SU1579556A1 - Reactor with fluided bed - Google Patents
Reactor with fluided bed Download PDFInfo
- Publication number
- SU1579556A1 SU1579556A1 SU874254185A SU4254185A SU1579556A1 SU 1579556 A1 SU1579556 A1 SU 1579556A1 SU 874254185 A SU874254185 A SU 874254185A SU 4254185 A SU4254185 A SU 4254185A SU 1579556 A1 SU1579556 A1 SU 1579556A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- reactor
- conical bottom
- nozzle
- inlet
- cylindrical pocket
- Prior art date
Links
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 claims 1
- 238000003889 chemical engineering Methods 0.000 abstract description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 239000005046 Chlorosilane Substances 0.000 description 1
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 210000002445 nipple Anatomy 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
Изобретение относитс к химическому машиностроению и позвол ет сократить простои реактора и повысить его производительность. Реактор снабжен расположенным напротив патрубка ввода цилиндрическим карманом, установленным под углом 50 - 70° к вертикали, при этом их оси смещены одна относительно другой на величину 0,3 - 0,6 от входного отверсти конического днища. 2 ил.The invention relates to chemical engineering and reduces reactor downtime and increases its productivity. The reactor is provided with a cylindrical pocket located opposite the nozzle inlet, set at an angle of 50–70 ° to the vertical, while their axes are offset one relative to another by a value of 0.3–0.6 from the inlet of the conical bottom. 2 Il.
Description
Изобретение относитс к области химического машиностроени и может быть использовано дл синтеза трихлорсилана в технологии полупроводникового кремни .The invention relates to the field of chemical engineering and can be used for the synthesis of trichlorosilane in semiconductor silicon technology.
Целью изобретени вл етс сокращение простоев реактора и повышение его производительности.The aim of the invention is to reduce reactor downtime and increase its productivity.
На фиг. 1 изображен реактор, разрез; на фиг. 2 - узел I на фиг. 1.FIG. 1 shows the reactor section; in fig. 2 — node I in FIG. one.
Реактор содержит конический корпус 1 с расположенным над ним сепаратором 2, В нижней части реактора крепитс коническое днище 3 дл подачи исходных реагентов (хлористого водорода) и твердой фазы (технического кремни ). Ось патрубка 4 ввода располагают под углом 50-70° к вертикальной оси реактора. Патрубок 4 ввода с отверстием 5 направлен вниз в сторону меньшего основани усеченного конуса, образующего коническое днище 3. Отверстие 5 введено в сужающуюс часть конического днища 3 и расположено в области центральной оси реактора, в той его части, где коническое днище имеет диаметр, равный 2-3 диаметра меньшего основани усеченного конуса. Напротив патрубка ввода соосно установлен цилиндрический карман 6 отверстием вверх.The reactor contains a conical case 1 with a separator 2 located above it. In the lower part of the reactor there is attached a conical bottom 3 for supplying initial reactants (hydrogen chloride) and a solid phase (technical silicon). The axis of the inlet nozzle 4 is positioned at an angle of 50-70 ° to the vertical axis of the reactor. The inlet 4 of the inlet with an opening 5 is directed downwards towards a smaller base of a truncated cone forming a conical bottom 3. An opening 5 is introduced into the narrowing part of the conical bottom 3 and is located in the region of the central axis of the reactor, in that part where the conical bottom has a diameter of 2 -3 diameters of the smaller base of the truncated cone. A cylindrical pocket 6 with an opening upward is coaxially mounted opposite the inlet nozzle.
Ось цилиндрического кармана б расположена выше оси патрубка 4 на величину 0,3-0,6 диаметра меньшего основани конуса конического днища 3 реактора. Патрубок 4 соединен с патрубком 7 подачи технического кремни в реактор и патрубком 8 подачи псевдоожижающего агента (хлористого водорода) в реактор. На внешней поверхности корпуса 1 размещена теплообменна рубашка 9. Внутри корпуса 1 размещены чехол 10 дл термопары и электронагреватель 11.The axis of the cylindrical pocket b is located above the axis of the nozzle 4 by a value of 0.3-0.6 times the diameter of the smaller base of the cone of the conical bottom 3 of the reactor. The nozzle 4 is connected to the nozzle 7 for supplying technical silicon to the reactor and the nozzle 8 for feeding the fluidizing agent (hydrogen chloride) to the reactor. A heat-exchange jacket 9 is placed on the outer surface of the housing 1. Inside the housing 1 there is a cover 10 for a thermocouple and an electric heater 11.
Реактор работает следующим образом.The reactor operates as follows.
Исходна тверда фаза - технический кремний - подаетс по патрубку 7 в поток псевдоожижающего агента (хлористого водорода ), патрубок 8 подачи которого соединен с патрубком 4. Цилиндрический карман 6 заполнен пусковым кремнием или другим твердым материалом.The initial solid phase — technical silicon — is fed through nozzle 7 to a stream of fluidizing agent (hydrogen chloride), the supply nozzle 8 of which is connected to nozzle 4. The cylindrical pocket 6 is filled with starting silicon or other solid material.
Тверда фаза в реакторе, предварительно разогрета до стартовой температуры 290-350°С, вступает в реакцию с хлористым водородом. Реакци - экзотермическа (ЛThe solid phase in the reactor, preheated to the starting temperature of 290-350 ° C, reacts with hydrogen chloride. Reactions - exothermic (L
СWITH
елate
4141
о ел елo ate
OsOs
протекает с выделением тепла. Дл сн ти теплоты реакции в кожух реактора подаетс охлаждающа вода.proceeds with heat. Cooling water is supplied to the reactor shell to remove the heat of reaction.
Газообразные продукты синтеза, поступа в сепаратор 2, очищаютс от уносимых твердых частиц и удал ютс из реактора. После реактора из газовой фазы конденсируют продукты реакции синтеза - хлорсила- ны.The gaseous synthesis products, entering the separator 2, are cleaned of entrained solids and removed from the reactor. After the reactor, synthesis products — chlorosilanes — are condensed from the gas phase.
По мере выработки твердой фазы - технического кремни - реактор, подпитываетс через патрубок 4 твердой фазой и хлористым водородом. Осуществл етс непрерывна подпитка реактора.As the solid phase is produced — technical silicon — the reactor is fed through the nipple 4 with a solid phase and hydrogen chloride. The reactor is continuously fed.
00
5five
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU874254185A SU1579556A1 (en) | 1987-06-01 | 1987-06-01 | Reactor with fluided bed |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU874254185A SU1579556A1 (en) | 1987-06-01 | 1987-06-01 | Reactor with fluided bed |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1579556A1 true SU1579556A1 (en) | 1990-07-23 |
Family
ID=21307795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU874254185A SU1579556A1 (en) | 1987-06-01 | 1987-06-01 | Reactor with fluided bed |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1579556A1 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2126713C1 (en) * | 1996-07-22 | 1999-02-27 | Государственный научный центр Российской Федерации Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений | Apparatus for synthesis of organochlorine silanes in fluidized bed |
| RU2346736C1 (en) * | 2007-08-09 | 2009-02-20 | Открытое акционерное общество "Подольский химико-металлургический завод" | Reactor with fluidised bed |
| US8367029B2 (en) | 2007-10-23 | 2013-02-05 | Mitsubishi Materials Corporation | Method for producing trichlorosilane |
| RU2477171C2 (en) * | 2007-10-23 | 2013-03-10 | Мицубиси Матириалз Корпорейшн | Trichlorosilane production plant and method of trichlorosilane production |
-
1987
- 1987-06-01 SU SU874254185A patent/SU1579556A1/en active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Авторское свидетельство СССР № 927294, кл. В 01J 8/18, 1980. * |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2126713C1 (en) * | 1996-07-22 | 1999-02-27 | Государственный научный центр Российской Федерации Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений | Apparatus for synthesis of organochlorine silanes in fluidized bed |
| RU2346736C1 (en) * | 2007-08-09 | 2009-02-20 | Открытое акционерное общество "Подольский химико-металлургический завод" | Reactor with fluidised bed |
| US8367029B2 (en) | 2007-10-23 | 2013-02-05 | Mitsubishi Materials Corporation | Method for producing trichlorosilane |
| RU2477171C2 (en) * | 2007-10-23 | 2013-03-10 | Мицубиси Матириалз Корпорейшн | Trichlorosilane production plant and method of trichlorosilane production |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3578798A (en) | Cyclonic fluid bed reactor | |
| NO165416C (en) | 2-STEP REACTOR WITH CIRCULATING FLUIDIZED MASS AND PROCEDURE FOR OPERATING THE REACTOR. | |
| KR20110091639A (en) | Silicon production by fluidized bed reactor using tetrachlorosilane to reduce wall deposition | |
| JPH01502356A (en) | Fluidized bed reactor | |
| CA2740617A1 (en) | An apparatus and process for hydrogenation of a silicon tetrahalide and silicon to the trihalosilane | |
| SU1579556A1 (en) | Reactor with fluided bed | |
| US4818511A (en) | Process and apparatus for producing non-oxide compounds | |
| US2518842A (en) | Means for securing even distribution of heated pebbles in the product heating chamber of a pebble furnace | |
| CN1321731C (en) | Reactor of organic silicon fluidized bed with cyclone separator | |
| JPS6116501B2 (en) | ||
| JP2689346B2 (en) | Inner core heating method in fluidized bed | |
| JPS6230129B2 (en) | ||
| US10525430B2 (en) | Draft tube fluidized bed reactor for deposition of granular silicon | |
| EP0386693A3 (en) | Process and reactor for exothermic heterogeneous synthesis with several catalytic beds and heat exchange | |
| US3148035A (en) | Apparatus for the continuous production of silicon chloroform and/or silicon tetrachloride | |
| GB919018A (en) | Production of silicon dioxide | |
| WO2011009390A1 (en) | Reactor and method for converting silicon gas | |
| GB2086257A (en) | Fluidised gasification reactor | |
| JPH10139786A (en) | Production of vinyltrichlorosilane | |
| KR950010805B1 (en) | Apparatus and process for the production acetylene | |
| USRE25864E (en) | Production of metal oxides | |
| CN2766950Y (en) | Organosilicon fluidized bed reactor with cyclone separator | |
| SU1699584A1 (en) | Reactor of heterogeneous catalysis | |
| RU124889U1 (en) | TRICHLOROSILANE SYNTHESIS REACTOR | |
| JPH01501158A (en) | Method and apparatus for producing high temperature fluidizing gas |