶劑的混合液體;及將第二分散劑加入至該已分散的混合液體並將它分散;其中該分散劑之至少一部分具有酸值50毫克KOH/克或更大。
<6>根據第<5>項用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物之製法,其中該分散劑的總量(D)對鈦黑的量(P)之比率(D/P)(質量比率)從0.2至1.2。
<7>根據第<5>或<6>項用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物之製法,其中該分散劑的至少一部分為包含具有原子總數(除了氫原子外)從40至10,000的接枝鏈之接枝共聚物。
<8>一種用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物,其根據第<5>至<7>項之任何一項之製法。
<9>一種根據第<8>項之用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物之使用方法,該方法包括一種用於固態影像感測器的彩色濾光片之製法,其中該彩色濾光片包括該感光性樹脂組成物。
<10>一種遮光性彩色濾光片之製法,該方法包括:將根據第<8>項之用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物塗布到基材上,形成感光層;圖案樣曝光該感光層;及顯影該感光層形成彩色圖案。
<11>一種遮光性彩色濾光片,其根據第<10>項之方法獲得。
<12>一種固態影像感測器,其具有根據第<11>項之遮光性彩色濾光片。
發明之詳細說明
於此之後,詳細地描述本發明之分散組成物及其製法。再者,詳細地描述出使用本發明的分散組成物之用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物及其製法、遮光性彩色濾光片及其製法、及具有該遮光性彩色濾光片之固態影像感測器。
分散組成物及其製法
在本發明中,製造包含鈦黑、溶劑及分散劑(其包含至少第一分散劑及一第二分散劑)的分散組成物之方法包括分散該包含鈦黑、第一分散劑及溶劑的混合液體(於此之後有時指為"分散處理的第一階段"),及將第二分散劑加入至該已分散的混合液體並分散其(於此之後有時指為"分散處理的第二階段"),其中該分散劑之至少一部分具有酸值50毫克KOH/克或更大。於此,包括該分散處理的第一及第二階段之分散方法有時指為"多段式分散處理"。該多段式分散處理亦包括在分散處理的第二階段後,加入分散劑以進一步進行分散處理的第三或隨後階段之具體實例。
可根據上述描述的方法製造出本發明之分散組成物。
在本發明中,取代不管分散程度全體地加入全部量的全部分散劑來進行分散,進行多段式分散處理。在多段式分散處理中,當考慮到鈦黑的分散狀態時,當在數個階段中加入分散劑時,鈦黑會被分散。例如,在分散處理開始時,將分散劑加入至混合液體會增加黏度及減少顆粒直徑。因此,考慮當分散進行時黏度增加及顆粒直徑減少的時刻來加入分散劑,以有效地抑制在精細分散處理時容易發生的團聚,及增加產生自加入分散劑的改良分散度效應。再者,藉由使用具有高酸值的分散劑(也就是說,具有高酸值50毫克KOH/克或更大的分散劑,作為在數個階段中加入的分散劑之部分或全部),改良由分散劑造成的鈦黑分散物安定效應,因此可有效地防止鈦黑團聚。此外,在本發明中,可獲得與藉由習知的分散處理形成者比較具有優異的分散穩定性之分散組成物。
在本發明中,"多段式分散處理"指為分散劑的量(D)對鈦黑的量(P)之比率(D/P比率)隨著分散處理的第一、第二及/或晚後階段之每個階段增加的分散處理。在本發明之多段式分散處理中,不包括D/P比率不隨著分散處理的每個階段增加之分散處理。例如,在本發明之多段式分散處理中,不包括在某些點處中止分散處理,及在某些時間後,於相同D/P比率下簡單地再開始分散處理之分散處理;或藉由改變分散器、小珠或其類似物之型式或量而沒有改變D/P比率來進行多重分散處理之分散處理。
在本發明之分散組成物之製法中,可於該多段式分散處理之任何一個階段中使用具有酸值50毫克KOH/克或更大之分散劑。不需要在該多段式分散處理的全部階段中使用具有酸值50毫克KOH/克或更大之分散劑。為了改良防止鈦黑團聚的效應及獲得更優良的分散穩定性,在多段式分散處理之二或更多個階段中使用具有酸值50毫克KOH/克或更大的分散劑較佳,及在多段式分散處理的全部階段中使用更佳。
分散處理的第一階段
該分散處理的第一階段為分散包含鈦黑、第一分散劑及溶劑的混合液體之分散處理。
在分散處理的第一階段中,使用本發明欲使用的分散劑之一部分作為該第一分散劑來分散鈦黑。在分散處理的第一階段中,使用具有酸值50毫克KOH/克或更大的分散劑作為該第一分散劑較佳。但是,當在描述於下列的分散處理之第二及/或晚後階段中使用具有酸值50毫克KOH/克或更大的分散劑時,可使用具有酸值低於50毫克KOH/克的分散劑來進行該分散處理的第一階段。
在分散處理的第一階段中,第一分散劑的量(D)對鈦黑的量(P)於混合液體中之比率(D/P比率)(質量比率)從0.05至1.00較佳,及從0.05至0.50更佳。當調整D/P比率以便其不過高時(例如,至1.00或較低),可加速該分散方法。當將D/P比率調整至0.05或更大時,可改良分散穩定性。
在分散處理的第一階段中,為了抑制顆粒團聚及改良最後分散液體的分散穩定性,分散液體在分散處理後之黏度(在25℃下)於範圍從1毫巴斯卡.秒至100毫巴斯卡‧秒內較佳,及在範圍從1毫巴斯卡‧秒至50毫巴斯卡‧秒內更佳。藉由黏度計RE-85(商品名稱,由東機產業有限公司(Toki Sangyo Co.,Ltd.)製造),在25℃下度量分散液體之黏度來測量黏度。
可根據分散液體的黏度(在25℃下)是否已到達上述範圍來決定終止分散處理的第一階段及加入第二分散劑的時間。
在分散處理的第一階段中,鈦黑在分散處理後之體積平均顆粒直徑於範圍從0.005微米至0.03微米內較佳,及在範圍從0.01微米至0.02微米內更佳。藉由動態光散射方法,使用藉由醋酸丙二醇單甲基醚酯稀釋包含鈦黑之混合液體或分散液體80倍所獲得的稀釋液來測鈦黑之體積平均顆粒直徑。可使用微崔克(MICROTRAC)UPA-EX150(商品名稱,由日機裝有限公司(Nikkiso Co.,Ltd.)製造)進行測量。
使用在分散處理中的分散裝置無特別限制,例如,可使用能重覆地進行混合液體之分散處理的分散裝置,諸如循環型分散裝置。該分散裝置的特定實施例包括超尖端研磨機(ULTRA APEX MILL)(商品名稱,由壽工業有限公司(Kotobuki Industries Co.,Ltd.)製造)及狄諾研磨機(DYNO-MILL)ECM系列(商品名稱,可從新丸企業股份(有限)公司(Shinmaru Enterprises Corporation)購得)。
用於分散處理的溫度無特別限制,但考慮到分散穩定性,從5℃至60℃較佳及20℃至40℃更佳。
使用小珠進行該分散處理較佳。該小珠的組成物或尺寸(直徑)無特別限制,及可使用具有已知的組成物或直徑之小珠。例如,小珠的直徑從0.01毫米至0.10毫米較佳。
在分散處理的第一階段中,考慮到分散度,該混合液體之溶劑對鈦黑的質量比率(溶劑/鈦黑)從1.0至9.0較佳及從1.0至5.0更佳。
下列描述出在欲分散的混合液體中之每種組分(諸如鈦黑、分散劑及溶劑)的細節。除了鈦黑、分散劑及溶劑外,該混合液體可包括用於描述在下列的感光性樹脂組成物之組分(例如,樹脂、光聚合起始劑、可聚合的化合物或其類似物)。
分散處理的第二階段
該分散處理的第二階段為將第二分散劑加入至已藉由分散處理的第一階段所獲得之混合液體,然後分散該產生物的分散處理。
在分散處理的第二階段中,使用剩餘的初始分散劑之部分或全部(也就是說,藉由從初始分散劑的總量減去在分散處理的第一階段中所使用之分散劑量所獲得的量)來進一步分散鈦黑。在分散處理的第二階段中所使用之第二分散劑可與在分散處理的第一階段中所使用之第一分散劑相同或不同。在分散處理的第二階段中,使用具有酸值50毫克KOH/克或更大之分散劑作為該第二分散劑較佳。但是,當在分散處理的第一及/或第三或隨後階段中使用具有酸值50毫克KOH/克或更大之分散劑時,可使用具有酸值低於50毫克KOH/克之分散劑來進行該分散處理的第二階段。
在分散處理的第二階段中,該第二分散劑的量(D)對鈦黑的量(P)於混合液體中之質量比率(D/P比率)從0.05至1.00較佳及從0.05至0.50更佳。當調整D/P比率以便其不過高時(例如,至1.00或較低),可加速該分散方法。當將D/P比率調整至0.05或更大時,可改良分散穩定性。
在分散處理的第二階段中,加入第二分散劑的時刻無特別限制。就藉由數個批次加入分散劑來獲得分散度改良效應(也就是說,防止鈦黑團聚的效應)來說,在該分散液體之黏度(於25℃下)改變量到達0.2 mPa‧s/pass或更多(及3.8 mPa‧s/pass或更多更佳)後,加入第二分散劑較佳。在分散處理的第二階段中,分散劑可僅加入一次或可以二或更多批次加入。在黏度之改變量到達3.8 mPa‧s/pass或更多後,可延遲隨後的加入時刻。
在分散處理的第二階段中,根據與上所述相同的理由,在鈦黑之體積平均顆粒直徑到達10奈米/pass或較低後加入第二分散劑亦較佳。於此實例中,在分散處理的第二階段中,該第二分散劑可僅加入一次或可以二或更多批次加入。在該體積平均顆粒直徑之改變量到達10奈米/輪或較低後,可延長在加入時刻間之區間。
於此,"0.2 mPa‧s/pass或更大"及"10奈米/pass或較低"之描述指為在分散裝置中,每輪(pass)在黏度及體積平均顆粒直徑上之改變各別為0.2 mPa‧s或更多及10奈米或較低。"0.2 mPa‧s/pass或更大"及"10奈米/pass或較低"之描述的實施例包括下列描述。
更具體而言,關於在混合液體之分散處理開始處每輪的黏度及體積平均顆粒直徑改變,及關於當分散進行時每輪的黏度增加及體積平均顆粒直徑變化減少之系統中,關於每輪的黏度或體積平均顆粒直徑改變量到達0.2 mPa‧s或更大或10奈米或較低之描述由"0.2 mPa‧s或更大"或"10奈米或較低"指示出。
於此,"輪"指為全部量的分散液體通過分散裝置所花費之時間。例如,當25升的混合液體以流速5升/小時在分散裝置中分散時,5小時的分散處理定義為"一輪"。輪數由下列方程式(A)決定。
方程式(A):輪數=(流速(升/小時)×處理時間(小時))/處理液體的量(升)
在分散處理的第二階段中,可將一溶劑加入至該第二分散劑。欲加入的溶劑可與在分散處理的第一階段所使用之混合液體中所包含的溶劑相同或可不同。在分散處理的第二階段中,除了該第二分散劑及溶劑外,可加入描述在下列用於感光性樹脂組成物之組分(例如,樹脂、光聚合起始劑、可聚合的化合物或其類似物)。
該分散處理的第二階段之較佳分散條件(裝置、溫度或其類似條件)與分散處理的第一階段相同。該分散處理的第一階段之分散條件可與該分散處理的第二階段之分散條件相同或不同。
經由該分散處理的第一及第二階段(及若需要的話,該分散處理的第三階段、該分散處理的第三及隨後階段、或另一種處理)來製備本發明之分散組成物(於此之後有時指為"最後分散組成物")。
在所獲得的最後分散組成物中之溶劑總含量從30質量%至95質量%(相對於該最後分散組成物的總質量)較佳,從40質量%至90質量%更佳及從50質量%至80質量%最佳。
該分散劑的總量(該分散劑包括至少該第一及第二分散劑)(D)對鈦黑的量(P)在所獲得之最後分散組成物中的比率(D/P比率)從0.2至1.2較佳。當D/P比率為0.2或更大時,改良分散穩定性。就在分散程序中細微粒化顏料來說,D/P比率1.2或較低較佳。更具體而言,根據與上所述相同的理由,D/P比率從0.2至0.8更佳,及從0.2至0.5最佳。
在所獲得的最後分散組成物中,鈦黑之含量從5質量%至80質量%(相對於該最後分散組成物之總質量)較佳,從5質量%至50質量%更佳及從5質量%至30質量%最佳。
於此之後,詳細地描述在本發明之分散組成物中的每種組分,諸如鈦黑、分散劑及溶劑;及製造該分散組成物之方法。
鈦黑
在本發明中的鈦黑為包含鈦原子之黑色顆粒(黑色顏料)。該鈦黑為由TiNx Oy (x及y各者各自獨立地代表低於2的實數)所表示之較低的氧化鈦或氧氮化鈦較佳。
若需要的話,為了改良分散度、防止團聚或其類似性質之目的,鈦黑的表面可經處理。具體而言,該鈦黑可以氧化矽、氧化鈦、氧化鍺、氧化鋁、氧化鎂或氧化鋯覆蓋,或可以防水物質(諸如揭示在JP-A案號2007-302836中的那些)處理。
製備該鈦黑的方法之實施例包括(但不限於此)藉由在還原環境中加熱二氧化鈦與金屬鈦之混合物來還原其的方法(例如,描述在JP-A案號49-5432中的方法);在含氫的還原環境中還原已藉由四氯化鈦之高溫水解獲得的極細二氧化鈦之方法(例如,描述在JP-A案號57-205322中的方法);於氨存在下,在高溫下還原二氧化鈦或氫氧化鈦之方法(例如,描述在JP-A案號60-65069或JP-A案號61-201610中的方法);及讓釩化合物附著至二氧化鈦或氫氧化鈦,然後於氨存在下,在高溫下還原產生物之方法(例如,描述在JP-A案號61-201610中之方法)。
該鈦黑的平均一次粒徑無特別限制,考慮到分散度及呈色性質,從3奈米至2000奈米較佳,從10奈米至500奈米更佳,及從10奈米至100奈米最佳。
該鈦黑的比表面積無特別限制。為了在以防水劑表面處理後獲得可達成所提供的防水性能程度之鈦黑,該比表面積(藉由BET方法測量)通常從約5平方公尺/克至150平方公尺/克,且從20平方公尺/克至100平方公尺/克較佳。
可商業購得的鈦黑之實施例包括鈦黑(TITANIUM BLACK)10S、12S、13R、13M、13M-C、13R、13R-N及13M-T(商品名,可從三菱材料公司(MITSUBISHI MATERIALS CORP.)購得,由傑姆柯股份有限公司(Jemco Co.,Ltd.)製造)及替雷克(TILACK)D(商品名稱,由赤穗化成股份有限公司(Akokasei Co.,Ltd.)製造)。
該鈦黑可單獨或以其二或更多種種類之組合使用。
若需要的話,可對該鈦黑加入填充顏料。該填充顏料的實施例包括硫酸鋇、碳酸鋇、碳酸鈣、二氧化矽、鹼式碳酸鎂、礬土白、粗白(gross white)、鈦白及水滑石。該填充顏料可單獨或以其二或更多種種類之混合物使用。欲使用的填充顏料量通常從0至100質量份(相對於100質量份的鈦黑),且從5質量份至50質量份較佳及從10質量份至40質量份更佳。若需要的話,該鈦黑及填充顏料的表面可以聚合物改質。
本發明之分散組成物可包括除了鈦黑外的遮光性顏料。該遮光性顏料的實施例無特別限制,只要該遮光性顏料在可見光範圍內具有吸收波長。該遮光性顏料之實施例包括上述描述的填充顏料、碳黑及有機顏料,諸如C.I.顏料藍色1、2、15、15:I、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66、79及80,C.I.顏料紫色1、19、23、27、32、37及42,C.I.顏料棕色25及28或C.I.顏料黑色1及7。鈦黑與除了鈦黑外的遮光性顏料之組合的實施例包括:鈦黑與碳黑以比率6:1之組合,及鈦黑與氧化鈦以比率3:1之組合。與鈦黑組合著使用的遮光性顏料之含量通常在範圍從0.01質量份至99.99質量份(相對於100質量份的鈦黑)內,及在範圍從20質量份至70質量份內較佳。
分散劑
在本發明中,於分散處理中使用分散劑(例如,該分散劑包括至少該第一分散劑及該第二分散劑)。該第一分散劑及第二分散劑各別使用在分散處理的第一階段及第二階段中。若需要的話,該分散劑可進一步包括第三或更多種分散劑(當進行分散處理的第三及晚後階段時)。該分散劑的至少一部分具有酸值50毫克KOH/克或更大。至於該分散劑,可在多段式分散處理之每個階段中使用單一型式的分散劑,或可在多段式分散處理的各別階段中使用不同型式之分散劑。在多段式分散處理的每個階段中,可僅使用一種型式的分散劑,或可使用二或更多種型式的分散劑。
在本發明中所使用的分散劑具有較高的酸值較佳。當酸值高時,可有效率地分散具有氮原子的鈦黑。通常來說,為了調整酸值以便其不過高而抑制在分散劑當中的交互作用及增加分散度,該分散劑之酸值從20毫克KOH/克至300毫克KOH/克較佳。但是,在本發明中,為了更有效地防止鈦黑團聚及明顯地增加分散度,對該分散劑的部分或全部使用一具有酸值50毫克KOH/克或更大的分散劑。
當使用具有酸值50毫克KOH/克或更大的分散劑時,該分散劑容易吸附到鈦黑(及若需要的話,與欲使用的顏料組合)表面上及可作用以防止再團聚。因此,當使用具有酸值低於50毫克KOH/克的分散劑時,防止鈦黑團聚的效應減少且無法獲得更優良的分散穩定性(與習知的實例比較)。
特別是,根據與上述相同的理由,使用具有酸值從50毫克KOH/克至275毫克KOH/克之分散劑較佳,使用具有酸值從60毫克KOH/克至250毫克KOH/克的分散劑更佳,及使用具有更佳具有酸值從70毫克KOH/克至200毫克KOH/克的分散劑仍然更佳。
在本發明中,該分散劑的至少一部分具有酸值從50毫克KOH/克至300毫克KOH/克較佳,及最後分散組成物的D/P比率從0.2至0.8較佳(從0.2至0.5更佳)。
再者,本發明的分散劑之至少一部分具有酸性極性基團較佳,因為此分散劑對鈦黑具有適合的吸附度、改良分散度及亦作用為能被發展用於藉由鹼性顯影形成圖案之樹脂。該分散劑的至少一部分具有10莫耳或更多(相對於1莫耳的分散劑)的酸性極性基團較佳。該酸性極性基團的實施例包括羧基、磺酸基團、磷酸鹽基團及酚羥基。其較佳實施例包括已經引進鹼可溶的部分結構(諸如羧酸基團)之分散劑樹脂。在該分散劑中的酸性極性基團之含量為30莫耳或更多(相對於1莫耳分散劑)更佳。
在本發明之分散組成物中,使用已經引進鹼可溶的部分結構之分散劑較佳,其亦對分散劑提供鹼溶解度,此對將鈦黑分散在用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物(其使用描述於下列之本發明的分散組成物)中不可缺少,及可改良在使用該感光性樹脂組成物之圖案形成中未曝光部分的鹼性顯影能力。
從在分散劑中酸性基團之平均含量來計算該分散劑之酸值。可藉由改變衍生自構成該分散劑之含酸性基團單體的結構單元之含量比率,將該分散劑的酸值調整至想要的酸值。
該分散劑的聚合物結構無特別限制及其實施例包括線性聚合物、接枝聚合物、在線性聚合物的終端處具有酸性基團之聚合物、在接枝聚合物的終端處具有酸性基團之聚合物、星狀聚合物及嵌段聚合物。在這些結構當中,從分散穩定性的觀點來看,接枝聚合物較佳。
該接枝聚合物的主鏈結構無特別限制及其實施例包括聚(甲基)丙烯酸結構、聚酯結構、聚胺基甲酸酯結構及聚尿素結構。從容易合成的觀點來看,聚(甲基)丙烯酸結構較佳。
該接枝聚合物的實施例包括接枝共聚物。
該接枝共聚物包括具有原子總數(除了氫原子外)從40至10,000之接枝鏈較佳。於此,該接枝部分指為從共聚物主鏈之底部至從主鏈分支出之基團終端的鏈。
在本發明之分散組成物中,該接枝共聚物作為對鈦黑提供分散度之分散劑樹脂。因此,由於接枝共聚物的接枝鏈之優良的分散度及由於其與溶劑之優良的相容性,該分散組成物對鈦黑具有優良的分散度及隨著時間的分散穩定性。因為該接枝共聚物的接枝鏈與可聚合的化合物、可組合著使用的其它樹脂或其類似物具有相容性,當使用該分散組成物來形成感光性樹脂組成物時,難以在鹼性顯影時產生殘餘物。
當接枝鏈長時,可增加空間排斥效應及可改良分散度。比較上,當接枝鏈過長時,對鈦黑的吸附度減少及分散度減低。因此,在使用於本發明的接枝共聚物中,每條接枝鏈的原子總數(除了氫原子外)從40至10,000較佳,從50至2,000更佳及從60至500最佳。
該接枝鏈的聚合物結構之實施例包括聚(甲基)丙烯醯基、聚酯、聚胺基甲酸酯、聚尿素、聚醯胺及聚醚。為了改良在接枝部分與溶劑間之交互作用及改良分散度,具有聚(甲基)丙烯酸結構、聚(甲基)丙烯醯基、聚酯或聚醚的接枝鏈較佳,且具有聚酯或聚醚的接枝鏈更佳。
在接枝鏈中具有上述描述的聚合物結構之大單體結構無特別限制,只要其具有可與聚合物主鏈反應的取代基並滿足本發明的需求。使用具有反應性雙鍵的大單體較佳。
較佳使用於接枝共聚物的合成之可商業購得的大單體之實施例包括AA-6、AA-10、AB-6、AS-6、AN-6、AW-6、AA-714、AY-707、AY-714、AK-5、AK-30、AK-32(全部為商品名,由東亞合成股份有限公司(TOAGOSEI Co.,Ltd.)製造)、布連莫(BLEMMER)PP-100、PP-500、PP-800、PP-1000、55-PET-800、PME-4000、PSE-400、PSE-1300及43-PAPE-600b(全部為商品名,由諾氟股份有限公司(NOF Corporation)製造)。在上述當中,AA-6、AA-10、AB-6、AS-6及AN-6(全部為商品名,由東亞合成股份有限公司製造)、及布連莫PME-4000(商品名稱,由諾氟股份有限公司製造)較佳。
在本發明之接枝共聚物中的接枝部分包括由下列式(1)至(5)所表示的結構單元之至少一種較佳。
在式(1)至(5)中,X1 、X2 、X3 、X4 、X5 及X6 各者各自獨立地代表氫原子或單價有機基團。考慮到合成限制,X1 、X2 、X3 、X4 、X5 及X6 各者各自獨立地代表氫原子或具有1至12個碳原子的烷基較佳;X1 、X2 、X3 、X4 、X5 及X6 各者各自獨立地代表氫原子或甲基更佳;及X1 、X2 、X3 、X4 、X5 及X6 各者代表甲基最佳。
在式(1)至(5)中,Y1 、Y2 、Y3 、Y4 及Y5 各者各自獨立地代表二價連結基團,及其結構無特別限制。該二價連結基團的特定實施例包括顯示在下列的連結基團(Y-1)至(Y-20)。在下列式中,A及B各別代表在式(1)至(5)之左邊及右邊終端基團處的鍵結位置。在這些結構當中,從容易合成的觀點來看,(Y-2)及(Y-13)更佳。
在式(1)至(5)中,Z1 、Z2 、Z3 、Z4 及Z5 各者各自獨立地代表單價有機基團,及其結構無特別限制。其特定實施例包括羥基、烷氧基、或芳氧基、或雜芳氧基、烷硫基醚基團、芳硫基醚基團、或雜芳硫基醚基團、或胺基。在這些當中,從改良分散度的觀點來看,具有空間排斥效應的單價有機基團較佳,及具有5至24個碳原子之烷基較佳。在這些當中,具有5至24個碳原子的分支烷基或具有5至24個碳原子的環烷基較佳。
在式(1)至(5)中,n、m、p、q及r各者各自獨立地代表從1至500的整數。
在接枝共聚物中,由式(1)至(5)之任何一種所表示的結構單元之總含量從10質量%至90質量%(相對於該接枝共聚物的總質量)較佳,及從30質量%至70質量%更佳。當含量在上述範圍內時,可獲得足夠的鈦黑分散度及足夠的顯影能力(當形成至光阻中時)。在本發明中,可使用包含二或更多種型式之具有不同結構的接枝共聚物之接枝共聚物。
在式(5)中,R代表單價有機基團及其結構無限制。該單價有機基團為氫原子、烷基、芳基或雜芳基較佳 及氫原子或烷基更佳。該接枝共聚物可包含二或更多種型式的接枝部分,其中由R所表示的取代基在各別部分中不同。
除了上述描述的接枝部分外,該接枝共聚物可具有能與鈦黑交互作用的官能基。其實施例包括具有酸性基團的結構單元、具有鹼性基團的結構單元、具有配位基團的結構單元及具有反應性的結構單元。
在結構單元中的酸性基團之實施例包括羧酸基團、磺酸基團、磷酸鹽基團及酚羥基。在這些當中,羧酸基團較佳,因為其對鈦黑具有適合的吸附度及高分散度。這些酸性基團可單獨或以其二或更多種種類之組合使用。引進此酸性基團可改良該接枝共聚物的鹼性顯影能力。
使用在本發明之接枝共聚物中,具有酸性基團的結構單元之含量從0.1莫耳%至50莫耳%較佳,及從1莫耳%至30莫耳%更佳,以防止影像強度由於鹼性顯影而損傷。
在結構單元中的鹼性基團之實施例包括一級胺基、二級胺基、三級胺基、包含N原子的雜環基團及醯胺基。在這些當中,三級胺基較佳,因為其對顏料具有適合的吸附度及高分散度。這些鹼性基團可單獨或以其一或多種種類之組合使用。在本發明之接枝共聚物中所使用具有鹼性基團的結構單元之含量從0.01莫耳%至50莫耳%較佳及從0.01莫耳%至30莫耳%更佳,以減低顯影能力之抑制。
在結構單元中的配位基團或在結構單元中具有反應性的基團之實施例包括乙醯基乙醯氧基、三烷氧基矽烷基、異氰酸鹽基團、衍生自酸酐的基團、及衍生自醯基氯的基團。在這些當中,乙醯基乙醯氧基較佳,因為其對顏料具有適合的吸附度及高分散度。這些基團可單獨或以其一或多種種類的組合使用。在本發明之接枝共聚物中使用,該具有配位基團的結構單元及該具有反應性的結構單元之總含量從0.5莫耳%至50莫耳%較佳,及從1莫耳%至30莫耳%更佳,以減低顯影能力之抑制。
上述描述可與鈦黑交互作用的官能基之結構無特別限制,只要其在除了接枝部分外的部分上具有可與鈦黑交互作用之官能基。可與鈦黑交互作用的官能基結構包括至少一個衍生自由下列式(i)至(iii)表示的單體之任何一種的重覆單元較佳。
在式(i)至(iii)中,R1 、R2 及R3 各者各自獨立地代表氫原子、鹵素原子(例如,氟原子、氯原子或溴原子)、或具有1至6個碳原子的烷基(例如,甲基、乙基、或丙基)。R1 、R2 及R3 各者各自獨立地代表氫原子或具有1至3個碳原子的烷基較佳;及R1 、R2 及R3 各者各自獨立地代表氫原子或甲基更佳。R2 及R3 各者代表氫原子最佳。
X代表氧原子(-O-)或亞胺基(-NH-),及氧原子較佳。
L代表單鍵或二價連結基團。該二價連結基團的實施例包括二價脂肪族基團(例如,伸烷基、經取代的伸烷基、伸烯基、經取代的伸烯基、伸炔基或經取代的伸炔基)、二價芳香基團(例如,伸芳基或經取代的伸芳基)及二價雜環基團、及這些基團之組合、及氧原子(-O-)、硫原子(-S-)、亞胺基(-NH-)、經取代的亞胺基(-NR31 -,其中R31 代表脂肪族基團、芳香基團或雜環基團)或羰基(-CO-)。
該二價脂肪族基團可具有環狀結構或分支結構。該脂肪族基團的碳原子數目從1至20較佳,從1至15更佳及從1至10最佳。該脂肪族基團為飽和的脂肪族基團而非不飽和的脂肪族基團較佳。該脂肪族基團可具有取代基。該取代基的實施例包括鹵素原子、羥基、芳香基團及雜環基團。
在該二價芳香基團中,碳原子數目從6至20較佳,從6至15更佳及從6至10最佳。該芳香基團可具有取代基。該取代基的實施例包括鹵素原子、羥基、脂肪族基團、芳香基團及雜環基團。
該二價雜環基團的雜環為5或6員環較佳。其它雜環、脂肪族環或芳香環可與該雜環稠和。該雜環基團可具有取代基。該取代基的實施例包括鹵素原子、羥基、側氧基團(=O)、硫酮基(=S)、亞胺基(=NH)、經取代的亞胺基(=N-R32 ,其中R32 代表脂肪族基團、芳香基團或雜環基團)、脂肪族基團、芳香基團及雜環基團。
L代表包括單鍵、伸烷基或氧伸烷基結構的二價連結基團較佳。該氧伸烷基結構為氧伸乙基結構或氧伸丙基結構更佳。L可為包含二或更多個重覆的氧伸烷基結構之聚氧伸烷基結構。該聚氧伸烷基結構為聚氧乙烯結構或聚氧丙烯結構較佳。該聚氧乙烯結構由-(OCH2 CH2 )n -表示,其中n為整數2或更大較佳,及從2至10的整數更佳。
在式(i)至(iii)中,Z代表在除了接枝部分外的部分上可與鈦黑交互作用之官能基。Z代表羧酸基團或三級胺基較佳,及羧酸基團更佳。Y代表次甲基或氮原子。
在式(iii)中,R4 、R5 及R6 各者各自獨立地代表氫原子、鹵素原子(例如,氟原子、氯原子或溴原子)、具有1至6個碳原子的烷基(例如,甲基、乙基及丙基)、Z或-L-Z。於此,L及Z各別具有與在式(i)至(iii)中的L及Z相同之定義。R4 、R5 及R6 各者各自獨立地代表氫原子或具有1至3個碳原子的烷基較佳;及R4 、R5 及R6 各者代表氫原子更佳。
在本發明中,在由式(i)表示的單體中,R1 、R2 及R3 各者各自獨立地代表氫原子或甲基;L代表伸烷基或具有氧伸烷基結構的二價連結基團;X代表氧原子或亞胺基;及Z代表羧酸基團較佳。
在由式(ii)表示的單體中,R1 代表氫原子或甲基、L代表伸烷基、Z代表羧酸基團及Y代表次甲基較佳。
在由式(iii)表示的單體中,R4 、R5 及R6 各者各自獨立地代表氫原子或甲基、及Z代表羧酸基團較佳。
由式(i)至(iii)表示的典型化合物之實施例包括:甲基丙烯酸、巴豆酸及異巴豆酸;具有可加成聚合的雙鍵及羥基之化合物(例如,甲基丙烯酸2-羥乙酯)與琥珀酸酐之反應產物;具有可加成聚合的雙鍵及羥基之化合物與酞酸酐的反應產物;具有可加成聚合的雙鍵及羥基之化合物與四氫酞酸酐的反應產物;具有可加成聚合的雙鍵及羥基之化合物與偏苯三酸酐的反應產物;具有可加成聚合的雙鍵及羥基之化合物與苯均四酸酐的反應產物;及丙烯酸、丙烯酸二聚物、丙烯酸寡聚物、順丁烯二酸、衣康酸、反丁烯二酸、4-乙烯基苯甲酸、乙烯基酚及4-羥基苯基甲基丙烯醯胺。
考慮到與鈦黑的交互作用、分散穩定性及在顯影劑中的滲透性,可與鈦黑交互作用之官能基(諸如具有酸性基團的單體)在該該接枝共聚物中之含量從0.05質量%至90質量%(相對於接枝共聚物的總質量)較佳,從1.0質量%至80質量%更佳,及從10質量%至70質量%最佳。
為了改良性質(諸如影像強度)之目的,除了具有接枝部分及可與鈦黑交互作用的官能基之結構單元外,在根據本發明用於鈦黑的分散組成物中,該接枝共聚物可進一步包括具有多種功能的其它結構單元(例如,具有與使用在分散中的分散媒質有相容性之官能基的結構單元)作為共聚合組分,只要其不相反地影響本發明之效應。
在根據本發明之接枝共聚物中的共聚合組分之實施例包括選自於下列之可自由基聚合的化合物:丙烯酸酯類、甲基丙烯酸酯類、苯乙烯類、丙烯腈類或甲基丙烯腈類。這些共聚合組分可單獨或以其二或更多種種類之組合使用。在該接枝共聚物中的共聚合組分之含量從0莫耳%至90莫耳%較佳,及從0莫耳%至60莫耳%更佳。當該含量在上述範圍內時,可獲得足夠的圖案形成性質。
在合成該接枝共聚物時所使用的溶劑之實施例包括二氯化乙烯、環己酮、甲基乙基酮、丙酮、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、醋酸2-甲氧基乙酯、1-甲氧基-2-丙醇、醋酸1-甲氧基-2-丙酯、N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、二甲亞碸、甲苯、醋酸乙酯、乳酸甲酯及乳酸乙酯。這些溶劑可單獨或以其二或更多種種類的混合物使用。
此共聚物的特定實施例包括下列例示之化合物1至54。每種構成單元(主鏈部分)的數值代表質量百分比。
在本發明中的分散劑可改質顏料表面及可促進分散樹脂吸附到顏料上。
在本發明中,只要使用在本發明中的分散劑之至少一部分具有酸值50毫克KOH/克或更大,亦可使用其它分散劑。至於其它分散劑,可使用除了上述描述的接枝共聚物外之分散劑。其它分散劑根據其結構分類成直鏈聚合物、終端修改的聚合物、接枝聚合物或嵌段聚合物。亦可使用除了接枝聚合物外的高分子量分散劑作為該其它分散劑。就具有用來錨定鈦黑(及另一種顏料,端視實例而定)表面之部分來說,該其它分散劑為終端修改的聚合物或嵌段聚合物較佳。
該除了接枝共聚物外之其它分散劑的實施例包括高分子量分散劑,諸如聚醯胺基胺及其鹽、多元羧酸及其鹽、高分子量不飽和酸酯、經修改的聚胺基甲酸酯、經修改的聚酯、經修改的聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸共聚物或萘磺酸-甲醛縮合物;聚氧乙烯烷基磷酸酯、聚氧乙烯烷基胺、烷醇胺及顏料衍生物。可使用在本發明中的其它分散劑之特定實施例包括:狄斯柏畢克(DISPERBYK)-101(聚醯胺基胺磷酸鹽)、狄斯柏畢克-107(羧酸鹽)、狄斯柏畢克-110(包含酸性基團的共聚物)、狄斯柏畢克-130(聚醯胺)、狄斯柏畢克-161、-162、-163、-164、-165、-166及-170(高分子量共聚物)及BYK-P104、P105(高分子量不飽和多元羧酸)(全部為商品名,由BYK化學(BYK-Chemie)製造);EFKA4047、4050、4010及4165(聚胺基甲酸酯為基礎的分散劑)、EFKA4330及4340(嵌段共聚物)及EFKA4400及4402(經改質的聚丙烯酸酯)、EFKA5010(聚酯醯胺)、EFKA5765(高分子量多元羧酸鹽)、EFKA6220(脂肪酸聚酯)、EFKA6745(酞花青素衍生物)及EFKA6750(偶氮顏料衍生物)(全部為商品名,由EFKA製造);阿基斯迫(AJISPER)PB821及PB822(全部為商品名,由味之素細微泰克諾公司(Ajinomoto fine techno Co.,Inc.)製造);弗羅冷(FLOWLEN)TG-710(胺基甲酸酯寡聚物)及波麗弗洛(POLYFLOW)編號50E及編號300(丙烯酸共聚物)(全部為商品名,由共榮社化學有限公司(KYOEISHA CHEMICAL Co.,Ltd.)製造);狄斯帕隆(DISPARLON)KS-860、873SN、874及#2150(脂肪族多元羧酸)、狄斯帕隆#7004(聚醚酯)、狄斯帕隆DA-703-50、DA-705及DA-725(全部為商品名,由楠本化學有限公司(KUSUMOTO CHEMICALS,Ltd.)製造)、戴莫(DEMOL)RN及N(萘磺酸福馬林縮聚物)、戴莫MS、C及SN-B(芳香族磺酸-甲醛縮聚物)、侯莫兼諾(HOMOGENOL)L-18(高分子量多元羧酸)、伊慕今(EMULGEN)920、930、935及985(聚氧乙烯壬基苯基醚)、阿西他明(ACETAMIN)86(硬脂醯胺醋酸酯)(全部為商品名,由考公司(Kao Corp.)製造);梭史潑斯(SOLSPERSE)5000(酞花青素衍生物)、梭史潑斯22000(偶氮顏料衍生物)、梭史潑斯13240(聚酯胺)、梭史潑斯3000、17000及27000(在終端處具有官能基部分的聚合物)、梭史潑斯24000、28000、32000及38500(接枝聚合物)(全部為商品名,可從路布里若股份(有限)公司(Lubrizol Corporation)購得);及尼寇(NIKKOL)T106(聚氧乙烯單油酸脫水山梨糖醇酯)及尼寇MYS-IEX(聚氧乙烯單硬脂酸酯)(全部為商品名,由日光化學有限公司(Nikko Chemical Co.,Ltd.)製造)。
這些分散劑可單獨或以其二或更多種種類之組合使用。
就在顯影期間的顯影能力及抑制圖案分離來說,本發明之分散劑的重量平均分子量從10,000至300,000較佳,從15,000至200,000更佳,從20,000至100,000甚至更佳及從25,000至50,000最佳。該重量平均分子量可例如藉由GPC方法測量。
考慮到分散度及分散穩定性,分散劑在本發明之分散組成物中的總含量從0.1質量%至50質量%(相對於該分散組成物之總固體含量)較佳,從5質量%至40質量%更佳及從10質量%至30質量%最佳。
溶劑
本發明之分散組成物可包括多種有機溶劑作為溶劑。
該溶劑的實施例包括丙酮、甲基乙基酮、環己烷、醋酸乙酯、二氯化乙烯、四氫呋喃、甲苯、乙二醇單甲基醚、乙二醇單乙基醚、乙二醇二甲基醚、丙二醇單甲基醚、丙二醇單乙基醚、乙醯丙酮、環己酮、雙丙酮醇、醋酸乙二醇單甲基醚酯、醋酸乙二醇乙基醚酯、乙二醇單異丙基醚、醋酸乙二醇單丁基醚酯、3-甲氧基丙醇、甲氧基甲氧基乙醇、二甘醇單甲基醚、二甘醇單乙基醚、二甘醇二甲基醚、二甘醇二乙基醚、醋酸丙二醇單甲基醚酯、醋酸丙二醇單乙基醚酯、醋酸3-甲氧基丙酯、N,N-二甲基甲醯胺、二甲亞碸、γ-丁內酯、醋酸乙酯、醋酸丁酯、乳酸甲酯及乳酸乙酯。
這些溶劑可單獨或以混合物使用。在該溶劑中的固體含量之濃度從2質量%至60質量%較佳。
除了上述描述之組分外,本發明之分散組成物可包括用於描述在下列的感光性樹脂組成物之組分(例如,樹脂、光聚合起始劑或可聚合的化合物)。更特別是,可藉由製造分散組成物的方法來製備感光性樹脂組成物。
用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物及其製法
在本發明中,製造用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物(其包含鈦黑、樹脂、可聚合的化合物、光聚合起始劑、溶劑及分散劑(其包括至少第一分散劑及第二分散劑),於此之後有時簡單地指為"感光性樹脂組成物")之方法包括分散包含鈦黑、第一分散劑及溶劑的混合液體,及將第二分散劑加入至該已分散的混合液體並分散其,其中該分散劑的至少一部分具有酸值50毫克KOH/克或更大。
藉由上述描述之製造用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物之方法來製造用於本發明之遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物。
根據本發明之感光性樹脂組成物及其製法,可防止鈦黑團聚及可明顯改良分散穩定性。因此,當使用本發明之感光性樹脂組成物在上面提供有進一步結構的基材上製造遮光性彩色濾光片時,可抑制該遮光性彩色濾光片分離。
在製造本發明之感光性樹脂組成物的方法中,加入每種組分的時刻無特別限制,只要在製備本發明之感光性樹脂組成物(其包括鈦黑、分散劑、樹脂(除了分散劑外的樹脂)、可聚合的化合物、光聚合起始劑及溶劑)之方法期間進行分散處理的第一階段及分散處理的第二階段。例如,可藉由下列方式來製造本發明之感光性樹脂組成物:根據上述描述之製造本發明之分散組成物的方法來製備分散組成物,隨後將樹脂、可聚合的化合物及光聚合起始劑(及若需要的話,溶劑)每種組分加入至該已製造的分散組成物。在製造本發明之分散組成物的方法中,可預先將樹脂、可聚合的化合物或光聚合起始劑之至少一種加入至分散組成物,然後可將該感光性樹脂組成物的剩餘組分加入至所獲得的分散組成物。
在製造本發明之分散組成物的方法中,可將全部量的樹脂、可聚合的化合物及光聚合起始劑加入至該分散組成物,因此製造感光性樹脂組成物如為分散組成物。
在本發明之感光性樹脂組成物的組分當中,鈦黑、分散劑及溶劑之定義與詳細描述在上述"分散組成物及其製造方法"中的那些相同。其較佳定義亦與詳細描述在上述"分散組成物及其製造方法"中的那些相同。於此之後,將詳細地描述本發明之感光性樹脂組成物的組分,其包括樹脂、可聚合的化合物、光聚合起始劑及其它組分。
樹脂
本發明之感光性樹脂組成物包括樹脂(除了上述描述的分散劑外之樹脂)。
該樹脂為線性有機聚合物較佳。至於該線性有機聚合物,可適當地使用已知的線性有機聚合物。使用可溶於水或弱鹼性水或可在其中膨潤的線性有機聚合物較佳,以使用於水顯影或弱鹼性水顯影。
除了想要使用作為膜形成材料外,可根據想要的用途選擇該線性有機聚合物作為用於水、弱鹼性水或有機溶劑顯影的顯影材料。例如,當使用可溶於水的有機聚合物時,可達成水顯影。
該線性有機聚合物之實施例包括在其側鏈處具有羧酸基團的自由基聚合物(例如,描述在JP-A案號59-44615、JP-B案號54-34327、58-12577及54-25957,及JP-A案號54-92723、59-53836及59-71048中),諸如藉由同元聚合或共聚合具有羧基的單體所獲得之樹脂;藉由同元聚合或共聚合具有酸酐的單體及藉由水解、半酯化或半醯胺化酸酐單元所獲得之樹脂;及藉由以不飽和單羧酸及酸酐修改環氧樹脂所獲得的丙烯酸環氧樹脂。該具有羧基的單體之實施例包括丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、順丁烯二酸、反丁烯二酸及4-羧基苯乙烯。該具有酸酐的單體之實施例包括順丁烯二酸酐。該線性有機聚合物之實施例進一步包括在其旁鏈處具有羧酸基團的酸纖維素衍生物。該線性有機聚合物之實施例亦包括藉由環狀酐與含羥基聚合物之加成聚合所獲得的線性有機聚合物。
在這些線性有機聚合物當中,該可溶於弱鹼性水或可在其中膨潤的線性有機聚合物有時指為"鹼可溶樹脂"。
在這些樹脂當中,就在膜強度、靈敏度及顯影能力間之優良的平衡來說,在其側鏈處具有羧基及烯丙基及/或乙烯基酯基團之(甲基)丙烯酸樹脂;在其側鏈處具有雙鍵的鹼可溶樹脂(例如,描述在JP-A案號2000-187322及2002-62698中);及在其側鏈處具有醯胺基的鹼可溶樹脂(例如,描述在JP-A案號2001-242612中)較佳。再者,包含酸性基團的胺基甲酸酯黏著劑聚合物(例如,描述在JP-B案號7-12004、7-120041、7-120042及8-12424及JP-A案號63-287944、63-287947、1-271741及10-116232中);及在其側鏈處具有酸性基團及雙鍵的胺基甲酸酯黏著劑聚合物(例如,描述在JP-A案號2002-107918中)具有優良的強度,因此就印刷耐久性及低曝光適應性而論較佳。此外,就在膜強度與顯影能力間之平衡優良來說,具有酸性基團之經乙縮醛改質的聚乙烯醇黏著劑聚合物(例如,描述在歐洲專利案號993966及1204000,及JP-A案號2001-318463中)較佳。再者,聚乙烯吡咯烷酮及聚環氧乙烷作為該可溶於水的線性有機聚合物較佳。為了增加硬化膜的強度,醇可溶的耐綸及2,2-雙-(4-羥基苯基)-丙烷與環氧氯丙烷(epichlorohydrine)之聚醚亦較佳。
在這些樹脂當中,具有可聚合的基團之樹脂較佳。該可聚合的基團為雙鍵較佳,及丙烯醯基或甲基丙烯醯基更佳。該樹脂可為任何無規聚合物、嵌段聚合物及接枝聚合物。
該樹脂之重量平均分子量為5,000或更大較佳及從10,000至300,000更佳。該樹脂的數均分子量為1,000或更大較佳及從2,000至250,000更佳。多分散(polydispersion)程度(重量平均分子量/數均分子量)為1或更大較佳及從1.1至10更佳。
該樹脂可單獨或以其二或更多種種類之組合使用。
為了更有效率地獲得本發明之效應,該樹脂在感光性樹脂組成物中的含量(總含量,當使用二或更多種種類的樹脂時)無特別限制,及從5質量%至50質量%(相對於該感光性樹脂組成物之總固體含量)較佳,從10質量%至40質量%更佳及從10質量%至35質量%最佳。
可聚合的化合物
本發明之感光性樹脂組成物包括至少一種可聚合的化合物。
該可聚合的化合物之實施例包括具有至少一個乙烯化不飽和雙鍵之可加成聚合的化合物。特別是,該可聚合的化合物選自於具有至少一個終端乙烯化不飽和鍵的化合物,及具有二或更多個終端乙烯化不飽和鍵的化合物較佳。這些化合物在技藝中已知,及其可使用在本發明中而沒有特別限制。這些化合物可為單體、預聚物(諸如二聚物、三聚物或寡聚物)之任何形式,或可為混合物或其(共)聚合物。
該單體及其(共)聚合物的實施例包括不飽和羧酸(例如,丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、異巴豆酸或順丁烯二酸)、其酯類及醯胺類、及其(共)聚合物。其較佳實施例包括不飽和羧酸與脂肪族多羥基醇化合物之酯類;不飽和羧酸與脂肪族多羥基胺化合物的醯胺類;及其(共)聚合物。其較佳實施例進一步包括具有親核基取代基(諸如羥基、胺基或巰基)的不飽和羧酸酯或醯胺與單官能基或多官能基異氰酸鹽或環氧基之加成產物;羧酸酯或醯胺與單官能基或多官能基羧酸之脫水縮合產物。再者,其較佳實施例包括具有親電子基取代基(諸如異氰酸鹽基團或環氧基)的不飽和羧酸酯或醯胺與單官能基或多官能基醇、胺或硫醇之加成反應產物;及具有脫附取代基(諸如鹵素基團或甲苯磺醯氧基)的不飽和羧酸酯或醯胺與單官能基或多官能基醇、胺或硫醇之經取代的產物。再者,其較佳實施例包括具有不飽和膦酸、苯乙烯或乙烯基醚(取代上述描述的化合物之不飽和羧酸)之化合物。
脂肪族多羥基醇化合物與不飽和羧酸的丙烯酸酯單體之特定實施例包括二丙烯酸乙二醇酯、二丙烯酸三甘醇酯、二丙烯酸1,3-丁二醇酯、二丙烯酸1,4-丁二醇酯、二丙烯酸丙二醇酯、二丙烯酸新戊二醇酯、三丙烯酸三羥甲基丙烷酯、三羥甲基丙烷三(丙烯醯基氧基丙基)醚、三丙烯酸三羥甲基乙烷酯、二丙烯酸己二醇酯、二丙烯酸1,4-環己二醇酯、二丙烯酸四甘醇酯、二丙烯酸新戊四醇酯、三丙烯酸新戊四醇酯、四丙烯酸新戊四醇酯、二丙烯酸二新戊四醇酯、六丙烯酸二新戊四醇酯、三丙烯酸山梨糖醇酯、四丙烯酸山梨糖醇酯、五丙烯酸山梨糖醇酯、六丙烯酸山梨糖醇酯、異氰脲酸三(丙烯醯氧基乙基)酯、聚酯丙烯酸酯寡聚物及經異氰脲酸EO-修改的三丙烯酸鹽。
該甲基丙烯酸酯單體的實施例包括二甲基丙烯酸1,4-丁二醇酯、二甲基丙烯酸三甘醇酯、二甲基丙烯酸新戊二醇酯、三甲基丙烯酸三羥甲基丙烷酯、三甲基丙烯酸三羥甲基乙烷酯、二甲基丙烯酸乙二醇酯、二甲基丙烯酸1,3-丁二醇酯、二甲基丙烯酸己二醇酯、二甲基丙烯酸新戊四醇酯、三甲基丙烯酸新戊四醇酯、四甲基丙烯酸新戊四醇酯、二甲基丙烯酸二新戊四醇酯、六甲基丙烯酸二新戊四醇酯、三甲基丙烯酸山梨糖醇酯、四甲基丙烯酸山梨糖醇酯、雙[對-(3-甲基丙烯醯氧基-2-羥基丙氧基)苯基]二甲基甲烷、及雙-[對-(甲基丙烯醯氧基乙氧基)苯基]二甲基甲烷。
該衣康酸酯單體的實施例包括二衣康酸乙二醇酯、二衣康酸丙二醇酯、二衣康酸1,3-丁二醇酯、二衣康酸1,4-丁二醇酯、二衣康酸丁二醇酯、二衣康酸新戊四醇酯及四衣康酸山梨糖醇酯。
該巴豆酸酯單體的實施例包括二巴豆酸乙二醇酯、二巴豆酸丁二醇酯、二巴豆酸新戊四醇酯及四巴豆酸山梨糖醇酯。
該異巴豆酸酯單體的實施例包括二異巴豆酸乙二醇酯、二異巴豆酸新戊四醇酯及四異巴豆酸山梨糖醇酯。
該順丁烯二酸酯單體的實施例包括二順丁烯二酸乙二醇酯、二順丁烯二酸三甘醇酯、二順丁烯二酸新戊四醇酯及四順丁烯二酸山梨糖醇酯。其它酯類的較佳實施例進一步包括描述在JP-B案號51-47334及JP-A案號57-196231中的脂肪族醇酯類;描述在JP-A案號59-5240、59-5241及2-226149中之具有芳香族骨架的酯類;描述在JP-A案號1-165613中之包含胺基的酯類。這些酯單體可以混合物使用。
脂肪族多羥基胺化合物與不飽和羧酸的醯胺類單體之特定實施例包括亞甲基-雙-丙烯醯胺、亞甲基-雙-甲基丙烯醯胺、1,6-六亞甲基-雙-丙烯醯胺、1,6-六亞甲基-雙-甲基丙烯醯胺、二伸乙基三胺三丙烯醯胺、伸茬基雙-丙烯醯胺及伸茬基雙-甲基丙烯醯胺。醯胺單體的較佳實施例進一步包括具有伸環己基結構的醯胺單體,如描述在JP-B案號54-21726中。
再者,使用藉由異氰酸鹽與羥基的加成反應獲得之胺基甲酸酯可加成聚合的化合物較佳。其特定實施例包括每分子包含二或更多個可聚合的乙烯基之乙烯基胺基甲酸酯化合物,其中由下列式(A)表示之包含羥基的乙烯基單體已經加入至描述在JP-B案號48-41708中、每分子具有二或更多個異氯酸鹽基團之聚異氰酸酯化合物。
式(A) CH2 =C(R4 )COOCH2 CH(R5 )OH
其中,在式(A)中,R4 及R5 各者各自獨立地代表H或CH3
可根據對感光性樹脂組成物之性能的最後設計適當地決定該可聚合的化合物之結構及用法的細節(諸如,單獨使用或結合使用,或加入量)。例如,考慮到靈敏度,每分子的不飽和基團含量高之結構較佳。在許多實例中,具有二或更多個官能基的結構較佳。為了增加硬化層的強度,具有三或更多個官能基之可聚合的化合物較佳。再者,使用具有不同的官能基數目及/或具有不同型式的可聚合基團(例如,丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、苯乙烯化合物及乙烯基醚化合物)的組合之可聚合的化合物來調整硬化膜的靈敏度及強度二者較佳。關於分散度及與包含在感光性樹脂組成物中的其它組分(例如,光聚合起始劑、呈色材料(諸如顏料或染料)及黏著劑聚合物)之相容性,可聚合的化合物之選擇及用法重要。例如,可藉由使用低純度化合物或組合著使用二或更多種種類之可聚合的化合物增加相容性。為了改良與硬質表面(諸如基材)的黏著性,亦可選擇特定的結構。
在該感光性樹脂組成物中,該可聚合的化合物之含量(總含量,當使用二或更多種種類之可聚合的化合物時)無特別限制。為了更有效率地獲得本發明之效應,該可聚合的化合物之含量從10質量%至80質量%(相對於該感光性樹脂組成物的總固體含量)較佳,從15質量%至75質量%更佳,及從20質量%至60質量%最佳。
光聚合起始劑
本發明之感光性樹脂組成物包含至少一種光聚合起始劑。該光聚合起始劑無特別限制,只要其可起始聚合上述描述之可光聚合的化合物。根據性質、起始效率、吸收波長、可用度、成本或其類似性質來選擇該光聚合起始劑較佳。
該光聚合起始劑的實施例包括至少一種選自於下列之活性經鹵化的化合物:鹵甲基二唑化合物或鹵甲基-s-三化合物;3-芳基經取代的香豆素化合物、咯吩二聚物、二苯基酮化合物、乙醯苯化合物及其衍生物、環戊二烯-苯-鐵錯合物及其鹽、及肟化合物。在這些當中,為了抑制遮光性彩色濾光片分離(特別是,當在具有結構的基材上形成該遮光性彩色濾光片時,抑制其分離),肟化合物較佳。
該肟化合物(於此之後亦指為"肟光聚合起始劑")無特別限制。其實施例包括肟化合物,諸如描述在JP-A案號2000-80068、WO 02/100903 A1及JP-A案號2001-233842中的那些。
其特定實施例包括(但不限於)2-(O-苄醯基肟)-1-[4-(苯硫基)苯基]-1,2-丁二酮、2-(O-苄醯基肟)-1-[4-(苯硫基)苯基]-1,2-戊二酮、2-(O-苄醯基肟)-1-[4-(苯硫基)苯基]-1,2-己二酮、2-(O-苄醯基肟)-1-[4-(苯硫基)苯基]-1,2-庚二酮、2-(O-苄醯基肟)-1-[4-(苯硫基)苯基]-1,2-辛二酮、2-(O-苄醯基肟)-1-[4-(甲基苯基硫基)苯基]-1,2-丁二酮、2-(O-苄醯基肟)-1-[4-(乙基苯硫基)苯基]-1,2-丁二酮、2-(O-苄醯基肟)-1-[4-(丁基苯硫基)苯基]-1,2-丁二酮、1-(O-乙醯基肟)-1-[9-乙基-6-(2-甲基苄醯基)-9H-咔唑-3-基]乙酮、1-(O-乙醯基肟)-1-[9-甲基-6-(2-甲基苄醯基)-9H-咔唑-3-基]乙酮、1-(O-乙醯基肟)-1-[9-丙基-6-(2-甲基苄醯基)-9H-咔唑-3-基]乙酮、1-(O-乙醯基肟)-1-[9-乙基-6-(2-乙基苄醯基)-9H-咔唑-3-基]乙酮、及1-(O-乙醯基肟)-1-[9-乙基-6-(2-丁基苄醯基)-9H-咔唑-3-基]乙酮。
在這些當中,2-(O-苄醯基肟)-1-[4-(苯硫基)苯基]-1,2-辛二酮及1-(O-乙醯基肟)-1-[9-乙基-6-(2-甲基苄醯基)-9H-咔唑-3-基]乙酮較佳。其特定實施例包括CGI-124及CGI-242(商品名,由汽巴精化(Ciba Specialty Chemicals)製造)。
敏化劑或光安定劑可與光聚合起始劑組合著使用。
在本發明之感光性樹脂組成物中,除了上述描述的光聚合起始劑外,可使用其它已知的起始劑。
該光聚合起始劑可單獨或以其二或更多種種類之組合使用。
為了更有效地獲得本發明之效應,在該感光性樹脂組成物中,該光聚合起始劑之含量(總含量,當使用二或更多種種類的光聚合起始劑時)從3質量%至20質量%(相對於該感光性樹脂組成物之總固體含量)較佳,從4質量%至19質量%更佳,及從5質量%至18質量%最佳。
其它組分
本發明之感光性樹脂組成物可包含最少一種溶劑。該溶劑的特定實施例之定義與描述在上述"分散組成物及其製法"中的那些相同,且較佳定義亦與描述在其中的那些相同。
該感光性樹脂組成物可包含其它組分,諸如敏化劑;共敏化劑;用來增加與硬質表面(諸如基材)之黏著性的黏附力促進劑,例如,矽烷耦合劑或鈦耦合劑;或已知的添加劑,諸如用來改良硬化膜的物理性質之無機充填劑或塑化劑、或脂肪敏化劑。若需要的話,該感光性樹脂組成物可包含下列之至少一種:鏈轉移劑;用來增加在曝光後之後加熱及顯影中的膜硬化程度之熱聚合起始劑,諸如偶氮化合物或過氧化合物;熱聚合組分;UV吸收劑,諸如烷氧基二苯基酮;塑化劑,諸如酞酸二辛酯;用來增加顯影能力的試劑,諸如低分子量有機羧酸;其它充填劑;除了上述描述的鹼可溶樹脂外之高分子量化合物;多種添加劑,諸如抗氧化劑或團聚抑制劑;及用於增加膜的強度及靈敏度之目的的多官能基硫醇或環氧化合物。
敏化劑
該敏化劑的較佳實施例包括藉由電子轉移機制或能量轉移機制來增加上述描述的光聚合起始劑之靈敏度的敏化劑。其實施例包括具有選自於下列結構的結構且在波長區域從300奈米至450奈米處具有吸收波長之化合物。此結構之實施例包括多核芳香族化合物(例如,菲、蒽、芘、苝、聯伸三苯及9,10-二烷氧基蒽)、類、氧硫類、花青類、部花青素類、酞花青素類、噻類、吖啶類、蒽醌類、方酸類(squaryliums)、吖啶橙、香豆素類、酮基-香豆素、啡噻類、啡類、苯乙烯基苯類、偶氮化合物、二苯基甲烷、三苯基甲烷、二苯乙烯基苯類、咔唑類、卟啉、螺化合物、喹吖酮、靛藍、苯乙烯基、吡喃鎓化合物、吡咯甲川(pyrromethene)化合物、吡唑并三唑化合物、苯并噻唑化合物、巴比妥酸衍生物、硫代巴比妥酸衍生物、乙醯苯、二苯基酮、氧硫、芳香族酮化合物(諸如米其勒(Michler's)酮)及雜環化合物(諸如N-芳基唑啶酮)。
該共敏化劑具有進一步增加光聚合起始劑或上述描述的敏化劑對活化輻射之靈敏度,或抑制可光聚合的化合物由於氧之聚合抑制的功能。該共敏化劑的實施例包括胺類(三乙醇胺、對-二甲基胺基乙基苯甲酸酯類、對-甲醯基二甲基苯胺及對-甲基硫基二甲基苯胺)、硫醇及硫醚類(例如,2-巰基苯并噻唑、2-巰基苯并唑、2-巰基苯并咪唑、2-巰基-4(3H)-喹唑啉及β-巰基萘)、胺基酸化合物(例如,N-苯基甘胺酸)、有機金屬化合物(例如,醋酸三丁基錫)、氫供應者及硫化合物(例如,三噻烷)。
熱聚合抑制劑
藉由加入熱聚合抑制劑,可防止該可光聚合的化合物在感光性樹脂組成物之製造或儲存期間不想要的熱聚合。該熱聚合抑制劑之實施例包括氫醌、對-甲氧基酚、雙三級丁基-對-甲酚、焦棓酚、三級丁基兒茶酚、苯并醌、4,4’-硫雙(3-甲基-6-三級丁基酚)、2,2’-亞甲基雙(4-甲基-6-三級丁基酚)及N-亞硝基苯基羥基胺一級鈰鹽。若需要的話,為了防止由於氧的聚合抑制,可將較高的脂肪酸衍生物(諸如蘿酸或蘿酸醯胺)加入至該感光性樹脂組成物,以在塗布後的乾燥製程期間不均勻地分佈在塗布膜之表面上。
該熱聚合抑制劑的量從約0.01質量%至約5質量%(相對於該感光性樹脂組成物之總質量)較佳。
界面活性劑
考慮到改良塗布能力,本發明之感光性樹脂組成物可包括界面活性劑。該界面活性劑的實施例包括氟化的界面活性劑、非離子界面活性劑、陽離子界面活性劑、陰離子界面活性劑及聚矽氧界面活性劑。
當該感光性樹脂組成物包含氟化的界面活性劑時,可進一步改良該組成物作為塗布溶液之性質(特別是,流動性),因此改良塗層厚度的均勻性及減少欲使用的塗布溶液量。更具體而言,在包含氟化的界面活性劑之感光性樹脂組成物中,在塗布溶液與欲塗布的基材表面間之界面張力降低,藉此可改良到基材上之濕潤性及可改良該組成物的塗布能力。因此,可以較小量的塗布溶液獲得具有均勻厚度的塗布層,甚至當該塗布層的厚度為幾微米時。
該氟化的界面活性劑之氟含量從3質量%至40質量%較佳,從5質量%至30質量%更佳及從7質量%至25質量%最佳。當氟含量在上述範圍內時,可在塗布層厚度均勻性及減少塗布溶液上獲得足夠的效應。此外,在該組成物中可獲得足夠的溶解度。
該氟化的界面活性劑之實施例包括美加費克(MEGAFAC)F171、F172、F173、F176、F177、F141、F142、F143、F144、R30、F437、F479、F482、F780及F781(全部為商品名,由DIC股份有限公司(DIC Corporation)製造);弗洛拉德(FLORARD)FC430、FC431及FC171(全部為商品名,由住友3M有限公司(Sumitomo 3M Ltd.)製造);蛇浮隆(SURFLON)S-382、SC-101、SC-103、SC-104、SC-105、SC-1068、SC-381、SC-383、S-393及KH-40(全部為商品名,由朝日玻璃有限公司(Asahi Glass Co.,Ltd.)製造);及CW-1(商品名稱,由捷利康有限公司(Zeneca Co.,Ltd.)製造)。
該陽離子界面活性劑的特定實施例包括酞花青素衍生物EFKA-745(商品名稱;由EFKA公司製造)、有機矽烷聚合物KP341(由信越化學有限公司(Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.)製造)、(甲基)丙烯酸(共)聚合物波麗弗洛(POLYFLOW)編號75、90及95(商品名;由共榮化學有限公司(Kyoei Chemical Co.,Ltd.)製造)及W001(商品名稱,由優昭有限公司(Yusho Co.,Ltd.)製造)。
該非離子界面活性劑的特定實施例包括聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油烯基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚二月桂酸乙二醇酯、聚二硬脂酸乙二醇酯及脫水山梨糖醇脂肪族酸酯類,諸如普盧蘭尼克(PLURONIC)L10、L31、L61、L62、10R5、17R2及25R2,及泰沖尼克(TETRONIC)304、701、704、901、904及150R1(全部為商品名;由貝斯拂(BASF)SE製造)。
該陰離子界面活性劑的特定實施例包括W004、W005及W017(商品名,由優昭有限公司製造)。
該聚矽氧界面活性劑的實施例包括東麗聚矽氧(TORAY SILICONE)DC3PA、SH7PA、DC11PA、SH21PA、SH28PA、SH29PA、SH30PA及SH8400(商品名;由道康寧東麗聚矽氧(DOW CORNING TORAY SILICONE)製造)、TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-444(4)(5)(6)(7)6、TSF-4460及TSF-4452(商品名;由GE東芝聚矽氧有限公司(GE Toshiba Silicone Co.,Ltd.)製造)、KP341(商品名稱;由信越聚矽氧(Shin-Etsu Silicone)製造)及BYK-323及BYK-330(商品名稱;由BYK化學製造)。
這些界面活性劑可單獨或以其二或更多種種類之組合使用。
遮光性彩色濾光片
使用上述描述之本發明的感光性樹脂組成物來形成本發明之遮光性彩色濾光片。本發明之遮光性彩色濾光片具有優良的遮光能力。因為使用本發明之感光性樹脂組成物形成,本發明之遮光性彩色濾光片之分離被抑制,其可抑制當該遮光性彩色濾光片在具有結構的基材上形成時分離。
該遮光性彩色濾光片指為藉由曝光及顯影包含至少黑色呈色材料、可光聚合的化合物、樹脂、光聚合起始劑及溶劑之感光性樹脂組成物所獲得的遮光性圖案。該遮光性彩色濾光片之顏色可為無色彩(諸如黑色或灰色)、或可為黑色、灰色、或其已經混合彩色色調的類似顏色。因為該遮光性彩色濾光片藉由曝光及顯影包含至少黑色呈色材料、可光聚合的化合物、樹脂、光聚合起始劑及溶劑之感光性樹脂組成物獲得,其亦可指為遮光性膜或遮光性濾光器。
該遮光性彩色濾光片可使用於多種應用較佳,諸如在固態影像感測器中用來阻擋在除了於形成光接收元件的表面中之光接收部分外的部分之光、用來阻擋在與形成光接收元件的表面相對之表面上的光、或使用作為用來調整顏色的畫素(例如,無色彩(諸如黑色或灰色)畫素、或黑、灰色畫素、或其已經混合彩色顏色的類似畫素)。
該遮光性彩色濾光片的膜厚無特別限制,及從0.1微米至10微米較佳,從0.3微米至5.0微米更佳及從0.5微米至3.0微米最佳,以更有效率地獲得本發明之效應。該遮光性彩色濾光片的圖案尺寸無特別限制及從1000微米或較小較佳,從500微米或較小更佳及從300微米或較小最佳,以更有效率地獲得本發明之效應。該圖案尺寸的下限為1微米較佳。
本發明之遮光性彩色濾光片的光譜性質無特別限制。但是,當該遮光性彩色濾光片應用至固態影像感應器時,考慮到在可見光區域與紅外線區域間之遮光能力平衡,可需要增加在紅外線區域中的遮光能力;及為了更有效率地獲得本發明之效應,在波長1200奈米中的光學密度(OD1200 )對在波長365奈米中的光學密度(OD365 )之比率(OD1200 /OD365 )從0.5至3較佳。
該光學密度(OD)以OD值度量,其藉由下列方式獲得:使用UV-3600(商品名稱,由島津公司(Shimadzu Corp.)製造)測量所獲得的膜之透射率,及藉由下列方程式B轉換所獲得的透射率(T%)。
方程式B OD值=-Log(T%/100)
在本發明中,於波長 奈米中的光學密度由"OD"表示。
考慮到在可見光區域與在紅外線區域間之遮光能力平衡及更有效率地獲得本發明之效應,該遮光性彩色濾光片的光學密度之較佳範圍如下:(OD1200 /OD365 )從1.0至2.5較佳及從1.3至2.0更佳。
該遮光性彩色濾光片在波長1200奈米(OD1200 )中的光學密度從1.5至10較佳,及從2至10更佳。
該遮光性彩色濾光片在波長565奈米(OD365 )中的光學密度從1至7較佳,及從2至6更佳。
該遮光性彩色濾光片在900奈米至1300奈米的波長區域中之光學密度從2至10較佳,從2至9更佳及從2至8最佳。
該遮光性彩色濾光片的比率(OD900 /OD365 )從1.0至2.5較佳,及從1.1至2.5更佳。
該遮光性彩色濾光片的比率(OD1100 /OD365 )從0.6至2.5較佳,及從0.7至2.5更佳。
該遮光性彩色濾光片的比率(OD1300 /OD365 )從0.4至2.3較佳,及從0.5至2.0更佳。
本發明之遮光性彩色濾光片可使用於固態影像感應器(諸如CCD類或CMOS類)較佳,及使用於具有超過1百萬畫素的固態影像感應器(諸如CCD類或CMOS類)更佳。特別是,本發明之遮光性彩色濾光片使用作為具有厚度2微米或較少薄膜較佳(及1微米或較少更佳)。當使用此薄膜時,在該膜中除了呈色材料外的組分(其提供光微影光刻程序性質)之相對量減少,同時其它組分的相對量由於用於黑色之呈色材料量增加而進一步減少,因此減少光束在該膜中的穿透量。結果,在該膜的下部分處形成倒錐形圖案(其有過量顯影的傾向),於此曝光量減少或變得更可能發生圖案分離。此問題當膜厚從0.005微米至0.9微米時明顯(及當厚度為0.1微米至0.7微米時更明顯)。
製造遮光性彩色濾光片的方法
一種本發明之遮光性彩色濾光片之製法,該方法包括:將上述描述用於本發明之遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物塗布到基材上,形成感光層(於此之後有時指為感光層形成製程");將該感光層圖案樣曝露至光(於此之後有時指為"曝光製程");及顯影該已曝光的感光層,形成彩色圖案(於此之後有時指為"顯影製程")。
於此之後,描述在製造本發明之遮光性彩色濾光片的方法中之每種製程。
感光層形成製程
在該感光層形成步驟中,將本發明之感光性樹脂組成物塗布到基材上形成該感光層。
該基材之實施例包括使用在固態影像感應器中用於光電轉換元件的基材,諸如矽基材(矽晶圓)或互補式金氧半導體(CMOS)。若需要的話,可在該基材上提供內塗層以改良對上層的黏附力、防止物質擴散或平整化基材表面。在本發明之遮光彩色濾光片及製造該遮光性彩色濾光片的方法中,當使用具有結構的基材(例如,上面已經形成圖案結構之基材)作為該基材時,可更有效地由本發明達成防止分離的效應。該圖案結構之實施例包括多種圖案結構,諸如薄膜電晶體、光電轉換元件或鈍化膜,及在遮光性彩色濾光片形成前已經製備在基材上的彩色圖案(例如,紅色圖案、綠色圖案、藍色圖案或透明圖案)。
將本發明之感光性樹脂組成物塗布到基材上的方法之實施例包括多種塗布方法,諸如狹縫塗布方法、噴墨方法、旋轉塗布方法、鑄塑塗布方法、輥塗方法或絹版印刷方法。
從解析度及顯影能力的觀點來看,使用該感光性樹脂組成物形成的塗布膜厚度(光阻乾膜厚度)從0.35微米至3.0微米較佳及從0.50微米至2.5微米更佳。
通常在溫度70℃至130℃下乾燥該已塗布到基材上之感光性樹脂組成物約2分鐘至4分鐘,因此形成感光層。
曝光步驟
在該曝光步驟中,藉由例如經由遮罩來圖案樣曝光(當其經由遮罩曝光時,僅有在塗布膜上的曝光區域硬化),以硬化已藉由感光層形成製程形成的感光層。
藉由照射輻射進行曝光較佳。以紫外線(諸如g-線、h-線或i-線)進行曝光較佳,及使用高壓汞蒸氣燈更佳。照射強度從5毫焦耳至3000毫焦耳較佳,從10毫焦耳至2000毫焦耳更佳及從10毫焦耳至1000毫焦耳最佳。
顯影步驟
在曝光步驟後,藉由例如鹼性顯影處理來顯影該已曝光的感光層來形成彩色圖案。在顯影步驟中,該感光層之未曝光區域溶解在鹼性水溶液或其類似物中,藉此在顯影後僅餘留曝光區域。
該顯影劑為有機鹼顯影劑較佳,其較不可能造成在基材上的電路或其類似物損傷。顯影溫度通常從20℃至30℃及顯影時間通常從20秒至240秒。
該顯影劑的實施例包括藉由以純水將有機鹼化合物稀釋至濃度從0.001質量%至10質量%(及從0.01質量%至1質量%較佳)所獲得的鹼性水溶液。該有機鹼化合物的實施例包括氨水、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、膽鹼、吡咯、哌啶及1,8-二吖雙環[5.4.0]-7-十一烯。當使用該鹼性水溶液作為顯影劑時,通常使用純水進行在顯影後之洗滌(沖洗)。
若需要的話,除了上述描述之感光層形成步驟、曝光步驟及顯影步驟外,製造本發明之遮光性彩色濾光片的方法可包括藉由加熱及/或曝光來硬化已顯影的圖案之硬化製程。
固態影像感測器
本發明之固態影像感測器具有上述描述之本發明的遮光性彩色濾光片。因為本發明之固態影像感測器具有本發明的遮光性彩色濾光片(其具有優良的遮光能力且抑制分離),該固態影像感測器具有優良的顏色再現性與減低的雜訊。
該固態影像感測器之組態無特別限制,只要其包括本發明之遮光性彩色濾光片及可作用為固態影像感測器。該組態的實施例包括下列組態:在基材上形成光接收元件(例如,由複數個光電二極體或多晶矽組成之光接收元件),其構成固態影像感測器(諸如CCD影像感測器或CMOS影像感測器)的光接收部分;及在已形成光接收元件的基材表面上(例如,在除了光接收部分外的區域上或在用來調整顏色的畫素區域上)或在與已形成該光接收元件的邊相反之基材表面上形成本發明的遮光性彩色濾光片。
實施例
於此之後,將參照實施例詳細地描述本發明,但是本發明在沒有離開本發明之範圍下不限於該等實施例。在下列描述中,"份"及"%"以質量為準,除非其它方面有具體指定。
分散劑之合成 分散劑1之合成
在500毫升三頸燒瓶中,加入600.0克的ε-己內酯及22.8克的2-乙基-1-己醇,然後攪拌及溶解,同時吹入氮氣。此外加入0.1克的氧化單丁基錫,及將該混合物加熱至100℃。在加熱後,使用氣相層析法8小時確認原料消失,然後將產生物冷卻至80℃。此外加入0.1克的2,6-雙三級丁基-4-甲基酚,然後加入27.2克的異氰酸2-(甲基丙烯醯氧基)乙酯。在5小時後,藉由1 H-NMR光譜確認原料消失,然後將產生物冷卻至室溫,因此獲得200克的固體前驅物化合物M1(具有下列結構)。M1藉由1 H-NMR、IR及質量分析確認。
在三頸燒瓶中,加入30.0克的前驅物化合物M1、70.0克的NK酯CB-1、2.3克的十二烷基硫醇及233.3克的醋酸丙二醇單甲基醚酯,然後以氮氣置換在其中的空氣。使用攪拌器(商品名稱:三一馬達(THREE-ONE MOTOR),由神道科學有限公司(Shinto Scientific Co.,Ltd.)製造)攪拌該混合物,然後加熱至75℃,同時將氮氣引進燒瓶中。在該產生物中,加入0.2克的二甲基2,2-偶氮雙(2-甲基丙酸酯)(商品名稱:V-601,由和光純化學工業有限公司(Wako Pure Chemical Ind. Ltd.)製造),及在75℃下攪拌該混合物2小時。之後,進一步加入0.2克的V-601,及在75℃下攪拌該混合物3小時,因此獲得30%之下列分散劑1液體。
分散劑1的組成物比率、酸值及重量平均分子量(Mw)顯示在表1中。重量平均分子量為就聚苯乙烯同等物而論的值,如藉由凝膠滲透層析法(GPC)測量。使用HLC-8020GPC(商品名稱,由東曹股份(有限)公司(Tosoh Corporation)製造),使用TSKgel SuperHZM-H、TSKgel SuperHZ4000及TSKgel SuperHZ200管柱(全部為商品名,由東曹股份(有限)公司製造)測量GPC。
分散劑2至5及比較樹脂1與2的合成
使用與合成分散劑1相同的方法來合成下列分散劑2至5及比較樹脂1與2每種。分散劑2至5及比較樹脂1與2之組成物比率、酸值及重量平均分子量(Mw)顯示在表1中。
實施例1 鈦黑分散液體之製備
混合下列形成組分及使用珠磨機分散該混合物,因此獲得分散液體。
組成物:
-鈦黑(商品名稱:13M-T,由三菱材料製造) 29.4份
-上述描述的分散劑1 26.5份
-醋酸丙二醇單甲基醚酯(溶劑) 44.1份
使用超尖端研磨機UAM-015(商品名稱,由壽工業有限公司製造),在下列條件下分散所製備的分散液體。
分散條件:
-小珠直徑:Φ 0.05毫米
-小珠裝填體積:75體積%
-研磨轉動速度:12公尺/秒
-欲分散的混合液體量:680克
-循環速率(幫浦進料速率):13公斤/小時
-溫度處理液體:25℃至30℃
-冷卻水:自來水
-珠磨機循環通過的內部體積:0.15升
在分散開始後,當在上述描述之條件下進行分散處理時,每一輪處理(每30分鐘)藉由黏度計RE-85(商品名稱,由東機產業有限公司製造)測量該分散液體之黏度(在25℃下)。於此實例中,黏度隨著分散時間(與輪數)減低,及黏度改變量逐漸增加。在當黏度改變到達5 mPa‧s或更大同時進一步繼續分散(也就是說,當黏度改變到達5 mPa‧s/pass或更大時),將120克在醋酸丙二醇單甲基醚酯中的分散劑1液體(顯示在下列)加入至該分散液體。
每一輪處理亦分別地測量該分散液體的體積平均顆粒直徑。於此實例中,該體積平均顆粒直徑隨著分散時間(與輪數)減小,及體積平均顆粒直徑的改變量逐漸減少。然後,在當每輪的體積平均顆粒直徑改變到達105 mPa‧s或較少同時進一步繼續分散(也就是說,當黏度改變到達105 mPa‧s/pass或較少時)那時,將120克在醋酸丙二醇單甲基醚酯中的分散劑1液體(顯示在下列)加入至該分散液體。
液體組成物:
-上述描述的分散劑1 30份
-醋酸丙二醇單甲基醚酯 70份
在加入液體(分散劑)後,進一步繼續10輪的分散處理。然後,當每輪的黏度改變再次到達55mPa‧s或更大或每輪的體積平均顆粒直徑改變再次到達10奈米或較少時的時間定義為鈦黑分散液體完成之時間。
以此方式製備鈦黑分散液體。所獲得的鈦黑分散液體之分散劑量對鈦黑量的比率(D/P;質量比率)為0.45。
評估1(團聚測試)
進行團聚測試,以評估所獲得的鈦黑分散液體之團聚性質。
藉由在通過所提供的期間前及後測量該分散液體的固體含量濃度來評估鈦黑之團聚性質。
更具體而言,稱出1克重的分散液體及在165℃下的烘箱中加熱60分鐘,然後藉由測量該分散液體在加熱後的量來測量固體含量之濃度。然後,藉由下列方程式計算固體含量的量:
固體含量的量(質量%)=(分散液體在加熱後之量/分散液體在加熱前之量)×100。
為了測量在通過所提供的時間後之固體含量,將該鈦黑分散液體放進50毫升樹脂容器中,然後讓其保持在室溫或在-5℃(冷儲存)下六個月。然後,從液體表面至深度1公分之上層液收集各別貯存的鈦黑分散液體5克,因此測量固體含量的量。評估結果顯示在表1中。
評估準則
A:固體含量的改變量少於3%。
B:固體含量的改變量為3%或更多及少於10%。
C:固體含量的改變量為10%或更多。
如顯示在表1中,在實施例之分散液體中,鈦黑的團聚被抑制。在實施例中,當藉由使用具有酸值50毫克KOH/克或更大的分散劑及藉由分批加入該分散劑(多段式分散處理)來製備時,顯示出改良團聚穩定性的效應。
感光性樹脂組成物之製備
混合下列組成物之組分以獲得感光性樹脂組成物。
感光性樹脂組成物
-上述製備的鈦黑分散液體(根據黏度改變製備的鈦黑分散液體) 50份
-六丙烯酸二新戊四醇酯(T-1;顯示在下列) 8份
-肟光聚合起始劑(K-1;顯示在下列) 5份
-樹脂(J-1;顯示在下列)(重量平均分子量(Mw)顯示在下列) 10份
-醋酸丙二醇單甲基醚酯 27份
評估2(隨著時間的穩定性)
藉由旋轉塗布方法將如上述製備的感光性樹脂組成物塗布到玻璃基材上,然後在120℃之加熱板上加熱產生物2分鐘,因此獲得感光層。隨後,使用i-線步繼器,各自獨立地以曝光量50毫焦耳/平方公分或200毫焦耳/平方公分讓該感光層曝露至光,因此獲得遮光膜。藉由光譜儀UV3600(商品名稱,由島津公司製造)測量所獲得的遮光膜在波長550奈米處之吸收度,及所獲得的吸收度定義為吸收度(i)。分別地,將如上述製備的感光性樹脂組成物放進100毫升玻璃容器中及密封,然後讓其保持在室溫下6個月。之後,從液體表面至深度2公分對該感光性樹脂組成物取樣。以類似於上述描述的方式,使用所取樣的感光性樹脂組成物形成遮光膜。測量該遮光膜的吸收度,及所獲得的吸收度定義為吸收度(ii)。根據吸收度(i)及吸收度(ii)來測量該感光性樹脂組成物在6個月儲存前及後的吸收度變化,及根據下列評估準則評估隨著時間的穩定性(儲存穩定性)。
評估準則
A:吸收度的改變量少於3%。
B:吸收度的改變量3%或更多及少於10%。
C:吸收度的改變量10%或更大。
遮光性彩色濾光片之製造 具有圖形化結構的基材之製造
在可商業購得的6英吋矽晶圓上塗布SR7200(商品名稱,由日立化學有限公司(Hitachi Chemical Co.,Ltd.)製造),以形成塗布膜。圖案樣曝光所獲得的塗布膜,然後顯影及在200℃下加熱30分鐘,因此形成圖形化結構。也就是說,獲得具有高度15微米與圖案尺寸300微米×300微米整齊安排的圖案結構之圖形化結構的基材。
遮光性彩色濾光片之製造
藉由旋轉塗布方法,將如上述獲得的感光性樹脂組成物塗布到上面已形成圖形化結構的基材表面上,然後在加熱板上於120℃下加熱所產生的組態2分鐘,因此獲得感光層。隨後,使用i-線步繼器,以此與如上述製造圖形化結構相應之方式形成圖案(也就是說,以此讓欲形成的圖案尺寸與如上述製造的圖形化結構相同之方式),各自獨立地以曝光量50毫焦耳/平方公分或200毫焦耳/平方公分讓該感光層曝露至光。讓經曝光的遮光膜接受使用0.3%氫氧化四甲基銨水溶液顯影,在23℃下攪拌60秒。之後,以旋轉淋浴沖洗產生物,然後以純水清洗,因此獲得具有膜厚2.0微米的遮光性彩色濾光片。在已圖形化的結構上形成該遮光性彩色濾光片。更特別是,藉由讓該遮光性彩色濾光片尺寸與該已圖形化的結構相配,及藉由在與該已圖形化的結構相同之位置處形成該遮光性彩色濾光片,將該遮光性彩色濾光片積層在該已圖形化的結構上。
評估3(分離)
在光學顯微鏡(×1000倍率)下觀察如上述獲得的遮光性彩色濾光片之分離存在與否,及根據下列評估準則評估。評估結果顯示在表1中。
評估準則
A:在以50毫焦耳/平方公分曝光形成的區域中無觀察到分離。
B:在以50毫焦耳/平方公分曝光形成的區域中觀察到分離,但是在以200毫焦耳/平方公分曝光形成的區域中無觀察到分離。
C:在以50毫焦耳/平方公分曝光形成的區域及以200毫焦耳/平方公分曝光形成的區域二者中皆觀察到分離。
實施例2至8及比較例1至9
使用與在實施例1中相同的方式來製備實施例2至7及比較例1至9之鈦黑分散液體、感光性樹脂組成物及遮光性彩色濾光片每種,除了在"鈦黑分散液體之製備"中所使用的分散劑1由顯示在表1中的每種分散劑取代,及該分散劑之批次加入方法(多段式分散處理)如顯示在表1中般改變外。然後,使用與在實施例1中相同的方式進行評估。評估結果顯示在表1中。
實施例9 鈦黑分散液體之製備
混合下列形成組分及使用珠磨機分散該混合物,因此獲得分散液體。
組成物:
-鈦黑(商品名稱:13M-T,由三菱材料製造) 29.4份
-上述描述的分散劑1 26.5份
-醋酸丙二醇單甲基醚酯(溶劑) 44.1份
使用超尖端研磨機UAM-015(商品名稱,由壽工業有限公司製造),在下列條件下分散所製備的分散液體。
分散條件:
-小珠直徑:Φ 0.05毫米
-小珠裝填體積:75體積%
-研磨轉動速度:12公尺/秒
-欲分散的混合液體量:680克
-循環速率(幫浦進料速率):13公斤/小時
-處理液體的溫度:25℃至30℃
-冷卻水:自來水
-珠磨機循環通過的內部體積:0.15升
在分散開始後,每一輪處理(每30分鐘)藉由黏度計RE-85(商品名稱,由東機產業有限公司製造)測量分散液體的黏度(在25℃下),同時在上述描述之條件下進行分散處理。於此實例中,黏度隨著分散時間(與輪數)減低,及黏度的改變量逐漸增加。在當黏度改變到達5mPa‧s或更大同時進一步繼續分散(也就是說,當黏度改變到達5 mPa‧s/pass或更大時)那時,將120克在醋酸丙二醇單甲基醚酯中的分散劑2液體(顯示在下列)加入至該分散液體。
亦分別地測量每輪處理該分散液體之體積平均顆粒直徑。於此實例中,該體積平均顆粒直徑隨著分散時間(與輪數)減少,及該體積平均顆粒直徑的改變量逐漸減少。然後,在當體積平均顆粒直徑改變每輪到達10 mPa‧s或較少同時進一步繼續分散(也就是說,當黏度改變到達10毫巴斯卡‧秒pass或較少時)那時,將120克在醋酸丙二醇單甲基醚酯中的分散劑2液體(顯示在下列)加入至該分散液體。
液體組成物:
-上述描述分散劑2 30份
-醋酸丙二醇單甲基醚酯 70份
在加入液體(分散劑)後,進一步繼續分散處理10輪。然後,當黏度改變每輪再次到達5毫巴斯卡‧秒或更大或體積平均顆粒直徑改變每輪再次到達10奈米或較少時的時間定義為鈦黑分散液體完成的時間。
以此方式,製備鈦黑分散液體。所獲得的鈦黑分散液體之分散劑的量對鈦黑的量之比率(D/P;質量比率)為0.45。
實施例10至12
使用與在實施例9中相同的方式來製備實施例10至12之鈦黑分散液體、感光性樹脂組成物及遮光性彩色濾光片每種,除了在"鈦黑分散液體之製備"中所使用的分散劑由顯示在表2中的每種分散劑取代,及如顯示在表2中般進行分散劑的批次加入方法(多段式分散處理)外。然後,使用與在實施例1中相同的方式進行評估。評估結果顯示在表2中。
如顯示在表1及2中,在實施例中,使用該鈦黑分散液體之感光性樹脂組成物具有優良隨著時間的儲存穩定性,及所形成的遮光性彩色濾光片與該感光性樹脂組成物之分離減少。
根據本發明,提供一種抑制鈦黑顆粒團聚、具有優良的分散穩定性之分散組成物及製造該分散組成物之方法。
本發明亦提供一種用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物,其可製造出具有優良的遮光能力之遮光性彩色濾光片及可防止遮光性彩色濾光片分離(甚至當在具有結構的基材上形成時),及提供一種製造該感光性樹脂組成物之方法。
本發明進一步提供一種抑制分離、具有優良的遮光能力之遮光性彩色濾光片,及製造該遮光性彩色濾光片的方法。
此外,本發明提供一種具有優良的顏色再現性與減低的雜訊之固態影像感測器。

Claims (12)

  1. 一種包含鈦黑、溶劑及分散劑之分散組成物之製法,其中該分散劑包含至少第一分散劑及第二分散劑,其中該方法包括:分散包含鈦黑、第一分散劑及溶劑的混合液體;及將第二分散劑加入至該已分散的混合液體並將它分散;其中該分散劑之至少一部分具有酸值50毫克KOH/克或更大,以及其中該第一分散劑與該第二分散劑為彼此相同或不同,其中該第一分散劑與該第二分散劑各自為包括下列式(1)至式(5)所示之結構單元至少其中之一的接枝共聚物 其中式(1)至式(5)中的X1 、X2 、X3 、X4 、X5 及X6 各自獨立地代表氫原子或單價有機基團,Y1 、Y2 、Y3 、Y4 及Y5 各自獨立地代表二價連結基團,Z1 、Z2 及Z5 各自獨立地代表氫原子或單價有機基團,Z3 及Z4 各自獨立地代表氫原子或具有5至24個碳原子之烷基,n、m、p、q及r各者各自獨立地代表從1至500的整數。
  2. 如申請專利範圍第1項之分散組成物之製法,其中包含該第一分散劑與該第二分散劑之該分散劑的總量(D)對鈦黑的量(P)之比率(D/P)(質量比率)從0.2至1.2。
  3. 如申請專利範圍第1項之分散組成物之製法,其中該分散劑的至少一部分為包含具有原子總數(除了氫原子外)從40至10,000之接枝鏈的接枝共聚物。
  4. 一種分散組成物,其係根據如申請專利範圍第1至3項中之任何一項之方法所製得。
  5. 一種用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物之製法,其中該組成物包含鈦黑、樹脂、可聚合的化合物、光聚合起始劑、溶劑及分散劑(其包含至少第一分散劑及第二分散劑),及該方法包括:分散包含鈦黑、第一分散劑及溶劑的混合液體;及將第二分散劑加入至該已分散的混合液體並將它分散;其中該分散劑的至少一部分具有酸值50毫克KOH/克或更大,其中該第一分散劑與該第二分散劑各自為包括下列 式(1)至式(5)所示之結構單元至少其中之一的接枝共聚物 其中式(1)至式(5)中的X1 、X2 、X3 、X4 、X5 及X6 各自獨立地代表氫原子或單價有機基團,Y1 、Y2 、Y3 、Y4 及Y5 各自獨立地代表二價連結基團,Z1 、Z2 及Z5 各自獨立地代表氫原子或單價有機基團,Z3 及Z4 各自獨立地代表氫原子或具有5至24個碳原子之烷基,n、m、p、q及r各者各自獨立地代表從1至500的整數。
  6. 如申請專利範圍第5項之用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物之製法,其中包含該第一分散劑與該第二分散劑之該分散劑的總量(D)對鈦黑的量(P)之比率(D/P)(質量比率)從0.2至1.2。
  7. 如申請專利範圍第5項之用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物之製法,其中該分散劑的至少一部分為包 含具有原子總數(除了氫原子外)從40至10,000之接枝鏈的接枝共聚物。
  8. 一種用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物,其根據如申請專利範圍第5至7項之任何一項之方法所製得。
  9. 一種如申請專利範圍第8項之用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物之使用方法,該方法包括製造用於固態影像感測器的彩色濾光片,其中該彩色濾光片包括該感光性樹脂組成物。
  10. 一種遮光性彩色濾光片之製法,該方法包括:將如申請專利範圍第8項之用於遮光性彩色濾光片的感光性樹脂組成物塗布到基材上,形成感光層;圖案樣曝光該感光層;及顯影該感光層,形成彩色圖案。
  11. 一種遮光性彩色濾光片,其根據如申請專利範圍第10項之方法而獲得。
  12. 一種固態影像感測器,其包含如申請專利範圍第11項之遮光性彩色濾光片。
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