[go: up one dir, main page]

RU2685769C1 - Method of determination of transient thermal resistance of crystal-housing and thermal resistance of crystal-housing in the state of heat equilibrium of transistors with field control - Google Patents

Method of determination of transient thermal resistance of crystal-housing and thermal resistance of crystal-housing in the state of heat equilibrium of transistors with field control Download PDF

Info

Publication number
RU2685769C1
RU2685769C1 RU2018124029A RU2018124029A RU2685769C1 RU 2685769 C1 RU2685769 C1 RU 2685769C1 RU 2018124029 A RU2018124029 A RU 2018124029A RU 2018124029 A RU2018124029 A RU 2018124029A RU 2685769 C1 RU2685769 C1 RU 2685769C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
crystal
temperature
housing
thermal resistance
transistor
Prior art date
Application number
RU2018124029A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Николай Николаевич Беспалов
Владислав Геннадьевич Мясин
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Мордовский государственный университет им. Н.П. Огарёва"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Мордовский государственный университет им. Н.П. Огарёва" filed Critical Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Мордовский государственный университет им. Н.П. Огарёва"
Priority to RU2018124029A priority Critical patent/RU2685769C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2685769C1 publication Critical patent/RU2685769C1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2607Circuits therefor
    • G01R31/2608Circuits therefor for testing bipolar transistors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G01N25/18Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating thermal conductivity
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2607Circuits therefor
    • G01R31/2608Circuits therefor for testing bipolar transistors
    • G01R31/2619Circuits therefor for testing bipolar transistors for measuring thermal properties thereof

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

FIELD: measuring equipment.SUBSTANCE: invention relates to measurement of thermal parameters of power electronics components and can be used to determine transient thermal resistance of crystal-housing Z(t) and heat resistance of crystal-housing in state of thermal equilibrium of Rtransistors with field control, in particular, bipolar transistors with insulated gate (IGBT) and field-effect transistors with isolated gate (MOSFET) to control their quality. According to the disclosed method, the tested transistor is heated by direct current with the condition that a known constant power is detected in the transistor structure. On the heating interval, temperature dependences of the housing and the temperature sensitive parameter are obtained from the heating time, wherein the temperature sensitive parameter is voltage at the gate of the tested transistor. Heating is stopped when the preset temperature of the housing is reached. After a time interval of at least 2τ, where τ is a crystal-housing thermal constant value, at the natural cooling interval, periodic measuring pulses of electric current are periodically transmitted through the structure of the transistor under the condition that constant power is selected in the transistor structure, which is equal to the constant power value allocated in the transistor structure on the heating interval, duration and porosity of which minimally affect thermal processes. During each measurement pulse of electric current simultaneous measurement and storage of housing temperature and temperature-sensitive parameter. Method includes finding function of interrelation of crystal temperature and temperature-sensitive parameter and calculating transient thermal resistance of chip-housing Z(t), determining the thermal resistance of the crystal-housing in the thermal equilibrium state Rof the tested transistor equal to the value Z(t) at the constant section.EFFECT: high accuracy of determining transient thermal resistance of the crystal-housing Z(t) and thermal resistance of the crystal-housing in a state of thermal equilibrium of Rtransistors with field control.1 cl, 2 dwg

Description

Изобретение относится к технике измерения тепловых параметров компонентов силовой электроники и может быть использовано для определения переходного теплового сопротивления кристалл-корпус ZThJC(t) и теплового сопротивления кристалл-корпус в состоянии теплового равновесия RThJC транзисторов с полевым управлением, в частности биполярных транзисторов с изолированным затвором (IGBT) и полевых транзисторов с изолированным затвором (MOSFET) для контроля их качества.The invention relates to a technique for measuring thermal parameters of power electronics components and can be used to determine the transient thermal resistance of a crystal-body Z ThJC (t) and thermal resistance of a crystal-body in a state of thermal equilibrium R ThJC transistors with field control, in particular bipolar transistors with insulated gate (IGBT) and insulated gate field effect transistors (MOSFET) to control their quality.

Наиболее близким техническим решением к предлагаемому изобретению является метод определения теплового сопротивления кристалл-корпус силовых полупроводниковых приборов , заключающийся в том, что полупроводниковый кристалл нагревают путем пропускания через него постоянного тока заданной амплитуды, измеряют в процессе нагревания значения его температурочувствительного параметра, в качестве которого используют прямое падение напряжения на кристалле, на интервале нагревания дополнительно измеряют температуру основания корпуса прибора в выбранной точке, запоминают эти значения, получая их зависимости от времени, прекращают нагрев полупроводникового кристалла при достижении заданного значения температуры корпуса и в режиме естественного охлаждения при подаче на кристалл коротких измерительных импульсов тока с амплитудой, равной амплитуде на этапе нагрева, и с длительностью и скважностью, минимально влияющих на тепловое равновесие прибора, измеряют и запоминают значения температурочувствительного параметра и температуры основания корпуса, получая их зависимости от времени уже на интервале охлаждения, при этом длительность интервала охлаждения tint выбирают из условия безусловного выполнения tint>>3τmax, где τmax – наибольшая тепловая постоянная конструкции прибора, определяют момент динамического равновесия на интервале нагрева и по полученным зависимостям вычисляют тепловое сопротивление переход-корпус в данный момент динамического равновесия [1].The closest technical solution to the present invention is a method for determining the thermal resistance of the crystal-case of power semiconductor devices, namely, that a semiconductor crystal is heated by passing a constant current of a given amplitude through it, and measuring its temperature-sensitive parameter, which is a direct the voltage drop across the crystal, in the heating interval, additionally measures the temperature of the base of the case when ora at the selected point, remember these values, getting their time dependencies, stop heating the semiconductor crystal when the set temperature of the case is reached and in the free cooling mode when short measuring current pulses are applied to the crystal with amplitude equal to the amplitude at the heating stage and with duration and the porosity that minimally affect the thermal equilibrium of the device, measure and memorize the values of the temperature-sensitive parameter and the temperature of the base of the case, getting them depending from the time already on the cooling interval, the duration of the cooling interval t int is chosen from the condition of unconditional execution t int >> 3τ max , where τ max is the largest thermal constant of the instrument design, determine the moment of dynamic equilibrium in the heating interval and calculate the thermal dependencies obtained transition-body resistance at the moment of dynamic equilibrium [1].

Первый недостаток известного решения обусловлен тем, что в процессе испытания в кристалле испытуемого прибора выделяется тепло, что непрерывно изменяет величину выделяемой в нем мощности. При этом возникают переходные тепловые процессы, влияние которых снижает точность способа.The first drawback of the known solution is due to the fact that in the process of testing in the crystal of the tested device, heat is generated, which continuously changes the amount of power released in it. When this occurs, transient thermal processes, the influence of which reduces the accuracy of the method.

Второй недостаток связан с использованием в качестве температурочувствительного параметра прямого падения напряжения на кристалле, которое нелинейно зависит от температуры. При этом наибольшая чувствительность измерения температуры кристалла испытуемого прибора достигается при наибольшем изменении мощности в кристалле испытуемого прибора. Это обуславливает снижение точности определения переходного теплового сопротивления кристалл-корпус ZThJC(t) и теплового сопротивления кристалл-корпус в состоянии теплового равновесия RThJC.The second drawback is associated with the use of a direct voltage drop across the crystal as a temperature-sensitive parameter, which non-linearly depends on temperature. In this case, the highest sensitivity of measuring the temperature of the crystal of the tested device is achieved with the greatest change in power in the crystal of the tested device. This leads to a decrease in the accuracy of determining the transition thermal resistance of the crystal body Z ThJC (t) and the thermal resistance of the crystal body in the state of thermal equilibrium R ThJC .

В известном решении при подаче измерительных импульсов на этапе охлаждения мощность каждого импульса определяется произведением постоянной величины тока и переменной для каждого импульса величины температурочувствительного параметра. Мощность каждого измерительного импульса отличается от предыдущего, что ведет к снижению точности калибровки температурочувствительного параметра и снижению точности определения переходного теплового сопротивления кристалл-корпус ZThJC(t) и теплового сопротивления кристалл-корпус в состоянии теплового равновесия RThJC.In the known solution, when applying measuring pulses at the cooling stage, the power of each pulse is determined by the product of a constant current value and a variable for each pulse of a value of a temperature-sensitive parameter. The power of each measuring pulse differs from the previous one, which leads to a decrease in the calibration accuracy of the temperature- sensitive parameter and a decrease in the accuracy of determining the crystal-body transient thermal resistance Z ThJC (t) and the crystal-body thermal resistance in thermal equilibrium state R ThJC .

Технический результат заключается в повышении точности определения переходного теплового сопротивления кристалл-корпус ZThJC(t) и теплового сопротивления кристалл-корпус в состоянии теплового равновесия RThJC транзисторов с полевым управлением.The technical result is to increase the accuracy of determining the transition thermal resistance of the crystal-body Z ThJC (t) and the thermal resistance of the crystal-body in a state of thermal equilibrium R ThJC transistors with field control.

Сущность изобретения заключается в том, что в способе определения переходного теплового сопротивления кристалл-корпус ZThJC(t) и теплового сопротивления кристалл-корпус в состоянии теплового равновесия RThJC транзисторов с полевым управлением нагрев испытуемого транзистора осуществляют путем пропускания через него постоянного тока при условии поддержания в структуре испытуемого транзистора выделяемой в ней мощности постоянной заданной величины PH, при этом на этапе нагрева одновременно измеряют значения температуры корпуса и температурочувствительного параметра, по которым получают их зависимости от времени нагрева. При достижении температуры корпуса испытуемого транзистора заданного значения прекращают нагрев и на последующем этапе естественного охлаждения подают измерительные импульсы тока прямоугольной формы с амплитудой, при которой в структуре транзистора поддерживается величина постоянной мощности равная мощности PH, которая выделялась на этапе нагрева, и при длительности и скважности которых выделяемая электрическая энергия минимально влияет на тепловые процессы в структуре испытуемого транзистора. В качестве температурочувствительного параметра при этом используют напряжение на затворе испытуемого транзистора UG. Измерительные импульсы тока подают через промежуток времени не менее 2τ после прекращения нагрева, где τ – значение тепловой постоянной кристалл-корпус в соответствии с данными паспорта испытуемого транзистора. При этом при подаче каждого измерительного импульса измеряют и сохраняют значения температуры корпуса TC(n) и температурочувствительного параметра UG(n), где n – порядковый номер измерительного импульса, получают функцию взаимосвязи температуры кристалла и температурочувствительного параметра TJ(UG), вычисляют переходное тепловое сопротивление кристалл-корпус ZThJC(t) на интервале нагрева по формуле:The essence of the invention lies in the fact that in the method for determining the transient thermal resistance of the crystal casing Z ThJC (t) and the thermal resistance of the crystal casing in a state of thermal equilibrium R ThJC transistors with field control, the test transistor is heated by passing a direct current through it a transistor test structure allocated therein a constant power setpoint P H, wherein in the heating step simultaneously measured values of the body temperature and the tempera urochuvstvitelnogo parameter, which receive them, depending on the heating time. When the temperature of the body of the test transistor reaches the specified value, the heating is stopped and at a subsequent stage of natural cooling, measuring current pulses of rectangular shape with amplitude are supplied, at which the transistor structure maintains a constant power equal to the power P H , which was released at the heating stage and at the duration and duty cycle which the released electric energy minimally affects the thermal processes in the structure of the tested transistor. In this case, the gate voltage of the test transistor U G is used as the temperature-sensitive parameter . Measuring current pulses are supplied at least 2τ after the termination of heating, where τ is the value of the thermal constant crystal-housing in accordance with the passport data of the test transistor. At the same time, when applying each measuring pulse, the temperature of the case T C (n) and temperature sensitive parameter U G (n) are measured and stored, where n is the ordinal number of the measuring pulse, the function of the interconnection of the crystal temperature and temperature sensitive parameter T J (U G ) is obtained, calculate the transitional thermal resistance of the crystal body Z ThJC (t) on the heating interval by the formula:

Figure 00000001
,
Figure 00000001
,

где TJ(UG(t)) – зависимость температуры кристалла испытуемого транзистора от времени нагрева t, полученная через функцию взаимосвязи температуры кристалла испытуемого транзистора и температурочувствительного параметра TJ(UG) и зависимость температурочувствительного параметра от времени нагрева UG(t), TC(t) – зависимость температуры корпуса от времени нагрева t, PH – известная величина постоянной мощности, и определяют тепловое сопротивления кристалл-корпус в состоянии теплового равновесия RThJC испытуемого транзистора равным значению переходного теплового сопротивления кристалл-корпус ZThJC(t) на постоянном участке этой характеристики.where T J (U G (t)) is the dependence of the crystal temperature of the test transistor on the heating time t, obtained through the function of the interrelation of the crystal temperature of the test transistor and the temperature-sensitive parameter T J (U G ) and the temperature-dependent parameter dependence on the heating time U G (t) , T C (t) - dependence of the body temperature of the heating time t, P H - a known value of constant power, and determining the thermal resistance in the junction-case thermal equilibrium R ThJC test transistor at the value f rehodnogo thermal resistance junction-case Z ThJC (t) at the constant portion of this characteristic.

На фиг. 1 представлены диаграммы, поясняющие осуществление заявленного способа; на фиг. 2 изображено в общем виде устройство, которое может быть использовано при реализации заявленного способа. FIG. 1 presents diagrams explaining the implementation of the claimed method; in fig. 2 shows a general view of a device that can be used in the implementation of the claimed method.

Устройство содержит выпрямитель 1, вход которого подключен к питающей сети переменного напряжения, к выходу которого подключен фильтр 2. Выход фильтра 2 подключен к стабилизатору напряжения 3, первый выход которого подключен к первому входу регулирующего элемента 4. Регулирующий элемент 4 является нагрузкой и представляет собой транзистор с полевым управлением (в частности, IGBT, MOSFET). Второй выход стабилизатора напряжения 3 через резистивный датчик тока 5 соединен со вторым входом регулирующего элемента 4. Выход резистивного датчика тока 5 соединен со вторым входом усилителя обратной связи 6, к первому входу усилителя обратной связи 6 подключен регулируемый опорный элемент 7. Выход усилителя обратной связи 6 соединен с управляющим входом регулирующего элемента 4 [2].The device contains a rectifier 1, the input of which is connected to the AC mains, the output of which is connected to the filter 2. The output of the filter 2 is connected to the voltage regulator 3, the first output of which is connected to the first input of the regulating element 4. The regulating element 4 is a load and is a transistor with field control (in particular, IGBT, MOSFET). The second output of the voltage regulator 3 through a resistive current sensor 5 is connected to the second input of the regulating element 4. The output of the resistive current sensor 5 is connected to the second input of the feedback amplifier 6, to the first input of the feedback amplifier 6 an adjustable reference element 7 is connected. The output of the feedback amplifier 6 connected to the control input of the regulating element 4 [2].

Способ определения переходного теплового сопротивления кристалл-корпус и теплового сопротивления кристалл-корпус в состоянии теплового равновесия транзисторов с полевым управлением реализуется следующим образом.The method for determining the transient thermal resistance of the crystal-case and thermal resistance of the crystal-case in the state of thermal equilibrium of transistors with field control is implemented as follows.

На первом этапе от момента t0 до момента t1 осуществляют нагрев испытуемого транзистора известной постоянной мощностью PH путем пропускания через него тока. Поддержание постоянной мощности на испытуемом транзисторе может осуществляться с помощью регулируемого стабилизатора мощности [2]. Структура стабилизатора мощности представлена на фиг. 2. Испытуемый транзистор включают в качестве нагрузки 4 устройства.At the first stage, from the time t 0 to the time t 1 , the tested transistor is heated with a known constant power P H by passing a current through it. Maintaining a constant power on the test transistor can be carried out using an adjustable power regulator [2]. The structure of the power stabilizer is shown in FIG. 2. The transistor under test includes 4 devices as a load.

В качестве температурочувствительного параметра используется напряжение на затворе испытуемого транзистора UG. На всем интервале нагрева от момента времени t0 до момента t1 одновременно измеряют значения температурочувствительного параметра UG и значения температуры корпуса TC, получая их зависимости от времени нагрева UG(t) и TC(t). Измерение температуры корпуса TC может производиться, например, в расположенной под центром полупроводникового кристалла точке.As the temperature-sensitive parameter uses the voltage at the gate of the test transistor U G. Over the entire heating interval from the time point t 0 to the moment t 1, the values of the temperature-sensitive parameter U G and the values of the case temperature T C are measured simultaneously, obtaining their dependences on the heating time U G (t) and T C (t). The case temperature measurement T C can be made, for example, at a point located under the center of the semiconductor crystal.

В момент времени t1, как показано на фиг. 1, останавливают нагрев испытуемого транзистора. Момент времени t1 определяют по достижении заданного значения температуры корпуса TCF. Значение температуры корпуса TCF должно находиться в диапазоне величин, при которых обеспечивается безопасная работа испытуемого транзистора.At time t 1 , as shown in FIG. 1, stop heating the test transistor. The time t 1 is determined by the achievement of the setpoint temperature of the housing T CF. The body temperature value T CF must be in the range of values at which the safe operation of the transistor under test is ensured.

На интервале естественного охлаждения температуры кристалла и корпуса испытуемого транзистора выравниваются, и через промежуток времени не менее 2τ, где τ – значение тепловой постоянной кристалл-корпус согласно данных паспорта испытуемого транзистора, температуры корпуса и полупроводникового кристалла являются практически одинаковыми. In the period of natural cooling, the temperatures of the crystal and the housing of the transistor under test are equalized, and after a time interval of at least 2τ, where τ is the value of the thermal constant crystal-case according to the data of the test transistor, the temperatures of the case and semiconductor crystal are almost the same.

Момент времени t2 соответствует задержке времени более 2τ от момента окончания нагрева t1, с момента времени t2 и далее на всём интервале естественного охлаждения допустимо придерживаться равенства:The time t 2 corresponds to a time delay of more than 2τ from the moment the heating ends t 1 , from the time t 2 and further along the whole free cooling interval, it is permissible to adhere to the equality:

TC = TJ, (1)T C = T J , (1)

где TC – температура корпуса, TJ – температура полупроводникового кристалла.where T C is the case temperature, T J is the temperature of the semiconductor crystal.

На интервале естественного охлаждения от момента времени t2 до t3 на испытуемый транзистор подают измерительные импульсы тока прямоугольной формы при условии поддержания в структуре транзистора заданной постоянной величины мощности PH равной мощности, которая выделяется в структуре транзистора на этапе нагрева, как показано на фиг. 1.In the natural cooling interval from time point t 2 to t 3 , rectangular measuring current pulses are applied to the transistor under test, provided that a fixed constant power P H in the transistor structure is maintained equal to the power that is released in the transistor structure at the heating stage, as shown in FIG. one.

При действии каждого измерительного импульса одновременно измеряют и сохраняют значения температуры корпуса и температурочувствительного параметра TC(n) и UG(n), где n – порядковый номер измерительного импульса. Длительность и скважность измерительных импульсов тока должны минимально влиять на тепловые процессы в испытуемом транзисторе.Under the action of each measuring pulse, the temperatures of the body and the temperature-sensitive parameter T C (n) and U G (n) are simultaneously measured and stored, where n is the sequence number of the measuring pulse. The duration and duty cycle of the measuring current pulses should minimally influence the thermal processes in the transistor under test.

С учетом (1) полученный набор значений TC(n) преобразуют в TJ(n). Выполняют математическую обработку полученных наборов значений TJ(n) и UG(n), в результате получая функцию взаимосвязи температуры кристалла и температурочувствительного параметра TJ(UG).In view of (1), the resulting set of values of T C (n) is converted to T J (n). Perform a mathematical processing of the obtained sets of values of T J (n) and U G (n), resulting in a function of the relationship of the crystal temperature and temperature-sensitive parameter T J (U G ).

Известно, что переходное тепловое сопротивление кристалл – корпус ZThJC(t) определяется как температурная реакция испытуемого транзистора на мгновенное изменение мощности потерь [3]: It is known that the transient thermal resistance of a crystal - a body Z ThJC (t) is defined as the temperature response of the test transistor to an instantaneous change in power loss [3]:

Figure 00000002
, (2)
Figure 00000002
, (2)

где ΔP – скачок мощности потерь, ΔT(t) – изменение температуры кристалла относительно его корпуса в момент времени t.where ΔP is the power loss of the losses, ΔT (t) is the change in the temperature of the crystal relative to its body at the moment of time t.

С увеличением времени t переходное тепловое сопротивление кристалл-корпус ZThJC(t) выходит на постоянный участок, значения ZThJC(t) на постоянном участке равны значению теплового сопротивления кристалл-корпус в состоянии теплового равновесия RThJC.With an increase in time t, the transitional thermal resistance of the crystal-body Z ThJC (t) goes to a constant segment, the values of Z ThJC (t) on a constant segment are equal to the thermal resistance of the crystal-body in the thermal equilibrium state R ThJC .

В предлагаемом способе мощность в испытуемом транзисторе до начала интервала нагрева равна нулю, а на интервале нагрева скачок мощности потерь ΔP равен известной постоянной мощности PH.In the proposed method, the power in the test transistor before the start of the heating interval is zero, and in the heating interval power loss ΔP is equal to the known constant power PH.

Используя полученные на интервале нагрева зависимости UG(t) и TC(t), а также функцию взаимосвязи TJ(UG), вычисляют переходное тепловое сопротивление ZThJC(t) на интервале нагрева от t0 до t1 по формуле:Using the dependencies U G (t) and T C (t) obtained on the heating interval, as well as the interconnection function T J (U G ), the transition thermal resistance Z ThJC (t) is calculated over the heating interval from t 0 to t 1 using the formula:

Figure 00000001
, (3)
Figure 00000001
, (3)

где TJ(UG(t)) – зависимость температуры кристалла испытуемого транзистора от времени нагрева t, полученная через функцию взаимосвязи температуры кристалла испытуемого транзистора и температурочувствительного параметра TJ(UG) и зависимость температурочувствительного параметра от времени нагрева UG(t), TC(t) – зависимость температуры корпуса от времени нагрева t, PH – известная величина постоянной мощности.where T J (U G (t)) is the dependence of the crystal temperature of the test transistor on the heating time t, obtained through the function of the interrelation of the crystal temperature of the test transistor and the temperature-sensitive parameter T J (U G ) and the temperature-dependent parameter dependence on the heating time U G (t) , T C (t) is the dependence of the case temperature on the heating time t, P H is the known value of constant power.

Тепловое сопротивление кристалл-корпус в состоянии теплового равновесия RThJC определяют равным значению переходного теплового сопротивления ZThJC(t) на постоянном участке этой характеристики.The thermal resistance of the crystal-body in the state of thermal equilibrium R ThJC is determined to be equal to the value of the transition thermal resistance Z ThJC (t) on a constant part of this characteristic.

Применение в заявленном способе нагрева испытуемого транзистора электрическим током при условии поддержания заданной величины постоянной мощности, выделяемой в его структуре, позволяет устранить погрешности измерения мощности и повысить точность определения переходного теплового сопротивления кристалл-корпус ZThJC(t) и теплового теплового сопротивления кристалл-корпус в состоянии теплового равновесия RThJC. Application in the inventive method of heating the test transistor with an electric current, provided that the specified value is maintained at a constant power released in its structure, makes it possible to eliminate power measurement errors and improve the accuracy of determining the transient thermal resistance of the crystal body Z ThJC (t) and the thermal thermal resistance of the crystal body thermal equilibrium state R ThJC.

Осуществление испытания транзисторов при условиях обеспечения стабилизированной мощности, выделяемой в испытуемом приборе, использовании, позволяет исключить влияние переходных тепловых процессов на результаты измерений, что повышает точность определения переходного теплового сопротивления кристалл-корпус ZThJC(t) и, соответственно, теплового сопротивления кристалл-корпус в состоянии теплового равновесия RThJC.Testing transistors under the conditions of providing stabilized power released in the device under test, using, makes it possible to eliminate the influence of transient thermal processes on the measurement results, which improves the accuracy of determining the transient thermal resistance of the Z-body crystal T (t) and, accordingly, the thermal resistance of the crystal-body in a state of thermal equilibrium R ThJC .

Использование в качестве температурочувствительного параметра напряжения на затворе испытуемого транзистора UG, зависимость которого от температуры линейна, позволяет получать данные о температуре кристалла при постоянной мощности, выделяемой в испытуемом транзисторе, с более высокой точностью, что обуславливает повышение точности определения переходного теплового сопротивления кристалл-корпус ZThJC(t) и, соответственно, теплового сопротивления кристалл-корпус в состоянии теплового равновесия RThJC.Use as a temperature-sensitive parameter of the gate voltage of the test transistor U G , which is linearly dependent on temperature, allows obtaining data on the crystal temperature at a constant power released in the test transistor with higher accuracy, which leads to an increase in the accuracy of determining the transient thermal resistance of the crystal-body Z ThJC (t) and, accordingly, the thermal resistance of the crystal-body in the state of thermal equilibrium RThJC.

Использование измерительных импульсов тока при условии стабилизации заданной постоянной мощности выделяемой в полупроводниковом кристалле, что и на интервале нагрева, повышает точность определения взаимосвязи температуры кристалла и температурочувствительного параметра, что также позволяет повысить точность определения переходного теплового сопротивления кристалл-корпус ZThJC(t) и, соответственно, теплового сопротивления кристалл-корпус в состоянии теплового равновесия RThJC.The use of measuring current pulses, provided the stabilization of a given constant power released in a semiconductor crystal, as in the heating interval, improves the accuracy of determining the relationship between the crystal temperature and the temperature-sensitive parameter, which also improves the accuracy of determining the transient thermal resistance of the crystal-body ZThJC (t) and, respectively , thermal resistance of the crystal-body in the state of thermal equilibrium RThJC.

Источники информацииInformation sources

1. RU 2240573, МПК G01R 31/26, опубл. 20.11.2004.1. RU 2240573, IPC G01R 31/26, publ. 11/20/2004.

2. RU 179908, МПК G05F 1/66 (2006.01), опубл. 29.05.2018.2. RU 179908, IPC G05F 1/66 (2006.01), publ. 05/29/2018.

3. Воронин П. А. Силовые полупроводниковые ключи: семейства, характеристики, применение / П.А. Воронин. Изд. 2-е, перераб. и доп. – М.: Издательский дом Додэка-XXI, 2005. – 384 с.3. Voronin P. А. Power semiconductor switches: families, characteristics, application / P.А. Voronin. Ed. 2nd, Pererab. and add. - M .: Dodeka Publishing House-XXI, 2005. - 384 p.

Claims (6)

Способ определения переходного теплового сопротивления кристалл-корпус и теплового сопротивления кристалл-корпус в состоянии теплового равновесия транзисторов с полевым управлением, в котором нагрев испытуемого транзистора осуществляют путем пропускания через него постоянного электрического тока, измеряют на интервале нагрева значения температуры корпуса и температурочувствительного параметра, получая при этом их зависимости от времени нагрева, прекращают нагрев при достижении заданного значения температуры корпуса и на интервале естественного охлаждения подают измерительные импульсы электрического тока, длительность и скважность которых минимально влияют на тепловые процессы, отличающийся тем, что нагрев испытуемого транзистора осуществляют постоянным электрическим током при условии поддержания в полупроводниковом кристалле транзистора известной постоянной мощности PH, а в качестве температурочувствительного параметра используют напряжение на затворе испытуемого транзистора UG, измерительные импульсы электрического тока подают через промежуток времени не менее 2τ после прекращения нагрева, где τ – значение тепловой постоянной кристалл-корпус согласно данным паспорта испытуемого транзистора, а на интервале естественного охлаждения подают измерительные импульсы электрического тока при условии выделения в полупроводниковом кристалле транзистора известной постоянной мощности, равной величине мощности PH, которая выделяется в полупроводниковом кристалле транзистора на этапе нагрева, при этом при протекании каждого измерительного импульса электрического тока одновременно измеряют и сохраняют значения температуры корпуса TC(n) и температурочувствительного параметра UG(n), где n – порядковый номер измерительного импульса, получают функцию взаимосвязи температуры кристалла и температурочувствительного параметра TJ(UG), вычисляют переходное тепловое сопротивление кристалл-корпус ZThJC(t) на интервале нагрева:The method for determining the transient thermal resistance of the crystal-case and the thermal resistance of the crystal-case in the thermal equilibrium state of transistors with field control, in which the test transistor is heated by passing a constant electric current through it, measure the temperature of the case and the temperature-sensitive parameter during the heating interval, obtaining This, depending on the heating time, stops heating when the set temperature of the case reaches the interval le cooling supplied metering pulses of electric current, duration and duty cycle which minimally affect the thermal processes, characterized in that the heating of the test transistor is performed a constant electric current under the condition of maintaining in a semiconductor chip a transistor known constant power P H, as well as temperature-sensitive parameter using voltage the gate of the test transistor U G, metering pulses of electric current is fed through the gap sp Meni least 2τ after stopping heating, where τ - value of the thermal time constant crystal body according to the passport test transistor, and the range of the natural cooling is supplied metering pulses of electric current provided isolation in a semiconductor chip a transistor known constant power, equal to the power P H, which is released in the semiconductor crystal of the transistor at the stage of heating, at the same time with the flow of each measuring pulse of electric current simultaneously measuring yayut and stored values body temperature T C (n) and the temperature-sensitive parameter U G (n), where n - the serial number of the measuring pulse is obtained temperature relationship function of the crystal and the temperature-sensitive parameter T J (U G), calculated transient thermal resistance of the junction-case Z ThJC (t) on the heating interval:
Figure 00000003
,
Figure 00000003
,
где TJ(UG(t)) – зависимость температуры кристалла испытуемого транзистора от времени нагрева t, полученная через функцию взаимосвязи температуры кристалла испытуемого транзистора и температурочувствительного параметра TJ(UG) и зависимость температурочувствительного параметра от времени нагрева UG(t),where T J (U G (t)) is the dependence of the crystal temperature of the test transistor on the heating time t, obtained through the function of the interrelation of the crystal temperature of the test transistor and the temperature-sensitive parameter T J (U G ) and the temperature-dependent parameter dependence on the heating time U G (t) , TC(t) – зависимость температуры корпуса от времени нагрева t,T C (t) is the dependence of the case temperature on the heating time t, PH – известная постоянная мощность,P H - known constant power, а тепловое сопротивление кристалл-корпус в состоянии теплового равновесия RThJC испытуемого транзистора определяют равным величине переходного теплового сопротивления кристалл-корпус ZThJC(t) на постоянном участке этой характеристики.and the thermal resistance of the crystal-case in the state of thermal equilibrium R ThJC of the transistor under test is determined to be equal to the value of the transition thermal resistance of the crystal-case Z ThJC (t) on the constant part of this characteristic.
RU2018124029A 2018-07-03 2018-07-03 Method of determination of transient thermal resistance of crystal-housing and thermal resistance of crystal-housing in the state of heat equilibrium of transistors with field control RU2685769C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018124029A RU2685769C1 (en) 2018-07-03 2018-07-03 Method of determination of transient thermal resistance of crystal-housing and thermal resistance of crystal-housing in the state of heat equilibrium of transistors with field control

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2018124029A RU2685769C1 (en) 2018-07-03 2018-07-03 Method of determination of transient thermal resistance of crystal-housing and thermal resistance of crystal-housing in the state of heat equilibrium of transistors with field control

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2685769C1 true RU2685769C1 (en) 2019-04-23

Family

ID=66314784

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2018124029A RU2685769C1 (en) 2018-07-03 2018-07-03 Method of determination of transient thermal resistance of crystal-housing and thermal resistance of crystal-housing in the state of heat equilibrium of transistors with field control

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2685769C1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2720185C1 (en) * 2019-08-02 2020-04-27 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Method for measuring thermal resistance of transition-housing and thermal constants of transition-housing of crystals of semiconductor articles in an electronic module
CN114779036A (en) * 2022-04-20 2022-07-22 西安交通大学 Power device thermal distribution measurement method and system with time and space resolution
CN114814514A (en) * 2022-05-06 2022-07-29 扬州扬杰电子科技股份有限公司 Method for testing by using current leakage of TVS (transient voltage suppressor)
RU2787328C1 (en) * 2022-04-08 2023-01-09 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Method for measuring transition-case thermal resistance and transition-case thermal time constant of a semiconductor product

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2240573C1 (en) * 2003-04-22 2004-11-20 Флоренцев Станислав Николаевич Express method for measuring body transfer heat resistance of power semiconductor devices
RU2300115C1 (en) * 2006-02-02 2007-05-27 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Мордовский государственный университет им. Н.П. Огарева" Mode of definition of thermal resistance transition-body of power of semi-conductive devices fulfilled in a body
JP2010107432A (en) * 2008-10-31 2010-05-13 Fuji Electric Systems Co Ltd Method of integrated test of semiconductor and semiconductor testing device
RU2402783C1 (en) * 2009-08-04 2010-10-27 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Method of measuring thermal impedance of semiconductor diodes
US20140021973A1 (en) * 2012-07-18 2014-01-23 Espec Corp. Apparatus and method for power cycle test
RU2516609C2 (en) * 2012-09-10 2014-05-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Мордовский государственный университет им. Н.П. Огарёва" Method for determination of thermal resistance for junction field-effect transistors
US20150003492A1 (en) * 2013-06-27 2015-01-01 Fuji Electric Co., Ltd. Thermal resistance measuring method and thermal resistance measuring device

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2240573C1 (en) * 2003-04-22 2004-11-20 Флоренцев Станислав Николаевич Express method for measuring body transfer heat resistance of power semiconductor devices
RU2300115C1 (en) * 2006-02-02 2007-05-27 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Мордовский государственный университет им. Н.П. Огарева" Mode of definition of thermal resistance transition-body of power of semi-conductive devices fulfilled in a body
JP2010107432A (en) * 2008-10-31 2010-05-13 Fuji Electric Systems Co Ltd Method of integrated test of semiconductor and semiconductor testing device
RU2402783C1 (en) * 2009-08-04 2010-10-27 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Method of measuring thermal impedance of semiconductor diodes
US20140021973A1 (en) * 2012-07-18 2014-01-23 Espec Corp. Apparatus and method for power cycle test
RU2516609C2 (en) * 2012-09-10 2014-05-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Мордовский государственный университет им. Н.П. Огарёва" Method for determination of thermal resistance for junction field-effect transistors
US20150003492A1 (en) * 2013-06-27 2015-01-01 Fuji Electric Co., Ltd. Thermal resistance measuring method and thermal resistance measuring device

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Н.Н. Беспалов, М.В. Ильин, "Исследование термочувствительного параметра полупроводниковых диодов", Технические и естественные науки: проблемы, теория, эксперимент, Вып. V, Саранск: Ковылк. тип., 2005, С. 29-31. *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2720185C1 (en) * 2019-08-02 2020-04-27 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Method for measuring thermal resistance of transition-housing and thermal constants of transition-housing of crystals of semiconductor articles in an electronic module
RU2787328C1 (en) * 2022-04-08 2023-01-09 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Method for measuring transition-case thermal resistance and transition-case thermal time constant of a semiconductor product
CN114779036A (en) * 2022-04-20 2022-07-22 西安交通大学 Power device thermal distribution measurement method and system with time and space resolution
CN114814514A (en) * 2022-05-06 2022-07-29 扬州扬杰电子科技股份有限公司 Method for testing by using current leakage of TVS (transient voltage suppressor)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2516609C2 (en) Method for determination of thermal resistance for junction field-effect transistors
RU2685769C1 (en) Method of determination of transient thermal resistance of crystal-housing and thermal resistance of crystal-housing in the state of heat equilibrium of transistors with field control
US9261539B2 (en) Method for measuring an electrical current and apparatus for this purpose
Strauss et al. Measuring the junction temperature of an IGBT using its threshold voltage as a temperature sensitive electrical parameter (TSEP)
US11674856B2 (en) System and method for estimating junction temperatures of a power semiconductor module
US20210325258A1 (en) System and method for determining the thermal resistance of a power semiconductor device
Bahun et al. Estimation of insulated-gate bipolar transistor operating temperature: simulation and experiment
HU186066B (en) Method and apparatus for measuring coefficient of heat transfer
Davidson et al. Measurement and characterization technique for real-time die temperature prediction of MOSFET-based power electronics
US8628240B2 (en) Temperature measurement using a diode with saturation current cancellation
RU2300115C1 (en) Mode of definition of thermal resistance transition-body of power of semi-conductive devices fulfilled in a body
CN109211963A (en) System and method for detecting thermal resistance of heat-conducting material
CN104122469B (en) Method for increasing measured seebeck coefficient accuracy of thermoelectric material
RU2613481C1 (en) Method of digital integrated circuits transient thermal characteristics measuring
TWI221905B (en) Feedforward temperature control of device under test
RU2698512C1 (en) Method for automated monitoring of thermal resistances of semiconductor devices
Sarkany et al. Effect of power cycling parameters on predicted IGBT lifetime
US11313819B2 (en) Thermal analysis of semiconductor devices
RU2787328C1 (en) Method for measuring transition-case thermal resistance and transition-case thermal time constant of a semiconductor product
RU2707757C1 (en) Method of reducing measurement error of temperature with electric bridge
Туз et al. Voltage spectral structure of the thermocouple with temperature dependent wires
Askarova et al. High accuracy impedance measurements of the rootage system used in investigating its condition by the EIS method
RU2654353C1 (en) Method of measuring component of thermal resistance of powerful semiconductor instruments
Pawłowski Single sensor hot-wire anemometer based on thermal time constant estimation
RU2766066C1 (en) Method for measuring the transient response of digital integrated microchips

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200704