[go: up one dir, main page]

RU98113860A - Способ и устройство для определения толщины электрически проводящего слоя - Google Patents

Способ и устройство для определения толщины электрически проводящего слоя

Info

Publication number
RU98113860A
RU98113860A RU98113860/28A RU98113860A RU98113860A RU 98113860 A RU98113860 A RU 98113860A RU 98113860/28 A RU98113860/28 A RU 98113860/28A RU 98113860 A RU98113860 A RU 98113860A RU 98113860 A RU98113860 A RU 98113860A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
test
thickness
frequency
protective layer
layer
Prior art date
Application number
RU98113860/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2194243C2 (ru
Inventor
Беккер Эрих
Original Assignee
Сименс Акциенгезелльшафт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Сименс Акциенгезелльшафт filed Critical Сименс Акциенгезелльшафт
Publication of RU98113860A publication Critical patent/RU98113860A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2194243C2 publication Critical patent/RU2194243C2/ru

Links

Claims (11)

1. Способ для определения толщины (dr) защитного слоя (1) с электрической проводимостью k1 детали турбинной установки, причем защитный слой (1) нанесен на основном материале (2) детали с электрической проводимостью k2, и причем электрические проводимости k1 и k2 отличны друг от друга, отличающийся тем, что
а) через катушку возбуждения (3) пропускают высокочастотный электрический ток,
b) катушку возбуждения (3) приближают к защитному слою (1) так, что, по меньшей мере, в защитном слое (1), производится электрический вихревой ток,
с) определяют приданную в соответствие полному сопротивлению испытательной катушки (9) величину, которая по принципу токовихревого контроля служит в качестве основы для определения толщины (dr) слоя (1) и
d) частоту (f) высокочастотного электрического тока выбирают так, что согласно принципу токовихревого контроля происходит однозначное определение толщины (dr) при соотношении электрических проводимостей k2/k1 между 0,7 и 1,5.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что частоту (f) высокочастотного электрического тока выбирают так, что глубина проникновения (d) вихревого тока является большей, чем максимальная ожидаемая толщина (de) защитного слоя (1), в частности, составляет до порядка четырехкратной от максимальной ожидаемой толщины (de).
3. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что частоту (f) электрического тока выбирают между 1,5 МГц и 3,5 МГц, в частности, между 2 МГц и 3 МГц.
4. Способ по любому из пп.1 - 3, отличающийся тем, что приданную в соответствие полному сопротивлению испытательной катушки (9) величину определяют при механическом контакте катушки возбуждения (3) со слоем (1), причем испытательная катушка (3) электрически изолирована относительно слоя (1).
5. Способ по любому из пп.1 - 4, отличающийся тем, что максимальную ожидаемую толщину (de) определяют приближенно посредством испытательного измерения с задаваемой испытательной частотой (ft) и выводят отсюда частоту (f) с учетом проводимостей k2 и k1.
6. Способ по любому из пп.1 - 5, отличающийся тем, что
а) подготавливают набор деталей с известной толщиной слоя, служащих в качестве испытательных тел,
b) на каждом испытательном теле с множеством различных приближенных частот (fp) определяют величину, приданную в соответствие полному сопротивлению испытательной катушки (9), и
с) в качестве частоты (f) выбирают приближенную частоту (fp1) с достаточно высокой разрешающей способностью и высокой линейностью в величине, приданной в соответствие полному сопротивлению.
7. Способ по п.6, отличающийся тем, что для выбора приближенных частот (fp) подготавливают покрытые слоем (1) предварительные пробные тела, в частности, простой геометрии и с множеством испытательных частот определяют приданную в соответствие полному сопротивлению испытательной катушки (9) величину, и из испытательных частот определяют таковую с наилучшей разрешающей способностью и используют в качестве приближенных частот.
8. Способ по любому из пп.1-7, отличающийся тем, что определенную, приданную в соответствие полному сопротивлению испытательной катушки (9) величину сравнивают с опорными значениями и определяют отсюда толщину (dr) защитного слоя (1).
9. Способ по любому из предыдущих пунктов отличающийся тем, что его реализуют для лопатки газовой турбины с защитным слоем (1) из сплава типа MCrAlY, где М означает один из металлов железо, никель и/или кобальт или сплав из них, Cr - хром, Al - алюминий и Y - иттрий, гафний или подобный металл.
10. Устройство (4) для определения толщины (dr) защитного слоя (1) с электрической проводимостью k1 детали турбинной установки, причем защитный слой (1) нанесен на основном материале (2) детали с электрической проводимостью k2, и причем электрические проводимости k1 и k2 отличны друг от друга, отличающееся тем, что оно содержит катушку возбуждения (3), которая соединена с источником переменного тока (5), и испытательную катушку ( 9 ), которая соединена с измерительным блоком (6) для определения полного сопротивления и с блоком оценки для определения толщины (dr) слоя (1).
11. Устройство (4) по п.10, отличающееся тем, что катушка возбуждения (3) выполнена гибкой для создания хорошего механического контакта со слоем (1).
RU98113860/28A 1995-12-22 1996-12-10 Способ и устройство для определения толщины электрически проводящего слоя RU2194243C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19548508 1995-12-22
DE19548508.4 1995-12-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU98113860A true RU98113860A (ru) 2000-05-20
RU2194243C2 RU2194243C2 (ru) 2002-12-10

Family

ID=7781261

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU98113860/28A RU2194243C2 (ru) 1995-12-22 1996-12-10 Способ и устройство для определения толщины электрически проводящего слоя

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6040694A (ru)
EP (1) EP0868646B1 (ru)
JP (1) JP2000502189A (ru)
DE (1) DE59610353D1 (ru)
ES (1) ES2197260T3 (ru)
RU (1) RU2194243C2 (ru)
WO (1) WO1997023762A2 (ru)

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1141654B1 (de) * 1998-12-18 2005-03-02 Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG Betreiben eines wirbelstromsensors
ES2155035B1 (es) * 1999-07-09 2001-12-01 Univ Oviedo Sistema de medicion de la cantidad de recubrimiento metalico sobre alambres de acero.
US6369566B1 (en) * 1999-09-27 2002-04-09 Framatone Anp Inc. Method for measuring crud thickness on nuclear fuel rods
DE10001516B4 (de) * 2000-01-15 2014-05-08 Alstom Technology Ltd. Zerstörungsfreies Verfahren zur Bestimmung der Schichtdicke einer metallischen Schutzschicht auf einem metallischen Grundmaterial
DE10014348B4 (de) * 2000-03-24 2009-03-12 Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zur zerstörungsfreien Messung der Dicke dünner Schichten
TWI241398B (en) * 2000-03-28 2005-10-11 Toshiba Corp Eddy current loss measuring sensor, film thickness measuring device, film thickness measuring method and recording medium
JP4874465B2 (ja) * 2000-03-28 2012-02-15 株式会社東芝 渦電流損失測定センサ
DE10128961A1 (de) * 2001-06-15 2003-01-02 Siemens Ag Verfahren zur zerstörungsfreien Prüfung einer Nickel- oder Kobalt-Basislegierung
WO2002079774A2 (de) * 2001-03-16 2002-10-10 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur zerstörungsfreien prüfung carbidhaltiger oder in oberflächennähe sulfidierter legierungen
KR100435341B1 (ko) * 2001-11-09 2004-06-10 현대자동차주식회사 대기 정화 장치용 오존 저감 장치
EP1394360A1 (de) 2002-08-23 2004-03-03 Siemens Aktiengesellschaft Verfahren zur zerstörungsfreien Prüfung eines Bauteils sowie zur Herstellung einer Gasturbinenschaufel
US6819120B2 (en) * 2002-11-13 2004-11-16 Northrop Grumman Corporation Non-contact surface conductivity measurement probe
US6894491B2 (en) * 2002-12-23 2005-05-17 Lam Research Corporation Method and apparatus for metrological process control implementing complementary sensors
JP4451111B2 (ja) * 2003-10-20 2010-04-14 株式会社荏原製作所 渦電流センサ
US7068041B2 (en) * 2003-11-26 2006-06-27 General Electric Company Method and system for multi-frequency inductive ratio measurement
SE527091C2 (sv) * 2003-12-31 2005-12-20 Abb Ab Metod och anordning för beröringsfri mätning av tjocklek och elektriska ledningsförmåga hos ett mätobjekt
DE102004034083A1 (de) * 2004-07-15 2006-02-09 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur berührungsfreien Bestimmung einer Schichtdicke durch Widerstands- und Induktivitätsmessung einer Sensorspule
US20060038558A1 (en) * 2004-08-20 2006-02-23 The Boeing Company Eddy current inspection device
US7123031B2 (en) * 2004-12-20 2006-10-17 Siemens Power Generation, Inc. System for on-line assessment of the condition of thermal coating on a turbine vane
US7887534B2 (en) * 2006-01-18 2011-02-15 Stryker Corporation Electrosurgical system
FR2900471B1 (fr) * 2006-04-26 2008-12-26 Snecma Sa Mesure des epaisseurs de paroi, notamment d'aube, par courants de foucault
DE102006025356A1 (de) * 2006-05-31 2007-12-06 Siemens Ag Verfahren zum Bestimmen der Schichtdicke einer elektrisch leitfähigen Beschichtung auf einem elektrisch leitfähigen Substrat
DE102006040869B4 (de) * 2006-08-31 2013-07-04 Thermosensorik Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Detektierung eines Fehlers in einem schichtartigen nichtmetallischen Prüfling
JP5495493B2 (ja) * 2008-02-07 2014-05-21 株式会社東京精密 膜厚測定装置、及び膜厚測定方法
GB0820930D0 (en) * 2008-11-17 2008-12-24 Dvs Techology Ltd Coating thickness measurement
CN102356296B (zh) * 2009-03-17 2014-05-07 Abb公司 一种测量设置在金属物件上的金属层的厚度的方法和装置
US9194687B1 (en) * 2010-02-04 2015-11-24 Textron Innovations Inc. System and method for measuring non-conductive coating thickness using eddy currents
KR101138757B1 (ko) 2010-08-10 2012-04-24 삼성중공업 주식회사 도막 측정 장치
US8692564B2 (en) * 2011-02-04 2014-04-08 General Electric Company System and method for use in determining the thickness of a layer of interest in a multi-layer structure
US8564284B2 (en) * 2011-02-11 2013-10-22 Siemens Energy, Inc. Fault detection for laminated core
US9030219B2 (en) * 2012-03-01 2015-05-12 Kla-Tencor Corporation Variable pressure four-point coated probe pin device and method
RU2495370C1 (ru) * 2012-05-25 2013-10-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП НПП "Исток") Устройство для контроля толщины проводящей пленки изделий электронной техники
US9103652B2 (en) 2012-06-21 2015-08-11 International Business Machines Corporation Non-contact sheet conductivity measurements implementing a rotating magnetic braking system
TW201418667A (zh) * 2012-11-08 2014-05-16 Taiwan Power Testing Technology Co Ltd 纖維布料之厚度檢測方法及設備
FR3033895B1 (fr) * 2015-03-18 2018-08-31 Airbus Operations Outil de verification destine a verifier l'etat d'une couche de placage d'un element
CN106152927A (zh) * 2015-03-23 2016-11-23 佛山市顺德区美的电热电器制造有限公司 检测金属厚度的装置及方法
DE102020205857A1 (de) 2020-05-08 2021-11-11 Volkswagen Aktiengesellschaft Prüfsystem, Prüfanlage und Verfahren zur Deckschichtanalyse eines beschichteten Bauteils
DE202020103194U1 (de) 2020-06-03 2020-06-29 Bornemann Gewindetechnik GmbH & Co. KG Verbesserte Baugruppe mit Helixform und Anlage umfassend die verbesserte Baugruppe
DE102021211836A1 (de) 2021-09-30 2023-03-30 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung Messeinrichtung
DE102022100439B4 (de) 2022-01-11 2025-05-08 Berger Holding GmbH & Co. KG Technik zur Messung des Verschleißes eines Kugelgewindetriebs
CN116678305B (zh) * 2023-06-20 2025-09-30 电子科技大学 一种基于扫频涡流的涂覆层厚度测量方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU824016A1 (ru) * 1979-07-27 1981-04-23 Московский Ордена Ленина Энергетическийинститут Устройство дл электромагнитногоКОНТРОл элЕКТРОпРОВОд щиХ пОКРыТийНА элЕКТРОпРОВОд щЕМ ОСНОВАНии
JPS5967405A (ja) * 1982-09-30 1984-04-17 Sumitomo Metal Ind Ltd ライナ厚測定方法
SU1663400A1 (ru) * 1986-06-28 1991-07-15 Физико-Энергетический Институт Ан Латвсср Устройство дл измерени толщины металлических покрытий
US5017869A (en) * 1989-12-14 1991-05-21 General Electric Company Swept frequency eddy current system for measuring coating thickness
US5430376A (en) * 1993-06-09 1995-07-04 General Electric Company Combined thermoelectric and eddy-current method and apparatus for nondestructive testing of metallic of semiconductor coated objects

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU98113860A (ru) Способ и устройство для определения толщины электрически проводящего слоя
RU2194243C2 (ru) Способ и устройство для определения толщины электрически проводящего слоя
EP1314957B1 (en) Method and apparatus for measuring turbine blade tip clearance
Tai et al. Thickness and conductivity of metallic layers from pulsed eddy‐current measurements
US4855677A (en) Multiple coil eddy current probe and method of flaw detection
US7521926B2 (en) Method for testing a component in a non-destructive manner and for producing a gas turbine blade
EP1014079B1 (en) Method for fabricating and inspecting coatings
EP1007263A4 (en) MEASURING THE QUALITY OF THE WELDING
AU700581B2 (en) Method and installation for measuring the thickness of a non-ferromagnetic conductive layer on a ferromagnetic conductive substrate
US5365663A (en) Method of attaching a monitor target to a shrouded blade
Nonaka A double coil method for simultaneously measuring the resistivity, permeability, and thickness of a moving metal sheet
EP0627609A1 (en) Method for determining thickness of material deposition on nuclear fuel rods
JP4020361B2 (ja) 非破壊き裂深さ判定法
GB2293016A (en) Anodic capacity gauge
CA3102180A1 (en) Device for the in-line measurement of the percentage of austenite in steels
Danon et al. Characterizing tantalum sputtered coatings on steel by using eddy currents
US5886522A (en) Dual mode coating thickness measuring probe for determining the thickness of a coating on ferrous and non-ferrous substrates
Antonelli et al. Thickness measurement of MCrAlY high-temperature coatings by frequency scanning eddy current technique
WO1995027896A1 (en) Measurement
US4452086A (en) Electrodynamic ultrasonic transformer
Stevens et al. Calibration of eddy current carburization measurements in ethylene production tubes using ion beam analysis
GB2306009A (en) Coating thickness gauge
Botez et al. Characterisation of metallic layers deposited throught thermal spraying
Tai et al. Characterization of coatings on magnetic metals using swept-frequency eddy current and transient eddy current methods
Palanisamy et al. Eddy current detection of subsurface cracks in engine disk boltholes