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TW201841557A - 柔性顯示裝置及其製造方法 - Google Patents

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TW201841557A
TW201841557A TW106144976A TW106144976A TW201841557A TW 201841557 A TW201841557 A TW 201841557A TW 106144976 A TW106144976 A TW 106144976A TW 106144976 A TW106144976 A TW 106144976A TW 201841557 A TW201841557 A TW 201841557A
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張婷婷
宋艷芹
林立
胡思明
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大陸商昆山工研院新型平板顯示技術中心有限公司
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Abstract

本發明提供了一種柔性顯示裝置及其製造方法，該柔性顯示裝置包括：柔性基底及形成於柔性基底上的導電層，導電層上設置有至少一個凹陷區域。本發明提供的柔性顯示裝置包括柔性基底及形成於柔性基底上的導電層，導電層上設置有至少一個凹陷區域。本發明提供的柔性顯示裝置通過在柔性基底上設置導電層，並在導電層上設置至少一個凹陷區域的方式避免了柔性顯示裝置在彎曲或者折疊過程中導電層產生裂紋或者斷裂，提高了導電層在彎折時的品質與可靠性。

Description

柔性顯示裝置及其製造方法
本發明屬於顯示技術領域，特別是關於一種柔性顯示裝置及其製造方法。
柔性顯示裝置是指顯示面板可彎曲變形的顯示裝置，其包括柔性有機電致發光顯示裝置(OLED)、柔性電泳顯示裝置(EPD)、柔性液晶顯示裝置(LCD)等多種類型。作為新一代的顯示器件，因其具有薄而輕、高對比、快速回應、寬視角、高亮度、全彩色等優點，因此在手機、個人數字助理(PDA)、數位相機、車載顯示、筆記型電腦、壁掛電視以及軍事領域等具有十分廣泛的應用前景。
柔性顯示裝置在彎曲或者折疊過程中，脆性的TFT(Thin Film Transistor，薄膜電晶體)極易發生斷裂，斷裂的TFT會影響柔性顯示裝置的顯示效果或直接導致柔性顯示裝置無法正常工作。研究發現，脆性的TFT的斷裂主要集中在屏體周邊較粗的導電層上，特別是在導電層的柔性可折疊方向。
現有技術中針對易斷裂的導電層有多種增強導電層力學可靠性的方案，比如：導電層打孔以釋放應力；設置多層導電層，並利用接觸孔使之相互連接；更換電極材料，如石墨烯、納米銀線等；降低導電層 的寬度並提高導電層的平滑度。但是，上述現有的增強導電層力學可靠性的技術方案的效果均不理想。
本發明的目的在於提供一種柔性顯示裝置及其製造方法，以解決現有技術中的柔性顯示裝置在彎曲或者折疊過程中，導電層容易產生裂紋甚至斷裂的問題。
第一方面，本發明一實施例提供一種柔性顯示裝置，柔性顯示裝置包括：柔性基底及形成於柔性基底上的導電層，導電層上設置有至少一個凹陷區域。
在本發明一實施例中，導電層構成柔性基底上的電源線。
在本發明一實施例中，凹陷區域的所有側邊中最長的一條側邊或者凹陷區域的連接側邊兩點的側邊連線中最長的一條側邊連線與柔性顯示裝置的彎折方向一致。
在本發明一實施例中，凹陷區域包括通孔和/或盲孔。
在本發明一實施例中，導電層和柔性基底沿延展方向分為彎折區和非彎折區，至少一個凹陷區域設置在導電層的彎折區；其中，彎折區的導電層的厚度大於非彎折區的導電層的厚度。
在本發明一實施例中，導電層的彎折區的非延展方向的上邊緣或下邊緣與非彎折區的導電層的同一側邊緣共線。
在本發明一實施例中，導電層的彎折區的非延展方向的上邊緣和下邊緣與非彎折區的導電層的同一側邊緣均不共線。
在本發明一實施例中，柔性顯示裝置採用薄膜電晶體結構，其中導電層與柔性顯示裝置的源電極、漏電極、柵電極、陰極或陽極電性連接；或，導電層構成柔性顯示裝置的源電極、漏電極、柵電極、陰極或陽極。
在本發明一實施例中，柔性顯示裝置採用薄膜電晶體結構，導電層構成柔性顯示裝置的柵電極中的頂柵和/或底柵，柵電極包括：設置在薄膜電晶體結構的溝道層上方的頂柵；以及設置在溝道層下方的底柵；其中，頂柵上設置有至少一個凹陷區域，頂柵上的凹陷區域在與溝道層平行的平面上的投影被底柵在平面上的投影所覆蓋；和/或，底柵上設置有至少一個凹陷區域，底柵上的凹陷區域在平面上的投影被頂柵在平面上的投影所覆蓋。
在本發明一實施例中，頂柵上的凹陷區域在平面上的投影形狀和底柵在平面上的投影的形狀相同；和/或，底柵上的凹陷區域在平面上的投影的形狀和頂柵在平面上的投影的形狀相同。
在本發明一實施例中，導電層的至少一個凹陷區域中填充有機材料。
在本發明一實施例中，至少一個凹陷區域沿柔性顯示裝置的彎折線方向呈一行或多行設置。
在本發明一實施例中，多行設置的凹陷區域對齊排列或者交錯排列。
在本發明一實施例中，同一列的一個凹陷區域線上寬方向上的截面寬度或者同一列的多個凹陷區域線上寬方向上的截面寬度之和與導 電層的線寬之比小於等於1/2。
在本發明一實施例中，同一行中相鄰兩個凹陷區域之間的最小間距和與柔性顯示裝置的彎折方向一致的側邊或側邊連線之比大於等於1/2且小於等於2。
在本發明一實施例中，至少一個凹陷區域所構成的形狀在與柔性基底平行的平面或與柔性基底垂直的平面上的投影包括以下幾種形狀中的一種或多種的組合：矩形、三角形、梯形、菱形、圓形、橢圓形、正弦波形、麻花型和鋸齒形。
在本發明一實施例中，包括設置於導電層上的保護層，導電層被保護層覆蓋的凹陷區域的孔徑與導電層的寬度之比小於0.1。
在本發明一實施例中，導電層的未被保護層覆蓋的凹陷區域的孔徑與導電層的寬度之比大於0.08。
第二方面，本發明一實施例還提供一種柔性顯示裝置的製造方法，柔性顯示裝置的製造方法包括：形成柔性基底；確定電源線電阻需求；根據電源線電阻需求得到導電層的線寬及凹陷區域的資料；根據導電層的線寬及凹陷區域的資料在柔性基底上形成電源線。
第三方面，本發明一實施例還提供一種柔性顯示裝置的製作方法，柔性顯示裝置為薄膜電晶體結構，薄膜電晶體結構的柵電極的製備方法包括：製作底柵；在底柵上方依次製作底柵絕緣層和溝道層；以及在溝道層上方依次製作頂柵絕緣層和頂柵；其中，頂柵上設置有至少一個凹陷區域，頂柵上的凹陷區域在與溝道層平行的平面上的投影被底柵在平面上的投影所覆蓋；和/或，底柵上設置有至少一個凹陷區域，底柵上的凹陷 區域在平面上的投影被頂柵在平面上的投影所覆蓋。
本發明提供的柔性顯示裝置包括柔性基底及形成於柔性基底上的導電層，導電層上設置有至少一個凹陷區域。本發明提供的柔性顯示裝置通過在柔性基底上設置導電層，並在導電層上設置至少一個凹陷區域的方式避免了柔性顯示裝置在彎曲或者折疊過程中導電層產生裂紋或者斷裂，提高了導電層在彎折時的品質與可靠性。
S11-S13‧‧‧步驟
10、20、30、40‧‧‧柔性基底
11、21、31、41‧‧‧電源線
110、210、310、410‧‧‧導電層
111、211、311、411‧‧‧通孔
a1‧‧‧短邊
a2、b2、c2、d2‧‧‧線寬
a3、b3、c3‧‧‧最小間距
a4‧‧‧長邊
b1、c1‧‧‧短軸
b4、c4‧‧‧長軸
c5、c6‧‧‧截面寬度
d1‧‧‧短對角線
N1‧‧‧非彎折區
N2‧‧‧彎折區
1‧‧‧柵電極
2‧‧‧絕緣層
3‧‧‧柔性基底
4‧‧‧導電層
71‧‧‧頂柵
711‧‧‧通孔
712‧‧‧頂柵絕緣層
72‧‧‧溝道層
73‧‧‧底柵
731‧‧‧底柵絕緣層
732‧‧‧有機材料
81、811、83‧‧‧投影
82‧‧‧平面
圖1是本發明實施例一的柔性顯示裝置的結構示意圖；圖2是本發明實施例二的柔性顯示裝置的結構示意圖；圖3是本發明實施例三的柔性顯示裝置的結構示意圖；圖4是本發明實施例四的柔性顯示裝置的結構示意圖；圖5是本發明實施例五的柔性顯示裝置的結構示意圖；圖6是本發明實施例六的柔性顯示裝置的結構示意圖；圖7a是本發明實施例七的柔性顯示裝置的薄膜電晶體結構的結構示意圖；圖7b是本發明實施例七的柔性顯示裝置的薄膜電晶體結構的柵電極的投影示意圖；圖8a是本發明實施例八的柔性顯示裝置的薄膜電晶體結構的結構示意圖；圖8b是本發明實施例八的柔性顯示裝置的薄膜電晶體結構的柵電極的 投影示意圖；圖9是本發明實施例九的柔性顯示裝置的薄膜電晶體結構的柵電極的製作流程示意圖；圖10是本發明實施例十的柔性顯示裝置的彎折性能實驗資料折線示意圖；以及圖11是本發明實施例十一的柔性顯示裝置的彎折性能實驗資料折線示意圖。
以下結合附圖和具體實施例對本發明提出的柔性顯示裝置及其製造方法作進一步詳細說明。根據下面說明書和申請專利範圍，本發明的優點和特徵將更清楚。需說明的是，附圖均採用非常簡化的形式且均使用非精准的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本發明實施例的目的。
【實施例一】
圖1是本發明實施例一的柔性顯示裝置的結構示意圖。如圖1所示，柔性顯示裝置包括：柔性基底10及形成於柔性基底10上的電源線11；電源線11包括導電層110，導電層110上具有通孔111。通過通孔111可以分散電源線11彎折時產生的應力，從而避免柔性顯示裝置在彎曲或者折疊過程中電源線產生裂紋或者斷裂，提高了電源線在彎折時的品質與可靠性。
在本申請實施例中，導電層110的材料可以是鋁金屬、銅金屬等金屬材料；其也可以是多種金屬材料複合而成的複合金屬層；其還可 以是氧化銦錫等透明材質導電層。導電層110所選材料只要達到能夠導電的性質即可。
優選的，通孔111的所有側邊中最長的一條側邊或者通孔111的所有連接側邊兩點的側邊連線中最長的一條側邊連線與電源線11的彎折方向一致。可以理解的是，側邊是指通孔形狀的任意一條邊，側邊連線是指通孔的任意側邊上任意兩點間的連線。在此，彎折方向指電源線11發生彎折的軸向，也即電源線11發生彎折時應力的傳遞方向；進一步的，電源線11的彎折方向與電源線11彎折時產生的彎折線垂直。例如，柔性顯示裝置的形狀為長方形，彎折操作是沿著長邊進行彎折，即兩條短邊逐漸靠近或者重疊，此時彎折方向即為長邊所在的軸向。
請繼續參考圖1，在本申請實施例中，通孔111的形狀為長方形。進一步的，長方形通孔的長邊(即最長的側邊)與該電源線11的彎折方向一致，也即該長方形通孔的長邊與該柔性顯示裝置的彎折方向一致由此，可以使得通孔111更好的分散電源線11彎折時產生的應力。
較佳的，每200μm~500μm寬度的導電層110上設置有一行通孔111，一行或者多行通孔111均勻的分佈於導電層110上，由此，既能夠保證一定的通孔數量，從而較好的分散電源線11彎折時產生的應力，又能夠保證導電層110的品質與可靠性。例如，當導電層110的線寬小於500μm時，導電層110上具有一行通孔111；當導電層110的線寬大於等於500μm且小於1000μm時，導電層110上具有兩行通孔111；當導電層110的線寬大於等於1000μm且小於1500μm時，導電層110上具有三行通孔111；當導電層110的線寬大於等於1500μm且小於2000μm時，導電層110 上具有四行通孔111。進一步的，當導電層110具有更寬的線寬(大於2000μm)時，導電層110上還可以設置有更多行的通孔111。通過導電層110線寬與通孔111行數的合理選擇與匹配，既能夠提高電源線11的抗彎折能力，又能夠使得電源線11具有較佳的導電能力。本實施例的通孔111的數量為7個，7個通孔111呈一行排列。
較佳的，同一列的一個通孔111線上寬方向上的截面寬度或者同一列的多個通孔111線上寬方向上的截面寬度之和與導電層110的線寬之比小於等於1/2。在本申請實施例中，即長方形通孔111的短邊a1和導電層110的線寬a2之比小於等於1/2。進一步的，同一行中相鄰兩個通孔111之間的最小間距a3和最長的側邊或最長的側邊連線之比(在此即長方形通孔111的長邊a4)大於等於1/2且小於等於2。由此，既能夠提高電源線11的抗彎折能力，又能夠使得電源線11具有較佳的導電能力。
相應的，本實施例還提供一種柔性顯示裝置的製造方法，柔性顯示裝置的製造方法包括：形成柔性基底；確定電源線電阻需求；根據電源線電阻需求得到導電層的線寬及通孔的資料；根據導電層的線寬及通孔的資料在柔性基底上形成電源線。其中，在柔性基底上形成電源線可以包括：先形成特定線寬的導線層(即根據電源線電阻需求得到的導電層的線寬)，然後對導電層進行打孔(即根據電源線電阻需求得到的通孔的資料，如通孔形狀、大小、行數與數量等對導電層進行打孔)。
【實施例二】
圖2是本發明實施例二的柔性顯示裝置的結構示意圖。如圖2所示，柔性顯示裝置包括：柔性基底20及形成於柔性基底20上的電源線 21；電源線21包括導電層210，導電層210上具有通孔211。通過通孔211可以分散電源線21彎折時產生的應力，從而避免柔性顯示裝置在彎曲或者折疊過程中電源線產生裂紋或者斷裂，提高了電源線在彎折時的品質與可靠性。
在本申請實施例中，導電層210的材料可以是鋁金屬、銅金屬等金屬材料；其也可以是多種金屬材料複合而成的複合金屬層；其還可以是氧化銦錫等透明材質導電層。導電層210所選材料只要達到能夠導電的性質即可。
優選的，通孔211的所有側邊中最長的一條側邊或者通孔211的所有連接側邊兩點的側邊連線中最長的一條側邊連線與電源線21的彎折方向一致。請繼續參考圖2，在本申請實施例中，通孔211的形狀為橢圓形。進一步的，橢圓形通孔的長軸(即最長的側邊連線)與電源線21的彎折方向一致，也即橢圓形通孔的長軸與柔性顯示裝置的彎折方向一致，由此，可以使得通孔211更好的分散電源線21彎折時產生的應力。
較佳的，每200μm~500μm寬度的導電層210上設置有一行通孔211，一行或者多行通孔211均勻的分佈於導電層210上，由此，既能夠保證一定的通孔數量，從而較好的分散電源線21彎折時產生的應力，又能夠保證導電層210的品質與可靠性。在本申請實施例中，通孔211的數量為14個，14個通孔211呈多行排列(具體為兩行排列)，並且呈多行對齊排列。
較佳的，同一列的一個通孔211線上寬方向上的截面寬度或者同一列的多個通孔211線上寬方向上的截面寬度之和與導電層210的線寬 之比小於等於1/2。在本申請實施例中，即同一列的兩個橢圓形通孔211的短軸b1之和2*b1(即同一列的多個通孔211線上寬方向上的最大截面寬度之和)和導電層210的線寬b2之比小於等於1/2。進一步的，同一行中相鄰兩個通孔211之間的最小間距b3和最長的側邊或最長的側邊連線之比(在此即橢圓形通孔211的長軸b4)大於等於1/2且小於等於2。由此，既能夠提高電源線21的抗彎折能力，又能夠使得電源線21具有較佳的導電能力。
相應的，本實施例還提供一種柔性顯示裝置的製造方法，柔性顯示裝置的製造方法包括：形成柔性基底；確定電源線電阻需求；根據電源線電阻需求得到導電層的線寬及通孔的資料；根據導電層的線寬及通孔的資料在柔性基底上形成電源線。其中，在柔性基底上形成電源線可以包括：先形成特定線寬的導線層(即根據電源線電阻需求得到的導電層的線寬)，然後對導電層進行打孔(即根據電源線電阻需求得到的通孔的資料，如通孔的形狀、大小、行數與數量等對導電層進行打孔)。
【實施例三】
圖3是本發明實施例三的柔性顯示裝置的結構示意圖。如圖3所示，柔性顯示裝置包括：柔性基底30及形成於柔性基底30上的電源線31；電源線31包括導電層310，導電層310上具有通孔311。通過通孔311可以分散電源線31彎折時產生的應力，從而避免柔性顯示裝置在彎曲或者折疊過程中電源線產生裂紋或者斷裂，提高了電源線在彎折時的品質與可靠性。
在本申請實施例中，導電層310的材料可以是鋁金屬、銅金屬等金屬材料；其也可以是多種金屬材料複合而成的複合金屬層；其還可 以是氧化銦錫等透明材質導電層。導電層310所選材料只要達到能夠導電的性質即可。
優選的，通孔311的所有側邊中最長的一條側邊或者通孔311的所有連接側邊兩點的側邊連線中最長的一條側邊連線與電源線31的彎折方向一致。請繼續參考圖3，在本申請實施例中，通孔311的形狀為橢圓形。進一步的，橢圓形通孔的長軸(即最長的側邊連線)與電源線31的彎折方向一致，也即橢圓形通孔的長軸與柔性顯示裝置的彎折方向一致，由此，可以使得通孔311更好的分散電源線31彎折時產生的應力。
較佳的，每200μm~500μm寬度的導電層310上設置有一行通孔311，一行或者多行通孔311均勻的分佈於導電層310上，由此，既能夠保證一定的通孔數量，從而較好的分散電源線31彎折時產生的應力，又能夠保證導電層310的品質與可靠性。在本申請實施例中，通孔311的數量為12個，12個通孔311呈多行排列(具體為兩行排列)，並且呈多行交錯排列。
較佳的，同一列的一個通孔311線上寬方向上的截面寬度或者同一列的多個通孔311線上寬方向上的截面寬度之和與導電層310的線寬之比小於等於1/2。在本申請實施例中，當同一列中只有一個通孔311時，即一個通孔311線上寬方向上的截面寬度(在此為橢圓形通孔311的短軸c1)和導電層310的線寬c2之比小於等於1/2；或者，當同一列中有兩個通孔311時，即兩個通孔311線上寬方向上的截面寬度之和(在此為截面寬度c5與截面寬度c6之和)與導電層310的線寬c2之比小於等於1/2。進一步的，同一行中相鄰兩個通孔311之間的最小間距c3和最長的側邊或最長的 側邊連線之比(在此即橢圓形通孔311的長軸c4)大於等於1/2且小於等於2。由此，既能夠提高電源線31的抗彎折能力，又能夠使得電源線31具有較佳的導電能力。
相應的，本實施例還提供一種柔性顯示裝置的製造方法，柔性顯示裝置的製造方法包括：形成柔性基底；確定電源線電阻需求；根據電源線電阻需求得到導電層的線寬及通孔的資料；根據導電層的線寬及通孔的資料在柔性基底上形成電源線。其中，在柔性基底上形成電源線可以包括：先形成特定線寬的導線層(即根據電源線電阻需求得到的導電層的線寬)，然後對導電層進行打孔(即根據電源線電阻需求得到的通孔的資料，如通孔的形狀、大小、行數與數量等對導電層進行打孔)。
【實施例四】
圖4是本發明實施例四的柔性顯示裝置的結構示意圖。如圖4所示，柔性顯示裝置包括：柔性基底40及形成於柔性基底40上的電源線41；電源線41包括導電層410，導電層410上具有通孔411。通過通孔411可以分散電源線41彎折時產生的應力，從而避免柔性顯示裝置在彎曲或者折疊過程中電源線產生裂紋或者斷裂，提高了電源線在彎折時的品質與可靠性。
在本申請實施例中，導電層410的材料可以是鋁金屬、銅金屬等金屬材料；其也可以是多種金屬材料複合而成的複合金屬層；其還可以是氧化銦錫等透明材質導電層。導電層410所選材料只要達到能夠導電的性質即可。
優選的，通孔411的所有側邊中最長的一條側邊或者通孔 411的所有連接側邊兩點的側邊連線中最長的一條側邊連線與電源線41的彎折方向一致。請繼續參考圖4，在本申請實施例中，通孔411的形狀為菱形。進一步的，菱形通孔的長對角線(即最長的側邊連線)與電源線41的彎折方向一致，也即菱形通孔的長對角線與柔性顯示裝置的彎折方向一致，由此，可以使得通孔411更好的分散電源線41彎折時產生的應力。
較佳的，每200μm~500μm寬度的導電層410上設置有一行通孔411，一行或者多行通孔411均勻的分佈於導電層410上，由此，既能夠保證一定的通孔數量，從而較好的分散電源線41彎折時產生的應力，又能夠保證導電層410的品質與可靠性。在此，通孔411的數量為一個，一個通孔411位於導電層410的中間位置。進一步的，同一列的一個通孔411線上寬方向上的截面寬度或者同一列的多個通孔411線上寬方向上的截面寬度之和與導電層410的線寬之比小於等於1/2。在本申請實施例中，即菱形通孔411的短對角線d1和導電層410的線寬d2之比小於等於1/2。由此，既能夠提高電源線41的抗彎折能力，又能夠使得電源線41具有較佳的導電能力。
相應的，本實施例還提供一種柔性顯示裝置的製造方法，柔性顯示裝置的製造方法包括：形成柔性基底；確定電源線電阻需求；根據電源線電阻需求得到導電層的線寬及通孔的資料；根據導電層的線寬及通孔的資料在柔性基底上形成電源線。其中，在柔性基底上形成電源線可以包括：先形成特定線寬的導線層(即根據電源線電阻需求得到的導電層的線寬)，然後對導電層進行打孔(即根據電源線電阻需求得到的通孔的資料，如通孔形狀、大小、行數與數量等對導電層進行打孔)。
在本發明提供的柔性顯示裝置中，通孔還可以為其他形狀，例如圓形、正方形、不規則圖形等，較佳的，通孔的形狀為規則形狀，從而便於根據電源線電阻需求得到通孔的資料，如通孔的具體形狀、大小、行數與數量等進行生產製造。
應當理解，本發明實施例所提供的柔性顯示裝置的導電層上的通孔也可以為其他形狀的凹陷區域(例如盲孔，通孔和盲孔混合的區域)，本發明對該凹陷區域的具體形狀不做限定。
在本發明一實施例中，柔性顯示裝置採用薄膜電晶體結構，其中導電層與柔性顯示裝置的源電極、漏電極、柵電極、陰極或陽極電性連接；或者導電層構成柔性顯示裝置的源電極、漏電極、柵電極、陰極或陽極。由此可見，由於本發明實施例所提供的導電層上設有可分散彎折應力的凹陷區域，因此當該導電層構成了柔性顯示裝置的不同導電部分時，這些不同導電部分的抗彎折性能就會有所提高。然而本發明對該導電層構成了柔性顯示裝置的具體哪些部分並不做限定。
應當理解，本發明上述任一實施例提供的柔性顯示裝置的導電層的凹陷區域(例如通孔或盲孔)內均可填充有機材料，以有利於緩衝柔性顯示裝置的彎折應力。
在本發明一實施例中，至少一個凹陷區域所構成的形狀在與柔性基底平行的平面或與柔性基底垂直的平面上的投影包括以下幾種形狀中的一種或多種的組合：矩形、三角形、梯形、菱形、圓形、橢圓形、正弦波形、麻花型和鋸齒形。本發明實施例將凹陷區域設置為多種不同形狀能夠充分做到分散導電層應力的作用，從而進一步分散本發明實施例提供 的柔性顯示裝置的應力影響。
【實施例五】
圖5是本發明實施例五的柔性顯示裝置的結構示意圖。如圖5所示，本發明第五實施例提供的柔性顯示裝置包括依次沿自上而下方向(如圖5所示的自上而下方向)層疊排列的導電層4、絕緣層2和柔性基底3，沿自上而下方向層疊排列的導電層4、絕緣層2和柔性基底3被沿延展方向劃分成彎折區N2和非彎折區N1，彎折區N2的導電層4的厚度大於非彎折區N1的導電層4的厚度，即彎折區N2的導電層4的下邊緣(其中，下邊緣為如圖5所示的層疊設置方向的下邊緣)和非彎折區N1的導電層4的下邊緣(其中，下邊緣為如圖5所示的層疊設置方向的下邊緣)處於同一水平線(即共線)上，彎折區N2的導電層4的上邊緣(其中，上邊緣為如圖5所示的層疊設置方向的上邊緣)沿水準方向低於非彎折區N1的導電層4的上邊緣(其中，上邊緣為如圖5所示的層疊設置方向的上邊緣)。
注意，本發明實施例中所提及的延展方向指的是水準方向，即圖5所示的左右方向，非延展方向指的是垂直方向，即圖5所示的上下方向。
應當理解，本發明實施例提供的柔性顯示裝置亦可以不包括絕緣層2。
本發明實施例的理論基礎如下所述。
改進前的導電層電阻為：R1=ρL/S1 (1)
在公式(1)中，S1=W*h1，W表示導電層寬度，L表示導電層長度， h1表示導電層厚度，S1表示導電層橫截面面積，ρ表示導電層密度值，R1表示導電層電阻。
改進後的導電層電阻為：
在公式(2)中，橫截面積S1=W*h1，S2=W*(h1+h2)，S1=S3，S1<S2，L1表示彎折區的導電層長度，L2和L3表示加厚的非彎折區的導電層長度，L1+L2+L3=L，S1表示對應的彎折區的導電層橫截面面積，S2和S3表示對應的加厚的非彎折區的導電層橫截面面積。
改進前後的電阻大小對比為：
在公式(3)中，L-L1>0，->0，因此得出R1>R1'。
綜上，通過上述分析可得出，增加厚度後，導電層的電阻可以有效地降低。
本發明第五實施例提供的柔性顯示裝置通過將柔性顯示裝置沿延展方向劃分成彎折區和非彎折區，並設置彎折區的導電層厚度大於非彎折區的導電層的厚度的方式，實現了既降低柔性顯示裝置的導電層的電阻值又不影響柔性顯示裝置的彎折區的彎折性能的目的，為將柔性顯示裝置應用到大屏可折疊的移動終端提供了必要條件。
應當理解，在本發明第一實施例中，亦可以是彎折區N2的導電層4的上邊緣(其中，上邊緣為如圖5所示的層疊設置方向的上邊緣)和非彎折區N1的導電層4的上邊緣(其中，上邊緣為如圖5所示的層疊設 置方向的上邊緣)處於同一水平線(即共線)上，彎折區N2的導電層4的下邊緣(其中，下邊緣為如圖5所示的層疊設置方向的下邊緣)在水準方向高於非彎折區N1的導電層4的下邊緣(其中，下邊緣為如圖5所示的層疊設置方向的下邊緣)，從而達到彎折區N2的導電層4的厚度大於非彎折區N1的導電層4的厚度的目的，以充分增加本發明實施例提供的柔性顯示裝置的適應性和可擴展性。
此外，應當注意，彎折區N2和非彎折區N1具體設置範圍以及設置點位元可根據實際情況自由設置，本發明實施例在此不作限定。
優選地，將本發明實施例中的導電層4設置為金屬層，以便導電層4能夠更好地發揮導電作用。
應當理解，導電層4的材質亦可以設置為導電塑膠或導電橡膠等材質，本發明對此不作限定。
【實施例六】
圖6是本發明實施例六的柔性顯示裝置的結構示意圖。在本發明第五實施例的基礎上延伸出本發明第六實施例，本發明第六實施例與第五實施例基本相同，下面著重敘述不同之處，相同之處不再贅述。如圖6所示，本發明第六實施例提供的柔性顯示裝置的非彎折區N1的導電層4的上邊緣(其中，上邊緣為如圖6所示的層疊設置方向的上邊緣)沿延展方向(即水準方向)高於彎折區N2的導電層4的上邊緣(其中，上邊緣為如圖6所示的層疊設置方向的上邊緣)，並且非彎折區N1的導電層4的下邊緣(其中，下邊緣為如圖6所示的層疊設置方向的下邊緣)沿延展方向(即水準方向)低於彎折區N2的導電層4的下邊緣(其中，下邊緣為如圖6所 示的層疊設置方向的下邊緣)。
本發明第六實施例提供的柔性顯示裝置通過將非彎折區N1的導電層4的上邊緣設置為沿延展方向(即水準方向)高於彎折區N2的導電層4的上邊緣、將非彎折區N1的導電層4的下邊緣設置為沿延展方向(即水準方向)低於彎折區N2的導電層4的下邊緣的方式，即從非彎折區N1的導電層4的非延展方向(即垂直方向)兩端分別增加非彎折區N1的導電層4的厚度的方式，更好地實現了既降低柔性顯示裝置的導電層4的電阻值又不影響柔性顯示裝置的彎折區N2的彎折性能的目的。
應當理解，本發明上述實施例描述的柔性顯示裝置的非彎折區N1的導電層4的上邊緣和/或下邊緣和對應的彎折區N2的導電層4的上邊緣和/或下邊緣處於同一水平線的情況中，非彎折區N1的導電層4的上邊緣和/或下邊緣和對應的彎折區N2的導電層4的上邊緣和/或下邊緣亦可以只需共線就好，並不強制要求是水平線。
在本發明一實施例中，彎折區N2的導電層4的上邊緣和/或下邊緣(其中，上邊緣和下邊緣為如圖6所示的層疊設置方向的上邊緣和下邊緣)為鋸齒形或波浪形等形狀，以充分提高本發明實施例提供的柔性顯示裝置的可擴展性和適應性。
【實施例七和實施例八】
圖7a是本發明實施例七的柔性顯示裝置的薄膜電晶體結構的結構示意圖。圖7b是本發明實施例七的柔性顯示裝置的薄膜電晶體結構的柵電極的投影示意圖。如圖7a所示，薄膜電晶體結構的柵電極1可包括設置在薄膜電晶體結構的溝道層72上方的頂柵71以及設置在溝道層72下 方的底柵73。其中，頂柵71上設置有至少一個通孔711。參考圖7b，頂柵71上的通孔711在與溝道層72平行的平面82上的投影811被底柵73在平面82上的投影83所覆蓋。
柵電極1被設計成包括設置在溝道層72兩側的底柵73與頂柵71，頂柵71設置至少一個通孔711，並與底柵73形成互補結構。頂柵71上的通孔可以分散柵電極1發生彎折或變形時產生的應力集中，增強柵電極1的抗折彎性能，可有效防止薄膜電晶體結構的折彎或斷裂失效。同時，由於頂柵71和底柵73形成了互補式結構，雖然頂柵71上有通孔711，但是頂柵71的通孔711所對應的溝道層區域的被設置在該溝道層區域下方的底柵73所覆蓋，溝道層72中仍然是可以形成連續的導電溝道。因此，採用頂柵71和底柵73互補設置的柵電極1不會影響薄膜電晶體結構的性能參數(例如：薄膜電晶體結構的長寬比)。
圖8a是本發明實施例八的柔性顯示裝置的薄膜電晶體結構的結構示意圖。圖8b是本發明實施例八的柔性顯示裝置的薄膜電晶體結構的柵電極的投影示意圖。參考圖8a和圖8b，薄膜電晶體結構的柵電極1可包括設置在薄膜電晶體結構的溝道層72上方的頂柵71以及設置在溝道層72下方的底柵73。其中，底柵73上設置有至少一個通孔711。參考圖8b，底柵73上的通孔711在與溝道層72平行的平面82上的投影811被頂柵71在與溝道層72平行的平面82上的投影81所覆蓋。
然而，應當理解本發明實施例提供的柵電極1的結構不限於此，柵電極1的結構還可以是頂柵71和底柵73均設置有至少一個通孔711。只要頂柵71上的通孔711在與溝道層72平行的平面82上的投影811被底 柵73在平面82上的投影83所覆蓋，並且底柵73上的通孔711在與溝道層72平行的平面82上的投影811被頂柵71在平面82上的投影81所覆蓋即可。在後續的實施例中，本發明僅僅以通孔711設置在頂柵71為例進行闡述，然而本發明實施例對通孔711設置在頂柵71還是底柵73上不做具體限定。
繼續參考圖7a和圖7b，在一個實施例中，頂柵71上的通孔711在與溝道層72平行的平面82上的投影811的形狀可與底柵73在與溝道層72平行的平面82上的投影83的形狀相同。此時，頂柵71在與溝道層72平行的平面82上的投影811與底柵73在與溝道層72平行的平面82上的投影83重疊區域最小。因此，薄膜電晶體結構的性能可得到一定程度的提高。然而應當理解，考慮到工藝偏差以及層間有錯位的情況，允許頂柵71在與溝道層72平行的平面82上的投影811與底柵73在與溝道層72平行的平面82上的投影83有重疊區域。
在一進一步實施例中，如圖8a所示，底柵絕緣層731可進一步包括鏤空區域或至少一個開孔，該鏤空區域或至少一個開孔中可填充有機材料732，以保證底柵絕緣層731上方溝道層72的平整度；同時，通過在該至少一個開孔中填入抗彎折性能更好的有機材料732也會更有利於緩衝彎折應力。然而應當理解，頂柵絕緣層712也可包括鏤空區域或至少一個開孔，該鏤空區域或至少一個開孔中也可填充有機材料732。雖然在圖8a所示的實施例中，底柵絕緣層731的鏤空區域的形狀正好與底柵73互補。然而應當理解，本發明實施例所提供的頂柵絕緣層712/底柵絕緣層731的鏤空區域的形狀或開孔的位置並不僅限於圖7a所示，本發明實施例對頂柵絕緣層712/底柵絕緣層731的鏤空區域的形狀以及開孔的位置和數量不做具 體限定。
儘管圖7b示出了頂柵71的通孔711的數量是一個，然而本發明實施例提供的頂柵71的通孔711還可以多個，當頂柵71設置有多個通孔711時，多個通孔711可呈一行或幾行排列，本發明實施例對通孔711的數量以及具體排布方式不做限定。
綜上可知，本發明第七和第八實施例通過在柔性顯示裝置中的薄膜電晶體結構的柵電極設置凹陷區域，解決了現有薄膜電晶體結構在折彎變形時，由於應力集中導致的顯示失效的問題。
【實施例九】
圖9是本發明實施例九的柔性顯示裝置的薄膜電晶體結構的柵電極的製作流程示意圖。如圖9所示，本發明第九實施例提供了一種薄膜電晶體結構的柵電極的製作方法，該製備柵電極1的方法可包括：S11：製作底柵73。其中，在製作底柵73時需要在底柵73上製備至少一個通孔711，通孔711在與溝道層72平行的平面82上的投影應被後續製備的頂柵71在平面82上的投影所覆蓋。應當理解，底柵73可被製備在一個襯底上，本發明對該襯底的材質和內部結構不做限定。
S12：在底柵73上方依次製作底柵絕緣層731和溝道層72。底柵絕緣層731用於形成底柵73與溝道層72之間的絕緣。
S13：在溝道層72上製作頂柵絕緣層712和頂柵71。其中，在製作頂柵71時可在頂柵71上製備至少一個通孔711，通孔711在與平面82上的投影應被底柵73在與溝道層72平行的平面82上的投影所覆蓋。
通過本實施例提供的柵電極1的製作方法，柵電極1包括設 置在溝道層72兩側的底柵73與頂柵71，頂柵71和/或底柵73上設置至少一個通孔711，頂柵71與底柵73形成互補結構。這樣可以增強柵電極1的抗折彎性能，並同時保證薄膜電晶體結構的電學性能。
【實施例十】
圖10是本發明實施例十的柔性顯示裝置的彎折性能實驗資料折線示意圖。本發明第十實施例進行彎折性能實驗時採用的電源線為寬度500μm的金屬線、其導電層無保護層覆蓋(即測試部分為電源線的非AA區，非顯示區域)。如圖10所示，圖10中的座標橫軸表示電源線的通孔孔徑，座標縱軸表示電源線的耐彎折壽命。本發明實施例的彎折性能實驗中，通過多次測試無保護層的電源線在通孔的不同孔徑下的耐彎折壽命，形成了圖10所示的彎折性能實驗資料折線示意圖。
通過分析圖10可得知，電源線的通孔孔徑等於40μm時，電源線的耐彎折壽命約等於通孔孔徑為0μm時的耐彎折壽命，並且電源線的通孔孔徑大於40μm後，電源線的耐彎折壽命呈直線上升趨勢；電源線的通孔孔徑等於50μm時，電源線的耐彎折壽命明顯高於通孔孔徑為0μm時的耐彎折壽命。
此外，電源線的通孔孔徑小於40μm時，由於通孔孔徑過小，通孔本身可能作為裂紋的起始點發生擴展並斷裂，從而降低本發明實施例提供的柔性顯示裝置的穩定性，因此電源線的通孔孔徑小於40μm時柔性顯示裝置的耐彎折性能較差。
由於電源線的寬度w=500μm，通過分析圖10可得知，當a=40μm時，；當a=50μm時，。
綜上可知，電源線無保護層區域覆蓋的值大於0.08時，能夠實現通過在電源線上開設通孔的方式來提高無保護層的電源線的耐彎折壽命的目的。
優選地，使電源線無保護層區域覆蓋的值大於0.1，以便能夠顯著提高無保護層的電源線的耐彎折壽命。
舉例說明，在本發明一實施例中，電源線寬度w=10μm，電源線上無任何其他層(如有機層等)覆蓋，則電源線上的通孔孔徑高於0.8μm，優選地，通孔孔徑高於1μm。
應當理解，在本發明實施例十中所描述的柔性顯示裝置中，電源線上開設的通孔均可替換為盲孔，以避免通孔的製備過程對柔性顯示裝置的其他結構的性能產生影響。也就是說，本發明實施例提供的柔性顯示裝置中既可以是只有通孔或盲孔的情況，又可以是通孔和盲孔共存的情況。
應當理解，在本發明實施例十中，通孔或盲孔可以為矩形孔、三角形孔、梯形孔、菱形孔、圓形孔、橢圓形孔或不規則形孔等，當通孔或盲孔為正方形孔或圓形孔時，孔徑a為邊長或直徑，當通孔或盲孔為不規則形孔時，孔徑a為不規則形孔的所有側邊中最短的一條側邊或所有連接側邊兩點的側邊連線中最短的一條側邊的長度。
本發明第十實施例通過在柔性顯示裝置中的無保護層覆蓋區域的金屬線上開設通孔和/或盲孔，並限定通孔和/或盲孔的孔徑與金屬線寬度比值的方式，提高了無保護層覆蓋區域的金屬線的耐彎折壽命。
【實施例十一】
圖11是本發明實施例十一的柔性顯示裝置的彎折性能實驗資料折線示意圖。本發明第十一實施例進行彎折性能實驗時採用的電源線為寬度500μm的金屬線、其導電層有保護層覆蓋(即測試部分為電源線的AA區，顯示區域)。如圖11所示，圖11中的座標橫軸表示電源線的通孔孔徑，座標縱軸表示電源線的耐彎折壽命。本發明實施例的彎折性能實驗中，通過多次測試有保護層的電源線在通孔的不同孔徑下的耐彎折壽命，形成了圖11所示的彎折性能實驗資料折線示意圖。
通過分析圖11可得知，電源線的通孔孔徑等於50μm時，電源線的耐彎折壽命約等於通孔孔徑為0μm時的耐彎折壽命，並且電源線的通孔孔徑小於50μm時，電源線的耐彎折壽命均高於通孔孔徑為0μm時的耐彎折壽命；電源線的通孔孔徑範圍處於5μm-35μm時，電源線的耐彎折壽命明顯高於通孔孔徑為0μm時的耐彎折壽命。
由於電源線的寬度w=500μm，通過分析圖11可得知，當a=50μm時，；當a=5μm時，；當a=20μm時，；當a=35μm時，。
綜上可知，電源線有保護層區域覆蓋的值小於0.1時，能夠實現通過在電源線上開設通孔的方式來提高有保護層的電源線的耐彎折壽命的目的。
優選地，使電源線有保護層區域覆蓋的值範圍處於0.01-0.07內，以便能夠顯著提高有保護層的電源線的耐彎折壽命。
優選地，使電源線有保護層區域覆蓋的值範圍處於0.01-0.04內，以便使有保護層的電源線的耐彎折壽命提高500%。
舉例說明，在本發明一實施例中，電源線寬度w=400μm，電源線上有pillar層(即保護層)塗覆，則電源線上的通孔孔徑低於40μm，以便能夠實現通過在電源線上開設通孔的方式來提高有保護層的電源線的耐彎折壽命的目的。
優選地，在本發明一實施例中，電源線寬度w=400μm，電源線上有pillar層(即保護層)塗覆，通孔孔徑值的範圍為4μm-16μm，以便使有保護層的電源線的耐彎折壽命提高500%。
應當理解，在本發明實施例十一中所描述的柔性顯示裝置中，電源線上開設的通孔均可替換為盲孔，以避免通孔的製備過程對柔性顯示裝置的其他結構的性能產生影響。也就是說，本發明實施例提供的柔性顯示裝置中既可以是只有通孔或盲孔的情況，又可以是通孔和盲孔共存的情況。
應當理解，在本發明實施例十一中，通孔或盲孔可以為矩形孔、三角形孔、梯形孔、菱形孔、圓形孔、橢圓形孔或不規則形孔等，當通孔或盲孔為正方形孔或圓形孔時，孔徑a為邊長或直徑，當通孔或盲孔為不規則形孔時，孔徑a為不規則形孔的所有側邊中最長的一條側邊或所有連接側邊兩點的側邊連線中最長的一條側邊的長度。
本發明第十一實施例通過在柔性顯示裝置中的有保護層覆蓋區域的金屬線上開設通孔和/或盲孔，並限定通孔和/或盲孔的孔徑與金屬線寬度比值的方式，提高了有保護層覆蓋區域的金屬線的耐彎折壽命。
在本發明一實施例中，將本發明上述實施例提供的柔性導線(即電源線)應用到陰陽極結構中，以便提高陰陽極結構的耐彎折壽命。
上述描述僅是對本發明較佳實施例的描述，並非對本發明範圍的任何限定，本發明領域的普通技術人員根據上述揭示內容做的任何變更、修飾，均屬於申請專利範圍的保護範圍。

Claims (15)

  1. 一種柔性顯示裝置，其特徵在於，該柔性顯示裝置包括：柔性基底及形成於該柔性基底上的導電層，該導電層上設置有至少一個凹陷區域。
  2. 如請求項1所述的柔性顯示裝置，其中，該導電層構成該柔性基底上的電源線。
  3. 如請求項1所述的柔性顯示裝置，其中，該凹陷區域的所有側邊中最長的一條側邊或者該凹陷區域的所有連接側邊兩點的側邊連線中最長的一條側邊連線與該柔性顯示裝置的彎折方向一致。
  4. 如請求項1至3中任一項所述的柔性顯示裝置，其中，該凹陷區域包括通孔和/或盲孔。
  5. 如請求項1所述的柔性顯示裝置，其中，該導電層和該柔性基底沿延展方向分為彎折區和非彎折區，該至少一個凹陷區域設置在該導電層的彎折區；其中，該彎折區的該導電層的厚度大於該非彎折區的該導電層的厚度。
  6. 如請求項1所述的柔性顯示裝置，其中，該柔性顯示裝置採用薄膜電晶體結構，其中該導電層與該柔性顯示裝置的源電極、漏電極、柵電極、陰極或陽極電性連接；或，該導電層構成該柔性顯示裝置的源電極、漏電極、柵電極、陰極或陽極。
  7. 如請求項1所述的柔性顯示裝置，其中，該導電層的該至少一個凹陷區域中填充有機材料。
  8. 如請求項1所述的柔性顯示裝置，其中，該至少一個凹陷區域沿該柔性顯示裝置的彎折線方向呈一行或多行設置。
  9. 如請求項8所述的柔性顯示裝置，其中，多行設置的該凹陷區域對齊排列或者交錯排列。
  10. 如請求項9所述的柔性顯示裝置，其中，同一列的一個凹陷區域線上寬方向上的截面寬度或者同一列的多個凹陷區域線上寬方向上的截面寬度之和與該導電層的線寬之比小於等於1/2。
  11. 如請求項9所述的柔性顯示裝置，其中，同一行中相鄰兩個凹陷區域之間的最小間距和與該柔性顯示裝置的彎折方向一致的側邊或側邊連線之比大於等於1/2且小於等於2。
  12. 如請求項1所述的柔性顯示裝置，其中，該至少一個凹陷區域所構成的形狀在與該柔性基底平行的平面或與該柔性基底垂直的平面上的投影包括以下幾種形狀中的一種或多種的組合：矩形、三角形、梯形、菱形、圓形、橢圓形、正弦波形、麻花型和鋸齒形。
  13. 如請求項1所述的柔性顯示裝置，其中，包括設置於該導電層上的保護層，該導電層被該保護層覆蓋的該凹陷區域的孔徑與該導電層的寬度之比小於0.1。
  14. 如請求項1所述的柔性顯示裝置，其中，包括設置於該導電層上的保護層，該導電層的未被該保護層覆蓋的該凹陷區域的孔徑與該導電層的寬度之比大於0.08。
  15. 一種如請求項2所述的柔性顯示裝置的製造方法，其特徵在於，包括：形成柔性基底； 確定電源線電阻需求；根據電源線電阻需求得到導電層的線寬及凹陷區域的資料；根據導電層的線寬及凹陷區域的資料在柔性基底上形成電源線。
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