RU97102547A - Модулятор светоклапанной системы отражательного типа - Google Patents
Модулятор светоклапанной системы отражательного типаInfo
- Publication number
- RU97102547A RU97102547A RU97102547/09A RU97102547A RU97102547A RU 97102547 A RU97102547 A RU 97102547A RU 97102547/09 A RU97102547/09 A RU 97102547/09A RU 97102547 A RU97102547 A RU 97102547A RU 97102547 A RU97102547 A RU 97102547A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- valve system
- light valve
- layer
- modulator
- paragraphs
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 6
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 4
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 2
- 230000006378 damage Effects 0.000 claims 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims 1
Claims (24)
1. Модулятор светоклапанной системы отражательного типа, который имеет многослойную композицию, управляемую в электростатическом режиме, содержащую прозрачную подложку, поддерживающую первый прозрачный деформируемый слой и второй изолирующий диэлектрический деформируемый слой, при этом зеркальный слой устанавливается между ними, и третий диэлектрический изолирующий слой, устанавливаемый на внешней стороне второго слоя; по меньшей мере один из слоев между вторым слоем и подложкой является электропроводящим, а третий диэлектрический слой способен принимать потенциальный рельеф от одного или более электронных пучков посредством чего зеркальный слой подвергается местной деформации электростатическими силами, находящимися между потенциальным рельефом и проводящим слоем.
2. Модулятор светоклапанной системы согласно п.1, отличающийся тем, что зеркальный слой имеет один или несколько слоев, изготовленных из одного или нескольких материалов, один из которых по меньшей мере является, проводящим.
3. Модулятор светоклапанной системы согласно п. 1 или 2, отличающийся тем, что первый и второй слои изготовлены из эластомеров.
4. Модулятор светоклапанной системы согласно любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что каждый деформируемый слой имеет один или несколько слоев, изготовленных из одного или нескольких материалов.
5. Модулятор светоклапанной системы согласно любому из пп. 1-4, отличающийся тем, что третий слой имеет один или несколько слоев, при этом по меньшей мере один из них обладает свойствами, защищающими нижележащие слои от потока электронов.
6. Модулятор светоклапанной системы согласно п.5, отличающийся тем, что по меньшей мере один слой из вышеупомянутых слоев имеет низкий показатель скорости просачивания газов, исходящих из одного или нескольких нижележащих слоев, чтобы изолировать их от камеры электронного пучка.
7. Модулятор светоклапанной системы согласно любому предыдущему пункту, отличающийся тем, что многослойная структура настолько искривлена, что может получить любую желаемую оптическую кривизну и качество.
8. Модулятор светоклапанной системы согласно любому предыдущему пункту, отличающийся тем, что по меньшей мере один слой третьего слоя более плотный, чем два деформируемых слоя.
9. Модулятор светоклапанной системы согласно любому предшествующему пункту, отличающийся тем, что местная деформация зеркального слоя такова, что позволяет осуществлять значительное регулирование света посредством дифракционных процессов.
10. Модулятор светоклапанной системы согласно любого предыдущего пункта, отличающийся тем, что содержит проводящий слой на внешней стороне третьего слоя с отверстием любой желаемой формы, внутрь которого наносится заряд, который вызывает деформацию зеркала, при этом слой соответственно смещен, чтобы задержать вторичные электроны.
11. Воспроизводящая трубка деформируемой светоклапанной системы, имеющая оболочку с прозрачным дном, направленным в сторону одного или нескольких электронных прожекторов 36, отличающаяся тем, что в пределах вышеупомянутого дна установлен модулятор светоклапанной системы согласно предшествующему пункту.
12. Воспроизводящая трубка деформируемой светоклапанной системы согласно п.11, отличающаяся тем, что дно придает форму вышеупомянутой прозрачной подложке.
13. Воспроизводящая трубка деформируемой светоклапанной системы согласно п.11 или 12, отличающаяся тем, что периферийная часть многослойной структуры герметично закреплена под вакуумом на вышеупомянутой подложке.
14. Воспроизводящая трубка деформируемой светоклапанной системы согласно любому из пп. 11-13, отличающаяся тем, что стирание потенциального рельефа осуществляется непрерывно считывающим электронным пучком или пушкой, подобранной для того, чтобы производить стирание в течение любого желаемого периода длительности телевизионного кадра или в течение любого другого периода времени.
15. Воспроизводящая трубка деформируемой светоклапанной системы согласно пп. 11 - 13, отличающаяся тем, что существующий потенциальный рельеф на третьем слое стирается сканирующим электронным пучком по одной или нескольким строкам за раз (за единицу времени) или по одному или нескольким элементам изображения за раз (за единицу времени).
16. Воспроизводящая трубка деформируемой светоклапанной системы согласно любому из пп. 11-15, отличающаяся тем, что одна электронная пушка записывает вышеупомянутый потенциальный рельеф, а вторая электронная пушка выполняет функцию стирания.
17. Воспроизводящая трубка деформируемой светоклапанной системы согласно любому из пп. 11-16, отличающаяся тем, что положение деформации или холмики и долины каждого элемента изображения изменяются или заменяются с любой желаемой частотой, чтобы избежать разрушения композиции светоклапанной системы.
18. Воспроизводящая трубка деформируемой светоклапанной системы согласно любому из пп. 11-17, отличающаяся тем, что выбирается такое смещение трубки и режим работы, чтобы минимальный уровень яркости (Vмин) был выше уровня яркости, создаваемого эффектом перераспределения вторичной электронной эмиссии.
19. Воспроизводящая трубка деформируемой светоклапанной системы согласно любому из пп. 11 - 18, отличающаяся тем, что одна светоклапанная система регулирует два или более цветов света посредством записи двух или более рельефов различных дифракционных решеток или канавок различной длины волны одновременно в том же самом модуляторе.
20. Модулятор светоклапанной системы и воспроизводящая трубка согласно любому из пп. 11-19, отличающийся тем, что могут быть использованы в любой соответствующей оптической шлирен-системе.
21. Проекционная телевизионная система, имеющая оптическую шлирен-систему, экран и одну или несколько воспроизводящих трубок согласно любому из пп. 11-19, отличающаяся тем, что воспроизводящие трубки регулируются сигналами, которые заставляют модулятор светоклапанной системы модулировать свет, поступающий из источника света, посредством чего оптическая система проецирует изображение телевизионного типа на экран.
22. Проекционная телевизионная система, имеющая источник света, оптическую шлирен-систему, экран и одну или несколько воспроизводящих трубок согласно любому из пп. 11-19, отличающаяся тем, что воспроизводящие трубки регулируются сигналами, которые заставляют каждый модулятор светоклапанной системы модулировать один или несколько основных цветов света, поступающего из источника света, посредством чего оптическая система проецирует цветное изображение телевизионного типа на экран.
23. Проекционная телевизионная система, имеющая несколько индивидуальных систем согласно п. 21 или 22 без индивидуальных экранов, отличающаяся тем, что несколько спроецированных изображений располагаются край к краю, и содержимое воспроизведенных изображений точно совпадает у соответствующих краев, чтобы создать, в основном, непрерывное изображение на одном более крупном экране.
24. Проекционная телевизионная система согласно любому из пп. 21-23, отличающаяся тем, что длительность кадра и частота имеют любую желаемую величину, включая статическое изображение.
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB9417756.5 | 1994-09-02 | ||
| GB9417756A GB9417756D0 (en) | 1994-09-02 | 1994-09-02 | Electronic display devices |
| GBGB9507306.0A GB9507306D0 (en) | 1995-04-07 | 1995-04-07 | Electronic display devices |
| GB9507306.0 | 1995-04-07 | ||
| PCT/GB1995/002061 WO1996008031A1 (en) | 1994-09-02 | 1995-09-01 | Reflective light valve modulator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU97102547A true RU97102547A (ru) | 1999-03-10 |
| RU2143127C1 RU2143127C1 (ru) | 1999-12-20 |
Family
ID=26305562
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU97102547A RU2143127C1 (ru) | 1994-09-02 | 1995-09-01 | Модулятор светоклапанной системы отражательного типа |
Country Status (13)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5822110C1 (ru) |
| EP (1) | EP0778982B1 (ru) |
| JP (1) | JPH10505193A (ru) |
| CN (1) | CN1157668A (ru) |
| AT (1) | ATE194725T1 (ru) |
| AU (1) | AU686874B2 (ru) |
| CA (1) | CA2198105A1 (ru) |
| DE (1) | DE69517985T2 (ru) |
| DK (1) | DK0778982T3 (ru) |
| ES (1) | ES2149373T3 (ru) |
| PT (1) | PT778982E (ru) |
| RU (1) | RU2143127C1 (ru) |
| WO (1) | WO1996008031A1 (ru) |
Families Citing this family (107)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6674562B1 (en) * | 1994-05-05 | 2004-01-06 | Iridigm Display Corporation | Interferometric modulation of radiation |
| US7297471B1 (en) | 2003-04-15 | 2007-11-20 | Idc, Llc | Method for manufacturing an array of interferometric modulators |
| US7550794B2 (en) | 2002-09-20 | 2009-06-23 | Idc, Llc | Micromechanical systems device comprising a displaceable electrode and a charge-trapping layer |
| US6046840A (en) | 1995-06-19 | 2000-04-04 | Reflectivity, Inc. | Double substrate reflective spatial light modulator with self-limiting micro-mechanical elements |
| US8928967B2 (en) | 1998-04-08 | 2015-01-06 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method and device for modulating light |
| WO1999052006A2 (en) | 1998-04-08 | 1999-10-14 | Etalon, Inc. | Interferometric modulation of radiation |
| US6147789A (en) * | 1998-05-04 | 2000-11-14 | Gelbart; Daniel | High speed deformable mirror light valve |
| US6872984B1 (en) | 1998-07-29 | 2005-03-29 | Silicon Light Machines Corporation | Method of sealing a hermetic lid to a semiconductor die at an angle |
| US6031657A (en) * | 1998-10-15 | 2000-02-29 | Memsolutions, Inc. | Membrane-actuated charge controlled mirror (CCM) projection display |
| US5991066A (en) * | 1998-10-15 | 1999-11-23 | Memsolutions, Inc. | Membrane-actuated charge controlled mirror |
| FR2794251B1 (fr) * | 1999-05-27 | 2002-08-02 | Sfim Ind | Miroir a membrane deformable |
| US6268948B1 (en) * | 1999-06-11 | 2001-07-31 | Creo Products Inc. | Micromachined reflective light valve |
| WO2003007049A1 (en) * | 1999-10-05 | 2003-01-23 | Iridigm Display Corporation | Photonic mems and structures |
| US6369498B1 (en) | 1999-11-03 | 2002-04-09 | Intel Corporation | Electron gun for addressing secondary emission targets |
| US6747775B2 (en) * | 2000-03-20 | 2004-06-08 | Np Photonics, Inc. | Detunable Fabry-Perot interferometer and an add/drop multiplexer using the same |
| US6747784B2 (en) | 2000-03-20 | 2004-06-08 | Np Photonics, Inc. | Compliant mechanism and method of forming same |
| US6678084B2 (en) | 2000-03-20 | 2004-01-13 | Np Photonics, Inc. | Methods of making mechanisms in which relative locations of elements are maintained during manufacturing |
| US6597461B1 (en) | 2000-03-20 | 2003-07-22 | Parvenu, Inc. | Tunable fabry-perot interferometer using entropic materials |
| US6665109B2 (en) | 2000-03-20 | 2003-12-16 | Np Photonics, Inc. | Compliant mechanism and method of forming same |
| AU2001249289A1 (en) | 2000-03-20 | 2001-10-03 | Solus Micro Technologies, Inc. | Electrostatically-actuated tunable optical components using entropic materials |
| US6346776B1 (en) | 2000-07-10 | 2002-02-12 | Memsolutions, Inc. | Field emission array (FEA) addressed deformable light valve modulator |
| US6611377B1 (en) * | 2000-07-10 | 2003-08-26 | Intel Corporation | Micromechanical diffraction phase grating |
| US6411425B1 (en) * | 2000-09-27 | 2002-06-25 | Eastman Kodak Company | Electromechanical grating display system with spatially separated light beams |
| US6531332B1 (en) | 2001-01-10 | 2003-03-11 | Parvenu, Inc. | Surface micromachining using a thick release process |
| US7177081B2 (en) | 2001-03-08 | 2007-02-13 | Silicon Light Machines Corporation | High contrast grating light valve type device |
| US6639722B2 (en) | 2001-08-15 | 2003-10-28 | Silicon Light Machines | Stress tuned blazed grating light valve |
| US6785001B2 (en) | 2001-08-21 | 2004-08-31 | Silicon Light Machines, Inc. | Method and apparatus for measuring wavelength jitter of light signal |
| US6930364B2 (en) | 2001-09-13 | 2005-08-16 | Silicon Light Machines Corporation | Microelectronic mechanical system and methods |
| US6639710B2 (en) * | 2001-09-19 | 2003-10-28 | Lucent Technologies Inc. | Method and apparatus for the correction of optical signal wave front distortion using adaptive optics |
| US6956995B1 (en) | 2001-11-09 | 2005-10-18 | Silicon Light Machines Corporation | Optical communication arrangement |
| US6794119B2 (en) | 2002-02-12 | 2004-09-21 | Iridigm Display Corporation | Method for fabricating a structure for a microelectromechanical systems (MEMS) device |
| RU2231859C2 (ru) * | 2002-02-18 | 2004-06-27 | ООО "Высокие технологии" | Электронная пушка |
| US6839479B2 (en) | 2002-05-29 | 2005-01-04 | Silicon Light Machines Corporation | Optical switch |
| US7054515B1 (en) | 2002-05-30 | 2006-05-30 | Silicon Light Machines Corporation | Diffractive light modulator-based dynamic equalizer with integrated spectral monitor |
| US20030234994A1 (en) * | 2002-06-19 | 2003-12-25 | Pan Shaoher X. | Reflective spatial light modulator |
| US6908201B2 (en) | 2002-06-28 | 2005-06-21 | Silicon Light Machines Corporation | Micro-support structures |
| US7057795B2 (en) | 2002-08-20 | 2006-06-06 | Silicon Light Machines Corporation | Micro-structures with individually addressable ribbon pairs |
| US7781850B2 (en) | 2002-09-20 | 2010-08-24 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Controlling electromechanical behavior of structures within a microelectromechanical systems device |
| US6928207B1 (en) | 2002-12-12 | 2005-08-09 | Silicon Light Machines Corporation | Apparatus for selectively blocking WDM channels |
| US6987600B1 (en) | 2002-12-17 | 2006-01-17 | Silicon Light Machines Corporation | Arbitrary phase profile for better equalization in dynamic gain equalizer |
| US7057819B1 (en) | 2002-12-17 | 2006-06-06 | Silicon Light Machines Corporation | High contrast tilting ribbon blazed grating |
| US6934070B1 (en) | 2002-12-18 | 2005-08-23 | Silicon Light Machines Corporation | Chirped optical MEM device |
| US6927891B1 (en) | 2002-12-23 | 2005-08-09 | Silicon Light Machines Corporation | Tilt-able grating plane for improved crosstalk in 1×N blaze switches |
| RU2230348C1 (ru) * | 2002-12-27 | 2004-06-10 | Гущо Юрий Петрович | Электрооптический преобразователь, гелеобразный слой для электрооптического преобразователя, способ приготовления гелеобразного слоя (варианты) и композиция для осуществления способа |
| US7068372B1 (en) | 2003-01-28 | 2006-06-27 | Silicon Light Machines Corporation | MEMS interferometer-based reconfigurable optical add-and-drop multiplexor |
| US7286764B1 (en) | 2003-02-03 | 2007-10-23 | Silicon Light Machines Corporation | Reconfigurable modulator-based optical add-and-drop multiplexer |
| US6947613B1 (en) | 2003-02-11 | 2005-09-20 | Silicon Light Machines Corporation | Wavelength selective switch and equalizer |
| US6922272B1 (en) | 2003-02-14 | 2005-07-26 | Silicon Light Machines Corporation | Method and apparatus for leveling thermal stress variations in multi-layer MEMS devices |
| US6747777B1 (en) | 2003-02-24 | 2004-06-08 | Cymscape Incorporated | Reflective microfluidics display particularly suited for large format applications |
| US7391973B1 (en) | 2003-02-28 | 2008-06-24 | Silicon Light Machines Corporation | Two-stage gain equalizer |
| US7027202B1 (en) | 2003-02-28 | 2006-04-11 | Silicon Light Machines Corp | Silicon substrate as a light modulator sacrificial layer |
| US7046420B1 (en) | 2003-02-28 | 2006-05-16 | Silicon Light Machines Corporation | MEM micro-structures and methods of making the same |
| US6922273B1 (en) | 2003-02-28 | 2005-07-26 | Silicon Light Machines Corporation | PDL mitigation structure for diffractive MEMS and gratings |
| US7042611B1 (en) | 2003-03-03 | 2006-05-09 | Silicon Light Machines Corporation | Pre-deflected bias ribbons |
| US7075593B2 (en) * | 2003-03-26 | 2006-07-11 | Video Display Corporation | Electron-beam-addressed active-matrix spatial light modulator |
| US6956692B2 (en) * | 2003-04-24 | 2005-10-18 | Micronic Laser Systems, Ab | Method and apparatus for controlling exposure of a surface of a substrate |
| US6930817B2 (en) * | 2003-04-25 | 2005-08-16 | Palo Alto Research Center Incorporated | Configurable grating based on surface relief pattern for use as a variable optical attenuator |
| US6853476B2 (en) * | 2003-04-30 | 2005-02-08 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Charge control circuit for a micro-electromechanical device |
| TW570896B (en) * | 2003-05-26 | 2004-01-11 | Prime View Int Co Ltd | A method for fabricating an interference display cell |
| US7221495B2 (en) * | 2003-06-24 | 2007-05-22 | Idc Llc | Thin film precursor stack for MEMS manufacturing |
| US7217582B2 (en) * | 2003-08-29 | 2007-05-15 | Rochester Institute Of Technology | Method for non-damaging charge injection and a system thereof |
| US7268933B2 (en) | 2003-12-21 | 2007-09-11 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Discharge of MEM devices having charge induced via focused beam to enter different states |
| US6943933B2 (en) * | 2003-12-21 | 2005-09-13 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | MEM devices having charge induced via focused beam to enter different states |
| KR101354520B1 (ko) | 2004-07-29 | 2014-01-21 | 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크. | 간섭 변조기의 미소기전 동작을 위한 시스템 및 방법 |
| US7369296B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-05-06 | Idc, Llc | Device and method for modifying actuation voltage thresholds of a deformable membrane in an interferometric modulator |
| US7417783B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-08-26 | Idc, Llc | Mirror and mirror layer for optical modulator and method |
| US7429334B2 (en) | 2004-09-27 | 2008-09-30 | Idc, Llc | Methods of fabricating interferometric modulators by selectively removing a material |
| US7492502B2 (en) | 2004-09-27 | 2009-02-17 | Idc, Llc | Method of fabricating a free-standing microstructure |
| US7328882B2 (en) * | 2005-01-06 | 2008-02-12 | Honeywell International Inc. | Microfluidic modulating valve |
| TW200628877A (en) | 2005-02-04 | 2006-08-16 | Prime View Int Co Ltd | Method of manufacturing optical interference type color display |
| KR101233422B1 (ko) * | 2005-03-03 | 2013-02-13 | 유리 페트로비치 구스쵸 | 광 방사선의 변조방법, 전기광학 변조기(변형) 및전기광학장치(변형) |
| US7535619B2 (en) * | 2005-04-27 | 2009-05-19 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Discharge of MEM devices having charge induced via focused beam to enter different states |
| JP2009503564A (ja) | 2005-07-22 | 2009-01-29 | クアルコム,インコーポレイテッド | Memsデバイスのための支持構造、およびその方法 |
| CN101228091A (zh) | 2005-07-22 | 2008-07-23 | 高通股份有限公司 | 用于mems装置的支撑结构及其方法 |
| RU2468988C2 (ru) | 2005-07-22 | 2012-12-10 | Квалкомм Инкорпорэйтэд | Устройства мэмс, имеющие поддерживающие структуры, и способы их изготовления |
| EP2495212A3 (en) | 2005-07-22 | 2012-10-31 | QUALCOMM MEMS Technologies, Inc. | Mems devices having support structures and methods of fabricating the same |
| US7630114B2 (en) | 2005-10-28 | 2009-12-08 | Idc, Llc | Diffusion barrier layer for MEMS devices |
| NO326468B1 (no) * | 2005-12-06 | 2008-12-08 | Ignis Display As | Modulator med innstillbart diffraksjonsgitter (TDG) med total intern refleksjon (TIR), fremgangsmate for fremstilling av en elastomer for anvedelse deri samt anvendelse av elastomeren. |
| US7795061B2 (en) | 2005-12-29 | 2010-09-14 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method of creating MEMS device cavities by a non-etching process |
| US7916980B2 (en) | 2006-01-13 | 2011-03-29 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Interconnect structure for MEMS device |
| US7382515B2 (en) | 2006-01-18 | 2008-06-03 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Silicon-rich silicon nitrides as etch stops in MEMS manufacture |
| US7547568B2 (en) | 2006-02-22 | 2009-06-16 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Electrical conditioning of MEMS device and insulating layer thereof |
| US7450295B2 (en) | 2006-03-02 | 2008-11-11 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Methods for producing MEMS with protective coatings using multi-component sacrificial layers |
| US7711239B2 (en) | 2006-04-19 | 2010-05-04 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Microelectromechanical device and method utilizing nanoparticles |
| US7623287B2 (en) | 2006-04-19 | 2009-11-24 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems |
| US7527996B2 (en) | 2006-04-19 | 2009-05-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems |
| US7417784B2 (en) | 2006-04-19 | 2008-08-26 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Microelectromechanical device and method utilizing a porous surface |
| US7405863B2 (en) | 2006-06-01 | 2008-07-29 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Patterning of mechanical layer in MEMS to reduce stresses at supports |
| US7321457B2 (en) | 2006-06-01 | 2008-01-22 | Qualcomm Incorporated | Process and structure for fabrication of MEMS device having isolated edge posts |
| JP4327183B2 (ja) * | 2006-07-31 | 2009-09-09 | 株式会社日立製作所 | 内燃機関の高圧燃料ポンプ制御装置 |
| US7763546B2 (en) | 2006-08-02 | 2010-07-27 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Methods for reducing surface charges during the manufacture of microelectromechanical systems devices |
| US7545552B2 (en) | 2006-10-19 | 2009-06-09 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Sacrificial spacer process and resultant structure for MEMS support structure |
| US7706042B2 (en) | 2006-12-20 | 2010-04-27 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS device and interconnects for same |
| US7535621B2 (en) | 2006-12-27 | 2009-05-19 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Aluminum fluoride films for microelectromechanical system applications |
| US7733552B2 (en) | 2007-03-21 | 2010-06-08 | Qualcomm Mems Technologies, Inc | MEMS cavity-coating layers and methods |
| US7719752B2 (en) | 2007-05-11 | 2010-05-18 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS structures, methods of fabricating MEMS components on separate substrates and assembly of same |
| US7625825B2 (en) | 2007-06-14 | 2009-12-01 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Method of patterning mechanical layer for MEMS structures |
| US7569488B2 (en) | 2007-06-22 | 2009-08-04 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Methods of making a MEMS device by monitoring a process parameter |
| US8068268B2 (en) | 2007-07-03 | 2011-11-29 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | MEMS devices having improved uniformity and methods for making them |
| US7863079B2 (en) | 2008-02-05 | 2011-01-04 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Methods of reducing CD loss in a microelectromechanical device |
| US7851239B2 (en) | 2008-06-05 | 2010-12-14 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Low temperature amorphous silicon sacrificial layer for controlled adhesion in MEMS devices |
| US7864403B2 (en) | 2009-03-27 | 2011-01-04 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Post-release adjustment of interferometric modulator reflectivity |
| US7990604B2 (en) * | 2009-06-15 | 2011-08-02 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Analog interferometric modulator |
| US8659816B2 (en) | 2011-04-25 | 2014-02-25 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Mechanical layer and methods of making the same |
| US20140039361A1 (en) * | 2012-08-06 | 2014-02-06 | The Hong Kong Polytechnic University | Methods and viewing systems for inhibiting ocular refractive disorders from progressing |
| US20150093500A1 (en) * | 2013-09-30 | 2015-04-02 | Intermolecular, Inc. | Corrosion-Resistant Silver Coatings with Improved Adhesion to III-V Materials |
| KR20220082422A (ko) * | 2020-12-10 | 2022-06-17 | 현대자동차주식회사 | 운전자 감시 장치, 차량 및 그 제어 방법 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3001447A (en) * | 1957-08-29 | 1961-09-26 | Zeiss Ikon A G Stuttgart | Image reproducing device for visible and invisible radiation images |
| US3626084A (en) * | 1970-06-12 | 1971-12-07 | Ibm | Deformographic storage display tube |
| US3676588A (en) * | 1970-10-29 | 1972-07-11 | Ibm | Deformographic target assembly with integral conductive member |
| US3746785A (en) * | 1971-11-26 | 1973-07-17 | Bendix Corp | Deflectable membrane optical modulator |
| US3990783A (en) * | 1972-09-11 | 1976-11-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Light modulating device |
| US3858080A (en) * | 1973-09-17 | 1974-12-31 | Ibm | Target assemblies especially for single chamber deformographic storage display tubes |
| US3879630A (en) * | 1974-04-01 | 1975-04-22 | Ibm | Reflective deformographic target assembly |
| US4035061A (en) * | 1976-03-26 | 1977-07-12 | Xerox Corporation | Honeycomb display devices |
| US4441791A (en) * | 1980-09-02 | 1984-04-10 | Texas Instruments Incorporated | Deformable mirror light modulator |
| FR2571198B1 (fr) * | 1984-09-28 | 1987-01-09 | Europ Propulsion | Restituteur d'images haute resolution autorisant le developpement en temps reel des films insoles |
| US5287215A (en) * | 1991-07-17 | 1994-02-15 | Optron Systems, Inc. | Membrane light modulation systems |
-
1995
- 1995-09-01 DK DK95930606T patent/DK0778982T3/da active
- 1995-09-01 EP EP95930606A patent/EP0778982B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-09-01 JP JP8509281A patent/JPH10505193A/ja active Pending
- 1995-09-01 CA CA002198105A patent/CA2198105A1/en not_active Abandoned
- 1995-09-01 ES ES95930606T patent/ES2149373T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1995-09-01 WO PCT/GB1995/002061 patent/WO1996008031A1/en not_active Ceased
- 1995-09-01 DE DE69517985T patent/DE69517985T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-09-01 CN CN95194881.4A patent/CN1157668A/zh active Pending
- 1995-09-01 AU AU33927/95A patent/AU686874B2/en not_active Ceased
- 1995-09-01 RU RU97102547A patent/RU2143127C1/ru active
- 1995-09-01 AT AT95930606T patent/ATE194725T1/de not_active IP Right Cessation
- 1995-09-01 PT PT95930606T patent/PT778982E/pt unknown
-
1997
- 1997-05-13 US US08793643 patent/US5822110C1/en not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU97102547A (ru) | Модулятор светоклапанной системы отражательного типа | |
| US2391450A (en) | Method and apparatus for reproducing television pictures | |
| RU2143127C1 (ru) | Модулятор светоклапанной системы отражательного типа | |
| AU661501B2 (en) | Membrane light modulating systems | |
| US2415226A (en) | Method of and apparatus for producing luminous images | |
| US5357289A (en) | Projector lens system having three lens groups for image projector | |
| US6832839B2 (en) | System for enhancing the quality of an image | |
| US3517126A (en) | Light value image projection system with deformable membrane and thin film target electrode | |
| US6980321B2 (en) | Method and apparatus for printing high resolution images using multiple reflective spatial light modulators | |
| US2528510A (en) | Color television | |
| US3626084A (en) | Deformographic storage display tube | |
| JP2001228553A (ja) | 反射型lcd変調器を用いた高解像度画像印刷方法及びその装置 | |
| GB944247A (en) | Improvements in or relating to light valve systems and electrical signal transducer apparatus therefor | |
| US6020940A (en) | Liquid crystal projector and method of driving the projector | |
| US3585283A (en) | Optical projection system with enhanced color resolution | |
| US7034985B1 (en) | Asymmetric spatial light modulator in a package | |
| EP0261377B1 (en) | System for masking light valve spill light | |
| US2601328A (en) | Color television | |
| US3251940A (en) | Light valve apparatus | |
| JP2919287B2 (ja) | ドーム型スクリーンにおける画像投映方法 | |
| US4724355A (en) | Backside disc flush for light valve projector | |
| US3270613A (en) | Colored light projection system | |
| US4721881A (en) | Neutralizing electrode for schlieren dark field light valve | |
| KR0176376B1 (ko) | 와이드 액정프로젝터의 광학장치 | |
| US3347133A (en) | Apparatus for projecting cylindrical objects as circular images |