SU1381618A1 - Способ герметизации микросборки - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к микроэлектронике , а именно к технологии окончательной сборки герметичных микросхем, и может быть использовано в приборостроительной промьшшенности в технологии сборки герметичных приборов , закрытых металлическим кожухом . Цель изобретени  - повьшение технологичности процесса и качества издели . В центре лунки 1 выдавливают выступ 2 воронкообразной формы, так,что торец его расположен ниже поверхности кожуха 8, пробива1от отвер- стие 3 в вершине выступа, заваривают конец выступа лазерным лучом, образу  напльш, или внос т в лутсу дозу припо , с образованием отверсти , которую затем расплавл ют любым известным способом. При этом за счет капилл рных сил смачивани  внутренней поверхности в часть припо  заполн ет отверстие и образует пробку. 2 3.п. ф-лы, 4 ил. (С If.

Description

113

Изобретение относитс  к микроэлектронике , а именно к технологии окончательной сборки герметичных микросхем , и может быть использовано в приборостроительной промьшшенности в технологии сборки герметичных приборов , закрытых металлическим кожухом.

Цель изобретени  - повышение технологичности процесса и качества из дели .

На фиг.1 показан кожух с выдавленной в нем лункой и выступом воронкообразной формы; на фиг.2 - кожух после запайки отверсти , лучом лазера на фиг,3 - кожух после подготовки отверсти  дл  запайки припоем; на (Ъиг.А - отверстие кожуха после запайки припоем.

Способ герметизации микросхемы заключаетс  в следующем.

Одновременно при изготовлении кожуха микросхемы, например, штамповкой , в нем выдавливают лунку 1 и выступ 2 воронкообразной формы с от- качным отверстием 3 в вершине выступ па, дл  чего в пуансоне и матрице штампа (не показан) предусматривают соответствующие элементы. Затем собирают микросборку, помещают в ва- куумную камеру, осушают и заполн ют внутренний объем средой контролируемого состава, например осушенным азотом или сухим воздухом, производ т оплавление торца воронкообразного вы- ступа, направл   луч лазера под углом о1 к оси отверсти  3 до получени  напльша 4 из материала кожуха При этом вследствие наличи  выступа и трубчатой формы его торца луч лазе- ра не попадает в объем микросборки и не повреждает ее элементы.

В качестве лазерной установки используют , например, Квант-15, Квант-1/. При герметизации откачного отверсти  легкоплавким припоем лунку заполн ют дозой припо  5, внутреннюю поверхность 6 выступа 2 и его торец залуживают, отверстие 3 при заполнении лунки припоем защища-. ют иглой или образуют после заполнени  лунки припоем перед сборкой микросхемы лучом лазера, направл   его по оси выступа 2 со стороны внутреннего объема кожуха известным спосо

бом, затем собирают микросборку, по

|д

15

20

5 ЗО д

с

0

5

182

мещают в вакуумную камеру, производ т осушение внутреннего объема, заполн ют средой контролируемого состава, например сухим азотом или воздухом, и герметизируют (запаивают) отвер стие 3 , разогрева  па льником или бесконтактным способом, например инфракрасным или лазерным излучением, ранее присоединенную к кожуху дозу припо  5 в лунке 1. При расплавлении часть припо  7, благодар  тому, что торец выступа 2 ниже поверхности 8 кожуха, поступает в отверстие 3 и, смачива  стенки трубчатой части выступа , образует пробку, длина которой больше толщины кожуха, надежно герметизирующую микросборку.

Необходимую длину пробки из по  7 подбирают высотой выступа 2 с учетом исключени  образовани  сосульки припо  внутри кожуха, что легко достигаетс  благодар  наличию выступа 2 и исключени  тем самым вли ни  веса (массы) заранее нанесенной дозы припо  5 на затекание его в объем микросборки.

Предлагаемый способ позвол ет герметизировать откачное (дренажное) отверстие лучом лазера.

Claims (3)

1. Формула изобретени 

   .Способ герметизации микросборки путем выдавливани  в ее кожухе лунки , образовани  в этой лунке отвер - сти , заполнени  внутреннего объема микросборки средой контролируемого состава и герметизации отверсти  путем оплавлени , отличающийс  тем, что, с целью- повьш1е- ни  технологичности процесса и качества издели , в центре лунки выдавливают выступ воронкообразной формы, а отверстие образуют в вершине последнего .
2. 2.Способ поп.1,отличаю- ш и и с   тем, что вершину воронкообразного выступа выдавливают ниже наружной поверхности кожуха.
3. 3.Способ по п.1. о т л и ч а ю - щ и и с   тем. что герметизацию отверсти  производ т путем оплавлени  торца выступа лазерным лучом, причем последний направл ют под углом к оси отверсти .

   иг./