[go: up one dir, main page]

RU2413263C1 - Микроскоп отраженного света - Google Patents

Микроскоп отраженного света Download PDF

Info

Publication number
RU2413263C1
RU2413263C1 RU2009123147/28A RU2009123147A RU2413263C1 RU 2413263 C1 RU2413263 C1 RU 2413263C1 RU 2009123147/28 A RU2009123147/28 A RU 2009123147/28A RU 2009123147 A RU2009123147 A RU 2009123147A RU 2413263 C1 RU2413263 C1 RU 2413263C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
lens
channel
eyepiece
field
removable
Prior art date
Application number
RU2009123147/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2009123147A (ru
Inventor
Сергей Николаевич Натаровский (RU)
Сергей Николаевич Натаровский
Наталия Богдановна Скобелева (RU)
Наталия Богдановна Скобелева
Елена Викторовна Лобачева (RU)
Елена Викторовна Лобачева
Михаил Наумович Сокольский (RU)
Михаил Наумович Сокольский
Анатолий Иванович Мамаев (RU)
Анатолий Иванович Мамаев
Original Assignee
Открытое акционерное общество "ЛОМО"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Открытое акционерное общество "ЛОМО" filed Critical Открытое акционерное общество "ЛОМО"
Priority to RU2009123147/28A priority Critical patent/RU2413263C1/ru
Publication of RU2009123147A publication Critical patent/RU2009123147A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2413263C1 publication Critical patent/RU2413263C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Abstract

Изобретение относится к области микроскопии. Микроскоп отраженного света содержит осветительный канал, построенный по схеме опак-иллюминатора и включающий в себя источник света, коллектор, блок сменных светофильтров, сменный поляризатор, сменные кольцевую диафрагму темного поля и диафрагму светлого поля, дополнительную линзу, зеркальный светоделительный блок, сменный эпиобъектив, состоящий из микрообъектива и эпизеркала, визуальный канал, содержащий эпиобъектив, работающий в прямом ходе, сменный анализатор, тубусную линзу и окуляр. Светоделительный блок выполнен в виде не менее одной пары сменных зеркал, где в каждой паре одно из зеркал глухое, а другое - полупрозрачное. После светоделительного блока в ходе лучей отраженного света установлен канал для регистрации цифрового изображения, включающий адаптер и мозаичный фотоприемник. Между тубусной линзой визуального канала и окуляром установлена призма Пехана с возможностью вращения вокруг оптической оси. Фокусное расстояние f1 адаптера канала регистрации цифрового изображения и фокусное расстояние тубусной линзы f2 визуального канала находятся в соотношении f1=f2×Д12, где Д1 - размер диагонали фотоприемника, Д2 - диаметр полевой диафрагмы окуляра. Технический результат - повышение качества изображения объекта и удобства работы оператора. 3 з.п. ф-лы, 2 ил.

Description

Предлагаемое изобретение относится к оптике, а точнее к микроскопии.
Известны микроскопы с аналогичной оптической системой, осветительная часть которых строится по схеме опак-иллюминатора со светоделительным блоком, содержащим полупрозрачное зеркало и глухое кольцевое зеркало.
Типичным представителем такого типа микроскопов является флуоресцентный микроскоп [1], содержащий осветительную часть для освещения непрозрачных объектов или люминесцирующих в отраженном свете объектов и систему наблюдения или регистрации изображения на носитель. В патенте приведено несколько вариантов реализации системы освещения как в светопольном, так и в темнопольном (эпифлюоресценция) вариантах. При организации темнопольного освещения объекта в основном варианте ([1], фиг.3) используется глухое кольцевое зеркало, которое обычно является источником рассеянного света, существенно портящее качество изображения объекта, что является основным недостатком такого технического решения.
Использование нескольких источников света (светодиодов), расположенных по кругу ([1], фиг.4 и фиг.8), не решает проблему устранения рассеянного света из-за широкой индикатрисы излучения светодиодов - более 10°, тогда как полевые углы освещающих пучков в микроскопе не превышают 4,5°. Одновременно использование нескольких светодиодов на практике накладывает требования на одинаковость их светотехнических характеристик - яркость, сила света и пр., что без их селекции (специального подбора) никогда не удается и существенно усложняет процесс изготовления и удорожает изделие.
Наиболее близким техническим решением к предлагаемому изобретению является металлографический микроскоп отраженного света [2], который содержит осветительный канал, построенный по схеме опак-иллюминатора и включающий в себя источник света, коллектор, блок сменных светофильтров, сменный поляризатор, сменные кольцевую диафрагму темного поля и диафрагму светлого поля, дополнительную линзу, зеркальный светоделительный блок и сменный эпиобъектив, состоящий из микрообъектива и эпизеркала, например, с параболической отражающей поверхностью, при этом микрообъектив выполняет в обратном ходе лучей роль конденсора для светлопольного освещения, а эпизеркало - роль конденсора для темнопольного освещения, визуальный канал, содержащий эпиобъектив, работающий в прямом ходе, сменный анализатор, тубусную линзу, блок призм и окуляр.
Недостатком известного микроскопа является то, что для организации в этой схеме темнопольного освещения необходимо введение в светоделительный блок оптической системы, реализующей освещение по схеме опак-иллюминатора, помимо полупрозрачного зеркала кольцевого диагонального зеркала, являющегося источником рассеянного света, который существенно портит качество темнопольного освещения и снижает контраст изображения при светопольном освещении.
Другим недостатком прототипа является отсутствие канала для регистрации цифрового изображения.
Не менее важным недостатком оптических систем этих микроскопов является то, что при проведении измерений геометрических размеров изображения и элементов его структуры при использовании окуляр-микрометров как обычных MOB-153 ([1], с.479, рис.XXIII.15), так и фотоэлектрических ФОМ-2, которые имеют одномерную шкалу для проведения измерений по разным направлениям, их приходится разворачивать, что утомительно при большом объеме измерений, а главное - практически невозможно точно выставить окуляр, например, по двум ортогональным направлениям, что снижает точность результатов измерений.
Еще одним недостатком является то, что при темнопольном освещении светящееся тело проецируется в плоскость объекта (критический метод освещения) и, если светящееся тело не равнояркое, например, как в спирали лампы накаливания, то поле зрения будет освещено неравномерно.
Не менее важный недостаток связан с тем, что известно [3], что при использовании в качестве эпизеркала параболической отражающей поверхности не обеспечивается больших полей на объекте.
Основной задачей, на решение которой направлено изобретение, является повышение качества изображения объекта за счет улучшения освещения в темном и светлом полях и повышения контраста изображения, а также создание удобства работы оператора.
Поставленная задача решается с помощью предлагаемого микроскопа отраженного света, который, как и прототип, содержит осветительный канал, построенный по схеме опак-иллюминатора и включающий в себя источник света, коллектор, блок сменных светофильтров, сменный поляризатор, сменные кольцевую диафрагму темного поля и диафрагму светлого поля, дополнительную линзу, зеркальный светоделительный блок и сменный эпиобъектив, состоящий из микрообъектива и эпизеркала, визуальный канал, содержащий эпиобъектив, работающий в прямом ходе, сменный анализатор, тубусную линзу и окуляр.
В отличие от прототипа зеркальный светоделительный блок выполнен в виде не менее одной пары сменных зеркал, и при этом в каждой паре одно из зеркал глухое, а другое - полупрозрачное, размеры которых не превышают размера центральной экранирующей части кольцевой диафрагмы осветительного канала, после зеркального светоделительного блока в ходе лучей отраженного света установлен канал для регистрации цифрового изображения, включающий адаптер и мозаичный фотоприемник, например матрицу типа ПЗС, между тубусной линзой визуального канала и окуляром установлена призма Пехана с возможностью вращения вокруг оптической оси, а фокусное расстояние f1 адаптера канала регистрации цифрового изображения и фокусное расстояние тубусной линзы f2 визуального канала находятся в соотношении f1=f2×Д12, где Д1 - размер диагонали фотоприемника, Д2 - диаметр полевой диафрагмы окуляра.
Кроме того, источник света осветительного канала выполнен в виде светодиода.
Перед эпизеркалом установлена тороидальная линза и рассеиватель, например, линзовый растр, эквивалентный фокус эпизеркала и тороидальной линзы совпадает с центром освещаемого поля, а эпизеркало выполнено с конической отражающей поверхностью.
Окуляр выполнен в виде окуляр-микрометра или в виде фотоэлектрического окуляр-микрометра.
Сущность предлагаемого изобретения заключается в том, что выполнение зеркального светоделительного блока в виде не менее одной пары сменных зеркал и при этом в каждой паре одно из зеркал глухое, а другое - полупрозрачное, размеры которых не превышают размера центральной экранирующей части кольцевой диафрагмы осветительного канала, приводит к тому, что осветительный и визуальный канал меняются местами. Отсутствует кольцевое зеркало - источник рассеянного света и паразитной засветки.
Введение канала для регистрации цифрового изображения, включающего адаптер и мозаичный фотоприемник, например матрицу типа ПЗС, и размещение его после зеркального светоделительного блока в ходе лучей отраженного света, а также выбор фокусных расстояний тубусных линз канала регистрации цифрового изображения и визуального канала в соответствии с условием: f1=f2×Д12, где Д1 и Д2 соответственно размеры фотоприемника, например Д1 - размер диагонали ПЗС матрицы, Д2 - диаметр полевой диафрагмы окуляра, позволяет реализовать все поле зрения и соблюсти критерий Найквиста, устранив при этом муар и выполнив условия теоремы Котельникова, что в итоге позволяет точно восстановить изображение объекта после его дискретизации на ПЗС матрице.
Замена лампы накаливания со спиральным светящимся телом на светодиод, имеющий в качестве светящегося тела площадку с достаточно равнояркостной поверхностью, позволяет выравнивать светораспределение на объекте при темнопольном критическом освещении.
Тем не менее есть светодиоды с наборным из нескольких кристаллов светящимся телом, что требует введения в ход освещающих пучков рассеивателя и, как более эффективного, - линзового растра.
Коническое эпизеркало в меридиональном сечении не имеет аберраций как и плоское зеркало, поэтому если эпизеркало выполнено с конической отражающей поверхностью и перед эпизеркалом установлена тороидальная линза и рассеиватель, например линзовый растр, эквивалентный фокус конического эпизеркала и тороидальной линзы совпадает с центром освещаемого поля, задача равномерного освещения больших полей решается.
Таким образом, технический результат, заключающийся в повышении качества изображения объекта за счет улучшения освещения в темном и светлом полях и повышения контраста изображения, в предлагаемом устройстве достигнут, а совокупность указанных выше признаков позволяет решить поставленную задачу.
Предлагаемое изобретение иллюстрируется чертежами, где
на фиг.1 приведена принципиальная схема микроскопа отраженного света в светлом поле;
на фиг.2 - принципиальная схема микроскопа отраженного света в темном поле.
Микроскоп отраженного света содержит осветительный канал, построенный по схеме опак-иллюминатора и включающий в себя источник света 1, коллектор 2, блок сменных светофильтров 3, сменный поляризатор 4, сменные кольцевую диафрагму темного поля 5 и диафрагму светлого поля 6, дополнительную линзу 7, зеркальный светоделительный блок 8, 9 и сменный эпиобъектив 10, состоящий из микрообъектива 11 и эпизеркала 12, визуальный канал, содержащий эпиобъектив 10, работающий в прямом ходе, сменный анализатор 13, тубусную линзу 14 и окуляр 15.
Зеркальный светоделительный блок выполнен в виде не менее одной пары сменных зеркал 8, 9, и при этом в каждой паре одно из зеркал глухое 16, 17, а другое - полупрозрачное 8, 9, размеры которых не превышают размера центральной экранирующей части кольцевой диафрагмы 5 осветительного канала, после зеркального светоделительного блока в ходе лучей отраженного света установлен канал для регистрации цифрового изображения, включающий адаптер 18 и мозаичный фотоприемник 19, например матрицу типа ПЗС, между тубусной линзой 14 визуального канала и окуляром 15 установлена призма Пехана 20 с возможностью вращения вокруг оптической оси, а фокусное расстояние f1 адаптера 18 канала регистрации цифрового изображения и фокусное расстояние тубусной линзы 14 f2 визуального канала находятся в соотношении f1=f2×Д12, где Д1 - размер диагонали фотоприемника 19, Д2 - диаметр полевой диафрагмы окуляра 15.
Источник света 1 осветительного канала выполнен в виде светодиода.
Перед эпизеркалом 12 установлена тороидальная линза 21 (фиг.2) и рассеиватель 22 (фиг.2), например линзовый растр, эквивалентный фокус конического эпизеркала 12 и тороидальной линзы 21 совпадает с центром освещаемого поля на поверхности объекта 23, а эпизеркало 12 выполнено с конической отражающей поверхностью.
Окуляр 15 выполнен в виде окуляр-микрометра типа MOB-1-16 или в виде фотоэлектрического окуляр-микрометра ФОМ-2-16.
Работа микроскопа отраженного света осуществляется следующим образом.
При исследовании объектов в отраженном свете, темном поле (фиг.1) источник света 1 расположен в фокусе коллектора 2. Параллельный пучок лучей, выходя из коллектора 2, проходит блок сменных светофильтров 3, сменный поляризатор 4 и сменную кольцевую диафрагму темного поля 5, попадает в эпиобъектив 10, т.е. проходит линзовый рассеиватель 22, например линзовый растр, тороидальную линзу 21, причем эквивалентный фокус системы тороидальная линза 21 - коническое эпизеркало 12 совпадает с центром освещаемой поверхности объекта 23.
Свет, отражаясь от объекта, проходит объектив 11, отражаясь от сменного глухого зеркала 16 светоделительного блока, собирается тубусной линзой 14 в плоскости полевой диафрагмы окуляра 15. Между тубусной линзой 14 и окуляром 15 устанавливается сменный анализатор 13 и призма Пехана 20.
Призма Пехана 20 обеспечивает возможность вращения изображения вокруг оптической оси.
Сменное глухое зеркало 17 направляет свет на адаптер 18, который строит изображение на ПЗС-матрице 19.
Между сменным глухим зеркалом 17 и адаптером 18 установлен сменный анализатор 13.
Для работы микроскопа в отраженном свете, светлом поле (фиг.2) сменную кольцевую диафрагму темного поля 5 заменяют диафрагмой светлого поля 6 и дополнительной линзой 7, которая строит изображение источника света 1 в выходном зрачке микрообъектива 11.
Между дополнительной линзой 7 и микрообъективом 11 размещена пара полупрозрачных зеркал 8 и 9.
Полупрозрачное зеркало 9 пропускает весь пучок лучей через микрообъектив 11, выполняющий роль конденсора в этом ходе, и лучи попадают на плоскость объекта 23, освещают поле зрения.
Отражаясь от объекта 23, свет проходит микрообъектив 11, отражается от полупрозрачного экрана 9, а тубусная линза 14 строит изображение в плоскости полевой диафрагмы окуляра 15.
Сменное полупрозрачное зеркало 8 направляет свет на адаптер 18, который строит изображение на ПЗС-матрице 19.
Между тубусной линзой 14 и окуляром 15 установлены сменный анализатор 13 и призма Пехана 20, обеспечивающая возможность вращения изображения вокруг оптической оси.
Перед адаптером 18 расположен еще один сменный анализатор 13. Сменные поляризатор 4 и анализатор 13 устанавливаются в режиме поляризации.
Таким образом, предлагаемый микроскоп отраженного света позволяет повысить качество изображения объекта за счет улучшения освещения в темном и светлом полях и повысить контраст изображения.
Источники информации
1. Российская Федерация, патент №2182328, МПК: 7 G01N 21/64, G02B 21/00, 2002 г.
2. Г.Е.Скворцов и др. Микроскопы, Л., Машиностроение, 1969, с.345, рис.XIII.I - прототип.
3. Грамматин А.П., Кириченко Е.В. Особенности расчета осветительного устройства микроскопа с параболоидальным эпизеркалом. ОПМ, 1979, №4, с.20.

Claims (4)

1. Микроскоп отраженного света, содержащий осветительный канал, построенный по схеме опак-иллюминатора и включающий в себя источник света, коллектор, блок сменных светофильтров, сменный поляризатор, сменные кольцевую диафрагму темного поля и диафрагму светлого поля, дополнительную линзу, зеркальный светоделительный блок и сменный эпиобъектив, состоящий из микрообъектива и эпизеркала, визуальный канал, содержащий эпиобъектив, работающий в прямом ходе, сменный анализатор, тубусную линзу и окуляр, отличающийся тем, что зеркальный светоделительный блок выполнен в виде не менее одной пары сменных зеркал, и при этом в каждой паре одно из зеркал глухое, а другое полупрозрачное, размеры которых не превышают размера центральной экранирующей части кольцевой диафрагмы осветительного канала, после зеркального светоделительного блока в ходе лучей отраженного света установлен канал для регистрации цифрового изображения, включающий адаптер и мозаичный фотоприемник, например матрицу типа ПЗС, между тубусной линзой визуального канала и окуляром установлена призма Пехана с возможностью вращения вокруг оптической оси, а фокусное расстояние f1 адаптера канала регистрации цифрового изображения и фокусное расстояние тубусной линзы f2 визуального канала находятся в соотношении f1=f2·Д12, где Д1 - размер диагонали фотоприемника; Д2 - диаметр полевой диафрагмы окуляра.
2. Микроскоп отраженного света по п.1, отличающийся тем, что источник света осветительного канала выполнен в виде светодиода.
3. Микроскоп отраженного света по п.1, отличающийся тем, что перед эпизеркалом установлена тороидальная линза и рассеиватель, например линзовый растр, эквивалентный фокус конического эпизеркала и тороидальной линзы совпадает с центром освещаемого поля, а эпизеркало выполнено с конической отражающей поверхностью.
4. Микроскоп отраженного света по п.1, отличающийся тем, что окуляр выполнен в виде окуляр-микрометра или в виде фотоэлектрического окуляр-микрометра.
RU2009123147/28A 2009-06-17 2009-06-17 Микроскоп отраженного света RU2413263C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009123147/28A RU2413263C1 (ru) 2009-06-17 2009-06-17 Микроскоп отраженного света

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2009123147/28A RU2413263C1 (ru) 2009-06-17 2009-06-17 Микроскоп отраженного света

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2009123147A RU2009123147A (ru) 2010-12-27
RU2413263C1 true RU2413263C1 (ru) 2011-02-27

Family

ID=44055273

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009123147/28A RU2413263C1 (ru) 2009-06-17 2009-06-17 Микроскоп отраженного света

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2413263C1 (ru)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1136094A1 (ru) * 1983-05-26 1985-01-23 Предприятие П/Я Р-6495 Микроскоп
JP2000019411A (ja) * 1998-07-02 2000-01-21 Olympus Optical Co Ltd 実体顕微鏡の照明装置
RU2182328C2 (ru) * 2000-02-17 2002-05-10 Институт молекулярной биологии им. В.А. Энгельгардта РАН Флуоресцентный микроскоп
DE10239955B3 (de) * 2002-08-26 2004-05-13 Carl Zeiss Smt Ag Mikroskop mit Hell- und Dunkelfeldbeleuchtung
WO2007011818A1 (en) * 2005-07-15 2007-01-25 Auburn University Microscope illumination device and adapter for dark- and bright-field illumination

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1136094A1 (ru) * 1983-05-26 1985-01-23 Предприятие П/Я Р-6495 Микроскоп
JP2000019411A (ja) * 1998-07-02 2000-01-21 Olympus Optical Co Ltd 実体顕微鏡の照明装置
RU2182328C2 (ru) * 2000-02-17 2002-05-10 Институт молекулярной биологии им. В.А. Энгельгардта РАН Флуоресцентный микроскоп
DE10239955B3 (de) * 2002-08-26 2004-05-13 Carl Zeiss Smt Ag Mikroskop mit Hell- und Dunkelfeldbeleuchtung
WO2007011818A1 (en) * 2005-07-15 2007-01-25 Auburn University Microscope illumination device and adapter for dark- and bright-field illumination

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Скворцов Г.Е. и др. Микроскопы. - Л.: Машиностроение, 1969, с.345, рис.ХIII.1. *

Also Published As

Publication number Publication date
RU2009123147A (ru) 2010-12-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5754291A (en) Micro-imaging system
CN111272773B (zh) 一种半导体晶圆表面缺陷的快速超高分辨检测系统
CN105209956B (zh) 标本观察装置和标本观察方法
US9383562B2 (en) Optical arrangement
US8749882B2 (en) Low numerical aperture exclusion imaging
EP0880690A1 (en) Fluorescence imaging system compatible with macro and micro scanning objectives
US8809809B1 (en) Apparatus and method for focusing in fluorescence microscope
JPH07122694B2 (ja) 顕微鏡用照明装置
WO2021200960A1 (ja) 観察装置
RU2510959C2 (ru) Устройство для анализа люминесцирующих биологических микрочипов
US11493746B2 (en) Illumination module for angle-selective illumination
KR101907845B1 (ko) 쾰러조명계를 포함하는 투과 형광현미경
GB2520541A (en) Optical arrangement for imaging a sample
RU2413263C1 (ru) Микроскоп отраженного света
US7602555B2 (en) Observation or measurement means and observation or measurement system provided with the same, feeble light image pickup optical system and microscope apparatus provided with the same, microscope system provided with the microscope apparatus, and observation apparatus and observation system provided with the same
JP2021086156A (ja) 微分位相差顕微鏡
US12235427B2 (en) Observation apparatus
JPH08166514A (ja) 斜光照明装置
JP2002023061A (ja) 顕微鏡の暗視野照明装置および暗視野照明方法
EP3961192A1 (en) Device, method and use for optically determining at least one property of a sample positioned on a sample stage
TWI534473B (zh) Confocal scanner unit and confocal microscope
KR20080023183A (ko) 기판 표면 에러를 광학적으로 검출하기 위한 장치
KR101373511B1 (ko) 연속 범위 각도에 대해 선택가능한 조명을 이용하는 검사 시스템 및 방법
KR20250118580A (ko) 마이크로렌즈어레이를 포함하는 duv fpm
CN117348225A (zh) 显微装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20190618