[go: up one dir, main page]

RU97102547A - MODULATOR OF LIGHT-VALVE SYSTEM OF REFLECTIVE TYPE - Google Patents

MODULATOR OF LIGHT-VALVE SYSTEM OF REFLECTIVE TYPE

Info

Publication number
RU97102547A
RU97102547A RU97102547/09A RU97102547A RU97102547A RU 97102547 A RU97102547 A RU 97102547A RU 97102547/09 A RU97102547/09 A RU 97102547/09A RU 97102547 A RU97102547 A RU 97102547A RU 97102547 A RU97102547 A RU 97102547A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
valve system
light valve
layer
modulator
paragraphs
Prior art date
Application number
RU97102547/09A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2143127C1 (en
Inventor
Хассан Дэббедж Рэд
Original Assignee
Хассан Дэббедж Рэд
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from GB9417756A external-priority patent/GB9417756D0/en
Priority claimed from GBGB9507306.0A external-priority patent/GB9507306D0/en
Application filed by Хассан Дэббедж Рэд filed Critical Хассан Дэббедж Рэд
Priority claimed from PCT/GB1995/002061 external-priority patent/WO1996008031A1/en
Publication of RU97102547A publication Critical patent/RU97102547A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2143127C1 publication Critical patent/RU2143127C1/en

Links

Claims (24)

1. Модулятор светоклапанной системы отражательного типа, который имеет многослойную композицию, управляемую в электростатическом режиме, содержащую прозрачную подложку, поддерживающую первый прозрачный деформируемый слой и второй изолирующий диэлектрический деформируемый слой, при этом зеркальный слой устанавливается между ними, и третий диэлектрический изолирующий слой, устанавливаемый на внешней стороне второго слоя; по меньшей мере один из слоев между вторым слоем и подложкой является электропроводящим, а третий диэлектрический слой способен принимать потенциальный рельеф от одного или более электронных пучков посредством чего зеркальный слой подвергается местной деформации электростатическими силами, находящимися между потенциальным рельефом и проводящим слоем.1. The modulator of the light valve system of the reflective type, which has a multilayer composition controlled in the electrostatic mode, containing a transparent substrate that supports the first transparent deformable layer and the second insulating dielectric deformable layer, the mirror layer being installed between them, and the third dielectric insulating layer mounted on the outer side of the second layer; at least one of the layers between the second layer and the substrate is electrically conductive, and the third dielectric layer is capable of receiving potential relief from one or more electron beams, whereby the mirror layer undergoes local deformation by electrostatic forces between the potential relief and the conductive layer. 2. Модулятор светоклапанной системы согласно п.1, отличающийся тем, что зеркальный слой имеет один или несколько слоев, изготовленных из одного или нескольких материалов, один из которых по меньшей мере является, проводящим. 2. The modulator of the light valve system according to claim 1, characterized in that the mirror layer has one or more layers made of one or more materials, one of which is at least conductive. 3. Модулятор светоклапанной системы согласно п. 1 или 2, отличающийся тем, что первый и второй слои изготовлены из эластомеров. 3. The modulator of the light valve system according to claim 1 or 2, characterized in that the first and second layers are made of elastomers. 4. Модулятор светоклапанной системы согласно любому из пп. 1-3, отличающийся тем, что каждый деформируемый слой имеет один или несколько слоев, изготовленных из одного или нескольких материалов. 4. The modulator of the light valve system according to any one of paragraphs. 1-3, characterized in that each deformable layer has one or more layers made of one or more materials. 5. Модулятор светоклапанной системы согласно любому из пп. 1-4, отличающийся тем, что третий слой имеет один или несколько слоев, при этом по меньшей мере один из них обладает свойствами, защищающими нижележащие слои от потока электронов. 5. The modulator of the light valve system according to any one of paragraphs. 1-4, characterized in that the third layer has one or more layers, while at least one of them has properties that protect the underlying layers from the flow of electrons. 6. Модулятор светоклапанной системы согласно п.5, отличающийся тем, что по меньшей мере один слой из вышеупомянутых слоев имеет низкий показатель скорости просачивания газов, исходящих из одного или нескольких нижележащих слоев, чтобы изолировать их от камеры электронного пучка. 6. The modulator of the light valve system according to claim 5, characterized in that at least one layer of the aforementioned layers has a low rate of leakage of gases emanating from one or more underlying layers in order to isolate them from the electron beam chamber. 7. Модулятор светоклапанной системы согласно любому предыдущему пункту, отличающийся тем, что многослойная структура настолько искривлена, что может получить любую желаемую оптическую кривизну и качество. 7. The modulator of the light valve system according to any preceding paragraph, characterized in that the multilayer structure is so curved that it can obtain any desired optical curvature and quality. 8. Модулятор светоклапанной системы согласно любому предыдущему пункту, отличающийся тем, что по меньшей мере один слой третьего слоя более плотный, чем два деформируемых слоя. 8. The modulator of the light valve system according to any preceding paragraph, characterized in that at least one layer of the third layer is more dense than two deformable layers. 9. Модулятор светоклапанной системы согласно любому предшествующему пункту, отличающийся тем, что местная деформация зеркального слоя такова, что позволяет осуществлять значительное регулирование света посредством дифракционных процессов. 9. The modulator of the light valve system according to any preceding paragraph, characterized in that the local deformation of the mirror layer is such that it allows significant control of the light through diffraction processes. 10. Модулятор светоклапанной системы согласно любого предыдущего пункта, отличающийся тем, что содержит проводящий слой на внешней стороне третьего слоя с отверстием любой желаемой формы, внутрь которого наносится заряд, который вызывает деформацию зеркала, при этом слой соответственно смещен, чтобы задержать вторичные электроны. 10. The modulator of the light valve system according to any preceding paragraph, characterized in that it contains a conductive layer on the outside of the third layer with an opening of any desired shape, into which a charge is applied, which causes the mirror to deform, while the layer is accordingly biased to delay secondary electrons. 11. Воспроизводящая трубка деформируемой светоклапанной системы, имеющая оболочку с прозрачным дном, направленным в сторону одного или нескольких электронных прожекторов 36, отличающаяся тем, что в пределах вышеупомянутого дна установлен модулятор светоклапанной системы согласно предшествующему пункту. 11. A reproducing tube of a deformable light valve system having a shell with a transparent bottom directed towards one or more electronic projectors 36, characterized in that a modulator of the light valve system according to the preceding paragraph is installed within the aforementioned bottom. 12. Воспроизводящая трубка деформируемой светоклапанной системы согласно п.11, отличающаяся тем, что дно придает форму вышеупомянутой прозрачной подложке. 12. A reproducing tube of a deformable light valve system according to claim 11, characterized in that the bottom forms the aforementioned transparent substrate. 13. Воспроизводящая трубка деформируемой светоклапанной системы согласно п.11 или 12, отличающаяся тем, что периферийная часть многослойной структуры герметично закреплена под вакуумом на вышеупомянутой подложке. 13. A reproducing tube of a deformable light valve system according to claim 11 or 12, characterized in that the peripheral part of the multilayer structure is sealed under vacuum on the aforementioned substrate. 14. Воспроизводящая трубка деформируемой светоклапанной системы согласно любому из пп. 11-13, отличающаяся тем, что стирание потенциального рельефа осуществляется непрерывно считывающим электронным пучком или пушкой, подобранной для того, чтобы производить стирание в течение любого желаемого периода длительности телевизионного кадра или в течение любого другого периода времени. 14. The reproducing tube of the deformable light valve system according to any one of paragraphs. 11-13, characterized in that the erasing of the potential relief is carried out continuously by an electron beam or a gun selected to erase during any desired period of the television frame or for any other period of time. 15. Воспроизводящая трубка деформируемой светоклапанной системы согласно пп. 11 - 13, отличающаяся тем, что существующий потенциальный рельеф на третьем слое стирается сканирующим электронным пучком по одной или нескольким строкам за раз (за единицу времени) или по одному или нескольким элементам изображения за раз (за единицу времени). 15. The reproducing tube deformable light valve system according to paragraphs. 11 - 13, characterized in that the existing potential relief on the third layer is erased by the scanning electron beam along one or several lines at a time (per unit of time) or one or more image elements at a time (per unit of time). 16. Воспроизводящая трубка деформируемой светоклапанной системы согласно любому из пп. 11-15, отличающаяся тем, что одна электронная пушка записывает вышеупомянутый потенциальный рельеф, а вторая электронная пушка выполняет функцию стирания. 16. The reproducing tube of the deformable light valve system according to any one of paragraphs. 11-15, characterized in that one electron gun records the aforementioned potential relief, and the second electron gun performs the function of erasing. 17. Воспроизводящая трубка деформируемой светоклапанной системы согласно любому из пп. 11-16, отличающаяся тем, что положение деформации или холмики и долины каждого элемента изображения изменяются или заменяются с любой желаемой частотой, чтобы избежать разрушения композиции светоклапанной системы. 17. The reproducing tube of the deformable light valve system according to any one of paragraphs. 11-16, characterized in that the position of the deformation or the mounds and valleys of each image element are changed or replaced at any desired frequency to avoid destruction of the composition of the light valve system. 18. Воспроизводящая трубка деформируемой светоклапанной системы согласно любому из пп. 11-17, отличающаяся тем, что выбирается такое смещение трубки и режим работы, чтобы минимальный уровень яркости (Vмин) был выше уровня яркости, создаваемого эффектом перераспределения вторичной электронной эмиссии. 18. The reproducing tube of the deformable light valve system according to any one of paragraphs. 11-17, characterized in that the displacement of the tube and the mode of operation are selected such that the minimum brightness level (Vmin) is higher than the brightness level created by the redistribution of secondary electron emission. 19. Воспроизводящая трубка деформируемой светоклапанной системы согласно любому из пп. 11 - 18, отличающаяся тем, что одна светоклапанная система регулирует два или более цветов света посредством записи двух или более рельефов различных дифракционных решеток или канавок различной длины волны одновременно в том же самом модуляторе. 19. The reproducing tube of the deformable light valve system according to any one of paragraphs. 11 to 18, characterized in that one light valve system controls two or more colors of light by recording two or more reliefs of different diffraction gratings or grooves of different wavelengths simultaneously in the same modulator. 20. Модулятор светоклапанной системы и воспроизводящая трубка согласно любому из пп. 11-19, отличающийся тем, что могут быть использованы в любой соответствующей оптической шлирен-системе. 20. The modulator of the light valve system and the reproducing tube according to any one of paragraphs. 11-19, characterized in that they can be used in any appropriate optical schlieren system. 21. Проекционная телевизионная система, имеющая оптическую шлирен-систему, экран и одну или несколько воспроизводящих трубок согласно любому из пп. 11-19, отличающаяся тем, что воспроизводящие трубки регулируются сигналами, которые заставляют модулятор светоклапанной системы модулировать свет, поступающий из источника света, посредством чего оптическая система проецирует изображение телевизионного типа на экран. 21. A projection television system having an optical schlieren system, a screen and one or more reproducing tubes according to any one of paragraphs. 11-19, characterized in that the reproducing tubes are controlled by signals that cause the modulator of the light-valve system to modulate the light coming from the light source, whereby the optical system projects a television-type image onto the screen. 22. Проекционная телевизионная система, имеющая источник света, оптическую шлирен-систему, экран и одну или несколько воспроизводящих трубок согласно любому из пп. 11-19, отличающаяся тем, что воспроизводящие трубки регулируются сигналами, которые заставляют каждый модулятор светоклапанной системы модулировать один или несколько основных цветов света, поступающего из источника света, посредством чего оптическая система проецирует цветное изображение телевизионного типа на экран. 22. A projection television system having a light source, an optical schlieren system, a screen and one or more reproducing tubes according to any one of paragraphs. 11-19, characterized in that the reproducing tubes are controlled by signals that cause each modulator of the light valve system to modulate one or more primary colors of the light coming from the light source, whereby the optical system projects a color television image onto the screen. 23. Проекционная телевизионная система, имеющая несколько индивидуальных систем согласно п. 21 или 22 без индивидуальных экранов, отличающаяся тем, что несколько спроецированных изображений располагаются край к краю, и содержимое воспроизведенных изображений точно совпадает у соответствующих краев, чтобы создать, в основном, непрерывное изображение на одном более крупном экране. 23. A projection television system having several individual systems according to claim 21 or 22 without individual screens, characterized in that several projected images are positioned edge to edge, and the contents of the reproduced images exactly match at the corresponding edges to create a substantially continuous image on one larger screen. 24. Проекционная телевизионная система согласно любому из пп. 21-23, отличающаяся тем, что длительность кадра и частота имеют любую желаемую величину, включая статическое изображение. 24. Projection television system according to any one of paragraphs. 21-23, characterized in that the frame duration and frequency have any desired value, including a static image.
RU97102547A 1994-09-02 1995-09-01 Modulator of light-valve system of reflection type RU2143127C1 (en)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB9417756.5 1994-09-02
GB9417756A GB9417756D0 (en) 1994-09-02 1994-09-02 Electronic display devices
GBGB9507306.0A GB9507306D0 (en) 1995-04-07 1995-04-07 Electronic display devices
GB9507306.0 1995-04-07
PCT/GB1995/002061 WO1996008031A1 (en) 1994-09-02 1995-09-01 Reflective light valve modulator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU97102547A true RU97102547A (en) 1999-03-10
RU2143127C1 RU2143127C1 (en) 1999-12-20

Family

ID=26305562

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU97102547A RU2143127C1 (en) 1994-09-02 1995-09-01 Modulator of light-valve system of reflection type

Country Status (13)

Country Link
US (1) US5822110C1 (en)
EP (1) EP0778982B1 (en)
JP (1) JPH10505193A (en)
CN (1) CN1157668A (en)
AT (1) ATE194725T1 (en)
AU (1) AU686874B2 (en)
CA (1) CA2198105A1 (en)
DE (1) DE69517985T2 (en)
DK (1) DK0778982T3 (en)
ES (1) ES2149373T3 (en)
PT (1) PT778982E (en)
RU (1) RU2143127C1 (en)
WO (1) WO1996008031A1 (en)

Families Citing this family (107)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6674562B1 (en) * 1994-05-05 2004-01-06 Iridigm Display Corporation Interferometric modulation of radiation
US7297471B1 (en) 2003-04-15 2007-11-20 Idc, Llc Method for manufacturing an array of interferometric modulators
US7550794B2 (en) 2002-09-20 2009-06-23 Idc, Llc Micromechanical systems device comprising a displaceable electrode and a charge-trapping layer
US6046840A (en) 1995-06-19 2000-04-04 Reflectivity, Inc. Double substrate reflective spatial light modulator with self-limiting micro-mechanical elements
US8928967B2 (en) 1998-04-08 2015-01-06 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method and device for modulating light
WO1999052006A2 (en) 1998-04-08 1999-10-14 Etalon, Inc. Interferometric modulation of radiation
US6147789A (en) * 1998-05-04 2000-11-14 Gelbart; Daniel High speed deformable mirror light valve
US6872984B1 (en) 1998-07-29 2005-03-29 Silicon Light Machines Corporation Method of sealing a hermetic lid to a semiconductor die at an angle
US6031657A (en) * 1998-10-15 2000-02-29 Memsolutions, Inc. Membrane-actuated charge controlled mirror (CCM) projection display
US5991066A (en) * 1998-10-15 1999-11-23 Memsolutions, Inc. Membrane-actuated charge controlled mirror
FR2794251B1 (en) * 1999-05-27 2002-08-02 Sfim Ind DEFORMABLE MEMBRANE MIRROR
US6268948B1 (en) * 1999-06-11 2001-07-31 Creo Products Inc. Micromachined reflective light valve
WO2003007049A1 (en) * 1999-10-05 2003-01-23 Iridigm Display Corporation Photonic mems and structures
US6369498B1 (en) 1999-11-03 2002-04-09 Intel Corporation Electron gun for addressing secondary emission targets
US6747775B2 (en) * 2000-03-20 2004-06-08 Np Photonics, Inc. Detunable Fabry-Perot interferometer and an add/drop multiplexer using the same
US6747784B2 (en) 2000-03-20 2004-06-08 Np Photonics, Inc. Compliant mechanism and method of forming same
US6678084B2 (en) 2000-03-20 2004-01-13 Np Photonics, Inc. Methods of making mechanisms in which relative locations of elements are maintained during manufacturing
US6597461B1 (en) 2000-03-20 2003-07-22 Parvenu, Inc. Tunable fabry-perot interferometer using entropic materials
US6665109B2 (en) 2000-03-20 2003-12-16 Np Photonics, Inc. Compliant mechanism and method of forming same
AU2001249289A1 (en) 2000-03-20 2001-10-03 Solus Micro Technologies, Inc. Electrostatically-actuated tunable optical components using entropic materials
US6346776B1 (en) 2000-07-10 2002-02-12 Memsolutions, Inc. Field emission array (FEA) addressed deformable light valve modulator
US6611377B1 (en) * 2000-07-10 2003-08-26 Intel Corporation Micromechanical diffraction phase grating
US6411425B1 (en) * 2000-09-27 2002-06-25 Eastman Kodak Company Electromechanical grating display system with spatially separated light beams
US6531332B1 (en) 2001-01-10 2003-03-11 Parvenu, Inc. Surface micromachining using a thick release process
US7177081B2 (en) 2001-03-08 2007-02-13 Silicon Light Machines Corporation High contrast grating light valve type device
US6639722B2 (en) 2001-08-15 2003-10-28 Silicon Light Machines Stress tuned blazed grating light valve
US6785001B2 (en) 2001-08-21 2004-08-31 Silicon Light Machines, Inc. Method and apparatus for measuring wavelength jitter of light signal
US6930364B2 (en) 2001-09-13 2005-08-16 Silicon Light Machines Corporation Microelectronic mechanical system and methods
US6639710B2 (en) * 2001-09-19 2003-10-28 Lucent Technologies Inc. Method and apparatus for the correction of optical signal wave front distortion using adaptive optics
US6956995B1 (en) 2001-11-09 2005-10-18 Silicon Light Machines Corporation Optical communication arrangement
US6794119B2 (en) 2002-02-12 2004-09-21 Iridigm Display Corporation Method for fabricating a structure for a microelectromechanical systems (MEMS) device
RU2231859C2 (en) * 2002-02-18 2004-06-27 ООО "Высокие технологии" Electron gun
US6839479B2 (en) 2002-05-29 2005-01-04 Silicon Light Machines Corporation Optical switch
US7054515B1 (en) 2002-05-30 2006-05-30 Silicon Light Machines Corporation Diffractive light modulator-based dynamic equalizer with integrated spectral monitor
US20030234994A1 (en) * 2002-06-19 2003-12-25 Pan Shaoher X. Reflective spatial light modulator
US6908201B2 (en) 2002-06-28 2005-06-21 Silicon Light Machines Corporation Micro-support structures
US7057795B2 (en) 2002-08-20 2006-06-06 Silicon Light Machines Corporation Micro-structures with individually addressable ribbon pairs
US7781850B2 (en) 2002-09-20 2010-08-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Controlling electromechanical behavior of structures within a microelectromechanical systems device
US6928207B1 (en) 2002-12-12 2005-08-09 Silicon Light Machines Corporation Apparatus for selectively blocking WDM channels
US6987600B1 (en) 2002-12-17 2006-01-17 Silicon Light Machines Corporation Arbitrary phase profile for better equalization in dynamic gain equalizer
US7057819B1 (en) 2002-12-17 2006-06-06 Silicon Light Machines Corporation High contrast tilting ribbon blazed grating
US6934070B1 (en) 2002-12-18 2005-08-23 Silicon Light Machines Corporation Chirped optical MEM device
US6927891B1 (en) 2002-12-23 2005-08-09 Silicon Light Machines Corporation Tilt-able grating plane for improved crosstalk in 1×N blaze switches
RU2230348C1 (en) * 2002-12-27 2004-06-10 Гущо Юрий Петрович Electrooptical converter, gelatinous layer for electrooptical converter, p rocess of preparation of gelatinous layer (variants) and composition for r ealization of process
US7068372B1 (en) 2003-01-28 2006-06-27 Silicon Light Machines Corporation MEMS interferometer-based reconfigurable optical add-and-drop multiplexor
US7286764B1 (en) 2003-02-03 2007-10-23 Silicon Light Machines Corporation Reconfigurable modulator-based optical add-and-drop multiplexer
US6947613B1 (en) 2003-02-11 2005-09-20 Silicon Light Machines Corporation Wavelength selective switch and equalizer
US6922272B1 (en) 2003-02-14 2005-07-26 Silicon Light Machines Corporation Method and apparatus for leveling thermal stress variations in multi-layer MEMS devices
US6747777B1 (en) 2003-02-24 2004-06-08 Cymscape Incorporated Reflective microfluidics display particularly suited for large format applications
US7391973B1 (en) 2003-02-28 2008-06-24 Silicon Light Machines Corporation Two-stage gain equalizer
US7027202B1 (en) 2003-02-28 2006-04-11 Silicon Light Machines Corp Silicon substrate as a light modulator sacrificial layer
US7046420B1 (en) 2003-02-28 2006-05-16 Silicon Light Machines Corporation MEM micro-structures and methods of making the same
US6922273B1 (en) 2003-02-28 2005-07-26 Silicon Light Machines Corporation PDL mitigation structure for diffractive MEMS and gratings
US7042611B1 (en) 2003-03-03 2006-05-09 Silicon Light Machines Corporation Pre-deflected bias ribbons
US7075593B2 (en) * 2003-03-26 2006-07-11 Video Display Corporation Electron-beam-addressed active-matrix spatial light modulator
US6956692B2 (en) * 2003-04-24 2005-10-18 Micronic Laser Systems, Ab Method and apparatus for controlling exposure of a surface of a substrate
US6930817B2 (en) * 2003-04-25 2005-08-16 Palo Alto Research Center Incorporated Configurable grating based on surface relief pattern for use as a variable optical attenuator
US6853476B2 (en) * 2003-04-30 2005-02-08 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Charge control circuit for a micro-electromechanical device
TW570896B (en) * 2003-05-26 2004-01-11 Prime View Int Co Ltd A method for fabricating an interference display cell
US7221495B2 (en) * 2003-06-24 2007-05-22 Idc Llc Thin film precursor stack for MEMS manufacturing
US7217582B2 (en) * 2003-08-29 2007-05-15 Rochester Institute Of Technology Method for non-damaging charge injection and a system thereof
US7268933B2 (en) 2003-12-21 2007-09-11 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Discharge of MEM devices having charge induced via focused beam to enter different states
US6943933B2 (en) * 2003-12-21 2005-09-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. MEM devices having charge induced via focused beam to enter different states
KR101354520B1 (en) 2004-07-29 2014-01-21 퀄컴 엠이엠에스 테크놀로지스, 인크. System and method for micro-electromechanical operating of an interferometric modulator
US7369296B2 (en) 2004-09-27 2008-05-06 Idc, Llc Device and method for modifying actuation voltage thresholds of a deformable membrane in an interferometric modulator
US7417783B2 (en) 2004-09-27 2008-08-26 Idc, Llc Mirror and mirror layer for optical modulator and method
US7429334B2 (en) 2004-09-27 2008-09-30 Idc, Llc Methods of fabricating interferometric modulators by selectively removing a material
US7492502B2 (en) 2004-09-27 2009-02-17 Idc, Llc Method of fabricating a free-standing microstructure
US7328882B2 (en) * 2005-01-06 2008-02-12 Honeywell International Inc. Microfluidic modulating valve
TW200628877A (en) 2005-02-04 2006-08-16 Prime View Int Co Ltd Method of manufacturing optical interference type color display
KR101233422B1 (en) * 2005-03-03 2013-02-13 유리 페트로비치 구스쵸 Optical radiation modulation method, an electrooptical modulator(variants) and an electrooptical device(variants)
US7535619B2 (en) * 2005-04-27 2009-05-19 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Discharge of MEM devices having charge induced via focused beam to enter different states
JP2009503564A (en) 2005-07-22 2009-01-29 クアルコム,インコーポレイテッド Support structure for MEMS device and method thereof
CN101228091A (en) 2005-07-22 2008-07-23 高通股份有限公司 Support structures and methods for MEMS devices
RU2468988C2 (en) 2005-07-22 2012-12-10 Квалкомм Инкорпорэйтэд Mems devices with support structures and methods of their production
EP2495212A3 (en) 2005-07-22 2012-10-31 QUALCOMM MEMS Technologies, Inc. Mems devices having support structures and methods of fabricating the same
US7630114B2 (en) 2005-10-28 2009-12-08 Idc, Llc Diffusion barrier layer for MEMS devices
NO326468B1 (en) * 2005-12-06 2008-12-08 Ignis Display As Modulator with adjustable diffraction grating (TDG) with total internal reflection (TIR), method for producing an elastomer for use therein and use of the elastomer.
US7795061B2 (en) 2005-12-29 2010-09-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of creating MEMS device cavities by a non-etching process
US7916980B2 (en) 2006-01-13 2011-03-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Interconnect structure for MEMS device
US7382515B2 (en) 2006-01-18 2008-06-03 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Silicon-rich silicon nitrides as etch stops in MEMS manufacture
US7547568B2 (en) 2006-02-22 2009-06-16 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Electrical conditioning of MEMS device and insulating layer thereof
US7450295B2 (en) 2006-03-02 2008-11-11 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods for producing MEMS with protective coatings using multi-component sacrificial layers
US7711239B2 (en) 2006-04-19 2010-05-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device and method utilizing nanoparticles
US7623287B2 (en) 2006-04-19 2009-11-24 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems
US7527996B2 (en) 2006-04-19 2009-05-05 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Non-planar surface structures and process for microelectromechanical systems
US7417784B2 (en) 2006-04-19 2008-08-26 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Microelectromechanical device and method utilizing a porous surface
US7405863B2 (en) 2006-06-01 2008-07-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Patterning of mechanical layer in MEMS to reduce stresses at supports
US7321457B2 (en) 2006-06-01 2008-01-22 Qualcomm Incorporated Process and structure for fabrication of MEMS device having isolated edge posts
JP4327183B2 (en) * 2006-07-31 2009-09-09 株式会社日立製作所 High pressure fuel pump control device for internal combustion engine
US7763546B2 (en) 2006-08-02 2010-07-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods for reducing surface charges during the manufacture of microelectromechanical systems devices
US7545552B2 (en) 2006-10-19 2009-06-09 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Sacrificial spacer process and resultant structure for MEMS support structure
US7706042B2 (en) 2006-12-20 2010-04-27 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS device and interconnects for same
US7535621B2 (en) 2006-12-27 2009-05-19 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Aluminum fluoride films for microelectromechanical system applications
US7733552B2 (en) 2007-03-21 2010-06-08 Qualcomm Mems Technologies, Inc MEMS cavity-coating layers and methods
US7719752B2 (en) 2007-05-11 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS structures, methods of fabricating MEMS components on separate substrates and assembly of same
US7625825B2 (en) 2007-06-14 2009-12-01 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Method of patterning mechanical layer for MEMS structures
US7569488B2 (en) 2007-06-22 2009-08-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods of making a MEMS device by monitoring a process parameter
US8068268B2 (en) 2007-07-03 2011-11-29 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS devices having improved uniformity and methods for making them
US7863079B2 (en) 2008-02-05 2011-01-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Methods of reducing CD loss in a microelectromechanical device
US7851239B2 (en) 2008-06-05 2010-12-14 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Low temperature amorphous silicon sacrificial layer for controlled adhesion in MEMS devices
US7864403B2 (en) 2009-03-27 2011-01-04 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Post-release adjustment of interferometric modulator reflectivity
US7990604B2 (en) * 2009-06-15 2011-08-02 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Analog interferometric modulator
US8659816B2 (en) 2011-04-25 2014-02-25 Qualcomm Mems Technologies, Inc. Mechanical layer and methods of making the same
US20140039361A1 (en) * 2012-08-06 2014-02-06 The Hong Kong Polytechnic University Methods and viewing systems for inhibiting ocular refractive disorders from progressing
US20150093500A1 (en) * 2013-09-30 2015-04-02 Intermolecular, Inc. Corrosion-Resistant Silver Coatings with Improved Adhesion to III-V Materials
KR20220082422A (en) * 2020-12-10 2022-06-17 현대자동차주식회사 Driver monitoring apparatus, vehicle and control method thereof

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3001447A (en) * 1957-08-29 1961-09-26 Zeiss Ikon A G Stuttgart Image reproducing device for visible and invisible radiation images
US3626084A (en) * 1970-06-12 1971-12-07 Ibm Deformographic storage display tube
US3676588A (en) * 1970-10-29 1972-07-11 Ibm Deformographic target assembly with integral conductive member
US3746785A (en) * 1971-11-26 1973-07-17 Bendix Corp Deflectable membrane optical modulator
US3990783A (en) * 1972-09-11 1976-11-09 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Light modulating device
US3858080A (en) * 1973-09-17 1974-12-31 Ibm Target assemblies especially for single chamber deformographic storage display tubes
US3879630A (en) * 1974-04-01 1975-04-22 Ibm Reflective deformographic target assembly
US4035061A (en) * 1976-03-26 1977-07-12 Xerox Corporation Honeycomb display devices
US4441791A (en) * 1980-09-02 1984-04-10 Texas Instruments Incorporated Deformable mirror light modulator
FR2571198B1 (en) * 1984-09-28 1987-01-09 Europ Propulsion HIGH RESOLUTION IMAGE RESTITUER AUTHORIZING THE REAL-TIME DEVELOPMENT OF INSOLATED FILMS
US5287215A (en) * 1991-07-17 1994-02-15 Optron Systems, Inc. Membrane light modulation systems

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU97102547A (en) MODULATOR OF LIGHT-VALVE SYSTEM OF REFLECTIVE TYPE
US2391450A (en) Method and apparatus for reproducing television pictures
RU2143127C1 (en) Modulator of light-valve system of reflection type
AU661501B2 (en) Membrane light modulating systems
US2415226A (en) Method of and apparatus for producing luminous images
US5357289A (en) Projector lens system having three lens groups for image projector
US6832839B2 (en) System for enhancing the quality of an image
US3517126A (en) Light value image projection system with deformable membrane and thin film target electrode
US6980321B2 (en) Method and apparatus for printing high resolution images using multiple reflective spatial light modulators
US2528510A (en) Color television
US3626084A (en) Deformographic storage display tube
JP2001228553A (en) High-resolution image printing method using reflection type lcd modulator and device for the same
GB944247A (en) Improvements in or relating to light valve systems and electrical signal transducer apparatus therefor
US6020940A (en) Liquid crystal projector and method of driving the projector
US3585283A (en) Optical projection system with enhanced color resolution
US7034985B1 (en) Asymmetric spatial light modulator in a package
EP0261377B1 (en) System for masking light valve spill light
US2601328A (en) Color television
US3251940A (en) Light valve apparatus
JP2919287B2 (en) Image projection method for dome screen
US4724355A (en) Backside disc flush for light valve projector
US3270613A (en) Colored light projection system
US4721881A (en) Neutralizing electrode for schlieren dark field light valve
KR0176376B1 (en) Optical device of wide LCD projector
US3347133A (en) Apparatus for projecting cylindrical objects as circular images