RU2000102840A - Способ профилирования тугоплавких и химически стойких материалов - Google Patents

Claims (8)

1. Способ профилирования изделий из тугоплавких и химически стойких материалов путем травления их поверхности наносимым на поверхность взаимодействующим с ними веществом, отличающийся тем, что покрытую тонкопленочным слоем вещества поверхность изделия локально нагревают лазерным импульсным облучением, после чего удаляют слой вещества.

2. Способ по п. 1, отличающийся использованием в качестве слоя вещества пленок тугоплавких металлов или тугоплавких карбидов и окислов.

3. Способ по п. 1, отличающийся использованием в качестве слоя вещества нанесенной заранее на поверхность изделия пленки переходного металла, и проведением лазерного облучения в восстановительно-окислительной атмосфере.

4. Способ по пп. 2 и 3, отличающийся тем, что наносят слой вещества, толщиной не более длины тепловой волны в веществе слоя.

5. Способ по пп. 3 и 4, отличающийся тем, что в качестве слоя металла используют островковую пленку.

6. Способ по п. 1, отличающийся тем, что покрытие указанным слоем вещества поверхности изделия производят воздействием переднего фронта лазерного импульса, для чего поверхность изделия подвергают одновременному воздействию лазерных импульсов и паров летучего соединения, пиролитически разлагающегося с получением указанного вещества, причем амплитуда лазерного импульса достаточна для испарения вещества.

7. Способ по пп. 1 и 6, отличающийся периодическим уменьшением амплитуды лазерных импульсов до значений меньших, чем необходимо для указанного испарения, причем длительность периода модуляции амплитуды составляет более двух периодов следования лазерных импульсов.

8. Способ по пп. 1 - 3, 4, 6 и 7, отличающийся использованием вещества, растворяющего при температуре лазерного нагрева травящийся материал и/или химически с ним реагирующего.