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TW202526532A - 基板處理系統及將基板處理系統與遠端計算系統連接之方法 - Google Patents

基板處理系統及將基板處理系統與遠端計算系統連接之方法 Download PDF

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TW202526532A
TW202526532A TW113131692A TW113131692A TW202526532A TW 202526532 A TW202526532 A TW 202526532A TW 113131692 A TW113131692 A TW 113131692A TW 113131692 A TW113131692 A TW 113131692A TW 202526532 A TW202526532 A TW 202526532A
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TW
Taiwan
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switch
substrate processing
input
key switch
processing system
Prior art date
Application number
TW113131692A
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埃里克 斯坦賽弗
權 張
Original Assignee
荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司
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Publication date
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Abstract

基板處理系統及方法包括具有鎖定及/或掛牌控制及/或特徵之選擇性可啟動遠端電腦存取。此類基板處理系統可包括：(a)一第一網路開關，其包括一輸入埠及一輸出埠；(b)一第二網路開關，其包括與第一開關輸出埠直接地或間接地連接之一輸入/輸出埠；(c)一可鎖定鑰匙開關，其設置於一電力供應管線中且可在關斷與接通位置之間移動；以及(d)一鑰匙，其用於在接通與關斷之間移動該鑰匙開關。當接通時，用於將電力供應至該第一網路開關及/或第二網路開關之一電路完成，從而實現對該基板處理系統之遠端電腦控制。當關斷時，用於將電力供應至該第一網路開關及/或第二網路開關之一電路中斷，藉此停用遠端電腦控制。該鑰匙可僅在處於該關斷位置中時移除。

Description

用於基板處理系統之遠端電腦存取鎖定系統及方法
本揭露大體上係關於用於控制對基板處理系統之遠端存取之系統及方法。此技術之一些更特定態樣係關於其中可啟用及停用傳入遠端電腦信號之基板處理系統及方法。此技術之一些態樣係關於其中可使用鎖定及/或掛牌(例如，「LOTO」)控制及/或特徵來啟用及停用傳入遠端電腦信號之基板處理系統及方法。
材料層通常在半導體裝置之製造期間，諸如在積體電路及電子裝置之製造期間，沉積至基板上。材料層沉積通常藉由以下操作來實現：在基板處理腔室配置內支撐基板；將基板加熱至所要沉積溫度；以及使一或多個材料層前驅物流動通過腔室配置並流過基板。當前驅物流過基板時，材料層通常根據基板溫度及腔室配置內之環境條件而逐漸發展至基板之表面上。
現有基板處理系統包括「群集型」系統，其中單一基板搬運腔室經由閘閥與兩個至四個基板處理腔室操作性地連接。各基板處理腔室經裝備以在基板支撐件上接收基板，該基板支撐件在處理期間，例如在上文所描述之材料層沉積期間，固持基板。基板搬運腔室包括機械臂，該機械臂用以透過閘閥移動基板進出各個基板處理腔室。
此類型之基板處理系統通常具有遠端存取及遠端操作能力，從而允許系統至少部分地由位於基板處理系統位置遠端之一方控制。然而，此類遠端存取及操作能力可增加安全危害之可能性。舉例而言，有時，例如當在其他組件上進行服務或維修時，基板搬運腔室、基板處理腔室及/或其他設備中之一或多者在服務或維修期間可不斷電。此時，技術員可能需要接入基板搬運腔室、基板處理腔室及/或其他設備中之一或多者的內部腔室，以完成必要工作。在進行維修或服務時例如由遠端定位方遠端啟動基板處理系統之一些部分會對參與維修或服務之任何人員造成傷害。
有時，服務技術員可能需要校準感測器，例如與一或多個機械臂相關聯之感測器(例如，包括有用於基板搬運腔室中之機器人的自動晶圓居中(或「AWC」)感測器)。若遠端操作員在校準完成且資料保存之前啟動機械臂，則未保存之資料將會遺失。這導致需要開始再次校準(至少自最後保存之點)，此增加了成本且浪費了服務技術員之時間。
為了避免此等類型之問題，在維修或服務期間，技術員可防止基板處理系統之非所要遠端啟動，例如藉由實體地自基板處理系統之處理電腦的輸入埠斷開遠端電腦之乙太網路連接。雖然對於防止遠端使用者經由乙太網路連接不合需要地啟動基板處理系統之預期目的通常可接受且有效，但此配置具有一些缺點。舉例而言，當完成時，技術員可能忘記重新連接乙太網路電纜及/或將電纜重新連接至不正確之埠，例如導致系統「停機時間」比預期及/或必要更長。另外或替代地，「經過者」可能注意到未插入之電纜並在維修或服務繼續進行時將其插回。因此，對此類基板處理系統之遠端控制及存取存在改進空間。
此技術之態樣係關於用於控制對基板處理系統之遠端存取的系統及方法。此技術之一些更特定態樣係關於其中可啟用及停用傳入遠端電腦控制信號之基板處理系統及方法。另外或替代地，此技術之一些態樣係關於其中可使用鎖定及/或掛牌控制及/或特徵來啟用及停用傳入遠端電腦控制信號(以用於控制基板處理系統之任何部分)之基板處理系統及方法。鎖定控制及/或特徵可包括鎖定系統，該鎖定系統可在「啟用」或「接通」位置與「停用」或「關斷」位置之間移動以允許：(a)遠端資料傳輸系統或方法內之一或多個組件的電力供應控制及/或(b)遠端資料傳輸系統或方法內之一或多個資料傳輸管線或系統的控制。
根據此技術之至少一些實例的基板處理系統包括以下中之一或多者：(a)一第一開關，其包括一第一輸入埠、一第一電力輸入以及一第一輸出埠；(b)一第二開關，其包括一第一輸入/輸出埠以及一第二電力輸入；(c)一第一電連接器，其電連接該第一電力輸入及該第二電力輸入；(d)一可鎖定鑰匙開關，其設置於該第一電連接器中，該可鎖定鑰匙開關可在一關斷位置與一接通位置之間移動；(e)一電源，其連接至該第一電連接器；及/或(f)一鑰匙，其經組態以由該可鎖定鑰匙開關接收，且經組態以在由該可鎖定鑰匙開關接收時在該接通位置與該關斷位置之間移動該可鎖定鑰匙開關。在該接通位置中，該電源將電力供應至該第一開關及該第二開關。在該關斷位置中，至少無電力供應至該第一開關。
除了上述特徵中之一或多者之外，或作為替代方案，在此技術的至少一些實例中，該鑰匙將可僅在該可鎖定鑰匙開關處於該關斷位置中時自該可鎖定鑰匙開關移除。
除了上述特徵中之一或多者之外，或作為替代方案，在此技術的至少一些實例中，該第一輸入埠將經組態以自一遠端計算系統接收基板處理命令，及/或該第一輸出埠將連接(直接地或間接地)至該第二開關之該第一輸入/輸出埠，以僅在該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時將該等基板處理命令自該遠端計算系統透過該第一開關傳輸至該第二開關。
除了上述特徵中之一或多者之外，或作為替代方案，根據此技術之一些實例的基板處理系統可進一步包含一或多個基板處理腔室，該一或多個基板處理腔室與該第二開關電子通信，其中該一或多個基板處理腔室中之至少一者僅在該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時基於自該遠端計算系統接收的該等基板處理命令而接收透過該第二開關傳輸之輸入資料。
除了上述特徵中之一或多者之外，或作為替代方案，根據此技術之一些實例的基板處理系統可進一步包含一基板處理系統主電腦，其中該第一輸入埠經組態以自一遠端計算系統接收基板處理命令，其中該第一輸出埠連接至該基板處理系統主電腦且僅在該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時將該等基板處理命令自該遠端計算系統透過該第一開關傳輸至該基板處理系統主電腦，並且其中該基板處理系統主電腦基於自該遠端計算系統接收的該等基板處理命令而將信號傳輸至該第二開關之該第一輸入/輸出埠。
除了上述特徵中之一或多者之外，或作為替代方案，根據此技術之一些實例的基板處理系統可進一步包含一或多個基板處理腔室，該一或多個基板處理腔室與該第二開關電子通信，其中該一或多個基板處理腔室中之至少一者僅在該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時基於自該遠端計算系統接收的該等基板處理命令而接收透過該第二開關傳輸之輸入資料。
除了上述特徵中之一或多者之外，或作為替代方案，在此技術的至少一些實例中，該第一輸入埠包含一乙太網路埠。
除了上述特徵中之一或多者之外，或作為替代方案，在此技術的至少一些實例中，該電源係一DC電源。
根據此技術之至少一些實例的基板處理系統包括以下中之一或多者：(a)一第一開關，其包括一第一輸入埠、一第一電力輸入以及一第一輸出埠；(b)一第二開關，其包括一第一輸入/輸出埠以及一第二電力輸入，其中該第一輸出埠與該第二開關之該第一輸入/輸出埠直接地或間接地連接；(c)一可鎖定鑰匙開關，其可在一關斷位置與一接通位置之間移動，該可鎖定鑰匙開關設置於一電力供應管線中，該電力供應管線經連接以將電力供應至該第一電力輸入或該第二電力輸入中之至少一者；及/或(d)一鑰匙，其經組態以由該可鎖定鑰匙開關接收。該鑰匙經組態以在由該可鎖定鑰匙開關接收時在該接通位置與該關斷位置之間移動該可鎖定鑰匙開關。在該接通位置中，包括用於將電力供應至該第一電力輸入或該第二電力輸入中之至少一者的該電力供應管線之一電路完成。在該關斷位置中，包括用於將電力供應至該第一電力輸入或該第二電力輸入中之至少一者的該電力供應管線之一電路中斷。
除了上述特徵中之一或多者之外，或作為替代方案，在此技術的至少一些實例中，該鑰匙將可僅在該可鎖定鑰匙開關處於該關斷位置中時自該可鎖定鑰匙開關移除。
除了上述特徵中之一或多者之外，或作為替代方案，在此技術的至少一些實例中，該第一輸入埠將經組態以自一遠端計算系統接收基板處理命令，及/或該第一輸出埠將直接連接至該第二開關之該第一輸入/輸出埠，以僅在該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時將該等基板處理命令自該遠端計算系統透過該第一開關傳輸至該第二開關。
除了上述特徵中之一或多者之外，或作為替代方案，根據此技術之一些實例的基板處理系統可進一步包含一或多個基板處理腔室，該一或多個基板處理腔室與該第二開關電子通信，其中該一或多個基板處理腔室中之至少一者僅在該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時基於自該遠端計算系統接收的該等基板處理命令而接收透過該第二開關傳輸之輸入資料。
除了上述特徵中之一或多者之外，或作為替代方案，根據此技術之一些實例的基板處理系統可進一步包含一基板處理系統主電腦，其中該第一輸入埠經組態以自一遠端計算系統接收基板處理命令，其中該第一輸出埠連接至該基板處理系統主電腦之一輸入且僅在該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時將該等基板處理命令自該遠端計算系統透過該第一開關傳輸至該基板處理系統主電腦，並且其中該基板處理系統主電腦基於自該遠端計算系統接收的該等基板處理命令而將信號傳輸至該第二開關之該第一輸入/輸出埠。
除了上述特徵中之一或多者之外，或作為替代方案，根據此技術之一些實例的基板處理系統可進一步包含一或多個基板處理腔室，該一或多個基板處理腔室與該第二開關電子通信，其中該一或多個基板處理腔室中之至少一者僅在該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時基於自該遠端計算系統接收的該等基板處理命令而接收透過該第二開關傳輸之輸入資料。
根據此技術之至少一些實例的將一基板處理系統與一遠端計算系統連接之方法可包含以下中的一或多者：(a)將一遠端計算系統與一第一開關之一第一輸入埠連接，該第一開關進一步包括一第一電力輸入及一第一輸出埠；(b)將該第一開關之該第一輸出埠與一第二開關之一第一輸入/輸出埠直接地或間接地連接，該第二開關進一步包括一第二電力輸入；(c)將該第一電力輸入及該第二電力輸入與包括一可鎖定鑰匙開關之一電連接器電連接，該可鎖定鑰匙開關可使用一鑰匙在一關斷位置與一接通位置之間移動；及/或(d)將一電源與該電連接器連接。該可鎖定鑰匙開關設置於該電連接器中以使得：(i)當該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時，該電源將電力供應至該第一開關及該第二開關，並且(ii)當該可鎖定鑰匙開關處於該關斷位置中時，該電源不將電力供應至該第一開關或該第二開關中之至少一者。
除了上述特徵中之一或多者之外，或作為替代方案，根據此技術之一些實例的方法可進一步包含藉由使用該鑰匙將該可鎖定鑰匙開關自該接通位置切換至該關斷位置來停用該基板處理系統之操作；及/或自該可鎖定鑰匙開關移除該鑰匙。
除了上述特徵中之一或多者之外，或作為替代方案，根據此技術之一些實例的方法可進一步包含藉由在該可鎖定鑰匙開關處於該關斷位置中時使該鑰匙與該可鎖定鑰匙開關接合而啟用該基板處理系統之操作；及/或使用該鑰匙將該可鎖定鑰匙開關自該關斷位置切換至該接通位置。
根據此技術之至少一些實例的將一基板處理系統與一遠端計算系統連接之方法可包含以下中的一或多者：(a)將一遠端計算系統與一第一開關之一第一輸入埠連接，該第一開關進一步包括一第一電力輸入及一第一輸出埠；(b)將該第一開關之該第一輸出埠與一第二開關之一第一輸入/輸出埠直接地或間接地連接，該第二開關進一步包括一第二電力輸入；(c)將該第一電力輸入或該第二電力輸入中之至少一者與包括一可鎖定鑰匙開關之一電連接器電連接，該可鎖定鑰匙開關可使用一鑰匙在一關斷位置與一接通位置之間移動；及/或(d)將一電源與該電連接器連接。該可鎖定鑰匙開關設置於該電連接器中以使得：(i)當該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時，該電源將電力供應至該第一開關或該第二開關中之至少一者，並且(ii)當該可鎖定鑰匙開關處於該關斷位置中時，該電源不將電力供應至該第一開關或該第二開關中之至少一者。
除了上述特徵中之一或多者之外，或作為替代方案，根據此技術之一些實例的方法可進一步包含藉由使用該鑰匙將該可鎖定鑰匙開關自該接通位置切換至該關斷位置來停用該基板處理系統之操作；及/或自該可鎖定鑰匙開關移除該鑰匙。
除了上述特徵中之一或多者之外，或作為替代方案，根據此技術之一些實例的方法可進一步包含藉由在該可鎖定鑰匙開關處於該關斷位置中時使該鑰匙與該可鎖定鑰匙開關接合而啟用該基板處理系統之操作；及/或使用該鑰匙將該可鎖定鑰匙開關自該關斷位置切換至該接通位置。
提供本發明內容來以簡化形式介紹關於此技術之一系列概念。此等概念將在以下實施方式中進一步詳細描述。此發明內容並不意欲鑑別所主張主題之關鍵特徵或基本特徵，亦不意欲用以限制所主張主題之範疇。
現將參照附圖，其中相同元件符號鑑別本揭露之類似結構特徵或態樣。
術語「輸入埠」及「輸出埠」在本文中用以指示用於接收及/或傳輸資料之埠時在其範疇內包括用於接收輸入及傳輸輸出兩者(例如，「輸入/輸出埠」)之資料及/或通信埠。因此，雖然術語「輸入埠」可在本文中用以描述組件之特定部分，但提供該「埠」之硬體實際上可經組態以並能夠自一或多個其他組件接收輸入且將輸出傳輸至一或多個其他組件。類似地，雖然術語「輸出埠」可在本文中用以描述組件之特定部分，但提供該「埠」之硬體實際上可經組態以並能夠自一或多個其他組件接收輸入且將輸出傳輸至一或多個其他組件。
如上文所指出，材料層通常在半導體裝置之製造期間，諸如在積體電路及電子裝置之製造期間沉積至基板上。圖1示意性地繪示根據此技術之一些實例的「群集型」基板處理系統100。此示例性基板處理系統100包括基板搬運腔室102，該基板搬運腔室經由閘閥106與兩個至四個基板處理腔室104操作性地連接。各基板處理腔室104包括一或多個基板支撐件且經裝備以在基板支撐件108上接收基板，且在處理期間(例如，在上文所描述之材料層沉積期間、在蝕刻製程期間等)固持基板。圖1展示各基板處理腔室104，其包括四個基板支撐件108，基板可在處理期間置放於該等基板支撐件上。可在各基板處理腔室104中提供更多或更少基板支撐件108 (例如，基板處理腔室104可為雙腔室模組(DCM)或四腔室模組(QCM))。根據此技術之一些實例的基板處理腔室104可包括另外四個基板支撐件108，該等基板支撐件豎直地位於圖1之俯視圖中所展示之四個基板支撐件108下方。基板處理腔室104中之各者可具有相同結構，或基板處理腔室104中之一或多者可具有與存在的其他基板處理腔室104不同之結構。
基板搬運腔室102包括機械臂110，該機械臂用以透過閘閥106移動基板進出各個基板處理腔室104。在使用中，閘閥106敞開，機械臂110之末端執行器110A延伸通過敞開之閘閥106以將基板插入至基板處理腔室104之內部腔室中或自該內部腔室移除基板(例如，將基板置放於基板處理腔室104內之基板支撐件108上或自該基板支撐件取下基板)。一旦機械臂110自基板處理腔室104縮回，閘閥106關閉，藉此自基板搬運腔室102密封基板處理腔室104。接著，其他所要動作可發生在基板處理腔室104 (例如，材料層沉積、蝕刻等)及/或基板搬運腔室102中。
圖1進一步展示此示例性基板處理系統100包括負載鎖定模組112。負載鎖定模組112藉由一或多個閘閥116與基板搬運腔室102連接。負載鎖定模組112包括用於在進入基板搬運腔室102以用於進一步處理之途中及在離開基板搬運腔室102之途中(在處理完成之後)固持基板的基板固持組件114。機械臂110之末端執行器110A移動通過閘閥116 (當敞開時)，以將基板自負載鎖定模組112移動至基板搬運腔室102中(以用於層沉積、蝕刻及/或其他處理)且自基板搬運腔室102移動至負載鎖定模組112中(在處理完成之後)。負載鎖定模組112及閘閥116保持基板與基板搬運腔室102之環境隔離，直至基板搬運腔室102內之條件(例如，溫度、壓力、大氣含量等)準備好供基板插入為止，例如在等待所有閘閥106關閉的同時。
負載鎖定模組112進一步經由一或多個額外閘閥118與設備前端模組120耦接。設備前端模組120包括機械臂122。機械臂122之末端執行器122A移動通過閘閥118 (當敞開時)，以將基板自設備前端模組120移動至負載鎖定模組112中(以用於層沉積、蝕刻及/或其他處理)且自負載鎖定模組112移動至設備前端模組120中(在處理完成之後)。設備前端模組120之機械臂122亦自裝載埠124A至124D中之一者拾取新基板以供處理，且將經處理基板返回至裝載埠124A至124D中之一者，例如以輸送至另一位置以供進一步處理或其他動作。
圖1進一步展示通用處理電腦130 (在本文中亦稱為「基板處理系統主電腦」)。通用處理電腦130可用以控制及協調基板搬運腔室102、基板處理腔室104、負載鎖定模組112、設備前端模組120、裝載埠124A至124D、機械臂110、122、閘閥106、116、118以及此等組件中之任一者內所包括的任何設備之操作(例如，「排程」各種功能及操作)。通用處理電腦130亦可具有資料記錄功能(例如，執行設備資料獲取(「EDA」)功能)。雖然圖1展示通用處理電腦130容納有設備前端模組120，但其可經提供為任何其他組件部分(例如，基板搬運腔室102、基板處理腔室104中之一或多者、負載鎖定模組112等)之一部分，及/或其可經提供為分開的獨立組件或在分開的工作站處。圖1進一步展示遠端電腦140，其經由輸入埠142與通用處理電腦130連接，該輸入埠可至少部分地包含乙太網路埠及乙太網路電纜142C連接，但任何其他所要類型之有線及/或無線連接及/或通信可用於此技術之其他實例中。遠端電腦140可在任何所要位置處提供，且可經由網際網路及/或其他所要網路連接(由圖1中之「雲端」150表示)與基板處理系統100連接。雖然圖1展示設置於控制面板300處之輸入埠142 (下文更詳細地描述其示例性特徵)，但輸入埠142可直接與通用處理電腦130連接及/或以其他方式經連接以與基板處理系統100通信且提供資料以供操作該基板處理系統。雖然圖1展示設置於設備前端模組120上之控制面板300，但控制面板300位置在此技術之其他特定實例中可變化，包括在負載鎖定模組112上、在基板處理腔室104中之一者上、在獨立或分開的工作站處，及/或在另一所要位置處。
此技術之至少一些態樣係關於遠端電腦140與基板處理系統100連接之方式及/或此連接之操作方式，例如以將資料及資訊提供至通用處理電腦130以用於遠端控制及操作基板處理系統100。圖2示意性地繪示根據此技術之一個實例的連接系統200之至少一部分。如圖2中所展示，連接系統200包括網路切換系統202 (例如，在此實例中為8埠乙太網路開關)。網路切換系統202之一個輸入/輸出埠(在圖2中標記為「埠-5」)與通用處理電腦130連接。網路切換系統202之四個其他輸入/輸出埠(在圖2中標記為埠-2、埠-3、埠-4及埠-8)與各種基板處理腔室104連接，以在通用處理電腦130與基板處理腔室104之間傳輸資料(例如，用以控制加熱器、泵、閘閥、處理條件等之信號)。其他輸入/輸出埠經提供為與轉移模組電腦204 (經由埠-6)通信，例如以用於控制透過基板處理系統100之各種組件進行基板轉移，包括基板移動之排程；以及與設備資料獲取(「EDA」)電腦系統206 (經由埠-7)通信，例如輔助資料記錄之軟體工具。此所繪示實例之網路切換系統202的區域網路輸入埠連接至主電腦230，例如由基板處理系統100所位於之設施的製造商控制。
圖2之連接系統200進一步包括另一網路切換系統210，該另一網路切換系統在此具體繪示之實例中包含雙埠乙太網路埠。此額外網路切換系統210包括上文所論述之輸入埠142，其經由網路連接自遠端電腦140接收傳入資料(例如，待在基板處理腔室104中之一或多者中實行的基板處理命令及/或用於控制基板處理系統100之一些部分的其他命令)。網路切換系統210之輸出埠212與網路切換系統202之輸入/輸出埠(「埠-1」)連接(例如，經由通信線路214)，例如以將資料自遠端電腦140傳輸至網路切換系統202 (其繼而可經由網路切換系統202將資料傳輸至通用處理電腦130)。替代地，若需要，則遠端電腦140資料可自輸出埠212傳輸至另一輸入位置，諸如直接設置於通用處理電腦130上之輸入埠。網路切換系統210在本文中亦稱為「第一開關」或「第一切換系統」，並且切換系統202在本文中亦稱為「第二開關」或「第二切換系統」。
現在將結合圖2及圖3描述連接系統200之電力控制特徵。如圖2中所展示，此實例之連接系統200進一步包括用於經由電力線222將電力供應至網路切換系統202及網路切換系統210中之各者的DC電源220。此實例之電力線222包含將網路切換系統202之電力輸入(例如，24伏特DC電力輸入埠)及網路切換系統210之電力輸入(例如，24伏特DC電力輸入埠)電連接的電連接器。此實例之電力線222進一步包括鑰匙開關224。鑰匙開關224將至少網路切換系統210切換為接通及關斷。當鑰匙開關224閉合(「接通」)時，來自電源220之電力使網路切換系統210可操作以使得資料可自遠端電腦140透過網路切換系統210、透過輸出埠212移動至網路切換系統202中(或以其他方式投送)到達通用處理電腦130。當鑰匙開關224斷開(「關斷」)時，來自電源220之電力不到達網路切換系統210以使得網路切換系統210不可操作且不會透過網路切換系統210自遠端電腦140移動資料。以此方式，鑰匙開關224可用以控制遠端電腦140是否能夠操作基板處理系統100。
圖3繪示包括可與使用者互動之鑰匙開關224之一部分的控制面板300之一部分。如圖3之左側所展示，鑰匙302可插入至鎖定系統304之鑰匙槽306中。參見箭頭308。在此示例性鎖定系統304中，鑰匙302可僅插入至鑰匙槽306中，且在鎖定系統304處於關斷位置中時自鑰匙槽306移除。一旦鑰匙302經插入至鑰匙槽306中(例如，如圖3之中心所展示)，鑰匙302接著可切換成接通位置(其啟動網路切換系統210並啟用遠端電腦140對基板處理系統100之存取及控制)。參見圖3之右側。用鑰匙302轉動鎖定系統304可在斷開或關斷位置(如圖2中及圖3之中間所展示)與閉合或接通位置(如圖3之右側所展示)之間實體地移動開關構件224A (參見圖2中之箭頭224B)。當關斷時，可移動開關構件224A斷開電力線222之電路，以使得無電力到達網路切換系統210 (亦即，網路切換系統210處於「未供電」狀態)。此停用遠端電腦140對基板處理系統100之存取及控制。當「接通」時，可移動開關構件224A閉合電力線222之電路且供應電力以操作網路切換系統210。
圖3中所展示之鎖定系統304可包括圖2中所展示之可移動開關構件224A或與該可移動開關構件直接連接，以在斷開與閉合位置之間實體地且直接地移動開關構件224A。替代地，若需要，則可提供一些機械連接器及/或連桿以回應於鎖定系統304藉由鑰匙進行之移動而實體地移動開關構件224A。其他類型之實體配置、連桿、連接及/或組件(包括電子、有線及/或無線連接)可用以回應於鎖定系統304在其接通與關斷位置之間移動而在斷開與閉合位置之間改變鑰匙開關224。
如上文結合圖3所展示及描述，鑰匙開關224及鎖定系統304可具有各種特徵或特性。舉例而言，鑰匙開關224可為可鎖定的，例如用鑰匙302接合鎖定系統304。另外，鑰匙302可僅在鑰匙開關224及鎖定系統304處於關斷位置中時自鎖定系統304移除。另外，在鑰匙開關224及鎖定系統304處於關斷位置中之情況下，網路切換系統210將處於「未供電」狀態。因此，若使用者將鎖定系統304切換至關斷位置且移除鑰匙302，則網路切換系統210無法接收電力，且因此遠端電腦140無法控制基板處理系統100，除非且直至合適鑰匙302用以將鎖定系統304移動至接通位置為止。因此，基板處理腔室104及/或基板處理系統100之其他組件可僅在可鎖定鑰匙開關224處於接通位置中時自遠端電腦140接收命令。以此方式，技術員可停用遠端存取(藉由將鎖定系統304切換至關斷位置且移除鑰匙302)，並且技術員可接著在基板處理系統100之一些部分上執行維修或服務，而不用擔心基板處理系統100可能由遠端電腦140啟動。
雖然此技術之所有實例中並無要求，但圖3進一步繪示控制面板300可具有額外特徵。作為一些更具體實例，控制面板300可包括用於網路切換系統210上之遠端電腦140的輸入埠142 (例如，乙太網路埠)；來自網路切換系統210之輸出埠212；用於網路切換系統202之一或多個埠202P；一或多個USB或其他輸入埠(例如，埠312)；及/或一或多個電力出口314。雖然未繪示於圖3中，但控制面板亦可包括用於使用者輸入裝置之一或多個介面，諸如觸控螢幕、電腦指向裝置(諸如滑鼠、操縱桿、消磁頭等)、鍵盤(硬或軟)等。
在此技術中之至少一些實例中，整體鎖定系統304可包括在移除鑰匙302時通知其他使用者誰鎖定了鎖定系統304之某種方式。作為一些更具體實例，當移除鑰匙302時，移除鑰匙302之一方可能(且可能需要)在基板處理系統100上或附近置放某種可移除「標籤」320。另外或替代地，標籤320可設置在控制面板300上(例如，夾在其上、藉由磁體附接、藉由鉤環緊固件附接、扣在其上、卡在其上等)；在鑰匙槽306中(例如，「不能操作的」鑰匙322可裝配在鑰匙槽306中，不移動鑰匙開關224之開關構件224A，且在標籤320上包括使用者之識別資訊)；在基板處理系統100附近之板或薄片上；等等。以此方式，可鎖定鑰匙開關224及鎖定系統304可具有及/或提供「鎖定/掛牌」或「LOTO」特徵。另外或替代地，其他類型之「鎖定/掛牌」或「LOTO」特徵、系統及/或組件可經提供以供鎖定系統304用於此技術之其他特定實例(諸如用於將鎖定系統304實體地鎖定在關斷位置中之鎖定組件)。
圖4示意性地繪示根據此技術之一些實例的另一示例性基板處理系統400 (另一「群集」型半導體處理系統)之俯視圖。此基板處理系統400可為於2023年6月30日申請且名稱為「Extended Substrate Processing Systems and Methods with Additional Processing Chamber Connectability」之美國臨時專利申請案第63/524,272號中所描述之類型。美國臨時專利申請案第63/524,272號以全文引用之方式併入本文中。
圖4中所展示之基板處理系統400包括：(a)第一基板搬運腔室402 (「內側」基板搬運腔室)，其包括具有末端執行器404A之第一機械臂404；(b)第一負載鎖定模組410 (「內側」負載鎖定模組)，其連接於第一基板搬運腔室402的一個邊緣或小面處；(c)第二負載鎖定模組420 (「外側」負載鎖定模組)，其連接於第一基板搬運腔室402之相反邊緣或小面處；以及(d)第二基板搬運腔室430 (「外側」基板搬運腔室)，其包括具有末端執行器432A之第二機械臂432。第二負載鎖定模組420延伸於第一基板搬運腔室402與第二基板搬運腔室430之間且連接該第一基板搬運腔室與該第二基板搬運腔室。此實例之第一負載鎖定模組410亦與設備前端模組440連接，該設備前端模組包括具有末端執行器442A之第三機械臂442。設備前端模組440可包括氮氣源或與該氮氣源連接，以用於在設備前端模組440內提供氮氣氛圍。設備前端模組440接收新基板至基板處理系統400中以供處理且經由一或多個裝載埠450A至450D自基板處理系統400卸下經處理基板(使用機械臂442在裝載埠450A至450D與第一負載鎖定模組410之間移動基板)。雖然圖4之實例中展示四個裝載埠450A至450D，但在此技術之其他實例中可提供更多或更少裝載埠。
第一基板搬運腔室402及第二基板搬運腔室430中之各者與多個基板處理腔室460連接(或可連接至該等基板處理腔室)。基板經轉移至基板處理腔室460中，其中一或多個材料層沉積至基板之表面上及/或其他所要基板處理發生。圖4展示各基板處理腔室460包括四個基板支撐件462，基板可在處理期間置放於該等基板支撐件上。可在各基板處理腔室460中提供更多或更少基板支撐件462 (例如，基板處理腔室460可為雙腔室模組(DCM)或四腔室模組(QCM))。根據此技術之一些實例的基板處理腔室460可包括另外四個基板支撐件462，該等基板支撐件豎直地位於圖4之俯視圖中所展示之四個基板支撐件462下方。基板處理腔室460中之各者可具有相同結構，或基板處理腔室460中之一或多者可具有與存在的其他基板處理腔室460不同之結構。
第一基板搬運腔室402及第二基板搬運腔室430中之各者經由一或多個閘閥470與其各別基板處理腔室460連接。雖然展示兩個閘閥470將基板搬運腔室402、430與其各別基板處理腔室460中之各者連接，但在此技術之其他實例中，各基板處理腔室460可具備更多或更少閘閥470。根據此技術之一些實例的基板處理腔室460可藉由例如豎直地位於圖4之俯視圖中所展示之兩個閘閥470下方的另外兩個閘閥470與其各別基板搬運腔室402、430連接。當關閉時，閘閥470將基板搬運腔室402、430與其各別基板處理腔室460密封地分離(以使得在各腔室中可維持獨立大氣條件)。當敞開時，閘閥470提供開口(例如，基板轉移槽)，機械臂404、432之末端執行器404A、432A可延伸通過該開口以移動基板進出基板處理腔室460。通過閘閥470之開口與設置於基板處理腔室460及基板搬運腔室402、430中之基板轉移槽對準，以使得基板能夠通過閘閥470在基板處理腔室460與基板搬運腔室402、430之間移動。閘閥470中之各者可具有相同結構，或閘閥470中之一或多者可具有與存在的其他閘閥470不同之結構。
第一負載鎖定模組410之一個面藉由一或多個閘閥480A (圖4中展示出兩個)與設備前端模組440連接，並且第一負載鎖定模組410之相反面藉由一或多個閘閥480B (圖4中展示出兩個)與第一基板搬運腔室402連接。第一負載鎖定模組410進一步包括一或多個基板支撐件412 (圖4中展示出兩個)，以用於在基板等待移動至設備前端模組440或第一基板搬運腔室402中時固持該等基板。當關閉時，閘閥480A、480B將負載鎖定模組410與設備前端模組440及基板搬運腔室402密封地分離(以使得在各腔室中可維持獨立大氣條件)。當敞開時，閘閥480A提供開口(例如，基板轉移槽)，機械臂442之末端執行器442A可延伸通過該開口以移動基板進出設備前端模組440。通過閘閥480A之開口與設置於設備前端模組440及第一負載鎖定模組410中之基板轉移槽對準，以使得基板能夠通過閘閥480A在設備前端模組440與第一負載鎖定模組410之間移動。當敞開時，閘閥480B提供開口(例如，基板轉移槽)，機械臂404之末端執行器404A可延伸通過該開口以移動基板進出基板搬運腔室402。通過閘閥480B之開口與設置於基板搬運腔室402及第一負載鎖定模組410中之基板轉移槽對準，以使得基板能夠通過閘閥480B在基板搬運腔室402與第一負載鎖定模組410之間移動。閘閥480A、480B中之各者可具有相同結構，或閘閥480A、480B中之一或多者可具有與存在的其他閘閥470、480A、480B不同之結構。
在圖4之基板處理系統400中，第二負載鎖定模組420之一個面藉由一或多個閘閥490A (圖4中展示出兩個)與第一基板搬運腔室402連接，並且第二負載鎖定模組420之相反面藉由一或多個閘閥490B (圖4中展示出兩個)與第二基板搬運腔室430連接。第二負載鎖定模組420進一步包括一或多個基板支撐件422 (圖2中展示出兩個)，以用於在基板等待在兩個基板搬運腔室402、430之間移動時固持該等基板。當關閉時，閘閥490A、490B將第二負載鎖定模組420與兩個基板搬運腔室402、430密封地分離(以使得在各腔室中可維持獨立大氣條件)。當敞開時，閘閥490A提供開口(例如，基板轉移槽)，機械臂404之末端執行器404A可延伸通過該開口以移動基板進出第一基板搬運腔室402。通過閘閥490A之開口與設置於第一基板搬運腔室402及第二負載鎖定模組420中之基板轉移槽對準，以使得基板能夠通過閘閥490A在基板搬運腔室402與第二負載鎖定模組420之間移動。當敞開時，閘閥490B提供開口(例如，基板轉移槽)，機械臂432之末端執行器432A可延伸通過該開口以移動基板進出第二基板搬運腔室430。通過閘閥490B之開口與設置於第二基板搬運腔室430及第二負載鎖定模組420中之基板轉移槽對準，以使得基板能夠通過閘閥490B在第二基板搬運腔室430與第二負載鎖定模組420之間移動。閘閥490A、490B中之各者可具有相同結構，或閘閥490A、490B中之一或多者可具有與存在的其他閘閥490A、490B不同之結構。閘閥490A及/或490B亦可具有與閘閥470、480A及/或480B相同或不同之結構。
第一負載鎖定模組410可具有與第二負載鎖定模組420相同之結構及/或第一負載鎖定模組410及第二負載鎖定模組420可互換(例如，以使得負載鎖定模組410、420可交換位置及/或具有模組化結構)。在其他實例中，第一負載鎖定模組410及第二負載鎖定模組420可具有不同結構及/或可能不可互換(例如，以使得負載鎖定模組410、420在基板處理系統400中無法交換位置)。負載鎖定模組410、420中之任一者或兩者可為具有多站冷卻能力及/或通道直通類型。
如圖4中之虛線所展示，第一基板搬運腔室402之兩個較小小面可配備有至少一個基板轉移槽252。當基板轉移槽252存在時，該基板轉移槽可在圖4中所展示類型之基板處理系統400配置中密封(例如，藉由可移除密封板)，其中無基板處理腔室460附接至彼等小面。此等小面中之基板轉移槽252亦可小於第一基板搬運腔室402及/或第二基板搬運腔室430之其他小面中的對應槽(儘管在此技術之所有實例中轉移槽252無需更小)。因此，若需要，則此等較小小面可經由額外閘閥連接至基板處理腔室(視情況，較小基板處理腔室)。
圖4進一步展示此示例性基板處理系統400包括通用處理電腦130，該通用處理電腦經由適當通信連接(例如，連接電纜142C、輸入埠142及網路連接)及控制面板300與遠端電腦140連接。圖4之基板處理系統400中的此等部分可具有上文結合圖1至圖3所描述之此等部分的結構、功能、選項及/或替代物中之任一者。在此技術之一些實例中，圖4之基板處理系統400亦可包括上文結合圖1至圖3所描述之類型的遠端電腦140連接系統200。
在此技術之其他實例中，圖4之基板處理系統400可包括不同類型的遠端電腦140連接系統，諸如圖5中所展示之連接系統500。在圖5中使用與圖1至圖4中之任一者中所用相同的元件符號之情況下，參考相同或類似部分(具有上文所描述之該部分的選項、替代物或特徵中之任一者)，且可省略許多重疊描述。以下論述將主要集中於圖5之連接系統500與上文所論述之連接系統200之間的差異。圖5之連接系統500亦可在此技術之至少一些實例中用於圖1的基板處理系統100中。
如圖5中所展示，此實例之網路切換系統202 (例如，8埠乙太網路開關)使其埠中之六個埠(標記為埠-3至埠-8)連接以提供資料且提供與圖4中所展示之六個基板處理腔室460的通信。此外，輸入/輸出埠經提供為與轉移模組電腦204通信(經由埠-2)，例如以用於控制透過基板處理系統400之各種組件進行基板轉移。可提供任何類型之連接，諸如使用延伸於網路切換系統202與基板處理腔室460之輸入/輸出埠及/或轉移模組電腦204之間的乙太網路電纜之連接。圖5之連接系統500進一步包括DC電源220，該DC電源與網路切換系統202及網路切換系統210之DC輸入埠連接，例如經由電力線222以與上文針對圖1至圖3之系統所論述的相同方式。圖5之連接系統500可與上文結合圖1至圖3所描述之控制面板300及/或鎖定/掛牌特徵一起使用。
在圖5之連接系統500中，遠端電腦140與網路切換系統210之輸入埠142連接，例如經由乙太網路電纜142C及/或其他適當連接系統(使用任何所要網路通信協定)。此實例之網路切換系統210的輸出埠212與通用處理電腦130之輸入/輸出埠130A連接。以此方式，當鑰匙開關224閉合時，信號將透過網路切換系統210在遠端電腦140與通用處理電腦130之間轉移。當鑰匙開關224斷開時，至網路切換系統210之電力將斷開連接，且因此，沒有信號會透過網路切換系統210在遠端電腦140與通用處理電腦130之間轉移。在圖5之實例中，通用處理電腦130經組態以執行EDA功能(而非具有此配置包括與網路切換系統202連接之單獨EDA電腦)。然而，若需要，則可以圖5中所展示之配置提供單獨EDA電腦。
此示例性連接系統500中之通用處理電腦130的輸入/輸出埠130B連接至網路切換系統202之輸入/輸出埠202A (在圖5中標記為「埠-1」)，例如經由通信電纜132 (例如，乙太網路電纜及/或其他適當連接系統(使用任何所要通信協定))。因此，遠端電腦140可用以經由透過網路切換系統210、通用處理電腦130及網路切換系統202傳輸之通信來控制基板處理腔室460、基板搬運腔室402、430、負載鎖定模組410、420、設備前端模組440及/或基板處理系統400之任何其他組件部分中之一或多者。
在此技術之其他實例中，其他連接系統配置係可能的。舉例而言，上述連接系統200及500展示藉由電力線222連接之網路切換系統202及網路切換系統210的DC輸入埠，其中鑰匙開關224設置於該電力線222中(在DC電源220與網路切換系統210之DC輸入埠之間)。以此方式，可基於鑰匙開關224之位置而控制至網路切換系統210之電力，如上文所描述。其他結構及選項係可能的。舉例而言，若需要，則可提供單獨電力線：(i)一個在DC電源220與網路切換系統202之間且(ii)另一個在DC電源220 (或另一DC電源)與網路切換系統210之間，並且鑰匙開關224可設置於此等單獨電力線中之任一者或兩者中以控制至網路切換系統202及/或網路切換系統210之電力。作為另一實例，圖2及圖5中所展示之鑰匙開關224可設置於電力線222中的位置處，以控制提供至網路切換系統202 (而非網路切換系統210)之電力。舉例而言，注意圖2及圖5中由箭頭A所展示之位置。作為又一實例，圖2及圖5中所展示之鑰匙開關224可設置於電力線222之前的位置處，以控制提供至網路切換系統202及網路切換系統210兩者之電力。舉例而言，注意圖2及圖5中由箭頭B所展示之位置。因此，根據此技術之態樣，連接系統200、500中之鑰匙開關224的各種不同配置係可能的。
圖6提供流程圖，其大體上解釋用於設置及/或使用上述類型之連接系統200、500的製程600 (額外參考圖1至圖5中所展示之組件)。在此類製程600中，遠端電腦140例如藉由乙太網路電纜142C及/或其他合適網路連接及/或通信協定與第一切換系統210之輸入埠142連接。注意步驟S602。在步驟S604處，第一切換系統210之輸出埠212與第二切換系統202之輸入埠連接。在圖2之連接系統200中，此為第一切換系統210之輸出埠212與第二切換系統202之埠-1之間的直接連接。在圖5之連接系統500中，此為間接連接，其中第一切換系統210之輸出埠212與通用處理電腦130的輸入/輸出埠130A連接，且通用處理電腦130之輸入/輸出埠130B連接至第二切換系統202之埠-1。乙太網路連接及/或任何其他所要類型之連接器及/或通信協定可用以進行此等連接。以此等方式，遠端電腦140係可連接的以透過第一切換系統210及第二切換系統202兩者控制基板處理系統100、400。
在步驟S606處，製程600進一步包括在電力線222中設置可鎖定鑰匙開關224，以用於將電力供應至第一切換系統210及/或第二切換系統202中之至少一者。在圖1至圖5之特定實例中，可鎖定鑰匙開關224設置於將電力供應至第一切換系統210之電力線222的一部分中。但如上文關於圖2及圖5中之箭頭A及B所論述，可鎖定鑰匙開關224的其他位置在此技術之其他特定實例中係可能的。
在步驟S608處，至第一切換系統210及/或第二切換系統202之電力線222連接至電源220 (例如，DC電源)。製程600之操作取決於可鎖定鑰匙開關224之位置。在圖2及圖5中所展示之特定實例中，單一電力線222在第一切換系統210及第二切換系統202之DC輸入之間延伸，且在步驟S608處，電源220之輸出連接至此電力線222 (以供應電力)。當可鎖定鑰匙開關224處於「接通」位置中時(參見步驟S610)，電力經供應至第一切換系統210 (及/或第二切換系統202)，此使得遠端電腦140能夠控制基板處理系統100、400 (例如，控制基板處理腔室104、460中之一或多者；控制基板搬運腔室102、402、430中之一或多者；及/或控制基板處理系統100、400的其他設備)。當可鎖定鑰匙開關224處於「關斷」位置中時(參見步驟S612)，電力與第一切換系統210及/或第二切換系統202中之至少一者斷開連接，此停用藉由遠端電腦140對基板處理系統100、400及/或其組件之控制。在圖2及圖5之實例中：(a)當可鎖定鑰匙開關224處於「接通」位置中時(參見步驟S610)，電力經由電力線222供應至第一切換系統210及第二切換系統202，並且(b)當可鎖定鑰匙開關224處於「關斷」位置中時(參見步驟S612)，電力與第一切換系統210斷開連接。在此等具體繪示之實例中，即使當鑰匙開關224處於關斷位置中時，第二切換系統202仍自DC電源220接收電力(但其他配置係可能的，如上文所描述)。
控制用於操作基板處理系統之遠端存取的其他類型之系統及/或方法可根據此技術之其他特定實例提供。舉例而言，若需要，則可提供上述類型之鑰匙開關(例如，具有實體鑰匙302及鎖)以控制電纜142C之操作(例如，通過該電纜傳輸信號) (且視情況，可省略網路切換系統210)。可提供其他類型之鎖定硬體及/或軟體(例如，用於將鑰匙開關224鎖定在關斷位置中)以禁止來自遠端電腦140之信號到達網路切換系統202及/或通用處理電腦130。另外或替代地，可提供其他類型之鎖定及/或掛牌硬體及/或軟體，以禁止來自遠端電腦140之信號到達網路切換系統202及/或通用處理電腦130並通知其他人誰造成了鎖定情況。
根據此技術之一些實例的基板處理系統及方法可包括其他類型之選擇性可啟動遠端電腦存取，例如使用鎖定及/或掛牌控制及/或特徵。此類基板處理系統可包括上述類型之可鎖定鑰匙開關(例如，224)，該可鎖定鑰匙開關在電力供應管線中提供至將資料自遠端電腦140傳輸至基板處理系統設備所需之任何組件。另外或替代地，上述類型之可鎖定鑰匙開關(例如，224)可在資料傳輸線或連接中提供至將資料自遠端電腦140傳輸至基板處理系統設備(例如，在諸如電纜142C之乙太網路電纜中，其可操作地連接至無線資料傳輸系統等)所需之任何組件。在此類系統及方法中，可鎖定鑰匙開關(例如，224)可使用鑰匙(例如，302)在「啟用」或接通位置與「停用」或關斷位置之間移動。當啟用或接通時：(a)包括用於將電力供應至用於遠端電腦140控制之所有所需組件之電源供應器的一或多個電路將完成，及/或(b)將資料供應至用於遠端電腦140控制之所有所需組件的資料傳輸線將完成，藉此啟用基板處理系統100、400之遠端電腦140控制。當停用或關斷時：(a)包括用於將電力供應至用於遠端電腦140控制之至少一個所需組件之電源供應器的至少一個電路將中斷，及/或(b)將資料供應至用於遠端電腦140控制之至少一個組件的資料傳輸線將中斷，藉此停用基板處理系統100、400之遠端電腦140控制。
因此，根據此技術之一些實例的基板處理系統及方法不需要包括本文中所描述之特定兩個網路切換系統202及210結構(例如，若鑰匙開關224置放於不同位置處以中斷至不同組件之電力供應，則可省略網路切換系統210)。但本文中所描述之兩個網路切換系統202及210結構在此技術之一些實例中可為有利的，因為其停用遠端電腦140存取，同時仍允許本端組件之間(例如，在通用處理電腦130與基板處理腔室104、460及/或其他電腦之間)的電力及/或通信，此可為完成所要維修或服務工作所必需的及/或有用的。
雖然已在某些實施例及實例之上下文中提供本揭露，但熟習此項技術者將理解本揭露延伸超出具體描述之實施例至其他替代實施例及/或該等實施例之用途以及其明顯修改及等同物。此外，雖然已詳細展示及描述本揭露之實施例的若干變化，但基於本揭露之本揭露範疇內的其他修改對於熟習此項技術者將係顯而易見的。亦經考慮，實施例之特定特徵及態樣的各種組合或子組合可被做出且仍落在本揭露之範疇內。應瞭解，所揭露實施例之各種特徵及態樣可彼此組合或取代，以形成本揭露之實施例的不同模式。因此，意欲使本揭露之範疇不應受限於上文所描述之特定實施例。
本文中所提供之標題(若有)僅係為了方便，不必然影響本文中所揭露之裝置及方法的範疇或意義。
100:基板處理系統 102:基板搬運腔室 104:基板處理腔室 106:閘閥 108:基板支撐件 110:機械臂 110A:末端執行器 112:負載鎖定模組 114:基板固持組件 116:閘閥 118:閘閥 120:設備前端模組 122:機械臂 122A:末端執行器 124A:裝載埠 124B:裝載埠 124C:裝載埠 124D:裝載埠 130:通用處理電腦 130A:輸入/輸出埠 130B:輸入/輸出埠 132:通信電纜 140:遠端電腦 142:輸入埠 142C:乙太網路電纜/連接電纜 150:雲端 200:連接系統 202:網路切換系統/第二切換系統 202A:輸入/輸出埠 202P:埠 204:轉移模組電腦 206:設備資料獲取電腦系統 210:網路切換系統/第一切換系統 212:輸出埠 214:通信線路 220:DC電源/電源 222:電力線 224:鑰匙開關 224A:可移動開關構件 224B:箭頭 230:主電腦 252:基板轉移槽 300:控制面板 302:鑰匙 304:鎖定系統 306:鑰匙槽 308:箭頭 312:埠 314:電力出口 320:標籤 322:不能操作的鑰匙 400:基板處理系統 402:第一基板搬運腔室 404:機械臂 404A:末端執行器 410:第一負載鎖定模組 412:基板支撐件 420:第二負載鎖定模組 422:基板支撐件 430:第二基板搬運腔室 432:機械臂 432A:末端執行器 440:設備前端模組 442:機械臂 442A:末端執行器 450A:裝載埠 450B:裝載埠 450C:裝載埠 450D:裝載埠 460:基板處理腔室 462:基板支撐件 470:閘閥 480A:閘閥 480B:閘閥 490A:閘閥 490B:閘閥 500:連接系統 600:製程 A:箭頭 B:箭頭 S602:步驟 S604:步驟 S606:步驟 S608:步驟 S610:步驟 S612:步驟
下文將參照意欲說明而非限制本發明的某些實施例之圖式來描述本文中所揭露的本發明之此等及其他特徵、態樣及優點。 圖1示意性地繪示根據此技術之一些實例的「群集型」基板處理系統之俯視圖； 圖2示意性地繪示根據此技術之一些實例的基板處理系統與遠端電腦系統之連接； 圖3繪示根據此技術之一些實例的具有用於啟用及停用基板處理系統及方法之遠端電腦操作之鎖定能力的控制面板之示例性特徵； 圖4示意性地繪示根據此技術之一些實例的另一「群集型」基板處理系統之俯視圖； 圖5示意性地繪示根據此技術之一些實例的基板處理系統與遠端電腦系統之另一連接；以及 圖6繪示根據此技術之一些實例的用於基板處理系統及方法中之遠端存取之方法特徵及態樣。 應瞭解，圖式中之元件係為了簡單及清楚起見而繪示，且未必按比例繪製及/或按完整細節繪製。例如，圖式中之一些元件之相對尺寸可相對於其他元件而言誇大，以幫助改善對本揭露之所繪示實施例的理解。
104:基板處理腔室
130:通用處理電腦
140:遠端電腦
142:輸入埠
142C:乙太網路電纜/連接電纜
150:雲端
200:連接系統
202:網路切換系統/第二切換系統
204:轉移模組電腦
206:設備資料獲取電腦系統
210:網路切換系統/第一切換系統
212:輸出埠
214:通信線路
220:DC電源/電源
222:電力線
224:鑰匙開關
224A:可移動開關構件
224B:箭頭
230:主電腦

Claims (20)

  1. 一種基板處理系統，其包含： 一第一開關，其包括一第一輸入埠、一第一電力輸入以及一第一輸出埠； 一第二開關，其包括一第一輸入/輸出埠以及一第二電力輸入； 一第一電連接器，其電連接該第一電力輸入及該第二電力輸入； 一可鎖定鑰匙開關，其設置於該第一電連接器中，該可鎖定鑰匙開關可在一關斷位置與一接通位置之間移動； 一電源，其連接至該第一電連接器；以及 一鑰匙，其經組態以由該可鎖定鑰匙開關接收，且經組態以在由該可鎖定鑰匙開關接收時在該接通位置與該關斷位置之間移動該可鎖定鑰匙開關，其中：(i)在該接通位置中，該電源將電力供應至該第一開關及該第二開關，並且(ii)在該關斷位置中，至少無電力供應至該第一開關。
  2. 如請求項1所述之基板處理系統，其中該鑰匙可僅在該可鎖定鑰匙開關處於該關斷位置中時自該可鎖定鑰匙開關移除。
  3. 如請求項1所述之基板處理系統，其中該第一輸入埠經組態以自一遠端計算系統接收基板處理命令，並且其中該第一輸出埠連接至該第二開關之該第一輸入/輸出埠，以僅在該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時將該等基板處理命令自該遠端計算系統透過該第一開關傳輸至該第二開關。
  4. 如請求項3所述之基板處理系統，其進一步包含： 一或多個基板處理腔室，其與該第二開關電子通信，其中該一或多個基板處理腔室中之至少一者僅在該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時基於自該遠端計算系統接收的該等基板處理命令而接收透過該第二開關傳輸之輸入資料。
  5. 如請求項1所述之基板處理系統，其進一步包含一基板處理系統主電腦，其中該第一輸入埠經組態以自一遠端計算系統接收基板處理命令，其中該第一輸出埠連接至該基板處理系統主電腦且僅在該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時將該等基板處理命令自該遠端計算系統透過該第一開關傳輸至該基板處理系統主電腦，並且其中該基板處理系統主電腦基於自該遠端計算系統接收的該等基板處理命令而將信號傳輸至該第二開關之該第一輸入/輸出埠。
  6. 如請求項5所述之基板處理系統，其進一步包含： 一或多個基板處理腔室，其與該第二開關電子通信，其中該一或多個基板處理腔室中之至少一者僅在該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時基於自該遠端計算系統接收的該等基板處理命令而接收透過該第二開關傳輸之輸入資料。
  7. 如請求項1所述之基板處理系統，其中該第一輸入埠包含一乙太網路埠。
  8. 如請求項1所述之基板處理系統，其中該電源係一DC電源。
  9. 一種基板處理系統，其包含： 一第一開關，其包括一第一輸入埠、一第一電力輸入以及一第一輸出埠； 一第二開關，其包括一第一輸入/輸出埠以及一第二電力輸入，其中該第一輸出埠與該第二開關之該第一輸入/輸出埠直接地或間接地連接； 一可鎖定鑰匙開關，其可在一關斷位置與一接通位置之間移動，該可鎖定鑰匙開關設置於一電力供應管線中，該電力供應管線經連接以將電力供應至該第一電力輸入或該第二電力輸入中之至少一者；以及 一鑰匙，其經組態以由該可鎖定鑰匙開關接收，且經組態以在由該可鎖定鑰匙開關接收時在該接通位置與該關斷位置之間移動該可鎖定鑰匙開關，其中：(i)在該接通位置中，包括用於將電力供應至該第一電力輸入或該第二電力輸入中之至少一者的該電力供應管線之一電路完成，並且(ii)在該關斷位置中，包括用於將電力供應至該第一電力輸入或該第二電力輸入中之至少一者的該電力供應管線之該電路中斷。
  10. 如請求項9所述之基板處理系統，其中該鑰匙可僅在該可鎖定鑰匙開關處於該關斷位置中時自該可鎖定鑰匙開關移除。
  11. 如請求項9所述之基板處理系統，其中該第一輸入埠經組態以自一遠端計算系統接收基板處理命令，並且其中該第一輸出埠直接連接至該第二開關之該第一輸入/輸出埠，以僅在該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時將該等基板處理命令自該遠端計算系統透過該第一開關傳輸至該第二開關。
  12. 如請求項11所述之基板處理系統，其進一步包含： 一或多個基板處理腔室，其與該第二開關電子通信，其中該一或多個基板處理腔室中之至少一者僅在該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時基於自該遠端計算系統接收的該等基板處理命令而接收透過該第二開關傳輸之輸入資料。
  13. 如請求項9所述之基板處理系統，其進一步包含一基板處理系統主電腦，其中該第一輸入埠經組態以自一遠端計算系統接收基板處理命令，其中該第一輸出埠連接至該基板處理系統主電腦之一輸入且僅在該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時將該等基板處理命令自該遠端計算系統透過該第一開關傳輸至該基板處理系統主電腦，並且其中該基板處理系統主電腦基於自該遠端計算系統接收的該等基板處理命令而將信號傳輸至該第二開關之該第一輸入/輸出埠。
  14. 如請求項13所述之基板處理系統，其進一步包含： 一或多個基板處理腔室，其與該第二開關電子通信，其中該一或多個基板處理腔室中之至少一者僅在該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時基於自該遠端計算系統接收的該等基板處理命令而接收透過該第二開關傳輸之輸入資料。
  15. 一種將基板處理系統與遠端計算系統連接之方法，其包含： 將一遠端計算系統與一第一開關之一第一輸入埠連接，該第一開關進一步包括一第一電力輸入及一第一輸出埠； 將該第一開關之該第一輸出埠與一第二開關之一第一輸入/輸出埠直接地或間接地連接，該第二開關進一步包括一第二電力輸入； 將該第一電力輸入及該第二電力輸入與包括一可鎖定鑰匙開關之一電連接器電連接，該可鎖定鑰匙開關可使用一鑰匙在一關斷位置與一接通位置之間移動；以及 將一電源與該電連接器連接，其中該可鎖定鑰匙開關設置於該電連接器中以使得：(i)當該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時，該電源將電力供應至該第一開關及該第二開關，並且(ii)當該可鎖定鑰匙開關處於該關斷位置中時，該電源不將電力供應至該第一開關或該第二開關中之至少一者。
  16. 如請求項15所述之方法，其進一步包含： 藉由使用該鑰匙將該可鎖定鑰匙開關自該接通位置切換至該關斷位置來停用該基板處理系統之操作；以及 自該可鎖定鑰匙開關移除該鑰匙。
  17. 如請求項15所述之方法，其進一步包含： 藉由在該可鎖定鑰匙開關處於該關斷位置中時使該鑰匙與該可鎖定鑰匙開關接合而啟用該基板處理系統之操作；以及 使用該鑰匙將該可鎖定鑰匙開關自該關斷位置切換至該接通位置。
  18. 一種將基板處理系統與遠端計算系統連接之方法，其包含： 將一遠端計算系統與一第一開關之一第一輸入埠連接，該第一開關進一步包括一第一電力輸入及一第一輸出埠； 將該第一開關之該第一輸出埠與一第二開關之一第一輸入/輸出埠直接地或間接地連接，該第二開關進一步包括一第二電力輸入； 將該第一電力輸入或該第二電力輸入中之至少一者與包括一可鎖定鑰匙開關之一電連接器電連接，該可鎖定鑰匙開關可使用一鑰匙在一關斷位置與一接通位置之間移動；以及 將一電源與該電連接器連接，其中該可鎖定鑰匙開關設置於該電連接器中以使得：(i)當該可鎖定鑰匙開關處於該接通位置中時，該電源將電力供應至該第一開關或該第二開關中之至少一者，並且(ii)當該可鎖定鑰匙開關處於該關斷位置中時，該電源不將電力供應至該第一開關或該第二開關中之至少一者。
  19. 如請求項18所述之方法，其進一步包含： 藉由使用該鑰匙將該可鎖定鑰匙開關自該接通位置切換至該關斷位置來停用該基板處理系統之操作；以及 自該可鎖定鑰匙開關移除該鑰匙。
  20. 如請求項18所述之方法，其進一步包含： 藉由在該可鎖定鑰匙開關處於該關斷位置中時使該鑰匙與該可鎖定鑰匙開關接合而啟用該基板處理系統之操作；以及 使用該鑰匙將該可鎖定鑰匙開關自該關斷位置切換至該接通位置。
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