SU1495111A1

SU1495111A1 - L-coordinate manipulator

Info

Publication number: SU1495111A1
Application number: SU884371889A
Authority: SU
Inventors: Евгений Николаевич Ивашов; Александр Шулимович Колискор; Михаил Иванович Некрасов; Сергей Валентинович Степанчиков; Игорь Юрьевич Григорьев
Original assignee: Московский Институт Электронного Машиностроения; Институт Машиноведения Им.А.А.Благонравова
Priority date: 1988-01-26
Filing date: 1988-01-26
Publication date: 1989-07-23

Abstract

Изобретение относитс к машиностроению, а именно к манипул торам, используемым преимущественно при обслуживании технологических процессов в услови х вакуума. Цель изобретени - повышение надежности в работе при использовании в вакууме или агрессивных средах. При изменении длин приводных элементов 3,4,5,6,7,8 линейного перемещени , установленных на основании 1 и фланце 2, исполнительное устройство 14 совершает движение по шести координатам. При этом упругий герметизирующий элемент 9 деформируетс , что обеспечиваетс его конструктивным выполнением в виде двух гофрированных труб 10 и 11. Труба 10, выполненна с гофрированием в поперечном направлении, жестко установлена на основании и обеспечивает деформацию по п ти координатам, а труба 11, гофрированна в продольном направлении, - деформацию по шестой координате. Таким образом, координатный манипул тор обеспечивает передачу движени в герметизированный объем, причем в этом объеме полностью отсутствуют шарнирные соединени . 1 з.п. ф-лы, 5 ил.The invention relates to mechanical engineering, in particular to manipulators, used primarily in the maintenance of technological processes under vacuum conditions. The purpose of the invention is to increase reliability in operation when used in vacuum or corrosive environments. When the lengths of the driving elements 3,4,5,6,7,8 of linear movement, which are mounted on the base 1 and the flange 2, change, the actuator 14 moves in six coordinates. In this case, the elastic sealing element 9 is deformed, which is ensured by its structural design in the form of two corrugated pipes 10 and 11. The pipe 10, which is made with corrugation in the transverse direction, is rigidly mounted on the base and provides deformation in five coordinates, and the pipe 11 is corrugated in the longitudinal direction is the deformation along the sixth coordinate. Thus, the coordinate manipulator ensures the transfer of movement into the sealed volume, and in this volume there are no joints. 1 hp f-ly, 5 ill.

Description

HIHI

LL

/2 8/ 2 8

Фиг. 1FIG. one

3 . U3 U

Изобретение относитс к машиностроению , л именно к манипул торам, используемым преимущественно при обслуживании технолш ических процес- сон в услови х вакуума.The invention relates to mechanical engineering, namely, to manipulators, used primarily in the maintenance of technological processes under vacuum conditions.

Цель изобретени - повьпиение надежности работы при использовании в вакууме или агрессивных средахThe purpose of the invention is to increase the reliability of work when used in a vacuum or corrosive environments.

На фиг. 1 представлен L-коорди- натньш манипул тор, общий вид; на фиг. 2 - упругий герметизирующий элемент; на фиг. 3 - схема установки приводных элементов манипул тора; на фиг, А - труба малой крутильной жесткости, гофрированна в продольном направлении; на фиг. 5 - L-KO- ординатиый манипул тор с гибкими т гами регулируемой длиныFIG. 1 shows the L-coordinate manipulator, general view; in fig. 2 - elastic sealing element; in fig. 3 - installation diagram of the drive elements of the manipulator; in FIG. A, a pipe of low torsional rigidity, corrugated in the longitudinal direction; in fig. 5 - L-KO-ordinate manipulator with flexible ti gami adjustable length

L-координатный манипул тор содер- жит основание 1, фланец 2, соединенные- между собой с помощью шести приводных элементов 3-8 линейного перемещени , св занных с основанием иThe L-coordinate manipulator contains a base 1, a flange 2, interconnected by means of six drive elements 3-8 linear displacement, connected with the base and

(JuiaHueM, образующих привод. Упругий герметизирующий элемент 9 вьтолнен в виде гофрированных труб 10 и 11, которые герметично св заны между собой посредством переходника 12 так, что приводные элементы 3-8 герметизированы относительно технологической среды (фиг. 1). Приводные элементы могут быть выполнены в виде гибких т г 13 регулируемой длины, нат жение которых осуществл етс упругим герметизирующим элементом 9о На фланце установлено исполнительное устройство 14.(JuiaHueM, forming the drive. The elastic sealing element 9 is made in the form of corrugated pipes 10 and 11, which are tightly connected to each other by means of an adapter 12 so that the driving elements 3-8 are sealed relative to the process medium (Fig. 1). The driving elements can be made in the form of flexible bars 13 of adjustable length, the tension of which is effected by an elastic sealing element 9o. An actuating device 14 is mounted on the flange.

В качестве приводных элементов 3-8 линейного перемещени можно исполь jHaTb пневмоцилиндры или винтовые передачи с электродвигател ми. Конкретное исполнение приводных элементов - 8 на фиг с 1 не показаноJHaTb pneumatic cylinders or screw transmissions with electric motors can be used as drive elements 3–8 for linear movement. The specific design of the drive elements - 8 in FIG. 1 is not shown.

С цeJью обеспечени высокотемпературного прогрева (при установке в сверхвысоковакуумном оборудовании) фланец 2 манипул тора с элементами 3-8 может отсоедин тьс от основани манипул тора (фиг„ 3),In order to ensure high-temperature heating (when installed in ultrahigh-vacuum equipment), the flange 2 of the manipulator with elements 3-8 can be disconnected from the base of the manipulator (Fig 3)

Манипул тор работает следующим образом.The manipulator works as follows.

При изменении длин приводных элементов 3-8 линейного перемещени исполнительное устройство на фланце соверплет движение по шести координатам - трг М линейным и трем угловым отнпситс1п чо неподвижного основани , Гг фрированна труба 10 приWhen changing the lengths of the drive elements 3–8 linear displacement, the actuator on the flange performs movement along six coordinates — Trg M with linear and three angular displacements of the fixed base, Gg free-flow pipe 10 at

0 0

5five

00

5five

00

5five

00

5five

1one

этом имеет п ть степеней подвижности, а шестую степень обеспечивает гофрированна труба 11 малой крутильной . жесткости (фиг. 3). Таким образом L-координатный манипул тор обеспечивает передачу движени в герметизированный объем. В этом объеме полностью отсутствуют шарнирные соединени , а число герметизирующих элементов резко уменьшаетс .This has five degrees of mobility, and the sixth degree is provided by a corrugated pipe 11 of a small torsion. stiffness (Fig. 3). In this way, the L-coordinate manipulator ensures the transfer of movement into the sealed volume. The hinge joints are completely absent in this volume, and the number of sealing elements is sharply reduced.

Выбор люфтов в манипул торе обеспечиваетс , например, с помощью гибких т г 13 регулируемой длины, нат жение которых осуществл етс гермети- зируюп1им элементом 9 Посредством т г 13 одновременно осуществл етс передача движени .The choices of backlash in the manipulator are provided, for example, by means of flexible bars 13 of adjustable length, the tension of which is sealed by an element 9 By means of the bars 13 13, simultaneously, the movement is transmitted.

Установка упругого герметизирующего элемента 9 между основанием 1 и фланцем 2 позвол ет существенно уменьшить габариты манипул тора, обеспечивает высокую податливость упругого элемента за счет возможности увел гчени его размеров при заданных габаритах манипул тора, а также расположение упругого гермети- зируюп;его элемента 9 вне технологической зоны вакуумной камеры.The installation of the elastic sealing element 9 between the base 1 and the flange 2 makes it possible to significantly reduce the dimensions of the manipulator, provides a high flexibility of the elastic element due to the possibility of increasing its dimensions for given dimensions of the manipulator, as well as the location of the elastic hermetic seal; zones of the vacuum chamber.

Claims

1.L-coordinate manipulator comprising a base, a flange, linear motion drive elements, kinematically connected with a base and a flange, an actuator rigidly mounted on the flange, characterized in that

in order to increase reliability when used in vacuum or corrosive media, it is equipped with an elastic sealing element made in the form of two rigidly connected ends of corrugated pipes, the second ends of these pipes being rigidly fixed on the flange and on the base, the sealing element, wherein one of the pipes of the elastic sealing element is corrugated in the longitudinal direction and the other in the transverse directions, and the joints of these pipes with each other The tongue, with the base and with the flange, is sealed.

2.Manipulator according to claim 1, I differ by the fact that the drive

51495111

elements of linear displacement by resilient tension, and the tension is filled in the form of flexible tension g and the adjustment of these tension g is carried out by an elastic pressure bar of length, installed with a pre-element.

10IZ 11

y4r / SAA / VVWX.

allllll n

678

h 53 f14g.g

Thebes.

/ 3

FI.5