RU98113860A - Способ и устройство для определения толщины электрически проводящего слоя - Google Patents
Способ и устройство для определения толщины электрически проводящего слояInfo
- Publication number
- RU98113860A RU98113860A RU98113860/28A RU98113860A RU98113860A RU 98113860 A RU98113860 A RU 98113860A RU 98113860/28 A RU98113860/28 A RU 98113860/28A RU 98113860 A RU98113860 A RU 98113860A RU 98113860 A RU98113860 A RU 98113860A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- test
- thickness
- frequency
- protective layer
- layer
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 10
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims 9
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 7
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical group [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims 1
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical group [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 claims 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical group [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Claims (11)
1. Способ для определения толщины (dr) защитного слоя (1) с электрической проводимостью k1 детали турбинной установки, причем защитный слой (1) нанесен на основном материале (2) детали с электрической проводимостью k2, и причем электрические проводимости k1 и k2 отличны друг от друга, отличающийся тем, что
а) через катушку возбуждения (3) пропускают высокочастотный электрический ток,
b) катушку возбуждения (3) приближают к защитному слою (1) так, что, по меньшей мере, в защитном слое (1), производится электрический вихревой ток,
с) определяют приданную в соответствие полному сопротивлению испытательной катушки (9) величину, которая по принципу токовихревого контроля служит в качестве основы для определения толщины (dr) слоя (1) и
d) частоту (f) высокочастотного электрического тока выбирают так, что согласно принципу токовихревого контроля происходит однозначное определение толщины (dr) при соотношении электрических проводимостей k2/k1 между 0,7 и 1,5.
а) через катушку возбуждения (3) пропускают высокочастотный электрический ток,
b) катушку возбуждения (3) приближают к защитному слою (1) так, что, по меньшей мере, в защитном слое (1), производится электрический вихревой ток,
с) определяют приданную в соответствие полному сопротивлению испытательной катушки (9) величину, которая по принципу токовихревого контроля служит в качестве основы для определения толщины (dr) слоя (1) и
d) частоту (f) высокочастотного электрического тока выбирают так, что согласно принципу токовихревого контроля происходит однозначное определение толщины (dr) при соотношении электрических проводимостей k2/k1 между 0,7 и 1,5.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что частоту (f) высокочастотного электрического тока выбирают так, что глубина проникновения (d) вихревого тока является большей, чем максимальная ожидаемая толщина (de) защитного слоя (1), в частности, составляет до порядка четырехкратной от максимальной ожидаемой толщины (de).
3. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что частоту (f) электрического тока выбирают между 1,5 МГц и 3,5 МГц, в частности, между 2 МГц и 3 МГц.
4. Способ по любому из пп.1 - 3, отличающийся тем, что приданную в соответствие полному сопротивлению испытательной катушки (9) величину определяют при механическом контакте катушки возбуждения (3) со слоем (1), причем испытательная катушка (3) электрически изолирована относительно слоя (1).
5. Способ по любому из пп.1 - 4, отличающийся тем, что максимальную ожидаемую толщину (de) определяют приближенно посредством испытательного измерения с задаваемой испытательной частотой (ft) и выводят отсюда частоту (f) с учетом проводимостей k2 и k1.
6. Способ по любому из пп.1 - 5, отличающийся тем, что
а) подготавливают набор деталей с известной толщиной слоя, служащих в качестве испытательных тел,
b) на каждом испытательном теле с множеством различных приближенных частот (fp) определяют величину, приданную в соответствие полному сопротивлению испытательной катушки (9), и
с) в качестве частоты (f) выбирают приближенную частоту (fp1) с достаточно высокой разрешающей способностью и высокой линейностью в величине, приданной в соответствие полному сопротивлению.
а) подготавливают набор деталей с известной толщиной слоя, служащих в качестве испытательных тел,
b) на каждом испытательном теле с множеством различных приближенных частот (fp) определяют величину, приданную в соответствие полному сопротивлению испытательной катушки (9), и
с) в качестве частоты (f) выбирают приближенную частоту (fp1) с достаточно высокой разрешающей способностью и высокой линейностью в величине, приданной в соответствие полному сопротивлению.
7. Способ по п.6, отличающийся тем, что для выбора приближенных частот (fp) подготавливают покрытые слоем (1) предварительные пробные тела, в частности, простой геометрии и с множеством испытательных частот определяют приданную в соответствие полному сопротивлению испытательной катушки (9) величину, и из испытательных частот определяют таковую с наилучшей разрешающей способностью и используют в качестве приближенных частот.
8. Способ по любому из пп.1-7, отличающийся тем, что определенную, приданную в соответствие полному сопротивлению испытательной катушки (9) величину сравнивают с опорными значениями и определяют отсюда толщину (dr) защитного слоя (1).
9. Способ по любому из предыдущих пунктов отличающийся тем, что его реализуют для лопатки газовой турбины с защитным слоем (1) из сплава типа MCrAlY, где М означает один из металлов железо, никель и/или кобальт или сплав из них, Cr - хром, Al - алюминий и Y - иттрий, гафний или подобный металл.
10. Устройство (4) для определения толщины (dr) защитного слоя (1) с электрической проводимостью k1 детали турбинной установки, причем защитный слой (1) нанесен на основном материале (2) детали с электрической проводимостью k2, и причем электрические проводимости k1 и k2 отличны друг от друга, отличающееся тем, что оно содержит катушку возбуждения (3), которая соединена с источником переменного тока (5), и испытательную катушку ( 9 ), которая соединена с измерительным блоком (6) для определения полного сопротивления и с блоком оценки для определения толщины (dr) слоя (1).
11. Устройство (4) по п.10, отличающееся тем, что катушка возбуждения (3) выполнена гибкой для создания хорошего механического контакта со слоем (1).
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19548508 | 1995-12-22 | ||
| DE19548508.4 | 1995-12-22 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU98113860A true RU98113860A (ru) | 2000-05-20 |
| RU2194243C2 RU2194243C2 (ru) | 2002-12-10 |
Family
ID=7781261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU98113860/28A RU2194243C2 (ru) | 1995-12-22 | 1996-12-10 | Способ и устройство для определения толщины электрически проводящего слоя |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6040694A (ru) |
| EP (1) | EP0868646B1 (ru) |
| JP (1) | JP2000502189A (ru) |
| DE (1) | DE59610353D1 (ru) |
| ES (1) | ES2197260T3 (ru) |
| RU (1) | RU2194243C2 (ru) |
| WO (1) | WO1997023762A2 (ru) |
Families Citing this family (41)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1141654B1 (de) * | 1998-12-18 | 2005-03-02 | Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG | Betreiben eines wirbelstromsensors |
| ES2155035B1 (es) * | 1999-07-09 | 2001-12-01 | Univ Oviedo | Sistema de medicion de la cantidad de recubrimiento metalico sobre alambres de acero. |
| US6369566B1 (en) * | 1999-09-27 | 2002-04-09 | Framatone Anp Inc. | Method for measuring crud thickness on nuclear fuel rods |
| DE10001516B4 (de) * | 2000-01-15 | 2014-05-08 | Alstom Technology Ltd. | Zerstörungsfreies Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke einer metallischen Schutzschicht auf einem metallischen Grundmaterial |
| DE10014348B4 (de) * | 2000-03-24 | 2009-03-12 | Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung zur zerstörungsfreien Messung der Dicke dünner Schichten |
| TWI241398B (en) * | 2000-03-28 | 2005-10-11 | Toshiba Corp | Eddy current loss measuring sensor, film thickness measuring device, film thickness measuring method and recording medium |
| JP4874465B2 (ja) * | 2000-03-28 | 2012-02-15 | 株式会社東芝 | 渦電流損失測定センサ |
| DE10128961A1 (de) * | 2001-06-15 | 2003-01-02 | Siemens Ag | Verfahren zur zerstörungsfreien Prüfung einer Nickel- oder Kobalt-Basislegierung |
| WO2002079774A2 (de) * | 2001-03-16 | 2002-10-10 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur zerstörungsfreien prüfung carbidhaltiger oder in oberflächennähe sulfidierter legierungen |
| KR100435341B1 (ko) * | 2001-11-09 | 2004-06-10 | 현대자동차주식회사 | 대기 정화 장치용 오존 저감 장치 |
| EP1394360A1 (de) | 2002-08-23 | 2004-03-03 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zur zerstörungsfreien Prüfung eines Bauteils sowie zur Herstellung einer Gasturbinenschaufel |
| US6819120B2 (en) * | 2002-11-13 | 2004-11-16 | Northrop Grumman Corporation | Non-contact surface conductivity measurement probe |
| US6894491B2 (en) * | 2002-12-23 | 2005-05-17 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for metrological process control implementing complementary sensors |
| JP4451111B2 (ja) * | 2003-10-20 | 2010-04-14 | 株式会社荏原製作所 | 渦電流センサ |
| US7068041B2 (en) * | 2003-11-26 | 2006-06-27 | General Electric Company | Method and system for multi-frequency inductive ratio measurement |
| SE527091C2 (sv) * | 2003-12-31 | 2005-12-20 | Abb Ab | Metod och anordning för beröringsfri mätning av tjocklek och elektriska ledningsförmåga hos ett mätobjekt |
| DE102004034083A1 (de) * | 2004-07-15 | 2006-02-09 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur berührungsfreien Bestimmung einer Schichtdicke durch Widerstands- und Induktivitätsmessung einer Sensorspule |
| US20060038558A1 (en) * | 2004-08-20 | 2006-02-23 | The Boeing Company | Eddy current inspection device |
| US7123031B2 (en) * | 2004-12-20 | 2006-10-17 | Siemens Power Generation, Inc. | System for on-line assessment of the condition of thermal coating on a turbine vane |
| US7887534B2 (en) * | 2006-01-18 | 2011-02-15 | Stryker Corporation | Electrosurgical system |
| FR2900471B1 (fr) * | 2006-04-26 | 2008-12-26 | Snecma Sa | Mesure des epaisseurs de paroi, notamment d'aube, par courants de foucault |
| DE102006025356A1 (de) * | 2006-05-31 | 2007-12-06 | Siemens Ag | Verfahren zum Bestimmen der Schichtdicke einer elektrisch leitfähigen Beschichtung auf einem elektrisch leitfähigen Substrat |
| DE102006040869B4 (de) * | 2006-08-31 | 2013-07-04 | Thermosensorik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Detektierung eines Fehlers in einem schichtartigen nichtmetallischen Prüfling |
| JP5495493B2 (ja) * | 2008-02-07 | 2014-05-21 | 株式会社東京精密 | 膜厚測定装置、及び膜厚測定方法 |
| GB0820930D0 (en) * | 2008-11-17 | 2008-12-24 | Dvs Techology Ltd | Coating thickness measurement |
| CN102356296B (zh) * | 2009-03-17 | 2014-05-07 | Abb公司 | 一种测量设置在金属物件上的金属层的厚度的方法和装置 |
| US9194687B1 (en) * | 2010-02-04 | 2015-11-24 | Textron Innovations Inc. | System and method for measuring non-conductive coating thickness using eddy currents |
| KR101138757B1 (ko) | 2010-08-10 | 2012-04-24 | 삼성중공업 주식회사 | 도막 측정 장치 |
| US8692564B2 (en) * | 2011-02-04 | 2014-04-08 | General Electric Company | System and method for use in determining the thickness of a layer of interest in a multi-layer structure |
| US8564284B2 (en) * | 2011-02-11 | 2013-10-22 | Siemens Energy, Inc. | Fault detection for laminated core |
| US9030219B2 (en) * | 2012-03-01 | 2015-05-12 | Kla-Tencor Corporation | Variable pressure four-point coated probe pin device and method |
| RU2495370C1 (ru) * | 2012-05-25 | 2013-10-10 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП НПП "Исток") | Устройство для контроля толщины проводящей пленки изделий электронной техники |
| US9103652B2 (en) | 2012-06-21 | 2015-08-11 | International Business Machines Corporation | Non-contact sheet conductivity measurements implementing a rotating magnetic braking system |
| TW201418667A (zh) * | 2012-11-08 | 2014-05-16 | Taiwan Power Testing Technology Co Ltd | 纖維布料之厚度檢測方法及設備 |
| FR3033895B1 (fr) * | 2015-03-18 | 2018-08-31 | Airbus Operations | Outil de verification destine a verifier l'etat d'une couche de placage d'un element |
| CN106152927A (zh) * | 2015-03-23 | 2016-11-23 | 佛山市顺德区美的电热电器制造有限公司 | 检测金属厚度的装置及方法 |
| DE102020205857A1 (de) | 2020-05-08 | 2021-11-11 | Volkswagen Aktiengesellschaft | Prüfsystem, Prüfanlage und Verfahren zur Deckschichtanalyse eines beschichteten Bauteils |
| DE202020103194U1 (de) | 2020-06-03 | 2020-06-29 | Bornemann Gewindetechnik GmbH & Co. KG | Verbesserte Baugruppe mit Helixform und Anlage umfassend die verbesserte Baugruppe |
| DE102021211836A1 (de) | 2021-09-30 | 2023-03-30 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Messeinrichtung |
| DE102022100439B4 (de) | 2022-01-11 | 2025-05-08 | Berger Holding GmbH & Co. KG | Technik zur Messung des Verschleißes eines Kugelgewindetriebs |
| CN116678305B (zh) * | 2023-06-20 | 2025-09-30 | 电子科技大学 | 一种基于扫频涡流的涂覆层厚度测量方法 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU824016A1 (ru) * | 1979-07-27 | 1981-04-23 | Московский Ордена Ленина Энергетическийинститут | Устройство дл электромагнитногоКОНТРОл элЕКТРОпРОВОд щиХ пОКРыТийНА элЕКТРОпРОВОд щЕМ ОСНОВАНии |
| JPS5967405A (ja) * | 1982-09-30 | 1984-04-17 | Sumitomo Metal Ind Ltd | ライナ厚測定方法 |
| SU1663400A1 (ru) * | 1986-06-28 | 1991-07-15 | Физико-Энергетический Институт Ан Латвсср | Устройство дл измерени толщины металлических покрытий |
| US5017869A (en) * | 1989-12-14 | 1991-05-21 | General Electric Company | Swept frequency eddy current system for measuring coating thickness |
| US5430376A (en) * | 1993-06-09 | 1995-07-04 | General Electric Company | Combined thermoelectric and eddy-current method and apparatus for nondestructive testing of metallic of semiconductor coated objects |
-
1996
- 1996-12-10 RU RU98113860/28A patent/RU2194243C2/ru not_active IP Right Cessation
- 1996-12-10 ES ES96946183T patent/ES2197260T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1996-12-10 DE DE59610353T patent/DE59610353D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-12-10 EP EP96946183A patent/EP0868646B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-12-10 JP JP09523206A patent/JP2000502189A/ja not_active Ceased
- 1996-12-10 WO PCT/DE1996/002383 patent/WO1997023762A2/de not_active Ceased
-
1998
- 1998-06-22 US US09/103,161 patent/US6040694A/en not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU98113860A (ru) | Способ и устройство для определения толщины электрически проводящего слоя | |
| RU2194243C2 (ru) | Способ и устройство для определения толщины электрически проводящего слоя | |
| EP1314957B1 (en) | Method and apparatus for measuring turbine blade tip clearance | |
| Tai et al. | Thickness and conductivity of metallic layers from pulsed eddy‐current measurements | |
| US4855677A (en) | Multiple coil eddy current probe and method of flaw detection | |
| US7521926B2 (en) | Method for testing a component in a non-destructive manner and for producing a gas turbine blade | |
| EP1014079B1 (en) | Method for fabricating and inspecting coatings | |
| EP1007263A4 (en) | MEASURING THE QUALITY OF THE WELDING | |
| AU700581B2 (en) | Method and installation for measuring the thickness of a non-ferromagnetic conductive layer on a ferromagnetic conductive substrate | |
| US5365663A (en) | Method of attaching a monitor target to a shrouded blade | |
| Nonaka | A double coil method for simultaneously measuring the resistivity, permeability, and thickness of a moving metal sheet | |
| EP0627609A1 (en) | Method for determining thickness of material deposition on nuclear fuel rods | |
| JP4020361B2 (ja) | 非破壊き裂深さ判定法 | |
| GB2293016A (en) | Anodic capacity gauge | |
| CA3102180A1 (en) | Device for the in-line measurement of the percentage of austenite in steels | |
| Danon et al. | Characterizing tantalum sputtered coatings on steel by using eddy currents | |
| US5886522A (en) | Dual mode coating thickness measuring probe for determining the thickness of a coating on ferrous and non-ferrous substrates | |
| Antonelli et al. | Thickness measurement of MCrAlY high-temperature coatings by frequency scanning eddy current technique | |
| WO1995027896A1 (en) | Measurement | |
| US4452086A (en) | Electrodynamic ultrasonic transformer | |
| Stevens et al. | Calibration of eddy current carburization measurements in ethylene production tubes using ion beam analysis | |
| GB2306009A (en) | Coating thickness gauge | |
| Botez et al. | Characterisation of metallic layers deposited throught thermal spraying | |
| Tai et al. | Characterization of coatings on magnetic metals using swept-frequency eddy current and transient eddy current methods | |
| Palanisamy et al. | Eddy current detection of subsurface cracks in engine disk boltholes |