[go: up one dir, main page]

RU98113860A - METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING THICKNESS OF ELECTRICALLY CONDUCTING LAYER - Google Patents

METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING THICKNESS OF ELECTRICALLY CONDUCTING LAYER

Info

Publication number
RU98113860A
RU98113860A RU98113860/28A RU98113860A RU98113860A RU 98113860 A RU98113860 A RU 98113860A RU 98113860/28 A RU98113860/28 A RU 98113860/28A RU 98113860 A RU98113860 A RU 98113860A RU 98113860 A RU98113860 A RU 98113860A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
test
thickness
frequency
protective layer
layer
Prior art date
Application number
RU98113860/28A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2194243C2 (en
Inventor
Беккер Эрих
Original Assignee
Сименс Акциенгезелльшафт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Сименс Акциенгезелльшафт filed Critical Сименс Акциенгезелльшафт
Publication of RU98113860A publication Critical patent/RU98113860A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2194243C2 publication Critical patent/RU2194243C2/en

Links

Claims (11)

1. Способ для определения толщины (dr) защитного слоя (1) с электрической проводимостью k1 детали турбинной установки, причем защитный слой (1) нанесен на основном материале (2) детали с электрической проводимостью k2, и причем электрические проводимости k1 и k2 отличны друг от друга, отличающийся тем, что
а) через катушку возбуждения (3) пропускают высокочастотный электрический ток,
b) катушку возбуждения (3) приближают к защитному слою (1) так, что, по меньшей мере, в защитном слое (1), производится электрический вихревой ток,
с) определяют приданную в соответствие полному сопротивлению испытательной катушки (9) величину, которая по принципу токовихревого контроля служит в качестве основы для определения толщины (dr) слоя (1) и
d) частоту (f) высокочастотного электрического тока выбирают так, что согласно принципу токовихревого контроля происходит однозначное определение толщины (dr) при соотношении электрических проводимостей k2/k1 между 0,7 и 1,5.
1. A method for determining the thickness (d r ) of a protective layer (1) with an electrical conductivity k 1 of a part of a turbine installation, wherein a protective layer (1) is applied to the main material (2) of a part with an electrical conductivity of k 2 , and wherein the electrical conductivity is k 1 and k 2 are different from each other, characterized in that
a) a high-frequency electric current is passed through an excitation coil (3),
b) the excitation coil (3) is brought closer to the protective layer (1) so that, at least in the protective layer (1), an electric eddy current is generated,
c) determine the value that is assigned to the impedance of the test coil (9), which, by the principle of eddy current control, serves as the basis for determining the thickness (d r ) of the layer (1) and
d) the frequency (f) of the high-frequency electric current is chosen so that according to the principle of eddy-current control, an unambiguous determination of the thickness (d r ) occurs with a ratio of electrical conductivities k 2 / k 1 between 0.7 and 1.5.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что частоту (f) высокочастотного электрического тока выбирают так, что глубина проникновения (d) вихревого тока является большей, чем максимальная ожидаемая толщина (de) защитного слоя (1), в частности, составляет до порядка четырехкратной от максимальной ожидаемой толщины (de).2. The method according to claim 1, characterized in that the frequency (f) of the high-frequency electric current is chosen so that the penetration depth (d) of the eddy current is greater than the maximum expected thickness (d e ) of the protective layer (1), in particular up to about four times the maximum expected thickness (d e ). 3. Способ по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что частоту (f) электрического тока выбирают между 1,5 МГц и 3,5 МГц, в частности, между 2 МГц и 3 МГц. 3. The method according to any one of the preceding paragraphs, characterized in that the frequency (f) of the electric current is selected between 1.5 MHz and 3.5 MHz, in particular between 2 MHz and 3 MHz. 4. Способ по любому из пп.1 - 3, отличающийся тем, что приданную в соответствие полному сопротивлению испытательной катушки (9) величину определяют при механическом контакте катушки возбуждения (3) со слоем (1), причем испытательная катушка (3) электрически изолирована относительно слоя (1). 4. The method according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the value assigned to the impedance of the test coil (9) is determined by mechanical contact of the excitation coil (3) with the layer (1), and the test coil (3) is electrically isolated relative to the layer (1). 5. Способ по любому из пп.1 - 4, отличающийся тем, что максимальную ожидаемую толщину (de) определяют приближенно посредством испытательного измерения с задаваемой испытательной частотой (ft) и выводят отсюда частоту (f) с учетом проводимостей k2 и k1.5. The method according to any one of claims 1 to 4, characterized in that the maximum expected thickness (d e ) is determined approximately by means of a test measurement with a given test frequency (f t ) and the frequency (f) is derived from this taking into account the conductivities k 2 and k 1 . 6. Способ по любому из пп.1 - 5, отличающийся тем, что
а) подготавливают набор деталей с известной толщиной слоя, служащих в качестве испытательных тел,
b) на каждом испытательном теле с множеством различных приближенных частот (fp) определяют величину, приданную в соответствие полному сопротивлению испытательной катушки (9), и
с) в качестве частоты (f) выбирают приближенную частоту (fp1) с достаточно высокой разрешающей способностью и высокой линейностью в величине, приданной в соответствие полному сопротивлению.
6. The method according to any one of claims 1 to 5, characterized in that
a) prepare a set of parts with a known layer thickness, serving as test bodies,
b) on each test body with a number of different approximate frequencies (f p ), a value is assigned that is mapped to the impedance of the test coil (9), and
c) as the frequency (f), select the approximate frequency (f p1 ) with a sufficiently high resolution and high linearity in magnitude, given in accordance with the impedance.
7. Способ по п.6, отличающийся тем, что для выбора приближенных частот (fp) подготавливают покрытые слоем (1) предварительные пробные тела, в частности, простой геометрии и с множеством испытательных частот определяют приданную в соответствие полному сопротивлению испытательной катушки (9) величину, и из испытательных частот определяют таковую с наилучшей разрешающей способностью и используют в качестве приближенных частот.7. The method according to claim 6, characterized in that for the selection of approximate frequencies (f p ), preliminary test bodies coated with a layer (1) are prepared, in particular, of simple geometry and with a plurality of test frequencies, the impedance of the test coil is matched (9) ) value, and from the test frequencies determine that with the best resolution and use as approximate frequencies. 8. Способ по любому из пп.1-7, отличающийся тем, что определенную, приданную в соответствие полному сопротивлению испытательной катушки (9) величину сравнивают с опорными значениями и определяют отсюда толщину (dr) защитного слоя (1).8. The method according to any one of claims 1 to 7, characterized in that a certain value, adjusted to the impedance of the test coil (9), is compared with the reference values and the thickness (d r ) of the protective layer (1) is determined from this. 9. Способ по любому из предыдущих пунктов отличающийся тем, что его реализуют для лопатки газовой турбины с защитным слоем (1) из сплава типа MCrAlY, где М означает один из металлов железо, никель и/или кобальт или сплав из них, Cr - хром, Al - алюминий и Y - иттрий, гафний или подобный металл. 9. The method according to any one of the preceding paragraphs, characterized in that it is implemented for a gas turbine blade with a protective layer (1) of an alloy of the MCrAlY type, where M is one of the metals iron, nickel and / or cobalt or an alloy of them, Cr is chromium Al is aluminum and Y is yttrium, hafnium, or a similar metal. 10. Устройство (4) для определения толщины (dr) защитного слоя (1) с электрической проводимостью k1 детали турбинной установки, причем защитный слой (1) нанесен на основном материале (2) детали с электрической проводимостью k2, и причем электрические проводимости k1 и k2 отличны друг от друга, отличающееся тем, что оно содержит катушку возбуждения (3), которая соединена с источником переменного тока (5), и испытательную катушку ( 9 ), которая соединена с измерительным блоком (6) для определения полного сопротивления и с блоком оценки для определения толщины (dr) слоя (1).10. Device (4) for determining the thickness (d r ) of the protective layer (1) with electric conductivity k 1 of the turbine plant component, and the protective layer (1) is deposited on the main material (2) of the component with electric conductivity k 2 , and moreover, electric conductivity k 1 and k 2 are different from each other, characterized in that it contains an excitation coil (3), which is connected to an alternating current source (5), and a test coil (9), which is connected to the measuring unit (6) to determine impedance and with an evaluation unit for determining the thickness thickness (d r ) layer (1). 11. Устройство (4) по п.10, отличающееся тем, что катушка возбуждения (3) выполнена гибкой для создания хорошего механического контакта со слоем (1). 11. The device (4) according to claim 10, characterized in that the excitation coil (3) is made flexible to create good mechanical contact with the layer (1).
RU98113860/28A 1995-12-22 1996-12-10 Method and device for determining electric conducting layer thickness RU2194243C2 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19548508 1995-12-22
DE19548508.4 1995-12-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU98113860A true RU98113860A (en) 2000-05-20
RU2194243C2 RU2194243C2 (en) 2002-12-10

Family

ID=7781261

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU98113860/28A RU2194243C2 (en) 1995-12-22 1996-12-10 Method and device for determining electric conducting layer thickness

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6040694A (en)
EP (1) EP0868646B1 (en)
JP (1) JP2000502189A (en)
DE (1) DE59610353D1 (en)
ES (1) ES2197260T3 (en)
RU (1) RU2194243C2 (en)
WO (1) WO1997023762A2 (en)

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2000037881A2 (en) * 1998-12-18 2000-06-29 Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg Method for operating an eddy current sensor and eddy current sensor
ES2155035B1 (en) * 1999-07-09 2001-12-01 Univ Oviedo MEASUREMENT SYSTEM OF THE QUANTITY OF METALLIC COATING ON STEEL WIRE.
US6369566B1 (en) * 1999-09-27 2002-04-09 Framatone Anp Inc. Method for measuring crud thickness on nuclear fuel rods
DE10001516B4 (en) * 2000-01-15 2014-05-08 Alstom Technology Ltd. Non-destructive method for determining the layer thickness of a metallic protective layer on a metallic base material
DE10014348B4 (en) * 2000-03-24 2009-03-12 Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg Device for nondestructive measurement of the thickness of thin layers
TWI241398B (en) * 2000-03-28 2005-10-11 Toshiba Corp Eddy current loss measuring sensor, film thickness measuring device, film thickness measuring method and recording medium
JP4874465B2 (en) * 2000-03-28 2012-02-15 株式会社東芝 Eddy current loss measurement sensor
WO2002079774A2 (en) * 2001-03-16 2002-10-10 Siemens Aktiengesellschaft Method for carrying out nondestructive testing of alloys, which contain carbides or which are sulfided near the surface
DE10128961A1 (en) * 2001-06-15 2003-01-02 Siemens Ag Non-destructive testing of a cast metal alloy, e.g. a gas turbine blade, registers corroded zones by eddy current measurements before the surface is cleaned and activated and covered by a protective layer
KR100435341B1 (en) * 2001-11-09 2004-06-10 현대자동차주식회사 ozone-reduced apparatus for OBD system
EP1394360A1 (en) 2002-08-23 2004-03-03 Siemens Aktiengesellschaft Nondestructive method for testing a component as well as method to produce a gas turbine blade
US6819120B2 (en) * 2002-11-13 2004-11-16 Northrop Grumman Corporation Non-contact surface conductivity measurement probe
US6894491B2 (en) * 2002-12-23 2005-05-17 Lam Research Corporation Method and apparatus for metrological process control implementing complementary sensors
JP4451111B2 (en) * 2003-10-20 2010-04-14 株式会社荏原製作所 Eddy current sensor
US7068041B2 (en) * 2003-11-26 2006-06-27 General Electric Company Method and system for multi-frequency inductive ratio measurement
SE527091C2 (en) * 2003-12-31 2005-12-20 Abb Ab Method and apparatus for contactless measurement of thickness and electrical conductivity of a measuring object
DE102004034083A1 (en) 2004-07-15 2006-02-09 Robert Bosch Gmbh Method for the non-contact determination of a layer thickness by resistance and inductance measurement of a sensor coil
US20060038558A1 (en) * 2004-08-20 2006-02-23 The Boeing Company Eddy current inspection device
US7123031B2 (en) * 2004-12-20 2006-10-17 Siemens Power Generation, Inc. System for on-line assessment of the condition of thermal coating on a turbine vane
US7887534B2 (en) * 2006-01-18 2011-02-15 Stryker Corporation Electrosurgical system
FR2900471B1 (en) * 2006-04-26 2008-12-26 Snecma Sa MEASUREMENT OF WALL THICKNESS, IN PARTICULAR OF DAWN, BY CURRENTS OF FOUCAULT
DE102006025356A1 (en) * 2006-05-31 2007-12-06 Siemens Ag Method for determining the layer thickness of an electrically conductive coating on an electrically conductive substrate
DE102006040869B4 (en) * 2006-08-31 2013-07-04 Thermosensorik Gmbh Method and device for detecting a fault in a layered non-metallic specimen
JP5495493B2 (en) * 2008-02-07 2014-05-21 株式会社東京精密 Film thickness measuring apparatus and film thickness measuring method
GB0820930D0 (en) * 2008-11-17 2008-12-24 Dvs Techology Ltd Coating thickness measurement
EP2409114B1 (en) 2009-03-17 2013-03-13 Abb Ab A method and an apparatus for measuring the thickness of a metal layer provided on a metal object
US9194687B1 (en) * 2010-02-04 2015-11-24 Textron Innovations Inc. System and method for measuring non-conductive coating thickness using eddy currents
KR101138757B1 (en) 2010-08-10 2012-04-24 삼성중공업 주식회사 Apparatus for measuring dry film thickness
US8692564B2 (en) * 2011-02-04 2014-04-08 General Electric Company System and method for use in determining the thickness of a layer of interest in a multi-layer structure
US8564284B2 (en) * 2011-02-11 2013-10-22 Siemens Energy, Inc. Fault detection for laminated core
US9030219B2 (en) * 2012-03-01 2015-05-12 Kla-Tencor Corporation Variable pressure four-point coated probe pin device and method
RU2495370C1 (en) * 2012-05-25 2013-10-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (ФГУП НПП "Исток") Device for monitoring of thickness of conducting film of items belonging to electronic equipment
US9103652B2 (en) 2012-06-21 2015-08-11 International Business Machines Corporation Non-contact sheet conductivity measurements implementing a rotating magnetic braking system
TW201418667A (en) * 2012-11-08 2014-05-16 Taiwan Power Testing Technology Co Ltd Apparatus of detecting thickness of fibre cloth and method therefor
FR3033895B1 (en) * 2015-03-18 2018-08-31 Airbus Operations VERIFICATION TOOL FOR VERIFYING THE STATE OF A VENEER LAYER OF AN ELEMENT
CN106152927A (en) * 2015-03-23 2016-11-23 佛山市顺德区美的电热电器制造有限公司 The device and method of detection metal thickness
DE102020205857A1 (en) 2020-05-08 2021-11-11 Volkswagen Aktiengesellschaft Test system, test facility and method for surface layer analysis of a coated component
DE202020103194U1 (en) 2020-06-03 2020-06-29 Bornemann Gewindetechnik GmbH & Co. KG Improved assembly with helix shape and system comprising the improved assembly
DE102021211836A1 (en) 2021-09-30 2023-03-30 Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung measuring device
DE102022100439B4 (en) 2022-01-11 2025-05-08 Berger Holding GmbH & Co. KG Technique for measuring the wear of a ball screw
CN116678305B (en) * 2023-06-20 2025-09-30 电子科技大学 A coating thickness measurement method based on swept frequency eddy current

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU824016A1 (en) * 1979-07-27 1981-04-23 Московский Ордена Ленина Энергетическийинститут Ctive base
JPS5967405A (en) * 1982-09-30 1984-04-17 Sumitomo Metal Ind Ltd Liner thickness measurement method
SU1663400A1 (en) * 1986-06-28 1991-07-15 Физико-Энергетический Институт Ан Латвсср Metalic coating thickness measuring device
US5017869A (en) * 1989-12-14 1991-05-21 General Electric Company Swept frequency eddy current system for measuring coating thickness
US5430376A (en) * 1993-06-09 1995-07-04 General Electric Company Combined thermoelectric and eddy-current method and apparatus for nondestructive testing of metallic of semiconductor coated objects

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU98113860A (en) METHOD AND DEVICE FOR DETERMINING THICKNESS OF ELECTRICALLY CONDUCTING LAYER
RU2194243C2 (en) Method and device for determining electric conducting layer thickness
EP1314957B1 (en) Method and apparatus for measuring turbine blade tip clearance
Tai et al. Thickness and conductivity of metallic layers from pulsed eddy‐current measurements
US6165542A (en) Method for fabricating and inspecting coatings
US7521926B2 (en) Method for testing a component in a non-destructive manner and for producing a gas turbine blade
US20050158511A1 (en) Wear monitoring system with embedded conductors
EP0332048A2 (en) Multiple coil eddy current probe and method of flaw detection
EP1007263A4 (en) QUALITY MEASUREMENT OF WELDING
AU700581B2 (en) Method and installation for measuring the thickness of a non-ferromagnetic conductive layer on a ferromagnetic conductive substrate
US5365663A (en) Method of attaching a monitor target to a shrouded blade
Nonaka A double coil method for simultaneously measuring the resistivity, permeability, and thickness of a moving metal sheet
JP4020361B2 (en) Nondestructive crack depth judgment method
GB2293016A (en) Anodic capacity gauge
CA3102180A1 (en) Device for the in-line measurement of the percentage of austenite in steels
Danon et al. Characterizing tantalum sputtered coatings on steel by using eddy currents
US5886522A (en) Dual mode coating thickness measuring probe for determining the thickness of a coating on ferrous and non-ferrous substrates
Antonelli et al. Thickness measurement of MCrAlY high-temperature coatings by frequency scanning eddy current technique
WO1995027896A1 (en) Measurement
US4452086A (en) Electrodynamic ultrasonic transformer
Stevens et al. Calibration of eddy current carburization measurements in ethylene production tubes using ion beam analysis
JPH06222021A (en) Method and apparatus for measuring deterioration of material
GB2306009A (en) Coating thickness gauge
Botez et al. Characterisation of metallic layers deposited throught thermal spraying
Tai et al. Characterization of coatings on magnetic metals using swept-frequency eddy current and transient eddy current methods