TW200813458A

TW200813458A - Socket for use in inspection

Info

Publication number: TW200813458A
Application number: TW096133989A
Authority: TW
Inventors: Takuto Yoshida
Original assignee: Yokowo Seisakusho Kk
Priority date: 2006-09-12
Filing date: 2007-09-12
Publication date: 2008-03-16
Also published as: US20080088331A1; KR20080024084A; JP2008070146A

Description

200813458 九、發明說明： • 【發明所屬之技術領域】 :—本發明係關於檢查用插座，因為要在ic等被檢查裝置、實際地組入電路之前檢查其電氣特性，而藉由以金屬ς支禮的探針連接被檢查裝置之電極端子（導線端子）和連接在檢查裝置之配線端子。更詳細地說明，係關於在探針之中，接地用探針和金屬塊確實地電性接觸，並可簡單地組裝之馨接地用探針的接觸構造經改善之檢查用插座。【先前技術】料半導體晶圓、1C或模組等，_般會進行輸入電氣信號以檢查其裝置（被檢查物）特性之檢查。進行如此之裝置之電氣特性檢查時，採用設有探針之職座等檢查用插座，該抓針係用於連接：檢查裝置所連接之導線端部所集中之配線基板的配線端子和裝置的電極端子（導線端子）等。該檢查用插座係例如如帛7Α圖所*，由金屬等所構 ⑩成，在支撐探針91之金屬塊92等開設貫通孔，在其中插入信號用、電源用、及接地用等之探針91，將設在插座之面（圖式之上面）侧的未圖示之被檢查裝置之電極端子 (導線端子）和設於插座之另一面（圖式之下面）侧的未圖示 $配線基板之配線端子，以電氣方式連接而進行檢查。在 .又有該金屬塊92之被檢查裝置之側的外周部，將進行被檢查裝置之定位的裝置導件94和支撐塊92 一體地裝設，或以其他令件形成且藉由未圖示之螺絲等固定而裝設（例如苓照日本特開2〇〇4_17〇182號公報）。此外，第7Α圖中， 5 319602 200813458 93疋將:木針以不脫離之方式固定的固定板，日隹

• 行與配線基板定位的定位銷。、i疋I • 如此，在支撐探針91之塊體使八查裝置為高頻、高速用(類比之古土為了在被檢脈衝寬度及脈衝間隔非常短者稱為=稱為向頻，數位之辦々阿速，以下臺隹工士匕稱之RF)裝置時，使雜訊不會經由、果木兩方白 ^ 4衣針91而混入作辦用雷極&子。又，為提高RF特性，必須將信號用 ^用= 計成同軸構造，使接地用探針9i ^ SIG^ U/J. ^ GND 在"is 號用探斜 91

附近確男、地接地連接。因此，如 SIG 91SIG、接地用摸斜q 弟7β圖之信號用探針 G接也用铋針91_0、電源用探針91_之說明圖所示，信號用探針％ “系設計成同軸構送， :探針:中心導體、以金屬塊％之貫通孔導 :;以其間之空間為介電體，且以形成預定阻抗：方式： 4針91sig之外徑d及貫通孔之内❹。藉由料成如此之構造’即使隨著近年來的裝置小型化、高密度 =之間隔變成非常狹窄，中心導體和外部導體之間仍為 I二mr’即使狹窄間距仍可設計成預定阻抗全屬挣tr°㈣用探針91_係以可確實地接觸 97屬力塊92之方式’例如經由形成有開口之柄大金屬管番入至屬塊92之貝通孔内。此外，電源用探針 Γ不/觸金屬塊％之方式，經由絕緣管％插入金屬塊 2之貫通孔内。如前述，用於檢杳田壯$ > μ 士 m t 一 t用敦置之檢查用插座係將各探針支撐在金屬塊之貫通孔内而形成，為使信號用探針和金 319602 6 200813458 j塊形成同轴構造，必須在接地用探針和成為接地之金屬塊之間確實地電氣連接，因此經由金屬管97謀求接地用探針91gnd和金屬塊92之電氣連接。但是，隨著近年來電子裝置的小型化、Μ度化’電源端子之間距，亦即各探針之間距夂成非常小，普通大約是〇 5咖，進而逐漸變成大約0.4咖以下。因此，即使間距為〇5 地針爲师之外徑限度大約是〇.3 m，貫通孔之内徑限2 _約疋0.43 mm，插入在其間之金屬管97亦非常薄，壁厚大约是請麵，且外徑非常小，大約是0.43 mm，因此即使以公差±0.01咖之精確度，要以最適當之形狀且良率良好地製作金屬管97仍有困難。又，金屬管97之形狀為心 t，故—旦插人金屬塊2之貫通孔内，就只能從相反侧取而有製造工時多、成本提高之問題。【發明内容】因而，明之目的在於提供一面以金屬塊支撐各探針，-面使接地用探針和金屬塊可確實地電氣連接，且以低價零件即可簡單地製造之構造的檢查用插座。為達成上述目的’根據本發明，係提供—種檢查用插座，=有以下構件：支撐塊，具有第！面及與該第】面不同=第2面’且具有複數個貫通孔；複數個探針，係設在該貫通孔内’以電氣連接設在該第1面侧之被檢查裝置之端子及連接於设在該第2面側之檢查裝置之端子，且該複數個探針具有接地用U探針和與該第丨探針不之第2探針；以及第1板構件，具有··第1孔，對應於該第 319602 200813458 =針且具’直梭小於該第丨探孔朝徑方向延伸；及箆2 π k，属乐1 該第1板構件與該支撐塊電古q从弟孔，對應於該第2探針，且且有直倥大於該第2探針之直徑八有氣接觸。各探針之一端至少可突出在該支撐塊可由金屬構成各探針可具有彈簧構件該支撐塊的該第一面側。支樓件’該第2板構件係設在該金屬，之任-者::::面之至少-方，由絕緣材料及 =1 :反構件可配置在該第2板構件及支撐塊之間。 4第1板構件可為〇 Λ 為·02至〇·〇5 mm厚的金屬板。該溝之數量可為3至16個。【實施方式】 Μ圖接二說明關於本咖之剖面說明圖;檢查用插座之一 _ π圖係表示插Γ古拉剖面說明圖，於第2Α圖至第平面#接地板及探β 1之狀態的金屬塊局部干面5兄明圖、及在合屬除固定板3後之狀” Α 裝有接地板5的狀態（去狀恶）之局部立體說明圖。 ϋ j所明的^，意指連接配線基板之配線端子和被 ftr電極端子（導線端子）的連接鎖，且包含該連接為可動之接觸探針和不可動之4長度的銷之兩= 此外，接觸探針意指例如在金屬管内經由彈菩卜 319602 8 200813458 .導線(柱塞)’藉由形成為柱塞一端部不從全屬总攸至屬管突出，而萁可伸入至金屬管端部，而：[柱端部，即的彈力從金屬管突牙'，柱基即藉由彈善探針。反杈置衣置的導線端子等構造之本务明之檢查用插座例在設有用於支撐探針“ 目及第圖所示，通孔〜，支數個貫通孔21之金屬塊2的貫圖示於第1Α圖i第：= 針1 SiG、電源用探針W未設在金屬塊2之-二:中未，子、和連接於t在另&目不之被檢查裝置之電極端接U另一面側的檢查裝置之配線端子，以電 i性11二之:*成。本發明中’如第2A圖至第2C圖以示、B 亚不正確）表示構成本發明之檢查諸座之

局部的2支接地用禊1 1 M ' gnd和各1支之信號用及電源用探 :S: lp〇W之局部，係具有下述特徵：接地板5係設成、電氣方式接觸金屬塊2，該接地板5形成有：逸退孔52，對準信號用探針1SIG及電源用探針W的位置，其大小為不接觸該探針η帶間隙之孔51，具有對準接地用探们㈣ 2位置且粗細小於接地用探針1_的貫通孔5U，及從該貫通孔51a延伸成放射狀之間隙51b ;以及定位孔53。接地板5在例如探針1的間距為大約〇.3至1删時，可採用以大約0.02至〇.〇5咖厚度的鍍鎳基底，施以鍍金之碟青銅板或不錢鋼板等具有彈性之金屬板。如後所述’ 9 319602 200813458 其係為了將接地用探針1GND插入帶間隙之孔51，確實地 ‘獲得電氣接觸之故。在該接地板5，如第2A圖所示，配合 :設在金屬塊2的各探針丨之位置，而分別在接地用探: 1GND的位置形成帶間隙之孔51、在信號用及電源用探針 1SIG、lp〇w的位置形成大小為不接觸探針i之逸退孔52、在插入用於和金屬塊2對位之定位銷6的位置形成定位孔 53 〇 • 帶間隙之孔51係如第2A圖所示，藉由貫通孔5U、從該貫通孔5U延伸成放射狀之間m、及由該間隙训夾住之小片51c所構成。第2A圖至第％圖所示之例令， ==1之間距為。.5腿時之例’接地用探針丨㈣及電源用仏針1P0W係採用外徑0.3mm者。於該情形，貫通孔… 之=為大約0.2腦，間隙51b之深度為大約〇ι咖，從一方之間隙51b之端到相對向之門险間除51b之端的尺寸W係形成為大約0.4 mm。第2A圖至第2Γ • b卜〜w、0曰口主弟2C圖中顯示的各孔間隔貝不上更为開，由於信號用及電源用之探、

的逸退孔52通常形成為直徑大 SIG P〇W 之、！许&甘r + a + 大、々〇.42刪，因此間隙51b 之冰度較其形成更深時，將 4+ 1 , 唬用或電源用之探針iSIG、lp〇w的逸退孔52、或鄰間隙5lb連結，故限度為大接㈣休針1_之太加i / A、、々0·1 _。間隙51b之數量在本例中係形成δ個。該間隙5 锻里隹通孔仏或逸退孔52—起形成，亦 @ 一個一個形成。田町尤來加工而間隙 5 1 b之數量係根擔控才衣針1的間距等，設定成施加 319602 10 200813458 在接地用探針1GND之負载為最適當。亦 1的間距大於〇 5 _，則可力^ α 1如右板針的數量少即可。若一一士隙51b的深度充分地深入，則即 =在：隙51b之間的小片51c的寬度大，仍容易彎曲，過度施加大的負載在接地用探針“而使其變 :，可以強彈性接觸在接地用探針1g 間二且在接地用探針“採用直徑粗於。3ram者，： ;ι二…使減少間隙51b的數量、小片 3 i c的見度變大，仍不會你接士 ϋ〜〇用抵針1gnd變形，可獲 ===觸。因此’在這種情形，即使間隙w 至大I、力G.1麵之尺寸形成時，將間@ 51b的數量增二至…:6個’雖然彈力變弱，但最好藉由數量多針：的^獲得電氣接觸。因此，依據探針1的間距或探的負着^田寺’設定間隙Mb的數量，使施加在探針1 的負載為最適當。入屬^ ^的仏針1或金屬塊2可使用舆相關技術之探針及 ::塊同様者二亦即’探針丨在第1A圖及第則所示之二；:、爾端部之柱塞(導線)藉由彈簧而可動，雖然 =可確貫地與被檢查裝置或配線基板接觸的接觸探針，接於利用此種可動銷者。第1A圖及第则所示之 1:: 係例如如第3圖所示之-例之剖面說明圖， …冓成為金屬管"内收納彈簧14和柱塞u、Η之一端 319602 11 200813458 '藉由在至屬官13的環形槽部，使柱夷1 :不會從金屬管13脫離並藉由彈菁14朝外部彈^ * 柱塞11、12前端部，彈筈14丄去n 隹土 ' ，、就鈿紐而推入金屬管13内， .不施加：约’柱塞11#端部為例如突出大約造。此外’與被檢查裝置的電極端子接觸 ^ 係如第1Α圖及請圖等所示，將：較可使其確實地接觸。糸日可

此外，第1Α圖及第1 r同斗、_ 口及弟1B圖或第3圖等所示之成在兩端設有柱塞U、12 生 ^ 之構k，但至少在與被檢杳I 接觸之一側形成柱塞u之構 —衣置具译ϋ稱k即可。此外，金屬管13的長度為大約數mm，例如由注邾 J田年銀（銅、鎳、鋅合金）所形成，柱塞11、12採用例如由从士、g & Μ ^ 扣妁如由SK材或鈹銅等所形成之大 =細的線材，彈簧14係由鋼琴線等所形成觸探針 1的構造對於信號用、電㈣、及接地用之任-種用^ 皆為大致同様的構造。作是，古古 ^"者， 1仫加4、+、 „ 同頻、-速用之信號用探針 SIG係如後述，使該接觸探針1SIG成為當作内部導體之同轴構造而使用，探斜〗^、+、木、十1為刖述0.5 mm間距時，採用外大約0.2刪之接觸探針。用外k為 —金屬塊2係保持信號用探針1SIG或電源用探 1 寺者’例如可驗或黃銅等金屬板。用於插人信號用探= sIG之插入孔21可設計成將内壁當作外部導體接觸探針！當作中心導體之同軸構造。在該金屬成有貫通孔，插入前述各探名十i，但高頻、高速用之^ 用探針1SIG係設定成金屬塊2的貫通孔21之内經= 319602 12 200813458 號用探針i S1G之外# d滿足下式⑴，且形成預定阻抗& 之同軸構造。此外，式⑴中〜為中心導體和外部導體

之間的介電體之介電常數，但藉由設計成第1A圖及第1B 圖之構造的方式’以中心導體之信號用探外，體之金屬塊2的貫通孔21之間係形成空間，二電系數6 r為1，可對應探針1的間距縮小化。【式1】 (1) 此外，電源用探針lpow沒有如此之阻抗關係，在與金屬塊

門被復著厚度大致不造成短路的絕緣管16(參照第2B =)另外接地用楝針1GND即使接觸貫通孔21之内壁亦圖容易插入之貫通孔21係形成在金屬塊2。第2八 ϋ A，^所不之例中，所有的探針1用之貫通孔21係办成為直徑大約〇·4 嗜今屬撿查、/亥孟屬塊2的厚度及大小根據被 ~ "、"，但通常形成為大約3至8 mm之厚度、30 至5 〇腿平方之大小。屬塊：：：3在弟1A圖及第Ιβ圖所示之例中，係設在金成古屬塊2的貫通孔21對應之位置形性孔32和凹部33(麥照第4A圖至帛4C圖)的絕緣的：6 H、、、巴緣性基板31係例如由樹脂等所構成配=厚度之板狀體’如第4A圖至第4C圖所示， ^口、妾針】的位置形成有可貫通柱塞】卜以貫通孔 ’亚轉該貫通孔32同心形成有凹部33,在探針i的肩 319602 13 200813458 t搴部亦即金屬管13的端部 1肘铋針1固定成不會脫離。 ,1A圖及第1B圖所示之例中，妒綠w： I α 灼肀，絕緣性基板31若採用 : 聚醚醯亞胺（ΡΕΙ)等樹脂製造者 ^ 衣以t，即使祆針i以狹窄間距並 -排複數支時，仍可藉由樹脂成形而簡單地且以精密尺寸形成凹部33或貫通孔32。而且，若採用上述樹脂，機械性強度亦較大，只要形成為前述厚度，即使有數百支以上的接觸探針，亦不會產生彎曲等情形，而可非常安定地固定。但是，只要具有電氣絕緣性、薄且具有機械性強度，則亦可採用其他材料。此外，第1A圖及第ib圖所示之例中，配線基板侧（圖式下侧）亦藉由同様構造的固 3(絕緣性基板31)固定，任―方皆設計成使探針〗不备脫離。該絕緣性基板31係藉由未圖示之螺絲等而屬塊2。 i 設在金屬塊2兩面侧的絕緣性基板31不必為相同厚度’可以自由選擇’但要使柱塞u、12從探針i兩例突出時’需形成同様形狀之凹部33。此外，在和檢查裝置連接之配線基板接觸之侧，即使改變被檢查裝置的種類，仍可使用相同的配線基板，且在預計使用次數少於探針1的壽 ^之情形^可#由銲接等先將探針1的-端側和配線基: 等予以固疋，不需將連接該配線基板之側的接觸探針1的一端部設成柱塞12。另外，如後所述，在金屬塊2的—方之f側’亦可設計成不設絕緣性基板3卜在金屬塊2形成凹部、固定探針丨之構造（參照第6圖）。此外，接觸探針工的柱塞11係藉由設置未圖示之被檢查裝置，而一面下降到 319602 14 200813458 絕緣性基板31 I面，-面連接被檢查裝置的電極端子，下 :端側的柱塞12係藉由配置在連接未圖示之檢查裝置的配 .線基板之配線端子上，而縮到下侧之絕緣性基板Μ之露出 ~ 面且連接配線端子。路此種將接地用探針1GND、信號用探針lsiG、及電源用探配置在金屬塊2的貫通孔内之例之俯視圖係顯示在=2B圖。第1B圖及第2A圖至f 2C圖中，為求方便而籲將定位銷6晝在接近位置，但實際上如第lA圖所示，定位銷6係形成在各探針！周圍。然後，該金屬塊2表面組裝有接地板5的狀態之同様的立體說明圖係顯示在第兀圖（貫際上組裝時，將第1A圖及第1β圖之上下反轉，在被檢查裝置側的絕緣性基板31上藉由定位銷6對位並重疊接地板，在其上方將金屬塊2同様地對位並重疊，藉由插入各探針1的方式，在接地板5的帶間隙之孔51插入接地用探針1GND)。第2C圖係於如此組裝之狀態下，去除絕緣性基板31之圖。如第2C圖所示，接地用探針i咖係將接地板5的小片51〇上推而藉由其彈力接觸，但信號用探針1 SIG及毛源用板針lp〇w係位在比金屬塊2的貫通孔2 1 稍大之逸退孔52中心部，不接觸接地板5。 +參照第4 A圖並說明該金屬塊2和絕緣性基板3丨之間夹著接地板5，使接地板5接觸在接地賴針1GND之構造的檢查用插座之組裝方法。第4A圖至第化圖係配合第 1A圖及第⑺圖之上下而繪製，但實際上組裝時係上下反轉，在第1A圖及第1B圖上侧的絕緣性基板31上，以定 319602 15 200813458 位鎖0將接地5板對位並重 W田扯从 I且在其上方將金屬塊2對位亚里豐。然後，將各探針丨插入孟屬塊2的貝通孔内。此了入i用k針1GND時，由於接地板5的帶間隙之孔 51之貫通孔5U小於接地用探針U的外徑，因此益法插入，但藉由施加負載而推入的方式，-面彎曲接地板5 的小片51e而與接地用探針1g_保持接觸狀態，—面將接地用探針1_之肩部，亦即g 3圖所示金屬管13之端部，推入至接觸在絕緣性基板31的凹部33之段差部，探針！的柱塞u通過絕緣性基板31白勺貫通孔32而録面突出。此％，由於在絕緣性基板31的凹部33形成有被彎曲的小片51c之逸退部，因此如第m圖所示，小片5ic 一面密接在接地用探針1GND—面被彎曲。該狀態係顯示在第4八圖上侧之狀態，進而藉由未圖示之定位銷將下側之絕緣性基板31對位並插入的方式，將各探針！從兩侧藉由絕緣性基板31而被固定，且支撐在金屬塊2的貫通孔内。此外，絕緣性基板3 1藉由未圖示的小螺絲等而固定在金屬塊2，藉此接地板5亦確實地與金屬塊2以電氣方式接觸。其結果可獲得第1A圖及第1B圖所示之構造的檢查用插座。利用該構造之檢查用插座，在檢查被檢查裝置之電氣特性時，在圖式下側以使連接在檢查裝置之未圖示之配線基板的配線端子和各探針1的前端部一致之方式（實際上藉由定位銷6予以對位），配設檢查用插座，且沿插座之裝置導件4將被檢查裝置之1C等裝設在插座内。藉由該裝置導件4將被檢查裝置予以對位，將被檢查裝置的各電極端 16 319602 200813458 子和設在金屬塊2㈣各探針卜亦即未圖示之配線基板 .的配線端子，以電氣方式連接。然後，藉由未圖示之檢查 γ裝置施加預定電壓等，進行被檢查裝置之特性檢查。根據本發明之檢查用插座，由於僅將如前所述形成有帶間隙之孔5卜逸退孔52及定位孔„之接地板夾設在金屬塊2和絕緣性基板31之間，可以和設在金屬塊2的所有的接地用探針1GND以電氣方式接觸，因此例如有支接馨地用探針1〇_或100支，也只要1片接地板5即可，零件費非常低廉且組農技術也非常簡單，因此可達成大幅度降低成本。而且，利用相關技術之金屬管之接地用探針^金屬塊接觸時，由於金屬管有各種形狀，與接地用探針lGND 的接觸方式不-定，難以進行特性上安定的檢查，但根據本發明，由於可確實地獲得接地用探針1gnd和接地板5之電氣接觸，因此可進行非常安定且可靠性高的特性檢查。前述之例係僅在金屬塊1的-面（被檢絲置侧）設有接地板5之構造，但接地才反5之插入並不限定於此例，例如如第4B圖及第4C圖所示’可藉由各種方法進行。第《圖所示之構造係為將接地板5設在金屬塊2兩面之例，在插入第4A圖下侧之絕緣性基板31之前，插入另一片接地板5。此時，貫通孔51a亦小於接地用探針^ 之外徑，因此热法直接插入，但由於為帶間隙之孔$ 1 ,因之間的小片51c變形而以與接地用探針、仙接觸之狀恶插入。此外，插入絕緣性基板31，以藉由小螺絲等鎖緊的方式使接地板5確實地接觸金屬塊2，並固定各探針 319602 17 200813458 。该構造中，接地板5增加為2片，但帶間隙之孔5 i或逸退孔52等係可以和被檢查裝置側之接地板5相同的構造同時地製作，而有不增加太多成本且可確實地進行與接地用楝針1GND之電氣接觸之優點。另外弟4C圖所示之構造係金屬塊2在和被檢查裝置相反侧的絕緣性基板31之間插人接地板5之例，組裝方

法亦可為同様地組裝，僅不插人第4B圖所示之的接地板5。你探用絕緣性基板丽迷各例中 ’ π *工必议 J 1 甶Ί下因疋诛針 1 之固定板3,在絕緣性基板31和金屬塊2之間夾著接地板 5 ^例，但探針1之固定亦可利用金屬板加以固定。該例在第5圖以和第ιΒ圖同様的剖面說明圖（亦追加有電源用探針1_)顯示。亦即，第5圖所示之例係固定探針i之固定板3並非絕緣性基板，而為金屬板35,此點異於第1A 圖及弟1B圖所示之構造。固定板3為金屬板％，因此盔法直接以金屬板35固㈣號用探針“及電源用探針卿，猎由在金屬板35之具有貫通孔之凹部同=有貫通孔之凹部的絕緣性間隔件％的方式 :面猎由絕緣性間隔件36的凹部固定信號用探針lsid —面使㈣11可從該貫通孔部分突出之構k。與被檢杳梦署士g y ㈣…4 -衣置相反側(圖式下側)之固定手段亦同様地由金屬板35和絕緣性間隔件36所構成。 35亦a t 接也用仏針1_之局部直接接觸金屬板 H因此以藉由形成在金屬板35的附貫通孔之凹 319602 18 200813458 :35a直接固定’且柱塞該貫通孔突出之方式構成。 :夕’於該十月形，小片51c用之逸退部亦形成在凹部35a。 -之接地板5，藉由未3干=12^夾讀前述同樣構造金屬塊2並固定Γ；；之^^金屬f35以電氣接觸在、、、衣方法和刖述弟4 A圖所示之方法& η,地’接地板5亦可固定在金屬彼此之間。因 ’亦可分剎金屬塊2且在其間插入接地板5。換古之，只要一面和金屬塊2以電氣一、口孔51接觸接地用接斜r ®猎“間Ρ家之 "GND，則接地板5可裝設在任何位二外’其他構成和前述各例相同，對於相同部分賦予相同符號而省略其說明。之構^圖Γ與第1㈣同様的說明圖，進而顯示其他 =^例°亦即’此例在用於固定探針！的固定手段時，緣基板或金屬板，藉由在金屬塊2直通孔之凹部37,且在該风寸貝圖之例同糕孙、畜h 内插入形成有具有和第5 面蕻tl/貝料絕緣性間隔件3 6之方式，形成 =由絕緣性間隔件36之凹部將信號用探〜及二 :突予二固定，一面使柱塞U可從其貫通孔部之凹金屬部分的貫通孔與第5圖所示之例相同！形，接地板5係與第5 屬塊2固定。於該情由下側之金屬板35和^性間^件同=構成’亦即在藉巴、、象〖生間隔件36所形成之金屬板35 319602 19 200813458 和金屬塊2之_定有接地板5。該接地板之構成盘第5 圖所不之例僅在於位置相異’亦為相同之構成。此可將利用第1A圖及第1B圖所示之絕緣性基板31之板3取代該金屬板35，且在其間夾入接地板5。此外，发他構造和前述各例相同，對於相同部分賦予相同省略其說明。 3

根據本發明之檢查詩座，錢成在接地隸針的位置形成帶間隙之孔’而在其他探針的位置形成有不與接觸之大小的料孔之接地板與金屬塊接觸之構造此’不需製造非常困難製造或組I之接地管且插入每接地用探針’例如有1GG支接地韓針時，僅設成使接地板接觸金屬塊即可將所有的接地用探針確實地連接成為接地之金屬塊。其結果為可謀求大幅地降低成本與接地管不同’可確實地獲得電氣連接，rf用裝置行安定之特性檢查。該接地板和接地用探針之電氣連接，係藉由直徑小於 ^成在接地板之騎的貫通孔、和從該貫軌延伸成放射狀之稷數個間隙所形成的帶間隙之孔中夾在各間隙之間所形成的小片，因接地用探針之插人而被壓彎H藉# 彈性而被推壓在接地用探針，藉由接觸的方式獲料性連接。因此’接地板為具#彈性的材料，且由於必須被外和為大約0.3咖之非常細的探針壓彎，因此 ^ 接地板之厚度必須使用大約⑽_至_咖厚度之石舞青銅或不錄鋼等具有彈性的材料。此外，間隙的深度或數量 319602 20 200813458 係依據被檢查裝置之電極 ^ ^ w 間距專，以最適杏，古# 权疋。亦即，被檢查裝置的電極端 :適田之方式貫通孔之間隔亦變大，可形成π T大％，與鄰接的數量變少，小，二^ 間隙，因此即使間隙之方面ρ 變形而與接地用探針接觸。另一方面，板針之間距小時，由丧順另此只要間_量增多，使 ,=;單：針】編獲得與接地用探針最適當之接觸: ，Α圖及第1Β圖係表示本發明之檢查施形態之構成的說明圖。 < 只斤弟2Α圖、第2Β圖、及第2C圖係分別表示第1Α圖弟/圖之接地板之局部的平面說明圖、除去固定板及接地板後之金屬塊之局部的平面說明圖、以及於金屬塊設有接地板之狀態的局部之立體說明圖。第3圖係表不作為第1A圖及第1β圖之探針之一例的隊接觸探針之構成例之圖。第4A、4B、及4C圖係接地板之組裝態樣之說明圖。第5圖係表示第1A圖及第1B圖所示之檢查用插座變形例之剖面說明圖。第6圖係表示第1A圖及第1B圖所示之檢查用插座變形例之剖面說明圖。第7A圖及第7B圖係表示相關技術之檢查用插座之一例之圖。【主要元件符號說明】 21 319602 200813458 休蚵（接觸探針）

Isig、91sig 信號用探針 1P0W、91P0W 電源用探針 gnd、91

OiNU 接地用探針 2 金屬塊 4、94裝置導件 6、96定位銷 13 金屬管 3、93固定板 5 接地板 Π、12 柱塞 13a 環形槽部 14 彈簧 21 插入孔（貫通孔） 32、 51a貫通孔 35 金屬板 36 絕緣性間隔件 51b 間隙 52 逸退孔 91 探針 97 金屬管

16、98 絕緣管 31 絕緣性基板 33、35a、37 凹部 35a 附貫通孔之凹部 51 帶間隙之孔 51c 小片 53 定位孔 92 金屬塊（支撐塊） 319602 22

Claims

200813458 十、申請專利範圍： 1· 一種檢查用插座，具有以下構件：支樓塊’具有第1面及與該第1φ㈣之第2面且具有複數個貫通孔；〜複數個探針’係設在該貫通_，以電氣連接設在該第1面狀被檢查裝置⑲子及連接:於設在該第2面侧之檢查裝置之端子’且該複數個探針具有接地用之 1才木針和與該第1探針不同之第2探針；以及第1板構件，具有：第1孔，對應於該第1探針，且具有直徑小於該第1探針之直徑；溝，從該第i孔朝，方向延伸；及第2孔，對應於該第2探針，且具有直，大於該第2探針之直徑；該第1板構件與該支撐塊電 2·=申請專利範圍第1項之插座，其中，該支撐塊係由全屬所構成。籲3.如申請專利範圍第1項之插座，其中，各探針具有彈簧構件，而且各探針之一端至少可突出在該支撐塊之該第1面 :申:月ί利範圍第1項之插座，其中，復具有第2板構 5弟2板構件係設在該支撐塊之該第1面及該2 面之至少一士 Q , 方，且由絕緣材料及金屬材料之任一者所構 5·如申請專利範圍第4項之插S，其中，該第1板構件係 319602 23 200813458 4 配置在該第2板構件及支撐塊之間。 : 6.如申請專利範圍第1項之插座，其中，該第1板構件係 : 為0.02至0.05 mm厚度之金屬板。 - 7·如申請專利範圍第1項之插座，其中，該溝之數量為3 至16個。

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