[go: up one dir, main page]

RU2008141970A - Реакционное устройство для получения трихлорсилана - Google Patents

Реакционное устройство для получения трихлорсилана Download PDF

Info

Publication number
RU2008141970A
RU2008141970A RU2008141970/15A RU2008141970A RU2008141970A RU 2008141970 A RU2008141970 A RU 2008141970A RU 2008141970/15 A RU2008141970/15 A RU 2008141970/15A RU 2008141970 A RU2008141970 A RU 2008141970A RU 2008141970 A RU2008141970 A RU 2008141970A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
trichlorosilane
device body
upper side
perforated
producing trichlorosilane
Prior art date
Application number
RU2008141970/15A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2466781C2 (ru
Inventor
Тикара ИНАБА (JP)
Тикара ИНАБА
Original Assignee
Мицубиси Матириалз Корпорейшн (Jp)
Мицубиси Матириалз Корпорейшн
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Мицубиси Матириалз Корпорейшн (Jp), Мицубиси Матириалз Корпорейшн filed Critical Мицубиси Матириалз Корпорейшн (Jp)
Publication of RU2008141970A publication Critical patent/RU2008141970A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2466781C2 publication Critical patent/RU2466781C2/ru

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/08Compounds containing halogen
    • C01B33/107Halogenated silanes
    • C01B33/1071Tetrachloride, trichlorosilane or silicochloroform, dichlorosilane, monochlorosilane or mixtures thereof
    • C01B33/10715Tetrachloride, trichlorosilane or silicochloroform, dichlorosilane, monochlorosilane or mixtures thereof prepared by reacting chlorine with silicon or a silicon-containing material
    • C01B33/10731Tetrachloride, trichlorosilane or silicochloroform, dichlorosilane, monochlorosilane or mixtures thereof prepared by reacting chlorine with silicon or a silicon-containing material with the preferential formation of trichlorosilane
    • C01B33/10736Tetrachloride, trichlorosilane or silicochloroform, dichlorosilane, monochlorosilane or mixtures thereof prepared by reacting chlorine with silicon or a silicon-containing material with the preferential formation of trichlorosilane from silicon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/08Compounds containing halogen
    • C01B33/107Halogenated silanes
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/30Loose or shaped packing elements, e.g. Raschig rings or Berl saddles, for pouring into the apparatus for mass or heat transfer
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J8/00Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes
    • B01J8/18Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with fluidised particles
    • B01J8/1818Feeding of the fluidising gas
    • B01J8/1827Feeding of the fluidising gas the fluidising gas being a reactant
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J8/00Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes
    • B01J8/18Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with fluidised particles
    • B01J8/24Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with fluidised particles according to "fluidised-bed" technique
    • B01J8/34Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with fluidised particles according to "fluidised-bed" technique with stationary packing material in the fluidised bed, e.g. bricks, wire rings, baffles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J8/00Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes
    • B01J8/18Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with fluidised particles
    • B01J8/24Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with fluidised particles according to "fluidised-bed" technique
    • B01J8/38Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with fluidised particles according to "fluidised-bed" technique with fluidised bed containing a rotatable device or being subject to rotation or to a circulatory movement, i.e. leaving a vessel and subsequently re-entering it
    • B01J8/382Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with fluidised particles according to "fluidised-bed" technique with fluidised bed containing a rotatable device or being subject to rotation or to a circulatory movement, i.e. leaving a vessel and subsequently re-entering it with a rotatable device only
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/08Compounds containing halogen
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2208/00Processes carried out in the presence of solid particles; Reactors therefor
    • B01J2208/00796Details of the reactor or of the particulate material
    • B01J2208/00823Mixing elements
    • B01J2208/00858Moving elements
    • B01J2208/00867Moving elements inside the bed, e.g. rotary mixer
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/30Details relating to random packing elements
    • B01J2219/302Basic shape of the elements
    • B01J2219/30207Sphere
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/30Details relating to random packing elements
    • B01J2219/302Basic shape of the elements
    • B01J2219/30215Toroid or ring
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/30Details relating to random packing elements
    • B01J2219/304Composition or microstructure of the elements
    • B01J2219/30408Metal
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01JCHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/30Details relating to random packing elements
    • B01J2219/31Size details
    • B01J2219/312Sizes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)

Abstract

1. Реакционное устройство для получения трихлорсилана, в котором порошок металлического кремния взаимодействует с газом хлористого водорода для образования трихлорсилана, включает в себя: ! корпус устройства, в который подают порошок металлического кремния; и ! эжекторный канал для эжектирования газа хлористого водорода в корпус устройства, который открыт с верхней стороны перегородки, отделяющей нижнюю часть корпуса устройства, в котором, при этом ! множество плоских перфорированных элементов, имеющих сквозное отверстие, проходящее в направлении толщины, и множество гранул, расположенных между этими перфорированными элементами, сложены в перемешанном состоянии на верхней стороне эжекторного канала. ! 2. Реакционное устройство для получения трихлорсилана по п.1, в котором гранулы смешаны с перфорированными элементами в весовом соотношении от 0,5 до 5. ! 3. Реакционное устройство для получения трихлорсилана по п.1 или 2, в котором гранулой является шаровой элемент с диаметром от 5 до 20 мм, ! перфорированный элемент выполнен в форме круглой плоской пластины с размером внешнего диаметра от 4 до 20 мм и сквозным отверстием такого размера, что гранула не может быть введена через него. ! 4. Способ получения трихлорсилана взаимодействием порошка металлического кремния с газом хлористого водорода, таким образом образуя трихлорсилан, при котором: ! располагают множества плоских перфорированных элементов, имеющих сквозные отверстия, проходящие по направлению толщины, и множества гранул, расположенных между этими перфорированными элементами в перемешанном состоянии на верхней стороне перегородки, отделяющей нижнюю �

Claims (4)

1. Реакционное устройство для получения трихлорсилана, в котором порошок металлического кремния взаимодействует с газом хлористого водорода для образования трихлорсилана, включает в себя:
корпус устройства, в который подают порошок металлического кремния; и
эжекторный канал для эжектирования газа хлористого водорода в корпус устройства, который открыт с верхней стороны перегородки, отделяющей нижнюю часть корпуса устройства, в котором, при этом
множество плоских перфорированных элементов, имеющих сквозное отверстие, проходящее в направлении толщины, и множество гранул, расположенных между этими перфорированными элементами, сложены в перемешанном состоянии на верхней стороне эжекторного канала.
2. Реакционное устройство для получения трихлорсилана по п.1, в котором гранулы смешаны с перфорированными элементами в весовом соотношении от 0,5 до 5.
3. Реакционное устройство для получения трихлорсилана по п.1 или 2, в котором гранулой является шаровой элемент с диаметром от 5 до 20 мм,
перфорированный элемент выполнен в форме круглой плоской пластины с размером внешнего диаметра от 4 до 20 мм и сквозным отверстием такого размера, что гранула не может быть введена через него.
4. Способ получения трихлорсилана взаимодействием порошка металлического кремния с газом хлористого водорода, таким образом образуя трихлорсилан, при котором:
располагают множества плоских перфорированных элементов, имеющих сквозные отверстия, проходящие по направлению толщины, и множества гранул, расположенных между этими перфорированными элементами в перемешанном состоянии на верхней стороне перегородки, отделяющей нижнюю часть корпуса устройства, в которую подают порошок металлического кремния;
и эжектируют газ из эжекторного канала, который открыт с верхней стороны перегородки во время подачи порошка металлического кремния в корпус устройства.
RU2008141970/05A 2007-10-25 2008-10-22 Реакционное устройство для получения трихлорсилана и способ получения трихлорсилана RU2466781C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007277787 2007-10-25
JP2007-277787 2007-10-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2008141970A true RU2008141970A (ru) 2010-04-27
RU2466781C2 RU2466781C2 (ru) 2012-11-20

Family

ID=40263206

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008141970/05A RU2466781C2 (ru) 2007-10-25 2008-10-22 Реакционное устройство для получения трихлорсилана и способ получения трихлорсилана

Country Status (6)

Country Link
US (2) US8226895B2 (ru)
EP (1) EP2052774B1 (ru)
JP (1) JP5343493B2 (ru)
KR (1) KR101479344B1 (ru)
CN (1) CN101418012B (ru)
RU (1) RU2466781C2 (ru)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100264362A1 (en) * 2008-07-01 2010-10-21 Yongchae Chee Method of producing trichlorosilane (TCS) rich Chlorosilane product stably from a fluidized gas phase reactor (FBR) and the structure of the reactor
US8178051B2 (en) * 2008-11-05 2012-05-15 Stephen Michael Lord Apparatus and process for hydrogenation of a silicon tetrahalide and silicon to the trihalosilane
KR101336302B1 (ko) * 2010-10-04 2013-12-02 주식회사 엘지화학 트리클로로실란 제조용 유동층 반응장치
CN101962189A (zh) * 2010-10-13 2011-02-02 宁夏阳光硅业有限公司 三氯硅烷合成塔氯化氢气体喷出构件及三氯硅烷合成方法
JP7102351B2 (ja) 2017-01-19 2022-07-19 株式会社トクヤマ インターナル、流動床式反応装置およびトリクロロシランの製造方法
KR102779113B1 (ko) * 2018-12-27 2025-03-11 가부시키가이샤 도쿠야마 클로로 실란류의 제조방법

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4927263B1 (ru) * 1968-12-20 1974-07-16
DE2304762A1 (de) * 1973-02-01 1974-08-15 Degussa Herstellung von formaldehyd in einer wirbelschicht mit einem bestimmten temperaturgradienten
JPS6032086B2 (ja) * 1982-07-08 1985-07-26 バブコツク日立株式会社 流動層装置
JPS5945916A (ja) * 1982-09-02 1984-03-15 Denki Kagaku Kogyo Kk 高純度シリコンの連続的製造方法
JP2519094B2 (ja) * 1988-11-29 1996-07-31 高純度シリコン株式会社 トリクロロシラン製造用流動反応装置
JP2002145413A (ja) 2000-11-09 2002-05-22 Sato Corp 在庫予測管理装置及びシステム並びに在庫予測管理方法
US6666436B1 (en) * 2002-09-25 2003-12-23 Beco Engineering Co. Mixed-size packed beds
US20070178028A1 (en) * 2004-02-23 2007-08-02 Eiichi Fukasawa Apparatus for production of metal chloride
JP2007277787A (ja) 2006-04-06 2007-10-25 Mitsuru Ito 通常布地は斜め地、ニット布80度右傾きで出来ていて、布帛布地も0.5度右傾きは撚糸現象で起る又皮やプラスチックス布も左右の傾き布地が傾き左裁断を傾き右裁断に反転する事で伸縮出来る布地と3方向伸張布地(3D.StretchableCLOTHS)の製造出来る方法の布地。
EP2055674B1 (en) * 2007-10-23 2016-09-14 Mitsubishi Materials Corporation Apparatus for producing trichlorosilane and method for producing thrichlorosilane

Also Published As

Publication number Publication date
EP2052774A3 (en) 2009-06-10
KR101479344B1 (ko) 2015-01-05
CN101418012B (zh) 2013-09-18
JP2009120473A (ja) 2009-06-04
EP2052774A2 (en) 2009-04-29
US20090123359A1 (en) 2009-05-14
US8557211B2 (en) 2013-10-15
EP2052774B1 (en) 2013-04-24
CN101418012A (zh) 2009-04-29
US20120275982A1 (en) 2012-11-01
RU2466781C2 (ru) 2012-11-20
US8226895B2 (en) 2012-07-24
KR20090042170A (ko) 2009-04-29
JP5343493B2 (ja) 2013-11-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2008141970A (ru) Реакционное устройство для получения трихлорсилана
WO2008000238A3 (de) Mikroreaktoren-array, vorrichtung mit einem mikroreaktoren-array und verfahren zur verwendung eines mikroreaktoren-arrays
EP2072111A3 (en) Carbon dioxide separation via partial pressure swing cyclic chemical reaction
MY154793A (en) Reactor for preparing hydrogen cyanide by the andrussow process
WO2008058839A3 (en) Multistage process for the polymerization of olefins
MY146945A (en) Reactor for carrying out a continuous oxydehydrogenation and process
RU2016138792A (ru) Паровой риформинг
WO2009031475A1 (ja) 水素発生器及び燃料スティック
PL2199277T3 (pl) Sposób wytwarzania izocyjanianów w fazie gazowej
WO2009063640A1 (ja) 化学蓄熱装置
WO2007008581A3 (en) Thermally coupled monolith reactor
EA201290227A1 (ru) Реактор с каналами
KR101651315B1 (ko) 유동층 반응기 및 이를 이용한 카본나노구조물 제조방법
JP5906311B2 (ja) Nh3酸化器のガス分配器
UA105670C2 (ru) Устройство для разложения неконвертированного карбамата аммония в растворах мочевины в способе синтеза мочевины
WO2010045283A3 (en) Nonflow-through apparatus and method using enhanced flow mechanisms
NO20054297L (no) Automatisk krakkingsreaktor
WO2008114363A1 (ja) 半導体装置の製造装置、および半導体装置の製造方法
WO2007015827A3 (en) Reactors, reactor assemblies, and production processes
FI20040986A0 (fi) Menetelmä ja laitteisto kemikaalin syöttämiseksi nestevirtaan
RU2008142152A (ru) Эжекторная форсунка для газа хлористого водорода, реакционное устройство для получения трихлорсилана и способ получения трихлорсилана
JP5444745B2 (ja) トリクロロシラン製造装置
UA117060C2 (uk) Спосіб модернізації вхідної частини установки для синтезу аміаку
JP2004532821A5 (ru)
CN102001667A (zh) 三氯硅烷合成装置及方法