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TW201537181A - 垂直式探針裝置及使用於該垂直式探針裝置之支撐柱 - Google Patents

垂直式探針裝置及使用於該垂直式探針裝置之支撐柱 Download PDF

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TW201537181A
TW201537181A TW103140682A TW103140682A TW201537181A TW 201537181 A TW201537181 A TW 201537181A TW 103140682 A TW103140682 A TW 103140682A TW 103140682 A TW103140682 A TW 103140682A TW 201537181 A TW201537181 A TW 201537181A
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hong-guang Fan
qing-hong Yang
zhong-zhe Li
Jia-Yuan Guo
Tian-Jia Li
Ting-Ru Wu
shang-rong Xie
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Mpi Corp
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Abstract

一種垂直式探針裝置,包含一有複數卡接孔及探針安裝孔的下導板、一有複數限位孔及探針安裝孔的定位片、複數穿過下導板及定位片之探針安裝孔的探針及複數支撐柱,支撐柱有依序連接之一頭部、一頸部、一身部及一尾部,以及分別位於頭部及身部之上、下擋止面至少其中之一,頸部穿設於限位孔且長度大於定位片的厚度,定位片係能移動地被限位於上、下擋止面之間,尾部係卡接於下導板之卡接孔;該等支撐柱能避免定位片被翻起,並讓定位片能位移而使探針不易損壞,該垂直式探針裝置結構簡單、易安裝,並適用於頂部需容納電子元件之狀況。

Description

垂直式探針裝置及使用於該垂直式探針裝置之支撐柱
本發明係與探針卡有關,特別是關於一種使用於探針卡之垂直式探針裝置,以及使用於該垂直式探針裝置之支撐柱。
請參閱我國專利編號為I299085之專利案,習用之垂直式探針裝置包含有一由上、下導板或上、中、下導板構成之探針座、一設於上、下導板之間的定位片,以及多數探針,各該探針具有一穿設於上導板及定位片之頭部、一穿設於下導板之尾部,以及一位於上、下導板之間的容置空間之彎曲身部,該等探針之尾部接觸高度不同的待測元件時可上下移動而達到微調針尖高度之效果,該定位片係用以在尚未安裝該上導板時將該等探針之頭部定位,以避免探針歪斜而使上導板難以安裝。
習用之一種定位片安裝態樣,係使定位片懸空地設置於該容置空間,然而,當要更換探針而將上導板拆卸時,容易將定位片連同翻起,並可能同時連帶地將探針拔起,如此增加了重新安裝被拔起之探針的時間成本,並可能因此造成探針損壞。
習用之另一種定位片安裝態樣,係將定位片固定於下導板頂面,如此雖可避免如前述之定位片被翻起的問題,但也因定位片無法在探針受力時稍微位移,造成探針承受較大應力而較易損壞。
前述之專利所提供的垂直式探針裝置,係將定位片放置在下導板上,並於上、下導板之間提供一小段距離,使得定位片能稍微位移,此外,該定位片可在必要時利用螺絲而固定於下導板,因此可避免在拆卸上導板時將定位片翻起。然而,該探針裝置之上導板頂面所連接的電路板或空間轉換器可能需要安裝電子元件,在此狀況下,該探針裝置頂部需具有可供容納該電子元件的空間,但設置電子元件的區域常與定位片固定於下導板的區塊相互干涉,因此,前述之專利所提供的垂直式探針裝置難以應用於頂部需容納電子元件的狀況。
另,請參閱我國專利公開號為201120452之專利案,該專利係於探針裝置內安裝一維修裝置,以利用該維修裝置固定定位片而避免定位片被翻起,然而,該維修裝置雖然可達成固定定位片之功能,惟構件稍多,以致構造稍微複雜且安裝較為費時。
有鑑於上述缺失,本發明之主要目的在於提供一種垂直式探針裝置,以及使用於該垂直式探針裝置之支撐柱,其中,該支撐柱能避免該垂直式探針裝置的定位片被翻起,並讓定位片能稍微位移而使探針不易損壞,且該垂直式探針裝置結構簡單、易安裝,並適用於頂部需容納電子元件之狀況。
為達成上述目的,本發明所提供之垂直式探針裝置包含有一具有複數卡接孔及複數探針安裝孔的下導板、一具有複數限位孔及複數探針安裝孔的定位片、複數分別穿設於該下導板之探針安裝孔且分別穿設於該定位片之探針安裝孔的探針,以及複數支撐柱,各該支撐柱具有依序連接之一頭部、一頸部、一身部及一尾部,以及一位於該頭部之上擋止面及一位於該身部之下擋止面二者至少其中之一,其中至少一該支撐柱具有該上擋止面,至少一該支撐柱具有該下擋止面,該等支撐柱之頸部係分別穿設於該定位片之限位孔,各該支撐柱之頸部的長度係大於該定位片的厚度,該定位片係能移動地被限位於該等支撐柱之上擋止面與下擋止面之間,該等支撐柱之尾部係卡接於該下導板之卡接孔。
藉此,該定位片藉由該等支撐柱而與該下導板保持穩固的連結關係,當使用者要拆卸一固定於該下導板上且受該等探針穿過之上導板時,該等支撐柱能避免該定位片連帶地被掀起。而且,該定位片雖受該等支撐柱限位但仍可在該等支撐柱之上、下擋止面之間稍微位移,因此可避免探針在接觸受測物時因受到過大應力而容易損壞。此外,該垂直式探針裝置結構簡單、易安裝,且該等支撐柱佔據空間小,因此能讓出探針周圍可能需用以容納電子元件的空間。
有關本發明所提供之垂直式探針裝置及使用於該垂直式探針裝置之支撐柱的詳細構造、特點、組裝或使用方式,將於後續的實施方式詳細說明中予以描述。然而,在本發明領域中具有通常知識者應能瞭解, 該等詳細說明以及實施本發明所列舉的特定實施例,僅係用於說明本發明,並非用以限制本發明之專利申請範圍。
10‧‧‧垂直式探針裝置
12‧‧‧容置空間
14‧‧‧探針區
20‧‧‧上導板
22‧‧‧探針安裝孔
24‧‧‧容置孔
30‧‧‧下導板
31‧‧‧上構件
32‧‧‧下構件
34‧‧‧卡接孔
36‧‧‧探針安裝孔
38‧‧‧凹槽
40‧‧‧定位片
42‧‧‧限位孔
422‧‧‧狹長部
424‧‧‧擴張部
44‧‧‧探針安裝孔
442‧‧‧狹長部
444‧‧‧擴張部
50‧‧‧探針
52‧‧‧頭部
54‧‧‧身部
56‧‧‧尾部
60A~F‧‧‧支撐柱
62‧‧‧頭部
622‧‧‧上擋止面
64‧‧‧頸部
66‧‧‧身部
662‧‧‧下擋止面
664‧‧‧底面
666‧‧‧擋止區段
668‧‧‧延伸區段
68‧‧‧尾部
682‧‧‧末端
684‧‧‧剖溝
686‧‧‧卡接腳
688‧‧‧倒鈎
69‧‧‧抗拉部
70‧‧‧支撐柱
72‧‧‧頭部
74‧‧‧頸部
76‧‧‧身部
78‧‧‧尾部
782‧‧‧支撐腳
784‧‧‧倒鈎
786‧‧‧彈性區段
80‧‧‧桿體
D1‧‧‧縱長方向
D2‧‧‧傾斜方向
θ‧‧‧夾角
第1圖為本發明一第一較佳實施例所提供之垂直式探針裝置的剖視示意圖;第2圖為第1圖之A部分的局部放大圖;第3圖概為本發明該第一較佳實施例所提供之垂直式探針裝置的頂視示意圖,惟該垂直式探針裝置之一上導板係被移除以便說明;第4圖及第5圖為本發明該第一較佳實施例所提供之垂直式探針裝置的一定位片、一探針及一支撐柱的立體示意圖,並顯示其安裝方式;第6圖為本發明該第一較佳實施例所提供之支撐柱的立體示意圖;第7圖及第8圖係類同於第3圖,惟顯示本發明所提供之垂直式探針裝置具有複數探針區之二種實施態樣;第9圖至第12圖為本發明第二至第五較佳實施例所提供之支撐柱的立體示意圖;第13圖為本發明一第六較佳實施例所提供之垂直式探針裝置的剖視示意圖;第14圖為本發明一第七較佳實施例所提供之支撐柱的立體示意圖;第15圖為本發明該第七較佳實施例所提供之垂直式探針裝置的一下導板、一定位片及二支撐柱的剖視示意圖;以及第16圖為本發明該第七較佳實施例所提供之垂直式探針裝置的剖視示意圖。
申請人首先在此說明,在以下將要介紹之實施例以及圖式 中,相同之參考號碼,表示相同或類似之元件或其結構特徵。
請先參閱第1圖至第3圖,本發明一第一較佳實施例所提供之垂直式探針裝置10包含有一上導板20、一下導板30、一定位片40、複數探針50,以及複數支撐柱60A。
該上導板20係利用螺絲(圖中未示)鎖固於該下導板30上,且二者之間形成一容置空間12。在本實施例中,該下導板30為二件式設計,包含有藉由螺絲(圖中未示)而相互固定的一上構件31及一下構件32;然而,該下導板30亦可為一件式設計,意即,上、下構件31、32可一體成型。該上導板20具有複數探針安裝孔22,該下導板30具有複數卡接孔34,以及複數探針安裝孔36。
該定位片40為一具可撓性之絕緣薄片,具有複數限位孔42及複數探針安裝孔44。如第4圖及第5圖所示,各該限位孔42及探針安裝孔44形狀相同,具有一呈狹長矩形的狹長部422、442,以及一位於該狹長部422、442中央且呈圓形的擴張部424、444。
各該探針50為一種習用之垂直式探針,具有依序連接之一頭部52、一身部54及一尾部56,該頭部52及該尾部56係呈直圓桿狀且相互平行,該身部54係呈彎曲狀而使得位於其二端之該頭部52及該尾部56非位於同一軸線,且該身部54之橫截面係呈狹長矩形(或橢圓形)。
請參閱第2圖及第6圖,各該支撐柱60A具有依序連接之一頭部62、一頸部64、一身部66,以及一尾部68。該頭部62為一長方體,其垂直於一縱長方向D1的各剖面係呈狹長矩形,且該頭部62之一實質上垂直於該縱長方向D1之底面為一上擋止面622。該頸部64係自該上擋止面622朝該縱長方向D1延伸而出,且該頸部64之垂直於該縱長方向D1的各剖面係呈邊長概與該上擋止面622之短邊相等的正方形。該身部66係呈彎曲狀並自該頸部64朝一傾斜方向D2延伸而出,該傾斜方向D2與該縱長方向D1有一呈銳角之夾角θ,該身部66之垂直於該縱長方向D1的各剖面係呈狹長矩形,其短邊係概與該上擋止面622之短邊等長,其長邊係小於並垂直於該上擋止面622之長邊,且該身部66之一實質上垂直於該縱長方向D1的頂面為一下擋止面662。該尾部68係自該身部66之一實質上垂直於該縱長方向D1之底面664延伸而出,且其延伸方向係實質上平行於該縱長 方向D1,該尾部68之垂直於該縱長方向D1之各剖面係小於該底面664。
該定位片40、該等探針50及該等支撐柱60A係於該上導板20尚未安裝於該下導板30上時先行安裝於該下導板30上,該等探針50之頭部52係分別穿設於該定位片40之探針安裝孔44,該等探針50之尾部56則分別穿設於該下導板30之探針安裝孔36,該等支撐柱60A之頸部64係分別穿設於該定位片40之限位孔42,該等支撐柱60A之尾部68則分別卡接於該下導板30之卡接孔34。
詳而言之,該定位片40之探針安裝孔44及限位孔42係剛好能供該探針50及支撐柱60A之身部54、66穿過,各該探針50及支撐柱60A係依序以其尾部56、68及身部54、66穿過該定位片40之探針安裝孔44及限位孔42,使得各該探針50之頭部52及各該支撐柱60A之頸部64位於該限位孔42及該探針安裝孔44的擴張部424、444,如第4圖所示。該支撐柱60A之頸部64及該探針50之頭部52係能於該限位孔42及該探針安裝孔44的擴張部424、444內轉動,因此各該探針50及支撐柱60可轉動大約90度而呈如第5圖所示之態樣,如此一來,各該探針50及支撐柱60係無法被向上頂推而脫離該定位片40。此外,各該支撐柱60A之頸部64的長度係大於該定位片40的厚度,且各該支撐柱60A之上、下擋止面622、662係隔著該定位片40而相面對,因此,該定位片40係能稍微上下移動地被限位於該等支撐柱60A之上、下擋止面622、662之間。
當該上導板20安裝於該下導板30上時,該等探針50之頭部52更穿過該上導板20之探針安裝孔22,如此一來,當該垂直式探針裝置10設於一電路板或空間轉換器(圖中未示)底部而組成一探針卡時,該等探針50之頭部52凸出於該上導板20的部分係用以與該電路板或空間轉換器的接點電性連接,該等探針50之尾部56凸出於該下導板30的部分則係用以點觸受測物之接點。
當該垂直式探針裝置10需要更換探針時,該上導板20可從該下導板30上被拆卸下來,此時,由於該定位片40係藉由該等支撐柱60A而與該下導板30保持穩固的連結關係,該等支撐柱60A能避免該定位片40在該上導板20被拆卸時連帶地被掀起,同時即可避免各該探針50被不小心拔起。
該等支撐柱60A除了可避免該定位片40被翻起,並可讓該定位片40在該等支撐柱60A之上、下擋止面622、662之間稍微位移,因此可避免探針50在接觸受測物時因受到過大應力而容易損壞。而且,該垂直式探針裝置10結構簡單且易安裝,只要在安裝該等探針50時利用類似的安裝方式順便安裝該等支撐柱60A即可。此外,該等支撐柱60A可相當貼近於探針50且占據空間小,該定位片40係藉由該等支撐柱60A而懸空於該容置空間12內,且不需延伸至上、下導板20、30相接之處;藉此,當該垂直式探針裝置10頂部設置之電路板或空間轉換器有向下凸出之電子元件時,該上導板20可設有用以容納該電子元件之容置孔24(如第1圖所示之凹孔24,其亦可為穿孔),換言之,本發明之設計可讓出探針50周圍可能需用以容納電子元件的空間,因此可適用於垂直式探針裝置之頂部需容納電子元件的狀況。
值得一提的是,該垂直式探針裝置10具有一由該等探針50定義而成之探針區14(如第3圖所示),該等支撐柱60A係位於該探針區14外圍,如此之設置方式能相當有效地支撐該定位片40。本發明亦可具有複數探針區14,以應用於能同時對複數受測物(Multi-DUTs)進行點測的探針卡,例如,第7圖及第8圖所示之垂直式探針裝置具有四探針區14,係用以同時對四受測物(Device Under Test,DUT)進行點測。在第7圖所示之態樣中,該等探針區14共用同一定位片40,且部分之支撐柱60A係位於兩相鄰之探針區14外圍,亦即,兩相鄰之探針區14之間僅需設置一排支撐柱60A,如此之設置方式能減少支撐柱60A數量及其佔據之空間。第8圖所示之態樣係利用四定位片40分別設於該等探針區14,且每兩相鄰之定位片40係部分相疊,在此態樣中亦可使部分之支撐柱60A位於兩相鄰之探針區14外圍,以利用較少的支撐柱60A達到良好的定位片支撐效果,且位於兩相鄰之探針區14外圍之支撐柱60A的頸部64係穿過兩相疊之定位片40。
前述之垂直式探針裝置10亦可採用如第9圖所示之本發明一第二較佳實施例所提供的支撐柱60B,其與前述之支撐柱60A的差異係在於,該支撐柱60B之身部66垂直於該縱長方向D1的剖面形狀係概與該頸部64相同,因而不具有能對該定位片40產生擋止作用之頂面,該支撐柱60B之下擋止面662為該身部66之一自該頸部64朝該傾斜方向D2延伸的 側面,該下擋止面662雖未與該上擋止面622平行但仍實質上與該上擋止面622相面對,並可將該定位片40限位於上、下擋止面622、662之間。
值得一提的是,在該第二較佳實施例及以下將說明之各實施例中,該縱長方向D1之定義係如同前文中所述且如第2圖所示,為該頸部64自該頭部62延伸而出之方向,該傾斜方向D2之定義亦如同前文中所述且如第2圖所示,係與該縱長方向D1有一呈銳角之夾角θ。
前述之垂直式探針裝置10亦可採用如第10圖所示之本發明一第三較佳實施例所提供的支撐柱60C,其與前述之支撐柱60A的差異係在於,該支撐柱60C之身部66係自該頸部64朝該縱長方向D1延伸而出,亦即該身部66並未呈彎曲狀。
前述之垂直式探針裝置10亦可採用如第11圖所示之本發明一第四較佳實施例所提供的支撐柱60D,其與前述之支撐柱60C的差異係在於,該支撐柱60C之身部66垂直於該縱長方向D1的各剖面係實質上與該下擋止面662形狀相同,而該支撐柱60D之身部66具有一擋止區段666及一延伸區段668,該下擋止面662係位於該擋止區段666,該延伸區段668垂直於該縱長方向D1的各剖面係小於該下擋止面662。
前述之垂直式探針裝置10亦可採用如第12圖所示之本發明一第五較佳實施例所提供的支撐柱60E,其身部66與前述之支撐柱60D的身部66同樣具有截面積較大之擋止區段666及截面積較小之延伸區段668,惟該支撐柱60E之延伸區段668係自該擋止區段666朝該傾斜方向D2延伸而出。
前述之各種支撐柱的尾部68亦可如同第11圖及第12圖中所示之設計,具有一於其末端682呈開放狀之剖溝684,以及由該剖溝684分隔開且可彈性擺動之二卡接腳686;藉此,該尾部68可受使該二卡接腳686相互靠近之外力作用而擠入該下導板30之卡接孔34,以更穩固地卡在卡接孔34內而避免支撐柱轉動。此外,該尾部68可更具有分別位於該二卡接腳686末端之二倒鈎688,以將該下導板30限制於該身部66之底面664與該等倒鈎688之間,使得各該支撐柱之尾部68更不易脫離該下導板30。
請參閱第13圖,本發明一第六較佳實施例所提供之垂直式探針裝置係採用另一種支撐柱70,該支撐柱70具有依序連接之一頭部72、 一頸部74、一身部76及一尾部78,該頭部72係能彈性壓縮地通過該定位片40之限位孔42,藉以使該頸部74穿設於該限位孔42,並使得該定位片40被限位於該頭部72與該身部76之間。該支撐柱70之尾部78包含有二支撐腳782、分別位於該二支撐腳782末端之二倒鈎784,以及一位於該二支撐腳782之間的彈性區段786,該二倒鈎784係能彈性壓縮地通過該下導板30之二卡接孔34,使得該下導板30被壓抵於該彈性區段786與該二倒鈎784之間。藉此,該支撐柱70亦可達到如同第一較佳實施例中所述該支撐柱60A之功效。
前述之垂直式探針裝置10亦可採用如第14圖所示之本發明一第七較佳實施例所提供的支撐柱60F,該支撐柱60F係類同於第6圖所示之支撐柱60A,惟該支撐柱60A係利用半導體製程製作,而本實施例之支撐柱60F係利用機械成型方式製作,更明確地說,係將一直圓桿上段打扁而形成出該頭部62,並將該直圓桿中段打扁且彎曲(亦可不彎曲)成該身部66。此外,本實施例之支撐柱60F下段更彎折出一抗拉部69,該身部66及該抗拉部69分別連接於該尾部68二端。
如第15圖所示,本實施例之支撐柱60F係在其下段尚未彎折時穿設於該定位片40及該下導板30,此時該支撐柱60F之下段係呈一形狀連續之桿體80,然後,該桿體80再彎折出實質上相互垂直之尾部68與抗拉部69,如第16圖所示,然後,該等探針50再穿設於該定位片40及該下導板30,最後再安裝該上導板20。藉此,該支撐柱60F之抗拉部69係位於該下導板30之卡接孔34外且受該下導板30擋止而無法進入卡接孔34。該下導板30底部可(但不限於)具有複數凹槽38,以供該等支撐柱60F之抗拉部69分別設於該等凹槽38內。
如此一來,在組裝或維修該垂直式探針裝置時,該抗拉部69可避免該支撐柱60F因受到向上拉扯之外力而造成其尾部68脫離該下導板30,因此可更加確保該定位片40不會被翻起。
前述各實施例中,各該支撐柱皆具有實質上隔著該定位片而相面對之上擋止面及下擋止面。然而,各該支撐柱亦可僅有位於該頭部之上擋止面,或者位於該身部之下擋止面,只要部分之支撐柱具有上擋止面以將該定位片限位於該上擋止面下方,且其餘之支撐柱具有下擋止面以 將該定位片限位於該下擋止面上方即可。換言之,本發明所提供之支撐柱可不具有該上擋止面,例如可使前述第一至五較佳實施例所提供之支撐柱60A~E的頭部62非呈狹長矩形,而呈截面積較該頸部64小的形狀,或者截面積與該頸部64相同而相接成連續的形狀。或者,本發明所提供之支撐柱可不具有該下擋止面,例如可使前述第四較佳實施例所提供之支撐柱60D的身部66不具有該擋止區段666,使得該延伸區段668與該頸部64相接成連續的形狀。換言之,本發明所提供之支撐柱具有一位於頭部62之上檔止面622及一位於身部66的下檔止面662二者至少其中之一,其中至少一支撐柱具有上檔止面622,且至少一支撐柱具有下檔止面662。
最後,必須再次說明,本發明於前揭實施例中所揭露的構成元件,僅為舉例說明,並非用來限制本案之範圍,其他等效元件的替代或變化,亦應為本案之申請專利範圍所涵蓋。
10‧‧‧垂直式探針裝置
12‧‧‧容置空間
20‧‧‧上導板
22‧‧‧探針安裝孔
24‧‧‧容置孔
30‧‧‧下導板
31‧‧‧上構件
32‧‧‧下構件
34‧‧‧卡接孔
36‧‧‧探針安裝孔
40‧‧‧定位片
50‧‧‧探針
52‧‧‧頭部
54‧‧‧身部
56‧‧‧尾部
60A‧‧‧支撐柱
62‧‧‧頭部
66‧‧‧身部
68‧‧‧尾部

Claims (24)

  1. 一種垂直式探針裝置,包含有:一下導板,具有複數卡接孔,以及複數探針安裝孔;一定位片,具有複數限位孔,以及複數探針安裝孔;複數探針,係分別穿設於該下導板之探針安裝孔,且分別穿設於該定位片之探針安裝孔;以及複數支撐柱,各該支撐柱具有依序連接之一頭部、一頸部、一身部及一尾部,以及一位於該頭部之上擋止面及一位於該身部之下擋止面二者至少其中之一,其中至少一該支撐柱具有該上擋止面,且至少一該支撐柱具有該下擋止面,該等支撐柱之頸部係分別穿設於該定位片之限位孔,各該支撐柱之頸部的長度係大於該定位片的厚度,該定位片係能移動地被限位於該等支撐柱之上擋止面與下擋止面之間,該等支撐柱之尾部係卡接於該下導板之卡接孔。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之垂直式探針裝置,其中各該支撐柱皆具有該上擋止面及該下擋止面,各該支撐柱之上擋止面與下擋止面係實質上隔著該定位片而相面對。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之垂直式探針裝置,其中各該限位孔具有一能供該支撐柱之身部通過的狹長部,以及一位於該狹長部中央的擴張部,該等支撐柱之頸部係能旋轉地設於該等限位孔的擴張部。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之垂直式探針裝置,具有至少一由該等探針定義而成之探針區,該等支撐柱係位於該探針區外圍。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之垂直式探針裝置,具有複數該探針區,部分之支撐柱係位於兩相鄰之探針區外圍。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之垂直式探針裝置,包含有分別位於該等探針區之複數該定位片,每兩相鄰之定位片係部分相疊,位於兩相鄰之探針區外圍之支撐柱的頸部係穿過兩相疊之定位片。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之垂直式探針裝置,更包含有一固定於該下導板上且受該等探針穿過之上導板,該上導板設有一用以容納一電子元件之容置孔。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之垂直式探針裝置,其中各該支撐柱更具有一抗拉部,該身部及該抗拉部分別連接於該尾部二端,該等支撐柱之抗拉部係位於該下導板之卡接孔外且受該下導板擋止。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之垂直式探針裝置,其中該下導板具有複數凹槽,該等支撐柱之抗拉部係分別位於該等凹槽內。
  10. 如申請專利範圍第8項所述之垂直式探針裝置,其中各該支撐柱之尾部及抗拉部係由一形狀連續之桿體彎折而成且實質上相互垂直。
  11. 一種支撐柱,係用以設於一包含有一下導板及一定位片之垂直式探針裝置中,用以將該定位片懸空地支撐於該下導板之上方;該支撐柱具有依序連接之一頭部、一用以穿設於該定位片之一限位孔且長度大於該定位片之厚度的頸部、一身部以及一用以卡接於該下導板之一卡接孔的尾部; 該支撐柱更包含有一位於該頭部之上擋止面、一位於該身部之下擋止面以及一位於該頭部之上擋止面且一位於該身部並實質上面對該上擋止面之下擋止面這三者其中之一,用以將該定位片能移動地限位於該頸部。
  12. 如申請專利範圍第11項所述之支撐柱,其中該頸部係自該頭部朝一縱長方向延伸而出,該身部係自該頸部朝一傾斜方向延伸而出,該傾斜方向與該縱長方向有一呈銳角之夾角,該支撐柱具有該下擋止面且該下擋止面為該身部之一實質上垂直於該縱長方向的頂面。
  13. 如申請專利範圍第11項所述之支撐柱,其中該頸部係自該頭部朝一縱長方向延伸而出,該身部係自該頸部朝一傾斜方向延伸而出,該傾斜方向與該縱長方向有一呈銳角之夾角,該支撐柱具有該下擋止面且該下擋止面為該身部之一自該頸部朝該傾斜方向延伸的側面。
  14. 如申請專利範圍第11項所述之支撐柱,其中該頸部係自該頭部朝一縱長方向延伸而出,該身部係自該頸部朝該縱長方向延伸而出。
  15. 如申請專利範圍第14項所述之支撐柱,具有該下擋止面且該下擋止面為該身部之一實質上垂直於該縱長方向的頂面,該身部之垂直於該縱長方向的各剖面係實質上與該下擋止面形狀相同。
  16. 如申請專利範圍第14項所述之支撐柱,其中該身部具有一擋止區段及一延伸區段,該支撐柱具有該下擋止面且 該下擋止面係位於該擋止區段,該延伸區段之垂直於該縱長方向的各剖面係實質上小於該下擋止面。
  17. 如申請專利範圍第11項所述之支撐柱,其中該頸部係自該頭部朝一縱長方向延伸而出,該身部具有一與該頸部連接之擋止區段,以及一自該擋止區段朝一傾斜方向延伸而出之延伸區段,該傾斜方向與該縱長方向有一呈銳角之夾角,該支撐柱具有該下擋止面,該下擋止面係位於該擋止區段且為該身部之一實質上垂直於該縱長方向的頂面,該延伸區段之垂直於該縱長方向的各剖面係實質上小於該下擋止面。
  18. 如申請專利範圍第12至17項中任一項所述之支撐柱,具有該上擋止面,且該頸部係自該上擋止面朝該縱長方向延伸而出。
  19. 如申請專利範圍第12至17項中任一項所述之支撐柱,其中該身部具有一實質上垂直於該縱長方向且用以抵接於該下導板之底面,該尾部係自該底面實質上平行於該縱長方向地延伸而出。
  20. 如申請專利範圍第12至17項中任一項所述之支撐柱,其中該尾部具有一末端、一於該末端呈開放狀之剖溝,以及由該剖溝分隔開且可彈性擺動之二卡接腳。
  21. 如申請專利範圍第20項所述之支撐柱,其中該尾部更具有分別位於該二卡接腳之二倒鈎。
  22. 如申請專利範圍第11項所述之支撐柱,其中該頭部係能彈性壓縮地通過該定位片之限位孔,該尾部包含有二支 撐腳、分別位於該二支撐腳末端之二倒鈎,以及一位於該二支撐腳之間的彈性區段,該二倒鈎係能彈性壓縮地通過該下導板之二該卡接孔,使得該下導板被壓抵於該彈性區段與該二倒鈎之間。
  23. 如申請專利範圍第11項所述之支撐柱,更具有一抗拉部,該身部及該抗拉部分別連接於該尾部二端,該抗拉部係位於該下導板之卡接孔外且受該下導板擋止而無法進入該卡接孔。
  24. 如申請專利範圍第23項所述之支撐柱,其中該尾部及該抗拉部係由一形狀連續之桿體彎折而成且實質上相互垂直。
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