DE2064080C3 - Lichtempfindliches Gemisch - Google Patents
Lichtempfindliches GemischInfo
- Publication number
- DE2064080C3 DE2064080C3 DE2064080A DE2064080A DE2064080C3 DE 2064080 C3 DE2064080 C3 DE 2064080C3 DE 2064080 A DE2064080 A DE 2064080A DE 2064080 A DE2064080 A DE 2064080A DE 2064080 C3 DE2064080 C3 DE 2064080C3
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- layer
- layers
- pbw
- etching
- exposed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims description 44
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 19
- 229920001897 terpolymer Polymers 0.000 claims description 18
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 24
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 20
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 19
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 14
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- -1 alkyl methacrylate Chemical compound 0.000 description 13
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 13
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 10
- 239000010408 film Substances 0.000 description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 9
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000011161 development Methods 0.000 description 8
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 8
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- MTRFEWTWIPAXLG-UHFFFAOYSA-N 9-phenylacridine Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=C(C=CC=C2)C2=NC2=CC=CC=C12 MTRFEWTWIPAXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 7
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 6
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 6
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 6
- JEGZRTMZYUDVBF-UHFFFAOYSA-N Benz[a]acridine Chemical compound C1=CC=C2C3=CC4=CC=CC=C4N=C3C=CC2=C1 JEGZRTMZYUDVBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- LNCPIMCVTKXXOY-UHFFFAOYSA-N hexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCOC(=O)C(C)=C LNCPIMCVTKXXOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 5
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 5
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OVOUKWFJRHALDD-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-acetyloxyethoxy)ethoxy]ethyl acetate Chemical compound CC(=O)OCCOCCOCCOC(C)=O OVOUKWFJRHALDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007644 letterpress printing Methods 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 4
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 4
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 3
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 3
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 3
- 150000002734 metacrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 3
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- YXIWHUQXZSMYRE-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzothiazole-2-thiol Chemical compound C1=CC=C2SC(S)=NC2=C1 YXIWHUQXZSMYRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JWTSVUUPJIIXTO-UHFFFAOYSA-N 1,5-bis[4-(dimethylamino)phenyl]penta-1,4-dien-3-one Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C=CC(=O)C=CC1=CC=C(N(C)C)C=C1 JWTSVUUPJIIXTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JOOXCMJARBKPKM-UHFFFAOYSA-N 4-oxopentanoic acid Chemical compound CC(=O)CCC(O)=O JOOXCMJARBKPKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HSZUHSXXAOWGQY-UHFFFAOYSA-N [2-methyl-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HSZUHSXXAOWGQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 2
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 2
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 2
- GTBGXKPAKVYEKJ-UHFFFAOYSA-N decyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCCCCCCOC(=O)C(C)=C GTBGXKPAKVYEKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 125000005397 methacrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 2
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 2
- 150000004702 methyl esters Chemical class 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 2
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 2
- 239000000244 polyoxyethylene sorbitan monooleate Substances 0.000 description 2
- 235000010482 polyoxyethylene sorbitan monooleate Nutrition 0.000 description 2
- 229920000053 polysorbate 80 Polymers 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 235000000346 sugar Nutrition 0.000 description 2
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 2
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002818 (Hydroxyethyl)methacrylate Polymers 0.000 description 1
- MSAHTMIQULFMRG-UHFFFAOYSA-N 1,2-diphenyl-2-propan-2-yloxyethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(OC(C)C)C(=O)C1=CC=CC=C1 MSAHTMIQULFMRG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YIIAWISOVOBFOP-UHFFFAOYSA-N 1,6-diisocyanatoheptane Chemical compound O=C=NC(C)CCCCCN=C=O YIIAWISOVOBFOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OOFNZXALWTXBKG-UHFFFAOYSA-N 10-methoxybenzo[a]phenazine Chemical compound C1=CC=C2C3=NC4=CC(OC)=CC=C4N=C3C=CC2=C1 OOFNZXALWTXBKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZMFZVJRDJVDKQN-UHFFFAOYSA-N 2,2,5,5-tetrakis(hydroxymethyl)cyclopentan-1-one Chemical compound OCC1(CO)CCC(CO)(CO)C1=O ZMFZVJRDJVDKQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-cyanopropan-2-yldiazenyl)-2-methylpropanenitrile Chemical compound N#CC(C)(C)N=NC(C)(C)C#N OZAIFHULBGXAKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GZMAAYIALGURDQ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-hexoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCCCOCCOCCO GZMAAYIALGURDQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLGDWWCZQDIASO-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-1-(7-oxabicyclo[4.1.0]hepta-1,3,5-trien-2-yl)-2-phenylethanone Chemical compound OC(C(=O)c1cccc2Oc12)c1ccccc1 NLGDWWCZQDIASO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FMWQYKDNAFZCNB-UHFFFAOYSA-N 9,10-dimethylbenzo[a]phenazine Chemical compound C1=CC=CC2=C(N=C3C(C=C(C(=C3)C)C)=N3)C3=CC=C21 FMWQYKDNAFZCNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQMCZRZPDPSXTD-UHFFFAOYSA-N 9-(4-methoxyphenyl)acridine Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1C1=C(C=CC=C2)C2=NC2=CC=CC=C12 MQMCZRZPDPSXTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VPLULAHPJPTIIO-UHFFFAOYSA-N 9-methylbenzo[a]phenazine Chemical compound C1=CC=C2C3=NC4=CC=C(C)C=C4N=C3C=CC2=C1 VPLULAHPJPTIIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N Methyl acrylate Chemical group COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002292 Nylon 6 Polymers 0.000 description 1
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 229920000388 Polyphosphate Polymers 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M Propionate Chemical compound CCC([O-])=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical class C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229920002472 Starch Polymers 0.000 description 1
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 1
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 1
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000009754 Vitis X bourquina Nutrition 0.000 description 1
- 235000012333 Vitis X labruscana Nutrition 0.000 description 1
- 240000006365 Vitis vinifera Species 0.000 description 1
- 235000014787 Vitis vinifera Nutrition 0.000 description 1
- ZYPHDVCHZLZXRM-UHFFFAOYSA-N [2-oxo-1,3,3-tris(prop-2-enoyloxymethyl)cyclopentyl]methyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC1(COC(=O)C=C)CCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)C1=O ZYPHDVCHZLZXRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N acetic acid trimethyl ester Natural products COC(C)=O KXKVLQRXCPHEJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001251 acridines Chemical class 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000001476 alcoholic effect Effects 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910000318 alkali metal phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052910 alkali metal silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005250 alkyl acrylate group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005907 alkyl ester group Chemical group 0.000 description 1
- 229940027998 antiseptic and disinfectant acridine derivative Drugs 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 1
- XSCHRSMBECNVNS-UHFFFAOYSA-N benzopyrazine Natural products N1=CC=NC2=CC=CC=C21 XSCHRSMBECNVNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical class CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001244 carboxylic acid anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000012876 carrier material Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 1
- 150000001991 dicarboxylic acids Chemical class 0.000 description 1
- WNAHIZMDSQCWRP-UHFFFAOYSA-N dodecane-1-thiol Chemical compound CCCCCCCCCCCCS WNAHIZMDSQCWRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol dimethacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOC(=O)C(C)=C STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 1
- 239000000852 hydrogen donor Substances 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 229940040102 levulinic acid Drugs 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 235000010981 methylcellulose Nutrition 0.000 description 1
- 101150087532 mitF gene Proteins 0.000 description 1
- CIXSDMKDSYXUMJ-UHFFFAOYSA-N n,n-diethylcyclohexanamine Chemical compound CCN(CC)C1CCCCC1 CIXSDMKDSYXUMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QBRHXTCIXTXYEV-UHFFFAOYSA-N n-acridin-9-ylacetamide Chemical compound C1=CC=C2C(NC(=O)C)=C(C=CC=C3)C3=NC2=C1 QBRHXTCIXTXYEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012074 organic phase Substances 0.000 description 1
- NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N p-methoxyphenol Chemical compound COC1=CC=C(O)C=C1 NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003208 petroleum Substances 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920000151 polyglycol Polymers 0.000 description 1
- 239000010695 polyglycol Substances 0.000 description 1
- 239000001205 polyphosphate Substances 0.000 description 1
- 235000011176 polyphosphates Nutrition 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 235000019422 polyvinyl alcohol Nutrition 0.000 description 1
- 229910000028 potassium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000015497 potassium bicarbonate Nutrition 0.000 description 1
- 239000011736 potassium bicarbonate Substances 0.000 description 1
- TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M potassium hydrogencarbonate Chemical compound [K+].OC([O-])=O TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000001397 quillaja saponaria molina bark Substances 0.000 description 1
- 125000002294 quinazolinyl group Chemical class N1=C(N=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 1
- 150000004053 quinones Chemical class 0.000 description 1
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 229930182490 saponin Natural products 0.000 description 1
- 150000007949 saponins Chemical class 0.000 description 1
- 235000017709 saponins Nutrition 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 1
- 229910052938 sodium sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011152 sodium sulphate Nutrition 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 235000019698 starch Nutrition 0.000 description 1
- 239000008107 starch Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008163 sugars Chemical class 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 1
- 238000005292 vacuum distillation Methods 0.000 description 1
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 description 1
- 239000001993 wax Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
- G03F7/032—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
- G03F7/033—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
- Y10S430/1053—Imaging affecting physical property or radiation sensitive material, or producing nonplanar or printing surface - process, composition, or product: radiation sensitive composition or product or process of making binder containing
- Y10S430/1055—Radiation sensitive composition or product or process of making
- Y10S430/106—Binder containing
- Y10S430/111—Polymer of unsaturated acid or ester
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S430/00—Radiation imagery chemistry: process, composition, or product thereof
- Y10S430/1053—Imaging affecting physical property or radiation sensitive material, or producing nonplanar or printing surface - process, composition, or product: radiation sensitive composition or product or process of making binder containing
- Y10S430/1055—Radiation sensitive composition or product or process of making
- Y10S430/114—Initiator containing
- Y10S430/117—Free radical
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Description
a) Methacrylsäure, _
b) Methylmethacrylat oder Äthylmethacrylat und
c) einem Alkylmethacrylat mit 4 bis 15 Kohlenstoffatomen in der Alkylgruppe
2. Lichtempfindliches Gemisch nach Anspruch 1 is
oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Mischpolymerisat eine Säurezahl von 100 bis 250 hat
3. Lichtempfindliches Gemisch nach Anspruch 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Gewichtsverhältnis der Komponente b) zur Komponente c)
zwischen 4 :1 und 1:10 liegt
4. Lichtempfindliches Gemisch nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet daß das Mischpolymerisat ein Molekulargewicht zwischen 20 000 und
200 000 hat
5. Lichtempfindliches Gemisch nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet daß die Komponente c) des
Terpolymerisats ein Alkylmethacrylat mit 5 bis 8 Kohlenstoffatomen in der Alkylgruppe ist
6. Lichtempfindliches Gemisch nach Anspruch 5, -to dadurch gekennzeichnet daß das Gewichtsverhältnis der Komponente b) zur Komponente c) 1 :2 bis
1 :8 beträgt
7. Lichtempfindliches Gemisch nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es in Form einer festen J5
Schicht auf einem metallischen Träger vorliegt
8. Lichtempfindliches Gemisch nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß es in Form einer festen
Schicht auf einem Träger aus Kupfer vorliegt
9. Lichtempfindliches Gemisch nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es in Form einer festen
Obertragbaren Schicht auf einem Zwischenträger aus Kunststoffolie vorliegt.
45
50
Die Erfindung betrifft ein lichtempfindliches Gemisch, das mindestens eine polymerisierbare Verbindung,
mindestens einen Photoinitiator und mindestens ein
Methacrylsäure-Alkylmethacrylat-Mischpolymerisat enthält
Bei der Anwendung photopolymerisierbarer Kopiermaterialien in der Reprographie, z. B. bei der photomechanischen Herstellung von Druckformen, werden im
allgemeinen solche Materialien bevorzugt, die sich nach der Belichtung mit vorwiegend wäßrigen, insbesondere bo
wäßrig-alkalischen Lösungen entwickeln lassen.
Wäßrige Lösungen haben gegenüber organischen Lösungsmitteln den Vorteil des geringen Preises, der
Ungefährlichkeit und insbesondere der physiologischen Unbedenklichkeit. Alkalische Lösungen haben den »>·>
weiteren Vorteil einer besonders guten Reinigungswirkung auf die Oberfläche vieler häufig verwendeter
Metallträger.
Kopierschichten, die wäßrig-alkalisch entwickelt werden können, sind bekannt Die gewünschte Eigenschaft wird im allgemeinen durch Zusatz von Bindemitteln erreicht die in wäßrig-alkalischen Lösungen löslich
oder mindestens quellbar sind. Hierfür werden im
wesentlichen Polymere verwendet die Carbonsäure-, Carbonsäureanhydrid- oder phenolische oder alkoholische Hydroxygruppen enthalten. Beispiele sind Celluloseester, z. B. von Dicarbonsäuren, und Mischpolymerisate von Acryl- bzw. Methacrylsäure mit den entsprechenden Methylestern. Kopierschichten mit solchen Polymerisaten als Bindemittel sind z. B. aus der DE-OS
19 15 571 bekannt
Derartige Kopierschichten haben sich für bestimmte Zwecke, z. B. für die Herstellung von Offsetdruckplatten
auf oberflächlich veredelten Aluminiumträgern, gut bewährt Bei Verwendung anderer Metalle als Träger,
z.B. Chrom, Messing und insbesondere Tupfer ist
jedoch die Haftung derartiger Schichten unzureichend. Das äußert sich darin, daß beim Entwickeln nicht nur die
unbelichteten, sondern auch die belichteten Schichtteile mindestens teilweise abgelöst werden.
Weitere Probleme ergeben sich, wenn die lichtempfindlichen Gemische zur Herstellung von Ätzresistschichten, z. B. bei der Herstellung von Mehrmetandruckplatten, Hoch- und Tiefdruckplatten, kopierten
Schaltungen und beim Formteilätzen, verwendet werden sollen. Hier muß die nach dem Entwickeln
verbliebene Restschicht als Ätzschutzschicht bzw. Ätzreserve vor dem Angriff des Ätzmittels schützen. Es
läßt sich in der Regel nicht vermeiden, daß das Ätzmittel im Verlauf der Ätzung auch unter die Ränder der
Ätzreserve eindringt daß also eine sogenannte Unterätzung stattfindet bei der nicht mehr vom Träger
gestützte Überhänge der Ätzreserve, auch als Resist· überhänge bezeichnet, entstehen. Oiese Überhänge sind
mechanisch besonders empfindlich und können z. B. beim Sprühätzen leicht abbrechen, wodurch das
Ätzmittel wieder Zugang zu neuen Teilen der Trägeroberfläche erhält Für diesen Anwendungszweck
hat es sich als besonders nachteilig erwiesen, daß die mit bekannten Bindemitteln hergestellten alkalisch entwikkelbaren Schichten verhältnismäßig spröde sind und
unter den geschilderten Umständen leicht abbrechen.
Man hat versucht diesem Übelstand durch Zusatz von Weichmacher zu der Photopolymerschicht zu
begegnen, jedoch wird dadurch die Haftung der Schichten im allgemeinen noch weiter verschlechtert
Auch wird dadurch eine andere unerwünschte Eigenschaft von Photopolymerschichten, die größere Anteile
an niedermolekularen Monomeren enthalten, nämlich die Neigung zur Klebrigkeit verstärkt
In dem SU-U; heberschein 1 90 211 werden photopolymerisierbare Gemische beschrieben, die als Bindemittel Mischpolymerisate von Acryl- oder Methacrylsäure
mit ihren Alkylestern mit 5 bis 8 C-Atomen im Alkylrest enthalten und zur Herstellung von Druckformen und
Reliefbildern verwendet werden. Diese Gemische sollen sich durch höhere Elastizität der lichtgehärteten Reliefbilder auszeichnen. Auch diese Gemische haben den
Nachteil, daß sie klebrig sind.
Auch in der US-PS 28 93 868 werden photopolymerisierbare Gemische beschrieben, die als Bindemittel z. B.
ein Mischpolymerisat aus Butylmethacrylat und Methacrylsäure und als Monomeres eine Verbindung mit basischen Gruppen enthalten. Diese Gemische neigen
ebenfalls zur Klebrigkeit.
ausgegeben von Philip Weiß, Elsener Publishing Company (1962), Seite 211, ist bekannt, daß die mechanische
Haftung von Methylmethacrylat/Alkylmethacrylat-Mischpolymerisaten mit 1 bis 18 C-Atomen in der Alkylgrappe an bestimmten Unterlagen mit steigender Länge
der Alkylgruppe, insbesondere bei 8 und mehr C-Atomen, zunimmt. Ein Rückschluß auf das Verhalten photopolymerisierbarer Gemische, die ähnliche, saure Mischpolymerisate enthalten, unter den Bedingungen der
Photoresistherstellung ist hieraus nicht möglich. ι ο
Schließlich sind auch bei den hauptsächlich als Bindemittel verwendeten Mischpolymerisaten von
Acryl- bzw. Methacrylsäure und ihren Methylestern einer Veränderung des Mischpolymerisationsverhältnisses dadurch Grenzen gesetzt, daß die Säurezahl dieser
Polymerisate in einem gewissen Bereich, etwa zwischen 150 und 250, liegen muß, um die gewünschte
Entwickelbarkeit mit wäßrigen Alkalien zu erreichen. Das gilt insbesondere für dickere Schichten, die für
stärkere Ätzbe.1 istungen vorgesehen sind, bzw. für
HochdruckscbicHien. Gerade solche Polymerisate sind
aber für viele Zwecke zu spröde und haften auf vielen Metallen, insbesondere auf Kupfer, nicht in auseichendem Maße.
Zwar sind auch Kopierroaterialien, die diesen
Anforderungen für Photoresistschichten auf Schichtträgem aus Kupfer genügen, aus der DE-OS 15 47812
bekannt Doch können diese Materialien wiederum nur mit organischen Lösungsmitteln entwickelt werden.
Aufgabe der Erfindung war es, ein lichtempfindliches Gemisch für die Herstellung photopolymerisierbarer
Kopiermaterialien bereitzustellen, die sich mit wäßrigalkalischen Lösungen ohne Unterwaschung der gehärteten Schichtteile entwickeln lassen und deren gehärtete
Kopierschichten flexibel sind und auf chichtträgern aus J5
Metallen, insbesondere aus Kupfer, gut haften.
Gegenstand der Erfindung ist ein lichtempfindliches
Gemisch, das mindestens eine polymerisierbar Verbindung, mindestens einen Photoinitiator und mindestens
ein Methacrylsäure-Alkylmethacrylat-Mischpolymerisat enthält Das erfindungsgemäße Gemisch ist dadurch
gekennzeichnet, daß es ein Terpolymerisat aus a) Methacrylsäure, b) Methylmethacrylat oder Äthylniethacrylat und c) einem Alkylmethacrylat mit 4 bis 15 Kohlenstoffatomen in der Alkylgruppe enthält.
Die mit den erfindungsgemäßen Gemischen erhaltenen Kopierschichten zeichnen sich dadurch aus, daß sie
nach dem Belichten eine ausgezeichnete Haftung auf metallischen Trägern aller Art und eine hohe Flexibilität
haben. Die unbelichteten, d. h. ungehärteten Schichtteile se lassen sich dagegen auch bei größeren Schichtdicken
mit wäßrig-alkalischtn Entwicklerlösungen leicht und vollständig entfernen, während die gehärteten Schichtteile auch bei längerer Einwirkung der Entwicklerlösungen nicht abgelöst werden, also eine gute Entwicklerre-
sistenz zeigen. Bei der bevorzugten Verwendung der Gemische zur Herstellung von Photoresistschichten, die
zu Ätzreserven belichtet und entwickelt werden, zeichnen sich die gehärteten Ätzresiste durch eine
hervorragende Ätzfestigkeit und Haftung auf den hierfür gebräuchlichen Trägern aus. Die Haftung fällt
insbsondere gegenüber Kupferoberflächen ins Gewicht, wie sie z. B. für die Herstellung von kopierten
Schaltungen, Mehrmetallplatten und Tiefdruckformen, gebraucht werden und bei denen die Haftung von
Photopolymerschichten bisher besonders problematisch war. Die Haftung der Schichten ist aber auch
gegenüber anderen Metallträgern, wie Chrom, Zink,
Beim Unterätzen der aus den erfindungsgemäßen Gemischen erhaltenen Ätzreserven entstehen feste,
flexible Resistüberhänge, die beim Besprühen mit Ätzlösung nicht abbrechen. Die Flexibilität der Kopierschicht ist aber nicht nur bei der Ätzung, sondern auch
bei anderen Anwendungszwecken, z. B, bei der Herstellung von OPset- oder Hochdruckformen, von Vorteil, da
hier beim Verbiegen der Druckform in einer spröden Schicht leicht Haarrisse entstehen können.
Das erfindungsgemäße lichtempfindliche Gemisch kann in bekannter Weise als Lösung oder Dispersion in
den Handel gebracht werden, die vom Verbraucher insbesondere zur Hersteüang von Ätzschutzschichten
ζ. B. für kopierte Schaltungen, zum Formteilätzen oder
für die Ätzung von Tiefdruckzylindern verwendet wird. Eine andere im wesentlichen für die gleichen Anwendungszwecke geeignete Konfektionierungsform ist das
sogenannte Trockenresistmaterial, das aus einer auf einem Zwischenträger befindlichen fertigen Photoresistschicht besteht, die vom Verbraucher auf die
gewünschte zu ätzende Unterlage aufkaschiert, dann belichtet und nach dem Abziehen des Zwischenträgers,
der zumeist aus einer Kunststoffolie besteht, entwickelt wird. Das erfindungsgemäße Gemisch eignet sich
besonders gut für diese Anwendungsform. Es kann aber auch in Form eine v-orsensibilisierten Kopiermaterials
auf einem geeigneten Träger, z. B. auf Aluminium oder Zink, für die photomechanische Herstellung von Offsetoder Hochdruckformen fabrikmäßig hergestellt werden. Es ist ferner zur Herstellung von Reliefbildern oder
Siebdruckschablonen geeignet
Während für viele Eigenschaften von Photopolymerschichten Bindemittel aus Acryl- und Methacrylsäureestern praktisch äquivalent sind, hat sich überraschenderweise gezeigt, daß für die erfindungsgemäß angestrebte gute Haftung der Kopierschichten praktisch nur
die Methacrylsäure bzw. ihre Ester geeignet sind. Auch ist aus den bisher bekannten Veröffentlichungen, z. B.
DE-AS 11 94 707, in denen Oinderwu.il für Photopolymerschichten aus höheren Alkylacrylaten bzw. -methacrylaten, z. B. Butylacrylaten, und anderen Säuremonomeren beschrieben sind, kein Hinweis zu entnehmen,
daß sich diese Mischpolymerisate in ihren Eigenschaften von solchen mit z. B. Methylacrylateinheiten unterscheiden.
Die Säurezahl der verwendeten Mischpolymerisate sollte etwa zwischen 100 und 250 liegen. Wenn stärkere
Schichten, z. B. vor mehr als etwa 20 μΐη, hergestellt
werden sollen, wird die Säurezahl vorzugsweise zwischen 150 und 250 eingestellt um eine genügend
rasche Entwicklung erreichen zu können.
in den bevorzugt verwendeten Terpolymerisaten liegt das Gewichtsverhältnis der Komponente b), die
vorzugsweise Methylmethacrylat ist, zur Komponente c) im allgemeinen zwischen 4:1 und 1:10. Das
Gewichtsverhältnis entspricht im wesentlichen dem Verhältnis der eingesetzten Monomeren, da sich die
Alkylmethacrylate in ihrer Poiymerisationsgeschwindigkeit nicht sehr unterscheiden. Das einpolymerisierte
Mengenverhältnis an Methacrylsäure kann jedoch von dem eingesetzten Monomerenverhältnis je nach den
Polymerisationsbedingungen stark abweichen, so daß hier genaue Aussagen nur über die Bestimmung der
Säurezahl möglich sind.
Von den höheren Alkylmethacryiaten werden als Mischmonomere bevorzugt diejenigen mit 5 bis 8
Kohlenstoffatomen in der Alkylgruppe, besonders
20
bevorzugt das Hexylmethacrylat verwendet Bei Verwendung derartiger Alkylmethacrylate in Kombination
mit Methylmethacrylat liegt das bevorzugte Verhältnis
der Komponenten b) und c) zwischen 1 :2 und 1 :8. Von
höheren Alkylmethacrylaten werden gewöhnlich kleinere Mengenanteile eingesetzt und umgekehrt
Die Molekulargewichte der Mischpolymerisate können in weiten Bereichen variieren. Im allgemeinen
sollten sie im Bereich von 20 000 bis 200 000 liegen.
Das erflndungsgernäße lichtempfindliche Gemisch
kann außer Monomeren, Photoinitiatoren und den beschriebenen Bindemitteln noch eine Reihe weiterer
Zusätze enthalten, z. B.:
Inhibitoren zur Verhinderung der thermischen Polymerisation, D
die sensitometrischen Eigenschaften derartiger Schichten modifizierende Stoffe,
gefärbt und ungefärbte Pigmente,
Diese Bestandteile sind zweckmäßig so auszuwählen,
daß sie in dem für den Initüerungsvorgang wichtigen aktinischen Wellenlängenbereich möglichst wenig absorbieren.
Als Photoinitiatoren in dem lichtempfindlichen Gemisch können eine Vielzahl von Substanzen Verwendung finden. Beispiele sind
Benzoin,
Benzoinäther,
Mehrkernchinone, z. B.
2-ÄthyI-anthrachinon,
9-Phenyl-acridin,
9-p-MethoxyphenyI-acridin,
9-Acetylaminoacridin,
9,10-Dimethyl-benz(a)phenazin,
9-Methyl-benz(a)phenazin,
10-Mcthoxy-benz(a)phenazin; Chinoxalinderivate, z. B.
6,4',4"-Trimethoxy-2^-diphenyI-chinoxalsn,
4',4"-Dimethoxy-23-diphenyl-5-aza-chinoxaIin; Chinazolinderivate.
Für das erfindungsgemäße Gemisch geeignete photopolvmerisierbare Monomere sind bekannt und z. B. in
den US-PS 27 60 863 und 30 60 023 beschrieben. Beispiele sind Acryl- und Methacrylsäureester, wie
Diglycerindiacrylat Polyäthylenglykoldimethacrylat, Acrylate und Methacrylate von Trimetholäthan, Trimethylolpropan und Pentaerythrit und von mehrwertigen
Acyclischen Alkoholen. Besonders vorteilhaft werden Umsetzungsprodukte von Diirocyanaten und Partialestern mehrwertiger Alkohole, wie sie oben erwähnt
wurden, eingesetzt. Derartige Monomere sind in der gleichzeitig eingereichten Patentanmeldung DE-OS
20 64 079 beschrieben. Generell werden die Methacrylate gegenüber den Acrylaten bevorzugt.
Das erfindungsgemäße Gemisch kann neben den Mischpolymerisaten auch in kleinerer Menge andere
Bindemittel, z. B. solche, die in wäßrigem Alkali nicht löslich sind, enthalten. Allerdings ist hier darauf tu
achten, daß durch de,-artige Zusätze die durch die oben
beschriebenen Mischpolymerisate erzielten Vorteile nicht zu sehr beeinträchtigt werden.
Obwohl die mit den erfindungsgemäßen Gemischen
erhaltenen photopolymerisierbaren Kopiermaterialien verhältnismäßig unempfindlich gegenüber Luftsauerstoff sind, ist es in vielen Fällen vorteilhaft die
Materialien während der Lichtpolymerisation dem Einfluß des Luftsauerstoffes weitgehend zu entziehen.
Im Fall der Anwendung in Form vorsensibilisierter Kopiermaterialien ist es empfehlenswert, einen geeigneten, für Sauerstoff wenig durchlässigen Deckfilm
aufzubringen. Dieser kann selbsttragend sein und vor der Entwicklung der Kopierschicht abgezogen werden
oder vorzugsweise aus einem Material bestehen, das sich in der Entwicklerflüssigkeit löst oder mindestens an
den nicht gehärteten Stellen bei der Entwicklung entfernen läßt Hierfür geeignete Materialien sind z. B.
Wachse, Polyvinylalkohol, PoIj phosphate und Zucker.
Wenn das Gemisch als übertragbare Photoresistschicht auf einem Zwischenträger vorliegt, kann diese vorteilhaft auch auf der anderen Schic' .seite mit einer dünnen,
abziehbaren Schutzfolie, z. B. au» Polyäthylen, bedeckt
sein.
Als Träger für mit dem erfindungsgemäßen Gemisch hergestellte Kopiermaterialien sind beispielsweise Alumimium, Stahl, Zink, Kupfer und Kunststoff-Folie, z. B.
aus Polyäthylenterephthalat oder Celluloseacetat, sowie
Siebdruckträger, wie Perlongaze, geeignet Die Trägeroberfläche kann chemisch oder mechanisch vorbehandelt werden, um die Haftung der Schicht richtig
einzustellen bzw. das Reflexionsvermögen des Trägers im aktinischen Bereich der Kopierschicht herabzusetzen (Lichthofschutz).
Die Herstellung der lichtempfindlichen Materialien erfolgt in bekannter Weise. So kann man das
lichtempfindliche Gemisch in einem Lösungsmittel aufnehmen und die Lösung bzw. Dispersion durch
Gießen, Sprühen, Tauchen oder Antrag mit Walzen auf den vorgesehenen Träger als Flirr, an ragen und
anschließend antrocknen. Dicke Schichten (z. B. von 250 μπι und darüber) kann man durch Extrudieren oder
Verpressen als selbsttragende Folie herstellen, welche dann auf den Träger laminiert wird.
Die Kopierschichten werden in bekannter Weise belichtet und entwickelt Als Entwickler sind vorzugsweise wäßrig-alkalische Lösungen, z. B. von Alkaliphosphaten oder Alkalisilikaten, geeignet denen gegebenenfalls kleine Mengen an mischbaren organischen
Lösungsmitteln zugesetzt weiden können.
Die erfindungsgemäßen Gemische lassen sich, wie oben erwähnt für die verschiedensten Anwendungsgebiete einsetzen. Mit besonderem Vorteil werden sie zur
Herstellung von Photoresist- bzw. Ätzschutzschichten i'tf metallischen Trägern verwendet Vor allem sind sie
zur Anwendung auf Trägern aus Kupfer geeignet wie sie z. B. zur He. stellung von kopierten Schaltungen, von
Tiefdruckformen und von Mehrmeiall-Offsetdruckformen verwendet werden. Die ausgezeichnete Haftung
und Flexibilität der belichteten Schichtteile bewähr, sich
vor allem bei desen bevorzugten Anwendungsformen.
Die Gemische lassen sich besonders gut in der Form
sogenannter Trockenresistmaterialien, wia sie oben
erwähnt wurden, einsetzen und handhaben, da sie sich auch trocken zu gut haftenden Schichten auf Metallträger übertragen lassen. In diesem Fall sind als
transparente Zwischenträgerfolien besonders Polyesterfolien geeignet
rungsformen des erfindungsgemäßen lichtempfindlichen Gemischs. Wenn nichts anderes angegeben ist, sind
Prozentzahlen und Mengenverhältnisse in Gewichtseinheiten angegeben. Als Gewichtsteil (Gt.) ist 1 g zu
setzen, wenn als Volumteil (Vt.) 1 ml gewählt wird. Die
> Gewichtsanteile der Monomeren in den Mischpolymerisaten sind die bei der Polymerisation eingesetzten
Mengen.
Eine für die Herstellung gedruckter Schaltungen, autotypischer Tiefdruckformen und für das Formteilätzen geeignete Photoresistlösung wird aus folgenden
Bestandteilen hergestellt: ι >
2,8Gt. eines Terpolymerisats aus Methylmethacrylat, n-Hexylmethacrylat und Methacrylsäure
(75 :375 :90) mit der Säurezahl 209,
2,8 Ut. des unten beschriebenen Monomeren, 1()
0,2 Gt. 9-Phenyl-acridin,
0,25 Gt. Triäthylenglykoldiacetat,
0,03 Gt Tri-[4-(3-methyl-phenylamino)-phenyl]-
methylacetat,
30 Vt Äthylenglykolmonoäthyläther. ,.
Die Lösung wird durch Tauchen oder Aufschleudern zu Schichtdicken von 3 bis 10 μπι, vorzugsweise 5 μιτι,
(trocken) auf eine mit einer 35 μπι starken Kupferfolie
kaschierte Platte aus Phenoplast-Schichtstoff aufgebracht und 2 Minuten bei 10O0C getrocknet v>
Das verwendete Photomonomere wird wie folgt hergestellt:
In einem Dreihalskolben mit Rührer, Rückflußkühler
und Trockenrohr werden 6750 Vt. trockenes Benzol, 1170Gt Hydroxyäthylmethacrylat, 945Gt 2,2,4-Tri- i;
methyl-hexamethylendiisocyanat und 4,5 Gt Diäthylcyclohexylamin unter Zugabe von 45Gt Kupferpulver
4 Stunden zu leichtem Sieden erhitzt Nach dem Abkühlen wird das Kupfer abfiltriert und die Benzollösung 2 χ mit je 1000 Vt gesättigter NaCl-Lösung und
Ix mit Wasser ausgeschüttelt Nun werden 10,5Gt.
Hydrochinonmonornethyläthcr zur Genzollosung gegeben und das Benzol in Einzelportionen im Rotationsvakuum verfampfer bei 500C abgezogen.
Das verwendete Terpolymerisat wird wie folgt hergestellt: In einem Dreihalskolben mit Rückflußkühler, Rührer und Gaseinleitungsrohr werden unter
Einleiten von Stickstoff 75 Gt Methylmethacrylat, 375 Gt n-Hexylmethacrylat und 90 Gt Methacrylsäure
in 3000Vt Benzin vom Siedepunkt 100— 1400C mit 6Gt Azodiisobutyronitril als Initiator und 2Gt
n-Dodecylmercaptan als Regler bei 8O0C 7 Stunden
polymerisiert Nach Abkühlen der Mischung wird das ausgefallene Polymerisat abfiltriert und mit kleinen
Portionen Leichtbenzin nachgewaschen. Das Produkt wird im Vakuumtrockenschrank bei 500C getrocknet
Ausbeute: 267 g
Säurezahl: 209
Die reduzierte spezifische Viskosität einer l%igen
Lösung des Terpolymerisats in Äthylenglykolmonoäthyläther (RS V-Wert) beträgt 2^8 mitf/i
Die Schicht wird mit einem Xenon-Kopiergerät im Abstand von 80 cm zwischen Lampe und Kopierrahmen
1 Minute unter einer kombinierten Negatiworlage,
bestehend aus einem 21stufigen Halbton-Graukeil, dessen Dichteumfang 0,05—3,05 mit Dichteinkrementen
von 0,15 beträgt, und 60er und 120er Strich- und
Die belichtete Kopierschicht wird mit einem wäßrigalkalischen Entwickler entwickelt, der die folgende
Zusammensetzung und den pH-Wert 113 besitzt:
1000 Gt. Wasser, 15Gt. Natriummetasiükatnonahydrat, 3 Gt. Polyglykol 6000, 0,6 Gt. Lävulinsäure, 0,3 Gt.
Strontiumhvdroxidoctahvdrat. Die Platte wird mit dem Entwickler 30 bis 60 Sekunden überwischt und mit
Wasser danach abgespült. Dann wird mit l%iger Phosphorsäure fixiert und abschließend mit schwarzer
Fettfarbe eingefärbt.
Man erhält eine ausgezeichnet haftende Ätzreserve mit sehr guter Auflösung. Die Entwicklerresistenz ist so
gut, daß bei der lOfachen Entwicklungszeit noch keinerlei Angriff des Entwicklers auf die Ätzreserve
beobachtet werden kann. Die nach dem Entwickeln freigelegten Kupferoberflächen werden bei 420C mit
einer FeClj-Lösung von 42° Be geätzt. Die Ätzzeit
heträgt etwa 45 Sekunden. Die Ätzresisten7 der
Resistschicht ist ausgezeichnet, bei Überätzungen werden gut flexible, nicht abbrechende Resistübcrhänge
erhalten. Unter den beschriebenen Bedingungen werden 9 voll ausgehärtete Keilstufen erhalten.
Statt des oben verwendeten polymeren Bindemittels können auch gleiche Mengen eines Terpolymerisats aus
Methylmethacrylat, n-Butyimethacrylat und Methacrylsäure (75 :375 :90) mit der Säurezahl 198 oder eines
Terpolymc'isats aus Methylmethacrylat, Decylmethacrylat und Methacrylsäure (75:375:90) mit der
Säurezahl 170 verwendet werden. Bei gleicher Verarbeitung wie oben werden in jedem Fall 9 voll
ausbelichtete Keilstufen erhalten.
Die beschriebene Ätzschutzschicht zeigt neben den genannten guten Eigenschaften auch gute Galvanoresistenz in stark sauren (pH unterhalb 1) Metallbädern,
z. B. im Glanzzinnbad, dem Blei/Zinn-Bad und dem Feinkornkupferplasticbad und dem Goldbad. Zu erwähnen ist ferner die ausgezeichnete Lagerfähigkeit dieser
Photoresistlösung, die noch durch Zusatz von radikalischen Inhibitoren verbessert werden kann.
Das oben beschriebene flüssige lichtempfindliche Gemisch kann auch als Trockenresisi verwendet
werden, wenn man es wie in Beispiel 2 verarbeitet Als Trockenresist zeigt die genannte Mischung ähnlich gute
Eigenschaften.
Beispiel 2
Eine Lösung von
8,4 Gt. eines Terpolymerisats aus Methylmethacrylat n-Hexylmethacrylat und Methacrylsäure
(25 :125 :30) mit der Säurezahl 202,
8,4 Gt des in Beispiel 1 verwendeten Monomeren,
03Gt 1,2-Benzacridin,
0,75 Gt Triäthylenglykoldiacetat
03 Gt Polyoxyäthylensorbitanmonooleat
0,12 Gt des in Beispiel I verwendeten Farbstoffs in
60 Vt Äthylenglykolmonoäthyläther
wird auf biaxial verstreckte Polyäthylenterephthalatfo-Iie von 25 μπι Stärke aufgeschleudert, so daß nach 2
Minuten Trocknen bei 10O0C eine Schichtdicke von 10 μπι erhalten wird. Man erhält einen Trockenresistfilm von ausgezeichneter Flexibilität und bei Raumtemperatur kJebefreier Oberfläche, Der Trockenresist wird
mit einem Laminator bei 1300C auf eine mit 35 μπι
starker Kupferfolie kaschierte Phenoplast-Schichtstoffplatte aufkaschiert, 1 Minute mit einer 5 kW Xenon-Punktlichtlampe belichtet und nach dem Abziehen der
Polyesterfolie wie in Beispiel I entwickelt. Die Ätzreserve besitzt ähnlich gute Eigenschaften in bezug
auf fintwicklerresistenz, Ätzresistenz und Galvanoresistenz, wie sie in Beispiel 1 beschrieben wurden.
Erhaltene Keilstufen: 8. Ί
Auch hier wird eine ausgezeichnete Lagerfähigkeit des
richtempfindlichen Trockenresistmaterials beobachtet.
Be is pi el 3 in
Eine Lösung von
2,8 Gt. des in Beispiel 2 verwendeten Terpolymerisats,
2,8 Gt. des in Beispiel 2 verwendeten Terpolymerisats,
2.8 Gt. des in Beispiel I verwendeten Monomeren,
0.5Gt. Diäthylenglykolmonohexyläther, 1^
0.5Gt. Diäthylenglykolmonohexyläther, 1^
0,03 Gt. des in Beispiel I verwendeten Farbstoffs,
0,025Gt. 9-Phenyl-acridin in
12 Vt. Äthylenglykolmonoäthyläther
0,025Gt. 9-Phenyl-acridin in
12 Vt. Äthylenglykolmonoäthyläther
wird auf Polyäthylenterephthalatfolie von 25 μπι Stärke ;o
so aufgeschleudert, daß nach dem Trocknen (8 Minuten Fön, 3 Minuten bei 1000C im Trockenschrank) eine
Schichtdicke von 25 μητι erhalten wird. Die Trockenresistfolie
wird wie in Beispiel 2 beschrieben auf eine mit
Kupfer kaschierte Schichtstoffplatte aufkaschiert. Man erhält nach 2 Minuten Entwickeln ein sauber aufentwikkeltes
Bild der Vorlage. Die Entwicklerresistenz und Ätzresistenz sowie alle in Beispiel 1 und 2 beschriebenen
Eigenschaften sind ausgezeichnet.
Erhaltene Keilstufen:8. J0
Diese Mischung kann auch zu höheren Schichtdicken (35, 60 und 120 μπι) verarbeitet und als Trockenresist
verwendet werden.
35
Eine Beschichtungsiösung wird aus
2,8 Gt. Trimethyloläthantriacrylat,
2,8Gl eines Terpolymerisats aus 150Gt. Methylmethacrylat 750 Gt. n-Hexylmethacrylat und 300Gl Methacrylsäure mit der Säurezahl 161,
2,8 Gt. Trimethyloläthantriacrylat,
2,8Gl eines Terpolymerisats aus 150Gt. Methylmethacrylat 750 Gt. n-Hexylmethacrylat und 300Gl Methacrylsäure mit der Säurezahl 161,
0,1 Gt. 9-Phenyl-acridin,
0,02 Gl Bis-(p-dimethylamino-benzal)-aceton, 0,03 Gt. des in Beispiel 1 verwendeten Farbstoffs und
30,0 Vl Äthylenglykolmonoäthyläther
hergestellt und auf eine Messing/Chrom-Bimetallplatte aufgeschleudert und getrocknet. Danach wird 1 Minute so
unter einer Positivvorlage wie in Beispiel 1 beschrieben belichtet und entwickelL Das freigelegte Chrom wird
mit einer Lösung von 17,4% CaCl2.353% ZnCl2, 2,1%
HCl und 45,2% Wasser innerhalb von etwa 2 Minuten weggeätzt und die Ätzreserve mit Äthylenglykolmonoäthyläther/Aceton
entfernL Anschließend wird mit l%iger Phosphorsäure überwischt und mit Fettfarbe
eingefärbL
Statt des oben angegebenen Bindemittels kann auch die gleiche Menge eines Terpolymerisats aus 200 g
Methylmethacrylat, 100 g Decylmethacrylat und 120 g
Methacrylsäure mit der Säurezahl 203 eingesetzt werden, wobei ähnliche Ergebnisse erzielt werden.
Wenn man statt der angegebenen Bindemittel die gleiche Menge eines Mischpolymerisats aus Methylmethacrylat
und Methacrylsäure mit der Säurezahi 188,5 einsetzt erhält man eine auf Chrom nicht
ausreichend haftende Kopierschicht Beispiel 5
Eine Lösung von
Eine Lösung von
2,8 Gt. des in Beispiel 2 verwendeten Terpolymerisats,
2,8 Gt. des in Beispiel I verwendeten Monomeren, 0,12Gt. 1,2-Benzacridin.
0,1 Gt. Mercaptobenzthiazol
0,25 Gt. Triäthylenglykoldiacetat und 0,04 Gt. des in Beispiel 1 verwendeten Farbstoffs
0,1 Gt. Mercaptobenzthiazol
0,25 Gt. Triäthylenglykoldiacetat und 0,04 Gt. des in Beispiel 1 verwendeten Farbstoffs
in 20 Vt. Äthylenglykolmonoäthylälher wird durch Filtrieren von etwa auftretenden ungelösten Anteilen
gereinigt. Danach wird die Beschichtungsiösung auf die unten angegebenen Träger aufgeschleudert. Die erhaltenen
Platten werden 2 Minuten bei 100°C im Trockenschrank getrocknet, das Schichtgewicht beträgt
zwischen 4 und 10 g/m2.
Die Schicht wird, wip in Beispiel 1 beschrieben,
belichtet und entwickelt. Dann wird mit l%iger Phosphorsäure fixiert und abschließend mit schwarzer
Fettfarbe eingefärbt.
Als Trägermaterial wird verwendet:
a) mit Drahtbürsten aufgerauhtes Aluminium,
b) elektrolytisch aufgerauhtes und anodisiertes Aluminium mit 3 g Oxid/m2, γ
c) Chromblech, ff
d) Stahlblech. &
e) Stahlblech, verzinnt. f
Auf allen Trägermaterialien wird eine gute Haftung \
der Fotopolymerschicht erzielt. Die Aufentwicklung der |· Nichtbildsteilen ist sauber durchführbar, so daß selbst \
die feinen Lichtpunkte des 120er-Rasters einwandfrei £
abgebildet sind. \.
Die relative Lichtempfindlichkeit der wie oben| belichteten Platten beträgt bei den Trägern a), c), d) und i
e) 5 bis 6 Keilstufen, bei dem stärker veredelten Träger! b) 7 bis 8 Keilstufen. {
Die so erhaltenen Druckplatten sind direkt für den ^.
Offsetdruck verwendbar. %
Wie aus dem Beispiel hervorgeht, ist es nicht nötig,!
eine Sauerstoffbarriereschicht auf die Kopierschicht| aufzubringen. Bringt man trotzdem eine Deckschicht^
aus Zucker, Methylcellulose und Saponin (2:1 :0,15)| aus einer Lösung in 96,85 Gt. Wasser auf, dann erhält;;
man im Durchschnitt zwei bis drei Keilstufen mehr. i
Die Kopierschichten besitzen mit und ohne Deck-ί
schicht nichtklebrige, griffeste Oberflächen. Die ent-l Wicklerresistenz dieser Schichten ist sehr guL #
Die Flachdruckplatten liefern im Offsetdruck mehr? als 100 000 einwandfreie Drucke. Die Lagerfähigkeit;
der Kopierschicht ist ausgezeichnet. ^
Eine Lösung von &
1.4Gt Trimethyloläthantriacrylat g
1,4 Gt des in Beispiel 4 verwendeten Terpolymers
sats mit der Säurezahl 161,
0,05 Gl 9-Phenyl-acridin,
0,01 Gl Bis-{p-dimethylamino-benzal)-acetonund
0,015 Gt. des in Beispiel 1 verwendeten Farbstoffs in 15,0 Vl Äthylenglykolmonoäthyläther
wird wie in Beispiel 5 auf elektrolytisch aufgerauhte; und anodisiertes Aluminium mit 3 g Oxid je nv
aufgebracht und getrocknet Die Schicht wird wie ir Beispiel 1 belichtet und entwickelt Es werden 7 \o\
ausbelichtete und zusätzlich eine erkennbare Keilstufe erhalten.
Anstelle des genannten Bindemittels kann auch die gleiche Menge des in Beispiel 4 angegebenen Terpolymerisats
mit der Säurezahl 203 verwendet werden. Es werden 6 volle und eine erkennbare Keilstufe erhalten.
Γ e i s ρ i e I 7
Eine Lösung von
to
1,4 Gt. 2,2,5,5-Tetra-acryloxymethylcyclopentanon.
1.4 Gt. des in Beispiel 4 verwendeten Terpolymeri-
sats mit der Säurezahl 161, 0,05 Gt. 9-Phenyl-acridin,
0,015 Gt. des in Beispiel I verwendeten Farbstoffs und
15.0 Vt. Äthylenglykolmonoäthyläther
wird wie in Beispiel 5 auf elektrolytisch aufgrauhtes und anodisiertes Aluminium mit 3 g Oxid je m2 aufgebracht
und getrocknet. fcs wird 1 Minute unter einer Negativvorlage mit der in Beispiel 2 angegebenen
Lichtquelle belichtet und wie in Beispiel 1 entwickelt.
Erhaltene Keilstufen: 4(6).
Das verwendete Monomere wird wie folgt hergestelit:
In einem Dreihalskolben mit Rührer, Wasserabscheider
und Rückflußkühler werden
10Gt.
6Gt.
1.0Gt.
0,06 Gt.
1.0Gt.
0,06 Gt.
des in Beispiel 2 verwendeten Terpolymeri-
sats,
des in Beispiel 1 verwendeten Monomeren,
Triäthylenglykoldiacetat,
Benzoinisopropyläther.
200 Gt. 2,2,5,5-Tetra-hydroxymethyl-cyclopentanon,
430 Gt. Acrylsäure, J0
600 Gt. Benzol,
10Gt konz. Schwefelsäure,
2 Gt. Kupfer-I-oxid
vorgelegt und die Mischung unter Rühren am Rückfluß erhitzt. In etwa 3—5 Stunden ist die berechnete
Wassermenge azeotrop abgeschieden. Nach dem Erkalten des Reaktionsgemisches wird der Säureüberschuß
durch Waschen mit 10—20%iger Natriumchlorid-Lösung
und anschließend mit 15—25%iger Kaliumbicarbonat-Lösung
entfernt. Nach Abscheiden und Trocknen der organischen Phase mit Natriumsulfat wird'
diese unter Zusatz von 5 Gt. p-Methoxyphenol durch Vakuumdestillation vom Benzol befreit. Als Rückstand
resultiert der gesuchte Tetraester des Polyalkohols in einer Ausbeute von 90% d. Th.
Eine für den Buchdruck geeignete Druckfolie wird aus folgenden Bestandteilen hergestellt: M
Die Komponenten werden in 25 ml Äthylenglykolmonoäthyläther gelöst, und die Lösung wird auf einen
waagerecht gelagerten elektrolytischen aufgerauhten und eloxierten Aluminiumträger gegossen und gut
trocknen gelassen. Die trockene etwa 1 mm dicke Schicht wird unter einer kombinierten Strichraster-Schriftvorlage
mit einem Röhrenbelichtungsgerät mit eng aneinanderliegenden Leuchtstoffröhren im Abstand
von 5 cm 10 Minuten lang belichtet. Entwickelt wird mit einem wäßrig-alkalischen Entwickler, wie er in Beispiel
1 beschrieben ist. Nach etwa 15 bis 20 Minuten leichtem Reiben der belichteten Folie mit einem Pinsel im
Entwicklerbad wird ein konturenscharfes Relief mit einer Relieftiefe von 0,5 mm und einer Auflösung bis zu
56 Linien/cm erhalten.
Eine Hochdruckplatte wird durch Beschichtung einer Einstufen-Zinkätzplatte mit einer Ätzresistschicht hergestellt.
Die Ätzresistschicht hat folgende Zusammensetzung:
2,8 Gt. des in Beispiel 1 verwendeten Terpolymeri-
sats mit der Säurezahl 209.
2,8 Gt des in Beispiel 1 verwendeten Monomeren,
0,1 Gt 9-Phenyl-acridin,
0,1 Gt Polyoxyäthylensorbitanmonooleat,
0,04 Gt des in Beispiel 1 verwendeten Farbstoffs,
13,0 Gt Äthylenglykolmonoäthyläther.
Die Lösung wird nach Filtration auf die Zinkplatte aufgeschleudert.
Belichtet wird 1,5 Minuten mil der in Beispiel 2 angegebenen Lichtquelle unter einer Strichrastervorlage
mit beigelegtem Stufenkeil. Nach 1 Minute Entwikkeln mit dem in Beispiel 1 beschriebenen Entwickler
wird ein einwandfreies Bild der Vorlage erhalten.
Erhaltene Keilstufen: 6.
Zur Herstellung einer Hochdruckform wird die freigelegte Zinkoberfläche 5 Minuten bei Raumtemperatur
mit 6%iger Salpetersäure geätzt Parallelversuche mit einer Einstufen-Ätzmaschine mit 6%iger Salpetersäure
bei 27° C lieferten nach 30 Minuten ebenso wie oben Druckformen, die für den Buchdruck geeignet sind.
Claims (1)
1. Lichtempfindliches Gemisch, das mindestens eine polymerisierbare Verbindung, mindestens einen
Photoinitiator und mindestens ein Methacrylsäure- > Alkylmethacrylat-Mischpolymerisat enthält, d a -durch gekennzeichnet, daß das Mischpolymerisat ein Terpolymerisat aus
Priority Applications (15)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE2064080A DE2064080C3 (de) | 1970-12-28 | 1970-12-28 | Lichtempfindliches Gemisch |
| NLAANVRAGE7117375,A NL169522C (nl) | 1970-12-28 | 1971-12-17 | Werkwijze voor het bereiden van een fotopolymeriseerbare kopieermassa, alsmede gevormd voortbrengsel vervaardigd onder toepassing van een aldus bereide kopieermassa. |
| IT54960/71A IT945617B (it) | 1970-12-28 | 1971-12-23 | Massa di copiatura fotopolimeriz zabile |
| GB6006971A GB1379229A (en) | 1970-12-28 | 1971-12-23 | Photopolymerizable copying compositions |
| CH1883771A CH566575A5 (de) | 1970-12-28 | 1971-12-23 | |
| CA131,106A CA960901A (en) | 1970-12-28 | 1971-12-24 | A photopolymerizable copying composition |
| SU1728952A SU490301A3 (ru) | 1970-12-28 | 1971-12-24 | Фотополимеризующа с копировальна масса |
| SE7116622A SE373958B (de) | 1970-12-28 | 1971-12-27 | |
| BR8580/71A BR7108580D0 (pt) | 1970-12-28 | 1971-12-27 | Composicao copiadora fotopolimerizavel |
| US00212668A US3804631A (en) | 1970-12-28 | 1971-12-27 | Photopolymerizable copying composition |
| AT1114271A AT321712B (de) | 1970-12-28 | 1971-12-27 | Photopolymerisierbare Kopiermasse |
| JP47003921A JPS4845227A (de) | 1970-12-28 | 1971-12-28 | |
| FR717146945A FR2120054B1 (de) | 1970-12-28 | 1971-12-28 | |
| JP723921A JPS5434327B1 (de) | 1970-12-28 | 1971-12-28 | |
| BE777420A BE777420A (fr) | 1970-12-28 | 1971-12-28 | Matiere a copier photopolymerisable |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE2064080A DE2064080C3 (de) | 1970-12-28 | 1970-12-28 | Lichtempfindliches Gemisch |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2064080A1 DE2064080A1 (de) | 1972-07-06 |
| DE2064080B2 DE2064080B2 (de) | 1979-01-04 |
| DE2064080C3 true DE2064080C3 (de) | 1983-11-03 |
Family
ID=5792364
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE2064080A Expired DE2064080C3 (de) | 1970-12-28 | 1970-12-28 | Lichtempfindliches Gemisch |
Country Status (14)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US3804631A (de) |
| JP (2) | JPS5434327B1 (de) |
| AT (1) | AT321712B (de) |
| BE (1) | BE777420A (de) |
| BR (1) | BR7108580D0 (de) |
| CA (1) | CA960901A (de) |
| CH (1) | CH566575A5 (de) |
| DE (1) | DE2064080C3 (de) |
| FR (1) | FR2120054B1 (de) |
| GB (1) | GB1379229A (de) |
| IT (1) | IT945617B (de) |
| NL (1) | NL169522C (de) |
| SE (1) | SE373958B (de) |
| SU (1) | SU490301A3 (de) |
Families Citing this family (171)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1410697A (en) * | 1973-10-26 | 1975-10-22 | Ucb Sa | Olefinically-usaturated organic polymers |
| US3959100A (en) * | 1973-11-08 | 1976-05-25 | Scm Corporation | Photopolymerizable coating compositions containing activated halogenated azine photoinitiator and process for making same |
| DE2361041C3 (de) * | 1973-12-07 | 1980-08-14 | Hoechst Ag, 6000 Frankfurt | Photopolymerisierbares Gemisch |
| DE2363806B2 (de) * | 1973-12-21 | 1979-05-17 | Hoechst Ag, 6000 Frankfurt | Lichtempfindliches Gemisch |
| CA1056189A (en) * | 1974-04-23 | 1979-06-12 | Ernst Leberzammer | Polymeric binders for aqueous processable photopolymer compositions |
| US4273857A (en) * | 1976-01-30 | 1981-06-16 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Polymeric binders for aqueous processable photopolymer compositions |
| SU941918A1 (ru) * | 1976-08-10 | 1982-07-07 | Предприятие П/Я Г-4444 | Сухой пленочный фоторезист |
| DE2652304C2 (de) * | 1976-11-17 | 1987-04-23 | Hoechst Ag, 6230 Frankfurt | Negativ arbeitendes lichtempfindliches Gemisch und damit hergestellte lichtempfindliche Flachdruckplatte |
| US4179531A (en) | 1977-08-23 | 1979-12-18 | W. R. Grace & Co. | Polythiol effect, curable monoalkenyl aromatic-diene and ene composition |
| US4234676A (en) | 1978-01-23 | 1980-11-18 | W. R. Grace & Co. | Polythiol effect curable polymeric composition |
| CA1127340A (en) * | 1977-12-30 | 1982-07-06 | Kohtaro Nagasawa | Photocurable light-sensitive composition and material |
| US4247623A (en) * | 1979-06-18 | 1981-01-27 | Eastman Kodak Company | Blank beam leads for IC chip bonding |
| US4342151A (en) * | 1979-06-18 | 1982-08-03 | Eastman Kodak Company | Blank and process for the formation of beam leads for IC chip bonding |
| US4353978A (en) * | 1979-08-14 | 1982-10-12 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Polymeric binders for aqueous processable photopolymer compositions |
| DE3024772A1 (de) * | 1980-06-30 | 1982-01-28 | Hoechst Ag, 6000 Frankfurt | Elastische, laminierbare lichtempfindliche schicht |
| US4517281A (en) * | 1980-10-06 | 1985-05-14 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Development process for aqueous developable photopolymerizable elements |
| US4485167A (en) * | 1980-10-06 | 1984-11-27 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Aqueous developable photopolymerizable elements |
| DE3114931A1 (de) * | 1981-04-13 | 1982-10-28 | Hoechst Ag, 6000 Frankfurt | Durch strahlung polymerisierbares gemisch und daraus hergestelltes photopolymerisierbares kopiermaterial |
| DE3120052A1 (de) * | 1981-05-20 | 1982-12-09 | Hoechst Ag, 6000 Frankfurt | Durch strahlung polymerisierbares gemisch und damit hergestelltes kopiermaterial |
| US4361640A (en) * | 1981-10-02 | 1982-11-30 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Aqueous developable photopolymer compositions containing terpolymer binder |
| US4615665A (en) * | 1983-05-06 | 1986-10-07 | Dentsply International Inc. | Method for making dental prosthetic device with oxygen barrier layer and visible light irradiation to cure polymer |
| US4539286A (en) * | 1983-06-06 | 1985-09-03 | Dynachem Corporation | Flexible, fast processing, photopolymerizable composition |
| US4610951A (en) * | 1983-06-06 | 1986-09-09 | Dynachem Corporation | Process of using a flexible, fast processing photopolymerizable composition |
| US4629680A (en) * | 1984-01-30 | 1986-12-16 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Photopolymerizable materials capable of being developed by a weak alkaline aqueous solution |
| EP0152889B1 (de) * | 1984-02-18 | 1987-09-16 | BASF Aktiengesellschaft | Lichtempfindliche Aufzeichnungsmaterialien |
| JPS60211995A (ja) * | 1984-04-06 | 1985-10-24 | ダイセル化学工業株式会社 | 電極パタ−ン形成法 |
| JPH0642073B2 (ja) * | 1984-04-10 | 1994-06-01 | 三菱レイヨン株式会社 | 光重合性樹脂組成物 |
| DE3540480A1 (de) * | 1985-11-15 | 1987-05-21 | Hoechst Ag | Durch strahlung polymerisierbares gemisch, daraus hergestelltes aufzeichnungsmaterial und verfahren zur herstellung von reliefaufzeichnungen |
| DE3602215A1 (de) * | 1986-01-25 | 1987-07-30 | Hoechst Ag | Photopolymerisierbares gemisch und dieses enthaltendes photopolymerisierbares aufzeichnungsmaterial |
| US4762747A (en) * | 1986-07-29 | 1988-08-09 | Industrial Technology Research Institute | Single component aqueous acrylic adhesive compositions for flexible printed circuits and laminates made therefrom |
| US5182187A (en) * | 1988-02-24 | 1993-01-26 | Hoechst Aktiengesellschaft | Radiation-polymerizable composition and recording material prepared from this composition |
| DE3841025A1 (de) * | 1988-12-06 | 1990-06-07 | Hoechst Ag | Durch strahlung polymerisierbares gemisch und daraus hergestelltes aufzeichnungsmaterial |
| DE3931467A1 (de) * | 1989-09-21 | 1991-04-04 | Hoechst Ag | Durch strahlung polymerisierbares gemisch und verfahren zur herstellung einer loetstopmaske |
| US5045431A (en) * | 1990-04-24 | 1991-09-03 | International Business Machines Corporation | Dry film, aqueous processable photoresist compositions |
| US5071730A (en) * | 1990-04-24 | 1991-12-10 | International Business Machines Corporation | Liquid apply, aqueous processable photoresist compositions |
| CA2076727A1 (en) * | 1991-08-30 | 1993-03-01 | Richard T. Mayes | Alkaline-etch resistant dry film photoresist |
| JPH07311462A (ja) | 1994-05-16 | 1995-11-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光重合性組成物および画像形成方法 |
| JPH08101498A (ja) | 1994-08-03 | 1996-04-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性平版印刷版 |
| JP3442176B2 (ja) | 1995-02-10 | 2003-09-02 | 富士写真フイルム株式会社 | 光重合性組成物 |
| US5753414A (en) * | 1995-10-02 | 1998-05-19 | Macdermid Imaging Technology, Inc. | Photopolymer plate having a peelable substrate |
| DE19548623A1 (de) | 1995-12-23 | 1997-06-26 | Hoechst Ag | 2-Acylamino-9-aryl-acridine, Verfahren zu ihrer Herstellung und diese enthaltende lichtempfindliche Gemische |
| JP4130030B2 (ja) | 1999-03-09 | 2008-08-06 | 富士フイルム株式会社 | 感光性組成物および1,3−ジヒドロ−1−オキソ−2h−インデン誘導体化合物 |
| US7338748B2 (en) * | 2002-09-30 | 2008-03-04 | Fujifilm Corporation | Polymerizable composition and planographic printing plate precursor |
| JP2004126050A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-04-22 | Fuji Photo Film Co Ltd | 平版印刷版原版 |
| JP4137577B2 (ja) * | 2002-09-30 | 2008-08-20 | 富士フイルム株式会社 | 感光性組成物 |
| CN100590525C (zh) * | 2002-12-18 | 2010-02-17 | 富士胶片株式会社 | 可聚合组合物和平版印刷版前体 |
| JP4150261B2 (ja) * | 2003-01-14 | 2008-09-17 | 富士フイルム株式会社 | 平版印刷版原版の製版方法 |
| EP1445120B1 (de) | 2003-02-06 | 2007-07-18 | FUJIFILM Corporation | Lichtempfindliche Flachdruckplatte |
| JP2004252201A (ja) * | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 平版印刷版原版 |
| JP2004252285A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性組成物及びそれを用いた平版印刷版原版 |
| JP4048133B2 (ja) * | 2003-02-21 | 2008-02-13 | 富士フイルム株式会社 | 感光性組成物及びそれを用いた平版印刷版原版 |
| JP4048134B2 (ja) * | 2003-02-21 | 2008-02-13 | 富士フイルム株式会社 | 平版印刷版原版 |
| JP4291638B2 (ja) | 2003-07-29 | 2009-07-08 | 富士フイルム株式会社 | アルカリ可溶性ポリマー及びそれを用いた平版印刷版原版 |
| JP4299639B2 (ja) | 2003-07-29 | 2009-07-22 | 富士フイルム株式会社 | 重合性組成物及びそれを用いた画像記録材料 |
| JP4384464B2 (ja) | 2003-09-24 | 2009-12-16 | 富士フイルム株式会社 | 感光性組成物及びそれを用いた平版印刷版原版 |
| JP2005099284A (ja) * | 2003-09-24 | 2005-04-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性組成物及び平版印刷版原版 |
| JP2005227554A (ja) | 2004-02-13 | 2005-08-25 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性平版印刷版 |
| JP4452572B2 (ja) | 2004-07-06 | 2010-04-21 | 富士フイルム株式会社 | 感光性組成物およびそれを用いた画像記録方法 |
| US7842440B2 (en) | 2004-08-02 | 2010-11-30 | Fujifilm Corporation | Colored curable composition, color filter and manufacturing method thereof |
| JP2006065074A (ja) | 2004-08-27 | 2006-03-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性平版印刷版 |
| EP1701213A3 (de) | 2005-03-08 | 2006-11-22 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Lichtempfindliche Zusammensetzung |
| JP4538350B2 (ja) | 2005-03-18 | 2010-09-08 | 富士フイルム株式会社 | 感光性組成物および画像記録材料並びに画像記録方法 |
| JP4406617B2 (ja) | 2005-03-18 | 2010-02-03 | 富士フイルム株式会社 | 感光性組成物および平版印刷版原版 |
| US20060216646A1 (en) | 2005-03-22 | 2006-09-28 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Plate-making method of lithographic printing plate precursor |
| EP1757981B1 (de) | 2005-08-26 | 2009-10-14 | Agfa Graphics N.V. | photopolymer Druckplattenvorläufer |
| EP1923703B1 (de) | 2005-11-25 | 2015-05-06 | FUJIFILM Corporation | Verfahren zur Herstellung eines Biosensors mit einer dünnen und kovalent verbunden Polymerschicht |
| JP5171005B2 (ja) | 2006-03-17 | 2013-03-27 | 富士フイルム株式会社 | 高分子化合物およびその製造方法、並びに顔料分散剤 |
| JP4911455B2 (ja) | 2006-09-27 | 2012-04-04 | 富士フイルム株式会社 | 光重合型感光性平版印刷版原版 |
| JP4777226B2 (ja) | 2006-12-07 | 2011-09-21 | 富士フイルム株式会社 | 画像記録材料、及び新規化合物 |
| US20080281058A1 (en) | 2006-12-19 | 2008-11-13 | Fujifilm Corporation | Process for producing acrylonitrile-containing polymer latex |
| EP1959276B1 (de) | 2007-02-14 | 2014-11-12 | FUJIFILM Corporation | Farbfilter und Herstellungsverfahren dafür sowie Aufnahmeelement für Festkörperbilder |
| JP4855299B2 (ja) | 2007-02-27 | 2012-01-18 | 富士フイルム株式会社 | 着色感光性組成物、カラーフィルター及びその製造方法 |
| JP4860525B2 (ja) | 2007-03-27 | 2012-01-25 | 富士フイルム株式会社 | 硬化性組成物及び平版印刷版原版 |
| JP5030638B2 (ja) | 2007-03-29 | 2012-09-19 | 富士フイルム株式会社 | カラーフィルタ及びその製造方法 |
| EP1975702B1 (de) | 2007-03-29 | 2013-07-24 | FUJIFILM Corporation | Farbige lichthärtbare Zusammensetzung für eine Festkörperbildaufnahmevorrichtung, Farbfilter und Verfahren zur Herstellung davon, sowie Festkörperbildaufnahmevorrichtung |
| JP5075450B2 (ja) | 2007-03-30 | 2012-11-21 | 富士フイルム株式会社 | 平版印刷版原版 |
| EP2402315A1 (de) | 2007-05-11 | 2012-01-04 | Basf Se | Oximester-Fotoinitiatoren |
| KR101526619B1 (ko) | 2007-05-11 | 2015-06-05 | 바스프 에스이 | 옥심 에스테르 광개시제 |
| JP5213375B2 (ja) | 2007-07-13 | 2013-06-19 | 富士フイルム株式会社 | 顔料分散液、硬化性組成物、それを用いるカラーフィルタ及び固体撮像素子 |
| CN102617445B (zh) | 2007-07-17 | 2015-02-18 | 富士胶片株式会社 | 感光性组合物、可固化组合物、新化合物、可光聚合组合物、滤色器和平版印刷版原版 |
| JP4777315B2 (ja) | 2007-08-29 | 2011-09-21 | 富士フイルム株式会社 | バイオセンサー用チップおよびその製造方法並びに表面プラズモン共鳴分析用センサー |
| EP2048539A1 (de) | 2007-09-06 | 2009-04-15 | FUJIFILM Corporation | Verarbeitetes Pigment, pigmentverstreute Zusammensetzung, farbige, lichtempfindliche Zusammensetzung, Farbfilter, Flüssigkristallanzeigeelement und Festbildaufnahmeelement |
| JP5247093B2 (ja) | 2007-09-14 | 2013-07-24 | 富士フイルム株式会社 | アゾ化合物、硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 |
| JP2009091555A (ja) | 2007-09-18 | 2009-04-30 | Fujifilm Corp | 硬化性組成物、画像形成材料及び平版印刷版原版 |
| US9442372B2 (en) | 2007-09-26 | 2016-09-13 | Fujifilm Corporation | Pigment dispersion composition, photocurable composition and color filter |
| ATE475906T1 (de) | 2007-09-28 | 2010-08-15 | Fujifilm Corp | Negatives lichtempfindliches material und negativer planographischer druckplattenvorläufer |
| JP5448416B2 (ja) | 2007-10-31 | 2014-03-19 | 富士フイルム株式会社 | 着色硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、ならびに固体撮像素子 |
| EP2218756B1 (de) | 2007-11-01 | 2013-07-31 | FUJIFILM Corporation | Pigmentdispersionszusammensetzung, härtbare farbzusammensetzung, farbfilter und herstellungsverfahren dafür |
| WO2009063824A1 (ja) | 2007-11-14 | 2009-05-22 | Fujifilm Corporation | 塗布膜の乾燥方法及び平版印刷版原版の製造方法 |
| JP2009145189A (ja) | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Fujifilm Corp | バイオセンサー |
| JP5068640B2 (ja) | 2007-12-28 | 2012-11-07 | 富士フイルム株式会社 | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに固体撮像素子 |
| JP5052360B2 (ja) | 2008-01-31 | 2012-10-17 | 富士フイルム株式会社 | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 |
| JP5147499B2 (ja) | 2008-02-13 | 2013-02-20 | 富士フイルム株式会社 | 感光性着色組成物、並びにカラーフィルタ及びその製造方法 |
| JP2009198664A (ja) | 2008-02-20 | 2009-09-03 | Fujifilm Corp | カラーフィルタ及びその製造方法並びに固体撮像素子 |
| JP5448352B2 (ja) | 2008-03-10 | 2014-03-19 | 富士フイルム株式会社 | 着色硬化性組成物、カラーフィルタ、及び、固体撮像素子 |
| KR101654666B1 (ko) | 2008-03-17 | 2016-09-06 | 후지필름 가부시키가이샤 | 안료 분산 조성물, 착색 감광성 조성물, 광경화성 조성물, 컬러필터, 액정표시소자, 및 고체촬상소자 |
| JP5334624B2 (ja) | 2008-03-17 | 2013-11-06 | 富士フイルム株式会社 | 着色硬化性組成物、カラーフィルタ、及びカラーフィルタの製造方法 |
| KR20090100262A (ko) | 2008-03-18 | 2009-09-23 | 후지필름 가부시키가이샤 | 감광성 수지 조성물, 차광성 컬러필터와 그 제조 방법, 및 고체촬상소자 |
| JP5305704B2 (ja) | 2008-03-24 | 2013-10-02 | 富士フイルム株式会社 | 新規化合物、光重合性組成物、カラーフィルタ用光重合性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法、固体撮像素子、並びに、平版印刷版原版 |
| JP5264427B2 (ja) | 2008-03-25 | 2013-08-14 | 富士フイルム株式会社 | 平版印刷版の作製方法 |
| JP5422134B2 (ja) | 2008-03-25 | 2014-02-19 | 富士フイルム株式会社 | 浸漬型平版印刷版用自動現像方法 |
| JP5473239B2 (ja) | 2008-03-25 | 2014-04-16 | 富士フイルム株式会社 | 金属フタロシアニン染料混合物、硬化性組成物、カラーフィルタおよびカラーフィルタの製造方法 |
| JP5020871B2 (ja) | 2008-03-25 | 2012-09-05 | 富士フイルム株式会社 | 平版印刷版の製造方法 |
| JP2009236355A (ja) | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Fujifilm Corp | 乾燥方法及び装置 |
| JP5535444B2 (ja) | 2008-03-28 | 2014-07-02 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子用緑色硬化性組成物、固体撮像素子用カラーフィルタ及びその製造方法 |
| JP5173528B2 (ja) | 2008-03-28 | 2013-04-03 | 富士フイルム株式会社 | 感光性樹脂組成物、遮光性カラーフィルター及びその製造方法、並びに、固体撮像素子 |
| JP5155920B2 (ja) | 2008-03-31 | 2013-03-06 | 富士フイルム株式会社 | 感光性透明樹脂組成物、カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルター |
| JP5528677B2 (ja) | 2008-03-31 | 2014-06-25 | 富士フイルム株式会社 | 重合性組成物、固体撮像素子用遮光性カラーフィルタ、固体撮像素子および固体撮像素子用遮光性カラーフィルタの製造方法 |
| JP5137662B2 (ja) | 2008-03-31 | 2013-02-06 | 富士フイルム株式会社 | 硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに固体撮像素子 |
| KR101441998B1 (ko) | 2008-04-25 | 2014-09-18 | 후지필름 가부시키가이샤 | 중합성 조성물, 차광성 컬러필터, 흑색 경화성 조성물, 고체촬상소자용 차광성 컬러필터와 그 제조 방법, 및 고체촬상소자 |
| JP5222624B2 (ja) | 2008-05-12 | 2013-06-26 | 富士フイルム株式会社 | 黒色感光性樹脂組成物、及びカラーフィルタ並びにその製造方法 |
| JP5248203B2 (ja) | 2008-05-29 | 2013-07-31 | 富士フイルム株式会社 | 平版印刷版現像用処理液及び平版印刷版の作製方法 |
| JP5228631B2 (ja) | 2008-05-29 | 2013-07-03 | 富士フイルム株式会社 | 平版印刷版現像用処理液及び平版印刷版の作製方法 |
| JP5171506B2 (ja) | 2008-06-30 | 2013-03-27 | 富士フイルム株式会社 | 新規化合物、重合性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法、固体撮像素子、並びに、平版印刷版原版 |
| JP2010044273A (ja) | 2008-08-14 | 2010-02-25 | Fujifilm Corp | カラーフィルタ及びその形成方法、並びに固体撮像素子 |
| WO2010021364A1 (ja) | 2008-08-22 | 2010-02-25 | 富士フイルム株式会社 | 平版印刷版の作製方法 |
| JP5171483B2 (ja) | 2008-08-29 | 2013-03-27 | 富士フイルム株式会社 | 平版印刷版の作製方法 |
| JP2010097175A (ja) | 2008-09-22 | 2010-04-30 | Fujifilm Corp | 平版印刷版の作製方法及び平版印刷版原版 |
| JP2010102330A (ja) | 2008-09-24 | 2010-05-06 | Fujifilm Corp | 平版印刷版の作製方法 |
| JP5079653B2 (ja) | 2008-09-29 | 2012-11-21 | 富士フイルム株式会社 | 着色硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに固体撮像素子 |
| JP5393092B2 (ja) | 2008-09-30 | 2014-01-22 | 富士フイルム株式会社 | 染料含有ネガ型硬化性組成物、これを用いたカラーフィルタ及びその製造方法、並びに固体撮像素子 |
| JP5340102B2 (ja) | 2008-10-03 | 2013-11-13 | 富士フイルム株式会社 | 分散組成物、重合性組成物、遮光性カラーフィルタ、固体撮像素子、液晶表示装置、ウェハレベルレンズ、及び撮像ユニット |
| EP2204698B1 (de) | 2009-01-06 | 2018-08-08 | FUJIFILM Corporation | Plattenoberflächenbehandlungsmittel für eine lithografische Druckplatte und Verfahren zur Behandlung der lithografischen Druckplatte |
| JP5669386B2 (ja) | 2009-01-15 | 2015-02-12 | 富士フイルム株式会社 | 新規化合物、重合性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法、固体撮像素子、並びに、平版印刷版原版 |
| KR101793114B1 (ko) | 2009-02-19 | 2017-11-02 | 후지필름 가부시키가이샤 | 분산 조성물 및 그 제조 방법, 차광성 컬러 필터용 감광성 수지 조성물 및 그 제조 방법, 차광성 컬러 필터 및 그 제조 방법, 및 상기 차광성 컬러 필터를 구비한 고체 촬상 소자 |
| JP2010198735A (ja) | 2009-02-20 | 2010-09-09 | Fujifilm Corp | 光学部材及び該光学部材を備えた有機エレクトロルミネッセンス表示装置 |
| JP2010197620A (ja) | 2009-02-24 | 2010-09-09 | Fujifilm Corp | 平版印刷版原版の自動現像装置及び処理方法 |
| JP5315267B2 (ja) | 2009-03-26 | 2013-10-16 | 富士フイルム株式会社 | 着色硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに、キノフタロン色素 |
| JP5554106B2 (ja) | 2009-03-31 | 2014-07-23 | 富士フイルム株式会社 | 着色硬化性組成物、カラーフィルタの製造方法、カラーフィルタ、固体撮像素子、および液晶表示装置 |
| JP5479163B2 (ja) | 2009-03-31 | 2014-04-23 | 富士フイルム株式会社 | カラーフィルタ用着色硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、並びに固体撮像素子 |
| JP5451235B2 (ja) | 2009-07-31 | 2014-03-26 | 富士フイルム株式会社 | 複屈折パターンを有する物品の製造方法及び複屈折パターン作製材料 |
| WO2011024896A1 (ja) | 2009-08-27 | 2011-03-03 | 富士フイルム株式会社 | ジクロロジケトピロロピロール顔料、これを含有する色材分散物およびその製造方法 |
| JP5535814B2 (ja) | 2009-09-14 | 2014-07-02 | 富士フイルム株式会社 | 光重合性組成物、カラーフィルタ、及びその製造方法、固体撮像素子、液晶表示装置、平版印刷版原版、並びに、新規化合物 |
| JP5657243B2 (ja) | 2009-09-14 | 2015-01-21 | ユー・ディー・シー アイルランド リミテッド | カラーフィルタ及び発光表示素子 |
| JP5501175B2 (ja) | 2009-09-28 | 2014-05-21 | 富士フイルム株式会社 | 分散組成物及びその製造方法、遮光性カラーフィルタ用感光性樹脂組成物及びその製造方法、遮光性カラーフィルタ及びその製造方法、並びに固体撮像素子 |
| JP2011068837A (ja) | 2009-09-28 | 2011-04-07 | Fujifilm Corp | フタロシアニン化合物を含有する緑色顔料分散体 |
| JP5535842B2 (ja) | 2009-09-30 | 2014-07-02 | 富士フイルム株式会社 | ウェハレベルレンズ用黒色硬化性組成物、及び、ウェハレベルレンズ |
| JP5701576B2 (ja) | 2009-11-20 | 2015-04-15 | 富士フイルム株式会社 | 分散組成物及び感光性樹脂組成物、並びに固体撮像素子 |
| JP2012003225A (ja) | 2010-01-27 | 2012-01-05 | Fujifilm Corp | ソルダーレジスト用重合性組成物及びソルダーレジストパターンの形成方法 |
| KR20110098638A (ko) | 2010-02-26 | 2011-09-01 | 후지필름 가부시키가이샤 | 착색 경화성 조성물, 컬러필터와 그 제조방법, 고체촬상소자 및 액정표시장치 |
| TWI491676B (zh) | 2010-06-01 | 2015-07-11 | Fujifilm Corp | 顏料分散液組成物、紅色著色組成物、著色硬化組成物、用於固態攝影元件的彩色濾光片及其製造方法、及固態攝影元件 |
| JP5622564B2 (ja) | 2010-06-30 | 2014-11-12 | 富士フイルム株式会社 | 感光性組成物、パターン形成材料、並びに、これを用いた感光性膜、パターン形成方法、パターン膜、低屈折率膜、光学デバイス、及び、固体撮像素子 |
| EP2625166B1 (de) | 2010-10-05 | 2014-09-24 | Basf Se | Oximester-derivate von benzocarbazol-verbindungen und deren verwendung als photoinitiatoren in photopolymerisierbare zusammensetzungen |
| JP5417364B2 (ja) | 2011-03-08 | 2014-02-12 | 富士フイルム株式会社 | 固体撮像素子用硬化性組成物、並びに、これを用いた感光層、永久パターン、ウエハレベルレンズ、固体撮像素子、及び、パターン形成方法 |
| JP5514781B2 (ja) | 2011-08-31 | 2014-06-04 | 富士フイルム株式会社 | 平版印刷版原版及びこれを用いた平版印刷版の作成方法 |
| JP5714544B2 (ja) | 2011-09-15 | 2015-05-07 | 富士フイルム株式会社 | 製版処理廃液のリサイクル方法 |
| EP2762977B1 (de) | 2011-11-04 | 2017-09-27 | FUJIFILM Corporation | Verfahren zur wiederverwertung von ablaugen aus der plattenherstellung |
| US9365515B2 (en) | 2011-12-07 | 2016-06-14 | Basf Se | Oxime ester photoinitiators |
| JP5771738B2 (ja) | 2012-02-23 | 2015-09-02 | 富士フイルム株式会社 | 発色性組成物、発色性硬化組成物、平版印刷版原版及び製版方法、並びに発色性化合物 |
| KR101831798B1 (ko) | 2012-05-09 | 2018-02-26 | 바스프 에스이 | 옥심 에스테르 광개시제 |
| JP5934682B2 (ja) | 2012-08-31 | 2016-06-15 | 富士フイルム株式会社 | マイクロレンズ形成用又はカラーフィルターの下塗り膜形成用硬化性組成物、透明膜、マイクロレンズ、固体撮像素子、及び、硬化性組成物の製造方法 |
| JP5909468B2 (ja) | 2012-08-31 | 2016-04-26 | 富士フイルム株式会社 | 分散組成物、これを用いた硬化性組成物、透明膜、マイクロレンズ、及び固体撮像素子 |
| JP5894943B2 (ja) | 2012-08-31 | 2016-03-30 | 富士フイルム株式会社 | 分散組成物、これを用いた硬化性組成物、透明膜、マイクロレンズ、マイクロレンズの製造方法、及び固体撮像素子 |
| BR112015006206A2 (pt) | 2012-09-20 | 2017-07-04 | Fujifilm Corp | precursor de chapa de impressão litográfica e método de preparação da chapa |
| BR112015006578A2 (pt) | 2012-09-26 | 2019-12-17 | Fujifilm Corp | precursor da chapa de impressão litográfica e método de fabricação da chapa |
| CN104854699B (zh) | 2012-12-03 | 2017-09-01 | 富士胶片株式会社 | 固体摄影元件用保持基板及其制造方法、固体摄影装置 |
| WO2014087901A1 (ja) | 2012-12-03 | 2014-06-12 | 富士フイルム株式会社 | Irカットフィルタ及びその製造方法、固体撮像装置、遮光膜の形成方法 |
| EP2963495B1 (de) | 2013-02-27 | 2019-06-05 | FUJIFILM Corporation | Infrarotempfindliche chromogene zusammensetzung, infrarothärtbare chromogene zusammensetzung, lithografiedruckplattenvorläufer und plattenherstellungsverfahren |
| JP6097128B2 (ja) | 2013-04-12 | 2017-03-15 | 富士フイルム株式会社 | 遠赤外線遮光層形成用組成物 |
| US10234761B2 (en) | 2013-07-08 | 2019-03-19 | Basf Se | Oxime ester photoinitiators |
| EP3101475B1 (de) | 2014-01-31 | 2018-03-21 | FUJIFILM Corporation | Infrarotempfindliche farbentwicklungszusammensetzung, lithographische druckoriginalplatte, plattenherstellungsverfahren für lithographische druckplatte, infrarotempfindlicher farbentwickler |
| JP6721670B2 (ja) | 2016-03-14 | 2020-07-15 | 富士フイルム株式会社 | 組成物、膜、硬化膜、光学センサおよび膜の製造方法 |
| WO2019176409A1 (ja) | 2018-03-13 | 2019-09-19 | 富士フイルム株式会社 | 硬化膜の製造方法、固体撮像素子の製造方法 |
| CN112601912A (zh) | 2018-09-07 | 2021-04-02 | 富士胶片株式会社 | 车辆用前照灯单元、前照灯用遮光膜、前照灯用遮光膜的制造方法 |
| WO2020203277A1 (ja) | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 富士フイルム株式会社 | 感光性樹脂組成物、硬化膜、インダクタ、アンテナ |
| JP6587769B1 (ja) * | 2019-06-21 | 2019-10-09 | 富士フイルム株式会社 | 転写フィルム、静電容量型入力装置の電極保護膜、積層体および静電容量型入力装置 |
| JP6687794B2 (ja) * | 2019-09-02 | 2020-04-28 | 富士フイルム株式会社 | 転写フィルム、静電容量型入力装置の電極保護膜、積層体および静電容量型入力装置 |
| TWI851818B (zh) | 2019-09-26 | 2024-08-11 | 日商富士軟片股份有限公司 | 導熱層的製造方法、積層體的製造方法及半導體器件的製造方法 |
| JP6888148B2 (ja) * | 2020-04-01 | 2021-06-16 | 富士フイルム株式会社 | 転写フィルム、静電容量型入力装置の電極保護膜、積層体および静電容量型入力装置 |
| JP7627280B2 (ja) | 2020-09-18 | 2025-02-05 | 富士フイルム株式会社 | 組成物、磁性粒子含有膜、及び、電子部品 |
| JPWO2022065183A1 (de) | 2020-09-24 | 2022-03-31 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2893868A (en) * | 1955-08-22 | 1959-07-07 | Du Pont | Polymerizable compositions |
| US3458311A (en) * | 1966-06-27 | 1969-07-29 | Du Pont | Photopolymerizable elements with solvent removable protective layers |
| US3493380A (en) * | 1966-07-01 | 1970-02-03 | Eastman Kodak Co | Photoresist composition |
| US3547651A (en) * | 1968-04-02 | 1970-12-15 | Du Pont | Photopolymerizable compositions containing organometal compounds |
-
1970
- 1970-12-28 DE DE2064080A patent/DE2064080C3/de not_active Expired
-
1971
- 1971-12-17 NL NLAANVRAGE7117375,A patent/NL169522C/xx not_active IP Right Cessation
- 1971-12-23 CH CH1883771A patent/CH566575A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1971-12-23 GB GB6006971A patent/GB1379229A/en not_active Expired
- 1971-12-23 IT IT54960/71A patent/IT945617B/it active
- 1971-12-24 CA CA131,106A patent/CA960901A/en not_active Expired
- 1971-12-24 SU SU1728952A patent/SU490301A3/ru active
- 1971-12-27 BR BR8580/71A patent/BR7108580D0/pt unknown
- 1971-12-27 SE SE7116622A patent/SE373958B/xx unknown
- 1971-12-27 US US00212668A patent/US3804631A/en not_active Expired - Lifetime
- 1971-12-27 AT AT1114271A patent/AT321712B/de not_active IP Right Cessation
- 1971-12-28 JP JP723921A patent/JPS5434327B1/ja active Pending
- 1971-12-28 JP JP47003921A patent/JPS4845227A/ja active Pending
- 1971-12-28 FR FR717146945A patent/FR2120054B1/fr not_active Expired
- 1971-12-28 BE BE777420A patent/BE777420A/xx not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB1379229A (en) | 1975-01-02 |
| DE2064080A1 (de) | 1972-07-06 |
| NL7117375A (de) | 1972-06-30 |
| SU490301A3 (ru) | 1975-10-30 |
| NL169522C (nl) | 1982-07-16 |
| US3804631A (en) | 1974-04-16 |
| DE2064080B2 (de) | 1979-01-04 |
| FR2120054B1 (de) | 1973-06-08 |
| BE777420A (fr) | 1972-06-28 |
| JPS4845227A (de) | 1973-06-28 |
| SE373958B (de) | 1975-02-17 |
| FR2120054A1 (de) | 1972-08-11 |
| JPS5434327B1 (de) | 1979-10-26 |
| IT945617B (it) | 1973-05-10 |
| AT321712B (de) | 1975-04-10 |
| CH566575A5 (de) | 1975-09-15 |
| CA960901A (en) | 1975-01-14 |
| BR7108580D0 (pt) | 1973-05-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2064080C3 (de) | Lichtempfindliches Gemisch | |
| DE2027467C3 (de) | Photopolymerisierbare Kopiermasse | |
| DE2064079C2 (de) | Photopolymerisierbares Gemisch | |
| DE2039861C3 (de) | Photopolymensierbare Kopier masse | |
| EP0028749B1 (de) | Photopolymerisierbares Gemisch und damit hergestelltes photopolymerisierbares Kopiermaterial | |
| DE2361041C3 (de) | Photopolymerisierbares Gemisch | |
| DE2363806B2 (de) | Lichtempfindliches Gemisch | |
| EP0019770B1 (de) | Positiv arbeitendes Schichtübertragungsmittel | |
| DE2718130C2 (de) | lichtempfindliches Aufzeichnungsmaterial | |
| EP0005750B1 (de) | Photopolymerisierbares Gemisch und lichtempfindliches Schichtübertragungsmaterial | |
| DE2615055C3 (de) | Lichtempfindliches Gemisch | |
| DE2236941C3 (de) | Lichtempfindliches Aufzeichnungsmaterial | |
| DE2320849C2 (de) | Photopolymerisierbares Aufzeichnungsmaterial | |
| EP0271077A1 (de) | Mischpolymerisat einer Alpha-Beta-ungesättigten Carbonsäure und Verfahren zu seiner Herstellung | |
| EP0011786B1 (de) | Photopolymerisierbares Gemisch | |
| EP0003804A1 (de) | Photopolymerisierbares Gemisch, das einen Monoazofarbstoff enthält | |
| DE2044233C3 (de) | Photopolymerisierbare Verbindungen | |
| DE3037521A1 (de) | Photopolymerisierbare masse | |
| DE2558813C2 (de) | Lichtempfindliches Gemisch mit synergistischem Initiatorsystem | |
| DE2448850A1 (de) | Verfahren zum aufbringen einer kopierschicht | |
| DE3232620A1 (de) | 10-phenyl1-1,3,9-triazaanthracene und diese enthaltendes photopolymerisierbares gemisch | |
| EP0021429A2 (de) | Photopolymerisierbares Kopiermaterial und Verfahren zur Herstellung von Reliefbildern | |
| CH599569A5 (en) | Photoinitiators | |
| EP0330059B1 (de) | Durch Strahlung polymerisierbares Gemisch und daraus hergestelltes Aufzeichnungsmaterial | |
| EP0102586B1 (de) | 1,3-Diaza-9-thia-anthracen-2,4-dione und diese enthaltendes photopolymerisierbares Gemisch |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8226 | Change of the secondary classification |
Free format text: G03F 7/10 C08F 20/06 |
|
| 8281 | Inventor (new situation) |
Free format text: FAUST, RAIMUND JOSEF, DR.-ING., 6202 WIESBADEN, DE |
|
| AG | Has addition no. |
Ref country code: DE Ref document number: 2363806 Format of ref document f/p: P |
|
| C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |