RU2004118418A - Способ и устройство для уплотнения пористого субстрата путем химической инфильтрации газовой фазой - Google Patents
Способ и устройство для уплотнения пористого субстрата путем химической инфильтрации газовой фазой Download PDFInfo
- Publication number
- RU2004118418A RU2004118418A RU2004118418/02A RU2004118418A RU2004118418A RU 2004118418 A RU2004118418 A RU 2004118418A RU 2004118418/02 A RU2004118418/02 A RU 2004118418/02A RU 2004118418 A RU2004118418 A RU 2004118418A RU 2004118418 A RU2004118418 A RU 2004118418A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- furnace
- gas
- substrates
- reagent
- reagent gas
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract 19
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract 16
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 44
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 claims 22
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 11
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 10
- 239000000376 reactant Substances 0.000 claims 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims 1
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 claims 1
- 239000002737 fuel gas Substances 0.000 claims 1
- 238000001171 gas-phase infiltration Methods 0.000 claims 1
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 claims 1
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 claims 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 claims 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 abstract 2
- 238000000280 densification Methods 0.000 abstract 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 abstract 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C16/045—Coating cavities or hollow spaces, e.g. interior of tubes; Infiltration of porous substrates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/71—Ceramic products containing macroscopic reinforcing agents
- C04B35/78—Ceramic products containing macroscopic reinforcing agents containing non-metallic materials
- C04B35/80—Fibres, filaments, whiskers, platelets, or the like
- C04B35/83—Carbon fibres in a carbon matrix
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45563—Gas nozzles
- C23C16/4557—Heated nozzles
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S427/00—Coating processes
- Y10S427/10—Chemical vapor infiltration, i.e. CVI
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Furnace Details (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Claims (24)
1. Способ уплотнения пористого субстрата матрицей, полученной путем химической инфильтрации газовой фазой с использованием газа-реагента, содержащего, по меньшей мере, один газообразный источник материала матрицы, причем способ включает следующие этапы: загрузку уплотняемых субстратов в зону загрузки печи; нагревание субстратов в печи до доведения их до температуры, при которой из газообразного источника или источников, содержащихся в газе-реагенте, образуется требуемый материал матрицы; введение с одной стороны печи газа-реагента; нагревание газа- реагента после его введения в печь вследствие прохождения через зону нагревания газа, расположенную в направлении прохождения газа-реагента через печь перед зоной загрузки, отличающийся тем, что: газ-реагент подвергается предварительному нагреванию перед его введением в печь для достижения к моменту его введения в печь температуры, промежуточной между температурой окружающей среды и температурой нагревания субстратов.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что субстраты доводят до температуры, превышающей 900°С, а газ-реагент подвергается предварительному нагреванию перед его введением в печь до достижения к моменту введения в печь температуры равной, по меньшей мере, приблизительно 200°С.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что газ-реагент подвергается предварительному нагреванию до температуры, не превышающей 800°С.
4. Способ по п.2, отличающийся тем, что газ-реагент подвергается предварительному нагреванию до температуры, не превышающей 600°С.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что газ-реагент нагревают вне печи путем его пропускания через теплообменник.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что газ-реагент нагревают вне печи под давлением, по существу, равным давлению, имеющемуся внутри печи.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что газ-реагент нагревают вне печи под давлением, превышающим давление, имеющееся внутри печи, а перед вводом газа в печь его давление уменьшают.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что он применяется для уплотнения кольцевых пористых субстратов для тормозных дисков из композитного материала типа углерод/углерод.
9. Способ по п.8, отличающийся тем, что субстраты загружают в печь в форме одной или нескольких кольцевых стопок, причем газ-реагент, поступающий из зоны нагревания газа, направляют в один из двух объемов, образованных внутренним объемом или внутренними объемами кольцевой стопки или кольцевых стопок и пространством зоны загрузки, находящимся вне кольцевой стопки или кольцевых стопок, а отходящие газы собирают во втором из двух объемов и выводят из печи.
10. Способ по п.9, отличающийся тем, что субстраты складывают в стопки таким образом, что между ними образуются проемы для прохождения газа, обеспечивающие сообщение указанных объемов друг с другом.
11. Способ по п.9, отличающийся тем, что субстраты складывают в стопки без образования между ними проемов для прохождения газа, так что прохождение газа-реагента из одного объема в другой осуществляется исключительно через пористую структуру субстратов.
12. Способ по п.9, отличающийся тем, что газ-реагент поступает в кольцевые стопки индивидуально, через соответствующие им каналы в одной из стенок печи.
13. Способ по п.12, отличающийся тем, что температуру предварительного нагревания газа-реагента, поступающего в стопки субстратов, устанавливают индивидуально для каждой стопки.
14. Установка для уплотнения пористого субстрата путем химической инфильтрации паровой фазой, содержащая печь (10), зону (30) загрузки субстратов в печь, средства (12) нагревания субстратов в зоне загрузки, по меньшей мере, одно отверстие (22; 22а, 22с, 22f) ввода в печь газа-реагента и, по меньшей мере, одну зону (50; 50а, 50с, 50f) нагревания газа-реагента, расположенную в печи между отверстием ввода газа-реагента и зоной загрузки, отличающаяся тем, что указанная установка дополнительно содержит, по меньшей мере, одно устройство (60; 80) предварительного нагревания газа, расположенное вне печи (10), соединенное, по меньшей мере, с одним отверстием ввода газа-реагента в печь и обеспечивающее предварительное нагревание газа-реагента перед его вводом в печь.
15. Установка по п.14, отличающаяся тем, что устройство предварительного нагревания содержит проточную трубу (66), установленную в канале подачи газа-реагента к отверстию ввода газа-реагента в печь.
16. Установка по п.14, отличающаяся тем, что устройство предварительного нагревания содержит газовую колонку (80), через которую проходит, по меньшей мере, один канал циркуляции предварительно нагреваемого газа.
17. Установка по п.16, отличающаяся тем, что газовая горелка соединена с отверстием (24) вывода из печи отходящих газов с целью использования, по меньшей мере, части отходящих газов в качестве топливного газа для газовой горелки.
18. Установка по п.14, отличающаяся тем, что устройство предварительного нагревания содержит электронагревательную печь, через которую проходит, по меньшей мере, один канал циркуляции предварительно нагреваемого газа.
19. Установка по п.14, отличающаяся тем, что содержит редуктор, расположенный между устройством предварительного нагревания и отверстием ввода газа-реагента в печь.
20. Установка по п.14, отличающаяся тем, что устройство предварительного нагревания содержит средства регулировки температуры.
21. Установка по п.14 для уплотнения кольцевых субстратов, сложенных в несколько стопок, отличающаяся тем, что содержит несколько зон (50а, 50с, 50f) нагревания, каждая из которых расположена между соответствующим отверстием (22а, 22с, 22f) ввода газа-реагента в печь и местом размещения соответствующей кольцевой стопки в зоне загрузки.
22. Установка по п.21, отличающаяся тем, что содержит несколько индивидуальных каналов (62а, 62с, 62f) подачи предварительно нагретого газа-реагента, соединенных с отверстиями ввода газа-реагента в печь.
23. Установка по п.22, отличающаяся тем, что индивидуальные каналы (62а, 62с, 62f) подачи газа соединены общим каналом с одним устройством предварительного нагревания.
24. Установка по п.22, отличающаяся тем, что индивидуальные каналы подачи газа соединены с соответствующими устройствами предварительного нагревания газа-реагента.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US10/034,848 | 2001-12-26 | ||
| US10/034,848 US6953605B2 (en) | 2001-12-26 | 2001-12-26 | Method for densifying porous substrates by chemical vapour infiltration with preheated gas |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2004118418A true RU2004118418A (ru) | 2005-06-10 |
| RU2319682C2 RU2319682C2 (ru) | 2008-03-20 |
Family
ID=21878976
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2004118418/02A RU2319682C2 (ru) | 2001-12-26 | 2002-12-24 | Способ и устройство для уплотнения пористого субстрата путем химической инфильтрации газовой фазой |
Country Status (17)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6953605B2 (ru) |
| EP (1) | EP1458902B1 (ru) |
| JP (1) | JP4426302B2 (ru) |
| KR (1) | KR100896854B1 (ru) |
| CN (1) | CN100371493C (ru) |
| AT (1) | ATE340880T1 (ru) |
| AU (1) | AU2002364339B2 (ru) |
| BR (1) | BR0215313B1 (ru) |
| CA (1) | CA2471672C (ru) |
| DE (1) | DE60215048T2 (ru) |
| ES (1) | ES2274121T3 (ru) |
| HU (1) | HUP0402078A2 (ru) |
| IL (1) | IL162659A0 (ru) |
| MX (1) | MXPA04006329A (ru) |
| RU (1) | RU2319682C2 (ru) |
| UA (1) | UA78733C2 (ru) |
| WO (1) | WO2003056059A1 (ru) |
Families Citing this family (52)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6669988B2 (en) * | 2001-08-20 | 2003-12-30 | Goodrich Corporation | Hardware assembly for CVI/CVD processes |
| US7476419B2 (en) * | 1998-10-23 | 2009-01-13 | Goodrich Corporation | Method for measurement of weight during a CVI/CVD process |
| US20040255862A1 (en) * | 2001-02-26 | 2004-12-23 | Lee Chung J. | Reactor for producing reactive intermediates for low dielectric constant polymer thin films |
| US6758909B2 (en) * | 2001-06-05 | 2004-07-06 | Honeywell International Inc. | Gas port sealing for CVD/CVI furnace hearth plates |
| FR2834713B1 (fr) * | 2002-01-15 | 2004-04-02 | Snecma Moteurs | Procede et installation pour la densification de substrats par infiltration chimique en phase vapeur |
| US20050158468A1 (en) * | 2004-01-20 | 2005-07-21 | John Gaffney | Method for manufacturing carbon composites |
| US20060201426A1 (en) * | 2004-05-25 | 2006-09-14 | Lee Chung J | Reactor for Producing Reactive Intermediates for Transport Polymerization |
| US7799375B2 (en) * | 2004-06-30 | 2010-09-21 | Poco Graphite, Inc. | Process for the manufacturing of dense silicon carbide |
| US7332195B2 (en) * | 2004-08-26 | 2008-02-19 | Honeywell International Inc. | Chemical vapor deposition method |
| FR2881145B1 (fr) * | 2005-01-24 | 2007-11-23 | Snecma Propulsion Solide Sa | Procede d'infiltration chimique en phase gazeuse pour la densification de substrats poreux par du carbone pyrolytique |
| FR2882064B1 (fr) * | 2005-02-17 | 2007-05-11 | Snecma Propulsion Solide Sa | Procede de densification de substrats poreux minces par infiltration chimique en phase vapeur et dispositif de chargement de tels substrats |
| US20060194059A1 (en) * | 2005-02-25 | 2006-08-31 | Honeywell International Inc. | Annular furnace spacers and method of using same |
| US20060194060A1 (en) * | 2005-02-25 | 2006-08-31 | Honeywell International | Furnace spacers for spacing preforms in a furnace |
| US20060274474A1 (en) * | 2005-06-01 | 2006-12-07 | Lee Chung J | Substrate Holder |
| US20070014990A1 (en) * | 2005-07-14 | 2007-01-18 | Honeywell International Inc. | Support structure for radiative heat transfer |
| US20070184179A1 (en) * | 2006-02-09 | 2007-08-09 | Akshay Waghray | Methods and apparatus to monitor a process of depositing a constituent of a multi-constituent gas during production of a composite brake disc |
| FR2897422B1 (fr) * | 2006-02-14 | 2008-05-16 | Messier Bugatti Sa | Dispositif d'etancheite pour une entree de gaz d'un four ou analogue |
| US7771194B2 (en) * | 2006-05-26 | 2010-08-10 | Honeywell International Inc. | Gas preheater for chemical vapor processing furnace having circuitous passages |
| KR101483315B1 (ko) * | 2006-10-29 | 2015-01-15 | 메씨어-부가띠-다우티 | 다공성 제품들의 조밀화 방법 |
| FR2924426B1 (fr) * | 2007-11-30 | 2011-06-03 | Messier Bugatti | Procede de fabrication de pieces en materiau composite a renfort en fibres de carbone. |
| JP5730496B2 (ja) * | 2009-05-01 | 2015-06-10 | 株式会社日立国際電気 | 熱処理装置、半導体デバイスの製造方法および基板処理方法 |
| US8177884B2 (en) * | 2009-05-20 | 2012-05-15 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenator with porous support plate |
| US20110064891A1 (en) * | 2009-09-16 | 2011-03-17 | Honeywell International Inc. | Methods of rapidly densifying complex-shaped, asymmetrical porous structures |
| JP5627703B2 (ja) | 2009-11-18 | 2014-11-19 | アールイーシー シリコン インコーポレイテッド | 流動床反応器 |
| US20120090805A1 (en) * | 2010-10-18 | 2012-04-19 | Uzialko Stanislaw P | Systems and methods for a thermistor furnace |
| FR2993044B1 (fr) * | 2012-07-04 | 2014-08-08 | Herakles | Dispositif de chargement et installation pour la densification de preformes poreuses tronconiques et empilables |
| FR2993555B1 (fr) * | 2012-07-19 | 2015-02-20 | Herakles | Installation d'infiltration chimique en phase vapeur a haute capacite de chargement |
| US11326255B2 (en) * | 2013-02-07 | 2022-05-10 | Uchicago Argonne, Llc | ALD reactor for coating porous substrates |
| US9523149B2 (en) | 2013-03-14 | 2016-12-20 | Rolls-Royce Corporation | Rapid ceramic matrix composite production method |
| FR3007511B1 (fr) * | 2013-06-19 | 2017-09-08 | Herakles | Installation pour traitements thermiques de produits en materiau composite comprenant des moyens de mesure de temperature delocalises |
| FR3018526B1 (fr) * | 2014-03-14 | 2021-06-11 | Herakles | Installation de densification cvi comprenant une zone de prechauffage a forte capacite |
| US10648075B2 (en) * | 2015-03-23 | 2020-05-12 | Goodrich Corporation | Systems and methods for chemical vapor infiltration and densification of porous substrates |
| MY190445A (en) | 2015-08-21 | 2022-04-21 | Flisom Ag | Homogeneous linear evaporation source |
| TWI624554B (zh) * | 2015-08-21 | 2018-05-21 | 弗里松股份有限公司 | 蒸發源 |
| RU2607401C1 (ru) * | 2015-09-25 | 2017-01-10 | Олег Викторович Барзинский | Способ получения углерод-углеродого композиционного материала |
| CN105463410B (zh) * | 2015-12-15 | 2018-09-21 | 西安鑫垚陶瓷复合材料有限公司 | 一种用于开口容器的cvi致密化的方法及气体管路结构 |
| US10407769B2 (en) * | 2016-03-18 | 2019-09-10 | Goodrich Corporation | Method and apparatus for decreasing the radial temperature gradient in CVI/CVD furnaces |
| EP3721159B1 (en) * | 2017-12-05 | 2025-09-24 | Mécanique Analytique Inc. | Gas chromatography modular oven |
| CN108048817A (zh) * | 2017-12-12 | 2018-05-18 | 湖南顶立科技有限公司 | 一种化学气相沉积炉 |
| FR3084892B1 (fr) * | 2018-08-10 | 2020-11-06 | Safran Ceram | Procede de densification par infiltration chimique en phase gazeuse de substrats annulaire poreux |
| US11111578B1 (en) | 2020-02-13 | 2021-09-07 | Uchicago Argonne, Llc | Atomic layer deposition of fluoride thin films |
| CN113683436B (zh) * | 2021-08-27 | 2022-09-16 | 清华大学 | 一种进气组件、气相沉积装置及其复合材料制备方法 |
| US12065738B2 (en) | 2021-10-22 | 2024-08-20 | Uchicago Argonne, Llc | Method of making thin films of sodium fluorides and their derivatives by ALD |
| FR3128956B1 (fr) * | 2021-11-10 | 2023-11-03 | Safran Ceram | Procédé de densification par infiltration chimique en phase vapeur |
| CN114225843B (zh) * | 2021-12-06 | 2022-08-05 | 中南大学 | 一种限域定向流动全饱和渗透反应器及制备炭/炭复合材料刹车盘的方法 |
| FR3130276A1 (fr) * | 2021-12-15 | 2023-06-16 | Safran Ceramics | Installation de traitement thermochimique et procédé de fabrication d’une pièce de friction en matériau composite |
| US12078417B1 (en) | 2021-12-29 | 2024-09-03 | Rolls-Royce High Temperature Composites, Inc. | Load assemblies for loading parts in a furnace |
| US11932941B1 (en) | 2021-12-29 | 2024-03-19 | Rolls-Royce High Temperature Composites, Inc. | Load assemblies for loading parts in a furnace |
| US12000046B1 (en) * | 2021-12-29 | 2024-06-04 | Rolls-Royce High Temperature Composites, Inc. | Load assemblies for loading parts in a furnace |
| US11901169B2 (en) | 2022-02-14 | 2024-02-13 | Uchicago Argonne, Llc | Barrier coatings |
| FR3132718A1 (fr) * | 2022-02-16 | 2023-08-18 | Safran Landing Systems | Procédé de densification par infiltration chimique en phase gazeuse avec des plateaux monopiles pour un flux semi-forcé |
| CN119082862B (zh) * | 2024-11-07 | 2025-05-27 | 洛阳中硅高科技有限公司 | 多晶碳化硅棒及其制备装置和方法以及多晶碳化硅粉体 |
Family Cites Families (47)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3663283A (en) * | 1969-10-02 | 1972-05-16 | Richard A Hebert | Process and apparatus for the production of finely-divided metal oxides |
| JPS5222012A (en) | 1975-08-12 | 1977-02-19 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Manufacture of nonnburnt carbon rods |
| US4141696A (en) | 1978-04-28 | 1979-02-27 | Texaco Inc. | Process for gas cleaning with reclaimed water and apparatus for water reclamation |
| US4416748A (en) | 1981-09-08 | 1983-11-22 | Concord Scientific Corporation | Process for reduction of the content of SO2 and/or NOx in flue gas |
| US4582632A (en) | 1983-04-11 | 1986-04-15 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Non-permeable carbonaceous formed bodies and method for producing same |
| US4738272A (en) | 1984-05-21 | 1988-04-19 | Mcconnell Christopher F | Vessel and system for treating wafers with fluids |
| JPS6220309A (ja) | 1985-07-18 | 1987-01-28 | Nec Corp | 光照射炉 |
| JPS62249423A (ja) | 1986-04-23 | 1987-10-30 | Hitachi Ltd | 処理装置 |
| US4920017A (en) | 1986-11-20 | 1990-04-24 | Electric Power Research Institute, Inc. | Porous and porous-nonporous composites for battery electrodes |
| US4835074A (en) | 1987-09-25 | 1989-05-30 | The Electrosynthesis Company, Inc. | Modified carbons and electrochemical cells containing the same |
| US4957593A (en) | 1989-03-07 | 1990-09-18 | University Of Connecticut | Modified composite electrodes with renewable surface for electrochemical applications and method of making same |
| US5225378A (en) | 1990-11-16 | 1993-07-06 | Tokyo Electron Limited | Method of forming a phosphorus doped silicon film |
| US5362228A (en) * | 1991-11-04 | 1994-11-08 | Societe Europeenne De Propulsion | Apparatus for preheating a flow of gas in an installation for chemical vapor infiltration, and a densification method using the apparatus |
| JP2987663B2 (ja) | 1992-03-10 | 1999-12-06 | 株式会社日立製作所 | 基板処理装置 |
| US5254374A (en) * | 1992-04-08 | 1993-10-19 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Chemical vapor infiltration using microwave energy |
| US5567267A (en) | 1992-11-20 | 1996-10-22 | Tokyo Electron Limited | Method of controlling temperature of susceptor |
| JPH0828335B2 (ja) | 1992-11-30 | 1996-03-21 | 株式会社半導体プロセス研究所 | 半導体装置の製造装置 |
| US5348774A (en) * | 1993-08-11 | 1994-09-20 | Alliedsignal Inc. | Method of rapidly densifying a porous structure |
| FR2711646B1 (fr) * | 1993-10-27 | 1996-02-09 | Europ Propulsion | Procédé d'infiltration chimique en phase vapeur d'une matrice pyrocarbone au sein d'un substrat poreux avec établissement d'un gradient de température dans le substrat. |
| FR2711647B1 (fr) * | 1993-10-27 | 1996-01-19 | Europ Propulsion | Procédé d'infiltration chimique en phase vapeur d'un matériau au sein d'un substrat poreux à température de surface contrôlée. |
| FR2714076B1 (fr) * | 1993-12-16 | 1996-03-15 | Europ Propulsion | Procédé de densification de substrats poreux par infiltration chimique en phase vapeur de carbure de silicium. |
| US5582802A (en) | 1994-07-05 | 1996-12-10 | Spokoyny; Felix E. | Catalytic sulfur trioxide flue gas conditioning |
| ES2125058T3 (es) * | 1994-11-16 | 1999-02-16 | Goodrich Co B F | Producto, procedimiento y aparato de infiltracion/deposito quimico en fase vapor con gradiente de presion. |
| US5480678A (en) * | 1994-11-16 | 1996-01-02 | The B. F. Goodrich Company | Apparatus for use with CVI/CVD processes |
| FR2727692A1 (fr) | 1994-12-05 | 1996-06-07 | Europ Propulsion | Dispositif d'extraction de gaz pour four d'infiltration ou depot chimique en phase vapeur dans une installation de fabrication de pieces en materiau composite |
| FR2732677B1 (fr) * | 1995-04-07 | 1997-06-27 | Europ Propulsion | Procede d'infiltration chimique en phase vapeur avec parametres d'infiltration variables |
| FR2733254B1 (fr) * | 1995-04-18 | 1997-07-18 | Europ Propulsion | Procede d'infiltration chimique en phase vapeur pour la densification de substrats poreux disposes en piles annulaires |
| RU2096707C1 (ru) * | 1995-09-27 | 1997-11-20 | Российско-швейцарское совместное предприятие Акционерное общество закрытого типа "АМКО" | Вращающаяся печь для дегидрации фторида алюминия |
| US5707432A (en) | 1996-06-14 | 1998-01-13 | Cabot Corporation | Modified carbon products and inks and coatings containing modified carbon products |
| FR2754813B1 (fr) | 1996-10-18 | 1999-01-15 | Europ Propulsion | Densification de substrats poreux disposes en piles annulaires par infiltration chimique en phase vapeur a gradient de temperature |
| US5840414A (en) | 1996-11-15 | 1998-11-24 | International Fuel Cells, Inc. | Porous carbon body with increased wettability by water |
| WO1998028462A1 (de) * | 1996-12-24 | 1998-07-02 | Widia Gmbh | Verbundkörper, bestehend aus einem hartmetall-, cermet- oder keramiksubstratkörper und verfahren zu seiner herstellung |
| US5942347A (en) | 1997-05-20 | 1999-08-24 | Institute Of Gas Technology | Proton exchange membrane fuel cell separator plate |
| US20030049372A1 (en) | 1997-08-11 | 2003-03-13 | Cook Robert C. | High rate deposition at low pressures in a small batch reactor |
| US6007330A (en) | 1998-03-12 | 1999-12-28 | Cosmos Factory, Inc. | Liquid precursor delivery system |
| AU3471099A (en) | 1998-04-03 | 1999-10-25 | Cabot Corporation | Modified pigments having improved dispersing properties |
| US6024848A (en) | 1998-04-15 | 2000-02-15 | International Fuel Cells, Corporation | Electrochemical cell with a porous support plate |
| FR2784695B1 (fr) * | 1998-10-20 | 2001-11-02 | Snecma | Densification de structures poreuses par infiltration chimique en phase vapeur |
| US6440220B1 (en) | 1998-10-23 | 2002-08-27 | Goodrich Corporation | Method and apparatus for inhibiting infiltration of a reactive gas into porous refractory insulation |
| US6144802A (en) | 1999-06-29 | 2000-11-07 | Hyundai Electronics Industries Co., Ltd. | Fluid heater for semiconductor device |
| KR100603096B1 (ko) | 1999-07-02 | 2006-07-20 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 반도체 제조 설비 |
| US6258476B1 (en) | 1999-09-02 | 2001-07-10 | International Fuel Cells, Llc | Porous carbon body with increased wettability by water |
| KR100783841B1 (ko) | 2000-05-31 | 2007-12-10 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 열처리 시스템 |
| US20030091891A1 (en) | 2001-01-16 | 2003-05-15 | Tomoaki Yoshida | Catalyst composition for cell, gas diffusion layer, and fuel cell comprising the same |
| US6645287B2 (en) | 2001-04-27 | 2003-11-11 | Cabot Corporation | Coating compositions comprising high t-area carbon products |
| US6787029B2 (en) | 2001-08-31 | 2004-09-07 | Cabot Corporation | Material for chromatography |
| US6572371B1 (en) * | 2002-05-06 | 2003-06-03 | Messier-Bugatti | Gas preheater and process for controlling distribution of preheated reactive gas in a CVI furnace for densification of porous annular substrates |
-
2001
- 2001-12-26 US US10/034,848 patent/US6953605B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2002
- 2002-12-24 RU RU2004118418/02A patent/RU2319682C2/ru active
- 2002-12-24 JP JP2003556573A patent/JP4426302B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-12-24 WO PCT/FR2002/004554 patent/WO2003056059A1/fr not_active Ceased
- 2002-12-24 CA CA2471672A patent/CA2471672C/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-12-24 KR KR1020047010048A patent/KR100896854B1/ko not_active Expired - Fee Related
- 2002-12-24 HU HU0402078A patent/HUP0402078A2/hu unknown
- 2002-12-24 MX MXPA04006329A patent/MXPA04006329A/es active IP Right Grant
- 2002-12-24 IL IL16265902A patent/IL162659A0/xx not_active IP Right Cessation
- 2002-12-24 AT AT02799114T patent/ATE340880T1/de active
- 2002-12-24 ES ES02799114T patent/ES2274121T3/es not_active Expired - Lifetime
- 2002-12-24 EP EP02799114A patent/EP1458902B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 2002-12-24 AU AU2002364339A patent/AU2002364339B2/en not_active Ceased
- 2002-12-24 CN CNB028260562A patent/CN100371493C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2002-12-24 BR BRPI0215313-0A patent/BR0215313B1/pt not_active IP Right Cessation
- 2002-12-24 DE DE60215048T patent/DE60215048T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-12-24 UA UA20040605015A patent/UA78733C2/uk unknown
-
2003
- 2003-04-16 US US10/417,037 patent/US20030205203A1/en not_active Abandoned
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4426302B2 (ja) | 2010-03-03 |
| CA2471672A1 (en) | 2003-07-10 |
| BR0215313A (pt) | 2004-10-19 |
| ES2274121T3 (es) | 2007-05-16 |
| CN1608142A (zh) | 2005-04-20 |
| AU2002364339B2 (en) | 2008-09-04 |
| DE60215048T2 (de) | 2007-05-10 |
| HUP0402078A2 (hu) | 2005-01-28 |
| CN100371493C (zh) | 2008-02-27 |
| KR100896854B1 (ko) | 2009-05-12 |
| US20030118728A1 (en) | 2003-06-26 |
| WO2003056059A1 (fr) | 2003-07-10 |
| BR0215313B1 (pt) | 2011-11-29 |
| KR20040071754A (ko) | 2004-08-12 |
| MXPA04006329A (es) | 2004-10-04 |
| US6953605B2 (en) | 2005-10-11 |
| CA2471672C (en) | 2011-03-22 |
| US20030205203A1 (en) | 2003-11-06 |
| IL162659A0 (en) | 2005-11-20 |
| JP2005512940A (ja) | 2005-05-12 |
| UA78733C2 (en) | 2007-04-25 |
| EP1458902B1 (fr) | 2006-09-27 |
| AU2002364339A1 (en) | 2003-07-15 |
| EP1458902A1 (fr) | 2004-09-22 |
| RU2319682C2 (ru) | 2008-03-20 |
| DE60215048D1 (de) | 2006-11-09 |
| ATE340880T1 (de) | 2006-10-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2004118418A (ru) | Способ и устройство для уплотнения пористого субстрата путем химической инфильтрации газовой фазой | |
| RU2315821C2 (ru) | Подогреватель газа | |
| JP4495970B2 (ja) | 化学的蒸気浸透による基材の緻密化方法および装置 | |
| JP4960264B2 (ja) | 化学蒸気浸透により薄い多孔質基体を高密度化する方法、及び当該基体のローディング装置 | |
| US6258474B1 (en) | Fuel cell module with an integrated additional heater | |
| CA2218317A1 (en) | Vapour phase chemical infiltration process for densifying porous substrates disposed in annular stacks | |
| KR100217409B1 (ko) | 고온 기체 발생 장치 | |
| MX2014003617A (es) | Un dispositivo para cargar sustratos porosos de forma tridimensional a fin de ser densificados mediante infiltracion quimica de vapor en flujo dirigido. | |
| HK1073869A (en) | Method and installation for densifying porous substrate by gas-phase chemical infiltration | |
| CN118696149B (zh) | 用于半强制流动的多层板的工具 | |
| CN114811948B (zh) | 一种用于合成氨系统预热的开工加热炉 | |
| EP3838394A1 (en) | Catalytic conversion device and method for catalytic conversion of a feed gas into a product gas in an endothermic reaction | |
| JPH03241213A (ja) | 輻射形加熱装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PC43 | Official registration of the transfer of the exclusive right without contract for inventions |
Effective date: 20130322 |
|
| PD4A | Correction of name of patent owner |