TWI376580B - Rough-fine movement device and liquid supply apparatus including the same - Google Patents

Description

1376580 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於-種藉由大行程之粗移動盘 程之細小移動’使移動體正確地移動 置用j 細移動裝置’及具備該粗細移動裝置之液體； 者0 【先前技術】

液體供給m含搭載供給頭之移動體如在 工件之基板上，從供給頭供給液體，而形成特定圖案^ 浪體塗布部。此種液體供給裝置為了形成均_之液體 净部，需要使移動體配置於對基板表面始終隔以特定 躁離的位置。為了對應於此種要求，先前提出有如 於專利文獻1之粗細移動裝置。 ’、 该先前之粗細移動裝置在底座（base)上敷設一對執 道，在兩轨道中可移動地支撐第一移動體及第二移動 體。在底座上配置進給螺絲，以與其進給螺絲螺人之 式移固定有螺帽。在第一移動;與第 ”有壓電元件，並且掛設有連結兩移動 體之^線圈彈黃。而後，藉由以驅動馬達轉動進 絲，^移動體及第二移動體藉由大行程而粒移動。此 動之狀態下’藉由在壓電元件中施加電 座伸縮，、屋電疋件’第二移動體對第_ 小行程而細小移動。藉由此等之移動，支撐於 體上=被移動構件伴隨細調整而定位於特定位置。 然而’先前之粗細移動裝置，例如進二 之加工精度及喊精度之影響，有可能從^移動體經 5 1376580 由壓電元件而傳達至第二移動體。此種情況下，即使確 保軌道之精度，仍無法使第二移動體可以高精度地移動 至所f求的位置。前述專利文獻丨之粗細移動裝置中， 並未實施針對此種問題的對策。因此，第二移動體移動 至所要求的位置時精度會降低。 [專利文獻1]日本實開平5_66592號公報 【發明内容】

本發明—種態樣提供一種可使移動體以高精度地 移動至所要求位置之粗細移動襄置。 此外，本發明之其他態樣提供一種町在工件上高精 度地形成液體塗布部之液體供給裝置。

•本發明之第一種態樣係粗細移動裝置。該裝置具 備.導引構件；第—移動體及第二移動艘，其係可沿著 前ί導弓J構件而移動；連結構件，其係<相對移動地連 、口刖述二移動體與第二移動體；第一驅動機構，其係 用述第1動體藉由第—行程而粗移動；及第二 驅 ，其係介於前述第一移動體與第二移動體之 間述第二移動體對第一移動體藉由第二行程 而目f i細移動’前述第二驅動機構包含致動器，其係 設於前^第―移動體與前述第二移動體之任何-方，前 述致動⑨包含具有第—抵接面之抵接件，前述第一移動 第二移動體中之另_方包含可抵接於前述抵 接=之弟-抵接面的第二抵接面，前述第—抵接面與前 述第二抵接面^至少任何—方形成球面。 本發明之第二種態樣係液體供給裳置。該裝置具 備：粗細義裝置；及供給頭，其健躲前述粗細移 1376580 動裝置上，並對工件供給液體；前述粗細移動裝置包 含：導引構件；第一移動體及第二移動體，其係可沿著 前述導引構件而上下方向移動，且前述供給頭搭載於前 述第二移動體上；連結構件，其係可相對移動地連結前 述第一移動體與第二移動體；第一驅動機構，其係用於 使前述第一移動體藉由第一行程而粗移動；及第二驅動 機構，其係介於前述第一移動體與第二移動體之間，用 於使前述第二移動體對第一移動體藉由第二行程而相 對地細移動；前述第二驅動機構包含致動器，其係設於 前述第一移動體與前述第二移動體之任何一方，前述致 動器包含具有第一抵接面之抵接件，前述第一移動體與 前述第二移動體中之另一方包含可抵接於前述抵接件 之第一抵接面的第二抵接面，前述第一抵接面與前述第 二抵接面之至少任何一方形成球面。 本發明第三種態樣係液體供給裝置。該裝置具備： 粗細移動裝置；及供給頭，其係搭載於前述粗細移動裝 置上，並對工件供給液體；前述粗細移動裝置包含：導 引構件；第一移動體及第二移動體，其係可沿著前述導 引構件而上下方向移動，且前述供給頭搭載於前述第二 移動體上；連結構件，其係可相對移動地連結前述第一 移動體與第二移動體；馬達；第一驅動機構，其係連結 於前述馬達，用於使前述第一移動體藉由第一行程而粗 移動，且包含：藉由前述馬達而旋轉之進給螺絲；及固 定於前述第一移動體，而螺合於前述進給螺絲之螺帽； 第一彈簧，其係以作用於前述第一驅動機構之螺帽的方 式而連接，並沿著前述進給螺絲之軸線方向，將前述螺 帽施力於上方；及第二驅動機構，其係介於前述第一移 7 1376580 動體與第二移動體之間，用於使前述第二移動體對第一 移動體藉由第二行程而相對地細移動；前述第二驅動機 構包含致動器，其係設於前述第一移動體與前述第二移 動體之任何一方，前述致動器包含具有第一抵接面之抵 接件，前述第一移動體與前述第二移動體中之另一方包 含可抵接於前述抵接件之第一抵接面的第二抵接面，前 述第一抵接面與前述第二抵接面之至少任何一方形成 球面。 【實施方式】 以下，依據第一圖至第七圖，說明本發明第一實施 形態之液體供給裝置。該液體供給裝置係例如適用於基 板製造裝置之液體供給裝置。 如第一圖所示，液體供給裝置包含基座11。在該基 座11上配置平台12,在其平台12之上面，藉由無圖示 之真空吸附裝置，可裝卸地吸附保持基板等之工件W。 此外，在基座11上，門型之起重機架13以跨越平台12 之狀態，可在Y軸方向（第一圖中與紙面正交之方向） 移動地支撐。起重機架13中附設藉由馬達構成之Y軸 致動器14,起重機架13藉由該Y軸致動器14而移動於 前述Y轴方向。 在前述起重機架13之水平支撐部13a上，可在X 軸方向（第一圖中之左右方向）移動地支撐X軸滑鞍 15。X軸滑鞍15中附設X軸致動器16，X轴滑鞍15 藉由該X袖致動器16而移動於前述X軸方向。在X軸 滑鞍15之前面裝設有粗細移動裝置17。在其粗細移動 裝置17之前部，可在Z軸方向（第一圖中之上下方向） 8 1376580 粗移動及細調整移動（細移動）地配置後述之第二移動 體33。另外，此處所謂粗移動，如指數十mm程度之大 行程（第一行程）的移動。此外，所謂細移動，係指數 μιη〜數十μπι程度之細小行程（第二行程）的移動。 在前述粗細移動裝置17中之第二移動體33的下部 前面搭載有：用於填充密封材料等之液體的注射槽18， 及將其注射槽18加溫，而維持前述液體之軟化狀態用 的加熱塊19。在注射槽18之下端突設有對下方之工件 W供給注射槽18内之液體用的供給頭20。而後，供給 頭20藉由粗細移動裝置17從第一圖中以實線表示之上 方的待機位置Ρ1粗移動至以鏈線表示之下方的供給位 置Ρ2後，藉由從供給頭20供給液體於工件W上，而在 其工件W上形成特定圖案之液體塗布部Wa。 在前述粗細移動裝置17中之第二移動體33的下部 配置有作為檢測手段（檢測部）之距離感測器21。該距 離感測器21包含：位於供給頭20之一側的發光部21a， 與位於該供給頭20之另一側的受光部21b。而後，在供 給頭20藉由粗移動而移動至供給位置P2的狀態下，從 距離感測器21之發光部21a向工件W照射雷射光，並 且藉由受光部21b接收來自其工件W上之反射光。藉由 該投射接收光之工作，檢測供給頭20 (具體而言係其頂 端）與工件W間之距離。藉由距離感測器21之檢測結 果輸出至作為控制部之控制裝置22。 前述控制裝置22依據特定之程式，對前述Y軸致 動器14、X軸致動器16及粗細移動裝置17供給工作訊 號，而使前述供給頭20移動至與工件W上之所需液體 供給部分對應的位置。詳細而言，控制裝置22係控制 9 1376580 粗細移動裝置17夕工作，而姑μ AA 粗移動至供給M P2 述距離感測器21之檢測結果A =:: 動致動器50之工作。藉:該=ί; 動裔50之工作’在供給位置ρ2 20 ,使供給頭20之頂端鱼工件w „ 玉秒勁供、，口頭 定值。缺後，㈣之距離始終成為一 ^液體 對於Μ W供給注射槽18

述粗細移動裝置17之結構詳細作說明。 如第-圖及第三圖所示，粗細移動裝置17之底座 板25形成縱長形狀。如第四⑷圖及第五⑻圖所示 其底座板25之前面突設有在上下方向（z軸方向）彼此 平仃地延伸之左右一對安裝壁部25a，25a。在其安裝壁 部25a，25a之左右方向的外側面，彼此朝外地形成^ 對基準面况25e。在此等基準面〜，〜上藉由數個 螺栓27安裝有作為導引構件之一對轨道26,26。亦即， 兩軌道26, 26係藉由基準面25c，2允定位。如第四

圖及第五(b)圖所示，各軌道26具有接觸於對應之基準 面25c的内侧面作為定位面26a。 如第二圖至第四圖所示，在前述底座板25之前面， 平板狀之第一移動體28沿著前述執道26，26可在上下 方向移動地支撐。詳細而言，如第四（a)圖所示，在第一 移動體28之後面兩側部，藉由數個螺栓3〇安裝有左右 二對之支撐板29, 29。在此等支撐板29, 29之内側面’ 藉由數個螺栓32’在彼此相對之狀態下安裝有至少一對 第一被導引體31，31(第三圖中為二對）。在各被導引體 31之内側面（此等彼此之相對面）形成有溝31a。而後， 各被導引體31在其溝31a内，蘇 經由數個滾珠24而導引。 胃+應之軌道26,並 如第二圖、第三圖及第五圖 體28之上方’於底座板25 不^在前述第-移動 J前述，，26可在上下方向移動弟地二:動體33沿 °如第五（a)圖所示，第二移動體#。詳細而 藉由數個螺栓35而安裝有左古_ 之後面兩側部亦 等支樓板34, 34之内側面，樓板料，34。在此 野之狀態安裝有至少—對第_\^_栓37以彼此相 中俦-斟1。,々破導Μ體36,36(第二円 係一對）。在各被導引體36 、弟—圖 訝面）形成有溝36a。而後，在^ +面（此4彼此之相 之各被導弓丨ΐ 别述第一移動體28側 +被導引體31上方位置，各# 例 軌道26，並經由數個滚珠& a胃—稭由對應之 如第三圖所示，在第二移而動=其，内。 戍有覆蓋第-移動體28之前方—之刖面下部，形 在該第e的延長壁部33&。而後， ^ 18 延長壁部33a的前面安裝前述注射 騎壁部W之下端安裝有 配晋ϋί圖及第六圖所示，在前述底座板25之前面 動iU移動體28在上下方向粗移動用之第-驅 枯 > 砰細而言，在兩執道26, 26間，於前述底座 5之拍的中央部上下兩端—體形成有支樓壁25b， 兩山。如第六圖所示’在此等支禮壁25b，25b上’在其 〇端桃ά對滾珠軸承4G *可旋轉地支撐進給螺絲 。在底座板25之上端經由托架42安裝馬達41，其馬 建轴4^經由輕合器43而連結於進給螺絲39之上端部。 在前述第一移動體28之後面，經由螺帽座45而固

I37658U 設卡2:6螺之螺帽44。在螺帽座45之後面突 46而安裳有卡住配二D後面上部’對應於卡銷 間掛設彈簧48 (第 在卡严46與卡住配件47之 向進給蟫呼^ 4尹、）’藉由該彈簧48將嫘帽44 。螺4:9之軸線方向的上方施力。 絲39二二Π:，，達41向左或右地旋轉進給嫘 而在上或^目44將弟一移動體28沿著軌道26, 26 ’ 帽44施力Λ Γ移動。此時，因為藉由彈簧48將螺 ;上方，所以消除進給螺絲39與螺帽44間 =二;^ =狀態下，藉由以彈赞48 重量而自然落下。防止弟-移動體巧可能因本身 體：f 六圖所示，在前述第-移動 i編ti—驅動機構38之停止狀態下，藉由該第二驅 ^ 將第二移動體33對第一移動體28相對地細 移動丄而細調整第二移動體33之位置。 夕而言’如第六圖所示，在前述第二移動體33 中央部’細移動致動器5〇 (以下，簡稱為致動器 i t A其上端部經由支撐座51而固定。該致動器50藉 =隧電壓之施加而可伸縮之壓電元件等的壓電元件 集而構成。在致動器5Q之壓電元件的下端部，連 結有藉由金屬材料構成之大致圓柱狀的抵接件52。在位 於抵接件52下端之該抵接件52的頂端形成有球面部 52a (第+—抵接面）。該球面部52a實質地形成大致半球 狀。在第一移動體28之上端緣埋設有藉由金屬材料構 成之墊片53。在其墊片53之上面形成有可抵接於抵接 12 1376580 件52之球面部52a的抵接面53a (第二抵接面）。第二 抵接面53a形成平面。前述抵接件52及墊片53使用鉻 鉬鋼等硬質且耐磨損性優異者。 如第二圖及第七圖所示，在前述第一移動體28及 第二移動體33前面之左右位置突設有2組之一對卡銷 54, 55。各卡銷54配置於第一移動體28，各卡銷55配 置於第二移動體33。亦即，卡銷54, 55上下地配置。在 卡銷54, 55間掛設有作為連結第一移動體28與第二移 動體33之連結構件的一對彈簧56, 56 (第二彈簧）。第 二彈簧56, 56之各個具有比對前述螺帽44施力之第一 彈簧48更強的施加力。而後，藉由此等第二彈簣56, 56, 向第一移動體28及第二移動體33彼此接近之方向施 力，藉由該施加力，抵接件52之球面部52a(亦即球面） 對墊片53之抵接面53a (亦即平面）在實質地點接觸狀 態下抵接。因此，第一移動體28與第二移動體33藉由 此等第二彈簧56, 56可相對移動地連結。而後，在該狀 態下，藉由膨脹或收縮致動器50，抵接件52移動於軸 線方向。結果，第二移動體33對第一移動體28相對地 細移動，而細調整第二移動體33之位置。 其次，就具備如前述構成之粗細移動裝置17的液 體供給裝置，說明動作。 再者，該液體供給裝置運轉時，基板等之工件W放 置於平台12上，並且藉由無圖示之真空吸附裝置而吸 附保持。在該狀態下，從控制裝置22輸出工作訊號至Y 軸致動器14及X軸致動器16時，起重機架13及X軸 滑鞍15分別移動於Y轴及X轴方向。藉由此等移動， 搭載於粗細移動裝置17之第二移動體33上的供給頭20 1376580 =件W上之特定的液體塗布位置相對之待機 驅動之第― 向下方粗移動。藉由該粗移 _33:由螺帽44而 給頭2〇從上方之待機位置33上之供 =多動而後，供給頭20之移動在供^置y 該狀態下，藉由距離感測器21 端與工件W _轉，後，因應細H，2f之頂 制裝置22之控制，而在粗細移 。稭由控 機構49的致動器5〇中施加正或:中^二驅動 縮其，器5。之麗電元件。藉由該脹ί收 移動體33對第—移動 /脹次收鈿，第二 果，細調整供給頭移2:=二=移動。結 w間之聽成為蚊值。而後，“

供給液體。 卜對工件W 第一實施形態之粗細移動裝置17具有以 5 2之ΐ : : 12—移動體3 3側之致動器5 〇下端的抵接件 52之表面# 52a’對設於第一移動體28之墊 接，53a’始終以點接觸狀態抵接。因而，即使偏心： 轉第一驅動機構38中之進給螺絲％時，或是，= 進給螺絲39之加工精度及組裝精度低時，不會 = 由致動益50對於第二移動體33傳達不良影響。、二 口而T使第一移動體33依據底座板25之安裝壁 部25a的基準面25c及兩軌道26之定位面26a的精度， 14 1376580 高精度地細移動至特定位置。因而，可使供給頭2〇從 工件w之表面以正確之方向正確地位於隔以特定 的供給位置P2。因此，藉由在該狀態下從供給頭扣供 給密封材料等液體至工件W上，可在其工件w上形^ 正確之所需圖案的液體塗布部Wa。因而，對工件^可 獲得高度之加工精度。 (2) 在該粗細移動裝置17中，如第四（a), (b)圖及第 五（a)，（b)圖所示’各軌道26係在其執道26之定位面26a 中，藉由數個螺检27而安裝於底座板25對應之基準面 25c。特別是第一實施形態，係在形成於各軌道26之螺 栓插通孔26b與螺栓27之間形成微小間隙，利用該間 隙預先細調整各軌道26對底座板25之安裝位置及安裝 角度。藉此，不設置間隔物等其他零件，可輕易地確保 兩軌道26, 26之安裝精度。因此，可獲得第一、第二移 動體28, 33之高移動精度。因而，兩執道26, 26與第一、 第二移動體28, 33之間不致產生扭曲等，而可使第一、 第二移動體28, 33能夠以低負荷且不產生振動地移動。 (3) 在該粗細移動裝置17中，用於導引第一、第二 移動體28, 33之兩轨道26, 26係固定於底座板25之基 準面25c，25c。而後，此等基準面25c，25c形成於橫方 向之外方向。因而，將基準面25c，25c在銑床及研磨床 之移動台上加工時，可在銳床及研磨床之切割器的側面 加工。因此，可忽略前述移動台進給時之凹痕，而可高 精度地加工基準面25c, 25c。因而’轨道26, 26安裝時 可獲得南精度。 (4) 在該粗細移動裝置Π中’如第四（a)，（b)圖及第 五(a)，（b)圖所示，係在第一移動體28之後面兩側部安裝 15 1376580 —對支撐板29, 29,並在第二移動體33之後面兩側部安 ，有一對支撐板34, 34 ^在兩支撐板29, 29之内侧面，

藉由數個螺栓32,在彼此相對之狀態下安裝有—對被導 引體31，31。同樣地，在兩支撐板34, 34之内側面萨 由數個螺栓37,在彼此相對之狀態下安裝有一對被導^ 體36，_36。而後，各被導引體31，36在對應之溝3u, 3如 内經由滾珠24，並藉由對應之執道％而導引。特別 疋第一實施形態係在形成於各支撐板29, 34之螺栓插通 孔29a、，34a與螺栓32, 37之間形成微小之間隙，並利用 該間隙預先細調整各支樓板29, 34對各被導引體31 之安裝角度及位置。藉此，可將與各執道26之定位面 26a對應的被導引體31，36保持在良好之位置關係。因 而，與前述執道26, 26之安裝同樣地，不使用間隔物等 而可簡單地進行各支撐板29, 34之位置及傾斜角度的調 整。 (5) 在該粗細移動裝置17中，係藉由彈簧48而將第

一驅動機構18之螺帽44向進給螺絲39之軸線方向的 上方施力。因而，可消除進給螺絲39與螺帽44 ^人 關係中的齒隙。 ’' σ 此外，在馬達41之停止狀態下，可抑制第一 體28可能因本身重量而自然落下，而將第一移動體μ 保持於固定位置。因而，可防止注射槽18之供仏 與工件W碰撞。 喷ζυ (6) 在該粗細移動裝置17中，係在第一、第二移動 體28, 33之後面兩側部分別固定支撐板29, 34，在其支 撐板29, 34之内側分別固定有與各執道26卡合之^皮導 引體31，36。亦即，第一、第二移動體28, 33全體形成 16 1376580 門型。因而，第一、第二移動體28, 33之剛性與強度提 高。藉此，除了有助於提高對工件w之加工精度外，還 可縮小第一、第二移動體28, 33之左右寬度（例如與第 十圖之結構做比較），而達成裝置17全體之小型化。 (7)在該粗細移動裝置I?中’具備檢測供給頭2〇之 頂端與工件W間之距離的距離感測器21。此外，設有 按照該距離感測器21之檢測結果來控制第二移動體33 之細小移動的控制裝置22。因此，可依據距離感測器 21之距離檢測，來移動搭載了供給頭2〇之第二赘動體 33。因此，即使在工件W之表面產生撓曲時，因為仍可 以將其工件W表面與供給頭20之頂端的距離始終保持 一定’以至更正確地形成液體塗布部。 (第二實施形態） 其次，針對與前述第一實施形態不同之部分，說明 本發明之第二實施形態。 在此，該第二實施形態中，如第八圖所示，係在埋 設於第一移動體28上端之墊片53的上面形成有球面凹 狀之抵接面53a。而後，設於細移動致動器5〇下端之抵 接件52的球面部52&對該墊片53之抵接面53a抵接: 因此’該第二實施形態中亦可獲得與前述第一實施 形態大致相同之優點。 特別是因為該第二實施形態中，抵接件52之球面 部52a與塾片53之抵接面53a大致維持點接觸狀態，並 且可擴大此等兩者間的接觸面積，所以可提高球面部 52a及抵接面53a之财用性。 (第三實施形態） 其次’針對與前述第一實施形態不同之部分，說明 17 1376580 本發明之第三實施形態。 再者，該第三實施形態中’如第九圖所示，在細释 動致動器50之下端’藉由止動件62而無法脫離，且< 對全方向旋轉地安裝有由硬質金屬材料之球體構成的 抵接件61。而後’該抵接件61之外周下端緣（亦即球 面）對第一移動體28側之墊片53的抵接面53a，以大 致點接觸狀態抵接。 因此，該第三實施形態中’亦可獲得與前述第一實 施形態大致相同之優點。 特別是，該第三實施形態中，因為旋轉抵接件61 , 所以可抑制抵接件61之磨損。而且’藉由抵接件61么 旋轉’§亥抵接件61與塾片53之抵接面53a的相對移動 圓滑，而可適切地吸收兩者間少許之精度誤差。 (第四實施形態） 其次’針對與前述第一實施形態不同之部分，說明 本發明之第四實施形態。 再者’在該第四實施形態中，如第+(a)，(b)圖所示， 於底座板25之前面形成有一對基準面25c，25c。在該基 準面25c，25c上，藉由數個螺栓27而安裝有一對軌遒 26, 26。在第一移動體28及第二移動體33之後面，數 個被導引體31，36以向後的狀態直接安裝。而後，各被 導引體31，36對各轨道26之定位面26a導引。 該第四實施形態中，因為被導引體31，36不經由支 撐板等，而係直接安裝於第一移動體28及第二移動體 33之後面，所以與第一實施形態比較下，可減少零件數 量，構造簡單並可削減零件數量。 (變更例） 1376580 另外，前述實施形態亦可如下述做變更而具體化。 •在前述實施形態之粗細移動裝置中，係在第二移 動體33中安裝致動器50,且其致動器50之頂端的抵接 件52與第一移動體28之墊片53抵接。與其相反地， 亦可在第一移動體28中設置致動器50，且將與其致動 器50頂端之抵接件52抵接的墊片53設於第二移動體 33 ° •在前述實施形態之粗細移動裝置中，致動器50 頂端之抵接件52係形成球面狀，墊片53形成平面狀。 與此相反地，亦可將致動器50頂端之抵接件52形成平 面狀，而墊片53形成球面狀。 •在前述實施形態之粗細移動裝置中，連結第一及 第二移動體28, 33之連結構件是以一對彈簧56,不限於 56，亦可為單一之彈簧56。 •在前述實施形態之液體供給裝置中，支撐工件W 之平台12係固定於基座11上，且起重機架13可向Y 軸方向移動地配置於基座11上。與其相反地，亦可將 起重機架13固定於基座11上，並將平台12可向Y軸 方向移動地配置於基座11上。 •在前述實施形態中，粗細移動裝置Π係設置於 液體供給裝置中，並將供給頭20移動至所需位置。除 此之外，亦可將粗細移動裝置17設置於與液體供給裝 置不同之位置。如亦可將粗細移動裝置17設於雷射加 工機中。此時，設於雷射加工機之雷射光的照射頭，係 搭載於粗細移動裝置17之第二移動體33上，照射頭之 移動藉由粗細移動裝置17而控制。 19 1376580 【圖式簡單說明】 第一圖係顯示具備第一實施形態之粗細移動裝置 的液體供給裝置之概略前視圖。 第二圖係放大第一圖之粗細移動裝置而顯示的前 視圖。 第三圖係第二圖之粗細移動裝置的側視圖。 第四（a)圖係第二圖之4 — 4線的放大剖面圖，第四 (b)圖係放大第四（a)圖之一部分的剖面圖。 第五（a)圖係第二圖之5 — 5線的放大剖面圖，第五 (b)圖係放大第五（a)圖之一部分的剖面圖。 第六圖係第二圖之6 —6線的剖面圖。 第七圖係第二圖之7 — 7線的部分剖面圖。 第八圖係第二實施形態之粗細移動裝置的部分剖 面圖。 第九圖係第三實施形態之粗細移動裝置的部分剖 面圖。 第十（a)圖係第四實施形態之粗細移動裝置的剖面 圖，第十（b)圖係放大第十（a)圖之一部分的剖面圖。 【主要元件符號說明】 11 基座 18 注射槽 12 平台 19 加熱塊 13 起重機架 20 供給頭 13a水平支撐部 21 距離感測器 14 Y軸致動器 21a 發光部 15 X軸滑鞍 21b 受光部 16 X軸致動器 22 控制裝置 17 粗細移動裝置 24 滚珠 20 1376580

25 底座板 41a 馬達轴 25a 安裝壁部 42 托架 25b 支撐壁 43 耦合器 25c 基準面 44 螺帽 26 執道 45 螺帽座 27 螺栓 46 卡銷 28 第一移動體 47 卡住配件 29 支撐板 48 彈簧 30 螺栓 49 第二驅動機構 31 被導引體 50 致動器 32 螺栓 51 支撐座 33 第二移動體 52 抵接件 33a 延長壁部 52a 球面部 34 支撐板 53 墊片 35 螺栓 53a 抵接面 36 被導引體 54 卡銷 37 螺栓 55 卡銷 38 第一驅動機構 56 第二彈簧 39 進給螺絲 61 抵接件 40 滾珠軸承 62 止動件 41 馬達

Claims (1)

1. 丄 申請專利範圍⑻年6月8日修疋替換頁 一種粗細移動裝置，其特徵為且備： 導引構件； 構件=動難及第二移動體’其係可沿著前述導弓丨 想與體其係可相對移動地連結前述第-移動 第-驅動機構，其係用於使前述第 第一行程而袓移動；及 砂勃體精由 移動係介於前述第一移動體與第二 移動體對第1動體藉 刖述第二驅動機構包含致動器，其係 前述第一移動體與前述第二移動體中 】含可抵接於前述抵接件之第—抵接面:匕-: -方抵接面與前述第二抵接面之至少任何 2. 圍第1項之粗細移動裝置，其中前述導 置進一步^了地配置之一對執道，前述粗細移動裝 前述一被導引體，其係彼此相對地配置於 ^第—移動體’而藉由前述兩軌道導引；及 前述二被導引體，其係彼此相對地配置於 μ第—移動體’而藉由前述兩執道導引。 22 101年6月8日修正替換頁 3. 如申請專利範圍第2項之粗細移動裝置，其中前述粗 細移動裝置進一步具備固定前述兩執道之底座，前述 底座彼此朝外地形成，且包含將前述兩執道定位之一 — 對基準面。 4. 如申請專利範圍第2項之粗細移動裝置，其中前述粗 細移動裝置具備驅動前述第一驅動機構之馬達，前述 第一驅動機構包含： 進給螺絲，其係藉由前述馬達而旋轉；及 螺帽，其係固定於前述第一移動體，並與前述進 給螺絲螺合； 修 且將前述進給螺絲配置於前述兩執道間。 5. 如申請專利範圍第4項之粗細移動裝置，其中前述粗 細移動裝置進一步具備第一彈簧，其係以作用於前述 螺帽之方式連接，並將前述螺帽沿著前述進給螺絲之 軸線方向而施力於一個方向。 6. 如申請專利範圍第5項之粗細移動裝置，其中前述連 結構件包含第二彈簧，前述第二彈簧具有比施力於前 述螺帽之前述第一彈箐更強之施加力。 7. 如申請專利範圍第1項之粗細移動裝置，其中前述致 ® 動器進一步包含藉由電壓而伸縮之壓電元件，前述抵 接件藉由前述壓電元件之伸縮而移動，前述第二移動 體對於第一移動體相對地細移動。 8. 如申請專利範圍第1至7項中任一項之粗細移動裝 置，其中前述第一抵接面與前述第二抵接面之其中任 何一方係形成球面’另一方形成平面。 9. 如申請專利範圍第1至7項中任一項之粗細移動裝 置，其中在前述抵接件中，包含前述第一抵接面之一 23 1376580 101年6月8日修正替換頁 ϋΠΐ地大致形成半球’前述第-抵接面係球面。 專職圍第9項之粗細移動裝置’其中前述第 一抵接面係形成凹狀之球面。 弟 申利範圍第1至7項中任-項之粗細移動裝 =接面1'=抵接件實質地纽形成球體，前述第一 12.如申請專利範圍第u項之粗細移 抵接件係對前述致動器可旋轉地安裝 13 一種液體供給裝置，其具備： 、 翻·細移動裝置；及 工件Si體其係搭载於前述粗細移動裝置上，並對 前述粗細移動裝置包含： 導引構件； 構件t = 動體’其係可沿著前述導引 鲁 其中前述 移動體上；° 且别述供給頭搭載於前述第二 體與第二體其係可相對移動地連結前述第-移動 第^程用於使前述第一移動體藉由 移動^二驅動機構，其係介於前述第一移動體虚第-由第^行程而相對地細移移動體對P移動體藉 -移：iC構包含致動器，其係設於前述第 包含具有第—_面2=任何—方，别迷致動器 24 1376580 101年6月8日修正替換頁 前述第一移動體與前述第二移動體中之另一方 包含可抵接於前述抵接件之第一抵接面的第二抵接 — 面； · 前述第一抵接面與前述第二抵接面之至少任何 一方形成球面。 14. 一種液體供給裝置，其具備： 粗細移動裝置；及 供給頭，其係搭載於前述粗細移動裝置上，並對 工件供給液體； 前述粗細移動裝置包含： 鲁 導引構件； 第一移動體及第二移動體，其係可沿著前述導引 構件而上下方向移動，且前述供給頭搭載於前述第二 移動體上； 連結構件，其係可相對移動地連結前述第一移動 體與第二移動體； 馬達； 第一驅動機構，其係連結於前述馬達，用於使前 述第一移動體藉由第一行程而粗移動，且包含：藉由 ® 前述馬達而旋轉之進給螺絲；及固定於前述第一移動 體，而螺合於前述進給螺絲之螺帽； 第一彈簧，其係以作用於前述第一驅動機構之螺 帽的方式而連接，並沿著前述進給螺絲之軸線方向， 將前述螺帽施力於上方；及 第二驅動機構，其係介於前述第一移動體與第二 移動體之間，用於使前述第二移動體對第一移動體藉 由第二行程而相對地做細移動； 25 1376580 〆. 101年6月8日修正替換頁 \ 前述第二驅動機構包含致動器，其係設於前述第 〃 一移動體與前述第二移動體之任何一方，前述致動器 * 包含具有第一抵接面之抵接件； 前述第一移動體與前述第二移動體中之另一 方，包含可抵接於前述抵接件之第一抵接面的第二抵 接面， 前述第一抵接面與前述第二抵接面之至少任何 一方形成球面。 15.如申請專利範圍第13或14項之液體供給裝置，其中 • 前述液體供給裝置進一步具備： 檢測部，其係檢測前述供給頭與前述工件間之距 離’並输出檢測結果；及 控制部，其係按照前述檢測部之檢測結果來控制 前述致動器之動作。 26