WO2004086469A1

WO2004086469A1 - インライン接続設定方法および装置ならびに基板処理装置および基板処理システム

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Publication number: WO2004086469A1
Application number: PCT/JP2004/002497
Authority: WO
Inventors: Shigeki Wada
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Filing date: 2004-03-01
Publication date: 2004-10-07
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Description

明細書インライン接続設定方法および装置ならびに基板処理装置および基板処理システム

[技術分野]

本発明は、ィンライン処理を行なう装置間の接続設定を自動的に行なうインライン接続設定方法および装置、さらには基板処理技術に関し、例えば、稼動開始時（電源 O N時）あるいは稼動中に定期的に接続装置を確認し、その度にインライン接続された装置の接続設定を自動的に行なうインライン接続設定方法および装置に関する。

[背景技術]

例えば、半導体や液晶ディスプレイ等の電子デバイス製造工程におけるフォトリソグラフイエ程では、ウェハあるいはガラス基板へのレジスト液の塗布や現像処理を行なう塗布現像装置と、レジスト液が塗布されたウェハあるいはガラス基板に露光処理を行なう露光装置とが組み合わせられ、インライン処理が行われている。

この塗布現像装置と露光装置とのィンライン処理については、特開 2 0 0 0— 1 8 8 2 5 3号公報に開示されている。

ところで、デバイス製造現場でのィンライン処理においては、異なるメ一力の装置同士がインライン接続されるマルチベンダ環境が多い。

例えば、塗布現像装置にメ一力 Aの露光装置およびメーカ Bの露光装置が接続し得る環境となっている場合、例えば、メーカ A の露光装置と塗布現像装置との間の通信においては、塗布現像装置がウェハ搬送を行なう前に S e n d信号を O N状態にする（ S e n d信号が O N状態となり、ウェハが搬送される）のに対して、メーカ Bの露光装置と塗布現像装置との間の通信においては、ゥェハ搬送後に S e n d信号を O N状態にする（ウェハの搬送終了時に S e n d信号が O N状態なる）というように、露光装置のメ一力によって、両者間の通信のタイミングが異なり、円滑な動作を行うことができない。

また、一般に、メーカによって通信ケーブルにおけるコネクタピン割り当てが異なる。例えば、メーカ Aの露光装置の特定のピン番号のコネクタピンがエラー信号に割り当てられているのに対し、メーカ Bの露光装置の同じピン番号のコネクタピンがロットエンド信号に割り当てられているというように、同じピン番号でも信号名称の割り当て等の仕様が異なる場合が多い。

そのため、塗布現像装置のメーカでは、塗布現像装置の納入前に、予め塗布現像装置に対して納入先で接続される装置に合わせたデータ設定を行っている。

ところがデバイス製造現場において、接続されていた相手側装置、例えば露光装置が他メーカのものに交換される、あるいは露光装置の内部ソフトウエアが異なる仕様体系に変更されることがある。この場合、塗布現像装置側は新たな露光装置に合わせた内部ソフトウエア設定を、再設定する必要がある。この再設定は、従来オペレータにより手作業（マニュアル操作）で端末から変更作業、あるいは入力設定を行っている。

しかしながら、このようなオペレータによるマニュアル操作で対応する場合、どうしても人的ミスを拭い去ることはできず、例えば露光装置が変更されたにもかかわらず、必要なソフトウエア設定の変更を行なわない場合、あるいはソフトウエア設定変更における設定ミスが生じた場合等、塗布現像装置と露光装置とのィンライン処理が円滑に行なわれない虞がある。

のようなインライン処理が円滑に行なわれない場合には、例えば、ウェハが破損し、不良品の発生率が高くなり、歩留まりの低下に繋がる。

また、インライン接続されている露光装置に故障等の不具合が発生した場合、オペレータのマニュアル操作により、塗布現像装置を待機状態あるいは電源オフさせる等の対処している。

しかしながら、露光装置の故障が回復してないまま、オペレー夕が前記塗布現像装置を待機状態から再稼動させる等の不適切な処理を行う.危険性がある。

[発明の開示]

本発明の目的は、インライン接続相手側装置本体や相手側装置の内部ソフトウエアに変更があった場合に、自動的に接続相手側装置に対応した内部ソフトウエアの設定作業を行い、また、接続相手側装置に不具合が発生した場合に、自動的に適切な対処を行なうことのできるインライン接続設定方法および装置を提供することにある。

すなわち本発明の第 1の観点によれば、被処理体に対してィンライン処理を行なう装置間の接続設定を自動的に行なうインラィン接続設定方法であって、

第 1の処理装置が、該第 1の処理装置にインライン接続された第 2の処理装置に対し、該第 2の処理装置に関する情報であるプ口フアイル情報の受け渡しを要求する工程と、前記第 1の処理装置が、前記第 2の処理装置から前記プロファィル情報を受け取る工程と、

前記第 1の処理装置が、前記プロファイル情報に対応して、該第 1の処理装置において使用するソフトウェアファイルを選択する工程と

を含むインライン接続設定方法、が提供される。

このような方法によれば、インライン接続された相手側装置から相手側装置のプロファイル情報を受け取ることにより、相手側装置に関する情報を得ることができるので、相手側装置との整合をとるための適切なソフトウェアファイルを選択することができる。

また、前記第 1の処理装置は、 L A N ( L o c a 1 A r e a N e t w o r k ) 内に形成された通信経路を介して、前記第 2の処理装置と直接通信することにより前記プロファイル情報を受け取ることが望ましい。

L A Nは既に敷設されている場合が多く、このような L A Nを利用して通信経路を確保することにより、装置コストを低減することができる。

なお、前記プロファイル情報には、前記第 2の処理装置のメー力情報と、型式情報と、該第 2の処理装置において使用されるソフトウェアのパージヨン情報とが少なくとも含まれることが望ましい。

このような情報により、接続相手側装置の動作条件を特定することができるため、それに対応したソフトウェアファイルの設定を行なうことができる。

また、前記プロファイル情報には、前記第 2の処理装置が正常状態であるか否かの情報が含まれることが望ましい。

このように、接続された相手側装置が正常な状態か異常な状態かの情報を受け取ることにより、適切な対処を行なうことができる。

さらに、前記第 1の処理装置は、前記第 2の処理装置と通信ケ一ブルにより 1対 1接続され、前記通信ケーブルのコネクタピン割り当て情報である複数種のハード定義ファイルを有し、前記プ口ファイル情報に対応して、前記複数種のハード定義ファイルの中から、前記第 1の処理装置で使用するハード定義ファイルを選択することが望ましい。

また、前記第 1の処理装置は、被処理体を処理するためのソフトウエアと、複数種のインタフェイスファイルとをさらに有し、前記選択された八一ド定義ファイルに対応して、前記複数種のィン夕フェイスファイルの中から、前記第 1の処理装置で使用するインタフェイスフアイルを選択することが望ましい。

このように、予め複数種のィンタフェイスファイルを備えておくことにより、前記八ード定義ファイルに対応したインタフェイスファイルを選択して使用することができる。

また、前記第 1の処理装置は前記第 2の処理装置に対し、所定時間毎に、前記プロフアイル情報の受け渡しを要求することが望ましい。

このようにすれば、被処理体の処理中に相手側装置に異常があつても、その情報を得ることができ、適切な対処を行なうことができる。

また、本発明の第 2の観点によれば、被処理体に対してィンライン処理を行なう第 1 の処理装置に対する第 2の処理装置の接続設定を自動的に行なうィンライン接続設定装置であって、前記第 1 の処理装置にインライン接続された前記第 2の処理装置との情報通信の接続確認を行なう接続状態確認部と、前記第 2の処理装置に対し、前記第 2の処理装置に関するプロファイル情報の受け渡しを要求して該プロファイル情報を受け取る情報取得部と、前記プロファイル情報に対応して使用するソフトウェァフアイルを選択するファイル選択部とを有し、これらを順次実行するためのプログラムを記憶する第 1の記億手段と、

前記第 1 の記憶手段に記憶されたプログラムを実行するための制御手段と

を備えるインライン接続設定装置、が提供される。

ここで、前記インライン接続設定装置において、前記第 1の処理装置は、インライン接続された相手側装置である第 2の処理装置とは通信ケーブルにより 1対 1接続され、前記第 1の記憶手段は、前記通信ケーブルのコネクタピン割り当て情報である複数種のハード定義ファイルを記憶していることが望ましい。

また、前記ファイル選択部は、ハード定義ファイル選択部を有し、前記ハード定義ファイル選択部は、前記複数種のハード定義ファイルの中から使用するハード定義ファイルを選択することが望ましい。

また、前記第 1の記憶手段は、被処理体を処理するためのソフトウエアと前記複数種の八ード定義ファイルと複数種のインタフェイスファイルとを記憶していることが望ましい。

このように、予め複数種のインタフェイスファイルを備えておくことにより、前記ハード定義ファイルに対応したインタフェイスファイルを選択して使用することができる。また、前記ファイル選択部は、ハード定義ファイル選択部とィン夕フェイスファイル選択部とを有し、前記ハード定義ファイル選択部は、前記複数種のハード定義ファイルの中から使用するハード定義ファイルを選択し、前記インタフェイスフアイル選択部は、前記複数種のインタフェイスファイルの中から使用するイン夕フェイスフアイルを選択することが望ましい。

このように構成することにより、前記第 1の記憶手段に記憶されたハード定義ファイルやインタフェイスファイルを選択することができる。

また、前記情報取得部は、 L A N ( L o c a 1 A r e a N e t w o r k ) 内に形成された通信経路を介して、前記インライン接続された相手側装置と直接通信することにより前記プロフアイル情報を受け取ることが望ましい。

また、前記プロファイル情報は、少なくとも、前記相手側装置のメーカ情報と、型式情報と、該相手側装置において使用されるソフトウェアのバージョン情報とを含み、前記インライン接続設定装置は、受け取った前記プロフアイル情報を記憶するための第 2の記憶手段をさらに備えることが望ましい。

このようにプロファイル情報を受け取る場所を用意することにより、これを参照して接続相手側装置の動作条件を特定することができるため、それに対応したソフトウェアファイルの設定を行なうことができる。

更にまた、前記プロファイル情報は、前記相手側装置が正常状態にあるか否かの情報を含むことが望ましい。

また、本発明の第 3の観点によれば、相手側装置と協働して基板に対してインライン処理を行う基板処理装置であって、

前記基板に対してィンライン処理を行う処理部と、

前記処理部と相手側装置との間で前記基板の授受を行う基板授受機構と、

相手側装置との間で前記基板に対する前記インライン処理を行うための情報通信を行う第 1の通信インタフェイスと、

相手側装置との間でソフトウェア情報の通信を行う第 2の通信インタフェイスと、

相手側装置から第 2の通信インタフェイスを経由して当該相手側装置に関するプロファイル情報を取得する情報取得手段と、自装置の動作を制御するための複数のソフトウェアファイルを記憶するソフトウエアファイル記憶手段と、

相手側装置から前記第 2の通信インタフェイスを経由して取得した前記プロファイル情報に対応して、前記ソフトウェアファィル記憶手段から自装置の動作を制御するソフトウェアフアイルを選択するファイル選択手段と

を具備した基板処理装置、が提供される。

このような基板処理装置によれば、インライン接続された相手側の基板処理装置から、その装置のプロフアイル情報を受け取ることにより、相手側の基板処理装置に関する情報を得ることができるので、相手側の基板処理装置と連携して基板に対して一連の処理を行うインライン処理において、相手側の基板処理装置との整合をとるための適切なソフトウェアフアイルを選択することができる。

また、本発明に係る第 4の観点によれば、被処理体に対してィンライン処理を行なう第 1の処理装置および第 2の処理装置からなる基板処理システムであって、

前記第 1の処理装置は、

インライン接続された前記第 2の処理装置との情報通信の接続確認を行なう接続状態確認部と、前記第 2の処理装置に対し、前記第 2の処理装置に関するプロファイル情報の受け渡しを要求して該プロファイル情報を受け取る情報取得部と、前記プロファィル情報に対応して使用するソフトウェアファイルを選択するフアイル選択部とを有し、これらを順次実行するためのプログラムを記憶する第 1の記憶手段と、

を有する接続設定部を備える基板処理システム、が提供される。このような基板処理システムによれば、インライン接続された第 1の処理装置および第 2の処理装置は、相手側の処理装置から、その装置のプロファィル情報を受け取ることにより、相手側の処理装置に関する情報を得ることができるので、相手側の処理装置と連携して基板に対して一連の処理を行うインライン処理において、相手側の処理装置との整合をとるための適切なソフトウェァフアイルを選択することができる。

[図面の簡単な説明]

図 1は、複数のパターン形成装置とホストコンピュータとの関係を示すプロック図である。

図 2は、パターン形成装置の機構系の構成例を示す平面図である。

図 3は、パ夕一ン形成装置を構成する塗布現像装置と露光装置の制御系の内部構成例を示すブロック図である。

図 4は、塗布現像装置の補助記憶部の一部記憶要素を示す図である。

図 5は、塗布現像装置におけるソフトウェアプログラムの実行フローを示す図である。

図 6は、接続設定プログラムの構成モジュールを示す図である。図 7は、補助記憶部にデータとして記憶されているコードテーブル例を示す図である。

図 8 Aおよび 8 Bは、それぞれ A社， B社の露光装置におけるコネクタピン割り当て例を示す図である。

図 9は、接続設定プログラムの処理フローを示す図である。

[発明を実施するための最良の形態]

以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。

図 1は、例えば半導体や液晶ディスプレイ等の電子デバイス製造工程のフォトリソグラフイエ程において使用される複数のパ夕一ン形成システムとホストコンピュータとの関係を示すプロック図である。

図 1に示すように、パターン形成システム 1 0 0は、塗布現像装置 1 と露光装置 2 0 とを有しており、これらは搬送ライン 3 3 (図 2に示すインタフェイス部 8 0に相当）によって被処理体であるウェハ（基板）の搬送が確保されるよう配置されるとともに通信経路 3 5によって相互に接続されている。

また、複数のパターン形成システム 1 0 0 (図 1では 4つのパターン形成装置を図示）は、例えばイーサネット（登録商標）等による L AN (L o c a l A r e a N e t w o r k) を形成する L ANケーブル 3 4に夫々接続されている。具体的には、塗布現像装置 1 と露光装置 2 0の夫々が L ANケーブル 3 4に接続され、さらに L ANケーブル 3 4にはホストコンピュータ 4 5 が接続されている。

このホストコンピュータ 4 5は、この L ANを介して複数のパターン形成システム 1 0 0の動作制御を行う。例えば、夫々のパターン形成システム 1 0 0に対して、被処理体であるウェハへの処理レシピを指定し、処理開始命令を発する。

各パターン形成システム 1 0 0は、図 2に示すように、ウェハ Wへのレジスト塗布および露光後の現像を行う塗布現像装置 1 と、ウェハ Wに塗布されたレジストを露光する露光装置 2 0 とを有しており、塗布現像装置 1 と露光装置 2 0 とはインライン接続されている。

この塗布現像装置 1は、複数枚のウェハ Wを収納したカセット C Sが搬入出される搬入出部 6 0 と、ウェハ Wにレジストを塗布し、かつ露光後に現像を行なう塗布現像部 7 0 と、塗布現像部 7 0 と露光装置 2 0 との間でウェハ Wの受け渡しを行なうイン夕フェイス部 8 0とから構成されている。

搬入出部 6 0は、カセット C Sと塗布現像部 7 0 との間でゥェハ Wを搬送する搬送機構 6 1を備えている。

塗布現像部 7 0は、ウェハ Wにレジストを塗布する 2つの塗布ユニット 7 6 と、露光したウェハを現像する 2つの現像ュニット 7 7 と、疎水化処理、加熱処理、冷却処理等をなす複数の処理ュニットが上下に重ねられて構成された 2つの処理ュニットタヮ一 7 1、 7 3 とを備えている。なお、破線で示した処理ュニットタワー 7 5を設けることもでき、処理ュニツトタワー 7 5を設ける場合には、案内レール 7 4に沿って移動自在とされる。

1つの塗布ュニット 7 6 と 1つの現像ュニット 7 7 とは、塗布ュニット 7 6を下にして 2段に重ねられており、他の塗布ュニット 7 6 と他の現像ユニット 7 7 も同様に 2段に重ねられている。塗布現像部 7 0はゥェ八 Wを搬送する搬送機構 7 2を備え、この搬送機構 7 2の周囲に塗布ュニット 7 6、現像ュニット 7 7、処理ユニットタワー 7 1、 7 3が配置されている。そして、この搬送機構 7 2によって、塗布ュニット 7 6、現像ュニット 7 7、処理ュニッ卜タワー 7 1， 7 3の各処理ュニッ卜に対するウェハ Wの受け渡しが行われる。

この搬送機構 7 2は図示しない駆動機構により例えば昇降自在、前後に移動自在かつ鉛直軸まわりに回転自在に構成されている。

インタフェイス部 8 0は、ウェハ Wの周縁部のみを露光する周縁露光装置 8 1 と、ウェハ Wを一時的に載置する載置部 8 3 と、ウェハ Wを搬送する搬送機構 8 2 とを備えている。搬送機構 8 2 は、載置部 8 3、周縁露光装置 8 1 に対するウェハ Wの受け渡し、塗布現像部 7 0 との間および露光装置 2 0 との間のウェハ Wの受け渡しを行う。載置部 8 3は、例えばバッファ用の保持棚を 2 段に積み重ねることにより構成されている _d

露光装置 2 0は、露光前のウェハ Wを載置する処理前ステージ 9 1 と、露光を行なう真空室 9 5 と、露光用の電子銃 9 4と、露光後のウェハ Wを載置する処理後ステージ 9 2 と、各ステージ 9 1， 9 2 と真空室 9 5との間でウェハ Wを搬送する搬送アーム 9 3を備えている。

なお、搬入出部 6 0と塗布現像部 7 0 との間のウェハ Wの受け渡し、および塗布現像部 7 0とインタフェイス部 8 0 との間のゥェハ Wの受け渡しは、処理ュニットタワー 7 1および 7 3にそれぞれ設けられた受け渡しュニットを介して行われる。

以上のように構成されたパターン形成システム 1 0 0におけるウェハ Wのインライン処理は次のように行なわれる。

先ず、外部からゥェ八 Wが収納されたウェハカセット C Sが搬入出部 6 0に配置され、そこで搬送機構 6 1 によりカセット C S 内からウェハ Wが取り出される。そのウェハ Wは、処理ュニットタワー 7 1の受け渡しユニットに搬送される。受け渡しユニットに置かれたウェハ Wは、搬送機構 7 2により処理ユニットタワー 7 1内の疎水化処理ュニットに搬送され、そこで疎水化処理される。次いで、ウェハ Wは塗布ュニット 7 6に搬送され、そこでレジスト液を塗布されてレジスト膜が形成される。その後、ウェハ Wは処理ュニットタワー 7 1 内の加熱ュニットにおいてプリべーク処理された後、搬送機構 7 2により処理ユニットタワー 7 3 の受け渡しユニットに搬送され、搬送機構 8 2によりイン夕フエイス部 8 0に搬送される。

インタフェイス部 8 0に送られたウェハ Wは、載置部 8 3の保持棚に一旦収納され、そこで露光装置 2 0内の雰囲気温度と同じ温度に設定された後、露光装置 2 0に送られる。

露光装置 2 0による露光後、ウェハ Wは再びインタフェイス部 8 0 に戻され、周縁露光装置 8 1 にてその周縁部のみを露光された後、現像ュニット 7 7に空きがない場合には一旦載置部 8 3に収納される。

その後、ウェハ Wは、搬送機構 8 2により処理ユニットタワー 7 3内の受け渡しュニットへ搬送され、搬送機構 7 2により処理ュニットタワー 7 1 あるいは 7 3内の加熱ュニットに搬送されて、そこでポストェクスポ一ジャーべーク処理され、さらに処理ユニット夕ヮ一 7 1 あるいは 7 3内の冷却ユニットで冷却される。冷却後、ウェハ Wは現像ユニット 7 7にて現像処理される。その後、必要に応じて処理ュニットタワー 7 1または 7 3の加熱ユニットでポストべーク処理され、冷却ユニットで冷却される。かかる後ウェハ Wは、搬送機構 7 2により処理ユニットタワー 7 1内の受け渡しユニットに搬送され、搬送機構 6 1によって搬入出部 6 0のカセット C S内に戻される。

このパターン形成システム 1 0 0にあっては、塗布現像装置 1 と露光装置 2 0の雰囲気温度が自動的に調整され、被処理体であるゥェ八 Wの塗布現像装置 1 と露光装置 2 0間における受け渡しタイミングも調整されて円滑に行なわれるようになされている。

即ち、塗布現像装置と露光装置とは相互の動作整合が必要であるため、本実施の形態では、後述のような制御系によって、例えば塗布現像装置側において露光装置のソフトウエア体系に合わせて、内部ソフトウェアに関する各種設定がなされる。

図 3は、図 1および図 2に示したパターン形成システム 1 0 0 を構成する塗布現像装置 1 と露光装置 2 0 における制御系の構成例を示すブロック図である。図 3に示すように、第 1の処理装置であり、ィンライン接続設定装置（基板処理装置）である塗布現像装置 1は制御系の八一ドウェアとして、内部の全体制御を行なう、動作制御の要となる中央処理ュニット 2を備える。そして、この中央処理ュニット 2に、他の制御系八一ドウエアとして、操作部 1 0 と、第 1記憶手段である不揮発性の補助記憶部 1 1 と、第 2記憶手段であり一時的に情報の読み出し及び書き込みを行なう主記憶部 1 2 と、機械的動作の制御を行なう機械制御部 1 3と、情報通信を行なうための通信イン夕フェイス 1 5、 1 6 とが接続されている。また、機械制御部 1 3には、ウェハ搬入出を行なうための入出力ポート 1 4が接続されている。

中央処理ュニット 2は、 C P U 3 と特定用途向け I C 4を備え、 I C 4は、接続検出部 5 と、処理指令部 6と、レシピ選択部 7と、近況報告部 8 と、通信制御部 9とで構成されている。

接続検出部 5は、露光装置 2 0との通信ケーブルでの接続を検出する機能を備えている。また、処理指令部 6はホストコンピュ一夕 4 5からの処理指示、例えば処理開始指示やウェハのロット切り替わり指示などに基づいて塗布現像装置 1 に対して指令を出力する等の機能を備えている。

レシピ選択部 7は、ホストコンピュータ 4 5から送られる識別コードに基づいて補助記憶部 1 1 に記憶されているレシピ群の中から対応する処理レシピを選択する機能を備えている。この処理レシピとは、被処理基板であるウェハを処理するプログラムソフトウェアであり、例えば塗布現像装置 1 において使用するレジスト液ゃ現像液の種類、処理時間等の様々な条件が取り決めされたものであり、それら種々の組み合わせにより複数種が用意されレシピ群を成している。

また、前記近況報告部 8は、主記憶部 1 2に一時記憶された処理状況報告や処理結果報告、または故障情報等の塗布現像装置 1 の情報を、ホストコンピュータ 4 5および露光装置 2 0に報告する機能を有している。

通信制御部 9は、通信インタフェイス 1 5、 1 6を介して露光装置 2 0並びにホストコンピュータ 4 5 との通信制御を行なう機能を備えている。

一方、第 2の処理装置であり、塗布現像装置 1の相手側装置である露光装置 2 0 (基板処理装置）は、制御系のハードウエアとして、露光装置 2 0の動作制御の要となる中央処理ュニット 2 1 を備える。そして、この中央処理ュニット 2 1に、他の制御系ハ一ドウエアとして不揮発性の補助記憶部 2 8と、一時的に情報の読み出し及び書き込みを行なうための主記憶部 2 9 と、露光装置 2 0内部の機械的動作の制御を行なうための機械制御部 3 0 と、情報通信を行なうための通信インタフェイス 3 2、 3 3 とが接続されている。また、前記機械制御部 3 0にウェハ搬入出を行なうための入出力ポート 3 1が接続されている。

中央処理ュニット 2 1は、 C P U 2 2 と特定用途向け I C 2 3 とを備え、この I C 2 3は処理指令部 2 4と、レシピ選択部 2 5 と、近況報告部 2 6 と、通信制御部 2 7 とで構成されている。処理指令部 2 4は、ホス卜コンピュータ 4 5からの処理指示に基づいて露光装置 2 0 に対して指令を出力する機能を備えている。

レシピ選択部 2 5は、ホストコンピュータ 4 5から送られる識別コードに基づいて補助記憶部 2 8に記憶されているレシピ群の中から対応する処理レシピを選択する機能を備えている。なお、露光装置 2 0における処理レシピには、例えばレクチルの種別や露光時間、露光量が取り決めされている。

近況報告部 2 6は、主記憶部 2 9に記憶された処理状況報告や故障情報等の露光装置 2 0の情報を、ホストコンピュータ 4 5および塗布現像装置 1に報告する機能を有している。

通信制御部 2 7は、通信インタフェイス 3 2 、 3 3を介して塗布現像装置 1並びにホストコンピュータ 4 5 との通信制御を行なう機能を備えている。

塗布現像装置 1 の通信インタフェイス 1 5 と露光装置 2 0の通信ィンタフェイス 3 2 とは、 8 ピンのパラレルケ一ブル Pによつて接続され、通信経路 3 5を形成している。上述したように塗布現像装置 1 と露光装置 2 0は、夫々 L A Nケーブル 3 4に接続されるが、夫々、通信インタフェイス 1 6、 3 3を介して接続され、 L A N上に通信経路 3 6を形成している。

このように構成されたパターン形成システム 1 0 0においては、稼動開始時（電源 O N時）において次のように動作する。先ず、塗布現像装置 1及び露光装置 2 0が共に電源投入された状態となると、塗布現像装置 1の中央処理ュニット 2において、接続検出部 5が露光装置 2 0 とのハードウェア上の接続を検出する。即ち、塗布現像装置 1の通信インタフヱイス 1 5 と露光装置 2 0の通信インタフェイス 3 2 とが通信ケーブルであるパラレルケーブル Pによって 1対 1接続されていることを検出する。次いで、塗布現像装置 1 において、露光装置 2 0 とのソフトウエア上のインライン接続設定が L A N上の通信経路 3 6 を介した情報交換に従って自動的に行なわれる。なお、このソフトゥェァ上の接続設定は、本発明の特徴にかかるところであり、詳細に後述する。

塗布現像装置 1 と露光装置 2 0 との接続設定が行なわれた後、塗布現像装置 1のレシピ選択部 7は、ホストコンピュータ 4 5 (図 1参照）の指令に従い、補助記憶部 1 1 に記憶された処理レシピ群の中から対応する処理レシピを選択する。

選択された処理レシピは、高速で情報の書き込み及び読み出しが可能である主記憶部 1 2に一旦読み込まれる。処理指令部 6は露光装置 2 0 と連携しながら主記憶部 1 2上の処理レシピに従つて機械制御部 1 3等に指令し、被処理体であるウェハに対する処理が実行される。

一方、露光装置 2 0においてもホストコンピュータ 4 5の指令に従い、レシピ選択部 2 5が補助記憶部 2 8に記憶された処理レシピ群の中から対応する処理レシピを選択する。選択された処理レシピは高速で情報の書き込み及び読み出しが可能である主記憶部 2 9に一旦読み込まれる。処理指令部 2 4は塗布現像装置 1 と連携しながら主記憶部 2 9上の処理レシピに従って機械制御部 3 0等に指令し、被処理体であるウェハに対する露光処理が実行される。

続いて、塗布現像装置 1 における露光装置 2 0 とのソフトゥェァ上のインライン接続設定について説明する。

図 4は塗布現像装置 1 の補助記憶部 1 1 の一部記憶要素を示したものである。図 5は、塗布現像装置 1 におけるソフトウェアプログラムの実行フローであり、図 6は接続設定プログラムの構成モジュールを示している。また、図 7は、補助記憶部 1 1 にデ一夕として記憶されているコ一ドテーブル例であり、図 8 Aおよび図 8 Bは、それぞれ A社および B社の露光装置のピン割り当てテーブル例であり、図 9は接続設定プログラムの処理フローを示している。

塗布現像装置 1の補助記憶部 1 1 には、図 4に示すように、少なくとも接続設定プログラム 4 0と、コードテーブル 4 1 と、処理レシピ群 4 2 と、ハード定義フアイル群 4 3 と、インタフェイスファイル群 4 4とが記憶されている。

接続設定プログラム 4 0は、塗布現像装置 1における露光装置 2 0 とのソフトウェア上の接続設定を自動的に行なうためのプログラムである。また、処理レシピ群 4 2は複数の処理レシピにより構成されている。

コードテーブル 4 1は、図 7に示すように、メーカ名、型式、ソフトウェアパージヨンの組み合わせを種別コードに対応して表したものである。

ハード定義ファイル群 4 3は、前記種別コードに対応して通信ケーブル P (図 3参照）におけるコネクタピン割り当て情報が記載され、選択された処理レシピ中で使用される、複数種のフアイルで構成されている。

ハード定義ファイル群 4 3には、コネクタピンの割り当て情報として、図 8 Aおよび 8 Bに例示されるように、相手側の露光装置のメーカ A、メ一力 B等の個々のメーカ毎に、通信ケ一ブルにおける「コネクタピン」のピン番号に割り当てられた信号名、機能、が格納されている。

インタフェイスファイル群 4 4は、前記種別コードに対応し、選択された処理レシピのプログラム中において使用される、複数種のインタフェイスファイルで構成されている。なお、このイン夕フェイスファイルは選択された処理レシピのプログラムにおいて使用されるハード定義ファイルと処理レシピとのインタフエイス部となるソフトウェアファイルである。

このィンライン接続設定は図 5に示すように、塗布現像装置 1 において、先ず、接続されている露光装置 2 0 とのインライン処理を円滑に行なうために接続設定プログラム 4 0が実行される (ステップ S l )。これは、補助記憶部 1 1.に記憶されている接続設定プログラム 4 0が塗布現像装置 1 と露光装置 2 0の電源投入後に起動されることにより実現される。

接続設定プログラム 4 0の実行により、塗布現像装置 1 と露光装置 2 0 との整合がとられ、その後ホストコンピュータ 4 5により指定され選択された処理レシピがレシピ選択部 7により選択され、その選択レシピプログラムが実行され、被処理体であるゥェハに対して、所定の処理が施される（ステップ S 2 )。

上述した接続設定プログラム 4 0について、さらに詳細に説明する。接続設定プログラム 4 0には、図 6に示すように、サブプログラムとして、少なくとも、接続状態確認部 4 0 aと、情報取得部 4 0 bと、フアイル選択部 4 0 cとが含まれる。また、ファィル選択部 4 0 cは、ハード定義フアイル選択部 4 0 dとインタフェイスファイル選択部 4 0 e とで構成される。

接続状態確認部 4 0 aは、 L A N上に形成された通信経路 3 6 を介して露光装置 2 0 との通信が可能な状態であるかどうかを確認し、通信可能であれば通信可能状態を確立する機能（プログラム）を備えている。

情報取得部 4 0 bは、前記通信経路 3 6を介して露光装置 2 0 の近況報告部 2 6等から、露光装置 2 0側のプロフアイル情報を取得する機能（プログラム）を備えている。このプロファイル情報には、露光装置 2 0のメーカ、型式、ソフトウェアバージョン等の情報や、露光装置 2 0に異常がないかどうかの情報等が含まれている。

ハード定義ファイル選択部 4 0 dは、情報取得部 4 0 bが取得したプロフアイル情報から対応する種別コードを割り出し、その種別コードに対応するハード定義ファイルを補助記憶部 1 1 に記憶されているハード定義ファイル群 4 3の中から選択する機能（プログラム）を備えている。

インタフェイスファイル選択部 4 0 eは、前記種別コ一ドに対応するインタフェイスファイルを補助記憶部 1 1 に記憶されたインタフェイスファイル群 4 4の中から選択する機能（プロダラム）を備えている。

次に、図 9を用いて、接続設定プログラム 4 0の実行時動作について説明する。なお、塗布現像装置 1 と露光装置 2 0とが L A N上に形成された通信経路 3 6を用いて行なう情報通信は、共通に規定されたプロトコルに則って行なわれるものとする。

先ず、塗布現像装置 1 と露光装置 2 0の電源が投入され、中央処理ユニット 2の接続検出部 5が露光装置 2 0 との接続を検出すると、接続設定プログラム 4 0は、高速でデータの書き込み及び読み出しが可能な主記憶部 1 2に読み込まれて起動される。

プログラム起動後、接続状態確認部 4 0 aは露光装置 2 0に対し、 L A N上に形成された通信経路 3 6を介して問い合わせ信号を発行する（ステップ S 1 1 )。これに対して、露光装置 2 0側から正常な応答信号が返ってきたならば、正常に接続されていると判断し（ステップ S 1 2 )、次のステップに進む。もし、ここで露光装置 2 0側から正常な応答信号がない場合には（ステツプ S 1 2 )、再び露光装置 2 0に対して問い合わせを繰り返し、正常な応答がない間、塗布現像装置 1は待機状態となっている。

露光装置 2 0 との接続が確認されると、露光装置 2 0に対し、情報取得部 4 0 bはプロフアイル情報要求コマンドを発行する (ステップ S 1 3 )。ここで、露光装置 2 0からは、 L A N上の通信経路 3 6を介して露光装置 2 0のメーカ名、型式、ソフトゥエアバージョン等の情報や、露光装置 2 0に異常がないかどうかの情報等がプロファイル情報として情報取得部 4 0 bに返される。

これらプロファイル情報から、露光装置 2 0に異常がないと判断すると（ステップ S 1 4 )、八ード定義ファイル選択設定を行なう（ステップ S 1 8 )。

このハード定義ファイル選択設定では、ハード定義ファイル選択部 4 0 dが、ステップ S 1 3において情報取得部 4 0 bが取得したプロファイル情報から、コードテーブル 4 1 を用いて対応する種別コードを割り出し、その種別コードに対応するハード定義ファイルを補助記憶部 1 1 に記憶されているハード定義フアイル群 4 3の中から選択する。実際には、処理レシピの実行中に使用されるハード定義ファイルの読み出しアドレスが決定される。次いで、このハード定義ファイル選択設定に続き、イン夕フエィスフアイルの選択設定が行われる（ステップ S 1 9 )。インタフェイスファイルの選択設定においては、イン夕フェイスフアイル選択部 4 0 eが、前記種別コード及び前記選択されたハ一ド定義ファイルに対応するインタフェイスファイルを補助記憶部 1 1 に記憶されたイン夕フェイスファイル群 4 4の中から選択する。実際には、処理レシピの実行中に使用されるィンタフェイスファイルの読み出しァドレスが決定される。

一方、前記ステップ S 1 4において、露光装置 2 0が異常状態であると判断されると、このレポートからさらに修復可能かどうかが判断される（ステップ S 1 5 )。ここで修復可能でないと判断されると、稼動停止命令を処理指令部 6に発行し（ステップ S 1 7 )、塗布現像装置 1の稼動を停止し（電源を O F Fし）終了する。

また、ステップ S 1 5において修復可能と判断された場合には、所定時間待機後（ステップ S 1 6 )、再びステップ S 1 3に戻つて露光装置 2 0の情報取得を要求する。

なお、前記したように、この接続設定プログラム終了後、選択された処理レシピが実行されるが、処理レシピプログラム、選択されたハード定義ファイル、選択されたィンタフェイスファイルが主記憶部 1 2に読み込まれて実行される。このとき、処理レシピプログラムは選択されたハード定義ファイル及びインタフエイスファイルを用いながら実行される。

また、処理レシピプログラム実行中においても、定期的に露光装置 2 0からプロファイル情報の受け渡しを要求することにより（図 9のステップ S 1 3 )、露光装置の近況を把握し、変更や異常がある場合には、稼動停止（電源 O F F ) 等の適切な対処を行なうようにしてもよい。

以上のように、本発明にかかる一実施形態においては、インラィン接続された相手側装置からプロフアイル情報を取得し、そのプロファイル情報に対応してインライン接続における設定を自動的に行なうため、相手側装置に変更があった場合にも自動的に対処することができる。すなわち、人為的ミスを低減し、歩留まりの低下を防ぐことができる。

また、インライン接続された相手側装置に異常が発生した場合には、相手側装置から異常情報を受け取り適切な対処をすることができ、事故等を未然に防ぐことができる。

さらに、稼動中に塗布現像装置 1あるいは相手側装置に異常が発生した場合の対策として、前記補助記憶部 1 1にトラブルリ力パリ（復帰処理）のプログラム、及び異常の種類、相手側装置の種類に応じたシナリオ（手順）ファイルを準備してもよい。

これによつて、異常発生時に前記トラブルリカバリのプログラムが自動的に動作し、前記シナリオファイルを参照し、適切な回復処理を行なうことができる。この場合、シナリオファイルは、塗布現像装置 1 と相手側装置の動作を同期させるために、同じフアイルをお互いの装置に予め準備することが望ましい。

なお、前記した一実施形態においては、塗布現像装置 1内の捕助記憶部 1 1 を 1つの不揮発性の記憶部としたが、これを複数に分けてもよい。また、補助記憶部 1 1に記憶されている接続設定プログラム 4 0による工程を含む方法をハードウェア化により実現してもよい。更に、前記一実施の形態においては、塗布現像装置 1 を第 1 の処理装置並びにインライン接続設定装置としたが、露光装置 2 0を第 1の処理装置並びにィンライン接続設定装置としてもよい。更にまた、インライン接続装置を塗布現像装置と露光装置に限定することはなく、インライン接続装置であれば他の装置にも本発明のインライン接続設定方法および装置を適用することができる。 [産業上の利用可能性]

以上の説明で明らかなとおり、本発明によれば、インライン接続相手側装置本体や相手側装置の内部ソフトウェアに変更があつた場合に、自動的に接続相手側装置に対応した内部ソフトウェァの設定作業を行うことができる。また、接続相手側装置に不具合が発生した場合に、自動的に適切な対処を行なうことができる。

なお、本発明は、ウェハ等の基板に限らず、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等の平板ディスプレイにおける基板等のインライン処理にも広く適用できる。

Claims

請求の範囲

1 .被処理体に対してィンライン処理を行なう装置間の接続設定を自動的に行なうインライン接続設定方法であって、第 1の処理装置が、該第 1の処理装置にインライン接続された第 2の処理装置に対し、該第 2の処理装置に関する情報であるプ口ファイル情報の受け渡しを要求する工程と、

前記第 1の処理装置が、前記第 2の処理装置から前記プロファィル情報を受け取る工程と、

を含むインライン接続設定方法。

2 . 請求項 1のインライン接続設定方法において、前記第 1の処理装置は、 L A N内に形成された通信経路を介して、前記第 2の処理装置と直接通信することにより前記プロファイル情報を受け取る。

3 . 請求項 1のインライン接続設定方法において、前記プ口ファイル情報には、前記第 2の処理装置のメーカ情報と、型式情報と、該第 2の処理装置において使用されるソフトウエアのパ —ジョン情報とが少なくとも含まれる。

4 . 請求項 1のインライン接続設定方法において、前記プ口ファイル情報には、前記第 2の処理装置が正常状態であるか否かの情報が含まれる。

5 . 請求項 1のインライン接続設定方法において、前記第 1の処理装置は、前記第 2の処理装置と通信ケ一ブルにより 1対

1接続され、前記通信ケーブルのコネクタピン割り当て情報である複数種のハード定義ファイルを有し、

前記プロファイル情報に対応して、前記複数種の八一ド定義フアイルの中から、前記第 1の処理装置で使用する八一ド定義ファィルを選択する。

6 . 請求項 5のインライン接続設定方法において、前記第

1の処理装置は、被処理体を処理するためのソフトウェアと、複数種のインタフェイスファイルとをさらに有し、

前記選択されたハード定義ファイルに対応して、前記複数種のインタフェイスファイルの中から、前記第 1の処理装置で使用するインタフヱイスファイルを選択する。

7 . 請求項 1のインライン接続設定方法において、前記第 1の処理装置は前記第 2の処理装置に対し、所定時間毎に、前記プロファイル情報の受け渡しを要求する。

8 .被処理体に対してィンライン処理を行なう第 1の処理装置に対する第 2の処理装置の接続設定を自動的に行なうインライン接続設定装置であって、

前記第 1の処理装置にインライン接続された前記第 2の処理装置との情報通信の接続確認を行なう接続状態確認部と、前記第 2の処理装置に対し、前記第 2の処理装置に関するプロフアイル情報の受け渡しを要求して該プロフアイル情報を受け取る情報取得部と、前記プロファイル情報に対応して使用するソフトウェァファイルを選択するファイル選択部とを有し、これらを順次実行するためのプログラムを記憶する第 1の記憶手段と、

を備えるインライン接続設定装置。

9 . 請求項 8のインライン接続設定装置において、前記第 1の処理装置は、インライン接続された前記第 2の処理装置とは通信ケーブルにより 1対 1接続され、

前記第 1の記憶手段は、前記通信ケーブルのコネクタピン割り当て情報である複数種の八一ド定義ファイルを記憶している。

1 0 . 請求項 9のインライン接続設定装置において、前記ファイル選択部は、ハード定義ファイル選択部を有し、

前記ハード定義フアイル選択部は、前記複数種のハード定義フアイルの中から使用するハード定義フアイルを選択する。

1 1 . 請求項 8のインライン接続設定装置において、前記第 1の記憶手段は、被処理体を処理するためのソフトウェアと前記複数種のハード定義ファイルと複数種のインタフェイスファィルとを記憶している。

1 2 . 請求項 1 1のインライン接続設定装置において、前記フアイル選択部は、八一ド定義ファイル選択部とィンタフェイスファイル選択部とを有し、

前記八一ド定義フアイル選択部は、前記複数種のハード定義フアイルの中から使用するハード定義ファイルを選択し、

前記インタフェイスファイル選択部は、前記複数種のィンタフエイスファイルの中から使用するインタフェイスファイルを選択する。

1 3 . 請求項 8のインライン接続設定装置において、前記情報取得部は、 L A N内に形成された通信経路を介して、前記ィンライン接続された前記第 2の処理装置と直接通信することにより前記プロファイル情報を受け取る。

1 4 . 請求項 8のインライン接続設定装置において、前記プロファイル情報は、少なくとも、前記第 2の処理装置のメーカ情報と、型式情報と、該第 2の処理装置において使用されるソフトウエアのバ一ジョン情報とを含み、

前記インライン接続設定装置は、受け取った前記プロファイル情報を記憶するための第 2の記憶手段をさらに備える。

1 5 . 請求項 8のインライン接続設定装置において、前記プロファイル情報は、前記第 2の処理装置が正常状態にあるか否かの情報を含む。

1 6 . 請求項 8のインライン接続設定装置において、前記第 1の処理装置はレジスト塗布 ·現像装置であり、前記第 2の処理装置は露光装置である。

1 7 .相手側装置と協働して基板に対してィンライン処理を行う基板処理装置であって、

前記基板に対してィンライン処理を行う処理部と、

相手側装置から第 2の通信インタフェイスを経由して当該相手側装置に関するプロファイル情報を取得する情報取得.手段と、自装置の動作を制御するための複数のソフトウェアファイルを記憶するソフトウェアファイル記憶手段と、

を具備した基板処理装置。

1 8 . 請求項 1 7の基板処理装置において、前記第 2の通信インタフェイスは、前記相手側装置の対応するィンタフェイスと L A N接続される。

1 9 . 請求項 1 7の基板処理装置において、前記プロファィル情報には、前記相手側の基板処理装置のメーカ情報と、型式情報と、該相手側の基板処理装置において使用されるソフトウェァのバージョン情報とが少なくとも含まれている。

2 0 . 請求項 1 7の基板処理装置において、前記プロファィル情報には、前記相手側の基板処理装置が正常状態であるか否かの情報が含まれている。

2 1 . 請求項 1 7の基板処理装置において、前記第 1の通信インタフェイスは、前記相手側装置の対応するィン夕フェイスと通信ケーブルにより 1対 1接続され、前記ソフトウエアフアイル記憶手段は、前記通信ケーブルのコネクタピン割り当て情報である複数種のハード定義ファイルを有し、

前記ファイル選択手段は、前記プロファイル情報に対応して、前記複数種のハード定義ファイルの中から、前記基板処理装置で使用するハード定義フアイルを選択する。

2 2 . 請求項 2 1の基板処理装置において、前記ソフトゥエアファイル記憶手段は、前記基板を処理するためのソフトゥェァと、複数種のインタフェイスファイルをさらに有し、

前記ファイル選択手段は、前記選択されたハード定義ファイルに対応して、前記複数種のイン夕フェイスファイルの中から、当該基板処理装置で使用するィンタフェイスフアイルを選択する。

2 3 . 請求項 1 7の基板処理装置において、前記情報取得手段は、前記相手側の基板処理装置に対し、所定時間毎に、前記プロフアイル情報の受け渡しを要求する。

2 4 . 請求項 1 7の基板処理装置はレジスト塗布 ·現像装置であり、相手側装置は露光装置である。

2 5 .被処理体に対してィンライン処理を行なう第 1の処理装置および第 2 の処理装置からなる基板処理システムであつて、

前記第 1の処理装置は、

インライン接続された前記第 2の処理装置との情報通信の接続確認を行なう接続状態確認部と、前記第 2の処理装置に対し、前記第 2の処理装置に関するプロファイル情報の受け渡しを要求して該プロファイル情報を受け取る情報取得部と、前記プロフアイル情報に対応して使用するソフトウェアファイルを選択するファイル選択部とを有し、これらを順次実行するためのプログラムを記憶する第 1の記憶手段と、

を有する接続設定部を備える基板処理システム。

2 6 . 請求項 2 5の基板処理システムにおいて、前記第 1 の処理装置は、インライン接続された前記第 2の処理装置とは通信ケーブルにより 1対 1接続され、

前記第 1の記憶手段は、前記通信ケーブルのコネクタピン割り当て情報である複数種のハード定義ファイルを記憶している。

2 7 . 請求項 2 6の基板処理システムにおいて、前記ファィル選択部は、ハード定義ファイル選択部を有し、

前記八一ド定義ファイル選択部は、前記複数種のハード定義フアイルの中から使用するハード定義フアイルを選択する。

2 8 . 請求項 2 5の基板処理システムにおいて、前記第 1 の記憶手段は、被処理体を処理するためのソフトウエアと前記複数種のハード定義ファイルと複数種のインタフェイスファイルとを記憶している。

2 9 . 請求項 2 8の基板処理システムにおいて、前記ファィル選択部は、ハード定義ファイル選択部とィン夕フェイスファィル選択部とを有し、

前記ハ一ド定義ファイル選択部は、前記複数種の八一ド定義フアイルの中から使用するハード定義ファイルを選択し、

前記イン夕フェイスフアイル選択部は、前記複数種のィンタフエイスファイルの中から使用するインタフェイスファイルを選択する。

3 0 . 請求項 2 5の基板処理システムにおいて、前記情報取得部は、 L A N内に形成された通信経路を介して、前記インライン接続された前記第 2の処理装置と直接通信することにより前記プロファイル情報を受け取る。

3 1 . 請求項 2 5の基板処理システムにおいて、前記プロフアイル情報は、少なくとも、前記第 2の処理装置のメーカ情報と、型式情報と、該第 2の処理装置において使用されるソフトゥエアのパージョン情報とを含み、

前記接続設定部は、受け取った前記プロフアイル情報を記憶するための第 2の記憶手段を備える。

3 2 . 請求項 2 5の基板処理システムにおいて、前記プロファイル情報は、前記第 2の処理装置が正常状態にあるか否かの情報を含む。

3 3 . 請求項 2 5の基板処理システムにおいて、前記第 1 の処理装置はレジスト塗布 ·現像装置であり、前記第 2の処理装置は露光装置である。