SU1452194A1 - Способ нанесени полимерных покрытий в вакууме - Google Patents
Способ нанесени полимерных покрытий в вакууме Download PDFInfo
- Publication number
- SU1452194A1 SU1452194A1 SU864059324A SU4059324A SU1452194A1 SU 1452194 A1 SU1452194 A1 SU 1452194A1 SU 864059324 A SU864059324 A SU 864059324A SU 4059324 A SU4059324 A SU 4059324A SU 1452194 A1 SU1452194 A1 SU 1452194A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- text
- vacuum
- coatings
- flow
- cathode
- Prior art date
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract description 6
- -1 Polyethylene Polymers 0.000 claims description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 claims description 2
- 241000283707 Capra Species 0.000 claims 1
- 229920006359 Fluoroplast Polymers 0.000 claims 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 4
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 abstract description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 abstract description 3
- 239000007858 starting material Substances 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 2
- 241000554155 Andes Species 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000010186 staining Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Изобретение может быть использовано дл получени покрытий, стойких к воздествию окружащей среды. Окружающей среды. Цель изобретени - повышение эффективности использовани исходного материала за счет уменьшени непроизводительных потерь. Насыщенные пары из парогенератора 1 ввод т в область тлеющего разр да плоской конфигурации. Это приводит к образованию плоского фронта потока рабочего вещества в плоскости сетчатого катода 4. На подложке 5 формируетс полимерное покрытие, рост которого определ етс как осаждением сформированного потока исходного материала, так и воздействием активно действующих излучений плазмы тлеющего разр да. 1 табл., 1 ил.
Description
I
Изобретение относитс к технологии получени полимерных покрытий в вакууме на издели дл повышени стойкости к Воздействию окружающей среды с высокими механическими, диэлектрическими , фрикционными и зионными свойствами поверхности и может быть использовано дл нанесени покрытий на носитель информации и конструктивные злементы микрозлектро- ники.
Целью изобретени вл етс повьппе- . ние зффективности использовани .исход - Ного материала за счет уменьгаени непроизводительных потерь.
На чертеже представлена схема установки j по сн юща предложенный способ нанесени полимерных покрытий в вакууме.
Установка содержит парогенератор 1, паропровод 2, соедин ющий парогенератор 1 с анодом 3, сетчатый плбский катод 4, за которым расположена подложка 5. Анод 3 и катод 4 выполнены плоскопараллельными.
Введение насыщенных паров исходного .материала в область тлеющего разр да плоской конфигурации приводит к образованию плоского фронта потока рабочего вещества в плоскости .сетчатого катода 4. При зтом на подложке 5, расположенной за плоским сетчатым, катодом 4,формируетс поликернЬе пЬк-; рытие с практически ПОЛРГЫМ использованием вводимого исходного потока вещества,.причем в отличие от известных в предложенном способе рост поли мерной пленки определ етс как осажО1 Is5
(to
314
дением сформированного потока рабочего вещества на поверхность подложки , так и воздействием активно дейетву1йщих излучений плазмы тлеющего разр да на обрабатьгоаемую поверхность .
Прим е р. В полость парогене- рптора 1 помещают полипропиленовое волокно (ТУ 6-06-535-76, 0,33 текс.). В качестве подложки 5 устанавливают магнитньгй диск пам ти. В вакуумной камере создают разрежение пор дка 0,1 торр Производ т нагрев парогенератора I и паропровода 2, Парогене- ратбр термостатируют при 250 С. Паропровод 2 разогревают пропусканием переменного тока до температуры на 5- выше,температуры парогенератора ). После установлени теплового режи- ма парогенератора I между ансдом 3 и катодом 4 подают напр жение посто нного тока 2,0 кВ, обеспечивающее возбуждение в разр дном промежутке самосто тельного тлеющего разр да.
Прн ионизации в плазме газового разр да направл емые в разр дный промежуток жидкофазные частицы зар жаютс положительно, в результате зтого они ускор ютс из области газораз- р дной плазмы к катоду 4, проход зону катодного па дени . Принима во внимание, что поток рабочего вещества вл етс в зкостным, ускор ющее / действие в разр дном промежутке испы- тьгаают и незар женные частицы. Следовательно , в плоскости катода имеетс нормально направленный, ускоренный до энергии, соответствующей нап- .р жению на разр дном промежутке- (обмчноч1-5 кВ), noTQK рабочего вещества с достаточно высокой степенью ионизации. Параметры разр да выбираютс из услови обеспечени необходимой степени ионизации потока ра- бочего вещества без значительной дополнительной деструкции ных осколков. Такие услови выполн ютс в тлеющем разр де, где температура газа значительно ниже элскт ронной..
Электроды выполнены плоскими размером I2 X I2 см и расположены на
4
ассто нии 10 см. Анод 3 выполнен из нержавеющего листа, а катод 4 представл ет собой рамку, на которой с шагом I см намотана сетка из вольфрамовой проволоки 80 мкм. В процессе нанесени покрыти магнитный диск вращают. Образование полимерного сло и его рост визуально контролируют по по влению интерференционного окрашивани и по чередованию его цвета.
Предложенна совокупность приемов и технологические особенности способа позвол т повысить скорость нанесени покрыти по сравнению с известными в 8-12 раз и улучшат контролируемость процесса за счет снижени рабочего вакуума с 10 до 0,5-1 тор, формировани потока рабочего вещества , что обеспечит практически полное осаждение рабочего потока на подложку и трансформирование его в поли- MepiHoe покрытие и совмещени операций ионизации, формировани потока и его ускорени в одном плоском разр дном промежутке.
В таблице представлены рабочие услови при нанесении различных полимерных покрытий на магнитные диски пам ти ф 355 мм. ,
Ф о рмула изобретени
Способ нанесени полимерных покрытий в вакууме, включающий формирование электрического пол между анодом и катодом, введение в межзлектродный промежуток паров исходного материала , ускорение зар женных частиц, осаждение покрыти на подложку и его полимеризацию , отличающийс тем, что, с целью повышени эффективности использовани исходного материала , анод и катод выполн ют плоскопараллельными , причем катод в виде сетки, перед введением паров провод т их насыщение, а введение насыщенных паров осуществл ют через анод в иап рзвлеиии электрического пол , ускорение зар женных частиц осуществл ют в зоне тлеющего разр да, а осаждение покрыти - вне зоны тлеющего разр да.
О
°f°t °t
A/
a СЭ- f
о Q о о О О О
Claims (1)
- <claim-text><table border="1"> <tbody><tr><td colspan="2"> 5</td><td colspan="3"> . 1452194.</td><td colspan="2"> 6</td></tr> <tr><td> Полимер</td><td> Температура парогенератора , ®С</td><td> Давление в объеме реактора, торр</td><td> Напряжение разряда, кВ</td><td> Ток разряда, А</td><td> Толщина покрытия, мкм</td><td> .Время на несения, мин</td></tr> <tr><td> Полипро-</td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td><td></td></tr> <tr><td> пилен</td><td> 250</td><td> 0,5-1</td><td> 2,0</td><td> 0,1</td><td> 0,15</td><td> 5-7</td></tr> <tr><td> Полиэтилен</td><td> 220</td><td> 11</td><td> 11</td><td> 11</td><td> II</td><td> 5-7</td></tr> <tr><td> Капрой</td><td> 240</td><td> ' 11</td><td> 11</td><td> «1</td><td> <1</td><td> 4-6</td></tr> <tr><td> Фторопласт Ф 2М</td><td> 180</td><td> 99</td><td> •I</td><td> н</td><td> II</td><td> 3-5</td></tr> <tr><td> Вак.масло ПФМС-1</td><td> 120-160</td><td> 99</td><td> * 11</td><td> II</td><td> н</td><td> 2-4</td></tr> </tbody></table> <claim-text><a name="caption1"></a>< , ·+— $</claim-text> <claim-text>ά α | ο| ο| □ <э- У</claim-text> <claim-text>А /</claim-text>
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU864059324A SU1452194A1 (ru) | 1986-04-22 | 1986-04-22 | Способ нанесени полимерных покрытий в вакууме |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU864059324A SU1452194A1 (ru) | 1986-04-22 | 1986-04-22 | Способ нанесени полимерных покрытий в вакууме |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU1452194A1 true SU1452194A1 (ru) | 1990-09-15 |
Family
ID=21234704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU864059324A SU1452194A1 (ru) | 1986-04-22 | 1986-04-22 | Способ нанесени полимерных покрытий в вакууме |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU1452194A1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2429312C1 (ru) * | 2007-10-12 | 2011-09-20 | Арселормитталь Франс | Промышленный парогенератор для нанесения на металлическую ленту покрытия из сплава |
-
1986
- 1986-04-22 SU SU864059324A patent/SU1452194A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Патент DE № 3112604, кл. С 23 С J3/04, 1983. Авторское свидетельство СССР 1123745, кл. В 05 D 3/06, 1984. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2429312C1 (ru) * | 2007-10-12 | 2011-09-20 | Арселормитталь Франс | Промышленный парогенератор для нанесения на металлическую ленту покрытия из сплава |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2082283C1 (ru) | Способ зажигания свд-плазмы (варианты) | |
| EA020763B1 (ru) | Источник плазмы и способы нанесения тонкопленочных покрытий с использованием плазменно-химического осаждения из газовой фазы | |
| EP0041850B1 (en) | A method of vacuum depositing a layer on a plastics film substrate | |
| CN102308358A (zh) | 具有自清洁阳极的闭合漂移磁场离子源装置及基材改性修改方法 | |
| DE3852357T2 (de) | Dünnfilmkohlewerkstoff und Verfahren zum Aufbringen. | |
| RU2058429C1 (ru) | Способ напыления пленок | |
| JP2001190948A (ja) | 表面をプラズマ処理する方法及び装置 | |
| SU1452194A1 (ru) | Способ нанесени полимерных покрытий в вакууме | |
| JP2000068227A (ja) | 表面処理方法および装置 | |
| JP2007126742A (ja) | マイクロ波線形放電源の電力機能ランピングのためのシステムおよび方法 | |
| US4320716A (en) | Ultra-high frequency device for depositing thin films on solids | |
| CN100577855C (zh) | 制备残余应力优化涂层的溅射方法和设备 | |
| KR100501044B1 (ko) | 대면적 산화마그네슘 박막 증착장치 및 방법 | |
| CN100395371C (zh) | 微波等离子体增强弧辉渗镀涂层的装置及工艺 | |
| JPS5874701A (ja) | 高分子薄膜の形成方法 | |
| JPH04228566A (ja) | スパッターイオンめっきによる導電性繊維被覆方法および装置 | |
| JPS6350463A (ja) | イオンプレ−テイング方法とその装置 | |
| JPS58161774A (ja) | スパツタリング処理方法 | |
| US3344055A (en) | Apparatus for polymerizing and forming thin continuous films using a glow discharge | |
| KR100267886B1 (ko) | 쉴드의코팅막형성방법및쉴드를이용한스퍼터링장치와이장치를이용한박막형성방법 | |
| JPH01234397A (ja) | ダイヤモンド状薄膜の製造方法及び装置 | |
| RU2149216C1 (ru) | Устройство для химического газофазного осаждения аморфных гидрогенизированных углеродных пленок на диэлектрики | |
| JP2717856B2 (ja) | ダイヤモンド様薄膜の製造方法及び装置 | |
| JPS59172716A (ja) | 半導体製造方法 | |
| SU1442080A3 (ru) | Способ нанесени металлического покрыти на подложку |